KR101315634B1 - 로터 구동 기구 및 그것을 구비하는 펌프 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 펌프 장치의 길이 방향의 치수를 작게 하는 동시에, 케이싱 내의 유체 수용 공간의 용적을 작게 하고, 또한 토출 유량의 정밀도를 향상시킬 수 있는 로터 구동 기구를 제공하는 것이다. 중심이 일정 위치에서 회전 구동되는 구동축(38)의 회전을, 연결축(39)을 통해 일축 편심 나사 펌프(23)의 수나사형 로터(22)로 전달하기 위한 로터 구동 기구(25)에 있어서, 구동축(38)은 로터(22)측을 향해 개방되는 내측 공간(46)을 갖고, 이 내측 공간(46)에 연결축(39)이 삽입되고, 연결축(39)의 후단부가 구동축(38)과 제2 조인트부(48)를 통해 연결되는 동시에, 연결축(39)의 선단부가 로터(22)와 제1 조인트부(47)를 통해 연결되고, 구동축(38)의 로터(22)측을 향하는 개구부의 내주면과, 편심 회전 운동하는 로터(22)와 결합하는 로터축(37)의 외주면 사이를 제1 밀봉부(55)에 의해 밀봉하는 구성이다.

Description

로터 구동 기구 및 그것을 구비하는 펌프 장치{ROTOR DRIVE MECHANISM AND PUMP DEVICE PROVIDED WITH THE SAME}

본 발명은, 예를 들어 기체, 액체, 분체(粉體) 등의 각종 유체를 이송할 수 있는 일축 편심 나사 펌프에 적용할 수 있는 로터 구동 기구 및 그것을 구비하는 펌프 장치에 관한 것이다.

종래의 펌프 장치의 일례를, 도 6을 참조하여 설명한다. 이 펌프 장치(1)는 도 6에 도시한 바와 같이, 일축 편심 나사 펌프(2)와, 이 일축 편심 나사 펌프(2)에 설치되어 있는 로터(3)를 회전 구동하기 위한 로터 구동 기구(4)를 구비하고 있다. 이 일축 편심 나사 펌프(2)는 수나사형 로터(3)가 스테이터(5)의 암나사형 내측 구멍(5a)에 끼움 삽입되는 구성으로 되어 있다. 이 로터(3)가 소정 방향으로 회전하면, 액체 등의 이송 유체를, 예를 들어 흡입구(6)로부터 흡입하고, 이 흡입한 이송 유체를, 로터(3)와 스테이터(5) 사이의 공간에 보유 지지하여 이송함으로써 토출구(7)로부터 토출시킬 수 있다. 이때, 로터(3)는, 도 6에 도시하는 스테이터 내측 구멍(5a)의 중심축(8)을 중심으로 하여 공전 이동하면서 자전하는 편심 회전 운동을 행하도록 되어 있다. 그리고, 로터(3)가, 이와 같이 편심 회전 운동할 수 있도록 하는 것이 로터 구동 기구(4)이다.

도 6에 도시하는 로터 구동 기구(4)는 회전 구동부(예를 들어, 전기 모터)(11)에 의해 회전 구동되는 구동축(9)과, 이 구동축(9)의 선단부와 연결되는 연결축(10)을 구비하고 있다. 그리고, 이 연결축(10)의 선단부는 로터(3)의 후단부(기단부)와 연결되어 있다.

즉, 회전 구동부(11)의 회전축(11a)이 회전 구동되면, 그 회전이 커플링(18), 구동축(9) 및 연결축(10)을 통해 로터(3)에 전달되어, 로터(3)가 편심 회전 운동을 행한다. 이에 의해, 이송 유체를 흡입구(6)로부터 흡입하여 토출구(7)로부터 토출시킬 수 있다.

또한, 도 6에 도시한 바와 같이, 연결축(10)의 선단부와 로터(3)의 후단부는 제1 조인트부(유니버설 조인트)(12)를 통해 연결되고, 구동축(9)의 선단부와 연결축(10)의 후단부는 제2 조인트부(유니버설 조인트)(13)를 통해 연결하고 있다. 그리고, 이들 제1 및 제2 조인트부(12, 13) 및 연결축(10)은, 예를 들어 합성 고무제의 조인트 커버(14)에 의해 피복되어 있다. 이 조인트 커버(14)는 흡입구(6)로부터 케이싱(15) 내의 유체 수용 공간(16)으로 흡입되어 오는 이송 유체가, 제1 및 제2 조인트부(12, 13) 및 연결축(10)에 접촉하지 않도록 하는 것이다.

상기와 같은 펌프 장치(1)의 다른 예로서, 예를 들어 특허 문헌 1에 개시되어 있는 것이 있다.

일본 특허 출원 공개 제2001-271764호 공보

그러나, 도 6에 도시하는 종래의 펌프 장치(1)에서는, 구동축(9)의 선단부에 대해 제2 조인트부(13), 연결축(10) 및 제1 조인트부(12)가 연결되고, 이들 구동축(9), 제2 조인트부(13) 등은 직렬로 배치되어 있으므로, 이들 구동축(9), 제2 조인트부(13), 연결축(10) 및 제1 조인트부(12)의 길이 방향의 합계의 치수가, 펌프 장치(1)의 전체 길이를 길게 하고 있는 요소로 되어 있다.

즉, 도 6에 도시하는 펌프 장치(1)는, 예를 들어 디스펜서로서 사용되는 것이고, 이와 같은 디스펜서는, 예를 들어 로봇 핸드의 선단부에 설치되어, 좁은 공간 내의 내면에 액체를 도포하는 도포 작업에 사용되는 경우가 있다. 이와 같은 도포 작업에 사용되는 디스펜서는 작업성을 좋게 하기 위해 소형화하는 것이 요구되고 있다.

그리고, 도 6에 도시한 바와 같이, 조인트 커버(14)에 의해 피복되어 있는 연결축(10) 및 제1 및 제2 조인트부(12, 13)가 케이싱(15) 내의 유체 수용 공간(16) 내에 배치되어 있으므로, 그 길이 분만큼 유체 수용 공간(16)의 용적이 커지고, 이 용적이 큰 유체 수용 공간(16) 내에 수용되는 이송 유체의 양도 많아진다. 그리고, 이 유체 수용 공간(16) 내에 수용되어 있는 이송 유체는, 펌프 장치(1)를 세정할 때에는 폐기되므로, 이 폐기되는 이송 유체의 양을 적게 하는 것도 요구되고 있다. 즉, 이송 유체에는 고가인 것이 있으므로, 이송 유체의 로스를 저감시키는 것이 중요한 과제로 되어 있다.

또한, 도 6에 도시하는 구동축(9)이 회전하여, 토출구(7)로부터 이송 유체를 토출하고 있는 상태에 있어서는, 그 토출 압력(반력)에 의해, 로터(3)는 축방향의 힘을 받게 된다. 이때, 연결축(10)이 상기 축방향에 대해 비스듬히 향하고 있으므로, 구동축(9)의 선단부에 대해 축방향과 수직인 방향으로 굽힘력(모멘트)이 작용하고, 이 굽힘력에 의해 구동축(9)이 휘어, 축 요동이 발생한다. 그리고, 이 축 요동은 구동축(9)과 케이싱(15)의 내주면의 간극을 밀봉하는 밀봉부(17)의 수명을 단축시키는 요인으로 되어 있고, 축밀봉부(17)의 메인터넌스의 비용 및 노동력의 저감도 요구되고 있다.

본 발명은 상기와 같은 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 펌프 장치의 길이 방향의 치수를 작게 하는 동시에, 케이싱 내의 유체 수용 공간의 용적을 작게 하고, 또한 밀봉부의 수명을 연장시킬 수 있는 로터 구동 기구 및 그것을 구비하는 펌프 장치를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

제1 발명에 관한 로터 구동 기구는 중심이 일정 위치에서 회전 구동되는 구동축의 회전을, 연결축을 통해 일축 편심 나사 펌프의 수나사형 로터에 전달하기 위한 로터 구동 기구에 있어서, 상기 구동축은 상기 로터측을 향해 개방되는 내측 공간을 갖고, 이 내측 공간에 상기 연결축이 삽입되고, 상기 연결축의 기단부가 상기 구동축과 연결되는 동시에, 상기 연결축의 선단부가 상기 로터와 연결되고, 상기 구동축의 상기 로터측을 향하는 개구부의 내주면과, 편심 회전 운동하는 상기 로터의 기단부 또는 상기 연결축의 외주면 사이를 제1 밀봉부에 의해 밀봉하는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 것이다.

제1 발명에 관한 로터 구동 기구에 따르면, 연결축을 일축 편심 나사 펌프의 수나사형 로터에 연결하여 사용할 수 있다. 즉, 구동축을 소정 방향으로 회전시키면, 구동축의 회전이, 연결축을 통해 로터에 전달되어, 로터를 편심 회전 운동시킬 수 있다. 이 로터의 편심 회전 운동에 의해, 스테이터 내측 구멍의 내면과, 로터의 외면에 의해 형성되는 공간이, 스테이터 내측 구멍의 한쪽의 개구부측으로부터 다른 쪽의 개구부측을 향해 이동하므로, 이송 유체를 그 방향으로 이송할 수 있다.

그리고, 연결축이, 구동축의 내측 공간 내에 삽입되고, 이 연결축의 기단부가 구동축과 연결되는 구성으로 하였으므로, 연결축과 구동축이 서로 겹치는 분만큼 로터 구동 기구의 축방향의 길이를 짧게 할 수 있다. 또한, 구동축의 개구부의 내주면과, 로터의 기단부 또는 연결축의 외주면 사이를 제1 밀봉부에 의해 밀봉하는 구성으로 하였으므로, 구동축의 내측 공간으로 이송 유체가 진입하는 것을 방지할 수 있고, 이 내측 공간의 용적분만큼, 케이싱 내의 유체 수용 공간의 용적을 작게 할 수 있다. 그리고, 구동축에 형성되어 있는 내측 공간으로 이송 유체가 유입되지 않도록, 그 내측 공간을 제1 밀봉부에 의해 밀봉하고 있으므로, 이 밀봉된 내측 공간 내에 삽입되어 있는 연결축이 이송 유체에 접촉하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 연결축이 구동축에 의해 회전되어 흔들릴 때에, 이 연결축의 흔들림이 이송 유체에 의해 저해되는 것을 억제할 수 있다.

제2 발명에 관한 로터 구동 기구는, 제1 발명에 있어서, 상기 연결축의 선단부와 상기 로터가 제1 조인트부를 통해 연결되고, 상기 연결축의 기단부와 상기 구동축이 제2 조인트부를 통해 연결되고, 상기 제1 및 제2 조인트부 및 상기 연결축이, 상기 제1 밀봉부에 의해 밀봉된 상기 구동축의 내측 공간 내에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

이 제1 및 제2 조인트부로서, 예를 들어 유니버설 조인트를 포함하는 조인트를 사용할 수 있고, 제1 밀봉부는, 이들 제1 및 제2 조인트부 및 연결축이 이송 유체에 접촉하는 것을 방지할 수 있다. 이에 의해, 예를 들어 이송 유체가 부식성을 갖고 있는 경우라도, 제1 및 제2 조인트부 및 연결축의 재질을 내부식성 재료로부터 선택할 필요가 없어, 고강도의 것 등, 적절한 것을 자유롭게 선택할 수 있다. 또한, 제1 및 제2 조인트부 및 연결축의 재질과 이송 유체의 적응성을 고려할 필요가 없으므로, 일축 편심 나사 펌프에 의해 이송할 수 있는 이송 유체의 사용 범위를 넓힐 수 있다.

제3 발명에 관한 로터 구동 기구는 제1 발명에 있어서, 상기 연결축의 기단부와 상기 구동축이 제3 조인트부를 통해 연결되고, 상기 제3 조인트부 및 상기 연결축이, 상기 제1 밀봉부에 의해 밀봉된 상기 구동축의 내측 공간 내에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

이 제3 조인트부로서, 예를 들어 올덤 커플링 등의 편심 조인트를 포함하는 조인트를 사용할 수 있고, 제1 밀봉부는 이 제3 조인트부 및 연결축이 이송 유체에 접촉하는 것을 방지할 수 있다. 이에 의해, 예를 들어 이송 유체가 부식성을 갖고 있는 경우라도, 제3 조인트부 및 연결축의 재질을 내부식성 재료로부터 선택할 필요가 없어, 고강도의 것 등, 적절한 것을 자유롭게 선택할 수 있다. 또한, 제3 조인트부 및 연결축의 재질과 이송 유체의 적응성을 고려하지 않고, 일축 편심 나사 펌프에 의해 이송할 수 있는 이송 유체의 사용 범위를 넓힐 수 있다.

제4 발명에 관한 로터 구동 기구는 제2 발명의 상기 제2 조인트부, 또는 제3 발명의 상기 제3 조인트부가, 상기 구동축을 회전 가능하게 지지하는 베어링부의 반경 방향의 내측에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

이와 같이 하면, 구동축이 회전하여, 일축 편심 나사 펌프의 토출구로부터 이송 유체를 토출하고 있는 상태에 있어서, 그 토출 압력(반력)에 의해, 로터는 축방향의 힘을 받게 되고, 이때, 연결축이 상기 축방향에 대해 비스듬히 향하고 있으므로, 제2 조인트부 또는 제3 조인트부가 연결하는 구동축의 부분에 대해 축방향과 수직인 방향으로 굽힘력(모멘트)이 작용하게 된다. 그러나, 이 제2 조인트부 또는 제3 조인트부가, 구동축을 회전 가능하게 지지하는 베어링부의 반경 방향의 내측에 배치되어 있으므로, 이 굽힘력에 의해 구동축이 축 요동하는 것을 방지할 수 있다. 이에 의해, 이 로터 구동 기구에 진동이 발생하는 것을 방지할 수 있어, 로터 구동 기구의 수명을 연장시킬 수 있다.

제5 발명에 관한 로터 구동 기구는, 제4 발명에 있어서, 상기 구동축의 상기 로터측을 향하는 개구부의 외주면과, 상기 일축 편심 나사 펌프의 케이싱의 내주면 사이를 제2 밀봉부에 의해 밀봉한 것을 특징으로 하는 것이다.

이와 같이 하면, 제2 밀봉부는 구동축의 외주면과 케이싱의 내주면의 간극을 밀봉하고 있으므로, 케이싱 내의 이송 유체가 베어링측의 공간으로 유입되는 것을 방지할 수 있고, 이에 의해, 케이싱 내의 유체 수용 공간의 용적을 작게 할 수 있다. 그리고, 구동축의 축 요동이 방지되어 있으므로, 이 제2 밀봉부에 축 요동에 의한 진동이 가해지는 일이 없고, 그 결과, 제2 밀봉부의 수명이 구동축의 축 요동에 의해 단축되는 것을 방지할 수 있어, 로터 구동 기구의 수명을 연장시킬 수 있다.

제6 발명에 관한 로터 구동 기구는, 제2 발명에 있어서, 상기 제1 및 제2 조인트부는 각각 유니버설 조인트인 것을 특징으로 하는 것이다.

이와 같이 하면, 구동축의 회전을 로터로 원활하게 전달하여, 로터를 정확하게 편심 회전 운동시킬 수 있고, 일축 편심 나사 펌프의 토출 유량의 정밀도를 향상시킬 수 있다.

제7 발명에 관한 로터 구동 기구는, 제1 발명에 있어서, 상기 연결축은 플렉시블 로드인 것을 특징으로 하는 것이다.

이와 같이 하면, 이 로터 구동 기구의 구조를 간단하게 할 수 있어, 소형, 경량 및 저렴화를 도모할 수 있다.

제8 발명에 관한 펌프 장치는 제1 발명의 로터 구동 기구와, 상기 일축 편심 나사 펌프를 구비하는 것을 특징으로 하는 것이다.

제8 발명에 관한 펌프 장치에 따르면, 상기 로터 구동 기구에서 설명한 작용을 발휘한다.

본 발명에 관한 로터 구동 기구 및 펌프 장치에 따르면, 로터 구동 기구의 축방향의 길이를 짧게 할 수 있는 구성으로 하였으므로, 이 로터 구동 기구가 적용되는 펌프 장치의 축방향의 길이를 짧게 할 수 있어, 소형 경량화를 도모할 수 있다. 예를 들어, 이 로터 구동 기구가 적용된 펌프 장치를, 디스펜서로서 로봇 핸드의 선단부에 설치하여 사용하면, 좁은 공간 내의 내면에 액체를 도포하는 도포 작업에 사용하는 경우의 작업성을 양호하게 할 수 있다.

그리고, 구동축의 내측 공간을 제1 밀봉부에 의해 밀봉하고, 케이싱 내의 유체 수용 공간의 용적을 작게 한 구성으로 하였으므로, 예를 들어 세정 시에 폐기되는 이 유체 수용 공간 내의 이송 유체의 양을 적게 할 수 있어 경제적이다.

또한, 구동축의 내측 공간은 이송 유체가 유입되지 않도록 제1 밀봉부에 의해 밀봉되어 있으므로, 이 내측 공간에 삽입되어 있는 연결축이 회전하여 흔들릴 때에, 그 흔들림이 이송 유체에 의해 저해되는 것을 억제할 수 있다. 이에 의해, 이 로터 구동 기구에 의해 구동되는 일축 편심 나사 펌프의 토출 유량의 정밀도를 향상시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 관한 펌프 장치를 도시하는 종단면도이다.
도 2는 도 1의 제1 실시 형태에 관한 펌프 장치가 구비하는 로터 구동 기구를 도시하는 부분 확대 단면도이다.
도 3은 도 1의 제1 실시 형태에 관한 로터 구동 기구에 장착되어 있는 제1 밀봉부를 도시하고, 도 3의 (a)는 A-A 확대 종단면도, 도 3의 (b)는 확대 배면도이다.
도 4는 도 1의 제1 실시 형태에 관한 로터 구동 기구에 장착되어 있는 제1 밀봉부의 다른 예를 도시하고, 도 4의 (a)는 B-B 확대 종단면도, 도 4의 (b)는 확대 배면도이다.
도 5는 상기 발명의 제2 실시 형태에 관한 펌프 장치가 구비하는 로터 구동 기구를 도시하는 부분 확대 단면도이다.
도 6은 종래의 펌프 장치를 도시하는 종단면도이다.

다음에, 본 발명에 관한 로터 구동 기구 및 그것을 구비하는 펌프 장치의 제1 실시 형태를, 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명한다. 이 펌프 장치(21)는 도 1에 도시하는 로터(22)를 자전시키면서 소정의 경로를 따라서 공전 이동(편심 회전 운동)시킬 수 있고, 이에 의해, 예를 들어 저점도로부터 고점도까지의 어떤 유체라도, 고유량 정밀도이고, 또한 장수명으로 이송하거나 충전할 수 있는 것이다.

이 펌프 장치(21)는, 도 1에 도시한 바와 같이 일축 편심 나사 펌프(23), 회전 구동부(24) 및 로터 구동 기구(25)를 구비하고 있다.

일축 편심 나사 펌프(23)는 회전 용적형 펌프로, 암나사형 스테이터(26)와 수나사형 로터(22)를 구비하고 있다.

스테이터(26)는, 도 1에 도시한 바와 같이 예를 들어 2조의 암나사 형상의 내측 구멍(26a)을 갖는 대략 쇼트 실린더형으로 형성되고, 이 내측 구멍(26a)의 종단면 형상이 긴 원이고, 예를 들어 합성 고무 등의 고무상 탄성체, 또는 불소 수지 등의 엔지니어링 플라스틱으로 형성되어 있다. 그리고, 스테이터(26)는 노즐(27)과 제1 케이싱(28)의 단부 사이에 끼워 넣어져 설치되어 있다. 이 노즐(27)에 제1 개구부(31)가 형성되고, 제1 케이싱(28)에 제2 개구부(32)가 형성되어 있다. 그리고, 노즐(27)과 제1 케이싱(28) 사이에는 외통(33)이 장착되어 있다.

그리고, 도 1에 도시한 바와 같이, 노즐(27)의 선단부에는 니들 노즐(34)이 장착되고, 이 니들 노즐(34)은 너트(35)에 의해 노즐(27)에 체결되어 있다.

제1 개구부(31)는 토출구(또는 흡입구)로서 사용할 수 있고, 제2 개구부(32)는 흡입구(또는 토출구)로서 사용할 수 있다. 이 제1 개구부(31)는 스테이터(26)에 형성되어 있는 내측 구멍(26a)의 선단측 개구부와 연통되어 있고, 제2 개구부(32)는 그 내측 구멍(26a)의 후단부측 개구부와 연통되어 있다. 이 제2 개구부(32)와, 내측 구멍(26a)의 후단부측 개구부 사이에는 유체 수용 공간(36)이 형성되어 있다.

로터(22)는, 도 1에 도시한 바와 같이, 예를 들어 1조의 수나사 형상으로 형성되어, 종단면 형상이 대략 진원이고, 나선 형상의 피치는 스테이터(26)의 피치의 1/2로 설정되어 있다. 그리고, 로터(22)는, 예를 들어 스테인리스 등의 금속제이고, 스테이터(26)의 내측 구멍(26a)에 끼움 삽입되어 있다. 또한, 로터(22)의 후단부(기단부)에 로터축(37)이 형성되어 있다. 이 로터축(37)은 로터 구동 기구(25)에 포함되는 것이다.

로터 구동 기구(25)는, 도 2에 도시한 바와 같이 회전 구동부(24)에 의해 회전 구동되는 회전축(24a)의 회전을, 일축 편심 나사 펌프(23)의 수나사형 로터(22)에 전달하기 위한 것으로, 구동축(38), 연결축(39) 및 로터축(37)을 구비하고 있다.

구동축(38)은, 도 2에 도시한 바와 같이 미끄럼 베어링 등의 베어링부(40)를 통해 제2 케이싱(29)의 내면에 회전 가능하게 설치되어 있다. 이 구동축(38)은 중심 구멍(41)을 갖는 통 형상 부재로 형성되고, 선단부에 대경부(42)가 형성되고, 중앙부에 중경부(43)가 형성되고, 후단부에 소경부(44)가 형성되어 있다. 그리고, 이 구동축(38)의 후단부의 소경부(44)는 회전 구동부(24)의 회전축(24a)에 커플링(45)에 의해 연결되어 있다.

그리고, 구동축(38)의 선단부의 대경부(42)의 내측에는 로터(22)측을 향해 개방되는 내측 공간(46)이 형성되고, 이 내측 공간(46)을 포함하는 중심 구멍(41)에 연결축(39)이 삽입되어 있다.

또한, 연결축(39)은, 도 2에 도시한 바와 같이 소정 길이의 막대 형상체이고, 이 연결축(39)의 후단부는 구동축(38)의 중경부(43)의 내측에 형성되어 있는 중심 구멍(41)에 배치되고, 그 선단부는 구동축(38)의 대경부(42)의 내측에 형성되어 있는 내측 공간(46)에 배치되어 있다.

또한, 연결축(39)의 선단부는 제1 조인트부(47)를 통해 로터축(37)과 연결되고, 연결축(39)의 후단부가, 제2 조인트부(48)를 통해 구동축(38)의 중경부(43)와 연결되어 있다. 이들 제1 및 제2 조인트부(47, 48)는, 예를 들어 유니버설 조인트이다.

이 제2 조인트부(48)는, 도 2에 도시한 바와 같이 통 형상의 중경부(43)의 측벽에 서로 직경 방향으로 대향하는 위치에 형성된 한 쌍의 결합 구멍(49)을 갖고, 이 한 쌍의 결합 구멍(49)에 연결 핀(50)의 양단부가 장착되어 있다. 이 연결 핀(50)은 연결축(39)의 후단부에 형성된 연결 구멍(51)에 삽입 관통되어 있다. 이 연결 구멍(51)은 2개의 각 개구 단부를 향하는 것에 따라서 이 연결축(39)의 축방향으로 직경 확장되도록 형성되어 있다.

이와 같이 형성된 제2 조인트부(48)에 따르면, 연결축(39)이 연결 핀(50)의 축심을 중심으로 하여 요동 가능한 동시에, 연결축(39)의 선단부가 연결 핀(50)의 중앙을 중심으로 하여, 도 2의 상하 방향으로 요동 가능하도록, 구동축(38)의 중경부(43)와 연결축(39)의 후단부를 연결하고 있다.

또한, 도 2에 도시한 바와 같이, 구동축(38)의 중경부(43)의 외주면에는 원통 형상의 밀봉 커버(52)가 장착되어 있다. 이 밀봉 커버(52)는 구동축(38)의 내측 공간(46) 및 중심 구멍(41)에 충전되어 있는 윤활액을 밀봉하기 위한 것으로, 한 쌍의 각 결합 구멍(49)을 덮는 위치에 배치되어 있다. 그리고, 이 한 쌍의 각 결합 구멍(49)을 양측으로부터 끼우도록, 2개의 O링(53)이 중경부(43)의 외주면에 장착되어 있다. 이와 같이 구성된 밀봉 커버(52)의 내주면 및 2개의 O링(53)에 의해, 한 쌍의 각 결합 구멍(49)이 밀봉되어, 구동축(38)의 내측 공간(46) 및 중심 구멍(41)에 충전되어 있는 윤활액이 이 한 쌍의 각 결합 구멍(49)으로부터 구동축(38)의 외측으로 누설되지 않도록 하고 있다.

그리고, 이 밀봉 커버(52)의 외주면에 베어링부(40)가 장착되어, 이 베어링부(40)에 의해 구동축(38) 및 밀봉 커버(52)가 회전 가능하게 지지되어 있다. 즉, 제2 조인트부(48)의 연결 핀(50)은 베어링부(40)의 반경 방향의 내측에 배치되어 있다.

다음에, 제1 조인트부(47)를 설명한다. 제1 조인트부(47)는, 도 2에 도시한 바와 같이 제2 조인트부(48)와 동등한 것으로, 로터축(37)에 결합하는 연결 통부(54)를 갖고 있다. 이 연결 통부(54)에는 서로 직경 방향으로 대향하는 위치에 형성된 결합 구멍(49)을 갖고, 이 한 쌍의 결합 구멍(49)에 연결 핀(50)의 양단부가 장착되어 있다. 이 연결 핀(50)은 연결축(39)의 선단부에 형성된 연결 구멍(51)에 삽입 관통하고 있다. 이 연결 구멍(51)은 2개의 각 개구 단부를 향함에 따라서 이 연결축(39)의 축방향으로 직경 확장되도록 형성되어 있다.

이와 같이 형성된 제1 조인트부(47)에 따르면, 제2 조인트부(48)와 마찬가지로, 연결축(39)이 연결 핀(50)의 축심을 중심으로 하여 요동 가능한 동시에, 연결축(39)의 축심과 로터(22)의 축심의 교차각(도 2의 지면과 평행하는 면 내에 있어서의 교차각)이 변경 가능하도록, 연결축(39)의 선단부와 로터축(37)을 연결하고 있다.

또한, 로터축(37)의 외주면에는, 도 2에 도시한 바와 같이 제1 밀봉부(55)가 장착되어 있다. 이 제1 밀봉부(55)는, 예를 들어 합성 고무 등의 고무상 탄성체로 형성되어, 로터축(37)의 외주면과, 구동축(38)의 로터(22)측을 향해 개방되는 개구부[대경부(42)]의 내주면 사이를 밀봉하는 것이고, 제1 케이싱(28) 내에 형성되어 있는 유체 수용 공간(36)과, 대경부(42)의 내측에 형성되어 있는 내측 공간(46) 및 중심 구멍(41) 사이를 밀봉하여 구획하는 것이다.

또한, 도 2에 도시한 바와 같이, 구동축(38)의 소경부(44)에 형성되어 있는 중심 구멍(41)의 후단부 개구부는 플러그(56)에 의해 밀봉되어 있다.

이와 같이, 구동축(38)의 내측에 형성되어 있는 내측 공간(46) 및 중심 구멍(41)은 제1 밀봉부(55) 및 플러그(56)에 의해 밀봉되어 있고, 이 밀봉된 내측 공간(46) 및 중심 구멍(41)에는 연결축(39) 및 제1 및 제2 조인트부(47, 48)가 수용되어 있는 동시에, 윤활액이 봉입되어 있다.

제1 밀봉부(55)는, 도 3의 (a), (b)에 도시한 바와 같이 원환상 부재이고, 단면 형상이 대략 Z자 형상으로 형성되고, 외측 벽부(57), 내측 벽부(58), 연결 벽부(59)를 갖고 있다. 이 외측 벽부(57)의 외주면은 구동축(38)의 대경부(42)의 내주면보다도 약간 대경으로 형성되어, 그 대경부(42)의 내주면에 밀착하여 장착되어 있다. 그리고, 내측 벽부(58)의 내주면은 로터축(37)의 외주면보다도 약간 소경으로 형성되어, 그 로터축(37)의 외주면에 밀착하여 장착되어 있다. 연결 벽부(59)는 대략 원추 사다리꼴 형상의 것으로, 외측 벽부(57)의 후단부와 내측 벽부(58)의 선단부를 연결하고 있다.

이 제1 밀봉부(55)에 따르면, 로터축(37)이 로터(22)에 수반하여 편심 회전 운동을 행할 때에, 즉 로터축(37)이, 스테이터(26)의 내측 구멍(26a)의 중심축(60)을 중심으로 하여 자전하면서 공전 운동을 행할 때에, 도 2에 도시한 바와 같이, 내측 벽부(58)가 반경 방향으로 이동 가능하게 변형되어, 로터(22)가 편심 회전 운동을 자유롭게 행할 수 있도록 하는 동시에, 유체 수용 공간(36) 내의 이송 유체가 구동축(38)의 내측에 형성되어 있는 내측 공간(46) 및 중심 구멍(41)에 진입하지 않도록 할 수 있고, 또한 이 내측 공간(46) 및 중심 구멍(41) 내에 봉입되어 있는 윤활액이 유체 수용 공간(36) 내에 누출되지 않도록 할 수 있다.

또한, 제1 밀봉부(55)는 로터(22)가 편심 회전 운동을 행하는 상태에 있어서도, 로터(22)에 수반하여 회전하지 않고, 구동축(38)의 대경부(42)의 내주면에 정지 상태로 밀착하여 장착되어 있다.

또한, 도 2에 도시한 바와 같이, 구동축(38)의 대경부(42)의 외주면과, 제1 케이싱(28)의 내주면 사이의 원환상의 간극에는 제2 밀봉부(61)가 장착되고, 이 제2 밀봉부(61)에 의해 그 원환상의 간극을 밀봉하고 있다. 이 제2 밀봉부(61)는, 예를 들어 불소 수지, 초고분자량 폴리에틸렌 등의 엔지니어링 플라스틱으로 형성되고, 제1 케이싱(28) 내에 형성되어 있는 유체 수용 공간(36)과, 이 제2 밀봉부(61)보다도 후방의 베어링부(40)가 수용되어 있는 측의 공간 사이를 밀봉하여 구획하는 것이다.

제2 밀봉부(61)는, 도 2에 도시한 바와 같이 원환상 부재이고, 단면 형상이 대략 ㄷ자 형상으로 형성되어 있다. 이 제2 밀봉부(61)의 외주면은 제1 케이싱(28)의 내주면보다도 약간 대경으로 형성되어, 그 제1 케이싱(28)의 내주면에 밀착하여 장착되어 있다. 그리고, 제2 밀봉부(61)의 내주면은 구동축(38)의 대경부(42)의 외주면보다도 약간 소경으로 형성되어, 그 대경부(42)의 외주면에 밀착하여 장착되어 있다.

이 제2 밀봉부(61)에 따르면, 제1 케이싱(28) 내의 유체 수용 공간(36)의 이송 유체가 베어링부(40)측의 공간으로 진입하지 않도록 할 수 있는 동시에, 베어링부(40)측의 공간 내에 존재하는 경우가 있는 이물질이 유체 수용 공간(36) 내로 진입하지 않도록 할 수 있다.

또한, 도 2에 도시하는 제1 케이싱(28)과 제2 케이싱(29) 사이에 제3 케이싱(30)이 배치되어 있고, 이 제3 케이싱(30)의 내주면과, 구동축(38)의 대경부(42)의 외주면 사이에는, 또 다른 제2 밀봉부(62)가 장착되어 있다. 이 제2 밀봉부(62)는 제2 밀봉부(61)와 동등한 구성이고, 마찬가지로 작용하므로 그 설명을 생략한다.

다음에, 상기와 같이 구성된 로터 구동 기구(25)를 구비하는 펌프 장치(21)에 따르면, 도 1에 도시하는 회전 구동부(24)가 회전 구동하면, 이 회전 구동부(24)의 회전이, 회전축(24a), 구동축(38), 제2 조인트부(48), 연결축(39), 제1 조인트부(47) 및 로터축(37)을 통해 일축 편심 나사 펌프(23)의 로터(22)에 전달되어, 이 로터(22)를 소정 방향으로 회전시킬 수 있다. 그리고, 로터(22)는 편심 회전 운동을 행함으로써, 예를 들어 이송 유체인 액체를 제2 개구부(32)로부터 유입시켜 니들 노즐(34)로부터 토출할 수 있다.

즉, 로터(22)의 편심 회전 운동에 의해, 스테이터 내측 구멍(26a)의 내면과, 로터(22)의 외면에 의해 형성되는 공간이, 스테이터 내측 구멍(26a)의 제2 개구부(32)측의 개구부로부터 제1 개구부(31)측의 개구부를 향해 이동하므로, 이송 유체를 그 방향으로 이송할 수 있다. 이때, 로터(22)는, 도 2에 도시하는 스테이터 내측 구멍(26a)의 중심축(60)을 중심으로 하여 공전 이동하면서 자전하는 편심 회전 운동을 행하도록 되어 있다. 그리고, 로터(22)가, 이와 같이 편심 회전 운동할 수 있도록 하는 것이 로터 구동 기구(25)이다.

이 도 2에 도시하는 로터 구동 기구(25)에 따르면, 연결축(39) 및 제1 및 제2 조인트부(47, 48)가, 구동축(38)의 내측 공간(46) 및 중심 구멍(41) 내에 배치되고, 이 연결축(39)의 후단부(기단부)가 제2 조인트부(48)를 통해 구동축(38)의 중경부(43)와 연결되는 구성으로 하였으므로, 이들 연결축(39) 및 제1 및 제2 조인트부(47, 48)와, 구동축(38)이 서로 겹치는 분만큼 로터 구동 기구(25), 나아가서는 펌프 장치(21)의 축방향의 길이를 짧게 할 수 있어, 이 펌프 장치(21)의 소형 경량화를 도모할 수 있다. 예를 들어, 이 로터 구동 기구(25)가 적용된 펌프 장치(21)를, 디스펜서로서 로봇 핸드의 선단부에 설치하여 사용하면, 좁은 공간 내의 내면에 액체를 도포하는 도포 작업에 사용하는 경우의 작업성을 양호하게 할 수 있다.

그리고, 도 2에 도시한 바와 같이, 구동축(38)의 대경부(42)에 형성되어 있는 개구부의 내주면과, 로터축(37)의 외주면 사이의 환형상의 간극을 제1 밀봉부(55)에 의해 밀봉하는 구성으로 하였으므로, 구동축(38)의 내측 공간(46) 및 중심 구멍(41)으로 이송 유체가 진입하는 것을 방지할 수 있고, 이 내측 공간(46) 및 중심 구멍(41)의 용적분만큼, 제1 케이싱(28) 내의 유체 수용 공간(36)의 용적을 작게 할 수 있다. 이에 의해, 예를 들어 세정 시에 폐기되는 이 유체 수용 공간(36) 내의 이송 유체의 양을 적게 할 수 있어 경제적이다.

또한, 구동축(38)에 형성되어 있는 내측 공간(46) 및 중심 구멍(41)으로 이송 유체가 유입되지 않도록, 그 내측 공간(46) 및 중심 구멍(41)을 제1 밀봉부(55)에 의해 밀봉하고 있으므로, 이 밀봉된 내측 공간(46) 및 중심 구멍(41) 내에 삽입되어 있는 연결축(39) 및 제1 및 제2 조인트부(47, 48)가 이송 유체에 접촉하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 연결축(39) 및 제1 및 제2 조인트부(47, 48)가 구동축(38)에 의해 회전되어 흔들릴 때에, 이 연결축(39) 및 제1 및 제2 조인트부(47, 48)의 흔들림이 이송 유체에 의해 저해되는 것을 억제할 수 있다. 이에 의해, 이 로터 구동 기구(25)에 의해 구동되는 일축 편심 나사 펌프(23)의 토출 유량의 정밀도를 향상시킬 수 있다.

또한, 상기와 같이, 제1 및 제2 조인트부(47, 48) 및 연결축(39)이, 이송 유체에 접촉하는 것을 방지할 수 있으므로, 예를 들어 이송 유체가 부식성을 갖고 있는 경우라도, 제1 및 제2 조인트부(47, 48) 및 연결축(39)의 재질을 내부식성 재료로부터 선택할 필요가 없고, 고강도의 것 등, 적절한 것을 자유롭게 선택할 수 있다. 그리고, 제1 및 제2 조인트부(47, 48) 및 연결축(39)의 재질과 이송 유체의 적응성을 고려할 필요가 없어, 일축 편심 나사 펌프(23)에 의해 이송할 수 있는 이송 유체의 사용 범위를 넓힐 수 있다.

그리고, 도 2에 도시한 바와 같이, 구동축(38)이 회전하여, 로터(22)를 편심 회전 운동시킬 때에, 제2 조인트부(48)가 연결되는 구동축(38)의 중경부(43)[래디얼 하중 부하점(63)]에 대해 축방향과 수직인 방향으로 굽힘력(모멘트)이 작용하지만, 제2 조인트부(48)가, 구동축(38)의 중경부(43)를 회전 가능하게 지지하는 베어링부(40)의 반경 방향의 내측에 배치되어 있으므로, 이 굽힘력에 의해 구동축(38)이 축 요동하는 것을 방지할 수 있다. 이에 의해, 이 로터 구동 기구(25)에 진동이 발생하는 것을 방지할 수 있어, 로터 구동 기구(25)의 수명을 연장시킬 수 있다.

또한, 도 2에 도시한 바와 같이, 제2 밀봉부(61, 62)는 구동축(38)의 대경부(42)의 외주면과, 제1 케이싱(28)의 내주면 사이의 환형상의 간극을 밀봉하고 있으므로, 제1 케이싱(28) 내의 이송 유체가 베어링부(40)측의 공간으로 유입되는 것을 방지할 수 있고, 이에 의해, 유체 수용 공간(36)의 용적을 작게 할 수 있다. 그리고, 상기와 같이, 구동축(38)의 축 요동이 방지되어 있으므로, 이 제2 밀봉부(61)에 축 요동에 의한 진동이 걸리는 일이 없고, 그 결과, 제2 밀봉부(61)의 수명이 구동축(38)의 축 요동에 의해 단축되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 제1 및 제2 조인트부(47, 48)는 각각 유니버설 조인트이므로, 구동축(38)의 회전을 로터(22)로 원활하게 전달하여, 로터(22)를 정확하게 편심 회전 운동시킬 수 있어, 일축 편심 나사 펌프(23)의 토출 유량의 정밀도를 향상시킬 수 있다.

다음에, 본 발명에 관한 로터 구동 기구를 구비하는 펌프 장치의 제2 실시 형태를, 도 5를 참조하여 설명한다. 이 도 5에 도시하는 제2 실시 형태의 펌프 장치(65)와, 도 2에 도시하는 제1 실시 형태의 펌프 장치(21)가 상이한 점은, 도 2에 도시하는 제1 실시 형태에서는 구동축(38)과 로터축(37)을, 제2 조인트부(48), 연결축(39) 및 제1 조인트부(47)를 통해 연결하였지만, 도 5에 도시하는 제2 실시 형태에서는, 구동축(38)과 로터축(37)을, 플렉시블 로드(66)를 통해 연결한 점이다. 이 것 이외는, 도 1 및 도 2에 도시하는 제1 실시 형태와 마찬가지이고, 동등 부분을 동일한 도면 부호로 나타내고, 그들의 설명을 생략한다.

이와 같이, 구동축(38)과 로터축(37)을, 플렉시블 로드(66)를 통해 연결해도, 제1 실시 형태와 마찬가지로 로터(22)를 편심 회전 운동시켜, 이송 유체를 니들 노즐(34)로부터 토출할 수 있다.

그리고, 도 5에 도시한 바와 같이, 플렉시블 로드(66)의 후단부(기단부)와, 구동축(38)의 중경부(43)의 연결부를 베어링부(40)의 반경 방향의 내측에 배치하고 있으므로, 제1 실시 형태와 마찬가지로, 구동축(38)의 축 요동을 방지할 수 있다.

또한, 이와 같이 플렉시블 로드(66)를 사용하면, 이 로터 구동 기구(67)의 구조를 간단하게 할 수 있어, 소형, 경량 및 저렴화를 도모할 수 있다.

또한, 이 제2 실시 형태에서는, 도 5에 도시한 바와 같이 로터축(37)의 외주면에 제1 밀봉부(55)를 장착하였지만, 이것 대신에, 로터축(37)을 생략하고, 플렉시블 로드(66)의 선단부의 외주면에 제1 밀봉부(55)를 장착하는 동시에, 구동축(38)의 대경부(42)를 로터축(37)의 생략한 분만큼 축방향의 길이를 짧게 해도 좋다. 이와 같이 하면, 로터축(37)의 분만큼 로터 구동 기구(67)의 축방향의 길이를 짧게 할 수 있고, 나아가서는, 펌프 장치(65)의 전체 길이를 단축시킬 수 있다.

단, 상기 제1 및 제2 실시 형태에서는, 도 3의 (a), (b)에 도시하는 제1 밀봉부(55)를 사용하였지만, 이것 대신에, 도 4의 (a), (b)에 도시하는 제1 밀봉부(69)를 사용해도 좋다. 이 도 4의 (a), (b)에 도시하는 제1 밀봉부(69)와, 도 3의 (a), (b)에 도시하는 제1 밀봉부(55)가 상이한 점은, 연결 벽부(70, 59)가 상이한 점이다.

이 도 4의 (a), (b)에 도시하는 제1 밀봉부(69)는 단면 형상이 대략 역ㄷ자 형상으로 형성되고, 외측 벽부(57), 내측 벽부(58), 연결 벽부(70)를 갖고 있다. 그리고, 연결 벽부(70)는 대략 원환상의 판형상체이고, 외측 벽부(57)의 선단부와 내측 벽부(58)의 선단부를 연결하는 것이다.

이 제1 밀봉부(69)에 따르면, 도 4의 (a)에 도시한 바와 같이, 제1 케이싱(28) 내에 형성되어 있는 유체 수용 공간(36)에 대해, 제1 밀봉부(69)의 좌측면이 면하게 되지만, 이 좌측면이 연결 벽부(70)에 의해 평탄면으로서 형성되어 있으므로, 유체 수용 공간(36) 내의, 예를 들어 점도가 높은 이송 유체가 제1 밀봉부(69)의 좌측면에 부착되어도, 그 부착 유체가 제1 밀봉부(69)의 변형을 방해하는 일이 없으므로, 로터(22)는 정확하게 편심 회전 운동을 행할 수 있다.

그리고, 상기 제1 및 제2 실시 형태에서는, 도 2 등에 도시한 바와 같이, 회전 구동부(24)의 회전축(24a)을 커플링(45)에 의해 구동축(38)에 연결하여 회전 이동력을 전달하는 구성으로 하였지만, 이것 대신에, 회전 구동부(24)의 회전축(24a)을, 기어나 이가 부착된 풀리 및 이가 부착된 벨트 등의 회전 이동력 전달 수단에 의해 구동축(38)에 회전 이동력을 전달하는 구성으로 해도 좋다.

또한, 상기 제1 실시 형태에서는, 도 2에 도시한 바와 같이, 구동축(38)과 로터축(37)을, 제2 조인트부(48)(유니버설 조인트), 연결축(39) 및 제1 조인트부(47)(유니버설 조인트)를 통해 연결하였지만, 이것 대신에, 구동축(38)과 로터축(37)을, 올덤 커플링(도시하지 않은 제3 조인트부)을 사용하여 연결해도 좋다.

이와 같이 올덤 커플링을 사용하는 경우에는, 예를 들어 도 2에 도시하는 연결축(39)의 후단부와, 구동축(38)의 중경부(43)를 올덤 커플링을 통해 연결하는 구성으로 한다.

이와 같이 해도, 제1 실시 형태와 마찬가지로 로터(22)를 편심 회전 운동시켜, 이송 유체를 니들 노즐(34)로부터 토출할 수 있다. 그리고, 조인트부가 1개로 되므로, 로터 구동 기구(25)의 구조를 간단하게 할 수 있어, 소형, 경량, 저렴화 및 펌프 장치(21)의 전체 길이의 단축화를 도모할 수 있다.

그리고, 올덤 커플링이, 구동축(38)의 중경부(43)를 회전 가능하게 지지하는 베어링부(40)의 반경 방향의 내측에 배치됨으로써, 상기 제1 실시 형태와 마찬가지로, 구동축(38)이 축 요동하는 것을 방지할 수 있다. 이에 의해, 이 로터 구동 기구에 진동이 발생하는 것을 방지할 수 있어, 제2 밀봉부(61, 62)의 수명을 연장시킬 수 있다.

[산업상의 이용 가능성]

이상과 같이, 본 발명에 관한 로터 구동 기구 및 그것을 구비하는 펌프 장치는 펌프 장치의 길이 방향의 치수를 작게 하는 동시에, 케이싱 내의 유체 수용 공간의 용적을 작게 하고, 또한 밀봉부의 수명을 연장시킬 수 있는 우수한 효과를 갖고, 이와 같은 로터 구동 기구 및 그것을 구비하는 펌프 장치에 적용하는 데 적합하다.

21 : 펌프 장치
22 : 로터
23 : 일축 편심 나사 펌프
24 : 회전 구동부
24a : 회전축
25 : 로터 구동 기구
26 : 스테이터
26a : 스테이터의 내측 구멍
27 : 노즐
28 : 제1 케이싱
29 : 제2 케이싱
30 : 제3 케이싱
31 : 제1 개구부
32 : 제2 개구부
33 : 외통
34 : 니들 노즐
35 : 너트
36 : 유체 수용 공간
37 : 로터축
38 : 구동축
39 : 연결축
40 : 베어링부
41 : 구동축의 중심 구멍
42 : 구동축의 대경부
43 : 구동축의 중경부
44 : 구동축의 소경부
45 : 커플링
46 : 내측 공간
47 : 제1 조인트부
48 : 제2 조인트부
49 : 결합 구멍
50 : 연결 핀
51 : 연결 구멍
52 : 밀봉 커버
53 : O링
54 : 연결 통부
55 : 제1 밀봉부
56 : 플러그
57 : 외측 벽부
58 : 내측 벽부
59 : 연결 벽부
60 : 중심축
61, 62 : 제2 밀봉부
63 : 래디얼 하중점
65 : 펌프 장치
66 : 플렉시블 로드
67 : 로터 구동 기구
69 : 제1 밀봉부
70 : 연결 벽부

Claims (8)

1. 중심이 일정 위치에서 회전 구동되는 구동축의 회전을, 연결축을 통해 일축 편심 나사 펌프의 수나사형 로터에 전달하기 위한 로터 구동 기구에 있어서,
   상기 구동축은 상기 로터측을 향해 개방되는 내측 공간을 갖고, 이 내측 공간에 상기 연결축이 삽입되고,
   상기 연결축의 기단부가 상기 구동축과 연결되는 동시에, 상기 연결축의 선단부가 상기 로터와 연결되고,
   상기 구동축의 상기 로터측을 향하는 개구부의 내주면과, 편심 회전 운동하는 상기 로터의 기단부 또는 상기 연결축의 외주면 사이를 제1 밀봉부에 의해 밀봉하는 구성이고,
   상기 로터의 기단부 또는 상기 연결축은, 그것이 편심 회전 운동할 때에, 상기 구동축의 내측 공간 내에서 당해 로터의 기단부 또는 당해 연결축의 반경 방향으로 이동하고,
   상기 제1 밀봉부는, 외측 벽부, 내측 벽부 및 연결 벽부를 갖고, 상기 연결 벽부는, 상기 외측 벽부 및 상기 내측 벽부 각각의 상기 로터를 향하는 측의 선단부를 서로 연결하고, 상기 내측 벽부가 그 반경 방향으로 이동 가능하게 변형되어, 상기 로터가 편심 회전 운동할 수 있도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 로터 구동 기구.
2. 제1항에 있어서, 상기 연결축의 선단부와 상기 로터가 제1 조인트부를 통해 연결되고,
   상기 연결축의 기단부와 상기 구동축이 제2 조인트부를 통해 연결되고,
   상기 제1 및 제2 조인트부 및 상기 연결축이, 상기 제1 밀봉부에 의해 밀봉된 상기 구동축의 내측 공간 내에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 로터 구동 기구.
3. 제1항에 있어서, 상기 연결축의 기단부와 상기 구동축이 제3 조인트부를 통해 연결되고,
   상기 제3 조인트부 및 상기 연결축이, 상기 제1 밀봉부에 의해 밀봉된 상기 구동축의 내측 공간 내에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 로터 구동 기구.
4. 제2항에 기재된 상기 제2 조인트부, 또는 제3항에 기재된 상기 제3 조인트부가, 상기 구동축을 회전 가능하게 지지하는 베어링부의 반경 방향의 내측에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 로터 구동 기구.
5. 제4항에 있어서, 상기 구동축의 상기 로터측을 향하는 개구부의 외주면과, 상기 일축 편심 나사 펌프의 케이싱의 내주면 사이를 제2 밀봉부에 의해 밀봉한 것을 특징으로 하는, 로터 구동 기구.
6. 제2항에 있어서, 상기 제1 및 제2 조인트부는 각각 유니버설 조인트인 것을 특징으로 하는, 로터 구동 기구.
7. 제1항에 있어서, 상기 연결축은 플렉시블 로드인 것을 특징으로 하는, 로터 구동 기구.
8. 제1항에 기재된 로터 구동 기구와, 상기 일축 편심 나사 펌프를 구비하는 것을 특징으로 하는, 펌프 장치.

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