KR101274083B1 - 약액도포노즐 및 이를 이용한 약액도포장치 - Google Patents

약액도포노즐 및 이를 이용한 약액도포장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 약액도포노즐 및 이를 이용한 약액도포장치에 관한 것으로, 기판에 대하여 약액 도포하는 슬릿이 형성된 몸체와, 상기 몸체 내부에 형성되며 상기 몸체 일측에 형성된 유입포트를 통하여 약액을 공급받아 저장하는 챔버와, 상기 챔버 내에 설치되어 상기 유입포트에서 공급되는 약액을 상기 챔버의 길이방향으로 분산하여 유입시키는 가이드기재를 포함하는 약액도포노즐 및 이를 이용한 약액도포장치를 제공한다. 본 발명에 의하면, 기판에 도포되는 약액에 기포가 포함되는 것을 방지하여 도포될 약액의 균일도를 향상시키므로 도포성능을 월등히 향상시키는 효과가 있다.
약액, 도포노즐, 챔버, 가이드기재, 블레이드

Description

약액도포노즐 및 이를 이용한 약액도포장치{Chemical application nozzle and chemical application device using thereof}
도 1은 종래 약액도포노즐의 사시 상태도이다.
도 2는 본 발명에 따른 약액도포노즐의 제1실시 단면상태도이다.
도 3a 내지 도 3c는 도 2에 도시된 약액도포노즐에서 가이드기재의 다양한 형태를 나타낸 평면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 약액도포노즐의 제2실시 단면상태도이다.
도 5는 본 발명에 따른 약액도포노즐의 제3실시 단면상태도이다.
도 6은 본 발명에 따른 약액도포노즐을 이용한 약액도포장치의 제1실시 상태도이다.
도 7은 본 발명에 따른 약액도포노즐을 이용한 약액도포장치의 제2실시 상태도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
100 : 몸체 101 : 슬릿
102 : 이송통로 103 : 장착홈
110 : 챔버 120 : 매니폴드
130 : 유입포트 200 : 가이드기재
200a : 배기공 201 : 제1블레이드
202 : 제2블레이드 210 : 판상조립체
300 : 공급부 400 : 이송부
500 : 로딩부 600 : 주행기재
본 발명은 약액도포노즐 및 이를 이용한 약액도포장치에 관한 것으로, 특히 기판에 도포될 약액의 균일도를 향상시킬 수 있는 약액도포노즐 및 이를 이용한 약액도포장치에 관한 것이다.
일반적으로 기판을 세정하거나 기판에 도포된 포토레지스트를 현상하기 위하여 약액을 도포하는 약액도포장치들은 기판의 폭 이상의 길이를 가지는 약액도포노즐을 포함한다.
이와 같은 세정이나 현상 등의 공정처리시에는 기판의 전면에 대하여 약액이 균일한 조건으로 도포되는 것이 가장 이상적이지만, 약액도포노즐의 구조적 특성상 도포성능이 저하될 수 있으며, 이와 같은 약액도포노즐을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 종래 약액도포노즐의 사시 상태도이다.
도 1을 참조하면, 종래 약액도포노즐은 기판에 대하여 약액 도포하는 슬 릿(11)이 형성된 몸체(10)와, 상기 몸체(10) 내부에 형성되고 몸체(10) 일측에 형성된 유입포트(12)를 통하여 약액을 유입받는 챔버(20)와, 상기 챔버(20)에 저장된 약액을 유입받아 슬릿(11)으로 공급하는 매니폴드(21)를 포함한다.
상기의 구성에서, 챔버(20)에 저장된 약액은 이송통로(22)를 통하여 매니폴드(21)로 공급되고, 상기 이송통로(22)는 수회 굴곡된 구조로 형성되는 것이 바람직하다.
일례로 이송통로(22)는 약액이 내벽면과 마찰하여 과도한 압력손실이 발생되지 않도록 2~3회정도 굴곡형성되는 것이 더욱 바람직하다.
따라서 이송통로(22)는 매니폴드(21)에 직선 연결되는 경우 보다 그 길이가 더 연장되므로 매니폴드(21)로 공급되는 약액의 압력 및 유량을 안정화시키며 약액을 이송한다
한편 종래 약액도포노즐은 약액이 유입포트(12)에서 챔버(20)로 자연낙하되는 방식이므로 물낙차에 의해 거품이 발생될 수 있으며, 챔버(20) 내의 구석진 모서리 부위나 이송통로(22)의 절곡부위에서 유체의 정체나 층간 유속차에 의해 대량의 기포가 발생될 수 있다.
이처럼 종래 약액도포노즐은 약액 유입구조, 챔버구조, 이송통로의 구조상 내부에 저장된 약액에 기포가 발생된다는 문제점이 있었고, 이처럼 약액에 기포가 포함된 채 기판에 도포되면 약액의 균일도가 저하되므로 도포성능을 심각하게 저하시키는 단점이 있었다.
상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명은, 약액에 기포가 포함되는 현상을 최대한 억제할 수 있는 약액도포노즐 및 이를 이용한 약액도포장치를 제공함에 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명인 약액도포노즐은, 기판에 대하여 약액 도포하는 슬릿이 형성된 몸체; 상기 몸체 내부에 형성되며 상기 몸체 일측에 형성된 유입포트를 통하여 약액을 공급받아 저장하는 챔버; 및 상기 챔버의 내부에 설치되어 상기 유입포트로부터 상기 챔버 내부로 공급되는 약액이 상기 챔버의 길이방향을 따라 분산되면서 유입되도록 한 후 유입된 약액을 이송통로로 공급하는 가이드기재를 포함하되, 상기 가이드기재는, 상기 챔버의 일측 내벽에서 타측 내벽을 향하여 연장형성되어 상기 유입포트에서 토출된 약액을 상면으로 이송받아 단부로 수평이송 후 낙하시키는 제1블레이드 및 상기 제1블레이드와 대칭되게 상기 제1블레이드의 하측에 설치되어 상기 제1블레이드에서 낙하된 약액을 상면으로 이송받아 단부로 수평이송 후 낙하시키는 제2블레이드로 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명 약액도포장치는 기판을 이송하는 이송부와, 상기 이송부를 따라 이송되는 기판에 대하여 약액 도포하는 상기의 약액도포노즐과, 상기 약액도포노즐에 약액을 공급하는 공급부를 포함한다.
또한 본 발명 약액도포장치는, 기판이 로딩되는 로딩부와, 상기 로딩부에 로딩되어 정지 또는 이송되는 기판의 표면에 일방향으로 주행하며 약액을 도포하는 상기의 약액도포노즐과, 상기 약액도포노즐을 일방향으로 주행시키는 주행기재와, 상기 약액도포노즐에 약액을 공급하는 공급부를 포함한다.
이하에서 본 발명에 따른 약액도포노즐의 다양한 실시 예들을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
<실시예 1>
도 2는 본 발명에 따른 약액도포노즐의 제1실시 단면상태도이고, 도 3a 내지 도 3c는 도 2에 도시된 약액도포노즐에서 가이드기재의 다양한 형태를 나타낸 평면도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 약액도포노즐의 제1실시예는 기판에 대하여 약액 도포하는 슬릿(101)이 형성된 몸체(100)와, 상기 몸체(100) 내부에 형성되며 상기 몸체(100) 상측에 형성된 유입포트(130)를 통하여 약액을 공급받아 저장하는 챔버(110)와, 상기 유입포트(130)에서 토출되는 약액을 수평방향으로 다단 순차이송하는 제1블레이드(201)와 제2블레이드(202)를 포함하는 가이드기재(200)와, 상기 챔버(110)에 저장된 약액을 유입받아 상기 슬릿(101)으로 공급하는 매니폴드(120)를 포함한다.
상기 몸체(100)는 기판이송경로상에 고정설치되어 이송되는 기판에 대하여 슬릿(101)을 통하여 약액을 도포하도록 구성될 수도 있고, 로딩대기하고 있는 기판 표면에 대하여 일정간격 이격하도록 설치되어 기판 표면을 일방향으로 주행하며 슬릿(101)을 통하여 약액을 도포하도록 구성될 수도 있다.
그리고 본 제1실시예에서는 유입포트(130)가 몸체(100)의 상측에서 슬릿(101)의 형성방향을 따라 복수 형성된 것이지만, 유입포트(130)가 몸체(100)의 전면 또는 후면에서 슬릿(101)의 형성방향을 따라 복수 형성된 것이어도 무방함은 물론이다.
이러한 몸체(100)는 그 내부에 유입포트(130)를 통하여 유입된 약액이 저장 되는 챔버(110)가 형성되고, 챔버(110)에 저장된 약액을 매니폴드(120)까지 이송하는 직선형의 이송통로(102)가 형성된다.
상기 가이드기재(200)는 챔버(110)의 일측 내벽에서 타측 내벽을 향하여 연장형성되어 유입포트(130)에서 토출된 약액을 상면으로 이송받아 단부로 수평이송 후 낙하시키는 제1블레이드(201)와, 챔버(110)의 타측 내벽에서 일측 내벽을 향하여 연장형성되고 상기 제1블레이드(201)의 하측에 설치되어 제1블레이드(201)에서 낙하된 약액을 상면으로 이송받아 단부로 수평이송 후 낙하시키는 제2블레이드(202)를 포함한다.
따라서 본 제1실시예에 따르면, 유입포트(130)에서 공급되는 약액이 챔버(110) 내로 바로 낙하되지 않고 제1블레이드(201)와 제2블레이드(202)를 거쳐 챔버(110)로 유입되므로 물낙차가 감소하여 기포발생을 억제하며, 약액 유입경로가 연장되는 것은 물론 약액이 제1블레이드(201)와 제2블레이드(202)의 상면을 따라 챔버(110)의 길이방향으로 분산된 후 챔버(110)로 유입되므로 유체의 압력 및 유량이 안정화되는 장점이 있다.
이와 같이, 챔버(110)로 유입저장된 약액은 이송통로(102)를 거쳐 매니폴드(120)로 이송되며, 매니폴드(120)에서 슬릿(101)으로 공급되어 기판에 도포된다.
따라서 종래 약액도포노즐에서 매니폴드(120)에 약액을 공급하는 이송통로(102)가 유체의 압력 및 유량 안정화를 위해 복수회 절곡형성된 것에 반하여, 본 제1실시예에 따르면 이송통로(102)가 매니폴드(120)에 직선연결되어도 무방하므로 몸체(100) 내부 구조를 간소화하는 장점이 있다.
도 3a 내지 도 3c는 도 2에 도시된 약액도포노즐에서 가이드기재의 다양한 구조를 나타낸 평면도이다.
도 3a 내지 도 3c를 참조하면, 제1블레이드(201)와 상기 제2블레이드(202)는 그 상면이 단부로 갈수록 하향 경사진 것이 바람직하다. 따라서 제1블레이드(201)와 제2블레이드(202)는 몸체(100)에 설치가 용이한 수평구조로 설치되면서도, 제1블레이드(201)와 제2블레이드(202)의 상면으로 이송된 약액이 경사방향을 따라 단부로 자연유도되어 낙하될 수 있다.
더욱이 제1블레이드(201)와 제2블레이드(202)는 그 단부가 도시된 바와같이 라운드지게 형성되어 약액이 급격하게 낙하탈락되지 않고 단부를 따라 저면으로 완만하게 유도되어 낙하탈락될 수 있다.
한편 종래 기술에서 상술한 바와 같이 챔버(110)의 하면과 측면이 만나는 모서리 부위에서는 기포가 발생될 가능성이 높다. 따라서 제1블레이드(201)와 제2블레이드(202)는 챔버(110)의 내벽과 인접하는 부위 예컨데 챔버(110)의 모서리 부위 직상부에 배기공(200a)을 더 포함하는 것이 바람직하다.
따라서 제1블레이드(201)와 제2블레이드(202)는 배기공(200a)을 통하여 챔버(110) 내에서 발생될 수 있는 흄(fume)제거는 물론이거니와, 챔버(110)의 모서리 부위에서 발생되는 기포를 신속하게 제거해 낼 수 있는 장점이 있다.
상기 배기공(200a)은 도 3a 및 도 3c에 도시된 바와 같이 원형일 수도 있고, 도 3b에 도시된 바와 같이 타원형일 수도 있는데, 특별히 그 형상에 구애됨이 없이 챔버(110) 내의 기포를 효과적으로 제거해 낼 수 있는 형상이면 족하다.
상기에서, 몸체(100)는 제1블레이드(201)와 제2블레이드(202)가 외부에서 챔버(110)의 상부로 진입설치될 수 있는 장착홈(103)을 더 포함하는 것이 바람직하다.
따라서 제1블레이드(201)와 제2블레이드(202)는 몸체(100)의 전면 또는 후면에서 챔버(110) 상부로 진입하고, 고정기재(220)에 의해 장착홈(103)에 고정설치되므로 설치편의성이 대폭 향상되는 장점이 있다.
도 3c를 참조하면, 제1블레이드(201)와 제2블레이드(202)는 장착홈(103)에 입출입가능하며 상호 분해 및 조립이 가능한 복수의 판상조립체(210)를 더 포함하는 것이 바람직하다.
이처럼 제1블레이드(201)와 제2블레이드(202)가 복수의 분체로 이루어지므로 조립편의성이 대폭 향상되는 것은 물론 몸체(100) 내부에 설치편의성도 대폭 향상되는 장점이 있다.
한편, 본 제1실시예에서는 제1블레이드(201) 및 제2블레이드(202)가 1조 설치되는 것을 예시하였으나, 제1블레이드(201) 및 제2블레이드(202)가 챔버(110)내에서 수직방향으로 교번하여 연속설치되는 것도 고려될 수 있음은 물론이다. 이러한 방식으로 약액을 수평방향으로 복수회 다단 순차이송하는 것도 고려될 수 있음은 더욱 물론이다.
<실시예 2>
도 4는 본 발명에 따른 약액도포노즐의 제2실시 단면상태도이다. 여기서, 앞서 도시된 도면에서와 동일한 도면부호는 동일한 기능을 하는 부재를 가리킨다.
도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 약액도포노즐의 제2실시예는 상기 제1실시예의 구성에서 가이드기재(200)의 설치구조를 변경한 것이다.
구체적으로, 가이드기재(200)는 챔버(110)의 일측 내벽에서 타측 내벽을 향하여 연장형성되어 유입포트(130)에서 토출된 약액을 상면으로 이송받아 단부로 수평이송 후 낙하시키는 제1블레이드(201)와, 챔버(110)의 일측 내벽에서 타측 내벽을 향하여 연장형성되고 제1블레이드(201)의 하측에 설치되어 제1블레이드(201)에서 낙하된 약액을 상면으로 이송받아 단부로 수평이송 후 낙하시키는 제2블레이드(202)를 포함한다.
따라서 본 제2실시예에 따르면 상기의 제1실시예와 같이 유입포트(130)에서 공급되는 약액이 챔버(110) 내로 바로 자연낙하되지 않고 가이드기재(200)의 제1블레이드(201)와 제2블레이드(202)를 거쳐 유입되므로 약액의 유입경로가 더 연장되고 물낙차가 감소하여 기포발생을 억제하는 장점이 있다.
더욱이 약액은 제1블레이드(201)와 제2블레이드(202)의 상면을 따라 챔버(110)의 길이방향으로 분산된 후 챔버(110)로 유입되므로 유체의 압력 및 유량이 안정화되어 유입되는 장점이 있다.
한편, 본 제2실시예에서는 제1블레이드(201) 및 제2블레이드(202)가 설치되는 것을 예시하였으나, 제2블레이드(202)의 하측으로 제2블레이드(202) 보다 더 긴 블레이드(미도시)가 더 설치되어 제2블레이드(202)에서 낙하되는 약액을 이송받아 그 상면으로 수평이송하여 낙하하는 것도 고려될 수 있음은 물론이다. 이러한 방식으로 약액을 수평방향으로 복수회 다단 순차이송하는 것도 고려될 수 있음은 더욱 물론이다.
<실시예 3>
도 5는 본 발명에 따른 약액도포노즐의 제3실시 단면상태도이다. 여기서, 앞서 도시된 도면에서와 동일한 도면부호는 동일한 기능을 하는 부재를 가리킨다.
도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 약액도포노즐의 제3실시예는 상기 제1실시예 또는 제2실시예의 구성에서 가이드기재(200)의 설치구조를 변경한 것이다.
구체적으로, 가이드기재(200)는 상기 챔버(110)의 일측 내벽에서 타측 내벽을 향하여 연장형성되어 상기 유입포트(130)에서 토출된 약액을 상면으로 이송받아 단부로 수평이송 후 낙하시키는 제1블레이드(201)와, 상기 챔버(110)의 타측 내벽에서 일측 내벽을 향하여 연장형성되고 상기 제1블레이드(201)와 동일 높이에 설치되는 제2블레이드(202)를 포함하는 것이 바람직하다.
특히 제1블레이드(201)와 제2블레이드(202)는 양 단부가 상호 인접하되 약액이 챔버(110)로 유입될 수 있도록 일정간격 이격되는 것이 더욱 바람직하다.
따라서 유입포트(130)에서 공급되는 약액이 챔버(110) 내로 바로 자연낙하되지 않고 가이드기재(200)의 제1블레이드(201)와 제2블레이드(202)를 각각 거쳐 유입되므로 약액의 유입경로가 더 연장되고 유입량이 일정하게 조절되어 물낙차가 감 소하여 기포발생을 억제하는 장점이 있다.
일례로 유입포트(130)는 몸체(100) 상측에서 슬릿(101)형성방향을 따라서 지그재그형상으로 배치되어 제1블레이드(201)와 제2블레이드(202)에 각각 약액을 공급하도록 구성하는 것도 고려될 수 있다.
이하에서 본 발명에 따른 약액도포노즐을 이용한 약액도포장치의 다양한 실시 예들을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
<실시예 1>
도 6은 본 발명에 따른 약액도포노즐을 이용한 약액도포장치의 제1실시 상태도이다. 여기서, 앞서 도시된 도면에서와 동일한 도면부호는 동일한 기능을 하는 부재를 가리킨다.
도 6을 참조하면, 본 발명에 따른 약액도포노즐을 이용한 약액도포장치는 기판(S)을 이송하는 이송부(400)와, 상기 이송부(400)를 따라 이송되는 기판(S)에 대하여 약액 도포하는 상기 약액도포노즐의 몸체(100)와, 상기 몸체(100)에 약액을 공급하는 공급부(300)를 포함한다.
상기 이송부(400)는 기판이송경로를 따라 설치되는 복수의 기판이송축 등을 포함할 수 있으며, 그 상면으로 로딩된 기판(S)을 일방향으로 이송한다.
따라서 몸체(100)는 공급부(300)에서 공급된 약액을 기판(S)의 표면에 도포한다.
특히, 약액도포노즐의 몸체(100)는 상술한 바와 같이 약액에 기포가 포함되는 현상이 최대한 억제되므로 기판(S)에 약액 도포할 시 도포성능을 월등하게 향상시킨다.
그리고, 본 제1실시예에서 몸체(100)는 고정설치된 것 일 수도 있으나, 기판(S)의 이송방향에 대하여 역방향으로 주행하면서 약액을 도포하도록 구성될 수도 있다. 이와 같이 몸체(100)가 기판이송방향에 대하여 역방향으로 주행하면서 약액을 도포하게 되면, 기판(S)에 약액이 도포되는 소요시간을 감소시킬 수 있는 장점이 있다.
<실시예 2>
도 7은 본 발명에 따른 약액도포노즐을 이용한 약액도포장치의 제2실시 상태도이다. 여기서, 앞서 도시된 도면에서와 동일한 도면부호는 동일한 기능을 하는 부재를 가리킨다.
도 7을 참조하면, 본 발명에 따른 약액도포노즐을 이용한 약액도포장치의 제2실시예는 기판(S)이 로딩되는 로딩부(500)와, 상기 로딩부(500)에 로딩되어 정지 또는 이송되는 기판(S)의 표면에 일방향으로 주행하며 약액을 도포하는 약액도포노즐의 몸체(100)와, 상기 몸체(100)를 일방향으로 주행시키는 주행기재(600)와, 상기 몸체(100)에 약액을 공급하는 공급부(300)를 포함한다.
상기 로딩부(500)는 예컨데 기판(S)의 저면을 지지하는 정반 등을 포함할 수 있으며, 별도의 이송기재(미도시)에 의해 기판(S)을 로딩받거나 기판(S)이 언로딩 될 수 있으며, 본 제2실시예에서는 기판이 로딩되어 정지된 상태를 예시하였으나 기판을 일방향으로 이송하도록 구성될 수도 있음은 물론이다.
상기 주행기재(600)는 일례로 로딩부(500)측으로 설치되는 리니어모터 등을 포함할 수 있으며, 몸체(100)를 기판(S)상에서 일방향으로 주행시킨다. 따라서 몸체(100)는 주행기재(600)에 지지되어 로딩부(500)에 로딩된 기판(S)상에서 일방향으로 주행하며 약액을 도포한다.
특히, 약액도포노즐의 몸체(100)는 상술한 바와 같이 약액에 기포가 포함되는 현상이 최대한 억제되므로 기판(S)에 약액 도포할 시 도포성능을 월등하게 향상시킨다.
이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시 예들을 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시 예들에 한정되지 않으며 본 발명의 개념을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능하다.
상기한 바와 같이 본 발명은, 기판에 도포되는 약액에 기포가 포함되는 것을 방지하여 도포될 약액의 균일도를 향상시키므로 도포성능을 월등히 향상시키는 효과가 있다.
또한 본 발명은, 약액이 블레이드의 상면을 따라 챔버의 길이방향으로 분산된 후 챔버로 유입되므로 유체의 압력 및 유량이 안정화되는 효과가 있다.
또한 본 발명은, 이송통로가 직선형으로 형성되어도 무방하여 몸체 내부 구조를 간소화하므로 제작편의성을 향상시키는 효과가 있다.
또한 본 발명은, 가이드기재가 몸체 전면 또는 후면에 형성되는 장착홈으로 설치되므로 설치편의성이 대폭 향상되는 효과가 있다.
또한 본 발명은, 블레이드가 복수의 분체로 이루어지므로 조립편의성 및 설치편의성도 대폭 향상되는 효과가 있다.

Claims (11)

  1. 기판에 대하여 약액 도포하는 슬릿이 형성된 몸체;
    상기 몸체 내부에 형성되며 상기 몸체 일측에 형성된 유입포트를 통하여 약액을 공급받아 저장하는 챔버; 및
    상기 챔버의 내부에 설치되어 상기 유입포트로부터 상기 챔버 내부로 공급되는 약액이 상기 챔버의 길이방향을 따라 분산되면서 유입되도록 한 후 유입된 약액을 이송통로로 공급하는 가이드기재를 포함하되,
    상기 가이드기재는,
    상기 챔버의 일측 내벽에서 타측 내벽을 향하여 연장형성되어 상기 유입포트에서 토출된 약액을 상면으로 이송받아 단부로 수평이송 후 낙하시키는 제1블레이드 및 상기 제1블레이드와 대칭되게 상기 제1블레이드의 하측에 설치되어 상기 제1블레이드에서 낙하된 약액을 상면으로 이송받아 단부로 수평이송 후 낙하시키는 제2블레이드로 구성되는 것을 특징으로 하는 약액도포노즐.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 가이드기재는,
    상기 챔버의 일측 내벽에서 타측 내벽을 향하여 연장형성되고, 상기 제1블레이드의 하측에 설치되어 상기 제1블레이드에서 낙하된 약액을 상면으로 이송받아 단부로 수평이송 후 낙하시키는 제2블레이드를 더 포함하는 약액도포노즐.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 가이드기재는
    상기 제1블레이드와 동일 높이에 설치되어 양 단부가 상호 인접하되 일정간격 이격되는 제2블레이드를 더 포함하는 약액도포노즐.
  6. 제1항, 제4항 또는 제5항에 있어서,
    상기 제1블레이드와 상기 제2블레이드는,
    그 상면이 단부로 갈수록 하향 경사진 것을 특징으로 하는 약액도포노즐.
  7. 제1항, 제4항 또는 제5항에 있어서,
    상기 제1블레이드와 상기 제2블레이드는,
    상기 챔버의 내벽과 인접하는 부위에 배기공을 더 포함하는 약액도포노즐.
  8. 제1항, 제4항 또는 제5항에 있어서,
    상기 몸체에는,
    상기 제1블레이드와 상기 제2블레이드가 외부에서 상기 챔버의 상부로 진입설치될 수 있는 장착홈을 더 포함하는 약액도포노즐.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제1블레이드와 상기 제2블레이드는,
    상기 장착홈에 입출입가능하며 상호 분해 및 조립이 가능한 복수의 판상조립체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액도포노즐.
  10. 기판을 이송하는 이송부;
    상기 이송부를 따라 이송되는 기판에 대하여 약액을 도포하는 제1항, 제4항 또는 제5항의 약액도포노즐; 및
    상기 약액도포노즐에 약액을 공급하는 공급부를 포함하는 약액도포장치.
  11. 기판이 로딩되는 로딩부;
    상기 로딩부에 로딩되어 정지 또는 이송되는 기판의 표면에 일방향으로 주행하며 약액을 도포하는 제1항, 제4항 또는 제5항의 약액도포노즐;
    상기 약액도포노즐을 일방향으로 주행시키는 주행기재; 및
    상기 약액도포노즐에 약액을 공급하는 공급부를 포함하는 약액도포장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101935573B1 (ko) * 2016-12-07 2019-04-03 (주)엔피홀딩스 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치
US10758875B2 (en) 2016-12-30 2020-09-01 Semes Co., Ltd. Liquid supply unit, substrate treating apparatus, and method for removing bubbles
KR101979606B1 (ko) * 2016-12-30 2019-05-21 세메스 주식회사 액 공급 유닛, 기판 처리 장치, 그리고 버블 제거 방법
KR101941028B1 (ko) * 2017-02-28 2019-01-22 (주)엔피홀딩스 슬릿 타입의 분사구를 가지는 혼합 유체 분사 장치
KR102450119B1 (ko) * 2019-09-16 2022-10-04 주식회사 엘지에너지솔루션 초크바 슬롯 다이 및 이를 포함하는 슬러리 코팅 장치
KR102357066B1 (ko) 2019-10-31 2022-02-03 세메스 주식회사 기판 처리 장치

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030058142A (ko) * 2001-12-29 2003-07-07 엘지.필립스 엘시디 주식회사 현상액 노즐
KR20030078435A (ko) * 2002-03-29 2003-10-08 (주)케이.씨.텍 2유체 혼합물에 의한 기판 세정용 노즐
JP2003289032A (ja) 2002-03-28 2003-10-10 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置およびスリットノズル
KR20050065305A (ko) * 2003-12-24 2005-06-29 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤 유체공급노즐, 기판처리장치 및 기판처리방법

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030058142A (ko) * 2001-12-29 2003-07-07 엘지.필립스 엘시디 주식회사 현상액 노즐
JP2003289032A (ja) 2002-03-28 2003-10-10 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置およびスリットノズル
KR20030078435A (ko) * 2002-03-29 2003-10-08 (주)케이.씨.텍 2유체 혼합물에 의한 기판 세정용 노즐
KR20050065305A (ko) * 2003-12-24 2005-06-29 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤 유체공급노즐, 기판처리장치 및 기판처리방법

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