KR101238397B1 - Tcp testing apparatus - Google Patents

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Abstract

TCP 시험 장치(1)는, 프로브 핀(43)과 TCP(8)와의 사이의 공간을 이동 가능하게 지지를 받은 카메라(51)를 갖추고 있다. 이 카메라(51)에 의해, 프로브 핀(43) 및 TCP(8)를 촬상하는 것이 가능해진다. 이러한 촬상 데이터에 근거해 프로브 핀(43)의 접촉단(431)과 TCP(8)의 패드(81)와의 위치 편차량을 측정해, 이 위치편차량에 근거해 TCP(8)를 이동시키는 것으로, 프로브 핀(43)과 패드(81)와의 위치 맞춤을 정확하게 실시할 수 있다.The TCP test apparatus 1 is equipped with the camera 51 which supported the space between the probe pin 43 and TCP8 so that a movement was possible. This camera 51 makes it possible to image the probe pin 43 and the TCP 8. Based on such image data, the position deviation amount between the contact end 431 of the probe pin 43 and the pad 81 of the TCP 8 is measured, and the TCP 8 is moved based on this position deviation amount. The position alignment between the probe pin 43 and the pad 81 can be performed accurately.

Description

티씨피 시험 장치{TCP TESTING APPARATUS}TCP Test Device {TCP TESTING APPARATUS}

본 발명은, 테이프 상태의 부재에 전자 회로 부품이나 배선 패턴 등이 탑재된 TCP(Tape Carrier Package)를 시험하는 TCP 시험 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a TCP test apparatus for testing a TCP (Tape Carrier Package) in which electronic circuit components, wiring patterns, and the like are mounted on a tape member.

폴리이미드 필름 등의 필름 캐리어 테이프(이하, 「테이프」라고 한다.)에 IC나 LSI 칩 등과 같은 전자 회로 부품이나 배선 패턴을 복수 탑재한 디바이스(이하, 총칭해 「TCP」라고 한다.)가 널리 알려지고 있다. 이 TCP의 성능을 검사하는 TCP 시험 장치는, 일면(정면)에 프로브 핀이 입설된 판 모양의 부재인 프로브 카드와, TCP가 복수 형성된 테이프를 프로브 핀과 대향하는 위치로 반송하는 TCP 핸들러와, 프로브 카드에 대향하도록 배치된 테이프를 보관 유지하여 프로브 카드로 향하게 이동시키는 푸셔(pusher)를 구비하고 있다. TCP 시험 장치에서는, 푸셔를 이동시켜 프로브 카드의 프로브 핀에 TCP의 단자(패드)를 접촉시키고, TCP의 시험을 실시하고 있다.Devices (hereinafter, collectively referred to as "TCP") having a plurality of electronic circuit components such as ICs or LSI chips and wiring patterns mounted on film carrier tapes (hereinafter referred to as "tape"), such as polyimide films, are widely used. It is known. The TCP test apparatus which checks the performance of this TCP is a probe card which is a plate-shaped member in which the probe pin was installed in one surface (front surface), the TCP handler which conveys the tape in which multiple TCP was formed to the position which opposes the probe pin, A pusher is provided to hold and move the tape disposed to face the probe card, and move it toward the probe card. In the TCP test apparatus, the pusher is moved to contact the terminal (pad) of the TCP with the probe pin of the probe card, and the TCP test is performed.

이와 같이, TCP의 시험에서는 프로브 핀과 TCP의 패드를 직접 접촉시키기 때문에, 시험을 실시하기 전이나 테이프를 교환했을 때 등에는 프로브 핀과 패드와의 위치 맞춤을 정확하게 실시할 필요가 있다.As described above, in the test of TCP, the probe pin and the pad of the TCP are brought into direct contact with each other. Therefore, it is necessary to accurately position the probe pin and the pad before performing the test or when the tape is replaced.

이 때문에 종래는, WO2004/068154A 또는 JP2002-181889A에 개시되고 있듯이, 프로브 카드의 타면(배면) 측에 설치된 카메라로 프로브 핀 및 패드를 촬상하고 이 획득 화상에 근거하여 프로브 핀과 패드와의 위치 맞춤을 실시하고 있었다.For this reason, conventionally, as disclosed in WO2004 / 068154A or JP2002-181889A, a probe pin and a pad are picked up by a camera installed on the other side (back side) of a probe card, and positioning of the probe pin and the pad is based on this acquired image. Was carried out.

그러나 종래에는 프로브 카드의 배면 측에 카메라가 설치되고 있었다. 이에 프로브 핀의 접촉단이 카메라의 시야에 포함되지 않거나 접촉단과 TCP의 패드가 서로 겹치거나 하기 때문에 접촉단이나 패드를 촬상할 수 없는 경우가 있고, 결과적으로 프로브 핀과 패드와의 위치 맞춤을 정확하게 실시하는 것이 곤란했다.However, conventionally, the camera was provided in the back side of a probe card. Therefore, the contact end or pad cannot be captured because the contact end of the probe pin is not included in the field of view of the camera, or the contact end and the pad of the TCP overlap each other. As a result, the position of the probe pin and the pad cannot be accurately corrected. It was difficult to carry out.

따라서 본 발명은 프로브 핀과 패드와의 위치 맞춤을 정확하게 실시할 수 있는 TCP 시험 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a TCP test apparatus that can accurately perform positioning of a probe pin and a pad.

이러한 목적을 달성하기 위해서, 본 발명과 관련되는 TCP 시험 장치는, 제1의 방향으로 돌출하는 한편 접촉단을 갖는 프로브 핀과, 제1의 방향에 대하여 상기 프로브 핀의 접촉단과 대향하여 배치되는 한편 패드를 갖는 TCP를 보관 유지하는 푸셔와, 프로브 핀과 상기 TCP와의 사이의 공간을 이동할 수 있게 지지되는 한편 이 공간 내에서 프로브 핀 및 TCP를 촬상하는 카메라와, 카메라에 의해 촬상된 상기 프로브 핀 및 TCP의 화상에 근거하여 프로브 핀의 접촉단과 TCP의 패드와의 위치 편차량을 측정하는 측정부와, 측정부에 의해서 측정된 위치 편차량에 근거하여 제1의 방향에 직교하는 제2의방향으로 푸셔를 이동시키고 푸셔를 제1의 방향에 따라서 접촉단으로 향해 이동시키는 것에 의해, 푸셔에 보관 유지된 TCP의 패드를 접촉단에 접촉시키는 구동부와, 프로브 핀의 접촉단이 TCP의 패드에 접촉한 상태에서 TCP의 시험을 실시하는 시험부를 포함한다.In order to achieve this object, the TCP test apparatus according to the present invention is arranged so as to face a probe pin protruding in a first direction and having a contact end, and a contact end of the probe pin with respect to the first direction. A pusher for holding a TCP having a pad, a camera supported to move a space between the probe pin and the TCP while imaging the probe pin and the TCP in the space, the probe pin captured by the camera, and A measuring unit for measuring the positional deviation amount between the contact end of the probe pin and the pad of the TCP based on the image of the TCP; and in a second direction orthogonal to the first direction based on the positional deviation amount measured by the measuring unit. By moving the pusher and moving the pusher toward the contacting end in the first direction, a drive unit for contacting the contacting pad with the pad of TCP held in the pusher; It includes a test section for testing the TCP with the contact end of the lobe pin in contact with the pad of the TCP.

본 발명에 의하면, 푸셔 기구와 프로브 기구와의 사이의 공간에 카메라를 마련하는 것에 의해 프로브 핀의 접촉단 및 패드의 단부를 촬상하는 것이 가능해진다. 이 때문에, 이러한 촬상 데이터에 근거해 프로브 핀과 패드와의 위치 편차량을 측정하고 이 위치 편차량에 근거해 TCP를 이동시키는 것에 의해, 프로브 핀과 패드와의 위치 맞춤을 정확하게 실시할 수 있다.According to the present invention, by providing a camera in the space between the pusher mechanism and the probe mechanism, it is possible to image the contact end of the probe pin and the end of the pad. For this reason, positioning of a probe pin and a pad can be performed correctly by measuring the position deviation amount of a probe pin and a pad based on such image data, and moving TCP based on this position deviation amount.

또한 패드 위치의 편차량의 측정은 카메라를 이동시키지 않고 시야의 전환만으로 행해지므로 측정 결과에 카메라의 이동 오차가 포함되는 것을 막을 수 있다.In addition, since the measurement of the deviation amount of the pad position is performed by only changing the field of view without moving the camera, the measurement result can be prevented from including the movement error of the camera.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 TCP 시험 장치의 구성을 도시한 정면도이다.
도 2는 TCP 시험 장치의 일부를 확대하여 도시한 사시도이다.
도 3은 TCP 시험 장치의 요부를 도시한 개념도이다.
도 4는 TCP 시험 장치에 있어서의 제어장치의 구성을 도시한 블록도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 TCP 시험 장치에 의한 시험 동작을 나타내는 플로차트(flow chart)이다.
도 6은 프로브 카드와 테이프와의 위치 관계를 설명하기 위한 모식도이다.1 is a front view showing the configuration of a TCP test apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is an enlarged perspective view of a part of the TCP test apparatus.
3 is a conceptual diagram showing the main parts of a TCP test apparatus.
4 is a block diagram showing the configuration of a control device in the TCP test apparatus.
5 is a flow chart showing a test operation by the TCP test apparatus according to the embodiment of the present invention.
It is a schematic diagram for demonstrating the positional relationship of a probe card and a tape.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대해 상세하게 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

<TCP 시험 장치 구성><TCP test device configuration>

도 1, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 TCP 시험 장치(1)는, TCP(8)가 탑재된 테이프(T)를 소정의 경로를 따라서 반송하는 TCP 핸들러(2)와, TCP(8)의 반송 경로의 도중에 설치되어 반송되어 온 테이프(T)를 보관 유지한 상태로 소정의 방향으로 밀어내는 푸셔 기구(푸셔)(3)와, Z방향으로 푸셔 기구(3)와 대향하도록 배치되어 푸셔 기구(3)로 향해 돌출하는 프로브 핀(43)을 포함한 프로브 기구(4)와, 2개의 시야를 가지는 카메라(51)를 푸셔 기구(3)와 프로브 핀(43)과의 사이에서 이동 가능하게 지지하는 카메라 기구(5)와, 측정부 카메라(6)와, 이러한 TCP 시험 장치(1)의 구성요소(2~6)의 동작을 제어하는 제어장치(7)을 구비하고 있다.As shown in FIG. 1, FIG. 2, and FIG. 3, the TCP test apparatus 1 which concerns on this embodiment carries out the TCP handler 2 which conveys the tape T in which TCP8 was mounted along the predetermined path | route. ), A pusher mechanism (pusher) 3 that pushes in a predetermined direction while retaining the tape T installed and conveyed in the middle of the conveyance path of the TCP 8 and the pusher mechanism 3 in the Z direction. ), The probe mechanism 4 including the probe pin 43 protruding toward the pusher mechanism 3, and the camera 51 having two fields of view, the pusher mechanism 3 and the probe pin 43. The camera mechanism 5 for supporting the movement between the camera mechanism 5, the measuring unit camera 6, and the controller 7 for controlling the operation of the components 2 to 6 of the TCP test apparatus 1. Equipped.

또한 편의상, 연직 방향을 「X방향」, X방향과 직교하고 푸셔 기구(3)와 프로브 기구(4)를 연결하는 방향을 「Z방향」, X방향 및 Z방향에 직교하는 방향(도 1의 지면에 대해서 수직인 방향)을 「Y방향」으로 한다. 특허청구범위와의 관계에서는, Z방향이 제1의 방향에 대응하고 X방향 및 Y방향이 제2의 방향에 대응한다.For convenience, the vertical direction is perpendicular to the "X direction" and the X direction, and the direction connecting the pusher mechanism 3 and the probe mechanism 4 to the "Z direction", the direction perpendicular to the X direction and the Z direction (in FIG. 1). The direction perpendicular | vertical with respect to the surface is set to "Y direction." In the relationship with the claims, the Z direction corresponds to the first direction and the X direction and Y direction correspond to the second direction.

TCP 핸들러(2)는, 시험 전의 테이프(T)가 감겨 있는 권출릴(21)과, 권출릴(21)로부터 풀려 시험이 수행된 테이프(T)를 권취하는 권취릴(22)을 구비하고 있다. 권출릴(21)과 권취릴(22) 사이에는, 권출릴(21)로부터 풀린 테이프(T)를 푸셔 기구(3)를 향해 송출하는 제1송출부(23)와, 제1송출부(23)로부터 송출되어 온 테이프(T)를 소정의 텐션을 건 상태에서 푸셔 기구(3)를 향해 연직 하방(X방향)으로 내보내는 제1스프로켓(sprocket)(24) 및 제1스프로켓 가이드(25)와, 푸셔 기구(3)를 통과한 테이프(T)를 권취릴(22)을 향해 도출하는 제2스프로켓(26) 및 제2스프로켓 가이드(27)와, 이로부터 도출된 테이프(T)를 권취릴(22)을 향해 송출하는 제2송출부(28)가 설치되어 있다.The TCP handler 2 is provided with the unwinding reel 21 in which the tape T before a test was wound, and the winding reel 22 which unwinds from the unwinding reel 21, and winds up the tape T in which the test was performed. . Between the unwinding reel 21 and the winding reel 22, the 1st sending part 23 which sends out the tape T unwound from the unwinding reel 21 toward the pusher mechanism 3, and the 1st sending part 23 And a first sprocket 24 and a first sprocket guide 25 for discharging the tape T sent out from the &lt; RTI ID = 0.0 &gt; (T) &lt; / RTI &gt; , The second sprocket 26 and the second sprocket guide 27 leading the tape T passing through the pusher mechanism 3 toward the winding reel 22, and the tape T derived therefrom. The 2nd sending part 28 which sends out toward 22 is provided.

푸셔 기구(3)는 이동 기구로서 기능한다. 푸셔 기구(3)는, X방향, Y방향, Z방향 및 Z축 둘레(θ방향)로 이동 가능(이동 자재)하게 지지된 푸셔스테이지(31)와, 푸셔스테이지(31)에 장착됨과 동시에 후술하는 프로브 카드(42)(의 프로브 핀(43)의 접촉단(431))에 대향하도록 배치되고, 테이프(T)가 접하는 표면을 구비한 푸셔플레이트(32)와, 푸셔플레이트(32)의 Y방향 양단에 설치되는 한편 X방향으로 연재(延在)하고, 테이프(T)를 보관 유지하는 테이프클램프(33)를 구비하고 있다. 시험을 실시하는 테이프(T)가 테이프클램프(33)에 의해 보관 유지됨으로써 테이프(T)상의 TCP(8)가 푸셔플레이트(32) 상에 배치된다. 덧붙여 후술하는 구동부(72)의 제어에 의해 푸셔스테이지(31)가 이동하면, 푸셔스테이지(31)에 장착된 푸셔플레이트(32)도 함께 이동한다. 이것을 본 명세서에서는 단지 「구동부(72)의 제어에 의해 푸셔플레이트(32)가 이동한다」라고 표현하는 경우가 있다.The pusher mechanism 3 functions as a moving mechanism. The pusher mechanism 3 is mounted on the pusher stage 31 and the pusher stage 31 supported so as to be movable (movable) in the X direction, the Y direction, the Z direction, and the Z axis circumference (theta direction), and will be described later. The pusher plate 32 and the pusher plate 32 which are disposed to face the contact end 431 of the probe pin 43 of the probe card 42 and have a surface in which the tape T is in contact with each other. A tape clamp 33 is provided at both ends of the direction and extends in the X direction to hold the tape T. As shown in FIG. The tape T to be tested is held by the tape clamp 33 so that the TCP 8 on the tape T is placed on the pusher plate 32. In addition, when the pusher stage 31 moves by control of the drive part 72 mentioned later, the pusher plate 32 attached to the pusher stage 31 also moves. In this specification, this may only be expressed as "the pusher plate 32 moves by the control of the drive part 72."

프로브 기구(4)는, 푸셔 기구(3)로부터 Z방향으로 소정 간격만큼 이격 배치되고 중앙부에 개구가 설치된 베이스(41)와, 베이스(41)의 개구에 설치되고 푸셔플레이트(32)와 대향하도록 배치된 프로브 카드(42)를 구비하고 있다. 프로브 카드(42)에는 푸셔 기구(3) 측(Z방향)으로 돌출한 프로브 핀(43)이 설치되어 있다. 프로브 핀(43)의 침선(針先)은 TCP(8)의 단자(패드)(81)와 접촉하는 접촉단이 된다. 프로브 핀(43)은 제어장치(7)와 전기적으로 접속되어 있다.The probe mechanism 4 is arranged so as to be spaced apart from the pusher mechanism 3 in the Z direction by a predetermined interval and provided with an opening in the center thereof, and to be provided at the opening of the base 41 so as to face the pusher plate 32. The arranged probe card 42 is provided. The probe pin 42 is provided with a probe pin 43 protruding toward the pusher mechanism 3 side (Z direction). The needle wire of the probe pin 43 is a contact end which contacts the terminal (pad) 81 of the TCP (8). The probe pin 43 is electrically connected to the control device 7.

카메라 기구(5)는, 2개의 시야를 가지는 카메라(51)와, 이 카메라(51)를 적어도 푸셔 기구(3)(혹은, 푸셔 기구(3)에 보관 유지된 TCP(8))와 프로브 기구(4)(의 프로브 핀(43)) 사이의 공간 내에서 X방향, Y방향 및 Z방향으로 이동 가능하게 지지하는 이동부(52)를 갖추고 있다.The camera mechanism 5 includes a camera 51 having two fields of view, at least a pusher mechanism 3 (or a TCP 8 held in the pusher mechanism 3) and a probe mechanism. (4) In the space between (the probe pin 43), the moving part 52 which supports so that a movement to a X direction, a Y direction, and a Z direction is provided is provided.

여기서, 카메라(51)는 CCD(Charge Coupled Device)나 CMOS(ComplementaryMetal Oxide Semiconductor) 등의 고체 촬상 소자를 2개 구비하는 디지털 카메라로 구성된다. 따라서 카메라(51)는 2개의 고체 촬상 소자로부터 각각 화상을 획득하는 것에 의해 2개의 다른 시야를 촬상할 수 있다. 본 실시예에 있어서, 카메라(51)의 위치를 Z축의 원점으로 가정하면 카메라(51)의 2개의 시야는 Z축의 정부 양방향으로 설정되어 있다. 즉, 제1의 시야는 프로브 기구(4)(의 프로브 핀(43)), 그리고 제2의 시야는 푸셔 기구(3)(에 보관 유지된 TCP(8))를 포함하도록 설정되어 있다. 이것에 의해, 카메라(51)는 푸셔 기구(3) 및 프로브 기구(4)의 양쪽 모두를 촬상할 수 있다. 또, 제1의 시야의 법선(法線) 및 제2의 시야의 법선은 Z축방향에 따른, 즉 Z축과 평행한 동일 직선상에 위치하도록 설정되어 있다. 이것에 의해, 2개의 시야는 같은 높이(X방향)의 역방향으로 정대(正對)하는 위치를 비추게 된다.Here, the camera 51 is comprised with the digital camera provided with two solid-state imaging elements, such as a charge coupled device (CCD) and a complementary metal oxide semiconductor (CMOS). Therefore, the camera 51 can image two different views by acquiring an image from two solid-state imaging elements, respectively. In the present embodiment, assuming that the position of the camera 51 is the origin of the Z axis, the two fields of view of the camera 51 are set in both directions of the Z axis. That is, the first field of view is set to include the probe mechanism 4 (the probe pin 43 of the probe mechanism), and the second field of view includes the pusher mechanism 3 (TCP 8 held in the unit). Thereby, the camera 51 can image both the pusher mechanism 3 and the probe mechanism 4. Moreover, the normal of a 1st visual field and the normal of a 2nd visual field are set so that it may be located on the same straight line along Z-axis direction, ie, parallel to a Z-axis. As a result, the two fields of view illuminate a position that is positively aligned in the reverse direction of the same height (X direction).

덧붙여 카메라(51)로는, 2개의 고체 촬상 소자를 갖춘 디지털 카메라로 한정되지 않고, 2개의 시야를 갖는 것이라면 각종 디지털 카메라가 적용될 수 있다. 예를 들면, 1개의 고체 촬상 소자, 이 고체 촬상 소자의 광축 상에 설치된 프리즘, 시야를 새로 바꾸는 셔터 등으로 구성되는 2개의 시야를 가지는 디지털 카메라가 적용되도 괜찮다.In addition, the camera 51 is not limited to a digital camera having two solid-state imaging elements, and various digital cameras can be applied as long as it has two fields of view. For example, a digital camera having two fields of view composed of one solid-state image sensor, a prism provided on the optical axis of the solid-state image sensor, a shutter for changing the field of view, and the like may be applied.

측정부 카메라(6)는, CCD나 CMOS 등의 고체 촬상 소자를 갖추는 공지의 디지털 카메라로 구성된다. 측정부 카메라(6)는 Z방향으로 놓이고, 프로브 기구(4)의 양측 중 푸셔 기구(3)와 마주하는 측의 반대 측에 배설되어 있다. 즉, 푸셔 기구(3), 프로브 기구(4), 측정부 카메라(6)가 순서대로 Z방향을 따라 나란히 배설된다. 측정부 카메라(6)의 촬상 방향은 Z축방향을 따르는 한편 프로브 카드(42)의 대략 중앙부 및 푸셔플레이트(32) 상에 보관 유지된 TCP(8)와 동일 직선상에 위치하도록 설정되어 있다. 이것에 의해, 측정부 카메라(6)는 프로브 카드(42)의 중앙부에 형성된 후술 하는 개구부(425)를 사이에 두고 TCP(8)를 촬상할 수 있다.The measuring part camera 6 is comprised with the well-known digital camera provided with solid-state image sensors, such as CCD and CMOS. The measuring unit camera 6 is placed in the Z direction and is disposed on the opposite side of the side facing the pusher mechanism 3 out of both sides of the probe mechanism 4. That is, the pusher mechanism 3, the probe mechanism 4, and the measurement part camera 6 are arrange | positioned side by side along the Z direction in order. The imaging direction of the measuring unit camera 6 is set along the Z-axis direction while being positioned on the same straight line as the TCP 8 held on the substantially central portion of the probe card 42 and the pusher plate 32. Thereby, the measuring part camera 6 can image | photograph the TCP8 through the opening part 425 mentioned later formed in the center part of the probe card 42.

제어장치(7)는, 유저의 조작 입력을 검출하는 입력부(71)와, 푸셔 기구(3), 카메라 기구(5) 및 측정부 카메라(6)의 구동을 제어하는 구동부(72)와, TCP 시험 장치(1)의 동작 등에 관련하는 각종 정보를 기억하는 기억부(73)와, 카메라(51) 및 측정부 카메라(6)의 촬상 데이터에 대한 화상 처리를 실시하는 화상 처리부(74)와, 도시하지 않는 테스터를 이용해 TCP(8)의 시험을 실시하는 시험부(75)와, TCP 시험 장치(1) 전체의 동작을 제어하는 주제어부(76)을 갖추고 있다. 여기서, 테스터는 프로브 기구(4)에 장착되는 것으로서, 프로브 핀(43)과 전기적으로 접속되어 있고 TCP(8)의 전기 특성을 측정한다. 그 측정 결과는 제어장치(7)로 송출된다.The control device 7 includes an input unit 71 that detects a user's operation input, a drive unit 72 that controls driving of the pusher mechanism 3, the camera mechanism 5, and the measurement unit camera 6, and TCP. A storage unit 73 for storing various kinds of information related to the operation of the test apparatus 1, an image processing unit 74 for performing image processing on the image data of the camera 51 and the measurement unit camera 6, The test part 75 which tests the TCP 8 using the tester which is not shown in figure, and the main control part 76 which controls the operation | movement of the whole TCP test apparatus 1 are provided. Here, the tester is mounted on the probe mechanism 4, and is electrically connected to the probe pin 43 and measures the electrical characteristics of the TCP 8. The measurement result is sent to the control apparatus 7.

화상 처리부(74)는 카메라(51)에 의해 촬상된 프로브 핀(43) 및 TCP(8)의 화상에 근거하여 프로브 핀(43)의 접촉단(431)과 TCP(8)의 패드(81)와의 위치 편차량을 측정하는 측정부로서 기능한다. 구동부(72)는 화상 처리부(74)에 의해서 측정된 위치 편차량에 근거하여 푸셔 기구(3)의 푸셔스테이지(31)를 X, Y방향으로 이동시키고, 더 나아가 푸셔스테이지(31)를 Z방향을 따라 접촉단(431)으로 이동시킴으로써 푸셔플레이트(32)에 보관 유지된 TCP(8)의 패드(81)를 접촉단(431)에 접촉시키는 기능을 가진다. 시험부(75)는 프로브 핀(43)의 접촉단(431)이 TCP(8)의 패드(81)와 접촉한 상태에서 TCP(8)의 시험을 실시하는 기능을 가진다.The image processing unit 74 is a contact terminal 431 of the probe pin 43 and the pad 81 of the TCP 8 based on the images of the probe pin 43 and the TCP 8 captured by the camera 51. It functions as a measuring unit for measuring the amount of position deviation between and. The driving unit 72 moves the pusher stage 31 of the pusher mechanism 3 in the X and Y directions based on the positional deviation amount measured by the image processing unit 74, and further moves the pusher stage 31 in the Z direction. The pad 81 of the TCP 8 held in the pusher plate 32 is brought into contact with the contact end 431 by moving to the contact end 431. The test section 75 has a function of performing a test of the TCP 8 in a state where the contact end 431 of the probe pin 43 is in contact with the pad 81 of the TCP 8.

이러한 제어장치(7)는, 컴퓨터와 이 컴퓨터에 인스톨된 프로그램으로 구성된다. 컴퓨터는, CPU등의 연산 장치와, 메모리, HDD(Hard Disc Drive) 등의 기억장치와, 키보드, 마우스, pointing device, 버튼, 터치 패널 등의 외부로부터 정보의 입력을 검출하는 입력장치와, 인터넷, LAN(Local AreaNetwork), WAN(Wide Area Network) 등의 통신회선을 매개로 하여 각종 정보의 송수신을 실시하는 I/F장치와, LCD(Liquid Crystal Display) 또는 FED(Field Emission Display) 등의 표시장치를 갖추고 있다. 이러한 컴퓨터(하드웨어 자원)가 프로그램(소프트웨어)에 의해서 제어되어 하드웨어 자원과 소프트웨어가 협동하면, 상술한 입력부(71), 구동부(72), 기억부(73) 및 주제어부(76)가 실현된다. 덧붙여 상기 프로그램은 flexible disk, CD-ROM, DVD-ROM, IC메모리 등의 기록 매체에 기록된 상태로 제공되도록 해도 괜찮다.This control apparatus 7 is comprised with a computer and the program installed in this computer. The computer includes a computing device such as a CPU, a storage device such as a memory and a hard disc drive (HDD), an input device for detecting input of information from the outside such as a keyboard, a mouse, a pointing device, a button, a touch panel, and the Internet. I / F device that transmits / receives various information through communication lines such as LAN, local area network (WLAN), wide area network (WAN), and displays such as LCD (Liquid Crystal Display) or FED (Field Emission Display) Equipped with a device. When such a computer (hardware resource) is controlled by a program (software) and the hardware resource and the software cooperate, the above-described input unit 71, drive unit 72, storage unit 73 and main control unit 76 are realized. In addition, the program may be provided in a state recorded in a recording medium such as a flexible disk, a CD-ROM, a DVD-ROM, or an IC memory.

＜TCP 시험 장치에 의한 시험 동작＞<Test operation by TCP test apparatus>

다음으로 TCP 시험 장치(1)에 의한 TCP(8)의 시험 동작을 도 5를 참조해 설명한다. 덧붙여 이하에서는, 새로운 TCP(8)를 시험하는 경우를 예로 설명하지만, 후술된 바와 같이 프로브 카드(42)나 권출릴(21)을 교환할 경우에 대해서도 동등의 순서에 의해 시험할 수 있다.Next, the test operation of the TCP 8 by the TCP test apparatus 1 will be described with reference to FIG. 5. In addition, below, although the case where the new TCP 8 is tested is demonstrated as an example, the case where the probe card 42 and the unwinding reel 21 are replaced as mentioned later can also be tested by the same procedure.

유저가 입력부(71)를 이용하여 테이프(T)에 탑재된 TCP(8)의 위치 정보(이하, 「TCP 위치 정보」라고 한다.)와, 이 TCP(8)를 검사하는 프로브 카드(42)의 위치 정보(이하, 「프로브 위치 정보」라고 한다.)를 입력하면, 이러한 정보가 기억부(73)에 기억된다(스텝 S1). 여기서, TCP 위치 정보에는 TCP(8) 상의 얼라인먼트 마크의 위치(XY평면상의 좌표), TCP(8)에 설치된 패드(81)의 위치(XY평면상의 좌표) 등이 포함된다. 프로브 위치 정보에는 프로브 카드(42) 상에 있는 프로브 핀(43)의 위치(XY평면상의 좌표), 위치 맞춤을 실시하는 프로브 핀(43)의 침선 위치(XY평면상의 좌표)(이하, 「얼라인먼트 위치」라고 한다.), 프로브 핀(43)의 침선 높이(Z방향의 좌표) 등이 포함된다. 덧붙여 이하에서는, 도 6에 도시된 바와 같이, 복수의 프로브 핀(43) 중 네 귀퉁이에 설치된 프로브 핀(43)의 위치를 제1 내지 제4얼라인먼트 위치(421 내지 424)로 했을 경우에 대해 설명한다.The probe card 42 which examines the position information (henceforth "TCP position information") of TCP8 mounted on the tape T using the input part 71, and this TCP8. If the position information (hereinafter, referred to as "probe position information") is input, such information is stored in the storage unit 73 (step S1). Here, the TCP position information includes the position of the alignment mark on the TCP 8 (coordinate on the XY plane), the position of the pad 81 provided on the TCP 8 (coordinate on the XY plane), and the like. The probe position information includes the position (coordinate on the XY plane) of the probe pin 43 on the probe card 42, and the needle line position (coordinate on the XY plane) of the probe pin 43 for alignment (hereinafter, "alignment"). Position ”), and the needle tip height (coordinate in the Z direction) of the probe pin 43, and the like. In addition, as shown in FIG. 6, the case where the position of the probe pin 43 provided in four corners among the some probe pin 43 is made into the 1st-4th alignment position 421-424 is demonstrated. do.

구동부(72)의 제어에 의해, 테이프클램프(33)가 테이프(T)를 보관 유지한 상태에서, 푸셔스테이지(31)가 이동하면 푸셔플레이트(32)가 프로브 카드(42)와 소정 거리를 두고 대향한 상태가 된다. 또, 구동부(72)의 제어에 의해, 카메라(51)가 푸셔플레이트(32)와 프로브 카드(42)와의 사이로 이동한다(스텝 S2).Under the control of the driving unit 72, when the pusher stage 31 moves while the tape clamp 33 holds the tape T, the pusher plate 32 is spaced apart from the probe card 42 by a predetermined distance. It is in an opposite state. Moreover, under the control of the drive part 72, the camera 51 moves between the pusher plate 32 and the probe card 42 (step S2).

TCP 위치 정보 및 프로브 정보가 입력되면, 카메라(51)를 이용하여 제1 내지 제4얼라인먼트 위치(421 내지 424)에 위치하는 프로브 핀(43)의 침선 높이가 측정된다(스텝 S3). 이 프로브 핀(43)의 침선 높이는 Z방향에 따른 프로브 카드(42)의 표면으로부터 프로브 핀(43)의 침선까지의 거리를 의미한다. 프로브 핀(43)의 침선 높이의 측정에 있어서는, 우선 프로브 기구(4) 측을 향한 고체 촬상 소자로부터의 신호만을 획득하는 것에 의해서 카메라(51)의 시야를 프로브 기구(4) 측만으로 한다. 다음으로, 구동부(72)의 제어에 의해 카메라(51)가 제1얼라인먼트 위치(421)와 대향하는 위치로 이동한다. 이후, 카메라(51)의 초점을 제1얼라인먼트 위치(421)에 위치하는 프로브 핀(43)의 침선에 맞추는 것에 의해 그 프로브 핀(43)의 침선 높이를 측정한다. 같은 방법에 의해, 제2 내지 제4얼라인먼트 위치(421~424)에 있어서의 프로브 핀(43)의 침선 높이를 측정한다. 측정된 침선 높이는, 스텝 1에서 기억부(73)에 기억된 침선 높이와 비교되고, 다른 경우에는, 측정된 침선 높이가 기억부(73)에 기억된다.When the TCP position information and the probe information are input, the needle tip height of the probe pin 43 positioned at the first to fourth alignment positions 421 to 424 is measured using the camera 51 (step S3). The needle tip height of the probe pin 43 means the distance from the surface of the probe card 42 along the Z direction to the needle tip of the probe pin 43. In the measurement of the needle tip height of the probe pin 43, first, the field of view of the camera 51 is only the probe mechanism 4 side by acquiring only a signal from the solid-state imaging element directed toward the probe mechanism 4 side. Next, the camera 51 moves to the position facing the first alignment position 421 under the control of the driving unit 72. Then, the needle tip height of the probe pin 43 is measured by adjusting the focus of the camera 51 to the needle tip of the probe pin 43 located at the first alignment position 421. By the same method, the needle tip height of the probe pin 43 in the 2nd-4th alignment positions 421-424 is measured. The measured needle tip height is compared with the needle tip height stored in the storage unit 73 in step 1, and in other cases, the measured needle tip height is stored in the storage unit 73.

침선 높이가 측정되면, 카메라(51)를 이용하여 제1 내지 제4얼라인먼트 위치(421 내지 424)에 위치하는 프로브 핀(43)의 침선 위치가 측정된다(스텝 S4). 이 침선 위치는 프로브 카드(42)의 푸셔 기구(3) 측의 평면상에 있어서의 좌표(XY평면상의 좌표)이다. 프로브 핀(43)의 침선 위치의 측정에서는, 우선 화상 처리부(74)가 카메라(51)의 시야를 프로브 기구(4) 측만으로 한 다음, 구동부(72)의 제어에 의해 카메라(51)가 제1얼라인먼트 위치(421)와 대향하는 위치로 이동해 이 제1얼라인먼트 위치(421)에 위치하는 프로브 핀(43)의 침선 높이를 확인한 후, 촬상 데이터에 근거해 그 침선 높이에 대응하는 프로브 핀(43)의 침선 위치를 측정한다. 같은 방법에 의해, 화상 처리부(74)가 제2 내지 제4얼라인먼트 위치(421 내지 424)에 있어서의 프로브 핀(43)의 침선 위치를 측정한다. 측정된 침선 위치는, 스텝 1에서 기억부(73)에 기억된 침선 위치(얼라이먼트 위치)와 비교되고, 다른 경우에는 측정된 침선 위치가 기억부(73)에 기억된다.When the needle height is measured, the needle position of the probe pin 43 positioned at the first to fourth alignment positions 421 to 424 is measured using the camera 51 (step S4). This needle position is a coordinate (coordinate on XY plane) on the plane of the pusher mechanism 3 side of the probe card 42. In the measurement of the needle point position of the probe pin 43, first, the image processing unit 74 places the field of view of the camera 51 only on the probe mechanism 4 side, and then the camera 51 controls the driving unit 72. After moving to the position opposite to the 1st alignment position 421, confirming the needle tip height of the probe pin 43 located in this 1st alignment position 421, the probe pin 43 corresponding to the needle tip height based on the imaging data. Measure the needle point position. In the same manner, the image processing unit 74 measures the needle line position of the probe pin 43 at the second to fourth alignment positions 421 to 424. The measured needle position is compared with the needle position (aligned position) stored in the storage unit 73 in Step 1, and in other cases, the measured needle position is stored in the storage unit 73.

침선 위치가 측정되면, 화상 처리부(74)가 스텝 S4에서 검출된 제1 내지 제 4얼라인먼트 위치(421 내지 424)에 대응하는 TCP(8)의 패드(81)의 위치 편차량을 측정한다(스텝 S5). 구체적으로, 우선 화상 처리부(74)는 푸셔 기구(3) 측을 향한 고체 촬상 소자로부터의 신호만을 획득하는 것에 의해 카메라(51)의 시야를 푸셔 기구(3) 측, 즉 TCP(8) 측으로 한다. 화상 처리부(74)는 그 시야에 포함되는 TCP(8)의 얼라인먼트 마크에 근거하여 TCP(8)상의 패드(81)의 대략 위치를 확인한다. 그리고, 구동부(72)의 제어에 의해, 카메라(51)가 제1얼라인먼트 위치(421)에 대향하는 위치로 이동한다. 카메라(51)가 이동하면, 화상 처리부(74)는 프로브 기구(4) 측을 향한 고체 촬상 소자로부터의 신호만을 획득하는 것에 의해서 카메라(51)의 시야를 프로브 카드(42) 측으로 바꾼다. 그리고 제1얼라인먼트 위치(421)에 위치하는 프로브 핀(43)의 침선 위치를 검출해 기억부(73)에 기억시킨다. 화상 처리부(74)는 다시 카메라(51)의 시야를 TCP(8) 측으로 바꾸어 제1얼라인먼트 위치(421)와 Z방향으로 대향하는 TCP(8)의 패드(81)를 엣지 추출 등의 화상 처리를 실시하는 것에 의해 패드(81)의 위치(XY평면상의 좌표)를 검출하고, 기억부(73)에 기억시킨다. 패드(81)의 위치가 검출되면, 화상 처리부(74)는 이 패드(81)의 위치와 이전에 검출한 침선 위치를 비교하는 것에 의해 패드 위치와 침선 위치와의 편차량을 측정한다. 이 편차량이란, XY평면상에 있어서의 패드(81)와 침선 위치와의 거리, 보다 구체적으로는 프로브 핀(43)을 컨택트 시키는 패드(81) 상의 위치(이하, 「컨택트 위치」라고 한다.)와 침선 위치 간의 거리이다. 그 컨택트 위치는, 패드(81)의 엣지를 기준으로 임의로 설정되어 있다. 같은 방법에 의해, 화상 처리부(74)는,제2 내지 제4얼라인먼트 위치(421 내지 424)에 있어서의 프로브 핀(43)의 침선 위치와 패드 위치의 편차량을 측정한다. 측정된 편차량은 기억부(73)에 기억된다. 이와 같이, 패드 위치의 편차량의 측정은 카메라(51)를 이동시키지 않고 시야의 전환만으로 행해지므로 측정 결과에 카메라(51)의 이동 오차가 포함되는 것을 막을 수 있다.When the needle position is measured, the image processing unit 74 measures the positional deviation amount of the pad 81 of the TCP 8 corresponding to the first to fourth alignment positions 421 to 424 detected in step S4 (step) S5). Specifically, first, the image processing unit 74 makes the field of view of the camera 51 toward the pusher mechanism 3 side, that is, the TCP 8 side by acquiring only a signal from the solid-state imaging element directed toward the pusher mechanism 3 side. . The image processing unit 74 confirms the approximate position of the pad 81 on the TCP 8 based on the alignment mark of the TCP 8 included in the field of view. Then, under the control of the drive unit 72, the camera 51 moves to a position opposite to the first alignment position 421. When the camera 51 moves, the image processing unit 74 changes the field of view of the camera 51 to the probe card 42 side by acquiring only a signal from the solid-state imaging element directed toward the probe mechanism 4 side. The needle point position of the probe pin 43 located at the first alignment position 421 is detected and stored in the storage unit 73. The image processing unit 74 again changes the field of view of the camera 51 toward the TCP 8 side, and performs image processing such as edge extraction on the pad 81 of the TCP 8 facing the first alignment position 421 in the Z direction. By doing so, the position (coordinate on the XY plane) of the pad 81 is detected and stored in the storage unit 73. When the position of the pad 81 is detected, the image processing unit 74 measures the amount of deviation between the pad position and the needle position by comparing the position of the pad 81 with the previously detected needle position. This deviation amount refers to the distance between the pad 81 on the XY plane and the needle point position, and more specifically, the position on the pad 81 for contacting the probe pin 43 (hereinafter referred to as "contact position"). ) And the needle point location. The contact position is arbitrarily set based on the edge of the pad 81. By the same method, the image processing unit 74 measures the deviation amount between the needle line position and the pad position of the probe pin 43 at the second to fourth alignment positions 421 to 424. The measured deviation amount is stored in the storage unit 73. As described above, the measurement of the amount of deviation of the pad position is performed only by changing the field of view without moving the camera 51, so that the movement error of the camera 51 can be prevented from being included in the measurement result.

편차량이 측정되면, 주제어부(76)는, 프로브 핀(43)의 침합(針合)을 실시한다(스텝 S6). 구체적으로, 우선 구동부(72)의 제어에 의해 카메라(51)가 푸셔 기구(3)와 프로브 기구(4) 사이에 끼워진 위치로부터 퇴피하여 푸셔 기구(3) 및 프로브 기구(4)와 Z축방향으로 간섭하지 않는 위치로 이동한다. 프로브 카드(42)의 X, Y방향에 있어서의 위치를, 상술한 것처럼 측정된 편차량에 근거해 설정한다. 즉, 제1 내지 제4얼라인먼트 위치(421 내지 424)에 있어서의 프로브 핀(43)이, 대향 배치된 패드(81)의 컨택트 위치에 접촉하도록 위치 맞춤 된다. 이 상태에서, 구동부(72)의 제어에 의해 푸셔플레이트(32)가 패드(81)에 컨택트 하기 직전의 위치까지 이동하고, 그 후 임의의 설정치 단위로 프로브 카드(42) 측으로 이동하면서 패드(81)가 프로브 핀(43)에 접촉하는지 아닌지를 확인한다. 접촉하는지 아닌지는, 프로브 기구(4)에 접속된 테스터(도시하지 않음)로부터의 신호에 근거해 확인된다.When the amount of deviation is measured, the main control unit 76 engages the probe pins 43 (step S6). Specifically, first, the camera 51 is retracted from the position sandwiched between the pusher mechanism 3 and the probe mechanism 4 by the control of the drive unit 72, and the pusher mechanism 3 and the probe mechanism 4 and the Z-axis direction. Move to a location that does not interfere with The position in the X and Y directions of the probe card 42 is set based on the measured deviation amount as described above. That is, the probe pin 43 in the 1st-4th alignment positions 421-424 is aligned so that it may contact the contact position of the pad 81 arrange | positioned opposingly. In this state, the pad 81 moves to the position immediately before the pusher plate 32 contacts the pad 81 by the control of the driving unit 72, and then moves to the probe card 42 side by any set value unit. ) Is in contact with the probe pin 43. Whether or not a contact is made is confirmed based on a signal from a tester (not shown) connected to the probe mechanism 4.

상술한 것처럼 푸셔플레이트(32)가 임의의 설정치 단위로 Z방향으로 이동해 가면, 프로브 카드(42)에 포함되는 복수의 프로브 핀(43) 중, 푸셔플레이트(32)에 보관 유지된 TCP(8)의 패드(81)에 접촉하는 것의 비율이 증가해 나간다. 그 비율이 소정의 설정율에 이르렀을 때의 푸셔플레이트(32)의 위치가 컨택트 높이로서 설정된다. 이 설정된 컨택트 높이는 기억부(73)에 기억된다.As described above, when the pusher plate 32 moves in the Z direction in units of arbitrary setting values, the TCP 8 held in the pusher plate 32 among the plurality of probe pins 43 included in the probe card 42 is included. The ratio of the contact with the pad 81 increases. The position of the pusher plate 32 when the ratio reaches a predetermined set rate is set as the contact height. This set contact height is stored in the storage unit 73.

컨택트 높이가 설정되면, 화상 처리부(74)는 컨택트 최적 위치를 확인한다(스텝 S7). 컨택트 최적 위치란, 예를 들면, 패드(81)의 각변으로부터 등거리에 있는 위치에서 각 프로브 핀(43)이 패드(81)의 엣지로부터 여유를 가져 접촉하는 위치를 의미한다. 예를 들면, 푸셔플레이트(32)가 컨택트 높이로 이동한 상태에 있어서, 푸셔플레이트(32)가 X, Y방향으로 임의의 설정치 단위로 이동해, 프로브 핀(43)이 패드(81)로부터 비접촉이 되는 위치를 확인하는 것에 의해, 컨택트 최적 위치를 취득한다. 컨택트 최적 위치를 취득하면, 푸셔 기구(4)는, 그 컨택트 최적 위치로 푸셔플레이트(32)를 이동시킨다.If the contact height is set, the image processing unit 74 confirms the contact optimum position (step S7). The contact optimum position means, for example, a position where each probe pin 43 contacts with a margin from the edge of the pad 81 at a position equidistant from each side of the pad 81. For example, in the state where the pusher plate 32 is moved to the contact height, the pusher plate 32 is moved in units of arbitrary set values in the X and Y directions, and the probe pin 43 is brought into non-contact from the pad 81. The contact optimum position is obtained by confirming the position of the contact. When the contact optimum position is acquired, the pusher mechanism 4 moves the pusher plate 32 to the contact optimum position.

컨택트 최적 위치로 푸셔플레이트(32)가 이동하면, 화상 처리부(74)는, 측정부 카메라(6)에 의해 푸셔플레이트(32) 상의 TCP(8)의 얼라이먼트 마크를 촬상해, 이 얼라이먼트 마크의 위치를 확인한다(스텝 S8). 그림 6에 나타나 있듯이, 프로브 카드(42)의 대략 중앙부에는, 개구부(425)가 형성되고 있다. 측정부 카메라(6)는, 그 개구부(425)에 노출된 TCP(8)를 촬상한다. 얼라이먼트 마크의 위치는, 기억부(73)에 기억된다. 이것에 의해, 기억부(73)에 기억된 얼라이먼트 마크의 위치를 기준으로, 컨택트 최적 위치를 도출할 수 있다.When the pusher plate 32 moves to the contact optimum position, the image processing unit 74 captures an alignment mark of the TCP 8 on the pusher plate 32 by the measuring unit camera 6, and positions the alignment mark. (Step S8). As shown in FIG. 6, the opening part 425 is formed in the substantially center part of the probe card 42. As shown in FIG. The measuring unit camera 6 captures the image of the TCP 8 exposed through the opening 425. The position of the alignment mark is stored in the storage unit 73. Thereby, the contact optimum position can be derived based on the position of the alignment mark stored in the storage unit 73.

컨택트 최적 위치에 있어서의 얼라인먼트 마크가 기억되면, 시험부(75)는, 권출릴(21)에 감겨 있는 테이프(T)에 탑재된 TCP(8)의 시험을 실시한다(스텝 S9). 구체적으로는, 푸셔플레이트(32)가 권출릴(21)에 감겨 있는 테이프 T를 차례차례 송출하고, 테이프플램프(33)가 TCP(8)마다 테이프(T)를 보관 유지한다. 이 보관 유지시킨 상태에 있어서, 측정부 카메라(6)가 TCP(8)의 얼라이먼트 마크를 촬상하고, 이 얼라이먼트 마크의 위치와 스텝 S8에서 측정한 얼라이먼트 마크의 위치와의 편차량을 산출하며, 이 편차량에 근거해 푸셔플레이트(32)가 X, Y방향으로 이동한다. 이것에 의해, 푸셔플레이트(32)가 컨택트 최적 위치에 배치되게 된다. 계속하여 푸셔플레이트(32)가 Z방향으로 컨택트 높이까지 이동하고, 푸셔플레이트(32) 상의 TCP(8)의 패드(81)를 프로브 카드(42)의 프로브 핀(43)에 접촉시킨다. 이 프로브 핀(43)은, 테스터(도시하지 않음)를 매개로 하여 제어장치(7)와 전기적으로 접속되고 있다. 시험부(75)는 프로브 핀(43)을 개입시켜 TCP(8)와 전기신호를 교환하는 것으로, TCP(8)에 이상이 있는지 아닌지를 확인한다. 확인이 끝나면, 푸셔플레이트(32)가 프로브 카드(42)로부터 멀어지고 테이프클램프(33)에 의해 보관 유지되고 있던 테이프(T)가 개방되어 푸셔플레이트(32) 상에 배치되어 있던 TCP(8)를 탑재한 테이프(T)가 권취릴(22) 측으로 송출된다. 이러한 일련의 시험 동작이, 권출릴(21)에 감겨 있는 테이프(T)가 없어질 때까지 행해진다.When the alignment mark at the contact optimum position is stored, the test unit 75 tests the TCP 8 mounted on the tape T wound around the unwinding reel 21 (step S9). Specifically, the pusher plate 32 sequentially feeds out the tape T wound around the unwinding reel 21, and the tape clamp 33 holds the tape T for each TCP 8. In this holding state, the measuring unit camera 6 picks up the alignment mark of the TCP 8 and calculates the amount of deviation between the position of the alignment mark and the position of the alignment mark measured in step S8. The pusher plate 32 moves in the X and Y directions based on the amount of deviation. As a result, the pusher plate 32 is disposed at the contact optimum position. Subsequently, the pusher plate 32 moves to the contact height in the Z direction, and the pad 81 of the TCP 8 on the pusher plate 32 is brought into contact with the probe pin 43 of the probe card 42. The probe pin 43 is electrically connected to the control device 7 via a tester (not shown). The test unit 75 exchanges an electrical signal with the TCP 8 via the probe pin 43, and confirms whether or not the TCP 8 has an abnormality. After the confirmation, the pusher plate 32 is moved away from the probe card 42, and the tape T held by the tape clamp 33 is opened and the TCP 8 disposed on the pusher plate 32 is released. The tape T on which the is mounted is sent out to the winding reel 22 side. This series of test operations is performed until the tape T wound around the unwinding reel 21 disappears.

이상 설명한 것처럼, 본 실시예에 의하면, 푸셔 기구(3)와 프로브 기구(4)와의 사이의 공간에 카메라(51)를 마련하는 것에 의해 프로브 핀(43)의 접촉단(431) 및 패드(81)의 단부를 촬상하는 것이 가능해진다. 이 때문에, 이러한 촬상 데이터에 근거해 프로브 핀(43)과 패드(81)와의 위치 편차량을 측정하고, 이 위치 편차량에 근거해 TCP(8)를 이동시키는 것에 의해 프로브 핀(43)과 패드(81)와의 위치 맞춤을 정확하게 실시할 수 있다.As described above, according to the present embodiment, the contact end 431 and the pad 81 of the probe pin 43 are provided by providing the camera 51 in a space between the pusher mechanism 3 and the probe mechanism 4. It becomes possible to image the end of For this reason, the probe pin 43 and the pad are moved by measuring the amount of positional deviation between the probe pin 43 and the pad 81 based on the captured image data, and moving the TCP 8 based on the positional deviation amount. Positioning with (81) can be performed correctly.

덧붙여 도 5에 대해서는, 새로운 TCP(8)를 시험하는 경우에 대해 설명했지만, 프로브 카드(42)나 권출릴(21)을 교환했을 경우에 대해서도 상술한 것과 동등의 방법에 의해 시험할 수 있는 것은 말할 필요도 없다. 구체적으로는, 프로브 카드(42)를 교환했을 경우에는, 이미 기억시킨 TCP 위치 정보나 프로브 위치 정보를 기억부(73)로부터 읽어들인 다음, 스텝 S3 ~ S9의 처리를 실시하도록 하면 좋다. 또, 권출릴(21)을 교환했을 경우에는, 프로브 핀(43)의 침선 높이나 침선 위치를 기억부(73)로부터 읽어들인 다음, 스텝 S5 ~ S9의 처리를 실시하도록 하면 좋다.In addition, although the case where the new TCP 8 was tested was demonstrated about FIG. 5, what can be tested by the method similar to the above also about the case where the probe card 42 and the unwinding reel 21 were replaced. Needless to say. Specifically, when the probe card 42 is replaced, the already stored TCP position information and probe position information may be read from the storage unit 73, and then the processes of steps S3 to S9 may be performed. When the unwinding reel 21 is replaced, the needle tip height and needle tip position of the probe pin 43 may be read from the storage unit 73, and then the steps S5 to S9 may be performed.

또, 본 실시예에서는, 카메라(51)가 2개의 시야를 갖추는 경우를 예에 설명했지만, 카메라(51)는, 프로브 핀(43)과 TCP(8)와의 사이의 공간에 배설 가능하다면, 1개의 시야의 카메라를 적용할 수 있는 것은 말할 필요도 없다. 이 경우, 예를 들면, 카메라에 시야를 X축 주위로 이동 가능하게 하는 이동 기구를 마련하여 Z축방향의 정부 양측을 촬상 가능하게 하는 것으로, 상술한 본 실시예와 동등의 작용 효과를 실현할 수 있다.In the present embodiment, the case where the camera 51 has two fields of view has been described in the example. However, if the camera 51 can be disposed in the space between the probe pin 43 and the TCP 8, 1 Needless to say, the camera of the dog's field of view can be applied. In this case, for example, by providing a moving mechanism for moving the field of view around the X-axis in the camera to enable imaging of both sides of the Z-axis direction, the same effects as those of the present embodiment described above can be realized. have.

본 발명은, 대향 배치된 2개의 부재를 접촉시키는 것에 관한 시험을 실시하는 각종 장치에 적용할 수 있다.The present invention can be applied to various apparatuses for carrying out a test relating to contacting two members disposed to face each other.

1 : TCP 시험 장치 3 : 푸셔
8 : TCP 43 : 프로브 핀
51 : 카메라 72 : 구동부
75 : 시험부 81 : 패드
431 : 접촉단1: TCP test device 3: Pusher
8: TCP 43: probe pin
51 camera 72 drive unit
75 test part 81: pad
431: contact end

Claims (2)

중앙에 개구부가 형성된 프로브 카드와,
상기 프로브 카드의 일측면에 설치되어 제1의 방향으로 돌출하는 한편 접촉단을 갖는 프로브 핀과,
상기 제1의 방향에 대하여 상기 프로브 핀의 접촉단과 대향하여 배치되는 한편 패드를 갖는 TCP를 보관 유지하는 푸셔와,
상기 프로브 핀과 상기 TCP와의 사이의 공간을 이동할 수 있게 지지되는 한편 이 공간 내에서 상기 프로브 핀 및 상기 TCP를 촬상하는 카메라와,
상기 카메라에 의해 촬상된 상기 프로브 핀 및 상기 TCP의 화상에 근거하여 상기 프로브 핀의 접촉단과 상기 TCP의 패드와의 위치 편차량을 측정하는 측정부와,
상기 측정부에 의해서 측정된 위치 편차량에 근거하여 상기 제1의 방향에 직교하는 제2의방향으로 상기 푸셔를 이동시키고 상기 푸셔를 상기 제1의 방향에 따라서 상기 접촉단으로 향해 이동시키는 것에 의해, 상기 푸셔에 보관 유지된 상기 TCP의 패드를 상기 접촉단에 접촉시키는 구동부와,
상기 프로브 핀의 접촉단이 상기 TCP의 패드에 접촉한 상태에서 TCP의 시험을 실시하는 시험부와,
상기 프로브 카드의 양측 중 상기 푸셔와 마주하는 측의 반대측에 배설되는 측정부 카메라와,
컨택트 최적 위치에 있어서의 TCP의 얼라인먼트 마크 위치를 기억하는 기억부를 포함하고,
시험시마다 상기 측정부 카메라는 송출된 테이프 상의 TCP의 얼라인먼트 마크를 촬상하고 상기 기억부에 기억된 상기 컨택트 최적 위치에 있어서의 TCP 얼라인먼트 마크와 비교하여, 상기 구동부에 의해 푸셔 플레이트가 컨택트 최적 위치에 배치되도록 이동되는 것을 특징으로 하는 TCP 시험 장치.A probe card with an opening in the center,
A probe pin installed on one side of the probe card and protruding in a first direction and having a contact end;
A pusher disposed opposite the contact end of the probe pin with respect to the first direction and holding a TCP having a pad;
A camera which is supported to move the space between the probe pin and the TCP while imaging the probe pin and the TCP in the space;
A measuring unit for measuring an amount of positional deviation between the contact end of the probe pin and the pad of the TCP based on the probe pin and the TCP image picked up by the camera;
By moving the pusher in the second direction orthogonal to the first direction and moving the pusher toward the contact end along the first direction based on the positional deviation amount measured by the measuring unit. A driving unit for contacting the contact end with the pad of the TCP held in the pusher;
A test unit for performing a test of TCP in a state where the contact end of the probe pin is in contact with the pad of TCP;
A measuring unit camera disposed on opposite sides of the side of the probe card facing the pusher;
A storage unit for storing the alignment mark position of the TCP at the contact optimum position,
At each test, the measuring unit camera picks up the alignment mark of TCP on the sent tape and compares the TCP alignment mark at the contact optimum position stored in the storage unit, so that the pusher plate is disposed at the contact optimum position by the driving unit. TCP test apparatus, characterized in that moved as possible. 제1항에 있어서,
상기 카메라는 상기 프로브 핀의 방향을 향한 제1의 시야 및 상기 TCP의 방향을 향한 제2의 시야를 갖고, 상기 제1의 시야의 법선 및 상기 제2의 시야의 법선은 상기 제1의 방향을 따르는 동일 직선상에 위치하는 TCP 시험 장치.
The method of claim 1,
The camera has a first field of view facing the direction of the probe pin and a second field of view facing the direction of TCP, wherein the normal of the first field of view and the normal of the second field of view are directed to the first direction. TCP test device located on the same straight line.
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