KR101229529B1 - 처리액 토출 검사 방법, 처리액 토출 검사 장치 및 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체 - Google Patents

처리액 토출 검사 방법, 처리액 토출 검사 장치 및 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체 Download PDF

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Abstract

노즐과 기판 사이에 휘도를 검사하는 휘도 검사 영역과 이미지 프로파일을 검사하는 이미지 프로파일 검사 영역이 설정된다. 상기 휘도 검사 영역에서 촬상된 이미지의 휘도에 기초하여 처리액 토출이 검사된다. 이미지 프로파일 검사 영역의 이미지의 프로파일과 미리 저장된 처리액 토출 이미지의 프로파일이 비교되어 처리액의 토출이 검사된다. 상기 휘도 검사 영역과 이미지 프로파일의 검사 영역의 검사 결과가 조합되어 처리액의 토출 시간이 계산된다.

Description

처리액 토출 검사 방법, 처리액 토출 검사 장치 및 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체{TREATMENT LIQUID EJECTION INSPECTING METHOD, TREATMENT LIQUID EJECTION INSPECTING APPARATUS AND COMPUTER READABLE RECORDING MEDIUM}
본 발명은 처리액 토출 검사 방법, 처리액 토출 검사 장치 및 처리액 토출 검사 방법을 실행시키기 위한 프로그램이 기록된 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 처리액의 토출을 더 정확하게 검지하여 토출의 이상 상태를 검사하는 방법 및 그 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자의 제조 공정에 있어 반도체 기판 상에 특정 목적을 위하여 처리액을 도포하는 공정을 필요로 한다. 예를 들어, 리소그래피 공정에서는 반도체 기판 상에 포토레지스트를 도포한 후, 노광 및 현상하는 공정을 통해 특정 패턴을 형성한다.
일반적으로, 처리액 도포 장치는 기판 상방에 위치하는 노즐을 통해 처리액을 토출하고, 기판을 회전시킴에 의해 일정한 두께의 막으로 처리액을 기판에 도포시킨다. 따라서, 처리액 도포 장치는 처리액을 저장하는 저장 용기, 처리액을 토출하기 위해 압력을 제공하는 펌프, 처리액의 토출을 제어하기 위한 밸브 및 처리액이 토출되는 노즐을 포함하고 있다.
한편, 반도체 소자의 제조 공정은 매우 정밀하게 수행되어야 하기 때문에, 일정한 막 두께로 처리액을 도포하기 위해서는 정확한 처리액의 토출은 매우 중요하다.
그러나, 예를 들어 처리액에 버블이 들어간 경우에는 일시적으로 처리액의 토출이 중단된다. 따라서, 예를 들어 처리액이 지속적으로 토출되는지를 확인하지 않고, 토출 제어 신호에만 의존하여 토출량을 제어하는 경우에는 원하는 품질로 기판에 처리액을 도포할 수 없다.
도 9는 종래 기술에서, 처리액의 토출을 검사하는 시스템의 구성의 개략을 도시한 설명도이다.
종래의 처리액 토출 검사 시스템은 저장 용기(1), 필터(2), 펌프(3), 밸브(4), 노즐(5) 및 광학 장치(6)를 포함한다.
저장 용기(1)는 도포될 처리액을 저장하고 있다. 필터(2)는 필요한 경우 처리액(2)에 대한 화학적 필터링을 수행한다. 펌프(3)는 처리액 토출을 위한 압력을 제공하며, 밸브(4)에 의해 토출을 위한 압력과 석백(suck back)을 위한 압력이 제어된다. 광학 장치(6)는 노즐(5)을 촬영하거나, 광학 검지 기능을 이용하여 처리액의 토출을 검지한다.
광학 검지 기능을 이용하는 경우, 종래 기술은 노즐(5)과 기판(7) 사이의 특정 지점에 대한 픽셀의 휘도를 측정하여, 노즐(5)과 기판(7) 사이에서 처리액 토출을 검지한다.
그러나, 종래 기술과 같이 노즐(5)과 기판(7) 사이의 휘도를 이용하여 토출을 검지하는 기술은 외부의 빛에 의한 외란에 영향을 받기 때문에, 휘도 검출 결과에 오차가 발생할 우려가 있다. 또한, 처리액 토출과 동시에 기판(7)이 회전하는 경우, 광학 장치(6) 내부의 조명으로부터 발생한 빛이 기판(7)에 의해 난반사를 발생시킬 수 있으므로, 휘도 검출 결과에 오차가 발생할 우려가 있다.
또한, 처리액의 투명도가 높은 경우에는 휘도를 이용한 토출 검지가 정확하게 수행되지 않는 문제점이 존재한다.
한편, 처리액 토출을 제어하는 기술로서 특허 문헌 1은 이상적인 토출 상태의 화상 데이터를 기억해 두고, 이 기억 화상 데이터와 CCD 카메라에 의한 촬영 화상 데이터를 비교 해석하여, 촬영 화상 데이터가 기억 화상 데이터에 가까운 값이 되도록 레지스트 도포 장치를 제어하는 제어 신호를 생성하는 기술을 개시하고 있다.
특허 문헌 2는 감광액 도포 장치에서, 웨이퍼 상에 토출되는 감광액량을 카메라에 의해 촬영하고, 카메라로부터 얻어진 웨이퍼에 토출되는 감광액량의 영상 신호를 미리 저장된 설정값과 비교하여 감광액 토출 완료 신호를 생성하는 구성을 개시하고 있다.
특허 문헌 3은 처리액 토출 불량을 모니터링하기 위하여, 기판 처리 장치가 카메라와 조명을 구비하고, 상기 카메라에 대향하여 배치된 광반사가 적은 배경판을 이용하여 외란의 영향 없이 토출되는 처리액을 검지하는 기술을 개시하고 있다.
특허 문헌 4는 기판 상에 토출되는 처리액의 이미지의 특성과 미리 선택된 특성을 비교한 결과, 미리 정해진 값의 차이가 있는 경우 토출 프로세스의 특성을 조정하는 구성을 개시하고 있다. 예를 들어, 기판 상에 처리액에 의해 덮인 범위의 비율을 미리 선택된 특성과 비교하여 토출 프로세스의 특성을 조정한다.
언급한 특허 문헌 1 내지 특허 문헌 4에서는 토출의 정상 상태의 이미지를 이용하여 처리액 토출을 제어하는 구성은 개시되어 있으나, 토출에 의한 처리액 낙하가 정상적으로 이뤄지는 지를 검출하는 구성에 대해서는 개시하고 있지 않다.
또한, 특허 문헌 1 내지 특허 문헌 4에 개시된 기술에서의 토출량의 정상 상태의 판단은 기판 위에 처리액이 도포된 범위를 기초로 하거나, 처리액의 토출이 정상적으로 검지되었다는 전제하에 토출량이 정상인지 아닌지를 판단하고 있다.
이러한 특허 문헌 1 내지 특허 문헌 4에 개시된 기술은 경험적으로 획득된 이미지를 이용하여 토출을 제어하고 있으나, 토출 자체가 정상적으로 이뤄졌는지에 대한 검지가 정확하지 않으며, 또한, 전술한 휘도를 이용하여 토출 검지를 수행하는 종래 기술이 가지는 문제점을 그대로 가지고 있다.
따라서, 정확한 처리액 도포를 확보하기 위해서는 토출 시간 동안 처리액이 지속적으로 토출되고 있는지를 정확하게 검지할 수 있는 기술이 요구된다.
일본특허공개공보 1993-176734호 한국특허등록공보 제0290414호 일본특허공개공보 2003-273003호 미국특허등록공보 제6,080,078호
본 발명은 상기 사정을 고려하여 이루어진 것이며, 그 목적으로 하는 바는 외부 빛 또는 내부 조명에 의해 야기되는 외란의 영향을 최소화하여 처리액의 토출을 정확하게 검지할 수 있는 장치 및 방법을 제공하는 것에 있다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 처리액이 투명한 경우에도 처리액의 토출을 정확하게 검지할 수 있는 장치 및 방법을 제공하는 것에 있다.
상술의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 제 1 측면에 따른 처리액 토출을 검사하는 방법은, a) 처리액이 노즐로부터 기판에 토출되는 토출 위치에서의 영상의 이미지를 획득하는 단계와, b) 상기 노즐과 상기 기판 사이에 설정된 휘도 검사 영역의 이미지의 휘도에 기초하여 상기 처리액의 토출 여부를 검사하는 단계와, c) 상기 노즐과 상기 기판 사이에 설정된 프로파일 검사 영역의 이미지의 프로파일과 미리 저장된 이미지의 프로파일을 비교하여 상기 처리액의 토출 여부를 검사하는 단계와, d) 상기 단계 b) 및 상기 단계 c)의 검사 결과를 검사 시간에 대응시켜 메모리에 저장하는 단계와, e) 상기 단계 b) 및 상기 단계 c)의 검사 결과를 조합하여 상기 처리액의 토출 시간을 계산하는 단계를 포함한다. 또한, 단계 a)에서 획득되는 이미지는 단계 b)의 휘도 검사 영역의 이미지와 단계 c)의 프로파일 검사 영역을 포함하고 있다. 또한, 이미지의 프로파일이란 낙하하는 처리액의 이미지의 프로파일을 말한다.
여기서, 상기 프로파일 검사 영역은 낙하하는 처리액의 경계 부분을 포함하도록 설정되며, 상기 미리 저장된 이미지의 프로파일은 낙하하는 처리액의 경계 부분의 이미지로부터 생성된다. 또한, 낙하하는 처리액의 경계 부분이란 낙하하는 처리액이 형성하는 외곽선을 말한다.
여기서, 상기 단계 b)는, 상기 휘도 검사 영역에서 측정된 휘도가 미리 정해진 임계값 이하인 경우에 처리액이 토출되는 것으로 판단하는 단계를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 단계 c)는, 상기 프로파일 검사 영역에서 획득된 이미지의 프로파일과 상기 미리 저장된 이미지의 프로파일의 일치도가 미리 정해진 임계값보다 큰 경우에 처리액이 토출되는 것으로 판단하는 단계를 포함할 수 있다.
또한, 상기 단계 e)는, 상기 휘도 검사 영역에서의 검사 결과와 상기 프로파일 검사 영역의 검사 결과가 모두 처리액이 토출되는 것으로 판단된 경우에 처리액 토출로 취급하여 상기 토출 시간을 계산하는 단계를 포함할 수 있다.
또한, 상기 처리액 토출 검사 방법은, f) 상기 처리액의 토출을 제어하는 처리액 토출 시작 신호를 수신하는 단계를 더 포함하고, 상기 단계 e)는, 상기 처리액 토출 시작 신호의 수신으로부터 실제 처리액 토출까지의 토출 지연 시간을 계산하는 단계를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 처리액 토출 검사 방법은, g) 상기 계산된 처리액 토출 시간에 기초하여 토출량의 이상 상태가 검지된 경우 알람을 발생시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
한편, 본 발명의 제 2 측면에 따른 처리액 토출 검사 장치는, 노즐로부터 토출되는 처리액의 낙하 경로를 포함하는 검사 영역을 촬상하는 촬상부와, 상기 촬상부로부터 수신된 촬상 신호에 기초하여 상기 검사 영역에 포함된 휘도 검사 영역과 프로파일 검사 영역의 이미지를 생성하는 이미지 처리부와, 상기 휘도 검사 영역의 이미지의 휘도 및 상기 프로파일 검사 영역의 이미지의 프로파일에 기초하여 처리액의 토출을 검사하는 검사부와, 상기 검사부로부터의 검사 결과를 출력하고, 상기 검사 영역을 설정하는 입출력 수단을 포함한다.
여기서, 상기 검사부는, 상기 프로파일 검사 영역의 이미지와 비교될 이미지를 저장하고 있는 이미지 저장부를 포함하며, 상기 저장된 이미지는 정상적으로 토출되는 처리액의 경계 부분을 포함하는 이미지가 될 수 있다.
또한, 상기 검사부는, 상기 휘도 영역의 이미지의 휘도에 기초하여 처리액 토출을 검사하는 휘도 검사부와, 상기 프로파일 검사 영역의 이미지와 상기 저장된 이미지의 프로파일에 기초하여 처리액 토출을 검사하는 이미지 프로파일 검사부와, 상기 휘도 검사부 및 상기 이미지 프로파일 검사부의 검사 결과를 조합하여 처리액 토출 시간을 계산하는 토출 시간 계산부를 더 포함할 수 있다.
한편, 상기 토출 시간 계산부는, 상기 휘도 검사부 및 상기 이미지 프로파일 검사부의 검사 결과가 모두 처리액 토출로 검지된 경우에 처리액이 토출되는 것으로 판단할 수 있다.
또한, 상기 검사부는, 처리액 토출 시작 신호를 모니터링할 수 있는 제어 신호 검사부를 더 포함하고, 상기 토출 시간 계산부는, 상기 처리액 토출 시작 신호의 수신으로부터 상기 처리액 토출까지의 토출 지연 시간을 계산할 수 있다.
또한, 상기 검사부는, 상기 토출 시간 계산부로부터 계산된 토출 시간이 이상 상태에 해당하는 경우 알람을 발생시키는 알람부를 더 포함할 수 있다.
상기 입출력 수단은, 상기 이미지 처리부에서 생성된 이미지를 출력하고, 상기 휘도 영역 및 상기 프로파일 검사 영역의 설정을 제공할 수 있다.
여기서, 상기 처리액 토출 검사 장치는, 상기 입출력 수단에 대해 데이터 송신 및 수신을 지원하는 통신 인터페이스를 더 포함하고, 상기 입출력 수단은, 처리액 토출 검사 장치의 외부에 배치되어 네트워크를 통해 상기 통신 인터페이스와 연결될 수 있다.
한편, 본 발명의 제 3 측면에 따르면, 상기 처리액 토출 검사 방법을 실행시키기 위한 프로그램이 기록된 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체가 제공된다. 또한 이 프로그램은, 상기 처리액 토출 검사 방법을 실행시키기 위하여, a) 낙하하는 처리액의 경계 부분을 포함하는 이미지를 저장하는 단계와, b) 휘도 검사 영역에서 촬상된 이미지의 휘도를 제 1 임계값과 비교하는 단계와, c) 프로파일 검사 영역에서 촬상된 이미지와 상기 저장된 이미지의 프로파일을 비교하여 생성된 검사값을 제 2 임계값과 비교하는 단계와, d) 상기 b) 및 c)의 비교 결과를 조합하여 상기 처리액의 토출 시간을 계산하는 단계를 수행할 수 있다.
본 발명에 따르면, 외부의 빛 또는 내부의 조명에 의해 야기되는 외란의 영향을 최소화하여 처리액의 토출을 정확하게 검지할 수 있다.
또한, 처리액이 투명한 경우에도 처리액의 토출을 정확하게 검지할 수 있다.
더불어, 휘도를 이용한 검사와 이미지 프로파일을 이용한 검사를 통해 각각의 검사에서 발생할 수 있는 오류를 보완함으로써 더 정확하게 처리액 토출을 검사할 수 있다.
따라서, 처리액의 토출에 있어 버블 등에 의해 토출 중단이 발생한 경우에 이를 정확하게 검지하고, 알람을 발생시켜 토출 불량을 통보함으로써 제조 공정 상의 불량률을 최소화할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 처리액 토출 검사 장치의 구성의 개략을 도시한 설명도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 처리액 토출 검사 장치의 검사부의 구성을 도시한 블록도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 이미지와 검사 영역을 도시한 설명도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 처리액 토출 검사 방법을 도시한 흐름도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따라 노즐 위치를 검지하는 방법을 도시한 흐름도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 휘도 검사 방법의 흐름을 도시한 흐름도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로파일 검사 방법을 도시한 흐름도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 토출 시간 계산 방법을 설명하기 위한 설명도이다.
도 9는 종래 기술에서, 처리액 토출을 검사하는 시스템의 구성의 개략을 도시한 설명도이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 처리액 토출 검사 장치의 구성을 도시한 도면이다.
처리액 토출 검사 장치(100)는 도포부(110), 촬상부로서의 카메라(120), 검사부(130), 이미지 처리부(140), 통신 인터페이스(150) 및 내부 입출력 수단(160)을 포함한다. 여기서, 복수의 처리액 토출 검사 장치(100)는 네트워크를 통해 외부 입출력 수단(200)과 연결될 수 있다.
도포부(110)는 처리액을 도포하는 일반적인 구성을 포함한다. 도포부(110)는 처리액을 토출하는 노즐(50)을 포함하며, 그 외에, 예를 들어 저장 용기, 펌프, 밸브, 노즐 암(arm), 척(chuck)(도시하지 않음) 등을 포함할 수 있다. 그리고, 기판(60)이 척 위에 재치되면, 노즐 암에 설치된 노즐(50)은 토출 위치로 이동하여 처리액을 기판(60)에 토출하고, 토출이 완료되면 퇴피 위치로 이동한다.
도포부(110) 내에는 카메라(120)가 배치된다. 카메라(120)는 토출 위치로 이동한 노즐(50) 부근을 촬상할 수 있다. 이 카메라(120)에 의해 촬상되는 영역은, 후술하는 휘도 검사 영역 및 프로파일 검사 영역을 포함하는 검사 영역을 포함하고 있다. 카메라(120)는 고해상도의 CCD 카메라가 채택될 수 있다. 카메라(120)에서의 촬상 신호는 이미지 처리부(140)로 전송되어 검사 영역에 대한 이미지로 생성된다. 또한, 도포부(110)는 카메라(120)의 촬상을 보조하기 위하여 조명 장치를 포함할 수 있다.
이미지 처리부(140)는 카메라(120)로부터 전송된 노즐(50) 부근의 촬상 신호를 이미지로 복원하고, 내부 입출력 수단(160) 또는 외부 입출력 수단(200)의 디스플레이부에 복원된 이미지를 출력한다.
검사부(130)는 내부 입출력 수단(160) 또는 외부 입출력 수단(200)으로부터 수신한 입력 명령에 기초하여 이미지에 검사 영역을 설정하고, 상기 검사 영역의 일부의 휘도와 이미지 프로파일을 검사하여 처리액의 토출을 검지한다. 또한, 검사부(130)는 내부 입출력 수단(160) 또는 외부 입출력 수단(200)의 입력에 의해 낙하하는 처리액의 이미지를 저장하고, 처리액 토출 검사시 해당 이미지를 독출하여 토출을 검지하는데 이용한다. 검사부(130)의 구체적인 구성은 후술한다.
내부 입출력 수단(160)은 이미지 처리부(140)에서 복원된 영상의 이미지 또는 검사부(130)의 검사 결과가 출력되는 디스플레이부를 포함하는 출력 수단과 검사 영역을 설정하는 입력 수단을 포함한다. 내부 입출력 수단(160)은 처리액 토출 검사 장치(100)에 설치되어, 처리액 토출 검사를 위한 입력뿐 아니라 도포부(110)에서의 처리액 도포를 위한 입력을 함께 수행할 수 있도록 구현될 수 있다. 또한, 입력 수단은 터치 스크린으로 구현되어 출력 수단과 일체화되어 구현될 수도 있다. 내부 입출력 수단(160)은 티칭 모드(teaching mode)를 제공하여, 낙하하는 처리액의 이미지 프로파일을 독출하고, 검사 영역에 상기 이미지 프로파일을 반영시킬 수도 있다.
외부 입출력 수단(200)은 네트워크를 통해 처리액 토출 검사 장치(100)와 연결되고, 내부 입출력 수단(160)과 동일한 기능을 가진다. 외부 입출력 수단(200)으로서 프로그램이 탑재된 개인용 컴퓨터 또는 전용 단말이 사용될 수 있다.
통신 인터페이스(150)는 외부 입출력 수단(200)과의 통신을 제공한다. 통신 인터페이스(150)로서 허브(hub)와 같은 집선 장치를 이용하는 경우에는 다수의 처리액 토출 검사 장치(100)와 하나의 외부 입출력 수단(200)이 통신을 수행할 수 있으므로, 오퍼레이터는 원거리에서 다수의 처리액 토출 검사 장치(100)의 처리액 토출을 검사할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 처리액 토출 검사 장치의 검사부의 구성을 도시한 블록도이다.
검사부(130)는 검사 영역 설정부(131), 이미지 획득부(132), 휘도 검사부(133), 이미지 프로파일 검사부(134), 이미지 저장부(135), 제어 신호 검사부(136), 토출 시간 계산부(137), 데이터 입력부(138) 및 알람부(139)를 포함한다.
검사 영역 설정부(131)는 촬상된 이미지 상에 검사를 수행할 검사 영역을 설정한다. 검사 영역은 휘도 검사 영역, 프로파일 검사 영역을 포함하고 있다. 휘도 검사 영역과 프로파일 검사 영역의 설정, 이동 및 제어는 내부 입출력 수단(160) 또는 외부 입출력 수단(200)을 통해 수행된다.
이미지 획득부(132)는 이미지 저장부(135)로부터 프로파일 검사 영역에 촬상된 이미지와 비교할 이미지를 획득한다. 이미지 저장부(135)는 처리액이 정상적으로 토출되고 있을 때의 이미지를 저장한다. 저장된 이미지는 토출되고 있는 처리액의 경계 부분, 즉 처리액의 외곽선을 포함하는 이미지가 될 수 있으며, 복수의 촬상 이미지로부터 학습 알고리즘을 통해 생성된 이미지 또는 해당 처리액 토출 검사 장치(100)로부터 촬상된 이미지를 포함한다. 이미지 저장부(135)에 저장된 이미지는 내부 입출력 수단(160) 또는 외부 입출력 수단(200)으로부터 데이터 입력부(138)를 거쳐 이미지 저장부(135)에 입력될 수 있다.
휘도 검사부(133)는 검사 영역의 일부인 휘도 검사 영역의 이미지의 휘도를 측정하고 미리 정해진 값과의 비교를 수행하여 처리액의 토출을 검사한다.
이미지의 프로파일 검사부(134)는 검사 영역의 일부인 프로파일 검사 영역의 이미지의 프로파일과 이미지 저장부(135)에 저장된 이미지의 프로파일과의 비교를 수행하여 처리액의 토출을 검사한다.
제어 신호 검사부(136)는 처리액의 토출 시작, 토출 완료, 노즐 이동 등의 제어 신호를 모니터링한다.
토출 시간 계산부(137)는 휘도 검사부(133), 이미지 프로파일 검사부(134), 제어 신호 검사부(136)의 검사 결과에 기초하여 실제 처리액의 토출 시간을 계산한다. 예를 들어, 휘도 검사부(133) 및 이미지 프로파일 검사부(134)의 검사 결과, 모두 처리액 토출로 검지된 경우에 처리액이 토출되고 있는 것으로 판단하여 토출 시간을 계산할 수 있다. 또한, 토출 시간 계산부(137)는 처리액 토출 시작 신호로부터 실제 처리액 토출이 검지된 순간까지를 토출 지연 시간으로 계산할 수 있다.
알람부(139)는 토출 시간 계산부(137)에 의해 계산된 토출 시간이 정상 상태가 아니라고 판단된 경우 알람을 발생시킨다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 이미지와 검사 영역을 도시한 설명도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 촬상된 영상의 이미지는 노즐(50)의 이미지를 포함한다. 노즐(50)은 통상적으로 투명한 재질로 구현될 수 있으며, 처리액을 토출하는 내부 통로(51)를 가지고 있다.
검사 영역(30)은 노즐(50)의 선단 부분의 일부와 노즐(50)의 선단 부분의 외부를 포함하며, 또한 노즐(50)로부터 토출되는 처리액의 낙하 경로를 포함하도록 설정될 수 있다. 검사 영역(30)은 제 1 휘도 검사 영역(10), 프로파일 검사 영역(21, 22), 제 2 휘도 검사 영역(40)을 포함하고 있다. 또한, 검사 영역(30)은 설계에 따라 제 2 휘도 검사 영역(40)을 제외하고 노즐과 기판(60) 사이의 공간에 대해 설정될 수도 있다.
제 1 휘도 검사 영역(10)에서는 당해 제 1 휘도 검사 영역(10)의 이미지에서 측정된 휘도를 기초로 하여, 처리액 토출을 검지한다. 제 1 휘도 검사 영역(10)의 휘도가 미리 정해진 값 이하인 경우에는 처리액이 토출되고 있는 것으로 판단한다. 또는, 제 1 휘도 검사 영역(10)의 휘도의 시간 경과에 따른 변화량이 미리 정해진 값 이상인 경우에는 처리액이 토출되고 있는 것으로 판단해도 좋다.
프로파일 검사 영역(21,22)에서 촬상된 이미지의 프로파일은 미리 이미지 저장부(135)에 저장된 이미지의 프로파일과 비교된다. 처리액이 투명하더라도 처리액이 토출되고 있는 경우에는 처리액의 경계 부분은 이미지 상에서 식별 가능하다. 미리 저장된 이미지는 처리액이 토출되는 이미지의 프로파일을 가지고 있다. 따라서, 프로파일 검사 영역(21, 22)의 이미지 프로파일과 미리 저장된 이미지의 프로파일을 비교한 값, 예를 들어 두 개의 이미지를 서로 상관(co-relation)시킨 값이 미리 정해진 값 이상인 경우 처리액이 토출되고 있는 것으로 판단한다.
제 2 휘도 검사 영역(40)은 노즐(50)이 토출 위치에 있는지, 퇴피 위치에 있는지를 판단한다. 노즐(50)이 퇴피 위치에 있는 경우에 제 2 휘도 검사 영역(40)에서 획득된 휘도값은 제 1 휘도 검사 영역(10)에서 처리액이 토출되고 있지 않은 경우의 기준 휘도값으로서 이용할 수 있다.
전술한 바와 같이, 휘도에 기초하여 토출을 검지하는 것은 외부의 빛 또는 조명으로부터의 빛의 영향을 받아 휘도 검출 결과에 오차가 발생할 가능성이 있다. 또한, 처리액이 투명할수록 휘도의 변화가 적기 때문에 휘도에 기초하여 처리액의 토출을 검지하는 것 역시 오류가 발생할 가능성이 있다.
이러한 관점에서, 본 발명의 일 실시예에 따르면 제 1 휘도 검사 영역(10)에서 발생할 수 있는 오차 또는 오류를 프로파일 검사 영역(21, 22)에서의 프로파일 검사를 통해 보완할 수 있다.
또한, 프로파일 검사에서는 토출 정상으로 검지되었지만, 토출 불량이 발생한 경우에는 휘도 검사를 통해 이러한 검지 오류를 보완할 수 있다. 예를 들어, 처리액 토출이 정상이 아니더라도 처리액의 낙하 곡선이 촬상된다면 프로파일 검사에서는 토출 정상으로 검지될 경우도 있다. 이러한 경우에는 휘도 검사를 통해, 프로파일의 검사의 오류를 보완할 수 있다.
토출 불량의 검사를 강화하기 위해서, 제 1 휘도 검사 영역(10)의 검사 결과와 프로파일 검사 영역(21, 22)의 검사 결과를 AND 연산하는 경우에는 각각의 검사 결과에서 발생할 수 있는 오류를 수정한 처리액 토출 검사를 수행할 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 처리액 토출 검사 방법을 도시한 흐름도이다. 이 처리액 토출 검사 방법을 실시할 때, 예를 들어 전술한 처리액 토출 검사 장치(100)가 이용된다.
단계(S100)에서는 노즐의 토출 위치에서의 영상(영상의 이미지)을 획득한다. 토출 위치를 촬상하는 카메라(120)는 처리액의 토출 개시부터 토출 완료까지의 영상을 촬상할 수 있다. 이후, 촬상된 영상을 구성하는 각각의 이미지에 기초하여 처리액 토출이 검사된다.
단계(S200)에서는 노즐 위치를 검지한다. 노즐(50)은 처리액을 도포하기 위하여 토출 위치로 이동하게 되는데, 이때, 처리액 토출 검사 장치(100)는 노즐(50)의 제어 신호 또는 카메라(120)로부터 촬상된 이미지를 기초로 하여 노즐(50)의 위치를 검지할 수 있다.
단계(S300)에서는 처리액 토출 시작 신호를 검사한다. 처리액 토출 시작 신호는 처리액의 토출을 제어하는 신호 중의 하나이다. 처리액의 토출 시작 신호가 발생한 시간부터 실제 처리액의 토출이 검지된 시간까지를 토출 지연 시간으로 정의한다.
단계(S400)에서는 제 1 휘도 검사 영역(10)의 이미지로부터 제 1 휘도 검사 영역(10)의 휘도를 검사한다. 구체적으로 제 1 휘도 검사 영역(10)에서 처리액이 토출되고 있지 않는 상태의 기준 휘도를 설정하고, 지속적으로 제 1 휘도 검사 영역(10)의 휘도를 모니터링한다. 제 1 휘도 검사 영역(10)에서 휘도가 변화하여 처리액의 토출이 검지되면 처리액의 토출을 식별하는 TRUE 값을 검사 시간에 대응시켜 기록한다. 만약 제 1 휘도 검사 영역(10)의 휘도 검사 결과로부터 처리액 토출이 검지되지 않는다면, 처리액 토출 중단을 식별하는 FALSE 값을 검사 시간에 대응시켜 기록한다.
단계(S500)에서는 프로파일 검사 영역(21,22)의 이미지의 프로파일을 검사한다. 구체적으로 프로파일 검사 영역(21,22)을 촬상한 이미지의 프로파일을, 미리 저장된 처리액의 경계 부분에 대응하는 이미지의 프로파일과 비교한다. 처리액이 낙하하는 경우에 처리액의 경계 부분은 외곽선과 같은 이미지가 발생하며, 이는 이미지의 프로파일로서 표현이 가능하다. 처리액이 토출되고 있지 않는 경우에 낙하하는 처리액의 이미지 프로파일과의 비교값은 상대적으로 매우 낮은 값이 산출된다. 한편, 처리액이 토출되고 있는 경우에는 낙하하는 처리액의 이미지 프로파일과 비교값은 높게 산출된다. 프로파일 검사 영역(21, 22)에서 비교값이 상대적으로 높게 산출되어 처리액의 토출이 검지되면 처리액의 토출을 식별하는 TRUE 값을 검사 시간에 대응시켜 기록한다. 만약 프로파일 검사 영역(21, 22)의 프로파일 검사 결과로부터 처리액 토출이 검지되지 않는다면, 처리액 토출 중단을 식별하는 FALSE 값을 검사 시간에 대응시켜 기록한다.
단계(S600)에서는 단계(S400) 및 단계(S500)의 검사값을 검사 시간에 대응시켜 메모리에 저장한다. 저장된 검사값은 디스플레이를 구비한 출력 수단을 통해 오퍼레이터에게 제공될 수 있다.
단계(S700)에서는 검사값을 기초로 하여 처리액이 이상없이 토출된 토출 시간을 계산한다. 계산된 토출 시간에 기초하여 오퍼레이터는 토출의 이상 유무를 판단할 수 있다. 만약 시간당 토출량이 일정하다고 가정한다면, 계산된 토출 시간을 이용하여 토출량의 이상 상태를 판단할 수 있다.
또한, 도 4에는 도시되지 않았지만, 본 발명의 일 실시예는 토출량의 이상 상태가 검지되면 오퍼레이터에게 알람을 발생시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따라 노즐 위치를 검지하는 방법을 도시한 흐름도이다. 이 노즐 위치의 검지는, 전술한 도 4의 단계(S200)에서 행해지는 검지이다.
단계(S210)에서 제 2 휘도 검사 영역(40)의 이미지로부터, 제 2 휘도 검사 영역(40)의 휘도를 검사한다. 제 2 휘도 검사 영역(40)의 휘도는 노즐(50)이 퇴피 위치에 있을 때와, 토출 위치에 있을 때 모두 검사될 수 있다.
단계(S220)에서는 검사된 휘도가 임계값 K1보다 큰 지를 판단한다. 임계값 K1은 도포부(110) 내부에서 카메라(120)와 촬상 대상 사이에 아무런 물체가 없는 경우에 얻을 수 있는 휘도로 설정될 수 있다.
만약, 검사된 휘도가 임계값 K1 이하인 경우에는 노즐(50)이 있는 것으로 검지한다(단계(S230)). 노즐(50)이 있는 것으로 검지되면, 노즐(50)이 토출 위치로 이동한 것이며, 추후 처리액 토출을 검사한다.
만약, 검사된 휘도가 임계값 K1보다 큰 경우에는 노즐(50)이 없는 것으로 검지한다(단계(S240)).
제 2 휘도 검사 영역(40)의 휘도에 기초한 결과값과 노즐(50)의 이동을 제어하는 제어 신호의 결과값이 상이한 경우에는 노즐(50)의 제어가 정상적으로 수행되지 않음을 검출할 수 있다.
여기서, 노즐(50)이 없는 경우에 획득된 제 2 휘도 검사 영역(40)에서 휘도는 이후 처리액 토출 여부를 판단하는 기준 휘도로 이용될 수도 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 휘도 검사 방법의 흐름을 도시한 흐름도이다. 이 휘도 검사는, 전술한 도 4의 단계(S400)에서 행해지는 검사이다.
단계(S410)에서는 제 1 휘도 검사 영역(10)의 이미지로부터 제 1 휘도 검사 영역(10)의 휘도를 측정한다. 측정된 휘도는 제 1 휘도 검사 영역(10)에서 포함된 픽셀들의 휘도의 평균값이 될 수 있다.
단계(S420)에서는 측정된 제 1 휘도 검사 영역(10)의 휘도가 임계값 K2보다 큰지를 판단한다. 여기서 임계값 K2는 처리액의 토출을 식별할 수 있는 휘도에 대응하는 값이다.
측정된 휘도가 임계값 K2 이하인 경우에는 처리액이 토출되고 있는 것으로 검지하고 이에 대응하는 TRUE 값을 검사 시간에 대응시켜 출력한다(단계(S430)).
측정된 휘도가 임계값 K2보다 큰 경우에는 처리액이 토출되고 있지 않는 것으로 검지하고 이에 대응하는 FALSE 값을 검사 시간에 대응시켜 출력한다(단계(S440)).
여기서 임계값 K2 대신 처리액이 토출되고 있지 않는 임계값 K1을 채택하여, 제 1 휘도 검사 영역(10)에서 측정된 휘도가 임계값 K1 이하인 경우에 처리액이 토출되고 있는 것으로 판단할 수도 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로파일 검사 방법을 도시한 흐름도이다. 이 프로파일 검사는, 전술한 도 4의 단계(S500)에서 행해지는 검사이다.
단계(S510)에서는 프로파일 검사 영역(21, 22)의 이미지의 프로파일을 측정한다. 측정 대상의 이미지의 프로파일은 낙하하는 처리액의 경계 부분의 이미지로부터 구해질 수 있다.
단계(S520)에서는 측정된 프로파일 검사 영역(21,22)의 프로파일 검사값을 계산한다. 여기서 프로파일 검사값은 프로파일 검사 영역(21, 22)의 이미지 프로파일과 미리 저장된 이미지의 프로파일을 비교하여 계산될 수 있다. 여기서 미리 저장된 이미지의 프로파일은 처리액이 낙하하는 곡선 또는 직선을 포함하는 이미지의 프로파일이 될 수 있다. 여기서, 프로파일 검사값은 비교하는 두 개의 이미지의 프로파일의 일치도가 높을수록 높은 값을 나타내는 것으로 한다. 프로파일 검사값은 영상 처리 분야에서 두 개의 영상을 비교하는 임의의 알고리즘을 채택하여 산출될 수 있다.
단계(S530)에서는 계산된 프로파일 검사값이 임계값 K3보다 큰지를 판단한다.
계산된 프로파일 검사값이 임계값 K3보다 큰 경우에는 처리액이 토출되고있는 것으로 검지하고 이에 대응하는 TRUE 값을 검사 시간에 대응시켜 출력한다(단계(S540)).
계산된 프로파일 검사값이 임계값 K3 이하인 경우에는 처리액이 토출되고있지 않는 것으로 검지하고 이에 대응하는 FALSE 값을 검사 시간에 대응시켜 출력한다(단계(S550)).
이미지 프로파일의 검사를 이용하는 경우에는, 처리액 토출 검사에 있어 외부의 빛이나 조명의 난반사 등에 의해 발생하는 외란의 영향을 보완할 수 있다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 토출 시간 계산 방법을 설명하기 위한 설명도이다. 이 토출 시간의 계산은, 전술한 도 4의 단계(S700)에서 행해지는 계산이다.
도 8은 휘도 검사 결과와 프로파일 검사 결과를, T(TRUE)와 F(FALSE)의 펄스 형태로 도시하고 있다. 토출 시간은 휘도 검사 결과와 프로파일 검사 결과를 AND 연산한 결과에 해당한다.
처리액 토출 시작 신호를 수신하고, 토출 지연 시간이 경과한 후부터 휘도 검사 및 프로파일 검사를 통해 처리액의 토출이 검지된다. 토출 지연 시간은 펌프 동작의 지연 또는 처리액의 관 내 이동에 의해 발생된다.
처리액이 토출되는 중이라도 처리액 중에 버블이 포함된 경우에는 처리액의 토출이 일시 중단되는 경우가 존재한다.
토출이 일시 중단된 경우, 제 1 휘도 검사 영역(10)에서는 수행된 휘도 검사의 결과에 따라 일시적으로 토출이 중단된 것을 검지할 수 있다. 또한, 프로파일 검사 영역(21, 22)에서 수행된 프로파일 검사에 의해서도 일시적으로 토출이 중단된 것을 검지할 수 있다.
전술한 바와 같이, 외부의 빛이나 기기 내의 난반사에 의해 휘도 검사 결과에 오차가 발생할 가능성이 있다. 또한, 낙하 곡선을 기초로 검사를 수행한 프로파일 검사 결과, 낙하 곡선의 이미지에서 발견하지 못하는 오차가 발생할 수 있다.
도 8에 도시된 실시예에서는 이렇게 발생할 수 있는 오차를 모두 고려하여, 휘도 검사 결과와 프로파일 검사 결과를 AND 연산하여 두 가지 검사 결과가 모두 정상으로 나타난 시간에 대해서만 토출 시간으로 취급한다.
시간당 토출량이 일정하다면, 전술한 실시예에서 계산된 토출 시간을 이용하여 전체 토출량을 계산할 수 있다.
또한, 처리액 토출 중 발생하는 토출 중단은 이상 상태로 간주되어 오퍼레이터에게 알람을 발생시킬 수 있다.
도 8에 도시된 실시예에서는 휘도 검사와 프로파일 검사를 AND 연산한 경우를 도시하고 있지만, 프로파일 검사 결과 또는 휘도 검사 결과를 다른 하나의 검사 결과의 보조 데이터로서 활용할 수 있다.
본 발명의 일 실시예는 컴퓨터에 의해 실행되는 프로그램 모듈과 같은 컴퓨터에 의해 실행 가능한 명령어를 포함하는 기록 매체의 형태로 구현될 수 있다. 컴퓨터 판독 가능 매체는 컴퓨터에 의해 액세스될 수 있는 임의의 가용 매체일 수 있고, 휘발성 및 비 휘발성 매체, 분리형 및 비 분리형 매체를 모두 포함한다. 또한, 컴퓨터 판독 가능 매체는 컴퓨터 저장 매체 및 통신 매체를 모두 포함할 수 있다. 컴퓨터 저장 매체는 컴퓨터 판독 가능 명령어, 정보 구조, 프로그램 모듈 또는 기타 정보와 같은 정보의 저장을 위한 임의의 방법 또는 기술로 구현된 휘발성 및 비 휘발성, 분리형 및 비 분리형 매체를 모두 포함한다. 통신 매체는 전형적으로 컴퓨터 판독 가능 명령어, 정보 구조, 프로그램 모듈, 또는 반송파와 같은 변조된 정보 신호의 기타 정보, 또는 기타 전송 메커니즘을 포함하며, 임의의 정보 전달 매체를 포함한다.
본 발명의 방법 및 장치는 특정 실시예와 관련하여 설명되었지만, 그것들의 원가 요소 또는 동작의 일부 또는 전부는 범용 하드웨어 아키텍쳐를 갖는 컴퓨터 시스템을 사용하여 구현될 수 있다.
이상, 본 발명에 적합한 실시예를 참조하여 설명했지만, 당해 기술 분야에서의 통상의 지식을 가진 당업자라면 하기의 청구 범위에 기술된 본 발명의 기술적 사상 및 카테고리 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변형시킬 수 있는 것은 자명하다.
산업상의 이용 가능성
본 발명은 처리액의 토출을 검사할 때에 유용하다.
10: 제 1 휘도 검사 영역
20, 21 : 프로파일 검사 영역
30 : 검사 영역
40 : 제 2 휘도 검사 영역
50 : 노즐
51 : 내부 통로
60 : 기판
100 : 처리액 토출 검사 장치
110 : 도포부
120 : 카메라
130 : 검사부
140 : 이미지 처리부
150 : 통신 인터페이스
160 : 내부 입출력 수단
200 : 외부 입출력 수단
131 : 검사 영역 설정부
132 : 이미지 획득부
133 : 휘도 검사부
134 : 이미지 프로파일 검사부
135 : 이미지 저장부
136 : 제어 신호 검사부
137 : 토출 시간 계산부
138 : 데이터 입력부
139 : 알람부

Claims (16)

  1. 처리액 토출을 검사하는 방법으로서,
    a) 처리액이 노즐로부터 기판에 토출되는 토출 위치에서의 영상의 이미지를 획득하는 단계와,
    b) 상기 노즐과 상기 기판 사이에 처리액의 낙하 경로의 일부를 포함하도록 설정된 휘도 검사 영역의 이미지의 휘도에 기초하여 상기 처리액의 토출 여부를 검사하는 단계와,
    c) 상기 노즐과 상기 기판 사이에 처리액의 낙하 경로의 일부를 포함하도록 설정된 프로파일 검사 영역의 이미지의 프로파일과 미리 저장된 이미지의 프로파일을 비교하여 상기 처리액의 토출 여부를 검사하는 단계와,
    d) 상기 단계 b) 및 상기 단계 c)의 검사 결과를 검사 시간에 대응시켜 메모리에 저장하는 단계와,
    e) 상기 단계 b) 및 상기 단계 c)의 검사 결과를 조합하여 상기 처리액의 토출 시간을 계산하는 단계
    를 포함하는 처리액 토출 검사 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 프로파일 검사 영역은, 낙하하는 처리액의 경계 부분을 포함하도록 설정되며,
    상기 미리 저장된 이미지의 프로파일은, 낙하하는 처리액의 경계 부분의 이미지로부터 생성되는 처리액 토출 검사 방법.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 단계 b)는, 상기 휘도 검사 영역에서 측정된 휘도가 미리 정해진 임계값 이하인 경우에 처리액이 토출되고 있는 것으로 판단하는 단계를 포함하는 처리액 토출 검사 방법.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 단계 c)는, 상기 프로파일 검사 영역에서 획득된 이미지의 프로파일과 상기 미리 저장된 이미지의 프로파일의 일치도가 미리 정해진 일치도보다 큰 경우에 처리액이 토출되고 있는 것으로 판단하는 단계를 포함하는 처리액 토출 검사 방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 단계 e)는, 상기 휘도 검사 영역에서의 검사 결과와 상기 프로파일 검사 영역에서의 검사 결과가 모두 처리액이 토출되고 있는 것으로 판단된 경우에 처리액 토출로 취급하여 상기 토출 시간을 계산하는 단계를 포함하는 처리액 토출 검사 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    f) 상기 처리액의 토출을 제어하는 처리액 토출 시작 신호를 수신하는 단계
    를 더 포함하고,
    상기 단계 e)는, 상기 처리액 토출 시작 신호의 수신으로부터 실제 처리액 토출까지의 토출 지연 시간을 계산하는 단계를 더 포함하는 처리액 토출 검사 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    g) 상기 계산된 처리액의 토출 시간에 기초하여 토출량의 이상 상태가 검지된 경우 알람을 발생시키는 단계
    를 더 포함하는 처리액 토출 검사 방법.
  8. 처리액 토출 검사 장치에 있어서,
    노즐로부터 토출되는 처리액의 낙하 경로를 포함하는 검사 영역을 촬상하는 촬상부와,
    상기 촬상부로부터 수신된 촬상 신호에 기초하여 상기 검사 영역에 포함되되 처리액의 낙하 경로의 일부를 포함하도록 설정된 휘도 검사 영역과 프로파일 검사 영역의 이미지를 생성하는 이미지 처리부와,
    상기 휘도 검사 영역의 이미지의 휘도 및 상기 프로파일 검사 영역의 이미지의 프로파일에 기초하여 처리액의 토출을 검사하는 검사부와,
    상기 검사부로부터의 검사 결과를 출력하고, 상기 검사 영역을 설정하는 입출력 수단
    을 포함하는 처리액 토출 검사 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 검사부는,
    상기 프로파일 검사 영역의 이미지와 비교될 이미지를 저장하고 있는 이미지 저장부를 포함하며,
    상기 저장된 이미지는 정상적으로 토출되고 있는 처리액의 경계 부분을 포함하는 이미지인 처리액 토출 검사 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 검사부는,
    상기 휘도 영역의 이미지의 휘도에 기초하여 처리액 토출을 검사하는 휘도 검사부와,
    상기 프로파일 검사 영역의 이미지와 상기 저장된 이미지의 프로파일에 기초하여 처리액 토출을 검사하는 이미지 프로파일 검사부와,
    상기 휘도 검사부 및 상기 이미지 프로파일 검사부의 검사 결과를 조합하여 처리액 토출 시간을 계산하는 토출 시간 계산부
    를 더 포함하는 처리액 토출 검사 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 토출 시간 계산부는, 상기 휘도 검사부 및 상기 이미지 프로파일 검사부의 검사 결과가 모두 처리액 토출로 검지된 경우에 처리액이 토출되고 있는 것으로 판단하는 처리액 토출 검사 장치.
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 검사부는,
    처리액 토출 시작 신호를 모니터링할 수 있는 제어 신호 검사부를 더 포함하고,
    상기 토출 시간 계산부는, 상기 토출 시작 신호의 수신으로부터 상기 처리액 토출까지의 토출 지연 시간을 계산하는 처리액 토출 검사 장치.
  13. 제 10 항에 있어서,
    상기 검사부는,
    상기 토출 시간 계산부로부터 계산된 토출 시간이 이상 상태에 해당하는 경우 알람을 발생시키는 알람부를 더 포함하는 처리액 토출 검사 장치.
  14. 제 10 항에 있어서,
    상기 입출력 수단은 상기 이미지 처리부에서 생성된 이미지를 출력하고, 상기 휘도 영역 및 상기 프로파일 검사 영역의 설정을 제공하는 처리액 토출 검사 장치.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 입출력 수단에 대해 데이터 송신 및 수신을 지원하는 통신 인터페이스를 더 포함하고,
    상기 입출력 수단은, 처리액 토출 검사 장치의 외부에 배치되어 네트워크를 통해 상기 통신 인터페이스와 연결되는 처리액 토출 검사 장치.
  16. 처리액 토출 검사 방법을 실행시키기 위한 프로그램이 기록된 컴퓨터로 판독 가능한 기록 매체로서,
    상기 처리액 토출 검사 방법은,
    a) 처리액이 노즐로부터 기판에 토출되는 토출 위치에서의 영상의 이미지를 획득하는 단계와,
    b) 상기 노즐과 상기 기판 사이에 처리액의 낙하 경로의 일부를 포함하도록 설정된 휘도 검사 영역의 이미지의 휘도에 기초하여 상기 처리액의 토출 여부를 검사하는 단계와,
    c) 상기 노즐과 상기 기판 사이에 처리액의 낙하 경로의 일부를 포함하도록 설정된 프로파일 검사 영역의 이미지의 프로파일과 미리 저장된 이미지의 프로파일을 비교하여 상기 처리액의 토출 여부를 검사하는 단계와,
    d) 상기 단계 b) 및 상기 단계 c)의 검사 결과를 검사 시간에 대응시켜 메모리에 저장하는 단계와,
    e) 상기 단계 b) 및 상기 단계 c)의 검사 결과를 조합하여 상기 처리액의 토출 시간을 계산하는 단계
    를 포함하는 기록 매체.
KR1020117013165A 2008-11-11 2008-11-11 처리액 토출 검사 방법, 처리액 토출 검사 장치 및 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체 KR101229529B1 (ko)

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