KR101300778B1 - 수소환원법을 이용한 루테늄 분말 제조 방법 - Google Patents

수소환원법을 이용한 루테늄 분말 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101300778B1
KR101300778B1 KR1020110055431A KR20110055431A KR101300778B1 KR 101300778 B1 KR101300778 B1 KR 101300778B1 KR 1020110055431 A KR1020110055431 A KR 1020110055431A KR 20110055431 A KR20110055431 A KR 20110055431A KR 101300778 B1 KR101300778 B1 KR 101300778B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
ruthenium
present
ruthenium powder
powder
vacuum tube
Prior art date
Application number
KR1020110055431A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20120136476A (ko
Inventor
이강명
이기웅
이아름
안종관
Original Assignee
성일하이텍(주)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 성일하이텍(주) filed Critical 성일하이텍(주)
Priority to KR1020110055431A priority Critical patent/KR101300778B1/ko
Publication of KR20120136476A publication Critical patent/KR20120136476A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101300778B1 publication Critical patent/KR101300778B1/ko

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F9/00Making metallic powder or suspensions thereof
    • B22F9/16Making metallic powder or suspensions thereof using chemical processes
    • B22F9/18Making metallic powder or suspensions thereof using chemical processes with reduction of metal compounds
    • B22F9/24Making metallic powder or suspensions thereof using chemical processes with reduction of metal compounds starting from liquid metal compounds, e.g. solutions
    • B22F9/26Making metallic powder or suspensions thereof using chemical processes with reduction of metal compounds starting from liquid metal compounds, e.g. solutions using gaseous reductors

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
  • Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)

Abstract

본 발명은 루테늄 분말 제조 방법에 관한 것으로, 진공관에 염화루테늄수산화물(RuCl3·nH2O)을 삽입하는 단계와, 상기 진공관의 양 단부를 밀봉시키고, 내부 공기를 제거하는 단계 및 상기 진공관 내에 Ar 및 H2 혼합가스를 공급하면서, 가열기를 이용하여 상기 진공관을 가열하여, 상기 염화루테늄수산화물로부터 루테늄 분말이 환원되도록 하는 수소환원법을 이용하여 루테늄 분말을 제조하되, 상기 염화루테늄수산화물은 염소증류방식으로 형성된 것을 사용하며, 상기 혼합가스는 Ar : H2의 비율이 3 : 7이 되도록 하고, 상기 혼합가스의 유량은 55 ~ 65 ml/min로 조절하고, 상기 가열 온도 및 시간은 700 ~ 800℃에서 1 ~ 2시간 동안 수행함으로써, 고순도의 루테늄 분말을 용이하게 제조할 수 있도록 하는 발명에 관한 것이다.

Description

수소환원법을 이용한 루테늄 분말 제조 방법{METHOD FOR MANUFACTURING RUTHENIUM POWDER USING HYDROGEN REDUCTION METHOD}
본 발명은 수소환원법을 이용한 루테늄 분말 제조 방법으로 염화루테늄으로부터 루테늄 분말을 제조하는데 있어서 최적 조건을 조사함으로써, 순도 99% 이상의 루테늄 분말을 제조할 수 있도록 하며, 제조 수율을 향상시키고, 제조된 분말의 특성을 향상시킬 수 있도록 하는 기술에 관한 것이다.
현재 국내첨단산업의 발달에 따라 내화학성, 내열성, 촉매특성을 보유한 루테늄의 수요가 증가되고 있다.
그러나 루테늄의 불안정한 공급 및 절대적인 해외의존으로 높은 가격이 형성되어 있으며, 또한 공급자 중심의 가격형성이 큰 문제로 대두되고 있다.
본 발명에 따른 목적은 국내에서 발생하는 염화루테늄으로부터 루테늄 분말을 생산함으로써, 고갈성과 편재성이 심한 루테늄 원료 분말에 관한 안정적으로 확보할 수 있도록 하는 것이다.
또한, 본 발명에 따른 다른 목적은 고순도의 루테늄 분말을 형성함으로써, 루테늄 분말의 특성을 더 향상시키고, 그 활용성을 더 확장시킬 수 있도록 하는 것이다.
본 발명에 따른 루테늄 분말 제조 방법은 진공관에 염화루테늄수산화물(RuCl3·nH2O)을 삽입하는 단계와, 상기 진공관의 양 단부를 밀봉시키고, 내부 공기를 제거하는 단계 및 상기 진공관 내에 Ar 및 H2 혼합가스를 공급하면서, 가열기를 이용하여 상기 진공관을 가열하여, 상기 염화루테늄수산화물로부터 루테늄 분말이 환원되도록 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 염화루테늄수산화물은 염소증류방식으로 형성된 것을 사용하며, 상기 혼합가스는 Ar : H2의 비율이 3 : 7인 것을 사용하는 것이 바람직하다.
아울러, 상기 혼합가스의 유량은 55 ~ 65 ml/min로 조절하고, 상기 가열 온도 및 시간은 700 ~ 800℃에서 1 ~ 2시간 동안 수행하는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 루테늄 분말 제조 방법은 계속해서 증가되고 있는 루테늄 금속, 합금상, 화합물상으로서의 폐스크랩 및 폐자원으로부터, 루테늄을 용이하게 회수할 수 있고, 고순도화를 효율적이고, 안정적으로 수행 하는 효과를 제공한다.
아울러, 본 발명에 따르면 루테늄 분말 제조에 관한 기술을 국산화함으로써, 수입대체 및 수출효과를 향상시킬 수 있으며, 시장 점유율 증가 및 전략 부품소재산업을 활성화시킬 수 있는 효과를 제공한다.
도 1은 본 발명에 따른 수소환원장치를 나타낸 개략도이다.
도 2는 본 발명에 따른 수소환원장치의 실제 사진이다.
도 3은 본 발명에 따른 제2시료를 이용하여 각 온도에서 환원시킨 루테늄 분말의 XRD결과이다.
도 4는 본 발명에 따른 제1시료를 이용하여 각 온도에서 환원시킨 루테늄 분말의 XRD결과이다.
도 5는 본 발명에 따른 수소환원 처리에 의한 시료의 중량감소비를 나타낸 그래프이다.
도 6은 본 발명에 따른 루테늄 분말의 EDX 분석 결과를 나타낸 그래프이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 루테늄 제조 방법에 관하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 따른 수소환원장치를 나타낸 개략도이고, 도 2는 본 발명에 따른 수소환원장치의 실제 사진을 보여주고 있다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 수소환원장치는 Ar 공급관(100), H2 공급관(110), 석영관(120), 전기로(140), 온도제어장치(150), 로타리펌프(170), 압력계(160) 및 HCl 회수 장치(180)가 유기적으로 연결되어 있음을 볼 수 있다.
이와 같은 수소환원장치를 이용하여 루테늄 분말을 형성하기 위한 과정으로서, 먼저 석영관(120) 내부에 시료(130)를 장착시키고, 석영관(120)의 양단을 외부와 차단시킨다.
다음으로, 로타리펌프(170)를 이용하여 석영관(120) 내의 공기를 제거한다. 이때, 압력계(160)를 이용하여 석영관(120) 내부의 진공도를 조절한다.
그 다음으로, 석영관(120)의 둘레에 위치한 전기로(140)를 이용하여, 석영관(120) 내부를 가열 하면서, Ar 공급관(100) 및 H2 공급관(110)으로부터 원료가스가 공급되도록 한다.
여기서, Ar+H2(3 : 7) 혼합가스를 55 ~ 65 ml/min 의 유량으로 주입하면서 각 온도에서 1~2시간 반응시키는 것이 바람직하다.
이때, Ar가스의 비율이 3을 초과하게 되면 수소량이 상대적으로 감소되어 환원 효율이 저하될 수 있다.
반대로, H2가스의 비율이 7을 초과하게 되면 환원공정이 과도하게 수행되어 공정 제어가 어렵게 된다.
아울러, 혼합가스의 유량이 55 ml/min 미만이거나, 반응 시간이 1시간 미만일 경우에는 수소환원반응이 미흡해 질 수 있다. 반대로, 혼합가스의 유량이 65 ml/min을 초과하거나, 반응 시간이 2시간을 초과할 경우에는 수소환원반응이 과다하게 수행되어 루테늄의 순도가 저하될 수 있다.
한편 반응 후 발생하는 HCl 가스의 대기 중 방출을 방지하기 위한 회수 장치(180)를 부착하였으며, HCl 농도 지시액으로서 KI용액을 사용하였다. 이때, KI 지시액을 통하여 HCl 농도가 상승하면 회수액을 교환하였다.
그리고 본 발명에 따른 시료(130)는 염소(Chlorine)증류법에 의하여 고순도로 제조된 염화루테늄수산화물(RuCl3·nH2O)을 시료 원료로 사용한다. 따라서 환원반응은 다음 화학식 1과 같다.
[화학식 1]
2RuCl3·nH2O + 6H2 → 2Ru + 6HCl + nH2O
아울러, 본 발명에 따른 염소증류법에 의한 염화루테늄수산화물 시료의 화학식에서 최적의 환원 조건을 얻기 위해서는, 일반적인 염화루테늄수산화물(commercial RuCl3·nH2O)과 비교된 결정수 및 흡착수량 미리 파악하여야 한다.
따라서, 본 발명에서는 결정수 및 흡착수량을 파악하기 위하여 본 발명에 따른 제1염화루테늄수산화물(제1시료)과 상업적으로 판매되고 있는 제2염화루테늄수산화물(제2시료)을 각각 Ar분위기 및 220℃에서 가열하여 환원반응 거동에 대해 조사하였다. 그리고, 각 시료의 무게 감소량을 측정하여 하기 도 3 및 도 4에 나타내었다.
그 다음으로, 상기 각 시료들을 환원시키기 위한 온도 변화에 따른 환원반응 거동에 대하여 조사하였다.
먼저, 상업적으로 판매되고 있는 제2염화루테늄수산화물을 400, 500, 600, 700, 800℃에서 각각 1시간동안 가열하였으며, 본 발명에서 제조된 제1염화루테늄수산화물은 700, 800℃에서 각각 1시간동안 가열하여 환원 반응시켰다.
그 다음으로, 각 시료별 무게 감소량을 측정하였으며, XRD분석 및 성분 분석을 행하여 그 결과를 하기 도 3 및 도 4에 각각 표시하였다.
도 3은 본 발명에 따른 제2시료를 이용하여 각 온도에서 환원시킨 루테늄 분말의 XRD결과이고, 도 4는 본 발명에 따른 제1시료를 이용하여 각 온도에서 환원시킨 루테늄 분말의 XRD결과이다.
먼저, 도 3을 살펴보면 상업적으로 판매되고 있는 제2염화루테늄수산화물로부터 환원된 루테늄 분말의 XRD결과로서, 220℃의 경우(Ar 가스 분위기)를 기준으로 할 때, 가열 온도가 400℃이상이 되면 순수한 루테늄(Pure-Ru)에 해당하는 회절피크만이 나타남을 알 수 있었다.
하지만 저온에서는 회절강도가 낮은 것으로 보아 환원된 루테늄 결정 핵생성이 우선적으로 이루어지고 있으며, 고온에서는 결정립 성장이 충분히 이루어지고 있다는 것을 알 수 있다.
다음으로, 도 4의 경우는 본 발명에 따른 염소(Chlorine)증류법에 의하여 제조된 제1염화루테늄수산화물(RuCl3·nH2O)을 700℃ 및 800℃에서 수소 분위기에서 각각 1시간 동안 환원반응시킨 반응 산물의 XRD 결과를 나타내고 있다.
도 4를 참조하면, 고온에서 순수한 루테늄(Pure-Ru)의 회절강도가 상기 도 3의 경우보다 증가하여 결정 성장이 충분히 이루진 상태임을 알 수 있다.
즉 700℃이상에서는 환원반응 뿐만 아니라 결정립성장이 충분히 이루어지는 것으로 보아 불순물의 존재 확률이 더욱 낮아진다는 것을 알 수 있다.
한편, Cl등의 불순물은 주로 입계에 집적하게 되며, 결정립 성장을 방해하는 역할을 할 수 있다. 이때, 본 발명에 따른 수소환원공정에서 얻어진 루테늄 분말의 경우에는 충분한 결정립 성장이 이루어 졌으므로, 휘발성 불순물 즉 Cl 및 O등에 의한 오염이 상대적으로 적게 이루어질 될 수 있다.
따라서, 본 발명에 따른 수소환원공정의 가열 온도는 700 ~ 800℃인 것이 바람직하다. 가열 온도가 700℃미만일 경우에는 상기와 같이 충분한 결정립 성장이 이루어지지 않을 수 있으며, 가열 온도가 800℃를 초과할 경우에는 뚜렷한 결정립 성장에 대한 증가율이 나타나지 않기 때문에 공정 에너지 낭비가 초래될 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 루테늄 분말은 염소증발법에 의해서 형성된 고순도의 염화루테늄수산화물을 이용하고, 상술한 온도 범위, 가스 공급 유량 및 가열 시간을 제어함으로써, 고순도의 루테늄 분말을 얻을 수 있다.
따라서 이하에서는 상기 고순도의 루테늄 분말의 특성에 대해서 살펴보는 것으로 한다.
도 5는 본 발명에 따른 수소환원 처리에 의한 시료의 중량감소비를 나타낸 그래프이다.
도 5를 참조하면, 무수 RuCl3에 포함된 루테늄량의 계산값을 적색의 점선으로 표시하였다.
다음으로, 본 발명에 따른 제1시료(Prepared RuCl3)를 이용하여 220℃에서 흡착수 및 결정수를 제거한 염화루테늄의 경우 실제로 RuCl3+α 임을 알 수 있다.
그 다음으로, 일반적인 제2시료(Commercial RuCl3)를 이용하여 220℃에서 흡착수 및 결정수를 제거한 염화물은 RuCl3+β라는 것을 알 수 있다.
여기서 α값은 -0.08~-0.05이며, β값은 0.2~0.4이다. 따라서 본 발명에 따른 루테늄 분말의 특성은 시료로 사용된 염화루테늄 원료 각각의 화학양론 조성에 근접해 있다는 것을 알 수 있었다.
또한 일반적인 제2시료(Commercial RuCl3)의 경우를 참조할 때, 가열 온도가 400℃이상의 온도에서 환원반응이 완전히 이루어진다는 것을 알 수 있다.
따라서, 본 발명에 따른 루테늄 분말은 700 ~ 800℃에서 완전한 환원반응을 이루며, 최적의 분말 특성을 나타냄을 알 수 있다. 그리고 이를 증명하기 위해서 하기 EDX 분석 실험을 진행하였다.
도 6은 본 발명에 따른 루테늄 분말의 EDX 분석 결과를 나타낸 그래프이다
도 6을 참조하면, 본 발명에 따른 수소환원법으로 염화루테늄을 루테늄 분말로 제조하고, EDX 분석한 결과를 높은 순도를 나타내었음을 알 수 있다.
보다 구체적으로 EDX 결과를 정리하면, 본 발명에 따라서 제조된 루테늄 금속은 하기 표 1과 같이 순도 99.98%를 나타내었으며, 불순물로는 산소가 미량 검출되었다.
성분 Wt% At%
O 0.02 0.11
Ru 99.98 99.89
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 루테늄 분말 제조 방법은 계속해서 증가되고 있는 루테늄 금속, 합금상, 화합물상으로서의 폐스크랩 및 폐자원으로부터, 루테늄을 용이하게 회수할 수 있고, 고순도화를 효율적이고, 안정적으로 수행 하도록 한다.
이상에서는 본 발명의 실시예를 중심으로 설명하였지만, 당업자의 수준에서 다양한 변경이나 변형을 가할 수 있다. 이러한 변경과 변형이 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 한 본 발명에 속한다고 할 수 있다. 따라서 본 발명의 권리범위는 이하에 기재되는 청구범위에 의해 판단되어야 할 것이다.
100 : Ar 공급관 110 : H2 공급관
120 : 석영관 130 : 시료
140 : 전기로 150 : 온도제어장치
160 : 압력계 170 : 로타리펌프
180 : HCl 회수 장치

Claims (6)

  1. 진공관에 염화루테늄수산화물(RuCl3·nH2O)을 삽입하는 단계;
    상기 진공관의 양 단부를 밀봉시키고, 내부 공기를 제거하는 단계; 및
    상기 진공관 내에 Ar을 공급하여 Ar 분위기에서 220℃로 가열하여 염화루테늄수산화물의 흡착수 및 결정수를 제거한 후 Ar 및 H2 혼합가스를 공급하면서, 가열기를 이용하여 상기 진공관을 가열하여, 상기 염화루테늄수산화물을 700 ~ 800℃에서 환원반응시켜 루테늄 분말을 제조하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 루테늄 분말 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 염화루테늄수산화물은
    염소증류방식으로 형성된 것을 특징으로 하는 루테늄 분말 제조 방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 혼합가스는
    Ar : H2의 비율이 3 : 7이 되도록 하는 것을 특징으로 하는 루테늄 분말 제조 방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 혼합가스의 유량은
    55 ~ 65 ml/min 인 것을 특징으로 하는 루테늄 분말 제조 방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 가열하는 단계는
    1 ~ 2시간 동안 수행하는 것을 특징으로 하는 루테늄 분말 제조 방법.
  6. 삭제
KR1020110055431A 2011-06-09 2011-06-09 수소환원법을 이용한 루테늄 분말 제조 방법 KR101300778B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110055431A KR101300778B1 (ko) 2011-06-09 2011-06-09 수소환원법을 이용한 루테늄 분말 제조 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110055431A KR101300778B1 (ko) 2011-06-09 2011-06-09 수소환원법을 이용한 루테늄 분말 제조 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20120136476A KR20120136476A (ko) 2012-12-20
KR101300778B1 true KR101300778B1 (ko) 2013-08-29

Family

ID=47903846

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110055431A KR101300778B1 (ko) 2011-06-09 2011-06-09 수소환원법을 이용한 루테늄 분말 제조 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101300778B1 (ko)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09227965A (ja) * 1996-02-19 1997-09-02 Mitsubishi Materials Corp 精製金属ルテニウム粉末とその製造方法
KR100319223B1 (ko) 1998-07-14 2002-01-05 노미야마 아키히콰 고순도 루테늄 스팟터링 타겟트의 제조방법 및 고순도루테늄 스팟터링 타겟트
KR20100131238A (ko) * 2009-06-05 2010-12-15 성일하이텍(주) 루테늄 함유 폐스크랩으로부터 루테늄의 회수 방법
KR20120033639A (ko) * 2010-09-30 2012-04-09 성일하이텍(주) 액상 환원법을 이용한 루테늄 분말 제조방법

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09227965A (ja) * 1996-02-19 1997-09-02 Mitsubishi Materials Corp 精製金属ルテニウム粉末とその製造方法
KR100319223B1 (ko) 1998-07-14 2002-01-05 노미야마 아키히콰 고순도 루테늄 스팟터링 타겟트의 제조방법 및 고순도루테늄 스팟터링 타겟트
KR20100131238A (ko) * 2009-06-05 2010-12-15 성일하이텍(주) 루테늄 함유 폐스크랩으로부터 루테늄의 회수 방법
KR20120033639A (ko) * 2010-09-30 2012-04-09 성일하이텍(주) 액상 환원법을 이용한 루테늄 분말 제조방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR20120136476A (ko) 2012-12-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101475174B (zh) 一种提纯工业硅制备太阳能级硅的方法
CN104108708B (zh) 一种氮掺杂石墨烯及其制备方法
WO2020098094A1 (zh) 一种制备高纯碳化硅粉料的方法
TWI339642B (en) Process for the production of doped metal oxide particles
CN103184354A (zh) 高纯砷的制备方法
CN101037216A (zh) 无水氯化镧的氯化焙烧脱水法制备工艺
CN104129781B (zh) 一种原位氮掺杂多孔石墨烯及其制备方法
WO2020103280A1 (zh) 一种高纯碳化硅粉及其制备方法
CN101734704A (zh) 一种制备高纯碳酸锶的方法
CN109055752B (zh) 一种钙热还原低价钒氧化物制备金属钒的方法
KR101300778B1 (ko) 수소환원법을 이용한 루테늄 분말 제조 방법
CN101857270A (zh) 一种合成高纯砷烷的方法
JP5514570B2 (ja) スズドープ酸化インジウム粉末の製造方法およびスズドープ酸化インジウム粉末
CN103539129B (zh) 一种二氧化硅的提纯方法
CN112125316A (zh) 一种低纯度无定形硼粉的提纯方法
CN104891499B (zh) 一种硅烷法制备多晶硅的工艺方法
CN101875504A (zh) 一种高纯无水氯化锌的制造方法
CN114735691A (zh) 一种用于提纯高纯碳粉的工艺
CN104649255A (zh) 一种球磨辅助氧化还原制备石墨烯的方法
CN114436260A (zh) 制备氧同位素标记的一氧化碳和二氧化碳的装置及方法
CN110963471B (zh) 一种熔盐离子交换式一步法合成Ta3N5的方法
CN103043631A (zh) 一种液相还原与氢处理制备碲化镉粉末的方法
CN103288074A (zh) 一种纳米新金刚石粉体的制备方法
JP5032040B2 (ja) セレン化水素の製造方法
CN104310398A (zh) 一种利用循环流化床反应器生产碳化钛粉的方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160822

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170821

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180822

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190821

Year of fee payment: 7