KR101193353B1 - 감쇠 기구가 구비된 면진 테이블 및 이것을 이용한 면진 테이블 유닛 - Google Patents

감쇠 기구가 구비된 면진 테이블 및 이것을 이용한 면진 테이블 유닛 Download PDF

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Abstract

초기 강성이 있어, 진동이 작용하고 있지 않은 상태에서는 면진 대상물이 흔들려버리는 경우가 없고, 진동이 작용한 경우에는 기능하여 면진 대상물을 보호 가능한 감쇠 기구가 구비된 면진 테이블(1) 및 이것을 사용한 면진 테이블 유닛(15)이고, 고정 플레이트(2)와, 이 고정 플레이트(2)에 대해 X 방향으로 이동 가능하게 설치된 안내 부재(42)와, 상기 안내 부재(42)에 대해 상기 X 방향과 직교하는 Y 방향으로 이동 가능하게 설치된 이동 플레이트(3)와, 상기 고정 플레이트(2)에 대한 안내 부재(42)의 X 방향 이동에 수반하여 순환하는 X 방향 순환 벨트(6)와, 상기 안내 부재(42)에 대한 이동 플레이트(3)의 Y 방향 이동에 수반하여 순환하는 Y 방향 순환 벨트(9)와, 상기 고정 플레이트(2) 및 이동 플레이트(3)에 설치되는 동시에 X 방향 순환 벨트(6), 또는 Y 방향 순환 벨트(9)가 둘러쳐진 회전 종동 부재(70, 100)를 갖고, 상기 회전 종동 부재(70, 100)의 회전 운동에 저항을 부여하는 로터리 댐퍼(7, 10)를 구비한다.

Description

감쇠 기구가 구비된 면진 테이블 및 이것을 이용한 면진 테이블 유닛 {BASE ISOLATION TABLE WITH DAMPING MECHANISM AND BASE ISOLATION TABLE UNIT USING THE SAME}
본 발명은 정밀 기기, 전자 기기, 미술품 등의 면진 대상물과 건물의 바닥면 사이에 개재 장착되어, 상기 면진 대상물을 지진 등의 외부 진동으로부터 보호하는 목적으로 사용되는 감쇠 기구가 구비된 면진 테이블 및 이것을 이용한 면진 테이블 유닛에 관한 것이다.
종래, 정밀 기기, 전자 기기, 미술품 등의 면진 대상물의 운반 시에 있어서의 진동 대책으로서, 혹은 당해 면진 대상물을 건물 내에 설치한 경우에 있어서의 지진 등의 외부 진동 대책으로서, 이들 면진 대상물을 바닥면의 진동으로부터 단절하는 목적으로 면진 테이블이 사용되고 있다.
이러한 종류의 면진 테이블로서는, 일본 특허 출원 공개 제2000-240719호 공보에 개시되는 것이 알려져 있다. 이 면진 테이블은 바닥면에 대해 Y 방향 면진부와 X 방향 면진부를 적층하여 구성된 2차원 면진 테이블로, 최상위에 설치된 적재대가 바닥면에 대해 X 방향 및 Y 방향에 대해 자유롭게 이동하도록 되어 있다.
상기 Y 방향 면진부는, 바닥면에 대해 고정된 안내 부재와, 이 안내 부재에 의해 Y 방향으로 이동 가능하게 보유 지지되는 동시에 중간 플레이트에 고정된 Y 방향 레일과, 상기 중간 플레이트를 바닥면 상의 초기 위치에 보유 지지하기 위해 상기 중간 플레이트와 바닥면 사이에 설치된 복수의 탄성 부재로 구성되어 있다. 또한, 상기 X 방향 면진부는 상기 Y 방향 면진부의 중간 플레이트에 대해 고정된 안내 부재와, 이 안내 부재에 의해 X 방향으로 이동 가능하게 보유 지지되는 동시에 상기 적재대에 고정된 X 방향 레일과, 상기 적재대를 중간 플레이트 상의 초기 위치에 보유 지지하기 위해 상기 적재대와 상기 중간 플레이트 사이에 설치된 복수의 탄성 부재로 구성되어 있다.
이와 같은 구성의 면진 테이블에서는 바닥면에 대해 진동이 작용한 경우에, 상기 Y 방향 면진부 및 X 방향 면진부의 상호 작용에 의해, 면진 대상물이 적재된 적재대를 바닥면의 진동으로부터 단절하고, 이러한 적재대의 진동의 주기를 충분히 길게 설정하여 면진 대상물의 흔들림을 경감하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 바닥면의 진동이 수습되고, 상기 적재대의 진동도 수렴되면, 이러한 적재대는 탄성 부재의 장력에 의해 초기 위치로 복귀되도록 구성되어 있다.
또한, 이 종래의 면진 테이블에는 상기 적재대의 진동을 조기에 수렴시키기 위한 감쇠 기구가 설치되어 있다. 이러한 감쇠 기구는 Y 방향 면진부 및 X 방향 면진부의 양쪽에 설치되어 있다. Y 방향 면진부의 감쇠 기구는, 상기 Y 방향 레일의 측면과 근소한 간극을 두고 대향하는 동시에 바닥면에 대해 회전 가능하게 보유 지지된 마찰 부재를 갖고 있고, 상기 탄성 부재는 이 마찰 부재의 일단부와 상기 중간 플레이트 사이에 걸쳐져 있다. X 방향 면진부의 감쇠 기구도 마찬가지로 구성되어 있고, 상기 X 방향 레일의 측면과 근소한 간극을 두고 대향하는 동시에 상기 중간 플레이트에 대해 회전 가능하게 보유 지지된 마찰 부재를 갖고 있고, 상기 탄성 부재는 이 마찰 부재의 일단부와 상기 적재대 사이에 걸쳐져 있다.
이와 같이 구성된 감쇠 기구에 있어서는, 상기 중간 플레이트가 바닥면에 대해 Y 방향으로, 혹은 상기 적재대가 중간 플레이트에 대해 X 방향으로 이동하면, 상기 탄성 부재의 장력에 의해 상기 마찰 부재가 회전하고, 이러한 마찰 부재가 Y 방향 레일, 또는 X 방향 레일에 압접되어 마찰 저항력이 발생하게 된다. 바닥면에 대한 중간 플레이트의 이동 거리, 또는 중간 플레이트에 대한 적재대의 이동 거리가 클수록, 상기 탄성 부재는 큰 장력을 발휘하므로, 마찰 부재와 각 레일 사이에 발생하는 마찰 저항력도 큰 것으로 된다.
즉, 일본 특허 출원 공개 제2000-240719호 공보의 면진 테이블에서는, 적재대가 초기 위치로부터 이격될수록, 이러한 적재대의 진동에 대해 큰 감쇠력이 작용하도록 되어 있다.
일본 특허 출원 공개 제2000-240719호 공보
그러나 전술한 종래의 감쇠 기구가 구비된 면진 테이블에서는, 예를 들어 바닥면으로부터 면진 대상물에 대해 진동이 작용하지 않아, 적재대가 X 방향 및 Y 방향 모두 초기 위치로 설정되어 있는 상태에서는, 상기 마찰 부재는 X 방향 레일 및 Y 방향 레일 중 어디에도 압접되어 있지 않으므로, 이러한 마찰 부재와 각 레일 사이에는 전혀 마찰 저항력이 작용하지 않는다. 이로 인해, 초기 위치에 있어서의 적재대의 강성이 부족하여, 바닥면이 약간 진동한 것만으로도, 상기 적재대가 바닥면에 대해 이동해버려, 면진 대상물이 바닥면에 대해 흔들리기 쉽다는 등의 문제가 있었다.
본 발명은 이러한 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 점은, 초기 강성이 있어, 전혀 진동이 작용하고 있지 않은 상태에 있어서 면진 대상물이 흔들려버리는 경우가 없는 한편, 지진 등의 큰 진동이 작용한 경우에는 확실하게 기능하여 면진 대상물을 보호하는 것이 가능한 감쇠 기구가 구비된 면진 테이블 및 이것을 사용한 면진 테이블 유닛을 제공하는 것에 있다.
상기 목적을 달성하는 본 발명의 감쇠 기구가 구비된 면진 테이블은, 고정 플레이트와, 이 고정 플레이트에 대해 X 방향으로 이동 가능하게 설치된 안내 부재와, 면진 대상물이 적재되는 동시에 상기 안내 부재에 대해 상기 X 방향과 직교하는 Y 방향으로 이동 가능하게 설치되어, 상기 고정 플레이트와 평행한 면 내를 이동 가능한 이동 플레이트와, 상기 고정 플레이트와 상기 안내 부재 사이 및 상기 이동 플레이트와 상기 안내 부재 사이에 설치되어, 상기 고정 플레이트에 대해 변위한 상기 이동 플레이트를 초기 위치로 복귀시키는 복수의 탄성 부재와, 상기 고정 플레이트에 대해 소정의 경로로 환형상으로 둘러쳐지고, 이러한 고정 플레이트에 대한 상기 안내 부재의 X 방향 이동에 수반하여 순환하는 X 방향 순환 벨트와, 상기 이동 플레이트에 대해 소정의 경로로 환형상으로 둘러쳐지고, 상기 안내 부재에 대한 상기 이동 플레이트의 Y 방향 이동에 수반하여 순환하는 Y 방향 순환 벨트와, 상기 고정 플레이트 및 이동 플레이트에 설치되는 동시에 상기 X 방향 순환 벨트 또는 Y 방향 순환 벨트가 둘러쳐진 회전 종동 부재를 갖고, 이러한 회전 종동 부재의 회전 운동에 저항을 부여하는 로터리 댐퍼를 구비하고 있다.
이와 같은 본 발명의 감쇠 기구가 구비된 면진 테이블에서는, 상기 안내 부재를 통해 이동 플레이트가 고정 플레이트에 대해 자유롭게 X 방향 및 Y 방향으로 이동 가능하여, 고정 플레이트에 대해 지진 등의 진동이 작용하면, 상기 이동 플레이트가 고정 플레이트에 작용하는 진동과는 무관계로 진동할 수 있어, 이러한 이동 플레이트 상에 적재되는 면진 대상물을 고정 플레이트에 작용하는 진동으로부터 단절할 수 있다. 이때, 상기 이동 플레이트가 고정 플레이트에 대해 X 방향 및 Y 방향으로 이동하면, 상기 X 방향 순환 벨트 및 Y 방향 순환 벨트가 둘러쳐진 소정 경로 내를 그것에 수반하여 순환하여, 상기 로터리 댐퍼에 구비된 회전 종동 부재에 대해 회전 운동을 전달한다. 상기 로터리 댐퍼는 회전 종동 부재의 회전 운동에 대해 저항을 부여하므로, 상기 이동 플레이트의 X 방향 및 Y 방향의 진동이 감쇠된다.
상기 로터리 댐퍼는 회전 종동 부재의 회전 운동에 대해 저항을 부여하므로, 이동 플레이트가 고정 플레이트에 대해 진동하지 않고 초기 위치로 설정되어 있는 상태에서는, 이들 로터리 댐퍼가 이동 플레이트에 대해 초기 강성을 부여하고 있다. 이로 인해, 지진 등에 의한 큰 진동 에너지가 입력되지 않는 한, 고정 플레이트에 대한 이동 플레이트의 요동을 방지하는 것이 가능하다.
도 1은 본 발명이 적용된 감쇠 기구가 구비된 면진 테이블의 실시 형태의 일례를 도시하는 일부 단면 정면도이다.
도 2는 도 1에 도시하는 감쇠 기구가 구비된 면진 테이블의 고정 플레이트측의 구조를 도시하는 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시하는 감쇠 기구가 구비된 면진 테이블의 동작 시에 있어서의 고정 플레이트측의 모습을 도시하는 평면도이다.
도 4는 도 1에 도시하는 감쇠 기구가 구비된 면진 테이블과 조합하여 사용되는 관성 질량체 부착 면진 테이블의 실시 형태의 일례를 도시하는 평면도이다.
도 5는 도 2에 도시하는 감쇠 기구가 구비된 면진 테이블과 도 4에 도시하는 관성 질량체 부착 면진 테이블을 연결하여 구성한 면진 테이블 유닛의 고정 플레이트측 구조의 일례를 도시하는 평면도이다.
도 6은 면진 테이블 유닛의 다른 조합을 도시하는 평면도이다.
이하, 첨부 도면을 사용하여 본 발명의 감쇠 기구가 구비된 면진 테이블 및 이것을 사용한 면진 테이블 유닛을 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명을 적용한 감쇠 기구가 구비된 면진 테이블(1)의 일례를 도시하는 정면 단면도이다. 이 감쇠 기구가 구비된 면진 테이블(1)[이하, 「감쇠 면진 테이블(1)」이라 함)은, 바닥면에 적재되는 고정 플레이트(2)와, 정밀 기기, 전자 기기, 미술품 등의 면진을 필요로 하는 면진 대상물을 탑재하는 이동 플레이트(3)와, 상기 고정 플레이트(2)에 대해 상기 이동 플레이트(3)를 X 방향 및 이것과 직교하는 Y 방향[도 1의 지면(紙面) 깊이 방향]으로 자유롭게 이동시키는 2차원 안내 기구(4)를 구비하고 있다. 또한, 본 발명의 적용예는 도 1에 도시한 감쇠 면진 테이블(1)로 한정되는 것은 아니다.
상기 2차원 안내 기구(4)는, 상기 고정 플레이트(2) 상에 X 방향을 따라 부설된 하측 안내 레일(40)과, 상기 이동 플레이트(3)의 하면측에 Y 방향을 따라 고정된 상측 안내 레일(41)과, 이들 하측 안내 레일(40) 및 상측 안내 레일(41)의 양쪽을 따라 운동하는 안내 부재(42)로 구성되어 있다. 또한, 상기 안내 부재(42)는, 다수의 전동체를 통해 하측 안내 레일(40)에 조립된 하측 슬라이드 블록(43)과, 다수의 전동체를 통해 상측 안내 레일(41)에 조립된 상측 슬라이드 블록(44)과, 이들 슬라이드 블록(43, 44)이 표리에 고정된 결합 플레이트(45)로 구성되어 있다.
상기 하측 안내 레일(40)과 하측 슬라이드 블록(43)의 조합, 상기 상측 안내 레일(41)과 상측 슬라이드 블록(44)의 조합으로서는, 시판 중인 직선 안내 장치를 이용하는 것이 가능하다. 이러한 직선 안내 장치는, 예를 들어 다수의 전동체와, 길이 방향을 따라 이들 전동체의 전주면이 형성된 안내 레일과, 상기 전동체의 무한 순환로를 갖는 동시에 상기 안내 레일을 따라 이동 가능하게 조립된 슬라이드 블록으로 구성되어 있다. 상기 이동 플레이트(3)와 고정 플레이트(2)의 분리를 방지하는 등의 관점에서 보면, 상기 슬라이드 블록(43, 44)은 안내 레일(40, 41)에 조립된 상태에서, 이러한 안내 레일(40, 41)의 길이 방향과 직교하는 면 내에 작용하는 모든 하중을 부하할 수 있는 것이 바람직하다. 또한, 상기 하측 슬라이드 블록(43) 및 상측 슬라이드 블록(44)의 내하중은, 상기 이동 플레이트(3) 상에 설치하는 면진 대상물의 중량에 따라 적절하게 선정할 수 있다.
상기 이동 플레이트(3)는 상기 2차원 안내 기구(4)를 통해 상기 고정 플레이트(2) 상에 적층되어 있고, 상기 안내 부재(42)가 고정 플레이트(2)에 대해 X 방향으로 자유롭게 이동하고, 또한 상기 이동 플레이트(3)가 상기 안내 부재(42)에 대해 Y 방향으로 자유롭게 이동함으로써, 상기 이동 플레이트(3)는 고정 플레이트(2)에 대해 X 방향 및 Y 방향으로 자유롭게 이동하는 것이 가능하게 되어 있다. 이에 의해, 바닥면에 설치된 고정 플레이트(2)에 대해 당해 바닥면으로부터 진동이 작용하였을 때에, 상기 이동 플레이트(3)가 고정 플레이트(2)와 다른 주기로 X 방향 및 Y 방향으로 자유롭게 진동하는 것이 가능하게 되어 있다.
도 2는 상기 안내 부재(42)의 결합 플레이트(45)에 대한 상기 상측 슬라이드 블록(44)의 고정 상태를 해제하여, 상기 고정 플레이트(2) 상으로부터 이동 플레이트(3)를 제거한 상태를 도시하는 평면도이다. 이 고정 플레이트(2)는 알루미늄 합금의 다이캐스트 주조에 의해 제조되어 있고, 도 2에 도시된 바와 같이 정사각형 형상을 이루고 있다. 상기 고정 플레이트(2)의 주위 4변에는 당해 고정 플레이트(2)의 강도를 높이기 위해 플랜지부(20)가 설치되어 있고, 이러한 플랜지부(20)에는 후술하는 면진 테이블 유닛을 구성할 때에 다른 감쇠 면진 테이블, 또는 관성 질량 테이블의 연결에 이용되는 탭 구멍(21)이 형성되어 있다.
상기 고정 플레이트(2)에는, 대각에 위치하는 코너부(2a)와 코너부(2c) 사이에 상기 하측 안내 레일의 고정 베이스부(22)가 설치되어 있고, 상기 하측 안내 레일(40)은 이 고정 베이스부(22) 상에 배치되어 있다. 즉, 도 2에서는 코너부(2a)와 코너부(2c)를 연결하는 대각선이 X 방향과 합치하고 있다. 또한, 상기 고정 베이스부(22)에 부설된 하측 안내 레일(40)의 양측에는 당해 고정 베이스부(22)를 보강하는 리브(23)가 설치되어 있다. 상기 하측 슬라이드 블록(43)은 상기 하측 안내 레일(40)에 걸치도록 하여 당해 하측 안내 레일(40)에 조립되어 있어, 고정 플레이트(2)의 코너부(2a)와 코너부(2c) 사이에서 자유롭게 왕복 운동한다. 또한, 하측 슬라이드 블록(43) 상에는 결합 플레이트(45)가 고정되어 있으므로, 도 2에서는 상기 하측 슬라이드 블록(43)이 파선으로 나타내어져 있다.
또한, 상기 하측 안내 레일(40)의 측방에 위치하는 상기 고정 플레이트(2)의 코너부(2b, 2d)와 하측 슬라이드 블록(43)에 고정된 결합 플레이트(45) 사이에는 코일 스프링으로 이루어지는 복수의 탄성 부재(5)가 각각 설치되어 있다. 이들 탄성 부재(5)는, 상기 하측 슬라이드 블록(43)이 고정 플레이트(2)의 중앙 위치(이하, 「초기 위치」라고 함)로 설정되어 있을 때에, 그 장력이 가장 경감되도록 걸쳐져 있다.
도 3은 상기 하측 슬라이드 블록(43)이 하측 안내 레일(40)을 따라 이동하여, 상기 초기 위치로부터 하측 안내 레일(40)의 단부에까지 이동한 상태를 도시하는 도면이다. 이와 같이, 상기 하측 슬라이드 블록(43)이 초기 위치로부터 하측 안내 레일(40)의 어느 한쪽의 단부를 향하여 이동하면, 상기 탄성 부재(5)의 장력이 증대하여, 이러한 하측 슬라이드 블록(43)에 대해 이것을 초기 위치로 복귀시키는 힘(F)이 작용한다. 이로 인해, 상기 하측 블록이 초기 위치로부터 변위하면, 그 후 하측 블록은 초기 위치를 진폭의 중심으로 하여 X 방향으로 진동하게 된다.
또한, 도 2에 도시하는 예에서는, 상기 하측 안내 레일(40)의 양측에 탄성 부재(5)를 2개씩 배치하였지만, 이들 탄성 부재(5)의 수는, 상기 이동 플레이트(3) 상에 설치하는 면진 대상물의 중량이나, 하측 안내 레일(40)에 대한 하측 슬라이드 블록(43)의 이동 저항 등을 고려하여, 적절하게 변경해도 지장이 없다.
한편, 상기 결합 플레이트(45)에는 한 쌍의 X 방향 순환 벨트(6)가 접속되어 있다. 이 실시 형태에 있어서, 상기 X 방향 순환 벨트(6)는 길이 방향을 따라 일정한 간격으로 톱니가 형성된 타이밍 벨트이다. 상기 고정 베이스부(22)에는 하측 안내 레일(40)의 길이 방향의 양단부에 대응하여 종동 롤러(60)가 설치되어 있고, 상기 X 방향 순환 벨트(6)는 이들 종동 롤러(60)에 둘러쳐져 있다. 즉, 상기 X 방향 순환 벨트(6)는 하측 안내 레일(40)과 평행한 경로를 포함하여 걸쳐져 있다.
또한, 하측 안내 레일(40)의 측방에 위치하는 고정 플레이트(2)의 코너부(2b, 2d)에는 로터리 댐퍼(7)가 고정되어 있고, 상기 X 방향 순환 벨트(6)는 상기 로터리 댐퍼(7)에 설치된 회전 종동 부재(70)에도 둘러쳐져 있다. 따라서, 각 X 방향 순환 벨트(6)는 상기 하측 안내 레일(40)의 측방에 있어서 대략 삼각형 형상의 경로를 따라 환형상으로 둘러쳐져 있고, 상기 결합 플레이트(45)가 하측 슬라이드 블록(43)과 함께 X 방향으로 이동하면, 이러한 결합 플레이트(45)에 접속된 X 방향 순환 벨트(6)가 상기 경로 내를 순환 이동하여, 상기 로터리 댐퍼(7)에 설치된 회전 종동 부재(70)에 대해 상기 결합 플레이트(45)의 X 방향 이동량에 따른 회전 운동을 부여하도록 되어 있다.
상기 로터리 댐퍼(7)는, 상기 고정 플레이트(2)에 고정되는 동시에 점성 유체를 밀봉한 작용실을 갖는 케이스와, 이 케이스의 작용실 내에서 자유롭게 회전하는 동시에 상기 회전 종동 부재(70)와 결합된 로터로 구성되어 있다. 상기 로터가 상기 케이스에 대해 회전하면, 당해 회전에 대해 점성 유체의 전단 마찰력이 회전 저항으로서 작용하여, 로터에 결합된 회전 종동 부재(70)에 대해 회전 저항이 부여된다.
이 로터리 댐퍼(7)가 발생하는 회전 저항은 상기 X 방향 순환 벨트(6)의 순환 이동에 작용하고, 최종적으로는 하측 슬라이드 블록(43)의 X 방향으로의 이동의 저항력으로서 작용한다. 즉, 하측 슬라이드 블록(43)의 X 방향의 진동이 상기 로터리 댐퍼(7)에 의해 감쇠되게 된다.
또한, 상기 로터리 댐퍼(7)로서는, 상기 회전 종동 부재(70)의 회전에 대해 저항을 미치는 것이면, 시판되는 다양한 로터리 댐퍼 중에서 필요로 하는 저항력에 따라 적절하게 선택하여 사용하는 것이 가능하다. 이때, 상기 고정 플레이트(2)와 이동 플레이트(3)의 간극에 로터리 댐퍼(7)를 수용하고, 또한 바닥면에 대한 이동 플레이트(3)의 높이를 낮게 억제하는 등의 관점에서 보면, 로터리 댐퍼(7)는 회전축 방향의 높이가 낮은 것이 바람직하다.
한편, 상기 고정 플레이트(2) 상에 적층되는 상기 이동 플레이트(3)는, 전술한 고정 플레이트(2)와 마찬가지로, 알루미늄 합금의 다이캐스트 주조에 의해 제조되어 있고, 당해 고정 플레이트(2)와 동일 형상을 이루고 있다. 단, 도 1에 도시한 바와 같이, 상기 이동 플레이트(3)는 표리를 역전한 상태에서 상기 고정 플레이트(2) 상에 적층되어 있다.
이 이동 플레이트(3)에 대한 상기 상측 안내 레일(41) 및 상기 상측 슬라이드 블록(44)의 배치 상태는, 상기 고정 플레이트(2)에 대한 상기 하측 안내 레일(40) 및 상기 하측 슬라이드 블록(43)의 배치 상태와 동일하다. 단, 상기 상측 안내 레일(41)은 상기 하측 안내 레일(40)과 직교하는 방향을 따라 배치되어 있다. 즉, 상기 상측 안내 레일(41)은 도 2에 있어서의 고정 플레이트(2)의 코너부(2b)와 코너부(2d)를 연결하는 대각선을 따라 배치되어 있고, 이러한 대각선이 본 발명의 Y 방향과 합치하고 있다.
또한, 도 1에 도시한 바와 같이, 상측 안내 레일(41)에 조립된 상측 슬라이드 블록(44)은 상기 결합 플레이트(45)에 고정되고, 하측 슬라이드 블록(43)과 일체화되어 상기 안내 부재(42)를 구성하고 있다. 이에 의해, 상기 이동 플레이트(3)는 상기 안내 부재(42)에 대해 Y 방향으로 자유롭게 이동하는 것이 가능해진다. 상기 결합 플레이트(45)와 이동 플레이트(3) 사이에는 코일 스프링으로 이루어지는 복수의 탄성 부재(8)가 각각 설치되어 있다. 상기 이동 플레이트(3)에 대한 이들 탄성 부재(8)의 배치 상태는, 상기 고정 플레이트(2)에 대한 상기 탄성 부재(5)의 배치 상태와 동일하다. 즉, 상기 상측 슬라이드 블록(44)이 이동 플레이트(3)의 중앙 위치(이하, 「초기 위치」라고 함)로 설정되어 있을 때에, 그 장력이 가장 경감되도록 걸쳐져 있다. 이로 인해, 상기 상측 슬라이드 블록(44)이 초기 위치로부터 상측 안내 레일(41)을 따라 어느 한쪽의 단부 방향으로 이동하면, 상기 탄성 부재(8)의 장력이 증대하여, 이러한 상측 슬라이드 블록(44)이 상기 상측 안내 레일(41) 상을 초기 위치로 복귀된다. 즉, 상기 상측 블록(43)은 초기 위치를 중심으로 하여 Y 방향으로 진동하도록 되어 있다.
또한, 상기 이동 플레이트(3)에는 한 쌍의 Y 방향 순환 벨트(9)가 둘러쳐지는 동시에, 이러한 Y 방향 순환 벨트(9)는 상기 결합 플레이트(45)에 접속되어 있다. 또한, 상기 상측 안내 레일(41)을 사이에 두고 대치하는 이동 플레이트(3)의 한 쌍의 코너부에는 로터리 댐퍼(10)가 각각 고정되어 있고, 이들 로터리 댐퍼(10)의 로터에는 회전 종동 부재(100)가 고정되는 동시에, 상기 Y 방향 순환 벨트(9)가 이 회전 종동 부재(100)에 둘러쳐져 있다. 이로 인해, 상기 상측 슬라이드 블록(44)이 상측 안내 레일(41)을 따라 Y 방향으로 이동하면, 상기 결합 플레이트(45)에 접속된 Y 방향 순환 벨트(9)가 소정의 경로 내를 순환 이동하여, 상기 로터리 댐퍼(10)에 설치된 회전 종동 부재(100)에 대해 상기 결합 플레이트(45)의 Y 방향 이동량에 따른 회전 운동을 부여하도록 되어 있다. 그리고 이 로터리 댐퍼(10)가 발생하는 회전 저항은 상기 Y 방향 순환 벨트(9)의 순환 이동에 작용하고, 최종적으로는 상측 슬라이드 블록(44)의 Y 방향으로의 이동의 저항력으로서 작용한다. 즉, 상측 슬라이드 블록(44)의 Y 방향의 진동이 상기 로터리 댐퍼(10)에 의해 감쇠되게 된다.
상기 이동 플레이트(3)에 대한 상기 탄성 부재(8), Y 방향 순환 벨트(9) 및 로터리 댐퍼(10)의 배치는, 상기 고정 플레이트에 대한 상기 탄성 부재(5), X 방향 순환 벨트(6) 및 로터리 댐퍼(7)의 배치와 완전히 동일하다. 단, 상기 상측 안내 레일의 배치 방향이 하측 안내 레일의 배치 방향과 직교하고 있으므로, 상기 로터리 댐퍼(10)는 도 2에 있어서의 고정 플레이트의 코너부(2a)와 코너부(2c)에 대응하여 상기 이동 플레이트(3)에 배치되어 있게 된다.
또한, 도 1은 도 2의 I-I선을 따라 감쇠 면진 테이블(1)을 절단한 단면도이고, 그로 인해 도 1에서는 고정 플레이트(2)에 설치된 로터리 댐퍼(7) 및 탄성 부재(5)는 도시되어 있지 않고, 또한 상기 이동 플레이트(3)에 배치된 상측 안내 레일(41)은 길이 방향에 수직한 단면이 도시되어 있다.
그리고 이상과 같이 구성된 본 실시 형태의 감쇠 면진 테이블(1)은, 상기 고정 플레이트(2)를 건물이나 운반 차량의 바닥면에 설치하는 한편, 상기 이동 플레이트(3) 상에는 정밀 기기, 미술품 등의 면진 대상물을 적재하여 사용된다.
예를 들어, 운반이나 지진 등에 기인하여 상기 바닥면에 대해 진동이 작용하면, 이러한 바닥면의 진동이 고정 플레이트(2) 및 이동 플레이트(3)를 통해 면진 대상물에 전파되어, 면진 대상물도 진동하게 된다. 그러나 전술한 바와 같이, 상기 이동 플레이트는 고정 플레이트에 대해 X 방향 및 Y 방향으로 자유롭게 진동하는 것이 가능하여, 당해 이동 플레이트(3)는 고정 플레이트(2)의 진동의 진폭 및 주기와는 무관계로 진동하는 것이 가능하다. 이로 인해, 면진 대상물을 탑재한 이동 플레이트(3)는 고정 플레이트(2)의 진동으로부터는 단절된 상태에 있어, 바닥면의 진동에 구속되는 일 없이, 당해 진동에 비해 장주기의 진동으로 흔들리는 것이 가능하게 되어 있다. 이에 의해, 바닥면의 진동에 의한 상기 면진 대상물의 손상을 효과적으로 방지하는 것이 가능해진다.
상기 이동 플레이트(3)가 고정 플레이트(2)에 대해 X 방향으로 진동할 때에는, 상기 하측 슬라이드 블록(43) 및 결합 플레이트(45)가 하측 안내 레일(40) 상을 X 방향으로 왕복 운동하므로, 상기 결합 플레이트(45)에 접속된 X 방향 순환 벨트(6)가 이동 플레이트(3)의 X 방향의 진동에 따라 진퇴하여, 상기 회전 종동 부재(70)를 회전시킨다. 상기 고정 플레이트에 설치된 로터리 댐퍼(7)는 상기 회전 종동 부재(70)에 대해 회전 저항을 부여하므로, 이러한 회전 저항은 X 방향 순환 벨트(6)를 통해 결합 플레이트(45)의 X 방향의 왕복 운동을 막는 힘으로서 작용하고, 이에 의해 고정 플레이트(2)에 대한 이동 플레이트(3)의 X 방향의 진동이 감쇠된다.
또한, 마찬가지로 상기 이동 플레이트(3)가 고정 플레이트(2)에 대해 Y 방향으로 진동할 때에는, 상기 이동 플레이트(3)가 상측 안내 레일(41)과 하나로 되어 안내 부재(42) 상을 Y 방향으로 왕복 운동하므로, 상기 결합 플레이트(45)에 접속된 Y 방향 순환 벨트(9)가 이동 플레이트의 Y 방향의 진동에 따라 진퇴하여, 상기 회전 종동 부재(100)를 회전시킨다. 상기 이동 플레이트(3)에 설치된 로터리 댐퍼(10)는 상기 회전 종동 부재(100)에 대해 회전 저항을 부여하므로, 이러한 회전 저항은 Y 방향 순환 벨트(9)를 통해 결합 플레이트(45)의 Y 방향의 왕복 운동을 막는 힘으로서 작용하고, 이에 의해 고정 플레이트(2)에 대한 이동 플레이트(3)의 Y 방향의 진동이 감쇠된다.
즉, 상기 이동 플레이트(3)가 고정 플레이트(2)에 대해 X 방향 및 Y 방향으로 진동하면, 이러한 진동이 고정 플레이트(2)에 설치된 로터리 댐퍼(7) 및 이동 플레이트(3)에 설치된 로터리 댐퍼(10)에 의해 감쇠되어, 바닥면으로부터 고정 플레이트(2)에 작용하는 진동이 수습되면, 고정 플레이트(2)에 대한 이동 플레이트(3)의 진동을 조기에 수렴시키는 것이 가능하다.
이때, 상기 로터리 댐퍼(7)는 상기 이동 플레이트(3)의 X 방향으로의 이동을 막는 힘을 발휘하는 한편, 상기 로터리 댐퍼(10)는 상기 이동 플레이트(3)의 Y 방향으로의 이동을 막는 힘을 발휘하므로, 이들 로터리 댐퍼(7, 10)는 고정 플레이트(2)에 대한 이동 플레이트(3)의 정적 강성을 향상시키는 기능을 발휘한다. 그로 인해, 이동 플레이트(3)에 근소한 힘이 작용한 것만으로는, 이러한 이동 플레이트(3)가 고정 플레이트(2)에 대해 변위하는 일은 없어, 이동 플레이트(3) 상에 설치한 면진 대상물이 바닥면에 작용하는 근소한 진동에 반응하여 당해 바닥면에 대해 흔들려버리는 등의 과제를 극복하는 것이 가능하다.
또한, 점성 유체에 작용하는 전단 마찰력을 감쇠력으로서 이용한 로터리 댐퍼는 로터의 회전 속도가 높아짐에 따라 큰 감쇠력을 발휘한다. 이로 인해, 고정 플레이트(2)에 대해 이동 플레이트(3)가 한창 진동하고 있는 도중에는, 안내 부재(42)가 하측 안내 레일(40)의 초기 위치를 통과할 때에 로터리 댐퍼(7)의 감쇠력은 최대로 되고, 안내 부재(42)가 상측 안내 레일(41)의 초기 위치를 통과할 때에 로터리 댐퍼(10)의 감쇠력은 최대로 된다. 따라서 이들 로터리 댐퍼(7, 10)의 감쇠력을 이동 플레이트(3)의 진동에 대해 효과적으로 작용시켜, 이러한 진동을 조기에 수렴시키는 것이 가능해진다.
또한, 이 실시 형태의 감쇠 면진 테이블(1)에서는, 상기 X 방향 순환 벨트(6), 상기 Y 순환 벨트(9) 및 상기 로터리 댐퍼(7, 10)가 상기 안내 부재(42)를 통해 적층된 상기 고정 플레이트와 이동 플레이트의 간극 내에 수용되어 있으므로, 당해 감쇠 면진 테이블(1)을 극히 콤팩트하게 구성하는 것이 가능해진다.
다음에, 본 발명의 감쇠 기구가 구비된 면진 테이블을 관성 질량체 부착 면진 테이블과 조합한 면진 테이블 유닛에 대해 설명한다.
바닥면으로부터 고정 플레이트(2)에 대해 큰 진폭의 진동이 작용하면, 그것에 수반하여 고정 플레이트(2)에 대한 이동 플레이트(3)의 진동의 진폭은 커지는 경향이 있다. 고정 플레이트(2)에 대한 이동 플레이트(3)의 진동의 진폭이 커진다고 하는 것은, 고정 플레이트(2)에 대한 이동 플레이트(3)의 X 방향 및 Y 방향으로의 이동량이 커진다고 하는 것이므로, 면진 대상물을 바닥면의 진동으로부터 단절하기 위해서는, 상기 하측 안내 레일(40) 및 상측 안내 레일(41)의 길이를 충분히 확보할 필요가 발생한다. 그러나 하측 안내 레일(40) 및 상측 안내 레일(41)의 길이를 충분히 설정하면, 그만큼 고정 플레이트(2) 및 이동 플레이트(3)가 대형화되어버리고, 예를 들어 이동 플레이트(3) 상에 적재하는 면진 대상물의 사이즈가 작은 경우라도, 그에 적합한 사이즈의 감쇠 면진 테이블(1)을 제공할 수 없게 되어버린다. 또한, 고정 플레이트(2)에 대한 이동 플레이트(3)의 진폭이 크면, 이러한 이동 플레이트(3)와의 간섭을 피하기 위해, 감쇠 면진 테이블(1)의 주위에 큰 여유 공간이 필요하게 되어버리는 등의 과제도 있다.
따라서 큰 진동의 입력에 대응하면서도, 감쇠 면진 테이블(1)의 소형화를 도모한다고 하는 관점에서 보면, 진동의 진폭을 억제하는 관성 질량체 부착 면진 테이블(이하, 「관성 질량 테이블」이라 함)을 감쇠 면진 테이블과 조합하여 사용하는 것이 생각된다.
이러한 관성 질량 테이블로서는, 도 1에 도시한 감쇠 면진 테이블(1)의 기본적 구성을 그대로 사용하고, 상기 고정 플레이트 및 상기 이동 플레이트에 장착된 각 로터리 댐퍼(7, 10)를 관성 질량체로 치환한 구성이 생각된다.
도 4는 도 1에 도시한 감쇠 면진 테이블(1)의 구성을 그대로 이용한 관성 질량 테이블(11)의 구성을 도시하는 평면도이고, 도 2와 마찬가지로, 상기 안내 부재(42)의 연결 플레이트(45)와 상측 슬라이드 블록(44)의 연결 상태를 해제하여, 상기 고정 플레이트(2) 상으로부터 이동 플레이트(3)를 제거한 상태를 도시하는 것이다. 이 도면에 있어서, 부호 12는 관성 질량체로, 상기 감쇠 면진 테이블(1)의 로터리 댐퍼(7) 대신에 설치되어 있다. 이 관성 질량체(12)는 동일한 두께를 갖는 금속제 원반으로, 그 중심이 고정 플레이트(2)에 대해 회전 가능하게 지지되는 동시에, 그 회전축의 일단부에는 회전 종동 부재로서의 풀리(13)가 고정되어 있다. 고정 플레이트(2)에 둘러쳐진 상기 X 방향 순환 벨트(6)는 이 풀리(13)에 대해 둘러쳐져 있다. 상기 관성 질량체(12)는 그 두께가 고정 플레이트(2)에 대한 상기 결합 플레이트(45)의 높이보다도 얇게 형성되어 있어, 고정 플레이트(2)에 대해 이동 플레이트(3)를 적층했을 때에, 이들 고정 플레이트(2)와 이동 플레이트(3)의 간극에 수용되도록 되어 있다.
또한, 상기 관성 질량체(12) 이외의 구성은 전술한 감쇠 면진 테이블(1)과 동일하므로, 여기서는 도 4 중에 동일한 부호를 부여하고 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 도 2는 고정 플레이트(2)에 대해 조립된 구성만을 도시하고 있지만, 이동 플레이트(3)에 조립된 구성도 완전하게 동일하고, 상기 감쇠 면진 테이블(1)과 마찬가지로 하여, 고정 플레이트(2)에 대해 상기 안내 부재(42)를 통해 이동 플레이트(3)를 적층함으로써, 제진 테이블(11)이 완성된다.
이 관성 질량 테이블(11)은, 도 5에 도시한 바와 같이, 전술한 감쇠 면진 테이블(1)과 서로 연결시켜, 면진 테이블 유닛(15)을 구성하여 사용된다. 그때, 감쇠 면진 테이블(1)과 관성 질량 테이블(11)의 고정 플레이트끼리, 이동 플레이트끼리가 결합되어, 감쇠 면진 테이블(1) 및 관성 질량 테이블(11)의 이동 플레이트는 일체로 되어 고정 플레이트에 대해 X 방향 및 Y 방향으로 진동하게 된다. 또한, 도 5는 감쇠 면진 테이블(1)의 고정 플레이트와 관성 질량 테이블(11)의 고정 플레이트를 결합한 상태를 도시하고 있다.
예를 들어, 관성 질량 테이블(11)에 있어서 이동 플레이트(2)가 고정 플레이트(3)에 대해 X 방향으로 진동하면, 안내 부재(42)를 구성하는 하측 슬라이드 블록(43)이 하측 안내 레일(40) 상을 X 방향으로 왕복 운동하게 되고, 그것에 수반하여 X 방향 순환 벨트(6)가 상기 관성 질량체(12)의 회전 방향을 반복하여 반전시키게 된다. 즉, 고정 플레이트(2)에 대한 이동 플레이트(3)의 X 방향의 이동이 관성 질량체(12)의 회전 운동으로 변환되어 있고, 이에 의해 고정 플레이트(2)에 대한 이동 플레이트(3)의 X 방향의 진동의 진폭을 억제하는 것이 가능해진다.
또한, 이동 플레이트(3)의 Y 방향으로의 진동에 대해서도 동일하여, 이동 플레이트(3)가 Y 방향으로 진동하면, 이러한 이동 플레이트(3)에 대해 회전 가능하게 설치된 관성 질량체(12)가 회전 방향을 반복하여 반전시켜, 고정 플레이트(2)에 대한 이동 플레이트(3)의 Y 방향의 이동이 관성 질량체(12)의 회전 운동으로 변환된다. 이에 의해, 고정 플레이트(2)에 대한 이동 플레이트(3)의 Y 방향의 진동의 진폭을 억제하는 것이 가능해진다.
즉, 상기 감쇠 면진 테이블(1)에 대해 관성 질량 테이블(11)을 연결한 것에 의해, 면진 테이블 유닛(15) 전체적으로 고정 플레이트(2)에 대한 이동 플레이트(3)의 진폭을 억제할 수 있어, 면진 테이블 유닛(15) 그 자체의 소형화, 면진 테이블 유닛(15)의 주위의 여유 공간의 삭감을 기대할 수 있다.
도 5에서는 1기(基)의 감쇠 면진 테이블(1)에 대해 1기의 관성 질량 테이블(11)을 연결하여 면진 테이블 유닛(15)을 구성하였지만, 서로 연결하는 감쇠 면진 테이블(1)과 관성 질량 테이블(11)의 수는 필요로 하는 이동 플레이트(3)의 사이즈, 이동 플레이트(3) 상에 적재하는 면진 대상물의 중량 등에 따라 적절하게 선정해도 지장이 없다. 즉, 이와 같은 면진 테이블 유닛(15)에 따르면, 감쇠 면진 테이블(1) 및 관성 질량 테이블(11)을 임의로 연결함으로써, 면진 대상물의 크기나 중량 등에 따른 면진 테이블 유닛(15)을 자유롭게 구성하는 것이 가능하여, 어떠한 면진 대상물에 대해서도 유연하게 대응할 수 있다.
또한, 로터리 댐퍼(7, 10), 관성 질량체(12) 중 어느 것도 구비하고 있지 않은 면진 테이블, 즉 고정 플레이트(2) 상에 2차원 안내 기구(4)를 통해 이동 플레이트(3)를 지지하였을 뿐인 면진 테이블(이하, 「기본 면진 테이블」이라 함)을, 상기 감쇠 면진 테이블(1) 및 관성 질량 테이블(11)과 연결하여 사용하는 것도 가능하다.
도 6은 1기의 감쇠 면진 테이블(1), 1기의 관성 질량 테이블(11) 및 2기의 기본 면진 테이블(16)을 연결하여 구성한 면진 테이블 유닛(15)의 일례를 도시하는 것이다. 이와 같이, 임의의 수의 감쇠 면진 테이블(1), 관성 질량 테이블(11) 및 기본 면진 테이블(16)을 연결하여 면진 테이블 유닛(15)을 구성함으로써, 이동 플레이트 상에 적재하는 면진 대상물의 크기, 중량, 견고성 등에 따라, 이러한 면진 테이블 유닛(15)을 자유롭게 구축하여, 이동 플레이트에 발생하는 진동의 진폭이나 당해 진동의 감쇠 특성을 제어하는 것이 가능해진다.

Claims (5)

  1. 4개의 코너부를 갖고 사각형 형상으로 형성되고, 대향하는 한 쌍의 코너부를 연결한 대각선이 X 방향 및 이 X 방향과 직교하는 Y 방향과 합치하고 있는 고정 플레이트(2)와,
    이 고정 플레이트(2)에 대해 상기 X 방향으로 이동 가능하게 설치된 안내 부재(42)와,
    면진 대상물이 적재되는 동시에 4개의 코너부를 갖고 사각형 형상으로 형성되고, 상기 안내 부재(42)에 대해 상기 Y 방향으로 이동 가능하게 설치되어 상기 고정 플레이트(2)와 평행한 면 내를 이동 가능한 이동 플레이트(3)와,
    상기 고정 플레이트(2)와 상기 안내 부재(42) 사이 및 상기 이동 플레이트(3)와 상기 안내 부재(42) 사이에 설치되고, 상기 고정 플레이트(2)에 대해 변위한 상기 이동 플레이트(3)를 초기 위치로 복귀시키는 복수의 탄성 부재(5)와,
    상기 Y 방향과 합치한 대각선 상에 위치하는 고정 플레이트(2)의 한 쌍의 코너부 및 상기 X 방향과 합치한 대각선 상에 위치하는 이동 플레이트(3)의 한 쌍의 코너부에 배치된 로터리 댐퍼(7, 10)와,
    상기 로터리 댐퍼(7, 10)에 설치된 회전 종동 부재(70, 100)에 둘러쳐지는 동시에 상기 고정 플레이트(2)의 X 방향과 합치한 대각선과 평행한 경로를 포함하는 소정의 경로로 환형상으로 둘러쳐지고, 이러한 고정 플레이트(2)에 대한 상기 안내 부재(42)의 X 방향 이동에 수반하여 순환하는 X 방향 순환 벨트(6)와,
    상기 로터리 댐퍼(7, 10)에 설치된 회전 종동 부재(70, 100)에 둘러쳐지는 동시에 상기 이동 플레이트(3)의 Y 방향과 합치한 대각선과 평행한 경로를 포함하는 소정의 경로로 환형상으로 둘러쳐지고, 상기 안내 부재(42)에 대한 상기 이동 플레이트(3)의 Y 방향 이동에 수반하여 순환하는 Y 방향 순환 벨트(9)를 구비한 것을 특징으로 하는, 감쇠 기구가 구비된 면진 테이블(1).
  2. 제1항에 있어서, 상기 X 방향 순환 벨트(6), Y 방향 순환 벨트(9), 로터리 댐퍼(7, 10)는, 상기 안내 부재(42)를 통해 적층된 상기 고정 플레이트(2)와 상기 이동 플레이트(3)의 간극 내에 수용되어 있는 것을 특징으로 하는, 감쇠 기구가 구비된 면진 테이블(1).
  3. 제1항에 있어서, 상기 탄성 부재(5)의 고정 플레이트(2)와의 결합 위치는 상기 X 방향 순환 벨트(6)에 관한 소정의 경로의 내측에 설치되는 한편, 상기 탄성 부재(5)의 이동 플레이트(3)와의 결합 위치는 상기 Y 방향 순환 벨트(9)에 관한 소정의 경로의 내측에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는, 감쇠 기구가 구비된 면진 테이블(1).
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 탄성 부재(5)는, 상기 로터리 댐퍼(7, 10)가 배치된 고정 플레이트(2)의 코너부 또는 상기 로터리 댐퍼(7, 10)가 배치된 이동 플레이트(3)의 코너부와 상기 안내 부재(42) 사이에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는, 감쇠 기구가 구비된 면진 테이블(1).
  5. 제1항에 기재된 감쇠 기구가 구비된 면진 테이블(1)과, 이 면진 테이블(1)과 연결하여 사용되는 관성 질량이 포함된 면진 테이블(11)을 구비한 면진 테이블 유닛(15)이며,
    상기 관성 질량이 포함된 면진 테이블(11)은, 상기 감쇠 기구가 구비된 면진 테이블(1)의 로터리 댐퍼(7,10) 대신에 관성 질량체를 설치한 것인 것을 특징으로 하는, 면진 테이블 유닛(15).
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Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102575484A (zh) * 2009-10-21 2012-07-11 坪田国弘 具有阻尼器类型的减振机构的隔震系统
CN102374259B (zh) * 2011-11-17 2013-06-26 故宫博物院 独立式平行连杆三维文物隔震装置
WO2013180577A1 (en) * 2012-05-30 2013-12-05 Victoria Link Limited Support system
DE112014002942T5 (de) * 2013-06-19 2016-03-24 Thk Co., Ltd Schalldämmungs- oder Vibrationsdämpfungsvorrichtung und Konstruktionselement
PT2942543T (pt) 2014-05-09 2022-06-27 Fip Mec S R L Dispositivo de isolamento para absorção de ondas sísmicas registadas por uma superfície de referência
JP6787643B2 (ja) * 2015-08-21 2020-11-18 Thk株式会社 上下免震装置
JP6274172B2 (ja) * 2015-09-01 2018-02-07 大亦　絢一郎 免震テーブル装置
CN105708245A (zh) * 2016-04-11 2016-06-29 芜湖多维减震技术有限公司 滑块滑移式隔震台座及其隔震方法
JP6706131B2 (ja) * 2016-04-21 2020-06-03 Thk株式会社 免震テーブル及びそれに用いる減衰力付与部材
CN106907424A (zh) * 2017-04-21 2017-06-30 江西中船航海仪器有限公司 一种将复杂震动转变为三轴向往复振动的减震机构
CN107489093B (zh) * 2017-07-18 2020-02-21 广州大学 一种减震缓冲机构
KR101850745B1 (ko) * 2018-02-06 2018-04-23 (주)다우텍 스프링의 장력 조절이 가능한 3차원 면진 장치
KR101854412B1 (ko) * 2018-02-08 2018-05-04 (주)다우텍 방진고무가 구비되는 3차원 면진 장치
CN112944153B (zh) * 2021-02-01 2022-07-12 江西中建勘察设计有限公司 一种建筑施工用测绘仪器保护装置
CN113606285A (zh) * 2021-08-10 2021-11-05 河北洛工致物智能科技有限公司 一种隔震平台及其工作方法
CN113958831A (zh) * 2021-11-23 2022-01-21 通道侗族自治县腾欣电子有限公司 一种机电设备机房预制组件
KR102523176B1 (ko) * 2022-10-17 2023-04-21 (주)세우테크윈 전방향 충격 흡수장치

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000283220A (ja) 1999-03-30 2000-10-13 Ohbayashi Corp 免震展示台
JP2006183681A (ja) 2004-12-24 2006-07-13 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 上下免震ユニットおよびこれを用いた免震装置
JP2006336733A (ja) 2005-06-01 2006-12-14 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 上下免震ユニットおよびこれを用いた免震装置
JP2007010110A (ja) 2005-07-04 2007-01-18 Tama Tlo Kk 免震装置及び回転慣性付加装置

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58124843A (ja) * 1982-01-20 1983-07-25 Mitsubishi Steel Mfg Co Ltd 免震装置
ES1023151Y (es) * 1992-12-03 1994-01-01 Poyatos Diaz Dispositivo vibrador para maquinaria.
JPH08159203A (ja) * 1994-12-01 1996-06-21 Maeda Corp 制振装置
JPH10169710A (ja) * 1996-12-11 1998-06-26 Mitsubishi Steel Mfg Co Ltd 構造物用免震装置
JP3680614B2 (ja) 1999-02-18 2005-08-10 株式会社大林組 免震台
JP2000297841A (ja) * 1999-04-15 2000-10-24 Yasushi Morita 免震架台
JP4115078B2 (ja) * 1999-09-14 2008-07-09 Ｔｈｋ株式会社 減衰機構付き免震装置
TW571038B (en) 1999-09-14 2004-01-11 Thk Co Ltd Base isolation device with damping mechanism
JP2002155640A (ja) * 2000-11-20 2002-05-31 Takenaka Komuten Co Ltd ケーブル制震構造
US7237364B2 (en) * 2004-07-02 2007-07-03 Chong-Shien Tsai Foundation shock eliminator
JP2006153210A (ja) * 2004-11-30 2006-06-15 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 免震装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000283220A (ja) 1999-03-30 2000-10-13 Ohbayashi Corp 免震展示台
JP2006183681A (ja) 2004-12-24 2006-07-13 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 上下免震ユニットおよびこれを用いた免震装置
JP2006336733A (ja) 2005-06-01 2006-12-14 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 上下免震ユニットおよびこれを用いた免震装置
JP2007010110A (ja) 2005-07-04 2007-01-18 Tama Tlo Kk 免震装置及び回転慣性付加装置

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