KR101267323B1 - 5축 링크 기구를 구비한 엘씨디 글라스 마크로 검사장치 - Google Patents

5축 링크 기구를 구비한 엘씨디 글라스 마크로 검사장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 글라스 홀더를 양측에서 지지하는 한 쌍의 평행관절 링크기구를 5축으로 구성하여 글라스 홀더 회전용 틸팅 모터가 내장되는 글라스 홀더 회전축과 평행관절 링크 기구의 축의 위치를 다르게 함으로써 틸팅모터용 배선을 용이하게 하는 5축 링크 기구를 구비한 LCD 글라스 마크로 검사장치에 관한 것이다.
상기와 같은 목적 달성을 위하여, LCD 글라스 홀더, 상기 글라스 홀더의 일 측면을 지지하는 제 1 링크 기구; 상기 제 1 링크 기구에 대향하고 상기 글라스 홀더의 일 측면을 지지하는 제 2 링크기구; 상기 제 1 링크 기구 및 제 2 링크 기구를 구동시키는 링크 기구 구동부; 상기 제 1 링크 기구 및 제 2 링크 기구를 함께 선회(旋回)시키는 선회구동부; 상기 선회구동부 하부에 구성되어, 주행 안내 레일을 따라 검사장치를 전진/후진시키는 주행구동부; 및 상기 LCD 글라스 홀더 및 상기 구동부 구동 모터의 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 본 발명에 따른 5축 링크 기구를 구비한 LCD 글라스 마크로 검사장치는,
각각의 상기 제 1 링크 기구 및 제 2 링크 기구는,
일단부는 제 1 연결축에 연결되고 타단부는 링크 기구 구동축에 연결되는 제 1 링크;
일단부는 제 2 연결축에 연결되고 타단부는 링크 기구 구동축에 연결되는 제 2 링크;
일단부는 제 2 연결축에 연결되고, 중간부는 제 3 연결축에 연결되고, 타단부는 글라스 홀더 회전축에 연결되는 제 3 링크; 및
일단부는 제 1 연결축에 연결되고, 타단부는 제 3 연결축에 연결되는 제 4 링크를 포함하는 것을 구성적 특징으로 한다.

Description

5축 링크 기구를 구비한 엘씨디 글라스 마크로 검사장치{MACRO INSPECTION DEVICE FOR LCD GLASS HAVING 5 JOINT LINK MECHANISM SET}
본 발명은 5축 링크 기구를 구비한 LCD 글라스 마크로 검사장치에 관한 것으로, 구체적으로는 글라스 홀더를 양측에서 지지하는 한 쌍의 평행관절 링크기구를 5축으로 구성하여 글라스 홀더 회전용 틸팅 모터가 내장되는 글라스 홀더 회전축과 평행관절 링크 기구의 축의 위치를 다르게 함으로써 틸팅모터용 배선을 용이하게 하는 5축 링크 기구를 구비한 LCD 글라스 마크로 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로 LCD 글라스 마크로 검사장치는 글라스 기판에 조명을 조사하여 빛의 반사량을 작업자가 검사함으로써, 반사량의 차이를 이용하여 글라스 기판의 정상부와 얼룩부 및 이물부 등과 같은 불량 유무를 판단하여 검사하고 있다.
그 중 크기가 약 2,500mm×2,200mm 정도의 대형 LCD 글라스 검사장치는 글라스 검사대를 일측에서만 지지할 경우, 검사대의 과중한 무게로 인하여 발생할 수 있는 LCD 글라스 손상 문제를 해결하기 위해 본 출원인이 개발한 특허 제935259호 "엘씨디 글라스 마크로 검사장치"는, 도1에 도시된 바와 같이, LCD 글라스홀더(1); 글라스 홀더(1)의 측면을 지지하는 한 쌍의 평행관절 링크기구(2, 2'); 링크기구(2, 2')를 선회(旋回)시키는 선회구동부(3); 검사장치의 좌·우방향 직선운동을 안내하는 주행축; LCD 글라스 홀더(1)의 위치를 제어하는 제어부; 및 한 쌍의 상기 링크기구(2, 2')를 구동시키는 구동모터를 포함하고, 링크기구(2, 2')는 구동모터에 의해 상기 LCD 글라스 홀더의 위치를 작업자에 대해 전/후진 및 상승/하강시키는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 엘씨디 글라스 마크로 검사장치는 한 쌍의 평행관절 링크기구를 사용함으로써 LCD 글라스 검사시 글라스 홀더가 움직이면서 발생하는 진동을 줄여 주고, 한 쌍의 링크기구를 사용하더라도 양쪽 링크기구에 전달되는 구동력을 하나의 모터로 구동시킴으로써, 글라스 홀더의 위치제어를 위하여 복수의 모터를 동기화할 필요가 없어서 구조가 간단하면서도 글라스 홀더의 안정적인 위치제어를 할 수 있으나, 도1에 도시된 바와 같이, 제3회전축(7, 7')과 틸팅모터(8)가 같은 위치에 구성될 경우, 틸팅 모터용 케이블의 배선 처리에 어려움이 발생한다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은, 글라스 홀더의 위치제어를 위하여 한 쌍의 평행관절 링크기구의 축의 위치를 틸팅 모터가 내장되는 글라스 홀더 회전축의 위치와 다르게 구성함으로써 틸팅모터용 케이블의 배선 처리를 용이하게 하는 5축 링크 기구를 구비한 LCD 글라스 마크로 검사장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 목적은, 한 쌍의 링크 기구를 구동시키기 위한 제 1 구동 모터 및 제 2 구동모터의 감속기에 각각 연결된 샤프트와 링크의 풀리 사이에 연결되는 벨트가 끊어지는 경우 이를 감지하여 제 1 및 제 2 구동 모터의 동작을 중지시킴으로써 글라스 홀더를 보호할 수 있는 브레이크 장치를 구비한 5축 링크 기구를 구비한 LCD 글라스 마크로 검사장치를 제공하는 것이다.
상기와 같은 목적 달성을 위하여, LCD 글라스 홀더, 상기 글라스 홀더의 일 측면을 지지하는 제 1 링크 기구; 상기 제 1 링크 기구에 대향하고 상기 글라스 홀더의 일 측면을 지지하는 제 2 링크기구; 상기 제 1 링크 기구 및 제 2 링크 기구를 구동시키는 링크 기구 구동부; 상기 제 1 링크 기구 및 제 2 링크 기구를 함께 선회(旋回)시키는 선회구동부; 상기 선회구동부 하부에 구성되어, 주행 안내 레일을 따라 검사장치를 전진/후진시키는 주행구동부; 및 상기 LCD 글라스 홀더 및 상기 구동부 구동 모터의 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 본 발명에 따른 5축 링크 기구를 구비한 LCD 글라스 마크로 검사장치는,
각각의 상기 제 1 링크 기구 및 제 2 링크 기구는,
일단부는 제 1 연결축에 연결되고 타단부는 링크 기구 구동축에 연결되는 제 1 링크;
일단부는 제 2 연결축에 연결되고 타단부는 링크 기구 구동축에 연결되는 제 2 링크;
일단부는 제 2 연결축에 연결되고, 중간부는 제 3 연결축에 연결되고, 타단부는 글라스 홀더 회전축에 연결되는 제 3 링크; 및
일단부는 제 1 연결축에 연결되고, 타단부는 제 3 연결축에 연결되는 제 4 링크를 포함하는 것을 구성적 특징으로 한다.
상기와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따르는 5축 링크 기구를 구비한 LCD 글라스 마크로 검사장치는, 글라스 홀더의 위치제어를 위하여 4개의 아암이 관절형태로 연결된 한 쌍의 평행 관절 링크기구의 축을 틸팅 모터가 내장되는 글라스 홀더 회전축의 위치와 다르게 구성함으로써, LCD 글라스 검사 장치의 틸팅모터용 케이블 배선처리가 용이하다.
본 발명에 따르는 5축 링크 기구를 구비한 LCD 글라스 마크로 검사장치는, 제 1 구동 모터 및 제 2 구동모터의 감속기에 각각 연결된 샤프트와 링크의 풀리 사이에 연결되는 벨트가 끊어지는 경우 이를 감지하여 제 1 및 제 2 구동 모터의 동작을 중지시키는 브레이크 장치를 구비하여 글라스 홀더를 보호할 수 있다.
본 발명에 따르는 5축 링크 기구를 구비한 LCD 글라스 마크로 검사장치는, 글라스 홀더가 움직이면서 발생하는 진동을 줄여 안정적으로 위치제어를 할 수 있고, 한 쌍의 링크기구를 사용하더라도 양쪽 링크기구에 전달되는 구동력을 하나의 모터로 구동시킴으로써, 글라스 홀더의 위치제어를 위하여 복수의 모터를 사용할 때와 같이 동기화할 필요가 없어서 구조가 간단하면서도 글라스 홀더의 안정적인 위치제어를 할 수 있다.
도1은 종래의 마크로 검사장치의 사시도이다.
도2는 본 발명에 따르는 마크로 검사 장치의 사시도이다.
도3은 본 발명에 따르는 마크로 검사 장치의 링크 기구를 나타내는 도면이다.
도4는 본 발명에 따르는 마크로 검사장치의 링크 기구 구동축에 연결된 벨트 파단 감지 브레이크 장치의 구성을 나타내는 도면이다.
도2 내지 도3을 참조하여 설명하면, 본 발명에 따르는 5축 링크 기구를 구비한 LCD 글라스 마크로 검사장치는, LCD 글라스홀더(100); 상기 글라스 홀더의 양 측면을 각각 지지하는 제 1 링크 기구(200) 및 제 2 링크기구(300); 상기 제 1 및 제 2 링크 기구를 구동시키는 링크 기구 구동부(400); 상기 제 2 링크 기구 및 제 2 링크 기구를 선회(旋回)시키는 선회구동부(500); 상기 선회 구동부 하부에 구성되는 주행 안내 레일(620)을 따라 검사장치가 전진/후진하도록 하는 주행구동부(600); 상기 LCD 글라스 홀더의 위치 및 상기 구동부 구동 모터의 동작을 제어하는 제어부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
대형의 LCD 글라스를 안전하게 지지하고 이동시킬 수 있도록 구성되는 평행 관절 구조로 구성된 한 쌍의 링크기구는 글라스 홀더(100)의 일측면에 설치되는 제 1 링크기구(200) 및 글라스 홀더의 다른 측면에서 제 1 링크 기구에 대응하도록 설치되는 제 2 링크기구(300)로 구성된다.
제 1 링크기구(200)는 네 개의 링크, 즉 제 1 링크(210), 제 2 링크(220), 제 3 링크(230), 및 제 4 링크(240)를 세 개의 연결축(201, 202, 203)과, 제 1 링크 기구와 링크 구동부 사이의 회전축(이하, "제 1 링크 기구 구동축(204)"이라 함)으로 결합하여 구성된다.
즉, 제 1 링크(210)의 일단부와 제 2 링크(220)의 일단부는 제 1 링크 기구 구동축(204)에 의해 링크 기구 구동부(400)의 일측에 연결되며, 제 1 링크(210)의 타단부는 제 1 연결축(201)에 의해 제 4 링크(240)의 일단부와 연결된다.
제 2 링크(220)의 타단부는 제 2 연결축(202)에 의해 제 3 링크(230)의 일단부에 연결된다. 제 3 링크(230)의 타단부와 제 4 링크(240)는 제 3 연결축(203)에 의해 연결되는데, 이때, 제 3 연결축(203)은 제 3 링크(240)의 양단부가 아닌 제 3 링크(230)의 중간 부분에 구성되고, 제 3 링크(230)의 타단부에는 글라스 홀더 회전축(205)이 구성되어 글라스 홀더(100)가 연결된다.
즉, 도3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따르는 5축 링크 기구를 구비한 엘씨디 글라스 마크로 검사장치의 제 1 링크 기구(200)를 구성하는 링크들 중에서 마주보는 제 2 링크(220)와 제 4 링크(240)는 길이가 동일하고, 양단부에서 인접하는 링크와 축 결합한다. 마주보는 제 1 링크(210)와 제 3 링크(230)의 길이는 동일하지 않은데, 제 3 링크(230)의 길이가 제 1 링크(210)의 길이보다 더 길고, 제 1 링크(210)는 양단부에서 인접하는 링크에 축 결합한다. 이와 달리, 제 3 링크(230)에는 양단부 및 중간부에 3 개의 연결축이 구성되는데, 제 3 링크(230)의 일단부에 구성되는 제 2 연결축(202)에는 제 2 링크(220)의 일단부가 연결되고, 제 3 링크(230)의 중간부에 구성되는 제 3 연결축(203)에는 제 4 링크(240)의 일단부가 연결되며, 제 3 링크(230)의 타단부에 구성되는 글라스 홀더 회전축(205)에는 글라스 홀더(100)가 연결된다.
한편, 글라스 홀더 회전축(205)은 글라스 홀더(100)를 360°회전시키기 위한 회전축으로, 제 1 틸팅 모터(tilting motor)(도시되지 않음)와 감속기가 내장된다.
따라서, 제 1 링크 기구의 마주보는 제 2 링크(220) 및 제 4 링크(240)는 그 길이가 동일하고 각각의 양단부에 연결축이 구성되지만, 마주보는 제 1 링크(210) 및 제 3 링크(230)는 그 길이가 동일하지 않기 때문에 본 발명에 따르는 엘씨디 글라스 마크로 검사 장치의 구동을 위한 공간이 절약될 수 있으며, 틸팅 모터 및 감속기를 내장하는 글라스 홀더 회전축(105)과 제 3 링크(230)와 제 4 링크(240)가 연결되는 제 3 연결축(203)을 별도의 위치로 구성함으로써 틸팅 모터용 케이블 배선 작업을 용이하게 할 수 있다.
또한, 제 1 링크 기구(200)와 마주보고, 글라스 홀더 측면에서 글라스 홀더를 회전시킬 수 있도록 구성되는 제 2 링크 기구(300)도 제 1 링크 기구(200)와 동일한 구성을 갖는다.
즉, 제 2 링크기구(300)는 네 개의 링크, 즉 제 1 링크(310), 제 2 링크(320), 제 3 링크(330), 및 제 4 링크(340)를 세 개의 연결축(301, 302, 303)과, 제 2 링크 기구와 링크 구동부 사이의 회전축(이하, "제 2 링크 기구 구동축(304)"이라 함)으로 결합하여 구성된다.
즉, 제 1 링크(310)의 일단부와 제 2 링크(320)의 일단부는 제 2 링크 기구 구동축(304)에 의해 링크 기구 구동부(400)의 일측에 연결되며, 제 1 링크(310)의 타단부는 제 1 연결축(301)에 의해 제 4 링크(340)의 일단부와 연결된다.
제 1 링크(310)의 타단부는 제 1 연결축(301)에 의해 제 4 링크(340)의 일단부에 연결된다. 제 4 링크(340)의 타단부와 제 3 링크(330)는 제 3 연결축(303)에 의해 연결되는데, 이때, 제 3 연결축(303)은 제 3 링크(330)의 양단부가 아닌 제 3 링크(330)의 중간 부분에 구성되고, 제 3 링크(330)의 타단부에는 글라스 홀더 회전축(305)이 구성되어 글라스 홀더(100)가 연결된다.
즉, 도3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따르는 5축 링크 기구를 구비한 엘씨디 글라스 마크로 검사장치의 제 2 링크 기구(300)를 구성하는 마주보는 제 2 링크(320)와 제 4 링크(340)는 길이가 동일하고, 양단부에서 인접하는 링크와 축 결합한다. 마주보는 제 1 링크(310)와 제 3 링크(330)의 길이는 동일하지 않은데, 제 3 링크(330)의 길이가 제 1 링크(310)의 길이보다 더 길고, 제 1 링크(310)는 양단부에서 인접하는 링크에 축 결합한다. 이와 달리, 제 3 링크(330)에는 양단부 및 중간부에 3 개의 연결축이 구성되는데, 제 3 링크(330)의 일단부에 구성되는 제 2 연결축(302)에는 제 2 링크(320)의 일단부가 연결되고, 제 3 링크(330)의 중간부에 구성되는 제 3 연결축(303)에는 제 4 링크(340)의 일단부가 연결되며, 제 3 링크(330)의 타단부에 구성되는 글라스 홀더 회전축(305)에는 글라스 홀더(100)가 연결된다.
한편, 글라스 홀더 회전축(305)은 글라스 홀더(100)를 360°회전시키기 위한 회전축으로, 제 2 틸팅 모터(도시되지 않음)와 감속기가 내장된다.
따라서, 제 2 링크 기구의 마주보는 제 2 링크(320) 및 제 4 링크(340)는 그 길이가 동일하고 각각의 양단부에는 연결축이 구성되지만, 마주보는 제 1 링크(310) 및 제 3 링크(330)는 그 길이가 동일하지 않기 때문에 본 발명에 따르는 엘씨디 글라스 마크로 검사 장치의 구동을 위한 공간이 절약될 수 있으며, 틸팅 모터 및 감속기를 내장하는 글라스 홀더 회전축(105)과 제 3 링크(330)와 제 4 링크(340)가 연결되는 제 3 연결축(303)을 별도로 구성함으로써 틸팅 모터용 케이블 배선 작업을 용이하게 할 수 있다.
한 쌍의 링크기구(200, 300)는 평행한 관절형 링크 구조이기 때문에 제 1 링크(210, 310)가 각각 움직이면 이와 마주보는 제 3 링크(230, 330)도 동일한 각도로 움직이며, 제 2 링크(220, 320)가 움직이면 이와 평행한 제 4 링크(240, 340)가 동일한 각도로 움직이게 되어 세 개의 축의 위치가 결정된다. 이와 같은 링크기구(200, 300)의 평행 관절형 링크 구조에 의해 LCD 글라스 홀더(100)는 작업자를 기준으로 하여 상하 및 전후로 이동할 수 있으며, 글라스 홀더(100)의 양측에서 링크 기구가 지지해주기 때문에 글라스 홀더의 움직임에 의해 발생하는 진동을 줄여 안정적인 위치제어를 할 수 있다.
본 발명에 따르는 5축 링크 기구를 구비한 LCD 글라스 마크로 검사장치를 구동시키기 위해, 검사장치 전체를 주행축(도면에 표시되지 않음)을 따라 직선으로 구동시키는 주행모터, 상기 링크기구를 선회시키는 선회모터, LCD 글라스 홀더를 틸팅(tilting)시키는 제 1 틸팅 모터 및 제 2 틸팅 모터, 상기 제 1 및 제 2 링크 기구를 구동시키는 구동모터를 포함하며, 각 모터에는 감속기가 포함되어 있음은 물론이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따르는 5축 링크 기구를 구비한 마크로 검사장치의 한 쌍의 링크기구(200, 300)를 구동시키는 링크 기구 구동부(400) 내부에 구성되는 구동 모터는 각각 감속기에 연결된 두 개의 구동 모터를 포함하는데, 그 중 제 1 구동 모터(41)는 제 1 링크기구(200)의 제 1 연결축(201)과 제 2 링크기구(300)의 제 1 연결축(301)을 동시에 구동시켜 제 1 링크(210, 310)와 제 4 링크(240, 340)의 위치를 제어하며, 제 2 구동 모터(42)는 제 1 링크기구(200)의 제 2 연결축(202)과 제 2 링크기구(300)의 제 2 연결축(302)을 동시에 구동시켜 제 2 링크(220, 320)과 제 3 링크(230, 330)의 위치를 제어한다.
따라서, 동일한 구동 모터에 의해 양측 링크기구(200, 300)의 서로 대응하는 축에 연결되는 링크들을 동시에 구동시킬 수 있으므로, 양측에 각각 별도의 모터를 사용하는 종래의 기술과는 달리 별도의 제어기를 이용하여 동기화시킬 필요가 없기 때문에 안정적인 위치제어를 할 수 있게 된다.
제 1 구동모터의 감속기는 중공(中空)형 감속기이며, 제 2 구동모터의 감속기는 중실(中實)형 감속기를 사용하고, 제 1 구동모터의 감속기와 제 2 구동모터의 감속기는 동일 중심축에 배치된다.
도4는 본 발명에 따르는 마크로 검사장치의 링크 기구 구동축에 연결된 벨트파단 감지 브레이크 장치의 구성을 나타내는 도면이다.
링크 기구 구동부에는 제 1 링크 기구 및 제 2 링크 기구의 오동작에 의해 글라스 홀더 또는 글라스 홀더에 장착되어 있는 글라스 기판의 파손을 방지하기 위해 제 1 구동 모터 및 제 2 구동 모터의 회전을 중단시킬 수 있는 브레이크 장치가 구성된다.
브레이크 장치는, 각각의 구동 모터에 연결된 샤프트의 양단부와 제 1 링크 기구 및 제 2 링크 기구의 링크 기구 구동축의 풀리 사이에 구성되는 벨트를 일정한 힘으로 밀어주는 아이들 풀리와, 아이들 풀리의 위치 변화를 감지하는 센서와, 회전에 의해 풀리의 톱니형태에 맞물리는 형태를 갖는 스토퍼와, 센서의 출력에 따라 스토퍼를 풀리에 대해 전진/후진시키는 솔레노이드 밸브를 포함한다.
제 1 구동모터의 회전력은 제 1 구동모터의 감속기와 벨트로 연결된 제 1 샤프트(도시되지 않음)에 전달되고, 제 1 샤프트의 일단부는 제 1 링크 기구(200)의 제 1 링크(210) 및 제 4 링크(240)를 구동시키기 위한 제 1 링크 기구 구동축의 제 1 풀리(pully, 411a)에 제 1 벨트(412a)에 의해 연결되고, 제 1 샤프트의 타단부는 제 1 벨트(412b)에 의해 제 2 링크 기구(300)의 제 1 링크(310) 및 제 4 링크(340)를 구동시키기 위한 제 1 풀리(411b)에 연결된다.
이때, 제 1 링크 기구(200)의 제 1 링크(210) 및 제 4 링크(240)를 구동시키는 제 1 샤프트의 양단에서 제 1 풀리(411a, 411b)에 각각 연결되는 제 1 벨트(412a, 412b)의 늘어짐을 방지하여 일정한 장력으로 회전하도록 하기 위해 아이들 풀리(idle pully)가 각각 구성된다. 즉, 제 1 아이들 풀리(413a)는 제 1 구동모터에 의해 회전하는 제 1 벨트(412a)를 밀어주어 벨트가 일정한 장력을 유지한 채로 회전하도록 한다. 또한, 제 1 아이들 풀리(413b)는 제 1 구동모터에 의해 회전하는 제 1 벨트(412b)를 밀어주어 벨트가 일정한 장력을 유지한 채로 회전하도록 한다.
제 1 구동모터에 의해 회전하는 제 1 벨트(412a)가 느슨해지거나 파손되어 일정한 장력을 유지하지 못하게 되는 경우, 대응하는 제 1 아이들 풀리(413a)가 밀려나는 것을 아이들 풀리 주변에 설치된 센서가 감지하면, 제 1 솔레노이드 밸브(solenoid valve, 415a)를 작동시켜 제 1 스토퍼(stopper, 414a)를 제 1 풀리(411a)에 접근하도록 이동시켜 제 1 풀리(411a)의 회전을 차단한다.
마찬가지로, 제 1 샤프트의 타단부의 제 1 벨트(412b)가 느슨해지거나 파손되어 일정한 장력을 유지하지 못하게 되는 경우, 대응하는 제 1 아이들 풀리(413b)가 밀려나는 것을 아이들 풀리 주변에 설치된 센서가 감지하면, 제 1 솔레노이드 밸브(415b)를 작동시켜 제 1 스토퍼(414b)가 제 1 풀리(411b)에 접근하도록 이동시켜 제 1 풀리(411b)의 회전을 차단한다.
또한, 제 2 구동모터의 회전력은 제 2 구동모터의 감속기에 벨트로 연결된 제 2 샤프트(도시되지 않음)에 전달되고, 제 2 샤프트의 일단부는 제 1 링크 기구(200)의 제 2 링크 (220) 및 제 3 링크(230)를 구동시키기 위한 제 2 풀리(421a)에 제 2 벨트(422a)에 의해 연결되고, 제 2 샤프트의 타단부는 제 2 벨트(422b)에 의해 제 2 링크 기구(300)의 제 2 링크(320) 및 제 3 링크(330)를 구동시키기 위한 제 2 풀리(421b)에 연결된다.
이때, 제 1 링크 기구(200)의 제 2 링크(220) 및 제 2 링크(220)을 구동시키는 제 2 샤프트의 양단에서 제 2 풀리(421a, 421b)에 각각 연결되는 제 2 벨트(422a, 422b)의 늘어짐을 방지하여 일정한 장력으로 회전하도록 하기 위해 아이들 풀리가 각각 구성된다. 즉, 제 2 아이들 풀리(423a)는 제 2 구동모터에 의해 회전하는 제 2 벨트(422a)를 밀어주어 벨트가 일정한 장력을 유지한 채로 회전하도록 한다. 또한, 제 2 아이들 풀리(423b)는 제 2 구동모터에 의해 회전하는 제 2 벨트(422b)를 밀어주어 벨트가 일정한 장력을 유지한 채로 회전하도록 한다.
제 2 구동모터에 의해 회전하는 제 2 벨트(422a)가 느슨해지거나 파손되어 일정한 장력을 유지하지 못하게 되는 경우, 대응하는 제 2 아이들 풀리(423a)가 밀려나는 것을 아이들 풀리 주변에 설치된 센서가 감지하면, 제 2 솔레노이드 밸브(425a)를 작동시켜 제 2 스토퍼(424a)가 제 2 풀리(421a)에 접근하도록 이동시켜 제 2 풀리(421a)의 회전을 차단한다.
마찬가지로, 제 2 벨트(422b)가 느슨해지거나 파손되어 일정한 장력을 유지하지 못하게 되는 경우, 대응하는 제 2 아이들 풀리(423b)가 밀려나는 것을 아이들 풀리 주변에 설치된 센서가 감지하면, 제 2 솔레노이드 밸브(425b)를 작동시켜 제 2 스토퍼(424b)가 제 2 풀리(421b)에 접근하도록 이동시켜 제 2 풀리(421b)의 회전을 차단한다.
이처럼 본 발명에 따르는 5축 링크 기구를 구비한 LCD 글라스 마크로 검사장치의 제 1 및 제 2 링크 기구 구동을 위한 벨트의 장력을 감시하여 벨트의 이상이 발생할 경우 링크 기구 구동 모터의 동작을 중단시킴으로써 오작동에 의한 마크로 검사장치 및 검사중인 LCD 글라스의 파손을 방지할 수 있다.
주행 구동부(600) 내부에 구성되는 주행모터는 LCD 글라스 홀더(100) 및 링크기구(200, 300)가 작업자의 좌·우측으로 직선 주행하도록 하며, 상기 주행모터의 주행축에 결합하여 주행 운동을 가능하게 하는 주행용 가이드를 일체로 형성하여, 상기 마크로 검사장치가 작업자에 대해 좌·우측으로 이동할 수 있도록 한다.
선회 구동부(500) 내부에 구성되는 선회모터는 상기 LCD 글라스 홀더(100) 및 링크기구(200, 300)를 좌·우로 각각 180°회전시킨다.
제어부는 마크로 검사장치의 전원을 ON/OFF 시켜 각종 모터를 제어함으로써 글라스 홀더(100)의 위치를 자유자재로 조절할 수 있게 한다.
LCD 글라스 홀더(100)에 의해 고정된 LCD 글라스의 전면에는 일반적으로 반사 조명부가 설치되어 LCD 글라스로 조명을 조사하고, LCD 글라스의 후면에는 투과 조명부가 설치되어 LCD 글라스의 배면으로 조명을 제공하여 작업자가 LCD 글라스를 검사하기에 편리하도록 조명을 제공할 수도 있다.
전술한 바와 같은 본 발명에 따르는 5축 링크 기구를 구비한 LCD 글라스 마크로 검사장치는, 글라스 홀더의 위치제어를 위하여 4개의 아암이 관절형태로 연결된 한 쌍의 평행 관절 링크기구의 조인트 부분을 틸팅 모터의 위치와 다르게 구성함으로써, LCD 글라스 검사 장치의 틸팅모터용 케이블 배선처리가 용이하고, 제 1 링크 기구 및 제 2 링크 기구 구동용 벨트가 끊어지는 경우 이를 감지하여 제 1 및 제 2 구동 모터의 동작을 중지시키는 브레이크 장치를 구비하여 글라스 홀더를 보호할 수 있으며, 한 쌍의 링크기구를 사용하더라도 양쪽 링크기구에 전달되는 구동력을 하나의 모터로 구동시킴으로써, 글라스 홀더의 위치제어를 위하여 복수의 모터를 사용할 때와 같이 동기화할 필요가 없어서 구조가 간단하면서도 글라스 홀더의 안정적인 위치제어를 할 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사항을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이런 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100 : LCD 글라스 홀더 200 : 제 1 링크기구
201 : 제 1 축 202 : 제 2 축
203 : 제 3 축 204 : 제 1 링크 기구 구동축
205 : 글라스 홀더 회전축 210 : 제 1 링크
220 : 제 2 링크 230 : 제 3 링크
240 : 제 4 링크 300 : 제 2 링크기구
301 : 제 1 축 302 : 제 2 축
303 : 제 3 축 304 : 제 2 링크 기구 구동축
305 : 글라스 홀더 회전축 310 : 제 1 링크
320 : 제 2 링크 330 : 제 3 링크
340 : 제 4 링크 400 : 링크 기구 구동부
411a, 411b : 제 1 풀리 412a, 412b : 제 1 벨트
413a, 413b : 제 1 아이들 풀리 414a, 414b : 제 1 스토퍼
415a, 415b : 제 1 솔레노이드 밸브 421a, 421b : 제 2 풀리
422a, 422b : 제 2 벨트 423a, 423b : 제 2 아이들 풀리
424a, 424b : 제 2 스토퍼 425a, 425b : 제 2 솔레노이드 밸브
500 : 선회구동부 600 : 주행 구동부

Claims (5)

  1. LCD 글라스 홀더, 상기 글라스 홀더의 일 측면을 지지하는 제 1 링크 기구; 상기 제 1 링크 기구에 대향하고 상기 글라스 홀더의 일 축면을 지지하는 제 2 링크기구; 상기 제 1 링크 기구 및 제 2 링크 기구를 구동시키는 링크 기구 구동부; 상기 제 1 링크 기구 및 제 2 링크 기구를 함께 선회(旋回)시키는 선회구동부; 상기 선회구동부 하부에 구성되어, 주행 안내 레일을 따라 검사장치를 전진/후진시키는 주행구동부; 및 상기 LCD 글라스 홀더 및 상기 구동부 구동 모터의 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 LCD 글라스 마크로 검사장치에 있어서,
    각각의 상기 제 1 링크 기구 및 제 2 링크 기구는,
    일단부는 제 1 연결축에 연결되고 타단부는 링크 기구 구동축에 연결되는 제 1 링크;
    일단부는 제 2 연결축에 연결되고 타단부는 링크 기구 구동축에 연결되는 제 2 링크;
    일단부는 제 2 연결축에 연결되고, 중간부는 제 3 연결축에 연결되고, 타단부는 글라스 홀더 회전축에 연결되는 제 3 링크; 및
    일단부는 제 1 연결축에 연결되고, 타단부는 제 3 연결축에 연결되는 제 4 링크를 포함하고,
    상기 링크 기구 구동부는,
    제 1 구동 모터 및 제 2 구동 모터의 회전을 중단시키는 브레이크 장치를 포함하고,
    상기 브레이크 장치는,
    구동 모터에 연결된 샤프트의 양단부와 제 1 링크 기구 및 제 2 링크 기구의 링크 기구 구동축의 풀리 사이에 구성되는 벨트를 일정한 힘으로 밀어주는 아이들 풀리;
    상기 아이들 풀리의 위치 변화를 감지하는 센서;
    회전에 의해 상기 풀리의 톱니형태에 맞물리는 형태를 갖는 스토퍼; 및
    상기 센서의 출력에 따라 스토퍼를 풀리에 대해 전진/후진시키는 솔레노이드 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는
    5축 링크 기구를 구비한 LCD 글라스 마크로 검사장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 링크 기구의 글라스 홀더 회전축에는 제 1 틸팅 모터가 내장되고,
    상기 제 2 링크 기구의 글라스 홀더 회전축에는 제 2 틸팅 모터가 내장되는 것을 특징으로 하는
    5축 링크 기구를 구비한 LCD 글라스 마크로 검사장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 링크 기구 구동부의 제 1 구동 모터는 제 1 링크기구 및 제 2 링크기구의 각각의 제 1 연결축을 동시에 구동시키고,
    상기 링크 기구 구동부의 제 1 링크기구 및 제 2 링크기구의 각각의 제 2 연결축을 동시에 구동시키는 것을 특징으로 하는
    5축 링크 기구를 구비한 LCD 글라스 마크로 검사장치.


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