KR100891723B1 - 비접촉식 패널 세정장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 비접촉식 패널 세정장치에 관한 것으로 보다 상세하게는 평판 패널이 세척되는 과정에서 표면이 오염되거나 손상되는 것이 방지되도록 공기압에 의한 부양에 의해 비접촉식으로 이송되면서 균일한 세정이 이루어지도록 하는 비접촉식 패널 세정장치에 관한 것으로써, 반입되는 패널을 공기압으로 부양시켜 전방으로 이송시키는 반입이송수단과, 반입이송수단에서 이송되는 패널을 공기압으로 부양시킨 상태에서 패널의 상·하면을 동시에 세정하고, 연속하여 상·하면을 건조시켜 배출시키는 세정건조수단과, 세정건조수단에서 배출되는 패널을 공기압으로 부양시켜 외부의 수납수단 및 반출수단으로 이송시키는 반출이송수단과, 이들을 관통하는 패널 이송로를 포함하여 구성되고, 반입이송수단, 세정건조수단 및 반출이송수단의 패널 이송로는 패널의 이송방향을 기준으로 좌우 양측 중 어느 한 방향으로 기울어지게 형성된다. 이로써, 본 발명은 세척과정에서 공기압에 의해 비접촉 부양된 상태로 세척이 이루어져 패널 표면세척시 접촉으로 인해 발생되는 이물질 및 스크래치가 방지되는 이점이 있으며, 세척 과정에서 세척이 누락되는 부위가 최소화되어 세척 공정이 간결해지고 세척효율이 향상되는 효과를 갖는다.
비접촉, 공압, 다공성, Porous, 부양, 세정, 건조

Description

비접촉식 패널 세정장치{Non-Contact Panel Cleaning Apparatus}
본 발명은 비접촉식 패널 세정장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 패널이 공기압에 의해 부양된 패널을 비접촉 상태로 이송하면서 패널의 상하 양면을 동시에 세정하는 비접촉식 패널 세정장치에 관한 것이다.
일반적으로, 패널 세정장치는 LCD, PDP, OLED 등의 FPD(Flat Panel Display)용 패널의 생산공정에 있어 필수적으로 요구되는 세척공정용 장비로서, 탈이온수와 같은 세정액을 통해 패널의 전·후면에 형성된 이물질 등을 세척하는 장치이다.
대표적인 종래의 패널 세정장치로는 노즐 세정, 초음파 세정, 플라즈마 세정장치 등이 있는데, 그 특징을 살펴보면 다음과 같다.
노즐 세정장치는 다수 개의 노즐을 통해 세정액인 탈이온수를 패널에 분사하여 세척하는 것으로서, 브러시를 통해 패널 표면의 파티클을 제거하고 세정액을 고압 분사하여 미세 이물질을 제거하는 가장 일반적인 세정 방식이다.
초음파 세정장치는 미세한 진동을 패널에 전달하는 동시에 세정액을 분사하여 세정하는 방식으로 짧은 시간과 낮은 압력에서 오염물질을 제거할 수 있다는 장 점을 가지고 있으며, 플라즈마 세정장치는 질소(N2) 가스를 이용해 플라즈마를 발생시켜, 세정하는 방식으로 미세한 정밀세정이 가능한 대표적인 건식 세정 방식이다.
그러나, 종래의 노즐 세정장치는 접촉식 세정방식으로 접촉된 부위의 세정이 이루어지지 않거나, 접촉으로 패널 표면에 스크래치가 발생하여 불량 패널을 양산할 수 있다는 문제점을 가지고 있으며, 또한 단면 세정만이 가능하고 작동 메커니즘이 매우 복잡하다는 문제점 및 불편함이 있었다.
또한, 초음파 세정장치는 일반 노즐 세정장치와 비교하여 고가이며, 초음파 간섭에 의해 세정얼룩이 발생할 수 있다는 문제점을 가지고 있고, 플라즈마 세정장치는 고가인 동시에 장치가 널리 보편화 되지 않아 사용이 용이하지 않은 문제점이 있었다.
이에, 본 발명은 상기와 같은 종래의 제반 문제점을 해소하기 위하여 발명된 것으로서, 평판 패널이 세척되는 과정에서 표면이 오염되거나 손상되는 것이 방지되도록 공기압에 의한 부양에 의해 비접촉식으로 이송되면서 균일한 세정이 이루어지도록 하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 패널의 상·하면으로 노즐에 의한 세정액의 고른 분사가 이루어지도록 하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명의 또 다른 목적은 공기압에 의해 비접촉식으로 부상하는 패널의 정렬이 별도의 복잡한 장치 없이 간단하게 이루어지도록 하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명의 또 다른 목적은 세척과 건조가 동시에 이루어지는 비접촉식 세정장치의 제공을 목적으로 한다.
또한, 본 발명의 또 다른 목적은 세척이 불량한 패널이 비접촉 부양 상태에서 별도의 장치를 구비하지 않고 원활하게 이송되어 수납되도록 하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 종래의 제반 문제점을 해소하기 위하여 본 발명은 반입되는 패널을 공기압으로 부양시켜 전방으로 이송시키는 반입이송수단과, 상기 반입이송수단에서 이송되는 상기 패널을 공기압으로 부양시킨 상태에서 상기 패널의 상·하면을 동시에 세정하고, 연속하여 상·하면을 건조시켜 배출시키는 세정건조수단과, 상기 세정건조수단에서 배출되는 상기 패널을 공기압으로 부양시켜 외부의 수납수단 및 반출수단으로 이송시키는 반출이송수단과, 이들을 관통하는 패널 이송로를 포함하여 구성되고, 상기 반입이송수단, 세정건조수단 및 반출이송수단의 패널 이송로는 상기 패널의 이송방향을 기준으로 좌우 양측 중 어느 한 방향으로 기울어지게 형성되는 것을 특징으로 한다.
삭제
또한, 상기 반입이송수단과 반출이송수단은 각각 장방형의 다공성 매체로 형성되며 공급되는 공기압을 이용하여 상기 패널을 부양시키는 이송 패드와, 상기 이송 패드로 공기압을 공급하면서 상기 이송 패드의 하부를 지지하는 반입이송 지지부와, 상기 이송 패드의 양 측단에 수직으로 구비되어 상기 패널 상면으로 공기를 분사하는 다수의 이송노즐을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 이송 패드는 표면에 다수의 진공홈이 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 이송 패드의 양 측단에 상기 패널의 양 측단으로 공기를 분사하여 상기 패널을 지지하도록 다공성 매체로 형성되는 이송 패널 고정부가 더 포함되어 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 세정건조수단은 상기 반입이송수단 측 상기 패널 이송로의 상·하부에 구비되어 이송되는 상기 패널로 부양용 공기와 세정액을 분사하는 다공성 매체로 이루어진 세정 패드 및 상기 세정 패드로 세적액과 부양용 공기를 공급하는 세정액 공급부를 포함하는 세정부와, 상기 패널 이송로의 상·하부에 구비되며, 상기 세정부에서 이송되는 상기 패널로 부상용 공기와 건조공기를 분사하는 다공성 매체로 이루어진 건조 패드 및 상기 건조 패드로 부양용 공기와 건조공기를 공급하는 건조공기 공급부를 포함하는 건조부가 구비되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 세정 패드 및 건조 패드는 표면에 다수의 진공홀이 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 수납수단은 상기 반출이송수단에 의해 이송되는 상기 패널의 세척상태가 불량하면 따로 수용할 수 있도록 수납부 게이트를 갖는 수납 이송부와 연결되는 수납부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상술한 바와 같이 본 발명은, FPD 패널의 세척과정에서 공기압에 의해 비접촉 부양된 상태로 세척이 이루어져 패널 표면세척시 접촉으로 인해 발생되는 이물질 및 스크래치가 방지되는 이점이 있으며, 세척 과정에서 세척이 누락되는 부위가 최소화되어 세척 공정이 간결해지고 세척효율이 향상되는 효과와, 세척되는 패널이 비접촉 부양된 상태에서 기울어져 이송되므로 노즐에 의한 분사와 함께 세정액이 패널의 표면을 흐르면서 세척이 이루어져 고른 세척과 함께 세정액이 패널의 표면에 고여 건조됨으로써 얼룩이 발생하는 문제가 방지되어 세척상태의 양호도가 향상되는 장점을 갖는다.
삭제
또한, 본 발명은 측면에서 배출되는 공기압에 의해 패널 이송시 별도로 구비되는 세밀하고 복잡한 정렬장치를 필요로 하지 않으면서 정밀하게 정렬된 상태로의 이송이 가능하여 세척장치의 구조가 단순해지는 이점과 세척장치의 유지 보수 및 제작이 용이한 이점이 있다.
또한, 본 발명은 세척과 건조가 별도의 장치를 필요로 하지 않고 내부에서 연속적으로 이루어지도록 구성됨으로써, 장치가 콤팩트해져 제작에 소요되는 비용이 저렴해지고, 패널의 세척공정이 간결해져 공정시간이 단축되는 이점을 갖는다.
또한, 본 발명은 세척 및 건조된 패널이 불량할 경우 수납부 게이트를 상승시켜 경사를 따라 패널의 자중으로 슬라이딩 되는 불량 패널을 수납부로 이송시킨 후 수납하도록 함으로써, 추가되는 장치 및 설비의 필요없이 수납부로의 이송이 신속하고 간단해지는 장점이 있다.
이하, 도시한 도면을 참고로 하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 구성을 보인 사시도이고, 도 2는 도 1의 선A-A에 따른 단면구성을 보인 개념도로서, 도시한 바와 같이 본 발명은 외부로부터 반입되는 패널(P)을 공기압을 통해 부양시킨 상태에서 공기압을 이용하여 비접촉 이송시키는 반입이송수단(10)과, 상기 반입이송수단(10)에 의해 이송되는 상기 패널(P)을 부양시킨 상태에서 상기 패널(P)의 상하 양면을 동시에 세척 후 건조시키는 세정건조수단(20)과, 세정 및 건조 후 배출되는 패널(P)을 외부에 구비되는 수납수단(40) 및 반출수단(B)으로 반출되도록 비접촉 이송시키는 반출이송수단(30)과 이들을 관통하는 패널 이송로(C)로 구성된다.
그리고, 상기 반입이송수단(10)과 세정건조수단(20) 및 반출이송수단(30)은 상기 패널(P)이 상기 패널 이송로(C)를 따라 연속으로 이송되도록 서로 인접하여 배치되며, 이송방향을 기준으로 하여 상기 패널 이송로(C)의 좌·우 양측 중 어느 한 방향으로 소정의 기울기를 갖도록 기울어지게 형성된다.
즉, 이송방향을 기준으로 상기 패널 이송로(C)는 좌측 또는 우측으로 0°~ 90° 사이의 기울기를 갖도록 기울어지게 형성할 수 있으며, 본 발명에서는 상기 패널(P)이 공기압에 의해 부양된 상태에서도 원활한 이송이 이루어지도록 5°이내의 기울기를 갖도록 형성하는 것이 바람직하다.
상기 반입이송수단(10)은 장방형의 판상으로 형성되는 이송 패드(11)와, 상기 이송 패드(11)의 하부를 지지하는 반입이송 지지부(12) 및 상기 이송 패드(11)의 양측 단부에 설치되는 다수의 이송노즐(131a)로 구성된다.
상기 이송 패드(11)는 다공성 매체(Porous Media)로 형성되는데, 상기 다공성 매체는 기체나 액체가 균일하고 원활하게 통과하는 ㎛ 이하의 미세공이 다수 형성된 것으로, 본 발명에서는 상기 이송 패드(11)를 통과하는 공기압에 의해 반입된 상기 패널(P)이 비접촉된 상태에서 일정거리 이격되어 부양된 상태를 유지할 수 있게 된다.
상기 반입이송 지지부(12)는 상기 이송 패드(11)를 하부에서 지지하는 지지수단으로의 역할을 수행할 뿐만 아니라 상기 이송 패드(11)를 통과하는 압축공기를 공급하는 역할을 수행하며, 상기 이송노즐(131a)은 상기 패널(P)이 전방으로 이송되도록 상기 패널(P)의 상면에 공기압을 분사하는데, 상기 이송노즐(131a)은 상기 이송 패드(11)의 좌우측 양단에 설치된 반입 패널 고정부(13a) 상부측에 수평으로 다수개가 돌출되게 형성된다.
상기 반입 패널 고정부(13a)에는 다공성 매체로 형성되는 고정부 패드(132a)가 구비하는데, 상기 패널(P)의 단부측으로 공기압을 배출하는 이 고정부 패드(132a)의 중앙에는 홈부(133)를 형성하여 공기압에 의한 상기 패널(P)의 비접촉 부상을 원활하게 하는 와류를 발생하도록 한다.
상기 패널(P)은 상기 이송 패드(11)로부터 부양된 상태를 유지하면서 상기 반입 패널 고정부(13a)에서 배출되는 공기압에 의해 기울어진 일측 단부에서도 일정한 거리로 이격되게 되어 별도의 복잡한 정렬장치를 구비하지 않고 정렬된 상태로 상기 패널(P)의 이송이 가능해진다. 상기 반입 패널 고정부(13a)는 상기 이송 패드(11)의 양측 단부에 각각 설치될 수도 있으며, 하부로 기울어진 일측 단부에만 설치되는 것도 바람직하다.
상기 세정건조수단(20)은 상기 반입이송수단(10)으로부터 상기 패널 이송로(C)를 따라 이송되는 상기 패널(P)을 탈이온수와 같은 세정액으로 세정한 후 건조하는 것으로, 케이스(21) 내부의 상기 패널 이송로(C)의 상면과 하면에 상기 패널(P)의 상면과 하면을 각각 세척하는 세정부(22) 및 건조공정이 이루어지는 건조부(23)로 구성되며, 상기 패널(P)이 비접촉 부양상태에서 상기 패널 이송로(C)를 따라 연속적으로 이송되어 수용되도록 상기 패널(P)이 이송되는 상기 세정건조수단(20)의 수용부분과 상기 반입이송수단(10)은 동일한 기울기로 인접하여 배치된다.
상기 반출이송수단(30)은 상기 세정건조수단(20)에서 상기 패널 이송로(C)를 따라 배출되는 상기 패널(P)을 이송하여 반출시키는 것으로, 상기 반입이송수단(10)과 대응되는 이송 패드(31) 및 반출 이송 지지부(32)와 이송노즐(131b)을 포함하여 구성되며, 세척 및 건조된 상기 패널(P)을 배출하는 상기 세정건조수단(20)의 배출 부분이 상기 패널 이송로(C)와 동일한 기울기로 기울어져 형성된다.
상기 반출이송수단(30)은 상기 패널 이송로(C)를 따라 전방 단부에 세척된 상기 패널(P)을 수용하여 적층하는 반출수단(B)이 구비되며, 상기 패널 이송로(C)의 하부로 기울어진 측단에는 세척이 불량한 패널(P)을 수납하는 상기 수납수단(40)이 구비된다.
상기 반출수단(B)은 세척상태가 양호한 패널(P)이 상기 패널 이송로(C)를 따라상기 반출이송수단(30)에 의해 이송된 후 적층되는 것으로, 작업자의 육안으로 식별하여 상기 반출수단(B) 및 수납수단(40)으로 이송될 수도 있으며, 도시되지 않았으나 상기 패널(P)의 세척상태를 판별하는 검사장치(미도시)를 구비하여 상기 반출수단(B)과 수납수단(40)으로의 이송을 결정할 수도 있다.
또한, 상기 반출이송수단(30)에 측방향과 인접하도록 구비되는 상기 수납수단(40)은 상기 반출이송수단(30)의 기울기를 따라 전방에서 하방으로 기울어지도록 형성되며, 상기 패널(P)을 수납하는 수납부(41) 및 상기 패널(P)을 상기 수납부(41)로 이송시키는 수납 이송부(414)와, 상·하로 이동되는 게이트 구동부(412)가 장착된 수납부 게이트(411)로 구성된다.
상기 게이트 구동부(412)가 상승되면 상기 수납부 게이트(411)가 상부로 이 동되어 상기 패널(P)이 상기 수납 이송부(414)로 미끄러지게 되며, 수납 지지부(413)가 하부에서 지지하고 다공성 매체로 형성되는 상기 수납 이송부(414)에서 상기 패널(P)은 비접촉 부양 상태를 유지하여 고정된 후 상기 수납부(41)에 순차적으로 적층된다.
도 3은 본 발명의 세정건조수단 및 이를 구성하는 세정부와 건조부의 구조를 보인 단면도이고, 도 4는 본 발명에 따른 세정건조수단에서 패널 이송에 대한 다른 실시예를 보인 개념도이다.
도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 상기 세정건조수단(20)은 수용공간을 갖는 상기 케이스(21) 내부에 상기 세정부(22) 및 건조부(23)가 연속적으로 인접하여 상기 패널 이송로(C)의 상부와 하부에 각각 구비되어 그 사이에 상기 패널(P)이 수용되도록 구성된다.
상기 세정부(22)는 상기 패널 이송로(C)를 따라 수용되는 상기 패널(P)을 기준으로 상·하면에 각각 소정의 간격으로 이격되어 배치되는 세정 패드(221)와, 상기 케이스(21)에 고정되어 상기 세정 패드(221)로 세정액과 공기압을 공급하면서 상·하부에 배치되는 상기 세정 패드(221)를 각각 고정하는 세정액 공급부(222)로 구성된다.
상기 세정 패드(221)는 다공성 매체를 장방형의 판상으로 형성한 것이며, 공급된 세정액을 배출시켜 상기 패널(P)의 표면을 세척한 후 이를 다시 흡입하여 순환시키는 순환공(미부호)이 구비되어 있다.
즉, 상기 세정 패드(221)가 상기 패널(P)의 상면과 하면에 인접하여 구비됨 으로써, 상기 세정 패드(221)의 내부에 형성된 미세공을 통과하여 분사되는 공기압에 의해 상기 패널(P)은 부양된 상태를 유지하게 되며, 이 상태에서 상기 패널(P)의 상면과 하면으로 각각 세정액 분출되어 세척이 이루어지게 된다.
이때, 세정액은 상기 패널(P)의 이송방향에 대하여 반대방향으로 분출되어 회수되게 되며, 상기 패널(P)은 기울어진 상태로 부양되어 있기 때문에 상기 패널(P)의 표면에 상기 세정액이 분출되면 기울기를 따라 흘러내리게 되며, 상기 세정액은 상기 패널(P)의 표면에 고여있지 않고 고르게 흐르게 되어 세정효과가 개선되게 된다.
상기 건조 패드(231)는 상기 세정 패드(221)와 동일한 구성으로 이루어지며, 상기 패널(P)이 상기 건조 패드(231) 사이에 부양된 상태로 이송된 후 세정액 대신 건조공기가 상기 패널(P)의 상·하면에 분출되게 되어 상기 패널(P)의 상·하면에 대한 건조가 이루어지게 된다.
여기서, 상기 세정건조수단(20)의 내부에는 상기 패널(P)이 수용된 후 일정한 속도로 이송시키는 이송수단이 구비되게 되는데, 상기 반입이송수단(10)과 동일하게 상기 케이스(21)의 내측에 이송노즐(미도시)이 구비되어 상기 패널(P)의 이송이 이루어지도록 하는 것이 가능하다.
또한, 특징적인 일 실시예로서 도 4에 도시한 바와 같이 수용된 상기 패널(P)의 일측 단부에 고정수단(24)이 구비되어 상기 패널(P)의 연속적인 이송이 이루어지도록 하는 것도 바람직하며, 상기 고정수단(24)으로는 물리적으로 접촉하는 클램핑 고정장치 및 다른 고정장치를 통해 고정한 후 이송시키는 것도 바람직하다.
도 5는 본 발명을 구성하는 반입/반출 패드를 보인 사시도이고, 도 6은 본 발명을 구성하는 세정/건조 패드를 보인 사시도로서, 도시한 바와 같이 상기 이송 패드(11)(31)는 다공성 매체로 형성되며, 표면에는 길이 방향으로 공기를 흡입하는 다수의 진공홈(111)이 구비된다.
상기 패널(P)이 상기 진공홈(111) 이외의 부분에서 공기압 배출로 부양되는 동시에 상기 진공홈(111)에서 흡입공기에 의한 흡입이 발생되면, 부양되는 상기 패널(P)은 좌·우로 틀어지는거나 하는 유동의 발생 없이 더 안정적으로 상기 패널(P)의 부양상태를 유지할 수 있게 된다.
상기 세정 패드(221) 및 건조 패드(231)는 기본적으로 상기 이송 패드(11)(31)와 동일하게 구성되는 것으로서, 길이방향 이외에 폭방향으로 다수의 진공홈(111)이 형성된다. 가로 및 세로 진공홈(111)으로 구획되는 구역의 중앙에는 진공홀(221a)(231b)이 구비되며, 이와 같은 상기 진공홈(111)에 의해 각 구획이 다수 구비된다.
상기 진공홈(111)과 진공홀(221a)(231a)은 동일한 효과를 나타내는 것으로 상기 진공홀(221a)(231a)에 의해 상기 세정부(22) 및 건조부(23)로 이송되는 상기 패널(P)은 더 안정적인 상태로 부양되어 이송이 이루어지게 된다.
도 7은 본 발명에 따른 이송노즐을 보인 평면도이고, 도 8은 도 7의 이송노즐의 작동을 보인 개념도이다.
도 7 및 도 8에 도시한 바와 같이 상기 이송 패드(11)(31)의 양측 단부에는 평면에 대하여 수직으로 다공성 매체로 형성되는 반입 패널 고정부(13a) 및 반출 패널 고정부(13b)가 길이방향으로 설치되며, 이를 통해 배출되는 공기압으로 상기 패널(P)은 이송방향에 대하여 양단이 안정적으로 고정되게 된다.
상기 반입 패널 고정부(13a) 및 반출 패널 고정부(13b)의 내측 면에는 수직으로 돌출되어 다시 이송방향의 하방으로 돌출되도록 형성되는 다수의 이송노즐(131a)(131b)이 구비되는데, 상기 이송노즐(131a)(131b)은 돌출된 단부측에서 이송방향에 대하여 전방 하부측을 향하도록 형성된 노즐로 구성되며, 상기 패널(P)이 이송방향에 대하여 좌·우측으로 틀어지지 않고 이송되도록 상기 패널(P)의 양측 단부에 다수가 구비되어 균일하게 분사되도록 설치된다.
상기 이송노즐(131a)(131b)이 상기 패널(P)의 상면에 공기압을 분사하게 됨에 따라 부양된 상기 패널(P)은 안정적인 상태에서 이송방향을 따라 이동하게 된다.
도 9는 본 발명에 따른 수납수단의 구성을 보인 개념도로서, 도시한 바와 같이 상기 반출이송수단(30)의 기울어진 하측 단부에는 상·하 이동 가능하도록 형성되는 수납부 게이트(411)가 구성된다.
공기를 분사하는 상기 수납부 게이트(411)가 수직으로 이동하게 되면, 상기 패널(P)은 기울어진 상태로 미끄러져 다공질 매체로 구성된 상기 수납 이송부(414)로 이동되게 되며, 상기 수납 이송부(414)의 측면에는 다공성 매체로 형성되어 공급된 공기를 분출하는 수납 패드 고정부(415)가 구비되어 반출을 위해 수납된 상기 패널(P)이 부양된 상태로 고정되게 된다.
이하, 본 발명의 작동과정에 대하여 상세하게 서술하도록 한다.
상기 반입이송수단(10)으로 수납된 상기 패널(P)이 일측 단부가 기울어진 상태로 반입되게 되면, 상기 패널(P)의 하부와 양단 또는 하부측 단부에서 공기압이 분사되어 부양된 상태가 되며, 상기 이송노즐(131a)에서의 공기압 분사에 의해 상기 패널(P)은 일정한 속도로 상기 패널 이송로(C)를 따라 상기 세정건조수단(20)을 구성하는 상기 케이스(21) 내부로 기울어져 이송된다.
상기 세정건조수단(20)으로 기울어져 이송된 상기 패널(P)은 부양된 상태로 먼저 상기 세정부(22)을 통과하게 되는데, 상기 패널(P)의 상·하면에 배치되는 상기 세정 패드(221)에서 배출되는 세정액이 상기 패널(P)의 표면을 따라 흘러내리게 되어 균일한 세정이 이루어지게 되며, 흐르는 세정액은 다시 상기 세정 패드(221)의 흡입공을 통하여 흡입되게 된다.
이때, 상기 패널(P)은 내측에 구비되는 이송노즐(미도시)을 통하여 이송되는 것이 가능하며, 상기 패널(P)의 일측 단부에 물리적으로 고정하도록 구비되는 상기 고정수단(24)에 의해 이송되는 것도 가능하다.
세정이 이루어진 상기 패널(P)은 상기 세정부(22)와 인접하는 상기 건조부(23)로 이송되게 되며, 상기 세정부(22)와 동일한 구성으로 이루어진 상기 건조부(23)에서는 상기 건조 패드(231)를 통해 건조공기가 배출되어 상기 패널(P)의 표면에 남아있는 세정액을 건조하면서 상기 반출이송수단(30)으로 배출된다.
상기 세정건조수단(20)과 동일한 기울기로 인접되는 상기 반출이송수단(30)은 배출된 상기 패널(P)을 다공성 매체로 구성되는 상기 이송 패드(31)와 반출 패널 고정부(131b)의 공기압 배출로 부양상태를 유지하게 되며, 이 상태로 상기 수납 부 게이트(411)까지 이송되게 된다.
여기서, 상기 패널(P)의 세정상태가 불량할 경우 상기 수납부 게이트(411)가 열리면서 상기 수납수단(40)을 구성하는 상기 수납부(41)로 이송되게 된다.
상기 수납부 게이트(411)로 이송된 상기 패널(P)은 상기 수납부 게이트(411)에서 발생하는 공기압으로 고정된 상태를 유지하다가 상기 수납부 게이트(411)가 수직으로 이동하게 되면서 기울기에 따른 상기 패널(P)의 자중에 의해 미끄러져 상기 수납 이송부(414)로 이송된다.
이송된 상기 패널(P)은 공기압을 발생하는 상기 수납 이송부(414) 및 수납 이송부(414)의 단부에 수직으로 구비되는 수납 패널 고정부(415)를 통해 부양된 상태로 고정되게 되며, 이후 상기 수납부(41)로 적층 되는데, 도 1에서는 일반적인 겐트리형 적층장치를 이용하여 상기 수납부(41)로의 적층이 가능하도록 도시하였으며, 상기 수납부(41)로 고정된 상기 패널(P)을 반출하여 적층시킬 수 있는 다른 적층장치를 이용하는 것도 가능하다.
따라서, 본 발명은 공기압으로 부양시키는 반입이송수단(10), 세정건조수단(20), 반출이송수단(30)이 패널 이송로(C)의 좌우 양측 단부 중 일측으로 기울어지는 기울기를 갖도록 인접하여 구성됨으로써, 패널(P)의 비접촉식 이송이 이루어져 상기 패널(P) 표면에 이물질 및 스크래치가 발생되지 않게 되는 동시에 양면 동시 세정 및 건조가 이루어지고, 기울기 의해 세척과 건조가 원활하면서 고르게 이루어진다.
도 1은 본 발명의 구성을 보인 사시도.
도 2는 도 1의 선A-A에 따른 단면구성을 보인 개념도.
도 3은 본 발명의 세정건조수단 및 이를 구성하는 세정부와 건조부의 구조를 보인 단면도.
도 4는 본 발명에 따른 세정건조수단의 패널 이송에 대한 다른 실시예를 보인 개념도.
도 5는 본 발명을 구성하는 반입/반출 패드를 보인 사시도.
도 6은 본 발명을 구성하는 세정/건조 패드를 보인 사시도.
도 7은 본 발명에 따른 이송노즐을 보인 평면도.
도 8은 도 7의 이송노즐의 작동을 보인 개념도.
도 9는 본 발명에 따른 수납수단의 구성을 보인 개념도.
※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 반입이송수단
11 : 이송 패드 111 : 진공홈
12 : 반입이송 지지부
13a : 반입 패널 고정부 13b : 반출 패널 고정부
131a/131b : 이송노즐 132a/132b : 고정부 패드
20 : 세정건조수단
21 : 케이스 22 : 세정부
221 : 세정 패드 221a : 진공홀
222 : 세정액 공급부
23 : 건조부
231 : 건조 패드 231a : 진공홀
232 : 건조공기 공급부
24 : 고정수단
30 : 반출이송수단
31 : 이송 패드 311 : 진공홈
32 : 반출이송 지지부
40 : 수납수단
41 : 수납부 411 : 수납부 게이트
412 : 게이트 구동부 413 : 수납 지지부
414 : 수납 이송부 415 : 수납 패널 고정부

Claims (8)

  1. 삭제
  2. 반입되는 패널(P)을 공기압으로 부양시켜 전방으로 이송시키는 반입이송수단(10)과;
    상기 반입이송수단(10)에서 이송되는 상기 패널(P)을 공기압으로 부양시킨 상태에서 상기 패널(P)의 상·하면을 동시에 세정하고, 연속하여 상·하면을 건조시켜 배출시키는 세정건조수단(20)과;
    상기 세정건조수단(20)에서 배출되는 상기 패널(P)을 공기압으로 부양시켜 외부의 수납수단(40) 및 반출수단(B)으로 이송시키는 반출이송수단(30)과;
    이들을 관통하는 패널 이송로(C)를 포함하여 구성되고,
    상기 반입이송수단(10)과, 세정건조수단(20) 및 반출이송수단(30)의 패널 이송로(C)는 상기 패널(P)의 이송방향을 기준으로 좌우 양측 중 어느 한 방향으로 기울어지게 형성되는 것을 특징으로 하는 비접촉식 패널 세정장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 반입이송수단(10)과 반출이송수단(30)은,
    각각 장방형의 다공성 매체로 형성되며 공급되는 공기압을 이용하여 상기 패널(P)을 부양시키는 이송 패드(11)(31)와,
    상기 이송 패드(11)(31)로 공기압을 공급하면서 상기 이송 패드(11)(31)의 하부를 지지하는 반입이송 지지부(12)(32)와,
    상기 이송 패드(11)(31)의 양 측단에 수직으로 구비되어 상기 패널(P) 상면으로 공기를 분사하여 상기 패널(P)이 전방으로 이동시키는 다수의 이송노즐(131)을,
    포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 비접촉식 패널 세정장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 이송 패드(11)(31)는,
    표면에 다수의 진공홈(111)이 형성되는 것을 특징으로 하는 비접촉식 패널 세정장치.
  5. 제 3항에 있어서,
    상기 이송 패드(11)(31)의 양 측단에 상기 패널(P)의 양 측단으로 공기를 분사하여 상기 패널(P)을 지지하도록 다공성 매체로 형성되는 이송 패널 고정부(13a)(13b)가,
    더 포함되어 구성되는 것을 특징으로 하는 비접촉식 패널 세정장치.
  6. 제 3항에 있어서,
    상기 세정건조수단(20)은,
    상기 반입이송수단(10) 측 상기 패널 이송로(C)의 상·하부에 구비되어 이송되는 상기 패널(P)로 부양용 공기와 세정액을 분사하는 다공성 매체로 이루어진 세정 패드(221) 및 상기 세정 패드(221)로 세적액과 부양용 공기를 공급하는 세정액 공급부(222)를 포함하는 세정부(22)와,
    상기 패널 이송로(C)의 상·하부에 구비되며, 상기 세정부(22)에서 이송되는 상기 패널(P)로 부상용 공기와 건조공기를 분사하는 다공성 매체로 이루어진 건조 패드(231) 및 상기 건조 패드(231)로 부양용 공기와 건조공기를 공급하는 건조공기 공급부(232)를 포함하는 건조부(23)가 구비되는 것을 특징으로 하는 비접촉식 패널 세정장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 세정 패드(22) 및 건조 패드(23)는,
    표면에 다수의 진공홀(221a)(231a)이 형성되는 것을 특징으로 하는 비접촉식 패널 세정장치.
  8. 제 4항 내지 7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 수납수단(40)은,
    상기 반출이송수단(30)에 의해 이송되는 상기 패널(P)의 세척상태가 불량하면 따로 수용할 수 있도록 수납부 게이트(411)를 갖는 수납 이송부(414)와 연결되는 수납부(41)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 비접촉식 패널 세정장치.
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