KR20110020507A - 유체 분사 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 평판 디스플레이에 사용되는 기판의 표면을 처리하거나 세정한 후에 기판을 건조하는데 이용되며, 자중에 의한 처짐을 줄여 기판에 분사되는 유체의 균일성을 확보하여 안정적인 기판의 건조 공정을 수행하고 설치를 용이하게 할 수 있는 유체 분사 장치를 개시한다.

본 발명의 유체 분사 장치는, 유체가 유입되는 공간이 제공되는 본체, 본체의 중심선을 기준으로 일정한 각도로 기울어진 방향으로 결합되며 유체가 분사되는 슬릿이 제공된 유체 토출부재, 그리고 본체와 유체 토출부재를 체결하는 제1 체결부재들을 포함한다.

슬릿, 노즐, 세정, 건조, 균일성, 처짐, 방지, 처짐량

Description

유체 분사 장치{Apparatus for jetting fluid}

본 발명은 유체 분사 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 평판 디스플레이에 사용되는 기판의 표면을 처리하거나 세정한 후에 기판을 건조하는데 이용되며, 처짐을 줄여 기판에 분사되는 유체의 균일성을 확보하여 안정적인 기판의 건조 공정을 수행하고 설치를 용이하게 할 수 있는 유체 분사 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 세정장치는 기체나 액체 또는 이들의 혼합 유체를 일정한 압력으로 분사하여 기판의 표면에 부착된 이물질을 제거한다. 그리고 이러한 세정장치에 의하여 세정된 기판은 건조 장치에 의하여 건조된다.

통상적인 기판의 건조 장치로 사용되는 유체 분사 장치(101)는, 도 5에 도시하고 있는 바와 같이, 유체가 분사되는 긴 슬릿을 구비하고 있으며 배스(B)의 내부에 기판(G)이 이동되는 방향(도 5에서 화살표로 표시함)에 대하여 가로지르는 방향으로 설치된다.

즉, 배스(B)는 그 내부에 기판을 이송시킬 수 있는 기판 이송장치(103)가 설치되다. 그리고, 기판 이송 장치(103)는 기판(G)을 화살표 방향(도 5에서 오른쪽 방향)으로 이동시킬 수 있다. 유체 분사 장치(101)는 기판(G)이 이동하는 방향에 대하여 가로지르는 방향으로 설치되어 기판(G)의 표면에 압축 공기 등의 유체를 분사하여 기판(G)을 건조시킬 수 있다.

이때 유체 분사 장치(101)는 건조 효율을 극대화시키기 위하여 기판(G)의 표면에 대하여 일정한 각도(a)로 기울어진 형태로 설치된다. 이와 같이 기판(G)의 평면에 대하여 일정한 각도로 기울여진 상태로 설치된 유체 분사 장치(101)는 슬릿을 통하여 분사되는 유체가 기판(G)에 대하여 일정한 각도로 기울어짐으로써 기판(G)의 건조 효율을 극대화시킬 수 있다.

그러나 대형의 기판을 처리할 수 있는 유체 분사 장치(101)는 그 길이(L, 도 6에 도시하고 있음)가 길어질수록 처짐(d, 또는 휨)이 커지게 되면서 기판에 분사되는 유체(예를 들면 건조용 기체)의 균일성이 떨어지는 문제점이 있다.

기판 건조용 유체는 기판(G)의 전체 영역에 균일하게 분사가 되어야 균일한 건조 효과를 얻을 수 있으나 처짐으로 인하여 분사되는 기체의 균일성이 떨어져 건조 불량이 발생할 수 있는 문제점이 있다.

또한, 종래의 유체 분사 장치(101)는 기판(G)에 대하여 일정한 각도로 기울여 설치하여야 기판(G)의 건조 효과를 극대화시킬 수 있으나, 길이가 길어지는 경우에는 처짐으로 인하여 기울인 상태로 정밀하게 세팅하는 작업이 매우 어려운 문제점이 있다.

따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로써, 본 발명의 목적은 대형의 기판을 처리하기 위하여 길이가 길어져도 처짐을 줄여 분사되는 유체의 균일성을 유지하여 대형 기판의 처리에 있어 건조 불량을 방지할 수 있는 유체 분사 장치를 제공하는데 있다.

또한, 본 발명은 대형 기판을 세정한 후에 건조 효율을 극대화시키면서도 설치를 용이하게 할 수 있는 유체 분사 장치를 제공하는데 있다.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 유체가 유입되는 공간이 제공되는 본체, 상기 본체의 중심선을 기준으로 일정한 각도로 기울어진 방향으로 결합되며 상기 유체가 분사되는 슬릿이 제공된 유체 토출부재, 그리고 상기 본체와 유체 토출부재를 체결하는 제1 체결부재들을 포함하는 유체 분사 장치를 제공한다.

상기 유체 토출부재는 서로 마주하여 배치되는 제1 부재와 제2 부재가 제공되고, 상기 제1 부재와 제2 부재 사이에 상기 유체를 토출하는 슬릿이 제공되는 것이 바람직하다.

상기 제1 부재와 제2 부재는 서로 마주하는 부분에 일정한 간격으로 격벽이 제공되어 상기 격벽 사이로 유로들이 배치되는 것이 바람직하다.

상기 제1 부재와 상기 제2 부재는 서로 마주하는 부분에 상기 유로들과 연결되는 버퍼 쳄버가 제공되는 것이 바람직하다.

상기 제1 부재와 상기 제2 부재는 서로 마주하여 제2 체결부재들로 결합되는 것이 바람직하다.

상기 본체와 상기 토출부재는 양측면에 제3 체결부재들로 결합되는 측면 고정부재가 제공되는 것이 바람직하다.

상기 본체는 상기 기판에 대하여 연직 방향으로 배치되는 것이 바람직하다.

상기 본체는 처짐을 상쇄하기 위하여 상부 또는 하부에 곡면으로 가공된 곡면부가 제공되는 것이 바람직하다.

상기 본체는 상기 유체 토출부재가 결합되는 면이 경사면으로 이루어지는 것이 바람직하다.

이와 같은 본 발명은 본체를 수직 방향으로 세우고 본체와 연결되어 슬릿을 이루는 유체 토출부재가 본체의 중심선에 대하여 기울어진 방향으로 결합된 구조로 이루어져 길이가 길어져도 처짐을 최소화하여 유체를 균일하게 기판에 분사하여 건조 불량을 방지하는 효과를 가진다.

또한, 본 발명은 처짐량 만큼 본체의 상부와 하부를 기판에 대하여 곡면으로 가공하고 이와 같이 가공된 본체에 유체 토출부재를 고정함으로써 자중에 의하여 처짐을 최소화시켜 기판에 유체를 균일하게 분사하여 기판의 건조 불량을 방지하는 효과를 가진다.

본 발명은 본체가 수직으로 배치된 상태로 세팅이 가능하여 정밀 세팅을 간단하게 할 수 있어 조립성이 우수한 효과가 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명 하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명의 실시 예를 설명하기 위한 사시도이고, 도 2는 도 1의 분해사시도이며, 도 3은 도 1의 Ⅲ-Ⅲ부를 잘라서 본 단면도로, 유체 분사 장치를 도시하고 있다. 본 발명의 실시 예의 유체 분사 장치는, 내부에 공간이 제공된 본체(1), 본체(1)에 경사진 상태로 결합되며 슬릿(3)이 제공된 유체 토출부재(5), 본체(1)와 유체 토출부재(5)를 체결하는 제1 체결부재(7)들을 포함한다.

본체(1)는 내부에 유체가 수용되는 공간(1a, 도 2 및 도 3에 도시하고 있음)이 제공되고, 그 저면은 경사면(1b)으로 이루어진다. 본체(1)는 일정한 길이를 가지는 바(bar) 형태로 이루어진다. 본체(1)는 양면의 높이(H1, H2)가 다르게 이루어지는 것이 바람직하다. 즉, 본체(1)의 저면이 경사면(1b)을 이루기 때문에 양면의 높이(H1, H2)가 각각 다르게 이루어지며, 기판(G)이 이동되는 방향 측의 높이(H1)가 그 반대 방향 측의 높이(H2)에 비하여 더 높게 이루어지는 것이 바람직하다.

본체(1)의 경사면(1b)은 기판(G)이 이동되는 방향을 기준으로 일정한 각도로 경사져 이루어지는 것이 바람직하다.

유체 토출부재(5)는 본체(1)의 공간(1a)에 연결된 슬릿(3)이 제공된다. 이러한 유체 토출부재(5)는 제1 부재(13)와 제2 부재(15)를 포함할 수 있다. 즉, 제1 부재(13)와 제2 부재(15)가 서로 마주하여 배치되면서 그 사이에 유체를 토출할 수 있는 긴 슬릿(3)이 제공된다. 이러한 슬릿(3)은 상술한 본체(1)의 공간(1a)과 연결되어 유체를 외부로 토출할 수 있다.

한편, 본 발명의 실시 예에서 유체 토출부재(5)는 볼트 등의 제1 체결부 재(7)들에 의하여 본체(5)에 결합된다.

유체 토출부재(5)를 이루는 제1 부재(13)와 제2 부재(15)는 제2 체결부재(17)들에 의하여 서로 결합된다. 그리고 제1 부재(13)와 제2 부재(15)들은 서로 결합된 상태에서 상술한 본체(1)의 경사면(1b)에 제1 체결부재(7)들에 의하여 결합되는 것이다.

한편, 제1 부재(13)와 제2 부재(15)는 서로 마주하는 면에 격벽(13a, 15a, 도 2에 도시하고 있음)이 일정한 간격으로 제공된다. 그리고 이들 격벽(13a, 15a)들 사이에 유로(13b, 15b)들이 제공된다.

그리고 상기 제1 부재(13)와 제2 부재(15)는 서로 마주하는 부분에서 이들 유로(13b, 15b)들과 연결되는 버퍼 쳄버(18, 도 3에 도시하고 있음)가 제공된다. 이 버퍼 쳄버(18)는 유로(13b, 15b)의 하단부에 연결되어 유로(13b, 15b)를 통하여 분사되는 유체가 균일하게 토출될 수 있도록 유체를 일시적으로 저장하는 역할을 한다.

이때 유체 토출부재(5)는 본체(1)의 경사면(1b)에 기울어진 상태로 결합되므로 슬릿(3)도 기판(G)에 대하여 경사진 모양으로 기울어져 배치된다. 즉, 유체 토출부재(5)는 본체(1)의 중심선(O-O', 도 3에 도시하고 있음)을 기준으로 일정한 각도(A)로 기울어져 배치되는 것이다.

이와 같이 본 발명의 실시 예는 본체(1)의 위면(1e)의 크기(W)에 비하여 세로부(H1)의 크기가 크게 이루어지도록 하여 자중에 의한 처짐을 최소화할 수 있게 된다.

특히, 본 발명의 실시 예에서는 본체(1)를 기울이지 않고 양측면(1c, 1d)이 기판(G)에 대하여 수직 방향(연직 방향)이 되도록 배치시키므로 본체(1)를 기울여 고정하는 것에 비하여 자중에 의한 처짐을 더욱 줄일 수 있는 것이다.

한편, 상술한 본체(1)에 제공된 공간(1a)과 유체 토출부재(5)의 양 사이드 측으로 오픈된 구조인 경우에는 별도의 측면 고정부재(9, 11)가 볼트 등의 제3 체결부재(10, 12)들에 의하여 본체(1)의 양 측면에 결합될 수 있다. 즉, 측면 고정부재(9, 11)들은 본체(1)와 유체 토출부재(5)의 양측에 결합되어 측면에 노출되는 공간을 폐쇄할 수 있는 역할을 하는 것이다.

그리고 이러한 경우에 측면 고정부재(9, 11)들에는 유체가 공간(1a)으로 유입될 수 있는 통로가 제공되는 것이 바람직하다.

한편, 도 4는 본 발명의 다른 실시 예를 설명하기 위한 도면으로, 본체(1)를 도시하고 있다. 본 발명의 다른 실시 예에서는 본체(1)의 윗면(1e)의 중앙부가 사이드 측에 비하여 위로 올라오는 모양으로 라운드되도록 가공하여 상술한 유체 토출부재(5)를 결합할 수 있다. 또한, 본체(1)의 아래면인 경사면(1b)은 중앙부가 위로 올라오고 사이드 측이 아래로 내려오는 모양으로 라운드 되도록 가공하여 상술한 유체 토출부재(5)를 결합할 수 있다(도 4를 기준으로 설명함). 물론 본 발명의 실시 예로 상술한 두 가지 예를 함께 실시할 수 있다.

즉, 본 발명의 다른 실시 예는 본체(1)의 위면(1e)의 중앙부가 위쪽으로 돌출되거나 아래 면인 경사부(1b)가 라운드 모양이 되도록 소정의 거리(D)가 돌출되는 모양으로 가공하여 자중에 의하여 처짐이 발생할 경우 거리(D)에 의하여 처짐량 이 상쇄되어 본체(1)가 수평 상태를 유지할 수 있다.

따라서 본 발명의 실시 예는 대형의 기판을 건조하기 위하여 유체 분사 장치의 길이가 길어져도 자중에 의하여 처짐을 효과적으로 방지하여 균일하게 기판에 유체를 분사하여 기판의 건조 불량을 방지하며 건조 효율을 증대시킬 수 있다.

또한 본 발명의 실시 예는 기판(G)에 분사 각도를 주기 위하여 본체(1)를 기울여 설치할 필요가 없고 단지 본체(1)를 수직으로 고정하는 작업에 의하여 슬릿(3)의 각도가 기판(G)에 대하여 경사각을 가지므로 정밀한 세팅이 가능하고 설치가 매우 용이하여 조립성을 향상시키는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 실시 예를 설명하기 위한 외형도를 도시한 도면이다.

도 2는 도 1의 주요부를 분해하여 도시한 분해 사시도이다.

도 3은 도 1의 Ⅲ-Ⅲ부를 잘라서 본 단면도이다.

도 4는 본 발명의 실시 예를 설명하기 위하여 본체를 가공한 모양을 도시한 도면이다.

도 5는 종래 기술의 유체 분사 장치를 설명하기 위한 도면이다.

도 6은 종래의 유체 분사 장치를 설명하기 위한 도면이다.

Claims (9)

1. 유체가 유입되는 공간이 제공되는 본체,

   상기 본체의 중심선을 기준으로 일정한 각도로 기울어진 방향으로 결합되며 상기 유체가 분사되는 슬릿이 제공된 유체 토출부재, 그리고

   상기 본체와 유체 토출부재를 체결하는 제1 체결부재들

   을 포함하는 유체 분사 장치.
2. 청구항 1에 있어서,

   상기 유체 토출부재는

   서로 마주하여 배치되는 제1 부재와 제2 부재가 제공되고, 상기 제1 부재와 제2 부재 사이에 상기 유체를 토출하는 슬릿이 제공되는 유체 분사 장치.
3. 청구항 2에 있어서,

   상기 제1 부재와 제2 부재는

   서로 마주하는 부분에 일정한 간격으로 격벽이 제공되어 상기 격벽 사이로 유로들이 배치되는 유체 분사 장치.
4. 청구항 3에 있어서,

   상기 제1 부재와 상기 제2 부재는

   서로 마주하는 부분에 상기 유로들과 연결되는 버퍼 쳄버가 제공되는 유체 분사 장치.
5. 청구항 2에 있어서,

   상기 제1 부재와 상기 제2 부재는

   서로 마주하여 제2 체결부재들로 결합되는 유체 분사 장치.
6. 청구항 1에 있어서,

   상기 본체와 상기 토출부재는

   양측면에 제3 체결부재들로 결합되는 측면 고정부재가 제공되는 유체 분사 장치.
7. 청구항 1에 있어서,

   상기 본체는

   상기 기판에 대하여 연직 방향으로 배치되는 유체 분사 장치.
8. 청구항 1에 있어서,

   상기 본체는

   처짐을 상쇄하기 위하여 하부에 곡면으로 가공된 곡면부가 제공된 유체 분사 장치.
9. 청구항 1에 있어서,

   상기 본체는

   상기 유체 토출부재가 결합되는 면이 경사면으로 이루어진 유체 분사 장치.

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