KR101229350B1 - 슬러리-액상환원법을 이용한 전자소재용 미세 구리 분말 제조 방법 - Google Patents

슬러리-액상환원법을 이용한 전자소재용 미세 구리 분말 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101229350B1
KR101229350B1 KR1020100116481A KR20100116481A KR101229350B1 KR 101229350 B1 KR101229350 B1 KR 101229350B1 KR 1020100116481 A KR1020100116481 A KR 1020100116481A KR 20100116481 A KR20100116481 A KR 20100116481A KR 101229350 B1 KR101229350 B1 KR 101229350B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
copper powder
fine copper
slurry
electronic materials
palladium
Prior art date
Application number
KR1020100116481A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20120055019A (ko
Inventor
안종관
김동진
조성욱
Original Assignee
한국지질자원연구원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국지질자원연구원 filed Critical 한국지질자원연구원
Priority to KR1020100116481A priority Critical patent/KR101229350B1/ko
Publication of KR20120055019A publication Critical patent/KR20120055019A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101229350B1 publication Critical patent/KR101229350B1/ko

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F9/00Making metallic powder or suspensions thereof
    • B22F9/16Making metallic powder or suspensions thereof using chemical processes
    • B22F9/18Making metallic powder or suspensions thereof using chemical processes with reduction of metal compounds
    • B22F9/24Making metallic powder or suspensions thereof using chemical processes with reduction of metal compounds starting from liquid metal compounds, e.g. solutions
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F1/00Metallic powder; Treatment of metallic powder, e.g. to facilitate working or to improve properties
    • B22F1/05Metallic powder characterised by the size or surface area of the particles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F1/00Metallic powder; Treatment of metallic powder, e.g. to facilitate working or to improve properties
    • B22F1/06Metallic powder characterised by the shape of the particles
    • B22F1/065Spherical particles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F2301/00Metallic composition of the powder or its coating
    • B22F2301/10Copper

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)

Abstract

슬러리-액상환원법을 이용한 전자소재용 미세 구리 분말 제조 방법에 대하여 개시한다.
본 발명에 따른 전자소재용 미세 구리 분말 제조 방법은 (a) 구리 분말 생성 시드(seed)로서 팔라듐 입자를 함유하는 팔라듐 현탁액(seed suspension)을 마련하는 단계; (b) 상기 팔라듐 현탁액에 Cu2O를 첨가하여 Cu2O 슬러리를 형성하는 단계; 및 (c) 상기 Cu2O 슬러리의 Cu2O를 환원시켜, 상기 팔라듐 입자 상에 구리 분말을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

슬러리-액상환원법을 이용한 전자소재용 미세 구리 분말 제조 방법 {METHOD OF MANUFACTURING FINE CUPPER POWDERS FOR ELECTRONIC MATERIALS USING SLURRY AND WET CHEMICAL REDUCTION}
본 발명은 전자소재용 미세 구리 분말 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 슬러리-액상환원법을 이용한 전자소재용 미세 구리 분말 제조 방법에 관한 것이다.
전자산업의 비약적인 발전에 따라 전자회로 소자는 미소화, 고기능화, 다양화 및 정밀화되고 있다. 첨단 전자제품에는 우수한 물성과 기능성을 가진 재료들이 요구되고 있다. 특히 전자제품의 소형화, 다기능화 등에 맞추어 구리 분말의 사용량이 급증하고 있으며, 미크론(㎛) 단위의 구리 분말이 전도성 잉크, 페이스트, 및 반도체 소자의 접점재료 등으로 널리 이용되고 있다
구리 분말은 우수한 전기적 특성 및 가격적인 메리트에 따라서 도전성 페이스트에 주로 사용된다. 구리 분말을 적용한 도전성 페이스트는 주로 구리 분말, 유기바인더 및 유리프릿을 포함하는데, 이 중 구리 분말의 함유량은 80~90 중량% 정도이며, 구리 분말의 입도와 형상이 도전성 페이스트의 전기적 특성을 결정하는 주요 인자가 된다.
일반적으로 도전성 페이스트용 구리 분말은 순도가 높은 금속을 얻을 수 있는 수용액 또는 유기용액에서 환원하여 합성하는 액상환원법으로 제조되고 있다.
그러나, 기존의 액상 환원법을 이용한 미세 구리 분말의 제조는 공정 비용 소요가 크며, 또한 공정 조건이 까다로웠다. 또한, 기존의 액상 환원법을 이용하여 제조되는 구리 분말은 그 표면에 산화막이 형성되어 전기적 특성이 저하되는 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은 고밀도 전자회로 소자의 미소화, 고기능화, 다양화 그리고 정밀화가 가능하도록, 화학적으로 안정하고 전도성이 뛰어난 미세 구리 분말 제조 방법을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명은 경제성이 있고 환경 친화적인 방법으로 미세 구리 분말을 제조하는 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 전자소재용 미세 구리 분말 제조 방법은 (a) 구리 분말 생성 시드(seed)로서 팔라듐 입자를 함유하는 팔라듐 현탁액(seed suspension)을 마련하는 단계; (b) 상기 팔라듐 현탁액에 Cu2O를 첨가하여 Cu2O 슬러리를 형성하는 단계; 및 (c) 상기 Cu2O 슬러리의 Cu2O를 환원시켜, 상기 팔라듐 입자 상에 구리 분말을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 슬러리-액상환원법을 이용한 전자소재용 미세 구리 분말 제조 방법은 구리 분말 생성 시드로서 팔라듐 입자를 생성한 후, Cu2O 슬러리에서 Cu2O의 환원을 통하여 팔라듐 입자 상에 구리 입자를 성장시킴으로써 평균입도가 0.1 ~ 1.0㎛인 미세 구리 분말을 쉽게 제조할 수 있다.
따라서, 본 발명은 기존의 방법에 비하여 간단한 공정으로도 형상 및 입도 제어가 용이하며, 안정화된 고순도의 미세 구리 분말을 제조할 수 있어서, 전자소재용으로 활용할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 슬러리-액상환원법을 이용한 전자소재용 미세 구리 분말 제조 방법을 개략적으로 나타내는 순서도이다.
도 2는 반응 시간에 따른 반응 생성물의 X선 회절 패턴을 나타낸 것이다.
도 3내지 도 6은 반응 시간에 따른 반응 생성물의 사이즈 변화를 나타낸 것이다.
도 7 내지 도 11은 반응 온도를 40 ~ 80℃로 변화시켜 생성된 구리 분말의 SEM 결과를 나타낸 것이다.
도 12는 반응 온도에 따른 입자 크기와 반응에 소요된 시간을 나타낸 것이다.
도 13은 반응 온도에 따른 입도분포의 변화를 나타낸 것이다.
도 14는 반응 온도에 따라 실제 반응에 참여한 Pd 농도를 측정하여, 반응에 활성화된 Pd의 농도를 나타낸 것이다.
도 15 내지 도 21은 Cu2O 농도에 따른 제조된 구리 분말의 SEM 결과를 나타낸 것이다.
도 22는 Cu2O 농도에 따른 반응 시간을 나타낸 것이다.
도 23은 Cu2O의 농도에 따라 반응에 참여한 Pd 농도를 측정하여 반응에 활성화된 Pd의 함량을 나타낸 것이다.
도 24는 Cu2O 변화에 따른 구리 분말의 평균 입도 분포를 나타낸 것이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 상세하게 후술되어 있는 실시예들 및 도면을 참조하면 명확해질 것이다.
그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
이하에서는, 본 발명에 따른 슬러리-액상환원법을 이용한 전자소재용 미세 구리 분말 제조 방법에 대하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 슬러리-액상환원법을 이용한 전자소재용 미세 구리 분말 제조 방법을 개략적으로 나타내는 순서도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 미세 구리 분말 제조 방법은 팔라듐 현탁액 마련 단계(S110), Cu2O 슬러리 형성 단계(S120) 및 액상환원에 의한 구리 분말 형성 단계(S130)를 포함한다.
팔라듐 현탁액 마련
팔라듐 현탁액 마련 단계(S110)에서는 구리 분말 생성 시드(seed)로서 팔라듐 입자를 함유하는 팔라듐 현탁액(seed suspension)을 마련한다.
팔라듐 입자는 구리 분말 형성 및 성장에, 핵으로 작용한다. 구리 분말 형성시의 시드로 은(Ag)를 이용할 수도 있으나, 은의 경우 구리보다 귀한 금속으로 구리를 치환하는 현상이 생긴다. 이는 구리를 분말형태로 성장시키기 보다는 구리 미세 유리입자가 생성되어 치밀한 표면을 갖는 균일한 입자를 제조할 수 없는 문제점이 있다.
그러나, 팔라듐(Pd)의 경우는 표면 활성이 은 보다 우수하여 이러한 촉매 반응에 따라 팔듐 표면에 구리입자가 생성되어 보다 큰 입자로 쉽게 성장하여 입자 및 치밀한 표면을 갖는 입자 생성이 가능하므로, 은의 문제점을 해결할 수 있는 장점이 있다.
이때, 팔라듐 입자는 PdCl2를 증류수에 용해시켜 이온화한 후, 환원제로서N2H4를 첨가하여 하기 반응식 1 및 하기식 2에 따른 화학반응을 통하여 얻어질 수 있다.
반응식 1 : N2H4 + 4OH- → N2 + 4H2O + 4e-
반응식 2 : Pd+2 + 2e- → Pd
팔라듐 이온의 농도가 높을수록, 그 만큼 구리 분말이 생성될 수 있는 핵이 많이 존재하게 되는 것이므로, Cu2O의 환원 반응에 의한 구리 분말 생성 시간이 단축될 수 있으며, 생성되는 구리 분말의 입도 분포를 좁힐 수 있고 또한 분말의 사이즈도 감소시킬 수 있다. 다만, 팔라듐 이온의 농도가 1 x 10-4 M를 초과하는 경우, Cu2O의 환원 반응에서 팔라듐 시드에 석출되는 구리의 양이 지나치게 적어 비경제적인 문제점이 있다.
따라서, 증류수에 용해되어 있는 팔라듐 이온(Pd2+)의 농도는 1 x 10-6 M ~ 1 x 10-4 M인 것이 바람직하다.
한편, 팔라듐 현탁액에는 안정화제가 더 첨가될 수 있다. 안정화제는 Polyvinyl pyrrolidone(PVP)가 이용될 수 있다.
이러한 안정화제의 농도는 5 g/L ~ 15 g/L인 것이 바람직하다. . 안정화제가 5 g/L 미만의 농도를 가질 경우 팔라듐의 안정화 효과를 충분히 얻기 힘들며, 안정화제의 농도가 15 g/L를 초과하는 경우 분산효과의 과잉으로 현상이 불규칙한 입자가 생성되어 입자 제어가 어렵다는 문제점이 발생할 수 있다.
Cu 2 O 슬러리 형성
Cu2O 슬러리 형성 단계(S120)에서는 팔라듐 현탁액에 Cu2O를 첨가하여 Cu2O 슬러리를 형성한다.
팔라듐 입자 혹은 구리 분말의 분산성을 향상시키기 위하여, Cu2O 슬러리에는 분산제가 더 첨가될 수 있다. 이러한 분산제는 sodium pyrophosphate (Na4O7P2)를 이용할 수 있으며, Cu2O 슬러리에는 Na4O7P2 ·10H2O의 형태로 공급될 수 있다.
상기 분산제는 80 mg/L ~ 120 mg/L의 농도로 첨가되는 것이 바람직하다. 분산제의 농도가 80 mg/L 미만일 경우 팔라듐 시드 혹은 구리 분말의 분산 효과가 충분치 못하며, 분산제의 농도가 120 mg/L를 초과하는 경우 더 이상의 효과 증대없이 순도 저하를 초래할 수 있다.
한편, 상기 Cu2O 슬러리에서 Cu2O의 농도는 1.25 ~ 40 g/L 인 것이 바람직하다. Cu2O의 농도가 1.25 g/L 미만일 경우 활성화된 팔라듐 시드에 석출되는 Cu 분말의 양이 적어 비경제적인 문제점이 있고, 반대로, Cu2O의 농도가 40 g/L를 초과하는 경우 입도 분포가 과다하게 넓어지며, 제조되는 구리 분말의 평균 입도 역시 과다하게 증가하는 문제점이 있다.
액상환원에 의한 구리 분말 형성
액상환원에 의한 구리 분말 형성 단계(S130)에서는 Cu2O 슬러리의 Cu2O를 환원시켜, 상기 팔라듐 입자 상에 구리 분말을 형성한다.
이때, 환원제로 N2H4를 이용할 수 있다. 본 단계(S130)에서 N2H4는 하이드라진 모노하이드레이트(Hydrazine monohydrate, N2HH2O) 형태로 공급될 수 있으며, 이는 팔라듐 현탁액 마련 단계(S110)에서도 마찬가지로 적용될 수 있다.
환원제인 N2H4는 하이드라진 모노하이드레이트 형태로 반응용기에 한 방울씩 반연속적으로 공급되는 것이 바람직하다. 실험 결과, 하이드라진 모노하이드레이트를 한번에 공급하는 배치식(batch) 방법보다 반응 중 한 방울씩 반연속적으로 공급하는 경우, 단분산된 구리 분말을 확보할 수 있었으며, 입자 사이즈도 조절하기 용이하였다.
한편, 하이드라진 모노하이드레이트의 주입 속도, 즉 N2H4의 주입 속도가 0.3 mL/min 미만일 경우 제조되는 구리 분말의 사이즈가 커지고, 분산성이 저하되는 문제점이 있다. N2H4의 주입 속도가 증가함에 따라 제조되는 구리 분말의 사이즈가 감소하며, 분산화도 향상되나, N2H4의 주입속도가 10 mL/min에서 그 효과가 포하되므로, N2H4의 주입 속도는 0.3 ~ 10 mL/min 인 것이 바람직하다.
구리 분말은 하기 반응식 3 ~ 5에 따른 화학반응을 통하여 얻어질 수 있다.
반응식 3 : N2H4 + 4H2O + 2e- → 2NH4OH + 2OH-
반응식 4 : Cu2O + 4NH4OH → 2[Cu(NH3)2]+ + 4H2O + 1/2O2
반응식 5 : [Cu(NH3)2]+ + e- + 2H2O → Cu + 2NH4OH
반응식 4는 Cu2O에서 구리가 용해되어 구리 암모늄 착물을 형성하는 과정에 해당하고, 반응식 5는 구리 암모늄 착물이 전자에 의해 환원되어 팔라듐 시드 위에 성장하는 과정에 해당한다.
본 발명에서 구리 분말 제조를 위한 Cu2O의 환원 반응은 50℃ ~ 80℃의 온도에서 실시되는 것이 바람직하다. 반응온도가 50℃ 미만일 경우 반응이 발생하지 않는 문제점이 있고, 반대로 반응 온도가 80℃를 초과하는 경우 분말의 입도가 증가되어 일정한 입도를 갖는 분말을 생성하기 어렵다는 문제점이 있다.
또한, 본 발명에서 구리 분말 제조를 위한 Cu2O의 환원 반응은 도 12 등을 참조할 때, 최소 5분 이상 실시되는 것이 바람직하고, 다른 조건들을 고려할 때 대략 5 ~ 50분 정도 실시되는 것이 더욱 바람직하다. 반응시간이 5분 미만일 경우, Cu2O의 액상 환원반응이 불충분하여, Cu2O에서 Cu로 변화되는 양도 불충분할 수 있다.
상기 도 1에 따른 슬러리-액상환원법으로 제조된 구리 분말은 구형을 가질 수 있으며, 0.1 ~ 1.0 ㎛의 평균 입도를 가짐으로써 전자소재용 미세 구리 분말로 활용할 수 있다.
실시예
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 통해 본 발명에 따른 슬러리-액상환원법을 이용한 전자소재용 미세 구리 분말 제조 방법에 대하여 살펴보기로 한다. 다만, 이는 본 발명의 바람직한 예시로 제시된 것이며 어떠한 의미로도 이에 의해 본 발명이 제한되는 것으로 해석될 수는 없다.
여기에 기재되지 않은 내용은 이 기술 분야에서 숙련된 자이면 충분히 기술적으로 유추할 수 있는 것이므로 그 설명을 생략하기로 한다.
실시예에서 사용된 물질은 다음과 같다.
구리 공급원 : Copper (I) oxide(Cu2O, 순도95%, Junsei chemical Co., Japan
팔라듐(Pd) : PdCl2(순도 99.99 %, Kojima chemical reagents Inc., Japan.)를 증류수에 용해시켜 사용.
환원제 : N2H4.H2O, 순도 80 %, DC chemical Co., Korea)
안정화제 : PVP k-30 (C6H6NO)n 12~13 %, Junsei Chemical Co., Japan
분산제 : Na4O7P10H2O 99 %, Junsei Chemical Co., Japan
모든 시약들은 탈이온수에 용해하여 실험에 이용하였으며 Cu 분말 합성 후 탈이온수 및 에탄올을 사용하여 3회 세척하여 물리화학적 분석을 행하여 특성을 조사하였다.
Cu 2 O 및 Cu(OH) 2 의 증류수 용해도 및 표면적
하기 표 1에 Cu2O 및 Cu(OH)2의 증류수 용해도 및 표면적을 나타내었다.
[표 1]
Figure 112010076253277-pat00001
표 1을 참조하면, Cu2O 및 Cu(OH)2의 증류수 용해도는 CuSO4에 비하여 매우 낮은 것을 알 수 있다. 이를 통하여, 구리산화물 슬러리를 이용하여 구리분말을 제조시에는 용해되는 구리이온의 용해도가 작기 때문에 반응 중에 구리분말의 응집을 방지하고 단분산을 증가시킬 수 있다는 것을 유추할 수 있다.
다만, 표 1을 참조하면, Cu(OH)2의 비표면적이 Cu2O에 비하여 10배 이상 크다는 것을 알 수 있다. Cu(OH)2의 경우 금속 분말 제조시에 비표면적이 넓어 용해되는 이온의 양이 증가한다. 따라서, 구리 이온의 용해도를 낮추기 위해서는 Cu2O를 이용하는 것이 더 바람직하다.
반응 시간의 영향
도 2는 반응 시간에 따른 반응 생성물의 X선 회절 패턴을 나타낸 것이고, 도 3내지 도 6은 반응 시간에 따른 반응 생성물의 사이즈 변화를 나타낸 것이다.
실험 조건은 Pd+2 57.5x10-6 M, PVP 10 g/L, Cu2O 10g/L, 반응온도 60℃, N2H4 0.6 ml/min, Na4O7P2 99 mg/L이었으며, 반응시간 0분 경과, 5분 경과, 10분 경과 및 20분 경과후 반응 생성물의 XRD 결과 및 SEM 사진을 나타내었다.
도 2를 참조하면, 반응시간 10분까지는 Cu2O의 피크가 보이나 20분 이후에는 Cu의 결정상만 존재하는 것을 알 수 있다. XRD 결과에서 반응시간 전체에 Cu2O 및 Cu 피크만 보이는 것으로 보아 본 반응에서 Cu2O가 Cu로 직접 변환되는 것으로 보인다. Cu2O의 낮은 용해도에도 불구하고 Cu 분말 생성 반응은 용해, 환원, 핵생성 및 핵성장의 일반적인 결정성장의 단계로 변환되는 것을 볼 수 있다.
또한, 도 3 내지 도 6을 참조하면, 반응시간 경과에 따라 Cu2O가 Cu로 변화되면서, 반응 생성물의 입자 사이즈가 감소하며, 20 분 이후에는 0.1~0.2 ㎛ 정도로 균일한 입도의 Cu 분말이 생성되는 것을 볼 수 있다.
다만, 반응 시간에 따른 조건은 Cu2O 농도, 반응 온도 등 다른 공정 변수에 따라 변화될 수 있다.
반응 온도의 영향
Cu2O 슬러리로부터 Cu 분말을 제조하기 위한 반응온도의 영향을 조사하였다. 실험을 위하여, Pd2+ 농도 11.5x10-6 M, PVP 농도 10 g/L, Cu2O 농도 10 g/L, N2H4 0.6 mL/min 및 Na4O7P2 99 mg/L의 실험 조건을 이용하고, 반응 온도를 40 ~ 80℃로 변화시켰다.
도 7 내지 도 11은 반응 온도를 40 ~ 80℃로 변화시켜 생성된 구리 분말의 SEM 결과를 나타낸 것이다.
도 7 내지 도 11을 참조하면, 반응온도가 증가함에 따라 입자의 형상은 구형화되고, 분산도 역시 증가하며 입자크기도 감소함을 확인할 수 있다.
도 12는 반응 온도에 따른 입자 크기와 반응에 소요된 시간을 나타낸 것이다.
도 12를 참조하면, 반응온도가 40℃에서 80℃로 증가함에 따라 반응 생성물의 평균 입도가 425nm에서 150nm정도로 감소하는 것으로 보인다. 전체적인 반응온도 조건에서 입자크기는 직선적으로 감소하며 50 ℃ 이상에서는 감소율이 둔화되는 것을 알 수 있다.
또한, 도 12를 참조하면, 반응 종료까지 소요되는 시간 역시 온도 증가에 따라 직선적으로 감소되고 있음을 볼 수 있다. 이는 온도증가에 따라 Cu2O로부터 용해되는 Cu의 양이 증가하고 용해된 Cu가 팔라듐 seed에 급격히 석출하기 때문인 것으로 보인다.
도 13은 반응 온도에 따른 입도분포의 변화를 나타낸 것이다.
도 13을 참조하면, 온도가 증가함에 따라 입도 분포는 bi-modal에서 mono-modal로 변화하는 것을 알 수 있다. 이는 반응 온도가 증가할 수록 시드로 작용하는Pd의 활성화 정도가 증가하고 이에 따라, 입도 분포가 mono-modal로 좁아지는 것으로 볼 수 있다.
도 14는 반응 온도에 따라 실제 반응에 참여한 Pd 농도를 측정하여, 반응에 활성화된 Pd의 농도를 나타낸 것이다.
도 14를 참조하면, 활성화된 Pd의 농도는 반응 온도가 40℃, 50℃, 60℃, 70℃ 및 80℃로 상승함에 따라 22%, 51%, 55%, 66% 및 73%로 증가되는 것을 알 수 있다. 즉, 반응에 참여하는 Pd의 양이 증가하므로 입자 크기가 감소하고 입도분포가 mono-modal로 변화하게 된다고 볼 수 있다.
Cu 2 O 농도의 영향
도 15 내지 도 21은 Cu2O 농도에 따른 제조된 구리 분말의 SEM 결과를 나타낸 것이고, 도 22는 Cu2O 농도에 따른 반응 시간을 나타낸 것이다.
실험은 Pd2+ 농도 11.5x10-6 M, 온도 60℃, PVP 농도 10 g/L, N2H4 0.6 mL/min 및 Na4O7P2 99 mg/L의 실험 조건에서 Cu2O 농도를 2.5 ~ 40 g/L로 변화시키면서 제조된 구리 분말의 SEM 결과 및 입자크기와 반응소요시간을 측정하였다.
도 15 내지 도 21을 참조하면, 전체적인 반응조건에서 생성된 구리분말의 형상은 구형이며 비교적 분산화가 이루어 진 것을 확인할 수 있다. 다만, Cu2O의 농도가 1.25 g/L에서 2.5 g/L로 증가함에 따라 입자의 평균입도가 183 nm에서 178 nm로 감소하지만 2.5 g/L에서 40 g/L까지 증가함에 따라 입자크기는 354 nm로 증가한다. 이는 구리의 전구체인 구리 암모늄 착물의 농도가 증가하기 때문으로 보인다.
도 22를 참조하면, Cu2O농도 변화에 따라 입자크기는 초기에 약간 감소 후 계속적으로 증가하나 반응 소요시간은 초기 약간 증가 후 증가율이 둔화되고 있다. 이는 Cu2O의 농도가 증가함에 따라 반응에 참여하는 Cu의 용해도가 증가하여 활성화된 Pd에 그 석출량이 증가하기 때문이다.
도 23은 Cu2O의 농도에 따라 반응에 참여한 Pd 농도를 측정하여 반응에 활성화된 Pd의 함량을 나타낸 것이다.
도 23을 참조하면, 활성화된 Pd의 함량은 Cu2O의 농도 1.25 g/L의 경우 14 % Pd 함량이 나타나고 있으며 Cu2O 농도가 2.5, 5, 10, 20, 30 및 40 g/L으로 변화할 때 활성화된 Pd 함량은 28, 47, 55, 72, 81 및 86 %로 변화되는 것을 알 수 있다.
즉, Cu2O 농도가 10 g/L 까지는 활성화된 Pd의 함량이 급격히 증가하나 그 이후에는 증가울이 둔화됨을 알 수 있다. 이는 용해되는 Cu의 농도가 증가함으로 초기 Cu2O 농도에서는 활성화된 Pd에 석출이 되어 평균 입도가 감소하나 Cu2O 농도가 증가함에 따라 활성화된 Pd가 부족하여 입도분포가 불균일하게 되는 것으로 보인다.
도 24는 Cu2O 변화에 따른 구리 분말의 평균 입도 분포를 나타낸 것이다.
도 24를 참조하면, Cu2O의 농도가 증가함에 따라 입도분포가 좁아지며 40 g/L에서는 입도분포가 넓어지고 있다. 이는 Cu의 용해도가 증가함에 따라 입자의 성장과 입도의 불균일성이 나타나기 때문이다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
S110 : 팔라듐 현탁액 마련 단계
S120 : Cu2O 슬러리 형성 단계
S130 : 액상 환원에 의한 Cu 분말 형성 단계

Claims (15)

  1. (a) 구리 분말 생성 시드(seed)로서 팔라듐 입자를 함유하는 팔라듐 현탁액(seed suspension)을 마련하는 단계;
    (b) 상기 팔라듐 현탁액에 Cu2O를 첨가하여 Cu2O 슬러리를 형성하는 단계; 및
    (c) 상기 Cu2O 슬러리의 Cu2O를 환원시켜, 상기 팔라듐 입자 상에 구리 분말을 형성하는 단계;를 포함하고,
    상기 (a) 단계는
    PdCl2를 증류수에 용해시켜 이온화한 후, N2H4를 첨가하여 하기 반응식 1 및 하기식 2에 따른 화학반응을 통하여 상기 팔라듐 현탁액을 마련하는 것을 특징으로 하는 전자소재용 미세 구리 분말 제조 방법.
    반응식 1 : N2H4 + 4OH- → N2 + 4H2O + 4e-
    반응식 2 : Pd+2 + 2e- → Pd
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 (c) 단계는
    환원제로 N2H4 를 이용하는 것을 특징으로 하는 전자소재용 미세 구리 분말 제조 방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 (c) 단계는
    상기 N2H4를 0.3 ~ 10 mL/min의 속도로 공급하는 것을 특징으로 하는 전자소재용 미세 구리 분말 제조 방법.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 구리 분말은
    하기 반응식 3 ~ 5에 따른 반응을 통하여 얻어지는 것을 특징으로 하는 전자소재용 미세 구리 분말 제조 방법.
    반응식 3 : N2H4 + 4H2O + 2e- → 2NH4OH + 2OH-
    반응식 4 : Cu2O + 4NH4OH → 2[Cu(NH3)2]+ + 4H2O + 1/2O2
    반응식 5 : [Cu(NH3)2]+ + e- + 2H2O → Cu + 2NH4OH
  6. 제1항에 있어서,
    상기 증류수에 용해되는 팔라듐 이온(Pd2+)의 농도는
    1 x 10-6 M ~ 1 x 10-4 M인 것을 특징으로 하는 전자소재용 미세 구리 분말 제조 방법.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 팔라듐 현탁액에는
    안정화제가 더 첨가되는 것을 특징으로 하는 전자소재용 미세 구리 분말 제조 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 안정화제는
    Polyvinyl pyrrolidone(PVP)인 것을 특징으로 하는 전자소재용 미세 구리 분말 제조 방법.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 안정화제는
    5 ~ 15 g/L의 농도로 첨가되는 것을 특징으로 하는 전자소재용 미세 구리 분말 제조 방법.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 Cu2O 슬러리에는
    분산제가 더 첨가되는 것을 특징으로 하는 전자소재용 미세 구리 분말 제조 방법.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 분산제는
    sodium pyrophosphate인 것을 특징으로 하는 전자소재용 미세 구리 분말 제조 방법.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 분산제는
    80 ~ 120 mg/L의 농도로 첨가되는 것을 특징으로 하는 전자소재용 미세 구리 분말 제조 방법.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 (c) 단계는
    50℃ ~ 80℃의 온도에서 실시되는 것을 특징으로 하는 전자소재용 미세 구리 분말 제조 방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 (c) 단계는
    5분 이상 실시되는 것을 특징으로 하는 전자소재용 미세 구리 분말 제조 방법.
  15. 제1항, 제3항 내지 제14항 중 어느 하나의 항에 기재된 슬러리-액상환원법으로 제조되며,
    구형을 가지며, 0.1 ~ 1.0 ㎛의 평균 입도를 갖는 것을 특징으로 하는 전자소재용 미세 구리 분말.
KR1020100116481A 2010-11-22 2010-11-22 슬러리-액상환원법을 이용한 전자소재용 미세 구리 분말 제조 방법 KR101229350B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100116481A KR101229350B1 (ko) 2010-11-22 2010-11-22 슬러리-액상환원법을 이용한 전자소재용 미세 구리 분말 제조 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100116481A KR101229350B1 (ko) 2010-11-22 2010-11-22 슬러리-액상환원법을 이용한 전자소재용 미세 구리 분말 제조 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20120055019A KR20120055019A (ko) 2012-05-31
KR101229350B1 true KR101229350B1 (ko) 2013-02-05

Family

ID=46270660

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020100116481A KR101229350B1 (ko) 2010-11-22 2010-11-22 슬러리-액상환원법을 이용한 전자소재용 미세 구리 분말 제조 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101229350B1 (ko)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005307335A (ja) 2004-03-25 2005-11-04 Sumitomo Metal Mining Co Ltd 銅微粒子とその製造方法及び銅微粒子分散液
JP2008019461A (ja) 2006-07-11 2008-01-31 Fujifilm Corp 金属ナノ粒子の製造方法、金属ナノ粒子及び金属ナノ粒子分散物
KR20100034999A (ko) * 2008-09-25 2010-04-02 삼성전기주식회사 금속 씨앗을 이용한 금속 나노 입자의 제조 방법 및 금속씨앗을 함유하는 금속 나노 입자

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005307335A (ja) 2004-03-25 2005-11-04 Sumitomo Metal Mining Co Ltd 銅微粒子とその製造方法及び銅微粒子分散液
JP2008019461A (ja) 2006-07-11 2008-01-31 Fujifilm Corp 金属ナノ粒子の製造方法、金属ナノ粒子及び金属ナノ粒子分散物
KR20100034999A (ko) * 2008-09-25 2010-04-02 삼성전기주식회사 금속 씨앗을 이용한 금속 나노 입자의 제조 방법 및 금속씨앗을 함유하는 금속 나노 입자

Also Published As

Publication number Publication date
KR20120055019A (ko) 2012-05-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101554664B (zh) 一种纳米级银粉的制备方法
JP4687599B2 (ja) 銅微粉とその製造方法及び導電性ペースト
JP5065607B2 (ja) 微粒銀粒子製造方法及びその製造方法で得られた微粒銀粒子
JP2012092432A (ja) 導電性ペースト用銅粉およびその製造方法
JP2013144829A (ja) 樹枝状金属粉、樹枝状金属粉を含む導電ペースト、電磁波シールド材、放熱材、および樹枝状金属粉の製造方法
KR101537149B1 (ko) 금속 나노입자의 제조방법
KR101239386B1 (ko) 수열합성법을 이용한 니켈 분말 직접 제조 방법
JP2007191786A (ja) ニッケル粉およびニッケル粉の製造方法
JP2004162164A (ja) 導電ペースト用銅粉およびその製造方法
JP4149364B2 (ja) デンドライト状微粒銀粉及びその製造方法
JP5376109B2 (ja) 銀微粒子の製造方法
JP5163843B2 (ja) 銀微粒子の製造方法
KR101239391B1 (ko) 입도 제어가 용이한 전자소재용 미세 구리 분말 제조 방법
KR101229350B1 (ko) 슬러리-액상환원법을 이용한 전자소재용 미세 구리 분말 제조 방법
CN101380679A (zh) 一种由前驱体配合物制备单分散超细球形镍粉的方法
KR101271596B1 (ko) 형상 및 입도 제어가 용이한 금속 파우더 제조 방법
JP2008069457A (ja) ドロップ状銅粉、ドロップ状銅粉の製造方法および導電性ペースト
JPH05221637A (ja) 酸化第一銅粉末および銅粉末の製造方法
JP2008121051A (ja) 銀粉の製造方法
KR101167681B1 (ko) 슬러리-액상환원법을 이용한 구리 분말 제조 장치 및 이를 이용한 전자소재용 구리 분말 제조 방법
JP2008255377A (ja) 銀微粒子の製造方法
TW201338893A (zh) 銀粉
KR101239388B1 (ko) CuO 슬러리를 이용한 미세 구리 분말 제조 방법
KR101276595B1 (ko) 액상환원법을 이용한 미세 구리분말 제조 장치 및 이를 이용한 구리 분말 제조 방법
JP2013181177A (ja) コバルトめっき銅微粉及びコバルトめっき銅微粉を用いて製造した導電ペースト並びにコバルトめっき銅微粉の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151230

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161227

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171219

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181226

Year of fee payment: 18