KR101281823B1 - 고정형 파워 보드와 교체형 코어 보드를 포함하는 자동 테스트 장치 - Google Patents

고정형 파워 보드와 교체형 코어 보드를 포함하는 자동 테스트 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 자동 테스트 장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 테스트를 행하기 위하여 정해진 테스트 패턴 데이터를 발생시키는 패턴 생성 모듈, 피시험 디바이스(DUT)에 입력 신호를 제공하고 상기 피시험 디바이스로부터 출력 신호를 수신하는 핀 전자 드라이버, 상기 패턴 생성 모듈로부터 출력되는 패턴 데이터와 상기 패턴 데이터가 입력되는 상기 피시험 디바이스의 핀을 대응시키는 패턴 데이터 선택 모듈, 및 상기 피시험 디바이스로부터 도출된 데이터를 미리 정해진 데이터와 비교하여 통과 또는 오류의 판정을 하는 오류 판정 모듈을 포함하는 코어 보드; 및 프로그램식 전력 공급 모듈을 포함하는 파워 보드를 포함하되, 상기 코어 보드는 교체형으로 구성되고, 상기 파워 보드는 고정형으로 구성되는 것을 그 구성상의 특징으로 한다.
본 발명에서 제안하고 있는 고정형 파워 보드와 교체형 코어 보드를 포함하는 자동 테스트 장치에 따르면, 자동 테스트 장치의 구조를 코어 보드와 파워 보드로 나누어 구성하고, 코어 보드는 피시험 디바이스의 특성에 따라 교체할 수 있는 교체형으로 구성하되, 파워 보드는 고정형으로 구성함으로써, 코어 보드만의 교체만으로 다양한 제품군의 피시험 디바이스의 테스트가 가능하여 경제적이다.
또한, 본 발명에 따르면, 주요 구성요소 외에도 타임 제너레이터, 포매터, 오류 메모리, 리던던시 분석기 및 파라미터 측정 유닛을 코어 보드에 포함시켜 기타 코어 기능들이 하이픽스 보드와 함께 교체 및 구동될 수 있도록 하고, 파워와 프로그램식 전력 공급 모듈만을 파워 보드에 포함시킴으로써, 피시험 디바이스 종류에 영향을 받지 않는 전력 제공 모듈을 별도의 보드로 분리 구성하여 효율적인 장치 사용이 가능하다.

Description

고정형 파워 보드와 교체형 코어 보드를 포함하는 자동 테스트 장치{AUTOMATIC TEST EQUIPMENT HAVING FIXED TYPE POWER BOARD AND EXCHANGE TYPE CORE BOARD}
본 발명은 자동 테스트 장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 고정형 파워 보드와 교체형 코어 보드를 포함하는 자동 테스트 장치에 관한 것이다.
자동 테스트 장치(ATE)는, 대개 컴퓨터로 구동되는, 반도체, 전자회로, 및 인쇄회로기판 어셈블리와 같은 디바이스를 테스트하는 자동화된 시스템을 가리킨다. 한편, 반도체는, 불순물이 아주 소량 섞인 게르마늄이나 실리콘과 같이 전기 전도도가 부도체보다는 높고 금속 같은 전도체보다는 낮은 고체 물질로서, 온도나 압력 등 주위 환경의 변화에 의해 그 전도도가 조절되며, 트랜지스터, 집적 회로(IC) 등에 사용되고 근래에는 여러 용도의 감지기에도 이용된다. 반도체 디바이스 산업에서는 전자제품에 대한 끊임없는 요구를 만족시키기 위한 노력으로 집적회로를 더 작고 더 빠르게 제조하기 위해 지속적으로 노력하고 있다. 신뢰할만한 디바이스를 가지고 이런 요구들을 제때에 맞추기 위해서, 디바이스 제조업자들은 각각의 디바이스의 집적도와 동작성을 검증할 필요가 있다. 결론적으로, 성공적으로 반도체 디바이스를 제조하는 것에 포함되는 결정적인 과정은 기능적인 및 구조적인 각각의 디바이스의 테스트와 관련이 있는바, 자동 테스트 장치는 반도체 디바이스 산업에서 매우 중요한 부분을 차지한다.
반도체 제조 공정 중 제조된 반도체 칩의 불량 여부(Pass/Fail)를 판정하는 검사(Test) 공정은 제조된 칩의 전기적 특성 검사를 위한 공정으로 자동 테스트 장치(Automatic Test Equipment)를 이용하여 두 단계의 검사과정을 수행한다. 첫 번째 방법은 제조된 칩의 전기적 특성을 검사하고, 다음 단계로 칩의 기능적 동작 검사를 수행한다. 두 단계의 검사 과정 중 동작 검사는 패턴 발생기에서 검사 대상의 칩을 위한 적절한 검사 패턴을 핀 드라이버(Pin driver)를 통해 DUT(Device Under Test)에 인가하고 DUT로부터 출력되는 신호를 비교기(Comparator)를 사용하여 예상 결과(Expect data)와 비교하여 칩의 불량 여부를 최종 판정하게 된다.
이와 같은 방법으로 작동되는 자동 테스트 장치는, 패턴 생성기, 핀 드라이버, 비교기 및 전력 공급기를 주요 구성요소로 하는데, 이와 같은 각 구성요소들은 하나의 본체 내에 포함되는 구조를 따르는 것이 일반적이다. 즉, 이와 같은 주요 구성요소를 포함하여 하나의 테스트 헤드 또는 시스템을 이룬다. 따라서 피시험 디바이스의 특성에 따라 각각 다른 자동 테스트 장치를 구비하여 시험하여야 하거나, 테스트 헤드나 시스템 전체를 교체해야 하므로 시스템에 교란을 일으키고, 비경제적이라는 문제가 있었다.
본 발명은 기존에 제안된 방법들의 상기와 같은 문제점들을 해결하기 위해 제안된 것으로서, 자동 테스트 장치의 구조를 코어 보드와 파워 보드로 나누어 구성하고, 코어 보드는 피시험 디바이스의 특성에 따라 교체할 수 있는 교체형으로 구성하되, 파워 보드는 고정형으로 구성함으로써, 코어 보드만의 교체만으로 다양한 제품군의 피시험 디바이스의 테스트가 가능하여 경제적인, 고정형 파워 보드와 교체형 코어 보드를 포함하는 자동 테스트 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
또한, 본 발명은, 주요 구성요소 외에도 타임 제너레이터, 포매터, 오류 메모리, 리던던시 분석기 및 파라미터 측정 유닛을 코어 보드에 포함시켜 기타 코어 기능들이 하이픽스 보드와 함께 교체 및 구동될 수 있도록 하고, 파워와 프로그램식 전력 공급 모듈만을 파워 보드에 포함시킴으로써, 피시험 디바이스 종류에 영향을 받지 않는 전력 제공 모듈을 별도의 보드로 분리 구성하여 효율적인 장치 사용이 가능한, 고정형 파워 보드와 교체형 코어 보드를 포함하는 자동 테스트 장치를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따른 고정형 파워 보드와 교체형 코어 보드를 포함하는 자동 테스트 장치는,
테스트를 행하기 위하여 정해진 테스트 패턴 데이터를 발생시키는 패턴 생성 모듈, 피시험 디바이스(DUT)에 입력 신호를 제공하고 상기 피시험 디바이스로부터 출력 신호를 수신하는 핀 전자 드라이버, 상기 패턴 생성 모듈로부터 출력되는 패턴 데이터와 상기 패턴 데이터가 입력되는 상기 피시험 디바이스의 핀을 대응시키는 패턴 데이터 선택 모듈, 및 상기 피시험 디바이스로부터 도출된 데이터를 미리 정해진 데이터와 비교하여 통과 또는 오류의 판정을 하는 오류 판정 모듈을 포함하는 코어 보드; 및
프로그램식 전력 공급 모듈을 포함하는 파워 보드를 포함하되,
상기 코어 보드는 교체형으로 구성되고,
상기 파워 보드는 고정형으로 구성되는 것을 그 구성상의 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 코어 보드는,
상기 테스트 수행 동작의 기본 주기 내에 포함되는 타이밍 에지를 생성하는 타임 제너레이터; 및
상기 패턴 데이터 선택 모듈 또는 상기 핀 전자 드라이버에서 출력된 데이터를 운영체제에 적합한 양식으로 전환하는 포매터를 더 포함할 수 있다.
바람직하게는, 상기 코어 보드는,
상기 피시험 디바이스에 대한 테스트로부터 얻어진 오류 정보를 저장하는 오류 메모리를 더 포함할 수 있다.
바람직하게는, 상기 코어 보드는,
상기 피시험 디바이스에 대한 테스트로부터 얻어진 오류 정보를 분석하는 리던던시 분석기를 더 포함할 수 있다.
바람직하게는, 상기 코어 보드는,
상기 피시험 디바이스에 인가되는 전압 및 전류를 포함하는 파라미터를 측정 및 조절하는 파라미터 측정 유닛을 더 포함할 수 있다.
바람직하게는, 상기 파워 보드는,
DRAM 계열 또는 FLASH 계열을 포함하는 반도체의 테스트에 모두 적합성을 가지는 것일 수 있다.
본 발명에서 제안하고 있는 고정형 파워 보드와 교체형 코어 보드를 포함하는 자동 테스트 장치에 따르면, 자동 테스트 장치의 구조를 코어 보드와 파워 보드로 나누어 구성하고, 코어 보드는 피시험 디바이스의 특성에 따라 교체할 수 있는 교체형으로 구성하되, 파워 보드는 고정형으로 구성함으로써, 코어 보드만의 교체만으로 다양한 제품군의 피시험 디바이스의 테스트가 가능하여 경제적이다.
또한, 본 발명에 따르면, 주요 구성요소 외에도 타임 제너레이터, 포매터, 오류 메모리, 리던던시 분석기 및 파라미터 측정 유닛을 코어 보드에 포함시켜 기타 코어 기능들이 하이픽스 보드와 함께 교체 및 구동될 수 있도록 하고, 파워와 프로그램식 전력 공급 모듈만을 파워 보드에 포함시킴으로써, 피시험 디바이스 종류에 영향을 받지 않는 전력 제공 모듈을 별도의 보드로 분리 구성하여 효율적인 장치 사용이 가능하다.
도 1은 종래 반도체 테스트 시스템의 전체적인 구성을 도시한 도면.
도 2는 종래 방식에 따라 구성된 자동 테스트 장치(ATE)를 도시한 도면.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 고정형 파워 보드와 교체형 코어 보드를 포함하는 자동 테스트 장치의 구성을 도식화한 도면.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 고정형 파워 보드와 교체형 코어 보드를 포함하는 자동 테스트 장치의 구성을 도식화한 도면.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 고정형 파워 보드와 교체형 코어 보드를 포함하는 자동 테스트 장치의 구성 및 구조를 도시한 도면.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일 또는 유사한 부호를 사용한다.
덧붙여, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 ‘연결’되어 있다고 할 때, 이는 ‘직접적으로 연결’되어 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 ‘간접적으로 연결’되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 구성요소를 ‘포함’한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다.
자동 테스트 장치(Automatic Test Equipment; ATE)는, 반도체 디바이스, 인쇄 회로 기판 및 기타 소자 및 어셈블리를 테스트하는데 광범위하게 사용된다. 도 1은 종래 반도체 디바이스 자동 테스트 시스템의 전체적인 구성을 도시한 도면이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 반도체 디바이스 자동 테스트 시스템은, 테스트 헤드(10), 하이픽스 보드(20) 및 핸들러(30)를 포함하여 구성된다. 테스트 헤드(10)는, 피시험 디바이스(반도체)를 테스트하는 자동 테스트 장치를 의미할 수 있다. 하이픽스 보드(HI-fixture board, 20)는, 피시험 디바이스(반도체)와 테스트 헤드(10) 간의 전기적 연결, 및 피시험 디바이스(반도체)와 핸들러(30) 간의 기구적 연결의 역할을 할 수 있다. 핸들러(30)는, 일정 수량의 피시험 디바이스(반도체)를 반송하여 테스트가 이루어지도록 하고 이 테스트 결과에 따라 피시험 디바이스(반도체)를 등급별로 분류하여 적재하는 역할을 할 수 있다.
도 2는 종래 방식에 따라 구성된 자동 테스트 장치(ATE)를 도시한 도면이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 종래 방식에 따라 구성된 자동 테스트 장치는, 피시험 디바이스(DUT)를 테스트하고 전력을 공급하는 등의 각 구성요소가 하나의 본체 또는 시스템 내에 구성되는 구조를 채택하고 있다. 피시험 디바이스는 반도체일 수 있고, 반도체는 DRAM 계열 또는 Flash 계열 등 다른 특성을 가지는 다양한 종류가 있다. 자동 테스트 장치에서, 테스트 패턴 생성기, 핀 드라이버, 비교기 등은, 반도체의 특성에 따라 변경되어야 한다. 따라서 피시험 디바이스의 특성 및 종류에 따라 각각 다른 자동 테스트 장치가 요구되거나, 테스트 헤드나 시스템 전체가 교체되어야 하므로, 매우 비경제적이라는 문제가 있었다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 고정형 파워 보드와 교체형 코어 보드를 포함하는 자동 테스트 장치의 구성을 도식화한 도면이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 고정형 파워 보드와 교체형 코어 보드를 포함하는 자동 테스트 장치(10)는, 패턴 생성 모듈(110), 핀 전자 드라이버(120), 패턴 데이터 선택 모듈(130), 오류 판정 모듈(140)을 포함하는 코어 보드(100)와 프로그램식 전력 공급 모듈(210)을 포함하는 파워 보드(200)로 분리하여 구성될 수 있다.
코어 보드(100)는, 자동 테스트 장치(10)에서 테스트의 주요 기능을 수행하는 것으로서, 피시험 디바이스의 특성 및 종류에 따라 영향을 받는 요소들로 구성될 수 있다. 본 발명의 일실시예에 따르면, 코어 보드(100)는, 교체형으로 구성될 수 있다. 이와 같은 구성을 채택함으로써, 자동 테스트 장치(10)는, 해당 피시험 디바이스에 따라 적합한 코어 보드(100)로 교체하여 사용이 가능할 수 있으므로, 전체 시스템을 교환하거나, 별도의 장비를 구비할 필요가 없어 장치의 효율성 및 경제성을 높일 수 있다. 이하에서는 교체 가능한 코어 보드(100)에 구비되는 각 구성요소에 대하여 상세하게 살펴보기로 한다.
패턴 생성 모듈(110)은, 테스트를 행하기 위하여 정해진 테스트 패턴 데이터를 발생시킬 수 있다. 실시예에 따라서는, Algorithmic pattern generator일 수 있으며, 메모리 장치 시험을 위한 인스트럭션을 코딩하는 역할을 할 수 있다.
핀 전자 드라이버(120)는, 피시험 디바이스에 입력 신호를 제공하고 피시험 디바이스로부터 출력 신호를 수신하는 등의 역할을 수행할 수 있다. 패턴 데이터 선택 모듈(130)은, 출력되는 패턴 데이터와 패턴 데이터가 입력되는 피시험 디바이스의 핀을 대응시키는 역할을 할 수 있다.
오류 판정 모듈(140)은, 피시험 디바이스로부터 도출된 데이터를 미리 정해진 데이터와 비교하여 통과 또는 오류의 판정을 할 수 있다. 실시예에 따라서는 논리 비교기(LOGICAL COMPARATOR)일 수 있으며, 공지된 다양한 논리 비교기가 이용될 수 있다.
파워 보드(200)는, 자동 테스트 장치(10)에서 전력을 공급하는 역할을 수행하는 것으로서, DRAM 계열 또는 FLASH 계열을 포함하는 반도체의 테스트에 모두 적합성을 가지는 것일 수 있다. 파워 보드(200)는, 피시험 디바이스의 특성 및 종류에 따라 영향을 거의 받지 않으므로, 고정형으로 구성될 수 있다. 즉, 교체가 필요한 구성요소들은 코어 보드(100)에 구비하여, 코어 보드(100)만의 교체로 다양한 제품군의 테스트가 가능하게 되므로, 자동 테스트 장치의 효율성을 높일 수 있다.
프로그램식 전력 공급 모듈(210)은, 기존의 전원 공급 모듈과는 달리 전압 및 전류 출력 레벨을 광범위하게 조절 가능하도록 구성한 것으로서, 출력 범위가 서로 다른 출력단을 복수 개 구비하여 서로 다른 전압 및 전류의 출력을 구현할 수 있다. 프로그램식 전력 공급 모듈(210)은 전압 및 전류를 생성하는 전원 공급부(미도시)와 이를 제어하는 제어부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 고정형 파워 보드와 교체형 코어 보드를 포함하는 자동 테스트 장치의 구성을 도식화한 도면이다. 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 고정형 파워 보드와 교체형 코어 보드를 포함하는 자동 테스트 장치에서 코어 보드(100)는, 타임 제너레이터(150), 포매터(Formatter, 160), 오류 메모리(170), 리던던시 분석기(180), 및 파라미터 측정 유닛(190)을 더 포함하여 구성될 수 있다.
타임 제너레이터(TIME GENERATOR, TG, 150)는, 테스트 수행 동작의 기본 주기 내에 포함되는 타이밍 에지를 생성할 수 있으며, 포매터(FORMATTER, 160)는, 패턴 데이터 선택 모듈(130) 또는 핀 전자 드라이버(120)에서 출력된 데이터를 운영체제에 적합한 양식으로 전환하는 역할을 수행할 수 있다. 오류 메모리(FAIL MEMORY, 170)는, 피시험 디바이스에 대한 테스트로부터 얻어진 오류 정보를 저장하는 역할을 수행할 수 있다. 실시예에 따라서는, 오류 정보를 피시험 디바이스의 셀 단위로 기억할 수 있다.
리던던시 분석기(REDUNDUNCY ANALYZER, 180)는, 피시험 디바이스에 대한 테스트로부터 얻어진 오류 정보를 분석할 수 있다. 실시예에 따라서는, 리던던시 분석기는 오류 데이터(FAIL DATA)를 분석하여 페일된 메모리 셀의 어드레스를 리던던시 영역의 메모리 셀 어드레스로 변환하여 페일된 메모리 셀을 리던던시 영역의 정상 동작하는 메모리 셀로 대체하는 역할도 할 수 있다.
파라미터 측정 유닛(PARAMETRIC MEASUREMENT UNIT, PMU, 190)은, 피시험 디바이스에 인가되는 전압 및 전류를 포함하는 파라미터를 측정 및 조절할 수 있다. 테스트가 진행되는 동안 적합한 파라미터 값이 피시험 디바이스에 인가될 수 있도록 유지 및 조절할 수 있다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 고정형 파워 보드와 교체형 코어 보드를 포함하는 자동 테스트 장치의 구성 및 구조를 도시한 도면이다. 도 5에 도시된 바와 같이, 자동 테스트 장치(10)는, PIN ELECTRONICS(핀 전자 드라이버, 120)에서 피시험 디바이스와 입력 신호 및 출력 신호를 송수신할 수 있고, ALGORITHMIC PATTERN GENERATOR(패턴 생성 모듈, 110)에서 패턴을 생성하며, PROGRAMMABLE DATA SELECTOR(패턴 데이터 선택 모듈, 130)에서 출력된 패턴 데이터와 피시험 디바이스의 핀을 대응시킬 수 있다. 또한, TG & FORMATTER(타임 제너레이터 및 포매터, 150 및 160)에서 타이밍 에지 및 데이터 양식 전환이 수행될 수 있고, 양식 전환된 데이터와 PIN ELECTRONICS을 통해 수신된 신호 등을 이용하여 LOGICAL COMPARATOR(오류 판정 모듈, 140)에서 통과 또는 오류 판정될 수 있다. 오류 판정 정보 및 선택된 패턴 데이터는 FAIL MEMORY(오류 메모리, 170)에 저장될 수 있고, REDUNDANCY ANALYZER(리던던시 분석기, 180)에서 정보 분석될 수 있다. PARAMETRIC MEASUREMENT(파라미터 측정 유닛, 190)에서는 피시험 디바이스에 인가되는 전압 및 전류를 포함하는 파라미터들이 측정 및 조절될 수 있다. 이와 같이 피시험 디바이스의 종류 및 특성에 영향을 받는 구성요소들은 코어 보드(100)에 구비되어 교체형으로 구비될 수 있다.
반면, PROGRAMMABLE POWER SUPPLY(PPS, 프로그램식 전력 공급 모듈, 210)는 별도의 보드(파워 보드, 200)로 구성되어 고정형으로 자동 테스트 장치에 구비될 수 있다. 이와 같은 구성을 채택함으로써, Slot 확장을 통해 사용가능한 PPS Channel 확장도 용이할 수 있다. 이는, 점점 다양한 종류의 반도체가 개발되는 실정을 고려할 때, 자동 테스트 장치의 활용 범위를 넓힐 수 있는 경제적이고 효율적인 장치로서의 광범위한 활용이 기대된다.
이상 설명한 본 발명은 본 발명이 속한 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 다양한 변형이나 응용이 가능하며, 본 발명에 따른 기술적 사상의 범위는 아래의 특허청구범위에 의하여 정해져야 할 것이다.
10: 테스트 헤드, 자동 테스트 장치 20: 하이픽스 보드
30: 핸들러 100: 코어 보드
110: 패턴 생성 모듈 120: 핀 전자 드라이버
130: 패턴 데이터 선택 모듈 140: 오류 판정 모듈
150: 타임 제너레이터 160: 포매터
170: 오류 메모리 180: 리던던시 분석기
190: 파라미터 측정 유닛 200: 파워 보드
210: 프로그램식 전력 공급 모듈

Claims (6)

  1. 자동 테스트 장치로서,
    테스트를 행하기 위하여 정해진 테스트 패턴 데이터를 발생시키는 패턴 생성 모듈, 피시험 디바이스(DUT)에 입력 신호를 제공하고 상기 피시험 디바이스로부터 출력 신호를 수신하는 핀 전자 드라이버, 상기 패턴 생성 모듈로부터 출력되는 패턴 데이터와 상기 패턴 데이터가 입력되는 상기 피시험 디바이스의 핀을 대응시키는 패턴 데이터 선택 모듈, 및 상기 피시험 디바이스로부터 도출된 데이터를 미리 정해진 데이터와 비교하여 통과 또는 오류의 판정을 하는 오류 판정 모듈을 포함하는 코어 보드; 및
    프로그램식 전력 공급 모듈을 포함하는 파워 보드를 포함하되,
    상기 코어 보드는 교체형으로 구성되고,
    상기 파워 보드는 고정형으로 구성되는 것을 특징으로 하며,
    상기 코어 보드는,
    상기 피시험 디바이스에 대한 테스트로부터 얻어진 오류 정보를 저장하는 오류 메모리를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 고정형 파워 보드와 교체형 코어 보드를 포함하는 자동 테스트 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 코어 보드는,
    상기 테스트 수행 동작의 기본 주기 내에 포함되는 타이밍 에지를 생성하는 타임 제너레이터; 및
    상기 패턴 데이터 선택 모듈 또는 상기 핀 전자 드라이버에서 출력된 데이터를 운영체제에 적합한 양식으로 전환하는 포매터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 고정형 파워 보드와 교체형 코어 보드를 포함하는 자동 테스트 장치.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서, 상기 코어 보드는,
    상기 피시험 디바이스에 대한 테스트로부터 얻어진 오류 정보를 분석하는 리던던시 분석기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 고정형 파워 보드와 교체형 코어 보드를 포함하는 자동 테스트 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 코어 보드는,
    상기 피시험 디바이스에 인가되는 전압 및 전류를 포함하는 파라미터를 측정 및 조절하는 파라미터 측정 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 고정형 파워 보드와 교체형 코어 보드를 포함하는 자동 테스트 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 파워 보드는,
    DRAM 계열 또는 FLASH 계열을 포함하는 반도체의 테스트에 모두 적합성을 가지는 것을 특징으로 하는, 고정형 파워 보드와 교체형 코어 보드를 포함하는 자동 테스트 장치.
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