KR20120070522A - Component mounting apparatus - Google Patents

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KR20120070522A
KR20120070522A KR1020110138450A KR20110138450A KR20120070522A KR 20120070522 A KR20120070522 A KR 20120070522A KR 1020110138450 A KR1020110138450 A KR 1020110138450A KR 20110138450 A KR20110138450 A KR 20110138450A KR 20120070522 A KR20120070522 A KR 20120070522A
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component
linear motion
bearing
component mounting
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KR1020110138450A
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요시유키 마키타
마사키 오토모
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쥬키 가부시키가이샤
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Abstract

PURPOSE: A component mounting apparatus is provided to increase the lifetime of components in a corresponding holding unit by preventing a large bending moment in both holding units of a movable beam. CONSTITUTION: A transfer rail transfers a circuit board in an X direction. A mount head(12) is mounted on a movable beam(13) extended in the X direction. The mounting head absorbs electronic components by an absorbing nozzle(12b) installed in the lower side of the leading end of a unit mounting head(12a). Frames(14a,14b) extended in a Y direction are installed in left and right sides of a base(10) in the X direction. A Y operating device(30,40) is installed in the frame to move along the frame.

Description

부품 실장 장치{COMPONENT MOUNTING APPARATUS}Component Mounting Device {COMPONENT MOUNTING APPARATUS}

본 발명은 부품공급장치로부터 공급된 부품을 기판상에 장착하는 부품실장(實裝)장치에 관한 것으로서, 특히 탑재헤드가 장착된 이동 빔을 직선구동하는 직동(直動)기구에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a component mounting apparatus for mounting a component supplied from a component supply apparatus on a substrate, and more particularly, to a linear motion mechanism for linearly driving a moving beam on which a mounting head is mounted.

종래의 부품실장장치의 직동기구로서는, 예컨대 특허문헌 1에 기재된 기술이 있다. 이 기술은, 부품의 탑재헤드가 장착된 이동 빔을 리니어 모터에 의해 Y방향으로 직선구동하는 Y 직동기구에 관한 것이다. 상기 Y 직동기구는, 이동 빔의 양단을 가이드 레일과 슬라이더를 조합한 가이드기구에 의해 Y방향으로 가이드하게 되어 있다. 도 7은, 종래의 부품실장장치의 Y 직동기구를 나타내는 정면도이다. 상기 도 7에 있어서 좌우방향이 X방향, 지면(紙面) 수직방향이 Y방향이다.As a linear motion mechanism of the conventional component mounting apparatus, there exists a technique of patent document 1, for example. This technique relates to the Y linear drive mechanism which linearly drives the moving beam in which the mounting head of a component is mounted to a Y direction with a linear motor. The said Y linear motion mechanism guides both ends of a moving beam to a Y direction by the guide mechanism which combined the guide rail and the slider. 7 is a front view showing a Y linear motion mechanism of a conventional component mounting apparatus. In FIG. 7, the horizontal direction is the X direction, and the paper vertical direction is the Y direction.

기기 베이스(101) 상의 X방향의 좌단부 및 우단부에는, Y방향을 따라 연장되어 존재하는 프레임(102 및 103)이 설치되어 있다. 프레임(102 및 103)에는 각각 Y 직동기구(110 및 120)가 설치되어 있으며, 이들 Y 직동기구(110 및 120)에 의해, X방향으로 연장되어 존재하는 이동 빔(104)의 양단을 유지하며, 이동 빔(104)을 Y방향으로 이동시킨다. Frames 102 and 103 extending along the Y direction are provided at the left end and the right end in the X direction on the device base 101. The frames 102 and 103 are provided with Y linear motion mechanisms 110 and 120, respectively, and by these Y linear motion mechanisms 110 and 120, both ends of the moving beam 104 which extend in the X direction are present. Then, the moving beam 104 is moved in the Y direction.

Y 직동기구(110)는, 이동 빔(104)의 X방향 좌측단의 하면에 고정된 플레이트(111), 플레이트(111)의 하면에 고정된 리니어 모터 가동자(112), 프레임(102)의 상면에 리니어 모터 가동자(112)와 대향 배치되도록 고정된 리니어 모터 고정자(113), 플레이트(111)의 하면에 고정된 2개의 슬라이더(114), 및 프레임(102)의 상면에 고정되며 Y방향으로 연장되어 존재하는 2개의 가이드 레일(115)에 의해 구성된다. 슬라이더(114)는, 가이드 레일(115)에 슬라이딩 가능하게 끼움결합되어 있으며, 리니어 모터(112 및 113)의 구동시에는, 이동 빔(104)의 X방향의 좌측단이 슬라이더(114) 및 가이드 레일(115)에 의해 Y방향으로 가이드된다.The Y linear motion mechanism 110 includes the plate 111 fixed to the lower surface of the left end of the moving beam 104 in the X direction, the linear motor mover 112 fixed to the lower surface of the plate 111, and the frame 102. The linear motor stator 113 fixed to be disposed to face the linear motor mover 112 on the upper surface, two sliders 114 fixed to the lower surface of the plate 111, and the upper surface of the frame 102 and Y direction It consists of two guide rails 115 extending to exist. The slider 114 is slidably fitted to the guide rail 115, and when driving the linear motors 112 and 113, the left end of the moving beam 104 in the X direction is the slider 114 and the guide. Guided in the Y direction by the rail 115.

Y 직동기구(120)는, 이동 빔(104)의 X방향 우측단의 측면에 고정된 플레이트(121), 플레이트(121)의 X방향의 우측면에 고정된 리니어 모터 가동자(122), 프레임(103)의 X방향의 좌측면에 리니어 모터 가동자(122)와 대향 배치되도록 고정된 리니어 모터 고정자(123), 플레이트(121)의 X방향의 우측면에 고정된 2개의 슬라이더(124), 및 프레임(103)의 X방향의 좌측면에 고정되어 Y방향으로 연장되어 존재하는 2개의 가이드 레일(125)에 의해 구성된다. 슬라이더(124)는, 가이드 레일(125)에 슬라이딩 가능하게 끼움결합되어 있으며, 리니어 모터(122 및 123)의 구동시에는, 이동 빔(104)의 X방향의 우측단이 슬라이더(124) 및 가이드 레일(125)에 의해 Y방향으로 가이드된다. 또, 이동 빔(104)은, Y 직동기구(110,120)와 마찬가지로 리니어 모터에 의해 구동되는 X 직동기구(도시생략)를 내장하고 있다. 그리고 상기 X 직동기구를 구동함으로써, 탑재헤드(105)를 이동 빔(104)을 따라 X방향으로 이동시킨다.The Y linear motion mechanism 120 includes a plate 121 fixed to the side of the right end of the moving beam 104 in the X direction, a linear motor mover 122 fixed to the right side of the plate 121 in the X direction, and a frame ( A linear motor stator 123 fixed to the left side in the X direction of the 103 in a direction opposite to the linear motor mover 122, two sliders 124 fixed to the right side in the X direction of the plate 121, and a frame. It is comprised by the two guide rails 125 which are fixed to the left side of the X direction of 103, and extend in the Y direction. The slider 124 is slidably fitted to the guide rail 125, and when the linear motors 122 and 123 are driven, the right end in the X direction of the moving beam 104 is the slider 124 and the guide. Guided in the Y direction by the rail 125. In addition, the moving beam 104 incorporates an X linear motion mechanism (not shown) which is driven by a linear motor similarly to the Y linear motion mechanisms 110 and 120. Then, by driving the X linear motion mechanism, the mounting head 105 is moved along the moving beam 104 in the X direction.

일본특허공보 제4207833호Japanese Patent Publication No. 4207833

리니어 모터를 이용한 직동기구는, 고속동작·고(高)위치정밀도가 특징이며, 리니어 모터에 의해 구동되는 이동 빔 및 탑재헤드는, 높은 가속도로의 기동 및 정지를 고(高)빈도로 수행한다. 이러한 리니어 모터의 구동시에는 가동자가 발열되며, 이 열이 이동 빔에 전해져 이동 빔이 X방향으로 신축하거나 휘는 열변형을 일으킨다. 상기 종래의 부품실장장치의 직동기구에 있어서는, 이동 빔의 양단을 슬라이더와 가이드 레일을 조합시킨 가이드 기구에 의해 가이드하는 구성으로서, 이동 빔의 X방향의 자유도가 없다. 이 때문에, 이동 빔의 열변형이 발생했을 경우, 가이드기구에 커다란 휨 모멘트가 작용한다. 예컨대, 도 7에 있어서, 이동 빔(104)이 X방향(지면 좌우방향)으로 신축하면, 특히 이동 빔의 단부를 수평자세로 유지하는 Y 직동기구(110)의 슬라이더(114) 및 가이드 레일(115)에 커다란 부하가 작용한다. 상술한 바와 같이, 이동 빔 및 탑재헤드는 높은 가속도로의 기동 및 정지를 고빈도로 수행하기 때문에, 이러한 현상은 고빈도로 발생한다.The linear motion mechanism using the linear motor is characterized by high speed operation and high positional accuracy, and the moving beam and the mounting head driven by the linear motor perform high-speed start and stop at high frequency. . When the linear motor is driven, the mover generates heat, and the heat is transmitted to the moving beam, causing the moving beam to expand and contract or bend in the X direction. In the conventional linear motion mechanism of the component mounting apparatus, both ends of the moving beam are guided by the guide mechanism combining the slider and the guide rail, and there is no freedom in the X direction of the moving beam. For this reason, when the heat deformation of the moving beam occurs, a large bending moment acts on the guide mechanism. For example, in FIG. 7, when the moving beam 104 expands and contracts in the X direction (plane left and right directions), in particular, the slider 114 and the guide rail of the Y linear motion mechanism 110 which keeps the end of the moving beam in a horizontal posture ( There is a large load on 115). As described above, this phenomenon occurs at high frequency because the moving beam and the mounting head perform high starting and stopping at high acceleration.

이와 같이, 가이드 기구에 고빈도로 고부하가 작용하면, 가이드 기구를 구성하는 부품의 수명저하를 초래한다. 또한, 이동 빔의 변형은, 전자부품의 탑재 정밀도의 악화를 초래하는 원인이 되기도 한다. 이에, 본 발명은, 리니어 모터를 이용한 직동기구에 있어서, 부품수명의 연장과 부품 탑재 정밀도의 악화방지를 실현할 수 있는 부품실장장치를 제공하는 것을 과제로 한다.In this manner, high loads acting on the guide mechanism cause a reduction in the life of the parts constituting the guide mechanism. In addition, the deformation of the moving beam may cause a deterioration in the mounting accuracy of the electronic component. Accordingly, an object of the present invention is to provide a component mounting apparatus capable of realizing extension of component life and prevention of deterioration of component mounting accuracy in a linear motion mechanism using a linear motor.

상기 과제를 해결하기 위하여, 청구항 1에 관한 부품실장장치는, 탑재헤드의 흡착노즐에 의해 기판의 소정 위치에 부품을 장착하는 부품실장장치로서, 상기 탑재헤드가 장착되어 기기 베이스 상을 제 1 방향으로 이동할 수 있게 되어 있으며, 상기 제 1 방향과 직교하는 제 2 방향으로 연장되어 존재하는 이동 빔과, 상기 이동 빔을 상기 제 1 방향으로 이동시키는 리니어 모터와, 상기 이동 빔의 일단을, 상기 기기 베이스에 대해 상기 제 1 방향으로 이동가능하도록 유지하는 제 1 유지부와, 상기 이동 빔의 타단을, 상기 기기 베이스에 대해 상기 제 1 방향으로 이동가능하도록 유지하는 제 2 유지부를 구비하고, 상기 제 1 유지부는, 상기 기기 베이스에 고정되어 상기 제 1 방향으로 연장되어 존재하는 가이드 레일과, 상기 이동 빔의 일단에 고정되어 상기 가이드 레일에 슬라이딩 가능하도록 끼움결합되는 슬라이더를 구비하는 가이드 기구에 의해 구성되며, 상기 제 2 유지부는, 상기 제 2 방향과 축선이 일치되어 상기 이동 빔의 타단에 회동가능하게 연결되는 동시에, 상기 제 2 방향으로 슬라이딩 가능하도록 상기 기기 베이스 상에 재치되는 롤링기구에 의해 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to solve the said subject, the component mounting apparatus which concerns on Claim 1 is a component mounting apparatus which mounts a component in the predetermined position of a board | substrate by the adsorption nozzle of a mounting head, The said mounting head is mounted and a 1st direction is mounted on an apparatus base. And a moving beam extending in a second direction perpendicular to the first direction, a linear motor for moving the moving beam in the first direction, and one end of the moving beam. A first holding part for holding the base so as to be movable in the first direction, and a second holding part for holding the other end of the moving beam to be movable in the first direction with respect to the device base; The first holding part is fixed to the device base and extends in the first direction, and is fixed to one end of the moving beam. And a guide mechanism having a slider that is slidably fitted to the guide rail, wherein the second retaining portion is pivotally connected to the other end of the moving beam in alignment with the second direction and at the same time; And a rolling mechanism mounted on the device base so as to be slidable in two directions.

이와 같이, 이동 빔의 일단은 가이드 기구에 의해 구속되어 유지되고, 타단은 제 2 방향으로 슬라이딩 가능하도록 기기 베이스 상에 재치되는 롤링기구에 의해 유지된다. 이 때문에, 이동 빔에 제 2 방향의 자유도를 부여할 수 있다. 따라서, 리니어 모터의 발열에 의해 이동 빔이 제 2 방향으로 신축하거나 휘었을 때에는, 제 2 유지부가 제 2 방향으로 슬라이딩함으로써 상기 신축이나 휨을 흡수하여, 제 1 유지부 및 제 2 유지부에 커다란 휨 모멘트가 부하되는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 제 1 유지부 및 제 2 유지부의 구성부품의 수명저하를 억제할 수가 있다. 더욱이, 이동 빔에 제 2 방향의 자유도를 부여함으로써, 이동 빔에 열변형이 발생하여도, 이를 해소할 수가 있다. 이 때문에, 이동 빔이 변형함으로 인한 전자부품의 탑재 정밀도의 악화를 방지하여, 탑재 정밀도의 안정화를 도모할 수가 있다.In this way, one end of the moving beam is held constrained by the guide mechanism and the other end is held by the rolling mechanism mounted on the device base so as to be slidable in the second direction. For this reason, the freedom degree of a 2nd direction can be provided to a moving beam. Therefore, when the moving beam is stretched or bent in the second direction due to the heat generated by the linear motor, the second holding part slides in the second direction to absorb the stretching or bending, and thus the large bending part in the first holding part and the second holding part is large. The moment can be suppressed from being loaded. As a result, it is possible to suppress the deterioration of the life of components of the first holding part and the second holding part. Furthermore, by providing the moving beam with a degree of freedom in the second direction, even if thermal deformation occurs in the moving beam, it can be eliminated. For this reason, the deterioration of the mounting precision of the electronic component due to the deformation of the moving beam can be prevented, and the mounting precision can be stabilized.

또, 청구항 2에 관한 부품실장장치는, 청구항 1에 관한 발명에 있어서, 상기 롤링기구는, 내륜이 상기 제 2 방향과 축선이 일치되어 상기 이동 빔의 타단에 고정되고, 외륜이 회동(回動)가능한 롤링 베어링에 의해 구성되는 것을 특징으로 한다. 이로써, 비교적 간이한 구성으로 롤링기구를 실현할 수가 있다. 더욱이, 청구항 3에 관한 부품실장장치는, 청구항 1에 관한 발명에 있어서, 상기 롤링기구는, 상기 제 2 방향과 축선이 일치되어 상기 이동 빔의 타단에 회동가능하게 연결된 원통롤러에 의해 구성되는 것을 특징으로 한다. 이로써, 비교적 간이한 구성으로 롤링기구를 실현할 수가 있다.In the component mounting apparatus according to claim 2, in the invention according to claim 1, the rolling mechanism is configured such that the inner ring is fixed to the other end of the moving beam with the inner line coinciding with the second direction, and the outer ring rotates. It is characterized by consisting of a rolling bearing possible. As a result, the rolling mechanism can be realized with a relatively simple configuration. Furthermore, the component mounting apparatus according to claim 3 is, in the invention according to claim 1, wherein the rolling mechanism is constituted by a cylindrical roller which is axially aligned with the second direction and rotatably connected to the other end of the moving beam. It features. As a result, the rolling mechanism can be realized with a relatively simple configuration.

또한, 청구항 4에 관한 부품실장장치는, 청구항 1~3 중 어느 하나에 관한 발명에 있어서, 상기 가이드 레일은, 상기 제 1 방향에 평행하며 또한 상기 제 2 방향에 수직인 평면 내에서, 상기 제 1 방향으로 연장되어 존재하고 있는 것을 특징으로 한다. 이로써, 이동 빔의 가감속시의 관성력에 의한 휨 모멘트를, 가이드 기구의 슬라이더에 대해 모멘트 부하능력이 높은 방향으로 작용시킬 수 있어, 부품 수명을 연장시킬 수가 있다.The component mounting apparatus according to claim 4 is the invention according to any one of claims 1 to 3, wherein the guide rail is formed in a plane parallel to the first direction and perpendicular to the second direction. It is characterized by extending in one direction. Thereby, the bending moment by the inertia force at the time of acceleration / deceleration of the moving beam can be acted on the slider of the guide mechanism in the direction of high moment load capacity, and the component life can be extended.

본 발명에 따르면, 이동 빔의 일단을 가이드 기구에 의해 구속 유지하고, 타단을 롤링기구에 의해 제 2 방향으로 자유도를 부여하여 유지하므로, 리니어 모터의 발열에 의해 이동 빔이 신축하거나 휘거나 했을 경우에도 이를 흡수할 수가 있다. 따라서, 이동 빔의 양단 유지부에 커다란 휨모멘트가 작용하는 것을 방지하여, 해당 유지부의 구성부품의 수명을 연장할 수가 있다. 또, 이동 빔에 열에 의한 휨 변형이 발생하여도, 이를 해소할 수 있으므로 부품 탑재 정밀도의 악화를 방지할 수가 있다.According to the present invention, one end of the moving beam is held by the guide mechanism and the other end is held by the rolling mechanism with the degree of freedom in the second direction. Thus, when the moving beam is stretched or bent due to the heating of the linear motor, Edo can absorb this. Accordingly, large bending moments can be prevented from being applied to the holding portions at both ends of the moving beam, thereby extending the life of components of the holding portions. Moreover, even if the bending deformation by heat generate | occur | produces in a moving beam, since this can be eliminated, deterioration of component mounting precision can be prevented.

도 1은 본 발명에서의 부품실장장치를 나타내는 평면도이다.
도 2는 Y 직동기구(30 및 40)를 나타내는 정면도이다.
도 3은 Y 직동기구(30)를 나타내는 사시도이다.
도 4는 롤링기구를 나타내는 분해 사시도이다.
도 5는 롤링기구의 조립방법을 나타내는 도면이다.
도 6은 Y 직동기구(30)의 조립상태를 나타내는 도면이다.
도 7은 종래의 Y 직동기구(110 및 120)를 나타내는 정면도이다.
1 is a plan view showing a component mounting apparatus in the present invention.
2 is a front view showing the Y linear motion mechanisms 30 and 40.
3 is a perspective view showing the Y linear motion mechanism 30.
4 is an exploded perspective view showing a rolling mechanism.
5 is a view showing a method of assembling a rolling mechanism.
6 is a view showing an assembled state of the Y linear motion mechanism 30.
7 is a front view illustrating the conventional Y linear motion mechanisms 110 and 120.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 기초하여 설명한다. 도 1은 본 발명에서의 부품실장장치를 나타내는 평면도이다. 도 1에 있어서, 상하방향이 Y방향(제 1 방향)이고, 좌우방향이 X방향(제 2 방향)이며, 지면 수직방향이 Z방향이다. 도면에서 부호 1은 부품실장장치이다. 상기 부품실장장치(1)는, 기기 베이스(10)의 상면에 X방향으로 연장되어 존재하는 한 쌍의 반송레일(11)을 구비한다. 상기 반송레일(11)은, 회로기판(5)의 양측 변(邊)부를 지지하며 도시가 생략된 반송용 모터에 의해 구동됨으로써 회로기판(5)을 X방향으로 반송한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described based on drawing. 1 is a plan view showing a component mounting apparatus in the present invention. 1, the up-down direction is the Y direction (first direction), the left-right direction is the X direction (second direction), and the paper vertical direction is the Z direction. In the drawing, reference numeral 1 denotes a component mounting apparatus. The component mounting apparatus 1 is provided with a pair of conveyance rails 11 extending in the X direction on the upper surface of the device base 10. The conveyance rail 11 conveys the circuit board 5 in the X direction by being driven by a conveying motor (not shown) supporting both side portions of the circuit board 5.

또, 부품실장장치(1)는 탑재헤드(12)를 구비한다. 상기 탑재헤드(12)는 X방향으로 연장되어 존재하는 이동 빔(13)에 장착되어 있다. 탑재헤드(12)는 도 2에 나타낸 바와 같이, 복수의 단위 탑재헤드(12a)를 구비한 멀티 타입의 탑재헤드로서, 각 단위 탑재헤드(12a)의 선단 하부에 설치된 흡착노즐(12b)에 의해 전자부품을 흡착유지한다. 또한, 도 1에 나타낸 바와 같이, 기기 베이스(10)의 X방향의 좌우단부에는, 각각 Y방향으로 연장되어 존재하는 프레임(14a 및 14b)이 설치되어 있다. 더욱이, 이들 프레임(14a 및 14b)에는, 프레임(14a 및 14b)을 따라 이동할 수 있는 Y 직동기구(30 및 40)가 설치되어 있다. 이들 Y 직동기구(30 및 40)는 이동 빔(13)의 양단을 유지하며, Y 직동기구(30 및 40)를 구동함으로써 이동 빔(13)을 Y 방향으로 이동시킨다.In addition, the component mounting apparatus 1 includes a mounting head 12. The mounting head 12 is mounted to a moving beam 13 which extends in the X direction. As shown in Fig. 2, the mounting head 12 is a multi-type mounting head having a plurality of unit mounting heads 12a, and is provided by a suction nozzle 12b provided at the lower end of each unit mounting head 12a. Absorb and hold electronic components. As shown in FIG. 1, the frames 14a and 14b extending in the Y direction are provided at the left and right ends of the device base 10 in the X direction, respectively. Further, these frames 14a and 14b are provided with Y linear motion mechanisms 30 and 40 that can move along the frames 14a and 14b. These Y linear motion mechanisms 30 and 40 hold both ends of the movable beam 13 and move the movable beam 13 in the Y direction by driving the Y linear motion mechanisms 30 and 40.

또, 이동 빔(13)은 해당 이동 빔(13)을 따라 이동할 수 있는 도시가 생략된 X 직동기구를 내장하고 있다. 그리고, 상기 X 직동기구에 의해 탑재헤드(12)를 유지하며, X 직동기구를 구동함으로써, 탑재헤드(12)를 X방향으로 이동시키게 되어 있다. 이와 같이, 탑재헤드(12)는, 기기 베이스(10) 상을 XY 방향으로 수평이동할 수 있게 구성되어 있다. 상기 부품실장장치(1)에는, 반송레일(11)의 Y방향 양측에, 테이프 피더 등에 의해 전자부품을 공급하는 부품공급장치(15)가 장착된다. 그리고, 부품공급장치(15)로부터 공급된 전자부품은, 탑재헤드(12)의 흡착노즐(12b)에 의해 진공흡착되어 회로기판(5)상에 실장되어 탑재된다.In addition, the moving beam 13 has a built-in X linear motion mechanism (not shown) capable of moving along the moving beam 13. The mounting head 12 is held by the X linear motion mechanism, and the mounting head 12 is moved in the X direction by driving the X linear motion mechanism. In this way, the mounting head 12 is configured to be able to move horizontally on the device base 10 in the XY direction. The component mounting apparatus 1 is equipped with a component supply apparatus 15 for supplying electronic components by a tape feeder or the like on both sides of the conveyance rail 11 in the Y direction. The electronic component supplied from the component supply device 15 is vacuum sucked by the suction nozzle 12b of the mounting head 12 and mounted on the circuit board 5.

또한, 부품실장장치(1)에는, 흡착되는 부품의 사이즈나 형상에 따라, 흡착노즐(12b)을 교환하기 위한 노즐교환기(16)가 설치되어 있다. 상기 노즐교환기(16) 내에는 복수 종류의 노즐이 보관, 관리되어 있다. 더욱이, 부품공급장치(15)와 회로기판(5)의 사이에는, CCD 카메라 등으로 이루어진 부품인식 카메라(21)를 배치한다. 상기 부품인식 카메라(21)는 흡착노즐의 중심위치와 흡착한 부품의 중심위치 간의 어긋남인 전자부품의 흡착위치 편차나, 흡착자세의 기울어짐을 나타내는 흡착각도 편차를 검출하기 위해, 흡착노즐로 흡착한 전자부품을 촬상(撮像)하는 것이다. 또, 탑재헤드(12)에는 CCD 카메라 등으로 이루어진 기판인식 카메라(22)가 설치되어 있다. 상기 기판인식 카메라(22)는 탑재헤드(12)와 일체로 이동하며, 도시가 생략된 회로기판(5)의 위치를 나타내는 마크를 인식하는 것이다.In addition, the component mounting apparatus 1 is provided with a nozzle exchanger 16 for replacing the suction nozzle 12b in accordance with the size and shape of the component to be sucked. In the nozzle exchanger 16, a plurality of types of nozzles are stored and managed. Furthermore, a component recognition camera 21 made of a CCD camera or the like is disposed between the component supply device 15 and the circuit board 5. The component recognition camera 21 is adsorbed with the adsorption nozzle to detect the adsorption position deviation of the electronic component, which is a deviation between the center position of the adsorption nozzle and the center position of the adsorption nozzle, or the adsorption angle variation indicating the inclination of the adsorption posture. It is to image an electronic component. In addition, the mounting head 12 is provided with a substrate recognition camera 22 made of a CCD camera or the like. The substrate recognition camera 22 moves integrally with the mounting head 12, and recognizes a mark indicating the position of the circuit board 5, not shown.

다음으로, Y 직동기구(30 및 40)의 구성에 대해 구체적으로 설명한다. Y 직동기구(30)는 도 2에 나타낸 바와 같이, 이동 빔(13)의 X방향 좌측단의 하면에 수평자세로 고정된 플레이트(31)를 구비한다. 플레이트(31)의 하면 중앙부에는 리니어 모터 가동자(32)가 장착되어 있으며, 프레임(14a)의 상면에는, 리니어 모터 가동자(32)와 대향 배치되도록 리니어 모터 고정자(33)가 장착되어 있다.Next, the structure of Y linear motion mechanism 30 and 40 is demonstrated concretely. As shown in FIG. 2, the Y linear motion mechanism 30 includes a plate 31 fixed in a horizontal posture on the lower surface of the left end of the moving beam 13 in the X direction. The linear motor mover 32 is attached to the center of the lower surface of the plate 31, and the linear motor stator 33 is attached to the upper surface of the frame 14a so as to face the linear motor mover 32. As shown in FIG.

또, 플레이트(31)의 하면에는, 리니어 모터 가동자(32)의 X방향 양측에, 각각 한 쌍의 베어링 가이드(34)가 복수 세트로 돌출 설치되어 있다. 이들 베어링 가이드(34)는 베어링(35)을 지지하는 것이다. 베어링(35)의 내륜은, 축선이 X방향과 일치된 베어링 샤프트(36)에 고정되어 있으며, 베어링 샤프트(36)의 양단은 베어링 가이드(34)에 고정되어 있다. 즉, 베어링(35)의 내륜이 X방향과 축선이 일치되어 이동 빔(13)의 X방향의 좌측단에 고정되고, 베어링(35)의 외륜이 회동가능한 구조로 되어 있다.Moreover, on the lower surface of the plate 31, a pair of bearing guides 34 protrude in a plurality of sets on both sides in the X direction of the linear motor mover 32, respectively. These bearing guides 34 support the bearing 35. The inner ring of the bearing 35 is fixed to the bearing shaft 36 whose axis line coincides with the X direction, and both ends of the bearing shaft 36 are fixed to the bearing guide 34. That is, the inner ring of the bearing 35 is aligned with the X direction and fixed to the left end of the moving beam 13 in the X direction, and the outer ring of the bearing 35 is rotatable.

이와 같이, 이동 빔(13)의 X방향의 좌측단을 Y방향으로 이동할 수 있게 유지하는 Y 직동기구(30)는, X방향과 축선이 일치되어 이동 빔(13)의 X방향의 좌측단에 회동가능하게 연결되는 롤링기구를 구비한다. 또, 한 쌍의 베어링 가이드(34)와, 베어링(35)과, 베어링 샤프트(36)로 롤링기구가 구성되어 있다. 본 실시형태에서는 도 3에 나타낸 바와 같이, 해당 롤링기구를 플레이트(31) 하면의 네 모서리에 설치한다.In this way, the Y linear motion mechanism 30 which keeps the left end of the moving beam 13 in the X direction so that it can move in the Y direction is aligned with the X direction and the left end of the moving beam 13 in the X direction of the moving beam 13. And a rolling mechanism that is rotatably connected. Moreover, the rolling mechanism is comprised by the pair of bearing guide 34, the bearing 35, and the bearing shaft 36. As shown in FIG. In this embodiment, as shown in FIG. 3, this rolling mechanism is provided in four corners of the lower surface of the plate 31. As shown in FIG.

도 4는 롤링기구를 나타내는 분해 사시도이다. 베어링(35)은 내륜(35a), 외륜(35b), 및 내륜(35a)과 외륜(35b)의 사이에 롤링(轉動)가능하게 장착된 도시되지 않은 복수의 롤링 엘리먼트(轉動體)를 구비한다. 롤링기구를 플레이트(31)에 조립설치할 때에는, 먼저 베어링 샤프트(36)를 베어링(35)의 내륜(35a)에 삽입하여 고정한다. 다음으로, 베어링 샤프트(36)의 양단을 각각 베어링 가이드(34)에 고정한다. 이로써, 베어링(35)의 내륜(35a)이 베어링 가이드(34)에 고정되고, 베어링(35)의 외륜(35b)이 회동가능한 구조가 된다. 이 상태에서 도 5에 나타낸 바와 같이, 베어링 샤프트(36)의 축선이 X방향과 일치하도록 베어링 가이드(34)의 상면을 플레이트(31)의 하면의 네 모서리에 고정한다.4 is an exploded perspective view showing a rolling mechanism. The bearing 35 has an inner ring 35a, an outer ring 35b, and a plurality of unillustrated rolling elements rotatably mounted between the inner ring 35a and the outer ring 35b. . When the rolling mechanism is assembled to the plate 31, the bearing shaft 36 is first inserted into the inner ring 35a of the bearing 35 and fixed. Next, both ends of the bearing shaft 36 are fixed to the bearing guides 34, respectively. Thereby, the inner ring 35a of the bearing 35 is fixed to the bearing guide 34, and the outer ring 35b of the bearing 35 is rotatable. In this state, as shown in FIG. 5, the upper surface of the bearing guide 34 is fixed to the four corners of the lower surface of the plate 31 so that the axis line of the bearing shaft 36 may coincide with the X direction.

Y 직동기구(30)는 도 6에 나타낸 바와 같이, 이동 프레임(30)의 X방향의 좌측단을 유지한 상태에서 프레임(14a) 상에 재치(載置)된다. 이때, 베어링(35)의 외륜(35b)의 외주면이 프레임(14a)의 상면에 맞닿는다. 여기서, 프레임(14a)의 외륜(35b)과의 맞닿음면은 평평한 면이며, 그 X방향의 폭은, 외륜(35b)의 폭보다 넓게 설정되어 있다. 즉, 이동 빔(13)의 X방향의 좌측단은, X방향으로 슬라이딩 가능하도록 프레임(14a) 상에 재치된 롤링기구에 의해 유지되어 있게 된다.As shown in FIG. 6, the Y linear motion mechanism 30 is mounted on the frame 14a in the state which hold | maintained the left end of the moving frame 30 in the X direction. At this time, the outer peripheral surface of the outer ring 35b of the bearing 35 abuts on the upper surface of the frame 14a. Here, the contact surface with the outer ring 35b of the frame 14a is a flat surface, and the width of the X direction is set wider than the width of the outer ring 35b. That is, the left end of the moving beam 13 in the X direction is held by the rolling mechanism placed on the frame 14a so as to be slidable in the X direction.

이러한 구성에 의해, Y 직동기구(30)의 리니어 모터(32,33)를 구동하였을 때, 베어링(35)의 외륜(35b)의 회전에 따라 이동 빔(13)의 X방향의 좌측단이 Y방향으로 이동가능하게 된다. Y 직동기구(30)의 구동시에는, 리니어 모터 가동자(32)와 리니어 모터 고정자(33)의 사이에 발생하는 흡인력과, 이동 빔(13)의 중량에 의해, 베어링(35)은 프레임(14a)의 상면에 밀어 붙여진 상태가 된다. 따라서, Y 직동기구(30)는 이동 빔(13)을 Y방향으로 안정적으로 이동시킬 수가 있다.With this configuration, when the linear motors 32 and 33 of the Y linear motion mechanism 30 are driven, the left end of the moving beam 13 in the X direction is Y in accordance with the rotation of the outer ring 35b of the bearing 35. Moveable in the direction. At the time of driving of the Y linear motion mechanism 30, the bearing 35 is framed by the suction force generated between the linear motor mover 32 and the linear motor stator 33 and the weight of the moving beam 13. It is in the state pushed against the upper surface of 14a). Accordingly, the Y linear motion mechanism 30 can stably move the moving beam 13 in the Y direction.

도 2로 되돌아가서, 이동 빔(13)의 X방향의 우측단을 Y방향으로 이동가능하도록 유지하는 Y 직동기구(40)는, 이동 빔(13)의 X방향의 우측단의 측면에 수직자세로 고정된 플레이트(41)를 구비한다. 플레이트(41)의 외측 측면의 중앙부에는 리니어 모터 가동자(42)가 장착되어 있으며, 프레임(14b)의 내측 측면에는, 리니어 모터 가동자(42)와 대향 배치되도록 리니어 모터 고정자(43)가 장착되어 있다.Returning to FIG. 2, the Y linear motion mechanism 40 which keeps the right end of the X direction of the movement beam 13 so that it can move to a Y direction is perpendicular to the side of the right end of the X direction of the movement beam 13 in the X direction. It has a plate 41 fixed with. The linear motor mover 42 is attached to the center of the outer side of the plate 41, and the linear motor stator 43 is mounted to the inner side of the frame 14b so as to face the linear motor mover 42. It is.

또, 플레이트(41)의 외측 측면에는, 상하방향(Z방향)으로 소정 간격을 두고 리니어 모터 가동자(42)를 끼우도록 2개의 슬라이더(44)가 설치되어 있다. 프레임(14b)의 내측측면에는 Y방향을 따라 연장되어 존재하는 2개의 가이드 레일(45)이 설치되어 있으며, 상기 가이드 레일(45)에 슬라이더(44)가 슬라이딩 가능하게 끼움결합되게 되어 있다. 이와 같이, 이동 빔(13)의 X방향의 우측단을 Y방향으로 이동가능하게 유지하는 Y 직동기구(40)는, 기기 베이스(10 ; 프레임(14b))에 고정되어 Y방향으로 연장되어 존재하는 가이드 레일(45)과, 이동 빔(13)의 X방향의 우측단에 고정된 가이드 레일(45)에 슬라이딩 가능하게 끼움결합되는 슬라이더(44)로 구성되는 가이드 기구를 구비한다.In addition, two sliders 44 are provided on the outer side surface of the plate 41 so as to sandwich the linear motor mover 42 at predetermined intervals in the vertical direction (Z direction). Two guide rails 45 extending along the Y-direction are provided on the inner side surface of the frame 14b, and the slider 44 is slidably fitted to the guide rails 45. In this way, the Y linear motion mechanism 40 which holds the right end of the moving beam 13 in the X direction so as to be movable in the Y direction is fixed to the device base 10 (frame 14b) and extends in the Y direction. And a guide mechanism composed of a guide rail 45 and a slider 44 slidably fitted to the guide rail 45 fixed to the right end in the X-direction of the moving beam 13.

이상과 같이, 이동 빔(13)의 X방향의 우측단은 슬라이더(44) 및 가이드 레일(45)로 구성되는 가이드 기구에 의해 Y방향으로 이동가능하게 가이드되며, 이동 빔(13)의 X방향의 좌측단은 롤링기구를 구성하는 베어링(35)의 외륜(35b)의 회전에 따라 Y방향으로 이동가능하게 된다. 따라서, Y 직동기구(30) 및 Y 직동기구(40)의 리니어 모터를 구동하면, 이동 빔(13)은 Y방향으로 원활히 이동한다. 또한, Y 직동기구(40)의 플레이트(41), 슬라이더(44) 및 가이드 레일(45)이 제 1 유지부에 대응하고, Y 직동기구(30)의 플레이트(31), 베어링 가이드(34), 베어링(35) 및 베어링 샤프트(36)가 제 2 유지부에 대응한다.As described above, the right end in the X direction of the moving beam 13 is guided to be movable in the Y direction by a guide mechanism composed of the slider 44 and the guide rail 45, and the X direction of the moving beam 13 is moved. The left end of the can be moved in the Y direction in accordance with the rotation of the outer ring 35b of the bearing 35 constituting the rolling mechanism. Therefore, when the linear motors of the Y linear motion mechanism 30 and the Y linear motion mechanism 40 are driven, the moving beam 13 moves smoothly in the Y direction. Moreover, the plate 41, the slider 44, and the guide rail 45 of the Y linear motion mechanism 40 correspond to the 1st holding part, and the plate 31 and bearing guide 34 of the Y linear motion mechanism 30 are also equivalent. , Bearing 35 and bearing shaft 36 correspond to the second retaining portion.

본 실시형태의 Y 직동기구(30 및 40)와 X 직동기구와 같이 리니어 모터를 이용한 직동기구는, 고속동작·고위치정밀도를 특징으로 하며, 리니어 모터는 탑재헤드(12) 및 이동 빔(13)을 높은 가속도로 기동 및 정지시키도록 구동된다. 이와 같은 구동을 고빈도로 수행하면, 리니어 모터의 가동자가 발열되어 그 열이 이동 빔(13)에 전달된다. 그러면, 이동 빔(13)의 온도가 상승하여, 이동 빔(13)이 X방향으로 신축하거나 휘는 열변형이 발생한다.The linear motion mechanism using the linear motor like the Y linear motion mechanism 30 and 40 and the X linear motion mechanism of this embodiment is characterized by high speed operation and high positional accuracy, and the linear motor includes the mounting head 12 and the moving beam 13. Is driven to start and stop with high acceleration. When such driving is performed at a high frequency, the mover of the linear motor generates heat, and its heat is transferred to the moving beam 13. Then, the temperature of the moving beam 13 rises, and thermal deformation occurs in which the moving beam 13 expands or contracts in the X direction.

리니어 모터를 이용한 Y 직동기구에 의해 이동 빔을 Y방향으로 구동할 경우, 이동 빔의 양단은 각각 슬라이더와 가이드 레일로 구성되는 가이드 기구에 의해 유지되는 것이 일반적이다. 그러나, 이동 빔의 양단을 가이드 기구에 의해 유지하는 구성에서는, 이동 빔의 X방향의 자유도가 없기 때문에, 상술한 바와 같이 리니어 모터의 발열에 의해 이동 빔이 X방향으로 신축하였을 경우, 가이드 기구에 커다란 휨 모멘트가 작용하여, 가이드 기구를 구성하는 부품의 수명저하를 초래한다. 또, 이동 빔에 열변형이 발생한 상태에서 전자부품의 실장처리를 수행하면, 부품탑재 정밀도가 악화된다.In the case where the moving beam is driven in the Y direction by the Y linear mechanism using the linear motor, both ends of the moving beam are generally held by guide mechanisms composed of sliders and guide rails, respectively. However, in the configuration in which both ends of the moving beam are held by the guide mechanism, since there is no degree of freedom in the X direction of the moving beam, when the moving beam expands and contracts in the X direction due to heat generation of the linear motor as described above, A large bending moment acts, resulting in a reduction in the life of the parts constituting the guide mechanism. In addition, if the electronic component mounting process is performed in a state where thermal deformation occurs in the moving beam, the component placement accuracy is deteriorated.

이에 대하여, 본 실시형태에서는 이동 빔(13)의 일단을 가이드 기구에 의해 유지하고, 타단을 X방향으로 슬라이딩 가능하도록 프레임(14a) 상에 재치된 롤링 기구에 의해 유지한다. 이로써, 이동 빔(13)에 X방향의 자유도를 부여할 수가 있다. 이 때문에, 직동기구를 구성하는 리니어 모터의 발열에 의해 이동 빔(13)에 열변형이 발생했을 경우에는, 롤링기구의 X방향으로의 슬라이딩에 의해, 이를 흡수할 수가 있다.In contrast, in this embodiment, one end of the moving beam 13 is held by the guide mechanism, and the other end is held by the rolling mechanism placed on the frame 14a so as to be slidable in the X direction. Thereby, the freedom degree of the X direction can be provided to the moving beam 13. For this reason, when heat deformation generate | occur | produces in the moving beam 13 by the heat_generation | fever of the linear motor which comprises a linear motion mechanism, it can absorb this by sliding to a X direction of a rolling mechanism.

예컨대, 열변형에 의해 이동 빔(13)이 X방향으로 늘어났을 경우에는, 베어링(35)이 프레임(14a) 위를 도 2에서의 좌방향으로 슬라이딩한다. 즉, Y 직동기구(30)의 구성부품 일체가, 이동 빔(13)이 늘어난 만큼 도 2에서의 좌(左)방향으로 슬라이딩한다. 반대로, 열변형에 의해 이동 빔(13)이 X방향으로 줄어들었을 경우에는, 베어링(35)이 프레임(14a) 위를 도 2에서의 우(右)방향으로 슬라이드한다. 즉, Y 직동기구(30)의 구성부품 일체가, 이동 빔(13)이 줄어든 만큼 도 2에서의 우방향으로 이동한다.For example, when the moving beam 13 extends in the X direction due to thermal deformation, the bearing 35 slides on the frame 14a in the left direction in FIG. That is, the component parts of the Y linear motion mechanism 30 slide in the left direction in FIG. 2 as the moving beam 13 is extended. In contrast, when the moving beam 13 is reduced in the X direction due to thermal deformation, the bearing 35 slides on the frame 14a in the right direction in FIG. That is, the component parts of the Y linear motion mechanism 30 move to the right direction in FIG. 2 as the moving beam 13 decreases.

따라서, 이동 빔(13)이 X방향으로 신축했을 때에는, 이동 빔(13)의 X방향의 좌측단을 유지하는 롤링기구나 이동 빔(13)의 X방향의 우측단을 유지하는 가이드 기구에 커다란 휨 모멘트가 작용하는 것을 억제할 수가 있다. 이 때문에, 해당 휨 모멘트가 작용함으로 인한 롤링기구 및 가이드기구의 구성부품의 수명저하를 방지할 수 있다. 그 결과, 양단을 가이드기구에 의해 유지하는 경우에 비해, 이동 빔(13)의 양단을 유지하는 유지부의 내구성을 대폭 향상시킬 수가 있다. 더욱이, 이동 빔(13)에 X방향의 자유도를 부여함으로써, 이동 빔(13)에 열로 인한 휨 변형이 생겨도 이것을 해소할 수 있으므로, 이동 빔(13)이 변형된 상태에서 부품실장처리를 수행하는 사태를 회피할 수 있어, 전자부품의 탑재 정밀도의 악화를 방지할 수가 있다.Therefore, when the moving beam 13 expands and contracts in the X direction, the rolling mechanism holding the left end of the moving beam 13 in the X direction and the guide mechanism holding the right end of the moving beam 13 in the X direction are large. The action of the bending moment can be suppressed. For this reason, the lifetime deterioration of the components of a rolling mechanism and a guide mechanism by acting the said bending moment can be prevented. As a result, as compared with the case where both ends are held by the guide mechanism, the durability of the holding part holding both ends of the moving beam 13 can be significantly improved. Furthermore, by giving the moving beam 13 a degree of freedom in the X direction, even if a bending deformation due to heat occurs in the moving beam 13, it can be eliminated, so that the component mounting process is performed in the state where the moving beam 13 is deformed. A situation can be avoided and the deterioration of the mounting precision of an electronic component can be prevented.

또한, 롤링기구를, 내륜(35a)이 X방향과 축선이 일치되어 이동 빔(13) 단부에 고정되고, 외륜(35b)이 회동가능한 베어링(35)에 의해 구성하여, 베어링(35)을 X방향으로 슬라이딩 가능하도록 프레임(14a) 상에 재치하므로, 비교적 간이한 구성으로 이동 빔(13)에 X방향의 자유도를 부여할 수가 있다. 더욱이, 이동 빔(13)의 한쪽 단부는 슬라이더와 가이드 레일로 구성되는 가이드 기구에 의해 구속되어 유지되므로, 이동 빔(13)의 열변형에 따른 X방향의 변위를, 이동 빔(13)의 다른 쪽 단부를 유지하는 롤링기구에 의해 적절히 흡수할 수가 있다. 또, 가이드 기구를 구성하는 가이드 레일을, Y방향과 평행하며 또한 X방향에 수직인 평면 내에서 Y방향으로 연장되어 존재하도록 하므로, Y방향의 휨 모멘트에 대한 내구성을 향상시킬 수가 있다. 이 때문에, 가이드기구를 구성하는 부품의 수명을 연장시킬 수가 있다.Further, the rolling mechanism is constituted by a bearing 35 in which the inner ring 35a coincides with the X direction and is fixed to the end of the moving beam 13, and the outer ring 35b is rotatable, whereby the bearing 35 is X. Since it is mounted on the frame 14a so as to be slid in the direction, it is possible to give the moving beam 13 a degree of freedom in the X direction with a relatively simple configuration. Furthermore, since one end of the moving beam 13 is held constrained by the guide mechanism composed of the slider and the guide rail, the displacement in the X direction according to the thermal deformation of the moving beam 13 is changed to the other of the moving beam 13. It can absorb suitably by the rolling mechanism which hold | maintains the edge part. In addition, since the guide rail constituting the guide mechanism extends in the Y direction in a plane parallel to the Y direction and perpendicular to the X direction, durability against the bending moment in the Y direction can be improved. For this reason, the lifetime of the parts which comprise a guide mechanism can be extended.

(변형예)(Variation)

또한, 상기 실시형태에서는 베어링(35)을 이용한 롤링기구를 채용하는 경우에 대해 설명하였으나, 원통롤러를 이용한 롤링기구를 채용하는 것도 가능하다. 이 경우, 베어링(35) 및 베어링 샤프트(36) 대신에 원통롤러를 이용하여, 축선이 X방향과 일치된 원통롤러를 베어링 가이드(34)에 회전가능하게 연결하도록 하면 된다. 또, 상기 실시형태에서는 이동 빔(13)의 양단부에 리니어 모터를 배치하는 경우에 대해 설명하였으나, 어느 한쪽에만 배치하는 구성이어도 무방하다.Moreover, in the said embodiment, although the case where the rolling mechanism using the bearing 35 was employ | adopted, the rolling mechanism using a cylindrical roller can also be employ | adopted. In this case, instead of the bearing 35 and the bearing shaft 36, a cylindrical roller may be used to rotatably connect the cylindrical roller whose axis coincides with the X direction to the bearing guide 34. Moreover, in the said embodiment, although the case where the linear motor is arrange | positioned at the both ends of the moving beam 13 was demonstrated, the structure arrange | positioned only in either one may be sufficient.

1 : 부품실장장치
5 : 회로기판
11 : 반송레일
12 : 탑재헤드
12a : 단위 탑재헤드
12b : 흡착노즐
13 : 이동 빔
14a,14b : 프레임
15 : 부품공급장치
16 : 노즐 교환기
21 : 부품인식 카메라
22 : 기판인식 카메라
30 : Y 직동기구
31 : 플레이트
32 : 리니어 모터 가동자
33 : 리니어 모터 고정자
34 : 베어링 가이드
35 : 베어링
36 : 베어링 샤프트
40 : Y 직동기구
41 : 플레이트
42 : 리니어 모터 가동자
43 : 리니어 모터 고정자
44 : 슬라이더
45 : 가이드 레일
1: Component mounting device
5: Circuit Board
11: return rail
12: mounting head
12a: unit mounting head
12b: adsorption nozzle
13: moving beam
14a, 14b: frame
15: parts supply device
16: nozzle changer
21: parts recognition camera
22: substrate recognition camera
30: Y linear mechanism
31: Plate
32: linear motor mover
33: linear motor stator
34: bearing guide
35: bearing
36: bearing shaft
40: Y linear mechanism
41: plate
42: linear motor mover
43: Linear Motor Stator
44: slider
45: guide rail

Claims (4)

부품공급장치로부터 공급된 부품을 흡착하여, 기판의 소정 위치에 장착하는 흡착노즐을 구비한 탑재헤드와,
상기 탑재헤드가 장착되어 기기 베이스 상을 제 1 방향으로 이동할 수 있게 되어 있으며, 상기 제 1 방향과 직교하는 제 2 방향으로 연장되어 존재하는 이동 빔과,
상기 이동 빔을 상기 제 1 방향으로 이동시키는 리니어 모터와,
상기 이동 빔의 일단을, 상기 기기 베이스에 대해 상기 제 1 방향으로 이동가능하도록 유지하는 제 1 유지부와,
상기 이동 빔의 타단을, 상기 기기 베이스에 대해 상기 제 1 방향으로 이동가능하도록 유지하는 제 2 유지부
를 구비한 부품실장장치로서,
상기 제 1 유지부는, 상기 기기 베이스에 고정되어 상기 제 1 방향으로 연장되어 존재하는 가이드 레일과, 상기 이동 빔의 일단에 고정되어 상기 가이드 레일에 슬라이딩 가능하도록 끼움결합되는 슬라이더를 구비하는 가이드 기구에 의해 구성되며,
상기 제 2 유지부는, 상기 제 2 방향과 축선이 일치되어 상기 이동 빔의 타단에 회동가능하게 연결되는 동시에, 상기 제 2 방향으로 슬라이딩 가능하도록 상기 기기 베이스 상에 재치되는 롤링기구에 의해 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 부품실장장치.
A mounting head having a suction nozzle for absorbing a component supplied from the component supply device and mounting the component at a predetermined position on the substrate;
The mounting head is mounted to move on the device base in a first direction, the movable beam extending in a second direction orthogonal to the first direction;
A linear motor for moving the moving beam in the first direction;
A first holding part for holding one end of the moving beam to be movable in the first direction with respect to the device base;
A second holding part for holding the other end of the moving beam to be movable in the first direction with respect to the device base;
A component mounting apparatus having a
The first holding part includes a guide rail fixed to the device base and extending in the first direction, and having a slider fixed to one end of the moving beam and slidably fitted to the guide rail. Is composed by
The second holding part is constituted by a rolling mechanism mounted on the device base so as to be axially connected to the other end of the moving beam in coincidence with the second direction and to be slidable in the second direction. Component mounting apparatus, characterized in that.
제 1항에 있어서,
상기 롤링기구는, 내륜이 상기 제 2 방향과 축선이 일치되어 상기 이동 빔의 타단에 고정되고, 외륜이 회동가능한 롤링 베어링에 의해 구성되는 것을 특징으로 하는 부품실장장치.
The method of claim 1,
The rolling mechanism is a component mounting apparatus characterized in that the inner ring is fixed to the other end of the moving beam with the axis coinciding with the second direction, and the outer ring is constituted by a rolling bearing which is rotatable.
제 1항에 있어서,
상기 롤링기구는, 상기 제 2 방향과 축선이 일치되어 상기 이동 빔의 타단에 회동가능하게 연결된 원통롤러에 의해 구성되는 것을 특징으로 하는 부품실장장치.
The method of claim 1,
And said rolling mechanism is constituted by a cylindrical roller which is axially aligned with said second direction and rotatably connected to the other end of said moving beam.
제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 가이드 레일은, 상기 제 1 방향에 평행하며 또한 상기 제 2 방향에 수직인 평면 내에서, 상기 제 1 방향으로 연장되어 존재하고 있는 것을 특징으로 하는 부품실장장치.
4. The method according to any one of claims 1 to 3,
And the guide rail extends in the first direction in a plane parallel to the first direction and perpendicular to the second direction.
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