KR101249698B1 - 소형의 ｌｃｄ 글라스 마크로 검사 장치 - Google Patents

소형의 ｌｃｄ 글라스 마크로 검사 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 LCD 글라스의 마크로 검사를 위해 LCD 글라스를 홀딩한 후, LCD 글라스 기판에 조명을 조사하여 LCD 글라스에 의한 반사되는 빛의 상태로 작업자가 육안으로 불량 유무를 검사할 수 있게 하는 소형의 LCD 글라스 마크로 검사 장치에 관한 것이다.
LCD 글라스의 마크로 검사를 위해 LCD 글라스를 홀딩한 후, LCD 글라스 기판에 조명을 조사하여 LCD 글라스에 의한 반사되는 빛의 상태로 작업자가 육안으로 불량 유무를 검사할 수 있게 하는 소형의 LCD 글라스 마크로 검사 장치가 개시되어 있다. 소형 LCD 글라스 마크로 검사 장치는 베이스 프레임; 상기 베이스 프레임 상부에 설치되는 베이스 지지대; 상기 베이스 지지대의 좌우 직진 이송을 안내하기 위한 주행 축; 상기 주행 축 상에서 상기 베이스 지지대를 좌우 직진 이송하기 위한 제 1 감속기 및 제 1 모터; 상기 베이스 지지대 상부의 베이스를 선회시키기 위한 선회 구동부; LCD 글라스 홀더; 상기 LCD 글라스 홀더와 결합되어, 상기 LCD 글라스 홀더를 틸팅하기 위한 틸트 기구; 및 상기 베이스의 일측 상에 설치되어, 상기 틸트 기구를 회전 가능하게 지지하는 링크 기구를 포함한다.

Description

소형의 ＬＣＤ 글라스 마크로 검사 장치{Marcro Inspection Device Table For Small LCD Glass}
본 발명은 소형의 LCD 글라스 마크로 검사 장치에 관한 것으로 특히, LCD 글라스의 마크로 검사를 위해 LCD 글라스를 홀딩한 후, LCD 글라스 기판에 조명을 조사하여 LCD 글라스에 의한 반사되는 빛의 상태로 작업자가 육안으로 불량 유무를 검사할 수 있게 하는 소형의 LCD 글라스 마크로 검사 장치에 관한 것이다.
LCD 글라스 마크로 검사 장치는 글라스 기판에 조명을 조사하여 빛의 반사량의 차이를 작업자 육안으로 검사하여, 글라스 기판의 정상부, 얼룩부 및 이몰부 등과 같은 불량을 검사에 이용되고 있다.
종래의 LCD 글라스 마크로 검사 장치의 예가 "원판 글래스의 마크로 검사장치"라는 명칭의 특허 공개 번호 제 2004-88899 호에 개시되어 있다. 특허 공개 번호 제 2004-88899 호에 개시된 LCD 글라스 마크로 검사 장치는 3축(X, Y, Z축) 외에 일정 각도(쎄타) 이동과, 요잉(Yawing) 및 틸팅(Tilting)을 겸하도록 하여 다양한 방향들로 검사대를 이동시켜 사용자가 앉아서도 다각도로 검사 가능토록 하는 마크로 검사장치에 관한 것으로, 검사 장치를 각 축으로 이동시키는 모터에 의해 X축과 Y축 및 Z축 방향으로 이동시키며, 쎄타 베이스 상면에 호형 레일을 설치하여 회전축에 웜휠을 기어 결합한 쎄타 구동 모터의 구동에 의해 검사 장치를 일정 각도만큼 선회시키며, 요잉 모터의 구동에 의해 요잉 베이스 상면에 설치한 검사대를 지지하는 요잉 프레임이 검사 장치를 요잉시키고, 틸팅 모터의 구동에 의해 요잉 프레임의 상단에 설치된 검사대를 틸팅시키도록 구성되어 있다.
그러나, 상술한 종래의 LCD 글라스 마크로 검사 장치는 LDC 글라스를 한 쌍의 링크 기구를 사용하여 안정적으로 글라스를 이동시킬 수 있으나, 보다 가벼운 소형의 LCD글라스의 경우에 불필요하게 검사 장비가 복잡하고 비대한 문제가 있다.
이에, 본 발명은 상술한 사정을 감안하여 창출된 것으로서, 본 발명의 목적은 안정적이면서도 그 구성이 간단하고, 보다 저렴한 소형 LCD 글라스 마크로 검사 장치를 제공하는 것이다. 본원이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 기술한 과제로 제한되지 않으며, 기술되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 소형 LCD 글라스 마크로 검사 장치는 베이스 프레임; 상기 베이스 프레임 상부에 설치되는 베이스 지지대; 상기 베이스 지지대의 좌우 직진 이송을 안내하기 위한 주행 축; 상기 주행 축 상에서 상기 베이스 지지대를 좌우 직진 이송하기 위한 제 1 감속기 및 제 1 모터; 상기 베이스 지지대 상부의 베이스를 선회시키기 위한 선회 구동부; LCD 글라스 홀더; 상기 LCD 글라스 홀더와 결합되어, 상기 LCD 글라스 홀더를 틸팅하기 위한 틸트 기구; 및 상기 베이스의 일측 상에 설치되어, 상기 틸트 기구를 회전 가능하게 지지하는 링크 기구를 포함한다.
상기 선회 구동부는 상기 베이스 지지대 및 상기 베이스 사이에 설치되어, 상기 베이스를 상기 베이스 지지대 상부에서 회전가능하게 지지하기 위한 선회 축; 외부로부터의 선회 제어 신호에 따라 회전력을 발생시키기 위한 제 2 모터; 및 상기 제 2 모터의 회전력을 감속하여 상기 선회 축을 회전시키기 위한 제 2 감속기를 포함한다.
상기 링크 기구는 상기 베이스 상에 형성된 제 1 회전 축에 일 단부가 축 결합되며, 그 타 단부에 제 2 회전 축이 형성된 메인 아암; 상기 베이스 상에 형성된 제 3 회전 축에 그 일 단부가 축 결합되며, 그 타 단부에 제 4 회전 축이 형성된 제 1 링크 아암; 그 일 단부가 상기 제 2 회전 축에 축 결합되며, 그 타 단부가 상기 제 4 회전 축에 축 결합되는 제 2 링크 아암; 그 일 단부가 상기 틸트 기구와 결합되며, 그 타 단부가 상기 제 2 회전 축에 축 결합되는 회전 아암; 상기 제 1 회전 축 상에 장착되며 상기 제 1 회전 축을 중심으로 상기 메인 아암을 회전시키기 위한 제 3 모터 및 제 3 감속기; 및 상기 제 2 회전 축 상에 장착되며, 상기 제 2 회전 축을 중심으로 상기 회전 아암을 회전시키기 위한 제 4 모터 및 제 4 감속기를 포함한다.
상기 틸팅 기구는 그 일단부가 상기 회전 아암의 회전 방향에 수직 방향으로 회전가능하게 결합되며, 그 타단부가 상기 LCD 글라스 홀더와 결합되는 틸팅 축; 및 상기 틸팅 축 상에 장착되어, 상기 틸팅 축을 구동하기 위한 제 5 모터 및 제 5 감속기를 포함한다.
본 발명에 의하면, LCD 글라스를 이송을 위해 단일의 링크 구조를 갖게 됨으로써, 보다 저렴하고, 구성이 간단한 소형 LCD 글라스 마크로 검사 장치를 제공하게 된다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 소형 LCD 글라스 마크로 검사 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 소형 LCD 글라스 마크로 검사 장치의 정면도이다.
도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 소형 LCD 글라스 마크로 검사 장치의 측면도이다.
도 4는 도 1 내지 도 3에 도시된 소형 LCD 글라스 마크로 검사 장치의 선회 구동부의 요부를 나타낸 사시도이다.
도 5는 도 1 내지 도 3에 도시된 소형 LCD 글라스 마크로 검사 장치의 링크 기구의 요부를 나타낸 사시도이다.
도 6은 도 5에 도시된 링크 기구의 제 1 회전 축의 요부를 나타낸 단면도이다.
도 7은 도 5에 도시된 링크 기구의 제 2 회전 축의 요부를 나타낸 단면도이다.
도 8은 도 1 내지 도 3에 도시된 상기 틸팅 기구의 틸팅 축을 나타낸 단면도이다.
도 9는 도 1 내지 도 3에 소형 LCD 글라스 마크로 검사 장치의 주행 축을 나타낸 단면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본원이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본원의 구현 예 및 실시 예를 상세히 설명한다.
그러나 본원은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 구현 예 및 실시 예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본원을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
본 명세서에서 사용되는 정도의 용어 "약", "실질적으로" 등은 언급된 의미에 고유한 제조 및 물질 허용 오차가 제시될 때 그 수치에서 또는 그 수치에 근접한 의미로 사용되고, 본원의 이해를 돕기 위해 정확하거나 절대적인 수치가 언급된 개시 내용을 비양심적인 침해자가 부당하게 이용하는 것을 방지하기 위해 사용된다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 소형 LCD 글라스 마크로 검사 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 소형 LCD 글라스 마크로 검사 장치의 정면도이며, 도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 소형 LCD 글라스 마크로 검사 장치의 측면도이다.
먼저, 도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 소형 LCD 글라스 마크로 검사 장치는 베이스 프레임(101), 베이스(106), 베이스 지지대(102), 주행 축(103), 선회 구동부(104), LCD 글라스 홀더(105), 틸트 기구(107), 및 링크 기구(108)를 포함한다.
상기 베이스 지지대(102)는 상기 베이스 프레임(101) 상부에 설치된다. 상기 주행 축(103)은 상기 베이스 프레임(101)의 일 측에 설치되어, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 베이스 지지대(102)의 제 1 모터(110) 및 제 1 감속기(112)에 의한 좌우 직진 이송을 안내한다. 상기 선회 구동부(104)는 상기 베이스(106) 및 상기 베이스 지지대(102) 사이에 설치되어, 상기 베이스 지지대(102) 상부의 베이스(106)를 선회시킨다. 상기 틸트 기구(107)는 상기 링크 기구(108)과 결합되어, 상기 LCD 글라스 홀더(105)와 결합되어, 상기 LCD 글라스 홀더를 틸팅한다. 상기 링크 기구(108)는 상기 베이스(106)의 일 측 상부에 회전가능하게 설치된다. 상기 링크 기구(108)는 상기 베이스(106)의 일측 상에서 상기 틸트 기구(107)과 결합되어, 상기 틸트 기구(107)를 회전 가능하게 지지한다.
도 4는 도 1 내지 도 3에 도시된 소형 LCD 글라스 마크로 검사 장치의 선회 구동부(104)의 요부를 나타낸 사시도이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 상기 선회 구동부(104)는 선회 축(141), 제 2 모터(142), 및 제 2 감속기(143)를 포함한다. 상기 선회 축(141)은 상기 베이스 지지대(102) 및 상기 베이스(106) 사이에 설치된다. 상기 선회 축(141)은 상기 베이스(106)를 상기 베이스 지지대(102) 상부에서 상기 베이스 지지대(102)에 대해 좌우 방향으로 회전가능하게 지지한다. 상기 제 2 모터(142)는 외부로부터의 선회 제어 신호에 따라 회전력을 발생시키며, 상기 제 2 감속기(143)는 상기 제 2 모터(142)의 회전력을 감속하여 상기 선회 축(141)을 회전시킨다.
도 5는 도 1 내지 도 3에 도시된 소형 LCD 글라스 마크로 검사 장치의 링크 기구(108)의 요부를 나타낸 사시도이고, 도 6은 도 5에 도시된 링크 기구(108)의 제 1 회전 축(181)의 단면도이며, 도 7은 도 5에 도시된 링크 기구의 제 2 회전 축의 요부를 나타낸 단면도이다..
도 5 내지 도 7을 참조하면, 상기 링크 기구(108)는 메인 아암(185), 제 1 링크 아암(186), 제 2 링크 아암(187), 회전 아암(188), 제 3 모터, 제 3 감속기, 제 4 모터, 및 제 4 감속기를 포함한다.
상기 메인 아암(185)은 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 그 양 단부들에 제 1 및 제 2 회전 축(181 및 182)이 형성된다. 상기 제 1 회전 축(181)은 상기 베이스(106) 상에 형성되며, 상기 제 2 회전 축(182)은 상기 제 1 회전 축(181)의 반대편에 형성된다. 상기 메인 아암(185)은 상기 제 1 회전 축(181)에 의해 회전가능하게 상기 베이스(106) 상에 설치된다. 상기 제 1 링크 아암(186)은 상기 베이스(106) 상에 형성 및 고정된 제 3 회전 축(183)에 그 일 단부가 축 결합되며, 그 타 단부에 형성된 제 4 회전 축(184)을 갖는다. 상기 제 2 링크 아암(187)은 상기 제 2 및 제 4 회전 축(182, 184) 사이에 그 양 단부가 축 결합된다. 상기 회전 아암(188)의 일 단부는 상기 틸트 기구(107)와 결합되며, 그 타 단부는 상기 제 2 회전 축(182)에 회전가능하게 축 결합된다. 상기 제 3 모터 및 제 3 감속기는 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 회전 축(181) 상에 장착되며 상기 제 1 회전 축(181)을 중심으로 상기 메인 아암(185)을 회전시킨다. 그리고, 상기 제 4 모터 및 제 4 감속기는 상기 제 2 회전 축(182) 상에 장착되며, 상기 제 2 회전 축(182)을 중심으로 상기 회전 아암(188)을 회전시킨다.
도 5에 도시된 바와 달리, 본 발명에 따르는 링크 기구(108)는 제 1 링크 아암(186)과 제 2 링크 아암(187)이 없는 상태로도 구성될 수 있다.
즉, 링크 기구(107)는 메인 아암(185), 회전 아암(188), 제 3 모터, 제 3 감속기, 제 4 모터, 제 4 감속기를 포함한다.
상기 메인 아암(185)은 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 그 양 단부들에 제 1 및 제 2 회전 축(181 및 182)이 형성된다. 상기 제 1 회전 축(181)은 상기 베이스(106) 상에 형성되며, 상기 제 2 회전 축(182)은 상기 제 1 회전 축(181)의 반대편에 형성된다. 상기 메인 아암(185)은 상기 제 1 회전 축(181)에 의해 회전가능하게 상기 베이스(106) 상에 설치된다. 상기 회전 아암(188)의 일 단부는 상기 틸트 기구(107)와 결합되며, 그 타 단부는 상기 제 2 회전 축(182)에 회전가능하게 축 결합된다. 상기 제 3 모터 및 제 3 감속기는 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 회전 축(181) 상에 장착되며 상기 제 1 회전 축(181)을 중심으로 상기 메인 아암(185)을 회전시킨다. 그리고, 상기 제 4 모터 및 제 4 감속기는 상기 제 2 회전 축(182) 상에 장착되며, 상기 제 2 회전 축(182)을 중심으로 상기 회전 아암(188)을 회전시킨다.
즉, 본 발명에 따르는 소형의 LCD 글라스 마크로 검사 장치의 링크 기구(107)는 평행사변형 또는 일자형으로 구성될 수 있다.
도 8은 도 1 내지 도 3에 도시된 상기 틸트 기구(107)의 틸팅 축(193)의 요부를 나타낸 단면도이다.
상기 틸트 기구(107)는 도 8에 도시된 바와 같이 틸팅 축(193), 제 4 모터 및 제 4 감속기를 포함한다. 상기 틸팅 축(193)은 그 일단부가 상기 회전 아암(188)의 회전 방향에 수직 방향으로 회전가능하게 결합되며, 그 타단부가 상기 LCD 글라스 홀더(105)와 결합되며, 상기 제 5 모터 및 제 5 감속기는 상기 틸팅 축(193) 상에 장착되어, 상기 틸팅 축(193)을 회전시킨다.
따라서, 상기 구성으로 된 소형 LCD 글라스 마크로 검사 장치는 상기 다수의 모터들을 제어함으로써, 장치 전체가 이송되거나, 상기 LCD 글라스 홀더에 장착된 LCD 글라스를 전후 좌우 및 상하 방향으로 정밀하게 이동시킬 수 있게 된다.
이상에서 본 발명을 특정한 바람직한 실시 예에 대하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시 예에 한정하지 아니하며, 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형이 가능할 것이다.
101: 베이스 프레임 102: 베이스 지지대
103: 주행 축 104: 선회 구동부
105: LCD 글라스 홀더 106: 베이스
107: 틸트 기구 108: 링크 기구
110: 제 1 모터 112: 제 1 감속기
141: 선회 축 142: 제 2 모터
143: 제 2 감속기
181, 182, 183, 184: 회전 축 185: 메인 아암
186: 제 1 링크 아암 187: 제 2 링크 아암
188: 회전 아암

Claims (5)

  1. 베이스 프레임;
    상기 베이스 프레임 상부에 설치되는 베이스 지지대;
    상기 베이스 지지대의 좌우 직진 이송을 안내하기 위한 주행 축;
    상기 주행 축 상에서 상기 베이스 지지대를 좌우 직진 이송하기 위한 제 1 감속기 및 제 1 모터;
    상기 베이스 지지대 상부의 베이스를 선회시키기 위한 선회 구동부;
    LCD 글라스 홀더;
    상기 LCD 글라스 홀더와 결합되어, 상기 LCD 글라스 홀더를 틸팅하기 위한 틸트 기구; 및
    상기 베이스의 일측 상에 설치되어, 상기 틸트 기구를 회전 가능하게 지지하는 링크 기구를 포함하고,
    상기 선회 구동부는,
    상기 베이스 지지대 및 상기 베이스 사이에 설치되어, 상기 베이스를 상기 베이스 지지대 상부에서 회전가능하게 지지하기 위한 선회 축;
    외부로부터의 선회 제어 신호에 따라 회전력을 발생시키기 위한 제 2 모터; 및
    상기 제 2 모터의 회전력을 감속하여 상기 선회 축을 회전시키기 위한 제 2 감속기를 포함하는 것을 특징으로 하는
    소형 LCD 글라스 마크로 검사 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 링크 기구는,
    상기 베이스 상에 형성된 제 1 회전 축에 일 단부가 축 결합되며, 그 타 단부에 제 2 회전 축이 형성된 메인 아암;
    상기 베이스 상에 형성된 제 3 회전 축에 그 일 단부가 축 결합되며, 그 타 단부에 제 4 회전 축이 형성된 제 1 링크 아암;
    그 일 단부가 상기 제 2 회전 축에 축 결합되며, 그 타 단부가 상기 제 4 회전 축에 축 결합되는 제 2 링크 아암;
    그 일 단부가 상기 틸트 기구와 결합되며, 그 타 단부가 상기 제 2 회전 축에 축 결합되는 회전 아암;
    상기 제 1 회전 축 상에 장착되며 상기 제 1 회전축을 중심으로 상기 메인 아암을 회전시키기 위한 제 3 모터 및 제 3 감속기; 및
    상기 제 2 회전 축 상에 장착되며, 상기 제 2 회전축을 중심으로 상기 회전 아암을 회전시키기 위한 제 4 모터 및 제 4 감속기를 포함하는 것을 특징으로 하는
    소형 LCD 글라스 마크로 검사 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 링크 기구는,
    상기 베이스 상에 형성된 제 1 회전축에 일 단부가 축 결합되며, 그 타 단부에 제 2 회전축이 형성된 메인 아암;
    그 일 단부가 상기 틸트 기구와 결합되며, 그 타 단부가 상기 제 2 회전축에 축 결합되는 회전 아암;
    상기 제 1 회전 축 상에 장착되며 상기 제 1 회전축을 중심으로 상기 메인 아암을 회전시키기 위한 제 3 모터 및 제 3 감속기; 및
    상기 제 2 회전 축 상에 장착되며, 상기 제 2 회전축을 중심으로 상기 회전 아암을 회전시키기 위한 제 4 모터 및 제 4 감속기를 포함하는 것을 특징으로 하는
    소형 LCD 글라스 마크로 검사 장치.
  5. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,
    상기 틸트 기구는,
    그 일단부가 상기 회전 아암의 회전 방향에 수직 방향으로 회전가능하게 결합되며, 그 타단부가 상기 LCD 글라스 홀더와 결합되는 틸팅 축; 및
    상기 틸팅 축 상에 장착되어, 상기 틸팅 축을 구동하기 위한 제 5 모터 및 제 5 감속기를 포함하는
    소형 LCD 글라스 마크로 검사 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100743427B1 (ko) * 2006-08-07 2007-07-30 (주)오엘케이 평판 디스플레이 패널 매크로 검사장치
KR20090103260A (ko) * 2008-03-28 2009-10-01 주식회사 사이보그-랩 엘씨디 글라스 마크로 검사장치

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100743427B1 (ko) * 2006-08-07 2007-07-30 (주)오엘케이 평판 디스플레이 패널 매크로 검사장치
KR20090103260A (ko) * 2008-03-28 2009-10-01 주식회사 사이보그-랩 엘씨디 글라스 마크로 검사장치

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