KR101322311B1 - 기판 이재 로봇 - Google Patents

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KR101322311B1
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이소천
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Abstract

본 발명은 수평회전 및 상하이동이 가능한 다수의 팔을 구비하여 다수의 기판을 단시간에 효율적으로 이재하는 기판 이재 로봇에 관한 것으로, 본 발명은 주축; 각기 상기 주축에 연결되어 독립적으로 수평회전과 상하이동을 하는 복수의 암; 상기 복수의 암의 말단에 형성되며 기판을 안착하는 핸드부; 및 상기 복수의 암의 수평회전과 상하이동을 제어하는 제어부에 의해 달성된다.

Description

기판 이재 로봇{A ROBOT FOR TRANSFER OF GLASS}
도 1은 일반적인 기판 이재 로봇을 나타낸 사시도.
도 2는 일반적인 기판 이재 로봇이 작업하는 모습을 나타낸 평면도.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 이재 로봇을 나타낸 사시도.
도 4는 도 3의 기판 이재 로봇이 기판 이재 작업을 하는 모습을 나타낸 평면도.
***도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명***
201 : 주축
202 : 암
203 : 핸드부
202a, 202b : 제 1, 제 2 부분암
202c, 202d, 202e : 제 1, 제 2, 제 3 관절
309, 310 : 제 1, 제 2 공정 장비
311, 312 : 제 1, 제 2 카세트
본 발명은 기판 이재 로봇에 관한 것으로, 보다 상세하게는 다수개의 기판을 단시간에 효율적으로 이재할 수 있는 기판 이재 로봇에 관한 것이다.
일반적으로 액정표시장치(Liquid Crystal Display)는 화면을 표시하는 액정패널과, 상기 액정패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분된다.
상기 액정패널은 상부기판인 컬러필터(color filter)기판과, 하부기판인 박막트랜지스터 어레이(Thin film Transistor Array)기판과, 이들 기판 사이에 주입된 액정층으로 구성된다.
상기 박막트랜지스터 어레이 기판은 일정하게 이격되어 횡으로 배열되는 게이트라인들과, 일정하게 이격되어 종으로 배열되는 데이터라인들이 서로 교차하고, 게이트 라인들과 데이터라인들이 교차하여 구획되는 영역에 화소들이 형성된다.
상기 화소들에는 스위칭소자가 개별적으로 구비되어, 게이트라인 및 데이터라인들과 전기적으로 연결된다.
그리고, 상기 컬러필터 기판에는 컬러 색상을 표형하기 위한 R,G,B 컬러필터층이 형성되며, 상기 박막 트랜지스터 어레이 기판과 컬러필터 기판에는 화소전극과 공통전극이 형성된다.
이와 같은 구성으로 이루어진 액정표시장치의 제조공정은 어레이 제조공정, 셀 제조공정 및 모듈공정의 세 가지 공정으로 크게 나뉜다.
어레이 제조공정은 기판에 박막트랜지스터 어레이를 제조하는 공정과 기판 에 컬러필터를 제조하는 공정으로 나뉜다.
박막트랜지스터 어레이 기판 제조공정은 모 기판 상에 신호라인과 박막트랜 지스터 및 화소전극을 형성하는 공정이며, 컬러필터 제조공정은 모 기판 상에 컬러필터층과 공통전극을 형성하는 공정이다.
셀 공정은 박막트랜지스터 어레이 기판과 컬러필터 기판을 합착하고, 그 사이에 액정을 주입하여 액정표시장치 셀을 제조하는 공정이다.
또한, 모듈 공정은 액정패널과 신호처리 회로부를 연결하는 공정이다.
상기 단위 공정들은 단위 공정마다 다수 개의 공정 장비를 이용하는데, 각 공정 장비 간의 기판 이재 또는 공정 장비와 카세트 간의 기판 이재에 있어서 기판 이재 로봇을 이용한다.
이러한 일반적인 기판 이재 로봇에 대해 도 1을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 1은 일반적인 기판 이재 로봇을 나타낸 사시도이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 일반적인 기판 이재 로봇은 베이스부(105) 및 주축(101), 암(102), 핸드부(103)를 포함하여 구성된다.
상기 베이스부(105) 상부에는 기둥형태의 주축(101)이 구비되어 있다.
상기 암(102)의 일 끝단은 주축(101)에 연결되고, 타 끝단에는 핸드부(103)가 연결되며, 상기 암(102)은 서로 연결된 복수 개의 부분암(102a, 102b)으로 구성되어 있다.
상기 주축(101)과 암(102)의 일 끝단이 연결된 부분은 제 1 관절부(102c)가 형성되는데, 이는 주축(101)을 중심으로 암(102)의 수평회전 및 상하이동을 가능하도록 한다.
또한, 상기 부분암(102a, 102b)들이 서로 연결된 부분에는 제 2 관절부(102d)가 형성되는데, 이는 암(102)의 수평이동이 가능하도록 한다.
상기 암(102)의 끝단과 핸드부(103)가 체결된 부분에는 제 3 관절부(102e)가 형성되며, 이는 암(102)의 수평이동이 가능하도록 한다.
상기 수평이동은 도 1에 도시된 X축과 Y축이 형성하는 가상 평면상의 이동이며, 상하이동은 도 1에 도시된 양의 Z축과 음의 Z축 방향으로의 이동이다.
상기 구성으로 이루어진 기판 이재 로봇이 두 공정 장비(109, 110)와 두 카세트(111, 112) 내에서 이루어지는 작업공정에 대해 도 2를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 2는 일반적인 기판 이재 로봇이 작업하는 모습을 나타낸 평면도로서, 이는 상기 기판 이재 로봇이 복수 개의 공정장비들과 카세트들 사이에서 기판을 이재하는 모습을 도시한 것이며, 상세하게는 두 개의 공정 장비와 두 개의 카세트 사이에서 작업을 수행하고 있는 기판 이재 로봇을 도시한 것이다.
제 1 카세트(111)는 제 1 공정 장비(109)와 제 2 공정 장비(110) 내에서의 공정이 이루어지기 전의 기판이 적재되어있으며, 제 2 카세트(112)는 제 1 공정 장비(109)와 제 2 공정 장비(110) 내에서의 공정이 끝난 기판이 적재된다.
도 2를 참조하면, 상기 기판 이재 로봇은 제 1 카세트(111)에 안착 되어있는 기판을 취출하여 제 1 공정 장비(109) 내에 안착한다. 이로써 기판에 대한 제 1 공정이 이루어진다.
이어서, 제 1 공정 후에 기판 이재 로봇은 제 1 공정 장비(109) 내의 기판을 취출하여 제 2 공정 장비(110) 내에 안착하며 이로써 기판에 대한 제 2 공정이 이루어진다.
그 다음, 제 2 공정 이후에 기판 이재 로봇은 제 2 공정 장비(110) 내의 기판을 취출하여 제 2 카세트(112) 내부에 안착한다.
상기와 같은 작업 순서 외에 제 1 공정 장비(109)나 제 2 공정 장비(110) 내에서 공정을 이루고 있어서 기판 이재 로봇의 작업이 이루어지지 않는 공백 시간을 이용하여 기판을 이재하는 방법이 있는데, 예를 들어 제 2 공정이 진행되는 시간 동안에 제 1 카세트(111) 내부에 있는 기판을 취출하여 제 1 공정 장비(109) 내로 안착하여 시간을 절약하는 방법이 있다.
그러나, 상기의 기판 이재 로봇은 각 공정 장비와 카세트 사이를 이동하는데 있어서 매번 회전해야 하므로 기판 이재에 긴 작업 시간이 요구되며 이에 따라 작업 능률이 낮은 단점이 있다.
이는 액정표시장치 공정 전반의 작업 시간이 지연되어 액정표시장치의 생산성이 낮아지는 문제점을 야기한다.
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 고안한 것으로서, 본 발명의 목적은 독립적 회전 이동 및 동시적 상하이동이 가능한 다수의 암을 구비하여 효율적인 기판 이재를 달성할 수 있는 기판 이재 로봇을 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 이재 로봇은 주축; 각각이 제1 관절부를 통해 상기 주축에 연결되고, 각각의 상기 제1 관절부의 수평회전 및 상하이동을 통해 상기 주축을 중심으로 수평회전과 상하이동을 하는 복수의 암; 상기 복수의 암의 말단에 형성되며 기판을 취출하거나 안착하는 핸드부; 및 상기 복수의 암의 수평회전과 상하이동을 제어하는 제어부를 포함하고, 각각의 상기 제1 관절부는 상기 주축을 중심으로 동시에 한번 수평회전한 후, 상기 주축을 중심으로 동시에 상하이동하는 동작을 반복적으로 수행하여 상기 복수의 암 각각을 순차적으로 상기 기판을 취출하거나 안착할 수 있는 높이로 조정하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 주축의 하부에는 주축을 지지하는 베이스부가 더 형성된 것을 특징으로 한다.
상기 복수의 암은 각기 주축의 다른 높이에 연결되어 있는 것을 특징으로 한다.
삭제
상기 제 1 관절부는 타 암에 형성된 제 1 관절부와는 독립적으로 수평회전을 하는 것을 특징으로 한다.
상기 암들은 서로 연결된 복수 개의 부분암을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 부분암들이 서로 연결된 부분에는 제 2 관절부가 형성되어 부분암의 수평회전을 제공하는 것을 특징으로 한다.
상기 핸드부와 암이 연결된 부분에는 제 3 관절부가 형성되어 핸드부의 수평회전을 제공하는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 기판 이재 로봇의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 이재 로봇을 나타낸 사시도이다.
도 3에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 이재 로봇은 주축(201); 각기 상기 주축(201)에 연결되어 독립적으로 수평회전과 상하이동을 하는 복수의 암(202); 상기 복수의 암(202)의 말단에 형성되며 기판(206)을 안착하는 핸드부(203); 및 상기 복수의 암(202)의 수평회전과 상하이동을 제어하는 제어부(204)를 포함하여 구성된다.
상기 주축(201)은 베이스부(205)의 상부에 구비되며, 베이스부(205)의 최하단에서 주축(201)의 상부 끝단까지의 높이는 공정 장비 내의 기판 안착 스테이지와 다수의 기판을 적재하는 카세트 내의 기판 적재 공간의 높이와 같거나 상기 높이보다 높은 것이 바람직하다.
상기 베이스부(205)는 암(202)이 연결된 주축(201)을 지지하는 역할을 한다.
상기 베이스부(205) 내부에는 기판 이재 로봇을 작동하기 위하여 구동 모터나 벨트, 기어 등과 같은 구동력 공급을 위한 수단들을 설치할 수도 있다.
상기 암(202)의 일 끝단은 주축(201)에 연결되며, 각 암(202)은 서로 다른 높이에 위치한다.
또한, 각 암(202) 간의 충돌을 방지하기 위하여 각 암(202)이 상하로 일정간격 이격되어 형성되는 것이 바람직하다.
상기 암(202)과 주축(201)이 연결된 부분에는 제 1 관절부(202c)가 형성되며, 제 1 관절부(202c)는 주축(201)을 기준으로 하여 수평회전 및 상하이동이 가능 하다. 제 1 관절부(202c)의 수평회전과 상하이동은 암(202)의 수평이동과 상하이동을 의미한다.
여기서, 수평회전은 도 3에 도시된 X축과 Y축이 형성하는 가상 평면상의 회전이며, 상하이동은 Z축의 양의 방향과 Z축의 음의 방향으로의 이동이다.
상기 제 1 관절부(202c)의 수평회전은 공정장비(도 4의 309, 310 참조) 또는 카세트(도 4의 311, 312 참조)에서의 작업을 마친 후에 팔은 접은 채 회전하여 다른 공정장비나 카세트로 이동하는 작업에 이용된다.
또한, 상기 제 1 관절부(202c)는 하기의 제 2 관절부(202d)와 동시에 수평이동함으로써, 공정 장비나 카세트 내부로 핸드부(203)를 투입하거나 공정 장비나 카세트 내부로부터 핸드부(203)를 빼내기 위한 작업, 즉 암(202)을 접고 펴는 동작에 사용된다.
상기 제 1 관절부(202c)의 상하이동은 공정장비 또는 카세트 내부에 기판(206)을 취출할 위치 또는 기판(206)을 안착할 위치에 핸드부(203)의 높이를 맞추기 위해 사용된다. 이때 주축(201)에 연결된 암(202)들은 같이 상하 이동을 한다.
상기 암(202)은 서로 연결된 복수 개의 부분암(202a, 202b)을 포함하여 구성된다.
도 3에는 제 1 부분암(202a)과 제 2 부분암(202b)으로 구성된 암(202)을 도시하였다.
본 발명의 바람직한 실시예를 설명함에 있어서 각 암(202)이 두 개의 부분암 으로 구성된 것을 그 예로 하였지만, 부분암의 수가 이에 한정되는 것은 아니다.
상기 부분암(202a, 202b)들이 서로 연결된 부분에는 제 2 관절부(202d)가 형성되며, 제 2 관절부(202d)는 수평회전이 가능하고, 제 2 관절부(202d)의 수평이동은 부분암(202a, 202b)의 수평이동을 의미한다. 여기서, 수평회전은 도 3에 도시된 X축과 Y축이 형성하는 가상 평면상의 회전이다.
상기 제 1 관절부(202c)와 제 2 관절부(202d)의 수평회전은 암(202)의 접고 펴는 동작에 사용된다. 암(202)의 접고 펴는 동작은 핸드부(203)가 공정 장비나 카세트 내부로 용이하게 접근하도록 한다.
또한, 주축(201)을 중심으로 제 1 관절부(202c)의 수평회전을 통해 암(202)이 회전할 때에는 암(202)을 접어서 주위에 구비된 공정장비 또는 카세트와의 충돌을 방지한다.
상기 핸드부(203)는 암(202)의 말단에 형성되며, 기판(206)의 이재 작업시에 핸드부(203)의 상부에 기판(206)을 안착하는 역할을 한다.
상기 핸드부(203)는 기판(206)과의 접촉을 최대한 줄이면서 기판(206)을 안정적으로 안착하여 이재할 수 있는 형태라면 어느 형태든 가능하다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에서는 상기 핸드부(203)가 제 2 부분암(202b)의 말단에 연결되며, 기판(206)을 안착하기 위한 막대 형상의 받침이 두 개 형성된 것을 그 예로 한다.
핸드부(203)와 암(202)이 연결되는 부분에는 제 3 관절(202e)이 형성되며, 제 3 관절(202e)은 수평회전이 가능하며 이는 핸드부(203)가 수평회전하도록 한다. 여기서, 수평회전은 도 3의 X축과 Y축이 형성하는 가상 평면상의 회전이다.
상기 제 3 관절(202e)은 수평회전을 통해 핸드부(203)의 미세한 이동을 제공한다.
또한, 상기 암(202)이 공정 장비 또는 카세트에서의 작업 후 다른 공정 장비 또는 카세트로 이동하기 위하여 회전할 때 핸드부(203)를 주축(201) 방향으로 접어서 공정 장비 또는 카세트와의 충돌을 방지하는 역할을 한다.
상기 제어부(204)는 상기 암(202)의 수평회전과 상하이동을 제어하며, 더욱 상세하게는 제 1 관절(202c) 내지 제 3 관절(202e)의 동작을 제어한다. 즉, 상기 제어부(204)는 해당 공정에 사용되는 공정 장비와 카세트의 내부 형태 또는 상기 공정 장비와 카세트가 기판 이재 로봇을 중심으로 하여 배치된 형태에 따라 달라지는 제 1 관절(202c) 내지 제 3 관절(202e)의 이동을 제어한다.
상기 제어부(204)는 베이스부(205) 내부 또는 베이스부(205) 외부에 설치될 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예에서는 제어부(204)를 베이스부(205)의 내부에 설치한 것을 그 예로 하였지만, 상기 제어부(204)의 설치 위치는 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 적절히 변경 가능하다.
상기 구성으로 이루어지는 기판 이재 로봇이 공정장비와 카세트 사이에서 이루어지는 작업 공정에 대해 도 4를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 4는 도 3의 기판 이재 로봇이 기판 이재 작업을 하는 모습을 나타낸 평면도로서, 이는 상기 기판 이재 로봇이 복수 개의 공정장비들(309, 310)과 카세트 들(311, 312) 사이에서 기판(206)을 이재하는 모습을 도시한 것이다.
상세하게는, 두 개의 공정 장비(309, 310)와 두 개의 카세트(311, 312) 사이에서 작업을 수행하고 있는 기판 이재 로봇을 도시한 것이다.
도 4를 참조하면, 제 1 카세트(311)는 제 1 공정 장비(309)와 제 2 공정 장비(310) 내에서의 공정이 이루어지기 전의 기판이 적재되어 있으며, 제 2 카세트(312)는 제 1 공정 장비(309)와 제 2 공정 장비(310) 내에서의 공정이 완료된 기판이 적재된다.
설명의 편의상 도 4의 상부에 위치한 암을 제 1 암(306)이라 정의하고, 시계 방향으로 제 2 암(307) 그리고 제 3 암(308)으로 정의한다.
도 4를 참조하면, 공정의 시작 시점에는 제 1 공정 장비(309)와 제 2 공정 장비(310) 내부에서 이루어지는 제 1 및 제 2 공정을 거치기 전의 기판이 제 1 카세트(311) 내부에 적재되어 있으며, 제 2 카세트(312)의 내부는 비어 있다.
제 1 암(306)이 제 1 카세트(311)로 수평회전한 후에, 제 1 암(306)을 기준으로 제 1 카세트(311) 내부에 취출할 기판이 있는 높이에 맞도록 제 1 암(306) 내지 제 3 암(308)이 동시에 같이 상하이동한 뒤 제 1 암(306)을 뻗어 기판을 취출한 후 제 1 암(306)을 접는다.
이 후 제 1 암(306)과 제 2 암(307)이 회전하여 각각 제 1 공정 장비(309)와 제 1 카세트(311)로 이동한다.
이 다음, 제 1 암(306)을 기준으로 제 1 공정 장비(309) 내에 기판을 안착해야하는 높이에 맞도록 제 1 암(306) 내지 제 3 암(308)이 한번에 같이 상하 이동을 한 뒤 제 1 암(306)을 뻗어 제 1 공정 장비(309) 내에 기판을 안착하고 암을 다시 접는다.
그 다음, 제 2 암(307)을 기준으로 제 1 카세트(311) 내부에 취출할 기판이 있는 높이로 제 1 암(306)내지 제 3 암(308)이 동시에 같이 상하 이동을 한 뒤 제 2 암(307)을 뻗어 제 1 카세트(311) 내부의 기판을 취출한 뒤 암을 접는다.
일정시간 후 제 1 공정이 끝나면, 제 1 암(306)을 기준으로 제 1 공정 장비(309) 내에서의 공정이 끝난 기판을 취출해야하는 높이에 맞도록 제 1 암(306) 내지 제 3 암(308)이 한번에 같이 상하 이동을 한 뒤 제 1 암(306)을 뻗어 제 1 공정 장비(309) 내의 기판을 취출하고 암을 다시 접는다.
여기서, 각 암이 동시에 상하 이동을 하는 기준이 되는 암은 제 1 암(306), 제 2 암(307)의 순서이며, 이 후에 공정이 끝난 기판을 취출할 때에는 제 1 암(306)을 기준으로 한다.
따라서, 각 암(306, 307, 308)이 동시에 한번 회전하여 각자의 작업 위치로 이동한 뒤에 기준 암의 작업 높이에 맞추어 상하이동하여 기판을 취출 또는 안착함으로써 작업 시간이 단축되는 효과가 있음을 알 수 있다.
이 후, 제 1 암(306) 내지 제 3 암(308)은 회전하여 제 2 공정 장비(310) 및 제 1 공정 장비(309), 제 1 카세트(311)로 이동한다.
이 다음, 제 1 암(306)을 기준으로 제 2 공정 장비(310) 내에 기판을 안착해야 할 높이에 맞도록 제 1 암(306) 내지 제 3 암(308)이 동시에 같이 상하 이동을 한 뒤 제 1 암(306)을 뻗어 제 2 공정 장비(310) 내에 기판을 안착하고 암을 다시 접는다.
그 다음, 제 2 암(307)을 기준으로 제 1 공정 장비(309) 내에 기판을 안착해야 할 높이에 맞도록 제 1 암(306) 내지 제 3 암(308)이 동시에 같이 상하 이동을 한 뒤 제 2 암(307)을 뻗어 제 1 공정 장비(309) 내에 기판을 안착하고 제 2 암(307)을 다시 접는다.
그 다음, 제 3 암(308)을 기준으로 제 1 카세트(311) 내부에 취출해야 할 기판이 있는 높이에 맞도록 제 1 암(306) 내지 제 3 암(308)이 동시에 같이 상하 이동을 한 뒤 제 3 암(308)을 뻗어 제 1 카세트(311) 내의 기판을 취출한 뒤 제 3 암(308)을 접는다.
일정 시간 후 제 1 공정 및 제 2 공정이 끝나면, 제 1 암(306)을 기준으로 제 2 공정 장비(310) 내에서의 공정이 끝난 기판을 취출해야하는 높이에 맞도록 제 1 암(306) 내지 제 3 암(308)이 한번에 같이 상하 이동을 한 뒤 제 1 암(306)을 뻗어 제 2 공정 장비(310) 내의 기판을 취출하고 암을 다시 접는다.
그 다음, 제 2 암(307)을 기준으로 제 1 공정 장비(309) 내에서의 공정이 끝난 기판을 취출해야하는 높이에 맞도록 제 1 암(306) 내지 제 3 암(308)이 한번에 같이 상하 이동을 한 뒤 제 2 암(307)을 뻗어 제 1 공정 장비(309) 내의 기판을 취출하고 암을 다시 접는다.
여기서, 각 암이 동시에 상하 이동을 하는 기준이 되는 암은 제 1 암(306), 제 2 암(307), 제 3 암(308)이며, 공정이 끝난 기판을 취출하는 순서는 제 1 암(306), 제 2 암(307)의 순서이다.
따라서, 각 암(306, 307, 308)이 동시에 한번 회전하여 각자의 작업 위치로 이동한 뒤에 기준 암의 작업 높이에 맞추어 상하이동하여 기판을 취출 또는 안착함으로써 작업 시간이 단축되는 효과가 있음을 알 수 있다.
이 후, 제 1 암(306) 내지 제 3 암(308)은 회전하여 제 2 카세트(312) 및 제 2 공정 장비(310), 제 1 공정 장비(309)로 이동하여 기판을 취출 또는 안착하는 과정을 상기와 같이 반복한다.
상기와 같이 모든 암(306, 307, 308)이 동시에 한 번 회전한 후 기준암에 대하여 높이를 순차적으로 조절하면서 기판을 취출 또는 안착하는 작업을 하나의 사이클로 봤을 때, 하나의 사이클마다 암의 개수와 같은 수에 해당하는 기판을 취출 또는 안착할 수 있다.
따라서, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이재 로봇을 이용하여 기판 이재 작업을 하면 단시간 내에 많은 기판을 이재 할 수 있다.
상기 기판 이재 로봇은 상기와 같은 사이클을 계속 반복하며 기판을 취출하고 안착하며, 제 1 카세트(311)의 모든 기판이 제 1 공정 및 제 2 공정을 거친 후 제 2 카세트(312)로 이동되었을 때, 제 1 카세트(311)와 제 2 카세트(312)를 다른 것으로 교환하여 다시 기판 이재 작업을 수행한다.
상기에서와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 이재 로봇을 이용한 기판 이재 작업은 각 암(306, 307, 308)이 동시에 한 번 회전함으로써 각 암(306, 307, 308)이 각자가 작업을 수행해야 하는 작업 공정 장비(309, 310)나 카세트(311, 312)로 이동하게 된다.
이 후에는 모든 암(306, 307, 308)이 동시에 같이 상하 이동하는 동작을 수 번 실행함으로써 기판을 하나씩 취출 또는 안착 작업을 수행하게 되는데, 모든 암(306, 307, 308)이 기판 취출 또는 안착 작업을 차례로 수행할 수 있도록 높이 이동의 기준이 되는 암은 하나씩 순차적으로 변경된다.
즉, 기준이 되는 암이 기판을 취출 또는 안착을 해야하는 높이로 이동할 수 있도록 모든 암(306, 307, 308)이 같이 상하이동을 한 후에 기준이 되는 암이 기판 취출 또는 안착을 수행하는 이 작업을, 기준 암을 순차적으로 변경하면서 한 사이클마다 반복적으로 수행한다.
상기 암들(306, 307, 308)이 동시에 높이를 변경하는 기준이 되는 암의 순서는 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함에 있어서는 제 1 암(306)에서 제 2 암(307), 제 3 암(308)의 순서로 하였으며, 일정 시간 후 공정이 끝난 기판을 취출하는 작업에서 기준이 되는 암의 순서도 제 1 암(306)에서 제 2 암(307), 제 3 암(308)의 순서로 하였다.
하지만, 암들이 동시에 높이를 변경하는 기준이 되는 암의 순서는 공정 장비 내에서 이루어지는 작업의 종류나 공정 장비 내에서의 공정 작업 시간, 그리고 공정 장비의 개수 또는 카세트의 개수, 공정 장비와 카세트의 배치에 따라 적절히 설계하여 적용하는 것이 바람직하다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 기판 이재 로봇은 수평회전 및 상하이동이 가능한 다수의 팔을 구비하여 다수의 기판을 단시간에 효율적으 로 이재함으로써 기판 이재 작업의 능률을 올리는 효과가 있으며, 액정표시장치 공정 전반의 작업 시간을 단축함으로써 액정표시장치의 생산성을 향상시키는 장점이 있다.

Claims (9)

  1. 주축;
    각각이 제1 관절부를 통해 상기 주축에 연결되고, 각각의 상기 제1 관절부의 수평회전 및 상하이동을 통해 상기 주축을 중심으로 수평회전과 상하이동을 하는 복수의 암;
    상기 복수의 암의 말단에 형성되며 기판을 취출하거나 안착하는 핸드부; 및
    상기 복수의 암의 수평회전과 상하이동을 제어하는 제어부를 포함하고,
    각각의 상기 제1 관절부는 상기 주축을 중심으로 동시에 한번 수평회전한 후, 상기 주축을 중심으로 동시에 상하이동하는 동작을 반복적으로 수행하여 상기 복수의 암 각각을 순차적으로 상기 기판을 취출하거나 안착할 수 있는 높이로 조정하는 것을 특징으로 하는 기판 이재 로봇.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 주축의 하부에는 주축을 지지하는 베이스부가 더 형성된 것을 특징으로 하는 기판 이재 로봇.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 복수의 암은 각기 주축의 다른 높이에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 이재 로봇.
  4. 삭제
  5. 제 1항에 있어서, 상기 제 1 관절부는 타 암에 형성된 제 1 관절부와는 독립적으로 수평회전을 하는 것을 특징으로 하는 기판 이재 로봇.
  6. 삭제
  7. 제 1항에 있어서, 상기 암들은 서로 연결된 복수 개의 부분암을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이재 로봇.
  8. 제 7항에 있어서, 상기 부분암들이 서로 연결된 부분에는 제 2 관절부가 형성되어 부분암의 수평회전을 제공하는 것을 특징으로 하는 기판 이재 로봇.
  9. 제 1항에 있어서, 상기 핸드부와 암이 연결된 부분에는 제 3 관절부가 형성되어 핸드부의 수평회전을 제공하는 것을 특징으로 하는 기판 이재 로봇.
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