KR101212876B1

KR101212876B1 - 회전―직선 운동 변환 기구 및 액추에이터

Info

Publication number: KR101212876B1
Application number: KR1020100082939A
Authority: KR
Inventors: 고이치 세키네
Original assignee: 아즈빌주식회사
Priority date: 2009-09-02
Filing date: 2010-08-26
Publication date: 2012-12-14
Also published as: JP5286202B2; CN102003509A; CN102003509B; KR20110025091A; JP2011052760A

Abstract

본 발명은 소형화와 큰 동작량이라는 상반되는 2개의 기술적 과제를 동시에 달성할 수 있는 회전-직선 운동 변환 기구 및 액추에이터를 제공하는 것을 목적으로 한다.
회전-직선 운동 변환 기구(3)는, 유성 기어 기구(5)와, 제1, 제2 나사 막대(8, 32)와, 이송 부재(7)와, 주축(9) 및 슬리브(33)를 구비하고 있다. 유성 기어 기구(5)는, 모터(4)에 의해 태양 기어(20)를 구동하고, 유성 기어(24)를 회전시키며 공전시킨다. 제1 나사 막대(8)는, 이송 부재(7)에 일체로 설치되고, 주축(9)을 직선 운동시킨다. 제2 나사 막대(32)는, 유성 기어축(23)에 일체로 설치되어 있다. 이송 부재(7)는, 유성 기어(24)의 공전에 수반하여 회전하고 제2 나사 막대(32)를 따라 직선 운동한다. 슬리브(33)는, 커버(2B)에 회전이 방지되어 미끄럼 이동할 수 있게 지지되고, 이송 부재(7)와 일체로 진퇴한다.

Description

회전―직선 운동 변환 기구 및 액추에이터{ROTATIONAL-LINEAR MOTION CONVERTING MECHANISM AND ACTUATOR}

본 발명은, 회전을 직선 운동으로 변환하는 회전-직선 운동 변환 기구 및 이것을 이용한 액추에이터에 관한 것이다.

통상, 회전 운동을 직선 운동으로 변환하는 일반적인 회전-직선 운동 변환 기구로서는, 나사가 이용되지만, 예컨대 특허문헌 1에 개시되어 있는 바와 같이 이것에 감속 기어 기구로서 유성 기어 기구를 조합한 것도 알려져 있다. 유성 기어 기구는, 구동축(입력축), 종동축(출력축), 고정축, 고정축이 공통이 되는 기본축을 구비하고, 플래니터리형의 경우, 태양 기어(입력축)와, 내부 기어(고정축)와, 유성 기어와, 유성 기어의 공전 운동을 취해 토크, 회전을 전달하는 캐리어(출력축)에 의해 구성되어 있다.

상기 특허문헌 1에 개시되어 있는 유성식 차동 나사형 회전-직선 운동 변환 기구는, 내연 기관의 흡기 밸브의 밸브 리프트량을 조정하는 액추에이터에 삽입되고, 컨트롤 샤프트를 이동시키도록 한 것으로, 선 샤프트와, 너트와, 플래니터리 샤프트와, 리테이너와, 너트를 회전시키는 구동 모터를 구비하며, 너트의 회전을 선 샤프트의 직선 운동으로 변환하고, 이것에 의해 컨트롤 샤프트를 축 방향으로 이동시키는 구조를 채용하고 있다.

[특허문헌]

특허문헌 1: 일본 특허 공개 제2007-187228호 공보

그러나, 상기한 종래의 유성식 차동 나사형 회전-직선 운동 변환 기구는, 선 샤프트의 동작량으로 컨트롤 샤프트의 스트로크를 확보하고 있기 때문에, 컨트롤 샤프트의 최대 스트로크가 길면 선 샤프트의 전체 길이도 길어져 동작량이 커지기 때문에, 동작 방향으로 대형화된다는 문제가 있었다. 또한 선 샤프트의 직선 운동을 빠르게 하는 경우는, 너트의 회전 속도를 올림으로써 대응할 수 있지만, 회전 속도를 너무 올리면, 너트나 플래니터리 샤프트나 선 샤프트의 나사부가 마모되거나 이지러짐이 생기기 쉬워져 내구성이 저하된다는 문제도 있었다.

본 발명은 상기한 종래의 문제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 것은, 소형화와 큰 동작량이라는 상반되는 2개의 기술적 과제를 동시에 달성할 수 있고, 또한 고속 회전하는 경우라도 기어나 나사의 마모나 이지러짐을 저감할 수 있는 회전-직선 운동 변환 기구 및 액추에이터를 제공하는 것에 있다.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 회전-직선 운동 변환 기구는, 케이스 안에 수납된 유성 기어 기구와, 제1, 제2 나사 막대와, 이송 부재와, 주축 및 슬리브를 포함하고, 상기 유성 기어 기구는, 모터에 의해 구동하는 태양 기어와, 상기 케이스 안에 고정된 내부 기어와, 유성 기어축에 설치되고 상기 태양 기어와 상기 내부 기어에 맞물려 회전하며 공전하는 유성 기어와, 상기 유성 기어축을 회전할 수 있게 지지하는 회전할 수 있는 캐리어를 포함하며, 상기 제1 나사 막대는, 상기 이송 부재에 일체로 설치되고, 상기 제2 나사 막대는, 상기 유성 기어축에 일체로 설치되어 상기 이송 부재를 나사 결합 관통하며, 상기 이송 부재는, 상기 유성 기어의 공전에 수반하여 회전하며 상기 제2 나사 막대를 따라 직선 운동하고, 상기 주축은, 상기 슬리브에 회전이 규제되어 미끄럼 이동할 수 있게 지지되며, 상기 제1 나사 막대의 회전에 수반하여 직선 운동하는 것이다.

본 발명에 따른 회전-직선 운동 변환 기구는, 상기 발명에 있어서, 상기 유성 기어와 상기 유성 기어축을 2개 이상 포함하고 있는 것이다.

본 발명에 따른 회전-직선 운동 변환 기구는, 상기 발명에 있어서, 상기 모터의 출력축과 상기 태양 기어와의 사이에 과부하 방지용 클러치를 포함하고 있는 것이다.

본 발명에 따른 액추에이터는, 상기 발명에 따른 회전-직선 운동 변환 기구를 포함하고 있는 것이다.

본 발명에 있어서는, 유성 기어축에 일체로 설치한 제2 나사 막대에 의해 이송 부재를 직선 운동시키고, 이송 부재에 일체로 설치한 제1 나사 막대에 의해 주축을 직선 운동시키며, 이들의 직선 운동량의 합을 회전-직선 운동 변환 기구의 동작량으로 하고 있기 때문에, 바꿔 말하면 이송 부재와 주축에 회전-직선 운동 변환 기구의 동작량을 분담시키고 있기 때문에, 하나의 부재를 직선 운동시키는 경우에 비해 회전-직선 운동 변환 기구의 축방향의 길이를 단축할 수 있어, 소형으로 큰 동작량을 얻을 수 있다. 또한 유성 기어축과 제1 나사 막대에 부하를 분산시키고 있기 때문에, 고속 회전하는 경우라도 기어나 나사의 마모나 이지러짐이 적어, 내구성을 향상시킬 수 있다.

또한, 본 발명에서는, 유성 기어와 유성 기어축을 2개 이상 구비하는 것에 의해, 부하를 더 분산시키도록 하고 있기 때문에, 기어나 나사의 마모나 이지러짐 등을 한층 더 적게 억제할 수 있다.

또한, 본 발명에 있어서는, 과부하 방지용 클러치를 구비하고 있기 때문에, 유성 기어 기구가 정지되어 과부하 상태가 되었을 때, 회전 전달을 차단하여, 유성 기어 기구, 이송 부재, 제1, 제2 나사 막대 등의 파손을 미연에 방지할 수 있다.

또한, 본 발명에서는, 본 회전-직선 운동 변환 기구를 구비하고 있기 때문에, 소형으로 롱스트로크를 얻을 수 있고, 고속 동작도 가능해지기 때문에, 밸브의 밸브축을 직선 운동시키는 액추에이터 등에 이용하면 적합하다.

도 1은 본 발명에 따른 액추에이터의 일 실시형태를 도시하는 정면도.
도 2는 액추에이터의 단면도.
도 3은 회전-직선 운동 변환 기구의 사시도.
도 4는 도 1의 선 A-A를 따라 취한 단면도.
도 5는 도 1의 선 B-B를 따라 취한 단면도.
도 6의 (a), (b), (c)는 회전-직선 운동 변환 기구의 동작 상태를 도시하는 단면도.
도 7은 본 발명에 따른 액추에이터의 다른 실시형태를 도시하는 정면도.
도 8은 액추에이터의 단면도.
도 9는 도 7의 선 A-A를 따라 취한 단면도.
도 10은 도 7의 선 B-B를 따라 취한 단면도.

이하, 본 발명을 도면에 도시하는 실시형태에 기초하여 상세히 설명한다.

도 1~도 5에서, 본 실시형태는, 밸브를 개폐 제어하는 액추에이터에 적용한 예를 도시한다. 액추에이터(1)는, 케이스(2) 안에 수납된 회전-직선 운동 변환 기구(3)를 구비하고 있다.

케이스(2)는, 각각 원통형으로 형성된 케이스 본체(2A) 및 커버(2B)를 포함하고, 케이스 본체(2A)의 전단측 개구부에 커버(2B)의 후단측 개구부가 수나사(6a)와 암나사(6b)의 결합에 의해 일체적으로 결합되어 있다.

회전-직선 운동 변환 기구(3)는, 케이스 본체(2A)에 수납된 모터(4)와, 이 모터(4)에 의해 구동하는 유성 기어 기구(5)와, 커버(2B)에 수납된 이송 부재(7), 제1 나사 막대(8), 주축(9), 제2 나사 막대(32) 및 슬리브(33) 등을 구비하고 있다.

모터(4)는, 부착판(10)을 통해 케이스 본체(2A) 안에 수납되고, 외부 코드(11)의 일단이 단자(12)에 접속되어 있다. 외부 코드(11)는, 케이스 본체(2A)의 배면에 형성된 코드용 구멍(13)으로부터 클램프 부재(14)를 통해 외부에 도출되어, 전원에 접속되어 있다. 부착판(10)은, 모터(4)의 전면에 복수개의 고정 나사(15)에 의해 고정되고, 케이스 본체(2A)의 전단측 개구부의 내주면에 형성된 환상 홈(16) 안에 회전이 저지된 상태로 끼워져 고정되어 있다.

유성 기어 기구(5)는, 플래니터리형 유성 기어 기구로 이루어지고, 태양 기어(20)와, 내부 기어(21)와, 캐리어(22)와, 2개의 유성 기어축(23) 및 각 유성 기어축(23)에 부착된 2개의 유성 기어(24)를 구비하고 있다.

태양 기어(20)는, 외주면에 평기어(26)가 형성된 기어 본체(20A)와, 이 기어 본체(20A)의 일단측에 설치된 원통부(20B)와, 기어 본체(20A)와 원통부(20B)를 연결하는 원판부(20C)를 일체로 가지며, 기어 본체(20A)가 모터(4)의 출력축(25)에 미소한 간극을 유지하며 회전할 수 있게 끼워지고, 과부하 방지용 클러치(27)를 통해 출력축(25)에 결합되어 있다.

클러치(27)는, 출력축(25)에 고정된 제1 마그넷(27A)과, 태양 기어(20)의 원통부(20B)의 내주면에 설치되며 제1 마그넷(27A)의 외주를 둘러싸는 제2 마그넷(27B)을 구비하고, 통상의 동작시에서, 제1, 제2 마그넷(27A, 27B)의 자력에 의해 태양 기어(20)와 출력축(25)을 자기적으로 결합하는 것에 의해 토크, 회전을 전달하며, 태양 기어(20)측에 상기 자력에 의한 결합력을 초과하는 과대 부하가 가해져 태양 기어(20)가 정지했을 때, 출력축(25)과 제1 마그넷(27A)이 태양 기어(20)에 대하여 공전하고, 회전을 차단하도록 구성되어 있다. 또한 클러치(27)로서는, 마그넷 클러치에 한하지 않고, 마찰 클러치 등의 다른 형식의 클러치를 이용할 수 있다.

내부 기어(21)는, 케이스 본체(2A)의 환상 홈(16)에 부착판(10) 및 베어링(29)과 함께 끼워 넣어지고, 케이스 본체(2A)와 커버(2B)의 수나사(6a)와 암나사(6b)를 체결하는 것에 의해 부착판(10)과 베어링(29)에 의해 협지 고정되어 있다. 또한 내부 기어(21)는, 원통형으로 형성되고, 내주면 중간부에 일체로 설치한 환상의 평기어부(21A)를 가지며, 이 평기어부(21A)의 내측에 태양 기어(20)의 기어 본체(20A)와 유성 기어(24)가 삽입되어 있다. 또한 내부 기어(21)의 내부 공간에서 평기어부(21A)보다 후방측 공간(28a)에는 클러치(27)와 태양 기어(20)의 원통부(20B)가 위치하고, 전방측 공간(28b)에는 상기 캐리어(22)가 베어링(29)을 통해 회전할 수 있게 배치되어 있다. 또한 태양 기어(20)는, 제1 마그넷(27A)과 캐리어(22)에 의해 축 방향의 이동이 규제되어 있다.

캐리어(22)는, 원판형으로 형성되고, 상기 유성 기어축(23)을 회전할 수 있게 피봇 지지하고 있다. 이 때문에 캐리어(22)의 외주 근처에는, 2개의 축받이 구멍(30)이 둘레 방향으로 180˚ 이격되어 형성되고, 이들 축받이 구멍(30)에 각 유성 기어축(23)이 삽입 관통되며, 베어링(31)에 의해 회전할 수 있게 피봇 지지되어 있다. 각 유성 기어축(23)의 후단부는, 캐리어(22) 후방으로 돌출되고, 그 돌출 단부에 유성 기어(24)가 각각 압입, 나사 등에 의해 고정되어 있다.

여기서, 통상의 유성 기어 기구에서는 캐리어는, 유성 기어의 위치를 규제하고 토크 및 회전을 전달하는 기능을 갖지만, 본 실시형태에서는, 유성 기어축(23)에 제2 나사 막대(32)를 설치하는 것에 의해 추력 및 직선 운동의 기능을 부여하고, 캐리어(22)의 기능을 분리하여 이송 부재(7)를 설치하는 것에 의해 캐리어(22)에 유성 기어축(23)과 유성 기어(24)의 위치를 규제하는 지지체로서의 기능만을 갖게 하고 있다.

유성 기어(24)는, 태양 기어(20)의 평기어(26)와 내부 기어(21)의 평기어부(21A)에 맞물려 있다. 따라서, 모터(4)의 구동에 의해 태양 기어(20)가 출력축(25)과 일체로 회전하면, 유성 기어(24)는 태양 기어(20)에 의해 회전함과 동시에, 태양 기어(20)의 둘레를 공전한다. 이것에 의해 캐리어(22)는 회전하고, 유성 기어축(23)은 회전하고 공전한다.

이송 부재(7)는, 주축(9)과 캐리어(22) 사이에 회전할 수 있게 배치되고, 상기 제2 나사 막대(32)가 나사 결합 관통하는 나사 구멍(39)을 가지며, 상기 유성 기어(24)의 공전에 수반하여 회전하고 상기 제2 나사 막대(32)를 따라 직선 운동한다. 즉, 유성 기어(24)가 공전하면, 유성 기어축(23)도 유성 기어(24)와 일체로 공전하고, 이것에 의해 이송 부재(7) 및 캐리어(22)가 회전한다. 또한, 이송 부재(7)는 제2 나사 막대(32)에 나사 결합하고 있기 때문에, 제2 나사 막대(32)의 회전과 함께 진퇴(직선 운동)한다.

제1 나사 막대(8)는, 기단부(후단부)(8a)가 이송 부재(7)의 중심 구멍(40)에 압입 고정되고, 전단부(8b)가 커버(2B)의 전단측 개구부(43) 부근에까지 연장되며, 외주면에 수나사(44)가 전체 길이에 걸쳐 형성되어 있다.

주축(9)은, 양단이 개방되는 통형체로 형성되고, 기단부(후단부)측 내주면에 제1 나사 막대(8)의 수나사(44)에 결합하는 암나사(45)가 형성되며, 이송 부재(7)의 전면측에 슬리브(33) 안에 삽입된 상태로 배치되어 있다. 또한, 주축(9)은, 회전이 저지되어 슬리브(33)를 미끄럼 이동할 수 있게 관통하고, 전단이 슬리브(33)와 함께 커버(2B)의 전단측 개구부(43)로부터 외부에 돌출되며, 도시를 생략한 밸브의 밸브축(50)이 연결되어 있다.

제2 나사 막대(32)는, 유성 기어(24)의 공전[캐리어(22)의 회전]을 상기 이송 부재(7)에 전달하여 이것을 회전시키고 진퇴(직선 운동)시키는 것으로, 상기 유성 기어축(23)의 전단에 일체로 돌출 설치되고, 상기 이송 부재(7)의 나사 구멍(39)을 나사 결합 관통하고 있다. 또한, 제2 나사 막대(32)는, 충분한 길이를 가지고 외주면에 이송 부재(7)의 나사 구멍(39)에 결합하는 수나사(32a)가 전체 길이에 걸쳐 형성되고, 슬리브(33)에 삽입되어 있다.

슬리브(33)는, 통체로 이루어지고, 전단면에 주축(9)이 미끄럼 이동할 수 있게 관통하는 삽입 관통 구멍(51)을 가지며, 후단측 개구부에 이송 부재(7)의 전단면에 일체로 돌출 설치된 통부(52)에 축선 방향의 이동이 저지된 상태로 회전할 수 있게 연결되어 있다. 이 때문에, 슬리브(33)는, 후단부 외주면에 둘레 방향으로 등간격을 두고 돌출 설치된 복수개(예컨대 4개)의 회전 방지용 핀(53)을 가지며, 이들 핀(53)의 외단부가 슬리브(33)를 관통하여 커버(2B)의 내주면에 축선 방향으로 형성된 긴 홈(55)에 미끄럼 이동할 수 있게 결합하는 것에 의해 커버(2B)에 대하여 회전이 규제되고, 내단부가 동일하게 슬리브(33)를 관통하여 상기 통부(52)에 형성된 환상 홈(54)에 미끄럼 이동할 수 있게 결합하는 것에 의해 이송 부재(7)에 대하여 축선 방향의 이동이 규제되어 있다.

다음에, 상기 구조로 이루어지는 액추에이터(1)의 동작에 대해서 도 6을 참조하여 설명한다. 도 6(a)는 스트로크 제로의 초기 상태(비구동 상태), (b)는 이송 부재 및 주축이 직선 운동하고 있는 상태, (c)는 이송 부재 및 주축이 최대 스트로크 직선 운동하고 정지한 상태를 도시하는 도면이다. 도 6(a)에 도시하는 초기 상태에서, 이송 부재(7)는 후퇴하여 캐리어(22)와 접촉된 초기 위치 상태에 유지되어 있다. 이 상태에서, 슬리브(33)는 이송 부재(7)와 일체로 후퇴하여 커버(2B) 안에 몰입되고, 전단부가 커버(2B)의 전단측 개구부(43)로부터 약간 돌출된 상태를 유지하고 있다. 또한, 주축(9)도 후퇴하여 전단부가 슬리브(33)로부터 약간 돌출되고, 후단이 이송 부재(7)의 전면에 접촉한 상태를 유지하고 있다.

상기와 같은 초기 상태에 있어서, 모터(4)를 구동하여 출력축(25)을 정방향으로 회전시키면, 그 회전은 클러치(27)를 통해 태양 기어(20)에 전달된다. 이 때문에, 태양 기어(20)는 출력축(25)과 일체로 회전하고, 유성 기어(24)를 회전시킨다. 유성 기어(24)가 회전하면, 이것과 일체인 유성 기어축(23) 및 제2 나사 막대(32)도 회전하고, 이 제2 나사 막대(32)의 회전에 의해 이송 부재(7)를 직선 운동(전진)시킨다. 이송 부재(7)가 제2 나사 막대(32)를 따라 직선 운동하면, 슬리브(33)도 이송 부재(7)와 일체로 전진하여, 커버(2B)의 전단측 개구부(43)로부터 외부에 서서히 돌출된다.

또한, 유성 기어(24)는, 회전함과 동시에 태양 기어(20)의 둘레를 공전하기 때문에, 이 공전에 의해 이송 부재(7) 및 캐리어(22)를 회전시킨다.

이송 부재(7)가 회전하면, 이것과 일체인 제1 나사 막대(8)도 회전한다. 이 때문에, 주축(9)은 제1 나사 막대(8)를 따라 직선 운동하여, 슬리브(33)의 외부에 서서히 돌출된다. 도 6(b)는 이 상태를 도시한다.

이송 부재(7)는, 최대 스트로크 직선 운동하면, 슬리브(33)의 외주면 후단부에 설치한 스토퍼부(56)가 커버(2B)의 내벽면(57)에 접촉하는 것에 의해 정지한다. 이송 부재(7)가 정지하면, 캐리어(22), 유성 기어축(23), 유성 기어(24) 및 태양 기어(20)도 정지되어 유성 기어 기구(5)가 정지 상태가 된다. 이 때문에, 과부하 상태가 되고 출력축(25) 및 제1 마그넷(27A)이 태양 기어(20)에 대하여 공전하여, 회전 전달이 차단된다.

회전 전달이 차단되어 이송 부재(7)가 회전하지 않게 되면 제1 나사 막대(8)도 회전하지 않게 되기 때문에, 주축(9)은 그 위치에서 정지된다. 도 6(c)는 이 상태를 도시한다. 또한, 이송 부재(7)와 주축(9)을 원래의 초기 위치 상태로 복귀시킬 때는, 모터(4)를 상기와는 반대 방향으로 구동하면 된다.

이러한 액추에이터(1)에 있어서는, 직선 운동 부재를 이송 부재(7) 및 주축(9)으로 구성하고, 이들을 제1 나사 막대(8)와 제2 나사 막대(32)의 2축에 의해 각각 직선 운동시키도록 하고 있기 때문에, 회전-직선 운동 변환 기구(3)의 동작량이, 이송 부재(7)의 이동량과, 주축(9)의 이동량을 가한 값이 되며, 동작량을 크게 할 수 있다. 또한, 제1 나사 막대(8)와 제2 나사 막대(32)는, 회전-직선 운동 변환 기구(3)의 초기 상태에 있어서, 케이스(2) 안에 병렬로 수납되어 있기 때문에, 회전-직선 운동 변환 기구(3)의 축 방향의 길이를 단축할 수 있고, 소형화할 수 있다. 또한 각각 2개로 이루어지는 유성 기어축(23) 및 유성 기어(24)와, 제1, 제2 나사 막대(8, 32)를 구비하고, 이들에 부하를 분산시키고 있기 때문에, 고속 회전하는 경우라도 기어나 나사의 마모, 이지러짐 등이 적어, 내구성을 향상시킬 수 있다.

도 7~도 10은 본 발명에 따른 액추에이터의 다른 실시형태를 도시하는 것이다.

본 실시형태는, 액추에이터(1')의 회전-직선 운동 변환 기구(3')를, 태양 기어(20)와, 내부 기어(21)와, 캐리어(22)와, 3개의 유성 기어축(23) 및 3개의 유성 기어(24)를 포함하는 유성 기어 기구(5')와, 이송 부재(7), 제1 나사 막대(8), 주축(9), 제2 나사 막대(32), 슬리브(33) 등으로 구성한 것이다. 즉, 본 실시형태는, 유성 기어축(23)과 유성 기어(24)와 제2 나사 막대(32)의 수를 각각 하나 늘린 점이 상기한 실시형태에서의 액추에이터(1)와 상이할 뿐이고, 그 외의 구성은 완전히 동일하기 때문에, 동일 구성 부재, 부분에 대해서는 동일 부호로써 나타내며, 그 설명을 생략한다.

이러한 액추에이터(1')에 의하면, 유성 기어축(23)과 유성 기어(24) 및 제2 나사 막대(32)의 수를 증가시키고 있기 때문에, 부하를 한층 더 분산시킬 수 있어, 상기한 실시형태의 액추에이터(1)에 비해 기어나 나사의 마모, 이지러짐 등을 한층 더 저감할 수 있다.

1, 1': 액추에이터 2: 케이스
3, 3': 회전-직선 운동 변환 기구 4: 모터
5, 5': 유성 기어 기구 7: 이송 부재
8: 제1 나사 막대 9: 주축
20: 태양 기어 21: 내부 기어
22: 캐리어 23: 유성 기어축
24: 유성 기어 25: 출력축
27: 클러치 32: 제2 나사 막대
33: 슬리브

Claims

케이스 안에 수납된 유성 기어 기구와, 제1, 제2 나사 막대와, 이송 부재와, 주축 및 슬리브를 포함하고,
상기 유성 기어 기구는, 모터에 의해 구동하는 태양 기어와, 상기 케이스 안에 고정된 내부 기어와, 유성 기어축에 설치되고 상기 태양 기어와 상기 내부 기어에 맞물려 회전하며 공전하는 유성 기어와, 상기 유성 기어축을 회전할 수 있게 지지하는 회전할 수 있는 캐리어를 포함하며,
상기 제1 나사 막대는 상기 이송 부재에 일체로 설치되고,
상기 제2 나사 막대는 상기 유성 기어축에 일체로 설치되어 상기 이송 부재를 나사 결합 관통하며,
상기 이송 부재는, 상기 유성 기어의 공전에 수반하여 회전하고 상기 제2 나사 막대를 따라서 직선 운동하고,
상기 주축은, 상기 슬리브에 회전이 규제되어 미끄럼 이동할 수 있게 지지되며, 상기 제1 나사 막대의 회전에 수반하여 직선 운동하는 것인 회전-직선 운동 변환 기구.
제1항에 있어서, 상기 유성 기어와 상기 유성 기어축은 2개 이상인 것인 회전-직선 운동 변환 기구.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 모터의 출력축과 상기 태양 기어 사이에 과부하 방지용 클러치를 포함하고 있는 회전-직선 운동 변환 기구.
제1항 또는 제2항에 기재된 회전-직선 운동 변환 기구를 포함한 액추에이터.