KR101187006B1 - Noncontact conveying plate for large area panel - Google Patents

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KR101187006B1
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Abstract

PURPOSE: A noncontact conveying plate for a large area panel is provided to minimize the generation of tremor due to vibration generating while transferring a target object, and to properly maintain the floated flatness of the target object. CONSTITUTION: A noncontact conveying plate for a large area panel comprises a lower plate(10), an upper plate(30), a vacuum branch plate, and an air branch plate(20). The lower plate comprises an air port(a1) and a vacuum port through which air and vacuum pressure are respectively supplied from the outside. The lower plate is connected to the vacuum port at the top to form a vacuum chamber. The upper plate comprises an air chamber, air holes, and vacuum holes. The vacuum branch plate is arranged between the lower plate and the upper plate and is connected to the vacuum chamber to form a vacuum load for delivering the vacuum pressure to the vacuum holes. The air branch plate is arranged at the top or the bottom of the vacuum chamber.

Description

대면적 패널용 반송플레이트{NONCONTACT CONVEYING PLATE FOR LARGE AREA PANEL }Carrier plate for large area panel {NONCONTACT CONVEYING PLATE FOR LARGE AREA PANEL}

본 발명은 공기의 부상력을 이용하여 각종 디스플레이패널을 비롯한 대면적의 박판 패널을 비접촉으로 이송시키는 반송플레이트에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 대면적의 패널 반송시 흔들림을 억제하여 이송 안정성을 높일 수 있도록 하고, 특히 가장자리의 처짐 현상을 억제하여 평탄도를 유지할 수 있는 대면적 패널용 반송플레이트에 관한 것이다.
The present invention relates to a conveying plate for non-contact conveyance of large area thin panels, including various display panels, using air flotation force, more specifically, to increase the transport stability by suppressing the shaking during conveyance of large area panels. In particular, the present invention relates to a conveying plate for a large-area panel which can maintain flatness by suppressing sag of edges.

일반적으로, 인라인 검사장비(In-Line FPD Automatic Optical Inspection)는 TFT LCD 패널이나 PDP, 컬러필터 등의 디스플레이 패널(display panel) 등을 안내하면서 광학렌즈와 CCD 카메라를 사용하여 검사 대상물의 이미지를 캡쳐한 후 이미지 프로세싱 알고리즘을 적용하여 사용자가 찾아내고자 하는 각종 결함을 검출해 내는 장비이다. In general, in-line FPD automatic optical inspection captures an image of an inspection object using an optical lens and a CCD camera while guiding a display panel such as a TFT LCD panel, a PDP, a color filter, etc. It is a device that detects various defects that a user wants to find by applying an image processing algorithm.

이러한 인라인 검사장비는 크게 불량을 검출하는 스캔섹션(scan section), 리뷰섹션(review section) 및 언로딩섹션(unlaod section)으로 분할된다. 이러한 검사장비는 검사 시스템으로서의 역할을 다하기 위해서는 검출한 결함의 위치와 크기를 정확하게 알아내는 것도 중요하지만, 스캔섹션(scan section)에서부터 언로딩 섹션(unlaod section)까지 피 운반체(검사대상물)를 안내하는 반송수단의 역할 또한 중요한 요소로 작용한다.The inline inspection equipment is largely divided into a scan section, a review section and an unlaod section for detecting a defect. It is important for such inspection equipment to accurately locate and size the defects detected in order to serve as an inspection system, but it guides the carrier (test object) from the scan section to the unlaod section. The role of the conveying means is also an important factor.

종래 반송수단으로는 롤러(roller)의 회전력에 의해서 피 운반체를 반송하는 접촉식 반송수단이 개시된 바 있으나, 이는 롤러의 회전력에 의해서 반송이 이루어지므로 피 운반체에 스크래치 및 롤러 회전으로 인한 얼룩이 발생할 뿐만 아니라 마찰력이 작거나 회전력이 약하면 피 운반체가 미끄러지기 때문에 원활한 반송이 어려운 문제점이 있었다.Conventionally, the conveying means has been disclosed a contact conveying means for conveying the carrier by the rotational force of the roller (roller), which is carried out by the rotational force of the roller, not only does not cause stains due to scratches and roller rotation in the carrier If the friction force is small or the rotational force is weak, there is a problem that smooth conveyance is difficult because the carrier is slipped.

전술한 문제점을 해결하고자 최근에는 미세한 다수의 에어홀에 압축에어를 공급하고 에어홀에서 분출되는 에어로 피 운반체를 부상 반송하는 비접촉식 반송수단이 이용되고 있다. 이러한 비접촉식 반송플레이트 중에서도 에어가 분출되는 에어홀의 내부에 임의의 미세 틈새를 형성하여 분출시키도록 한 것으로, 대한민국 특허등록 제650290호(2006.11.27. 공고) 및 대한민국 특허등록 제886968호(2009.03.09. 공고)가 개시된 바 있다.In order to solve the above-mentioned problems, non-contact conveying means for supplying compressed air to a plurality of fine air holes and floatingly conveying the aeronautical carrier body ejected from the air holes has recently been used. Among these non-contact conveying plates, a minute gap is formed inside the air hole through which the air is ejected to eject the fine particles. Korean Patent Registration No. 650290 (Nov. 27, 2006) and Korean Patent Registration No. 886968 (2009.03.09) Has been disclosed.

먼저, 특허 제650290호는 도 1에서 보는 바와 같이 반송플레이트의 상판(110)에 형성되는 에어홀(a1)의 내부에 볼트(112)가 체결되도록 하고, 이 볼트(112)에 미세틈이 형성된 와셔(113)를 함께 장착하여 와셔(113)와 볼트(112)의 나선으로 에어가 분출되도록 하는 구성을 갖는다.First, as shown in FIG. 1, Patent No. 650290 allows the bolt 112 to be fastened to the inside of the air hole a1 formed in the upper plate 110 of the transport plate, and a fine gap is formed in the bolt 112. Mounting the washer 113 together has a configuration such that the air is ejected to the spiral of the washer 113 and the bolt 112.

한편, 특허 제886968호는 도 2에서 보는 바와 같이 반송플레이트의 상판(220) 에 형성되는 에어홀(221)의 내부에 스프링핀(222)이 삽입되도록 하여 핀부(223)가 에어홀(221)의 내측에 삽입되면서 일정한 미세 틈새를 형성시킨 구성을 갖는다.On the other hand, Patent No. 886968, as shown in Figure 2 so that the spring pin 222 is inserted into the inside of the air hole 221 formed in the upper plate 220 of the conveying plate pin portion 223 is the air hole 221 It has a configuration in which a constant fine gap is formed while being inserted into the inside.

여기에서, 특허 제650290호는 저항수단인 볼트(112)와 와셔(113)가 있어 저유량의 에어가 분출되도록 한 것인데, 에어홀(111)상에 형성된 암나사와 볼트(112)에 형성된 수나사가 항상 일정한 규격으로 제공되는 것이 아니기 때문에 에어홀(111)로 분출되는 에어가 균일하지 못한 문제점이 있었다. 즉, 암나사는 인위적인 가공(탭가공)에 의해 형성시키기 때문에 일정한 규격을 갖게 되는데, 볼트는 암나사에 체결될 수 있는 사이즈를 별도의 가공없이 기성제품을 사용하기 때문에 나선사이로 빠져나가는 에어의 양이 에어홀마다 큰 차이를 나면서 분출되는 것이다. 이처럼 에어의 분출이 에어홀마다 큰 격차를 나타나게 되면, 반송플레이트 위에 부상된 피부상체가 평탄도를 유지하기 어렵게 되고, 심한 진동을 일으키게 되어 검사의 신뢰도가 떨어지게 된다.Here, Patent No. 650290 has a bolt 112 and a washer 113, which is a resistance means to eject a low flow of air, the female screw formed on the air hole 111 and the male screw formed on the bolt 112 Since it is not always provided to a certain standard, there is a problem that the air ejected into the air hole 111 is not uniform. In other words, the female thread is formed by artificial processing (tab processing), so it has a certain size.The bolt has a size that can be fastened to the female thread without using a ready-made product. The hole is ejected with a big difference. In this way, when the air is blown out by a large gap for each air hole, the injured skin on the conveying plate becomes difficult to maintain flatness, causing severe vibrations, thereby reducing the reliability of the inspection.

한편, 특허 제886968호는 일정한 규격을 갖는 에어홀(221)과 이 에어홀(221)에 일정한 규격을 갖는 핀부(223)를 삽입시켜 전 구간이 균일한 분포로 에어분출을 유도하였으나, 고정역할을 담당하는 스프링부(224)가 항상 수직하게 고정되지 않아 핀부(223)가 기울어지게 삽입되는가 하면, 핀부(223)의 직진성에도 영향이 있어 에어홀(221)의 틈새를 모두 균일하게 맞출 수 없는 문제점이 있었다. 이러한 문제점을 해결하고자 본 출원인은 대한민국 특허등록 제10-0938355호(2010.01.22 공고)를 통해 ′헬리컬나선을 통해 균일하면서 높은 압력을 갖도록 에어가 분출되는 비접촉식 반송플레이트′를 제안한 바 있다.On the other hand, Patent No. 886968 has an air hole 221 having a certain standard and the pin portion 223 having a certain standard is inserted into the air hole 221 to induce air ejection with a uniform distribution throughout the section, but the fixed role The spring 224 is not always vertically fixed so that the pin 223 is inserted at an angle, and the straightness of the pin 223 is also affected, which makes it impossible to uniformly fit all the gaps of the air hole 221. There was a problem. In order to solve this problem, the applicant has proposed a 'non-contact conveying plate in which air is ejected to have a uniform and high pressure through the helical spiral through the Republic of Korea Patent Registration No. 10-0938355 (2010.01.22 announcement).

본 출원인 제안한 비접촉식 반송플레이트는, 외부의 에어를 유입받아 상부면상에 형성된 에어챔버에 에어가 차이는 중판과, 상기 중판의 상부에 결합되어 상기 에어챔버내의 에어를 상부면상으로 분출시키도록 상기 에어챔버와 연통되는 다수의 에어홀이 형성된 상판을 포함하는 비접촉식 반송플레이트에 있어서, 상기 에어홀의 내부 하측에는 상기 에어홀보다 더 넓은 직경을 갖는 확장부가 형성되고, 상기 확장부내에는 피치(pitch)가 큰 헬리컬나선이 형성되며, 상기 헬리컬나선에는 소정의 마찰력을 갖도록 핀이 삽입되는 구성으로서, 이러한 구성의 비접촉식 반송플레이트는 에어홀의 내부에 핀과 헬리컬나선홈 사이의 틈새로 에어가 흐르도록 하여 각각의 에어홀에서 분출되는 유량의 편차를 최소화하고 각 에어홀의 에어압과 분출량을 균일하게 유지할 수 있다.The non-contact conveying plate proposed by the present applicant is an air chamber in which air is different from an air chamber formed on an upper surface by receiving external air, and is coupled to an upper portion of the middle plate to eject the air in the air chamber onto the upper surface. In the non-contact conveying plate comprising a top plate formed with a plurality of air holes in communication with, the inner side of the air hole is formed with an extension having a larger diameter than the air hole, the helical having a large pitch in the expansion portion A spiral is formed and a pin is inserted into the helical spiral to have a predetermined frictional force. The non-contact conveying plate having such a configuration allows air to flow through a gap between the pin and the helical spiral groove in the air hole. Minimizes the variation in the flow rate ejected from the air and uniformly adjusts the air pressure and ejection volume of each air hole I can keep it.

그러나, 본 출원인이 제안한 비접촉식 반송플레이트는 에어홀의 내면에 헬리컬 나선을 가공해야 하므로 가공성이 대단히 곤란하여 양산성과 수율성이 크게 떨어지는 단점이 있었다. 또한, 에어홀을 통해 분출되는 에어의 추진 회전력은 종래 기술에 비하여 그 성능이 양호하지만 여전히 피 운반체를 안정되게 지지한 상태로 운반하는데 있어 많은 제약이 따르는 문제점이 있었다.However, the non-contact conveying plate proposed by the present applicant has a disadvantage in that the helical spiral needs to be processed on the inner surface of the air hole, so that the workability is very difficult and the productivity and yield are greatly reduced. In addition, the propulsion rotational force of the air blown through the air hole is better than the prior art, but there is a problem in that there are still many restrictions in carrying a stable support of the carrier.

상기의 문제점을 해결하고자 본 출원인은 대한민국 특허등록 제10-1091561호(2011.12.13 공고)를 통해 ′비접촉식 반송플레이트′를 제안한 바 있다.In order to solve the above problems, the applicant has proposed a 'contactless conveying plate' through Republic of Korea Patent Registration No. 10-1091561 (2011.12.13 announcement).

본 출원인이 제안한 비접촉식 반송플레이트는, 외부로부터 에어를 공급받는 에어포트가 형성된 하판과, 상기 하판의 상부에 구비되는 것으로 상기 에어포트에 대응되는 관통구멍 및 에어를 분기시키는 에어로드가 형성된 에어분기판과; 상기 에어분기판의 상부에 구비되어 피 운반체를 부상 이송시키는 에어를 분출하는 요소로, 상기 관통구멍을 통해 유입된 에어를 에어로드에 전달하는 에어챔버 및 상기 에어로드에 연결되어 유입되는 공기가 통과하면서 회오리 형태의 추진 회전력을 갖도록 나선홈을 형성하여 된 와류 발생부 및 이 와류 발생부의 상부에 위치되어 와류가 직진성을 가지고 분출되게 수직면을 형성하여 된 직진 유도부로 이루어진 에어홀을 포함하는 상판으로 이루어지는 구성으로서, 이러한 구성의 비접촉식 반송플레이트는 에어홀의 구조를 개량하여 회오리 형태의 추진 회전력을 가진 상태에서 직진성을 유지되게 함으로써 피 운반체에 대한 안정되고 흔들림 없는 이송이 가능하다. The non-contact conveying plate proposed by the applicant has a lower plate having an air supply air from the outside, and an air branch plate having an upper portion of the lower plate and an air rod for branching a through-hole corresponding to the air port and air. and; It is provided in the upper portion of the air branch plate for ejecting the air for conveying the object to be conveyed, the air chamber for passing the air introduced through the through hole to the air rod and the air flowing in connection with the air rod passes While forming a spiral groove so as to have a whirlwind-propelled rotational force and the upper plate comprising an air hole consisting of a vortex generating portion formed in the upper portion of the vortex generating portion and a straight induction portion formed in a vertical plane so that the vortex is ejected with straightness As a constitution, the non-contact conveying plate of this constitution can improve the structure of the air hole to maintain the straightness in the state having the whirlwind propulsion rotation force, thereby enabling stable and shake-free transfer to the carrier.

그러나, 상기 본 출원인이 제안한 비접촉식 반송플레이트는 헬리컬 나선홈을 형성한 와류핀을 에어홀 내에 억지 끼워 맞춤으로 조립시켜야 하는데, 와류핀의 가공성이 상당히 난해하여 생산성이 낮을 뿐만 아니라 조립성 역시 높은 정밀도가 요구됨에 따라 균일한 양산 품질의 유지가 곤란하고, 제조원가가 높은 단점이 있었다.However, the non-contact conveying plate proposed by the present applicant has to assemble the vortex pins formed with the helical spiral grooves by force fitting in the air holes, and the machinability of the vortex pins is very difficult, so that the productivity is low and the assembly precision is also high. As required, it was difficult to maintain a uniform mass production quality, there was a disadvantage of high manufacturing cost.

또한, 최근의 디스플레이 패널 및 태양전지 패널 등을 비롯한 각종 패널 들은 대형화 추세에 따라 평탄도를 유지한 상태로의 안정적인 이송이 점차 곤란해지고 있으며, 특히 도 3에 나타내 보인 바와 같이 디스플레이의 대면적화에 따라 이송방향을 기준으로 좌?우측 테두리 부분의 처짐 현상이 심화되는 것에 의해 공정불량으로 이어지는 심각한 문제점을 야기하고 있는 실정이다.In addition, recently, various panels including display panels, solar cells, and the like have become increasingly difficult to maintain stable flatness as the size of the panel increases. In particular, as shown in FIG. As the phenomenon of sagging of the left and right edges intensifies with respect to the conveying direction, it causes a serious problem leading to a process defect.

즉, 도 3을 참조하면, 피 운반체(p)의 하부 중심측에 위치한 에어홀을 통해 분출되는 에어압은 외부로 빠져나가지 못하고 정체되는 체류기류(a)를 형성하고, 피 운반체(p)의 테두리측에 위치한 에어홀에서 분출되는 에어압은 외기와 접한 상태로 있음에 분출된 에어가 상기 체류기류(a)측으로 유동되지 못하고 외측으로 급속하게 빠져나가는 배기기류(b)를 형성함에 따라 결과적으로 피 운반체(p)는 도면에서 보는 바와 같이 중심부분이 볼록하게 솟아오르는 등 평탄도가 불량해지는 문제점이 발생한다.That is, referring to Figure 3, the air pressure ejected through the air hole located in the lower center side of the carrier (p) forms a stagnant air stream (a) does not escape to the outside, and the As the air pressure ejected from the air hole located at the edge side is in contact with the outside air, the ejected air forms an exhaust air stream b which does not flow to the residence air flow a and rapidly exits to the outside. As shown in the drawing, the to-be-carried body p has a problem that the flatness is poor, such that the central part rises convexly.

또한, 최근 친환경 에너지원으로 각광받고 있는 솔라 패널의 경우 대면적이면서 중량물의 유리기판(Borosilicate 및 Sodalime 계열)을 반송하면서 증착 등의 공정을 진행함에 따라 국부적인 하중 작용에 따른 평탄도 관리가 난해하여 결과적으로 낮은 양산 수율성으로 인한 경제적인 제조가 어려운 문제점이 있었다.
In addition, solar panels, which are in the spotlight as an environmentally friendly energy source, have a large area and have a large surface area (Borosilicate and Sodalime series), and carry out the deposition process. As a result, economical manufacturing is difficult due to low yield yield.

등록특허공보 제10-0938355호, 2쪽, 청구항 1, 도면 3.Korean Patent Publication No. 10-0938355, p. 2, claim 1, drawing 3. 상기 특허문헌1은 헬리컬나선을 통해 균일하면서 높은 압력을 갖도록 에어가 분출되는 비접촉식 반송플레이트에 관한 것으로, 그 청구항 1에는 외부의 에어를 유입받아 상부면상에 형성된 에어챔버에 에어가 차이는 중판과, 상기 중판의 상부에 결합되어 상기 에어챔버내의 에어를 상부면상으로 분출시키도록 상기 에어챔버와 연통되는 다수의 에어홀이 형성된 상판을 포함하는 비접촉식 반송플레이트에 있어서, 상기 에어홀의 내부 하측에는 상기 에어홀보다 더 넓은 직경을 갖는 확장부가 형성되고, 상기 확장부내에는 피치(pitch)가 큰 헬리컬나선이 형성되며, 상기 헬리컬나선에는 소정의 마찰력을 갖도록 핀이 삽입됨을 특징으로 하는 비접촉식 반송플레이트가 개시되어 있다.The patent document 1 relates to a non-contact conveying plate in which the air is ejected to have a uniform and high pressure through the helical spiral, the claim 1 is the middle plate and the air difference in the air chamber formed on the upper surface by receiving the external air, A non-contact conveying plate comprising a top plate coupled to an upper portion of the middle plate and having a plurality of air holes in communication with the air chamber so as to eject air in the air chamber onto an upper surface thereof, wherein the air hole is disposed below the inside of the air hole. A non-contact conveying plate is disclosed in which an extension having a larger diameter is formed, a helical spiral having a large pitch is formed in the extension, and a pin is inserted into the helical spiral to have a predetermined frictional force. . 등록특허공보 제10-1091561호, 2쪽, 청구항 1, 도면 4.Korean Patent Publication No. 10-1091561, p. 2, claim 1, drawing 4. 상기 특허문헌2는 비접촉식 반송플레이트에 관한 것으로, 그 청구항 1에는 외부로부터 에어를 공급받는 에어포트가 형성된 하판과; 상기 하판의 상부에 구비되는 것으로 상기 에어포트에 대응되는 관통구멍 및 에어를 분기시키는 에어로드가 형성된 분기판과; 상기 분기판의 상부에 구비되어 피 운반체를 부상 이송시키는 에어를 분출하는 요소로, 상기 관통구멍을 통해 유입된 에어를 에어로드에 전달하는 에어챔버 및 상기 에어로드에 연결되어 유입되는 공기가 통과하면서 회오리 형태의 추진 회전력을 갖도록 유도하는 와류 발생부를 형성하는 상판을 포함하는 비접촉식 반송플레이트에 있어서, 상기 상판은 상기 와류 발생부의 상부에 위치되어 와류가 직진성을 가지고 분출되게 수직면을 형성하여 된 직진 유도부로 이루어진 에어홀을 형성하되, 이 에어홀은 원통형의 직관으로 형성되고, 상기 와류 발생부는 상기 에어홀의 전체 길이를 기준으로 50~80%의 범위로 구비되는 것으로 외면에 헬리컬 나선홈이 형성된 금속재로 된 와류핀이 상기 에어홀의 내부에 억지 끼워 맞춤으로 조립되어 형성되며, 상기 직진 유도부는 상기 상판의 상면과 직각을 갖도록 형성되고, 상기 와류핀과 분기판은 금속재로 성형되어 디스플레이 패널에서 발생되는 정전기를 와류핀을 통해 분기판으로 유도하고, 상기 상판과 분기판 그리고 하판은 상호 대응되는 위치에 나사체결을 위해 형성된 나사구멍에 상기 분기판으로 유도된 정전기를 외부로 대류 방전시키도록 금속재로 된 나사부재가 체결되는 것을 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 비접촉식 반송플레이트가 개시되어 있다.The patent document 2 relates to a non-contact conveying plate, the claim 1 includes a lower plate formed with an air port that receives air from the outside; A branch plate provided at an upper portion of the lower plate and having a through hole corresponding to the air port and an air rod for branching air; It is provided in the upper part of the branch plate for ejecting the air for conveying the object to be transported, the air chamber for passing the air introduced through the through hole to the air rod and the air flowing in connection with the air rod while passing through In the non-contact conveying plate comprising a top plate for forming a vortex generating unit for inducing a whirlwind-propelled rotational force, the top plate is located in the upper portion of the vortex generating unit is a straight induction unit to form a vertical plane so that the vortex is ejected with a straightness The air hole is formed, the air hole is formed of a cylindrical straight pipe, the vortex generating portion is provided in the range of 50 to 80% based on the entire length of the air hole is made of a metal material with a helical spiral groove formed on the outer surface The vortex pin is formed by being assembled into an interference fit inside the air hole, The induction part is formed to have a right angle with the upper surface of the upper plate, the vortex pin and the branch plate is formed of a metal material to induce static electricity generated in the display panel through the vortex pin to the branch plate, the upper plate, the branch plate and the lower plate Disclosed is a non-contact conveying plate, characterized in that it further comprises a screw member made of a metal material to convectively discharge static electricity induced by the branch plate to a screw hole formed for screwing at a mutually corresponding position. have.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명의 목적은 박판이면서 대면적의 패널 및 각종 디스플레이 패널로 이루어진 피 운반체의 이송시 패널의 국부 처짐 현상을 억제하여 평탄도가 유지된 상태로의 이송을 보장할 수 있는 대면적 패널용 반송플레이트를 제공하는데 있다.The present invention was created to solve the problems of the prior art as described above, and an object of the present invention is a flatness by suppressing the local deflection phenomenon of the panel during transport of the carrier body consisting of a thin panel and a large area panel and various display panels. It is to provide a conveying plate for a large area panel that can ensure the transfer to the state maintained.

즉, 본 발명은 피 운반체의 이송시 이송방향에 대하여 양측에 위치한 에어분출압이 중심에 위치한 에어분출압에 대해 높은 압력을 유지할 수 있게 함으로써 피 운반체의 양측 테두리 부분의 처짐현상을 억제하여 이송 평탄도를 정밀하게 규제하여 안정된 이송을 보장할 수 있는 대면적 패널용 반송플레이트를 제공하는데 있다.That is, according to the present invention, the air ejection pressures located at both sides with respect to the conveying direction can be maintained at a high pressure with respect to the air ejection pressure located at the center during conveyance of the carrier, thereby suppressing the deflection of both edge portions of the carrier to convey the flatness. The present invention provides a conveying plate for a large-area panel capable of precisely regulating the drawing to ensure stable feeding.

또한, 본 발명은 솔라패널에 사용되는 유리기판 등과 같이 대면적이면서 중량물의 제품의 공정 이송시에도 국부 하중을 보상하여 평탄도를 정밀 관리할 수 있음에 따라 생산 수율성의 향상과 경제적인 제조를 가능하게 하는 효과가 기대된다. In addition, the present invention can improve the production yield and economical manufacturing as it can precisely manage the flatness by compensating for the local load even during the process transfer of heavy products such as glass substrates used in solar panels. The effect to make it look forward is expected.

본 발명의 다른 목적은 분출되는 에어가 회오리 형태의 추진 회전력을 유지하도록 하여 피 운반체에 대한 흔들림없는 이송을 보장할 수 있는 대면적 패널용 반송플레이트를 제공하는데 있다.
It is another object of the present invention to provide a conveying plate for a large-area panel which can ensure the unshakable conveyance to the to-be-carried body by maintaining the propulsion rotational force in the whirlwind form.

상기의 목적을 실현하기 위한 본 발명의 바람직한 실시례에 따른 대면적 패널용 반송플레이트는, 일면에 외부로부터 공급받은 에어가 채워지는 홈 형태의 에어챔버가 형성된 하판과; 상기 하판의 상부에 구비되어 상기 에어챔버로부터 에어를 공급받아 분기시키는 에어로드가 복수 형성된 에어분기판과; 상기 에어분기판의 상부에 구비되어 상기 에어로드로부터 에어를 공급받아 상측으로 분출하는 에어홀 형성된 상판을 포함하되, 상기 에어로드는 에어가 빠르게 유동되게 좁은 틈을 형성하여 된 급속로드 및 이 급속로드에 대해 상대적으로 늦은 속도로 에어가 유동되게 저항요소를 갖는 지연로드로 구성된 것을 그 특징으로 한다.According to a preferred embodiment of the present invention for realizing the above object, a large area panel conveying plate includes: a lower plate having a groove-shaped air chamber filled with air supplied from the outside on one surface thereof; An air branch plate provided at an upper portion of the lower plate and having a plurality of air rods configured to branch by receiving air from the air chamber; It includes an upper plate formed in the upper portion of the air branch plate is provided with an air hole for receiving air from the air rod and ejected to the upper side, wherein the air rod is formed in the rapid rod and the rapid rod formed a narrow gap for the air to flow quickly It is characterized in that it consists of a delay rod having a resistance element to allow air to flow at a relatively slow speed.

본 발명의 바람직한 다른 실시례에 따른 대면적 패널용 반송플레이트는, 외부로부터 에어와 진공압이 각각 공급되는 에어포트 및 진공포트가 구비되고, 상면으로는 상기 진공포트에 연결되어 진공압이 작용하는 홈 형상의 진공챔버가 형성된 하판과; 상기 하판의 상부에 구비되어 하면에 에어포트로부터 공급받은 에어가 채워지는 홈 형상의 에어챔버 및 상측으로 에어분출 및 진공압이 작용하도록 에어홀 및 진공홀이 형성된 상판과; 상기 하판과 상판 사이에 구비되는 것으로, 상기 진공챔버에 연결되어 진공압을 상기 진공홀에 전달하는 진공로드가 형성된 진공분기판과; 상기 진공챔버의 상측 또는 하측에 구비되는 것으로, 상기 에어챔버에 연결되어 공급받은 에어를 분기시켜 상기 에어홀에 공급하는 에어로드가 형성된 에어분기판을 포함하되, 상기 에어로드는 에어가 빠르게 유동되게 좁은 틈을 형성하여 된 급속로드 및 이 급속로드에 대해 상대적으로 늦은 속도로 에어가 유동되게 저항요소를 갖는 지연로드로 이루어진 것을 더 포함하여 구성된 것을 그 특징으로 한다.According to another preferred embodiment of the present invention, a large-area panel conveying plate includes an air port and a vacuum port to which air and a vacuum pressure are supplied from the outside, respectively, and an upper surface thereof is connected to the vacuum port to act as a vacuum pressure. A lower plate on which a groove-shaped vacuum chamber is formed; An upper surface of the lower plate provided with a groove-shaped air chamber in which air supplied from the air is filled on the lower plate, and an upper plate formed with an air hole and a vacuum hole so that air ejection and vacuum pressure act on the upper side; A vacuum branch plate provided between the lower plate and the upper plate and having a vacuum rod connected to the vacuum chamber to transfer a vacuum pressure to the vacuum hole; The air chamber is provided above or below the vacuum chamber, and includes an air branch plate having an air rod connected to the air chamber to supply air to the air hole, wherein the air rod is narrow so that air flows quickly. It is characterized in that it further comprises a rapid rod formed by forming a gap and a delay rod having a resistance element to allow air to flow at a relatively slow speed with respect to the rapid rod.

본 발명의 바람직한 또 다른 실시례에 따른 대면적 패널용 반송플레이트는, 외부로부터 에어와 진공압을 각각 공급받아 상면에 형성된 에어챔버와 진공챔버로 압이 작용하도록 되어 있는 하판과; 상기 하판의 상부에 구비되어 상기 에어챔버와 진공챔버에 연결되어 에어분출 및 진공압이 작용하는 에어홀 및 진공홀이 관통 형성된 상판과; 상기 하판과 상판 사이에 구비되는 것으로 상기 진공챔버에 연결되어 진공압을 상기 진공홀에 전달하는 진공로드가 형성된 진공분기판과; 상기 진공분기판의 상측 또는 하측에 구비되어 상기 에어챔버로부터 에어를 공급받아 분기시켜 상기 에어홀에 공급하는 에어로드가 형성된 에어분기판을 포함하되,상기 에어로드는 에어가 빠르게 유동될 수 있게 좁은 틈을 형성하여 된 급속로드 및 이 급속로드에 대해 상대적으로 늦은 속도로 에어가 유동되게 저항요소를 갖는 지연로드로 이루어진 것을 더 포함하여 구성되는 것을 그 특징으로 한다.According to another preferred embodiment of the present invention, a large-area panel conveying plate includes a lower plate configured to receive pressure from an air and a vacuum chamber formed on an upper surface by receiving air and vacuum pressure from the outside, respectively; An upper plate provided at an upper portion of the lower plate and connected to the air chamber and the vacuum chamber and having air holes and vacuum holes through which air ejection and vacuum pressure act; A vacuum branch plate provided between the lower plate and the upper plate and having a vacuum rod connected to the vacuum chamber to transfer a vacuum pressure to the vacuum hole; And an air branch plate provided at an upper side or a lower side of the vacuum branch plate and having an air rod configured to supply air to the air hole by branching the air from the air chamber, wherein the air rod has a narrow gap so that air can flow quickly. It is characterized in that it further comprises a rapid rod formed by forming a delay rod having a resistance element to flow air at a relatively slow speed relative to the rapid rod.

본 발명의 바람직한 한 특징으로서, 상기 에어로드는, 상기 급속로드와 지연로드가 서로 연결되어 에어를 공급받아 분기되게 구비되거나, 또는 상기 급속로드와 지연로드가 각각 독립적으로 에어를 공급받도록 구비되는 것에 있다.As a preferable feature of the present invention, the air rod is provided such that the rapid rod and the delay rod are connected to each other and branched by receiving air, or the rapid rod and the delay rod are provided to receive air independently of each other. .

본 발명의 바람직한 다른 특징으로서, 상기 에어로드는, 피 운반체의 중심부 측으로는 지연로드가 배치되고, 피 운반체의 외곽부 측으로는 상기 급속로드가 배치되게 구성되는 것에 있다.As another preferable feature of the present invention, the air rod is configured such that a delay rod is disposed on the central side of the carrier and the rapid rod is disposed on the outer side of the carrier.

본 발명의 바람직한 또 다른 특징으로서, 상기 지연로드는 상기 급속로드에 대해 에어에 유동저항을 발생시켜 분출속도가 늦어지도록 굴곡형상을 갖는 구간을 형성하여 된 저항요소를 구비하거나, 또는 상기 지연로드는 상기 급속로드에 대해 상대적으로 더 긴 유동거리를 형성하여 에어의 분출속도가 늦어지도록 한 저항요소를 구비하거나, 또는 상기 지연로드는 상기 급속로드에 대해 에어의 전체 통과량이 감소되는 크기를 갖도록 한 저항요소 중 어느 하나 또는 하나 이상 조합하여 포함하는 것에 있다.As another preferable feature of the present invention, the delay rod has a resistance element formed by forming a section having a curved shape so as to generate a flow resistance to the air against the rapid rod to slow the blowing speed, or the delay rod is A resistance element having a relatively longer flow distance with respect to the rapid rod to slow the air blowing rate, or the delay rod having a size such that the total amount of air passing through the rapid rod is reduced. It is to include in combination any one or more than one of the elements.

본 발명의 바람직한 또 다른 특징으로서, 상기 급속로드와 상기 지연로드는 각각 일측 끝단부에 반원호 형상의 토출부가 형성되고, 이 토출부는 상기 에어홀의 내부지름에 대해 감소된 지름 크기를 갖도록 형성되는 것에 있다.In another preferred aspect of the present invention, the rapid rod and the delay rod are each formed at one end of a semi-circular discharge portion, the discharge portion is formed to have a reduced diameter size with respect to the inner diameter of the air hole have.

본 발명의 바람직한 또 다른 특징으로서, 상기 에어홀은, 유입된 에어가 통과하면서 회오리 형태의 추진 회전력을 갖도록 유도하는 와류발생부와; 상기 와류발생부의 상부에 위치되어 와류가 직진성을 가지고 분출되게 유도하는 수직면으로 이루어진 직진유도를를 포함하여 구성되는 것에 있다.As another preferred feature of the present invention, the air hole, the vortex generating unit for inducing the introduced air to have a whirlwind-propelled rotational force; Located in the upper portion of the vortex generating portion is to include a straight induction consisting of a vertical plane to induce the vortex is ejected with a straightness.

본 발명의 바람직한 또 다른 특징으로서, 상기 와류발생부는 상기 에어홀의 전체 길이를 기준으로 50~80%의 범위로 구비되는 것으로 외면에 헬리컬 나선홈이 형성된 금속재로 된 와류핀이 끼워맞춤으로 조립되어 형성되거나, 또는 상기 에어홀의 전체 길이를 기준으로 50~80%의 범위를 갖는 구간의 내주면에 헬리컬 나선홈을 형성하거나, 또는 상기 에어홀의 내주면에 헬리컬 나선홈을 형성하고 원기둥 형태의 핀을 끼워 맞춤으로 삽입하여 형성되는 것에 있다.As another preferable feature of the present invention, the vortex generating unit is provided in a range of 50 to 80% based on the entire length of the air hole, and is formed by fitting a vortex pin made of a metal material having a helical spiral groove formed on the outer surface thereof. Or forming a helical spiral groove on an inner circumferential surface of a section having a range of 50 to 80% based on the total length of the air hole, or forming a helical spiral groove on an inner circumferential surface of the air hole and fitting a cylindrical pin. It is to be formed by inserting.

본 발명의 바람직한 또 다른 특징으로서, 상기 진공로드는 상기 진공챔버에 연결되어 진공압이 작용하도록 구멍을 길게 형성하여 된 급속슬릿과; 상기 급속슬릿에 대해 상대적으로 늦은 속도로 진공압이 작용하도록 굴곡형상을 갖는 구간을 형성하거나 또는 상기 급속슬릿에 비해 더 긴 유동거리를 갖도록 형성하거나 또는 상기 급속슬릿에 비해 진공압이 작용하는 용적이 감소되는 크기를 갖도록 형성한 저항요소를 포함하는 지연슬릿과; 상기 급속슬릿과 지연슬릿의 각 일측 끝에 형성되어 상기 진공홀에 연결되는 흡입부를 포함하여 구성되는 것에 있다.
As another preferred feature of the present invention, the vacuum rod is connected to the vacuum chamber and the rapid slit formed by forming a long hole so that the vacuum pressure acts; A section having a curved shape so as to operate the vacuum pressure at a relatively slow speed with respect to the rapid slit, or have a longer flow distance than the rapid slit, or the volume of the vacuum pressure compared to the rapid slit A delay slit including a resistance element formed to have a reduced size; And a suction part formed at one end of each of the rapid slit and the delay slit and connected to the vacuum hole.

본 발명에 따른 대면적 패널용 반송플레이트는 박판이면서 대면적의 패널 또는 각종 디스플레이 패널을 비롯한 각종 피 운반체의 이송시 국부처짐 현상을 효과적으로 억제하여 평탄한 상태로의 안정된 이송을 보장할 수 있는 이점이 있다.The conveying plate for a large area panel according to the present invention is advantageous in that it is a thin plate and can effectively suppress local deflection during the conveyance of various carriers, including large-area panels or various display panels, thereby ensuring stable feeding in a flat state. .

특히, 분출되는 에어가 회오리 형태의 상승기류를 형성함에 따라 높은 직진성을 유지할 수 있을 뿐만 아니라 중심부의 압이 주변에 비해 상대적으로 낮으므로 피 운반체를 부상시키면서 압이 낮은 중심부에서는 끌어 당기는 작용이 일어나므로 결과적으로 피 운반체의 이송시 발생하는 진동에 의한 떨림 발생을 최소화할 수 있을 뿐만 아니라 피 운반체의 부상 평탄도를 양호하게 유지시킬 수 있는 효과가 있다.In particular, as the ejected air forms a whirlwind-like upward airflow, not only can it maintain a high linearity but also the pressure of the center is relatively low compared to the surroundings, so that a pulling action occurs at the center of the low pressure while injuring the carrier. As a result, it is possible to minimize the occurrence of shaking due to the vibration generated during the transport of the carrier, as well as to maintain the floating flatness of the carrier.

또한, 본 발명은 제조과정에서 피 운반체의 면적과 이송 속도를 고려하여 각 에어홀의 분출압을 달리 결정하여 맞춤형 제조가 가능하므로, 결과적으로 피 운반체에 최적화된 부상압을 갖는 대면적 패널용 반송플레이트의 제공이 가능한 이점이 있다.In addition, the present invention can be customized by determining the ejection pressure of each air hole in consideration of the area and the conveying speed of the carrier in the manufacturing process, as a result, a large area panel transport plate having a floating pressure optimized for the carrier There is an advantage that can be provided.

또한, 본 발명은 에어가 분기되는 분기 슬릿홀이 형성된 중판과, 상기 분기 슬릿홀에 연결되는 에어홀 및 챔버를 형성한 상?하판으로 구비되는 간소한 구조로 이루어짐에 따라 제작이 용이하여 경제적인 제조가 가능하고, 종전의 제품에 비해 두께와 무게를 획기적으로 감소시킬 수 있으므로 설치 제약에 따른 자유도를 해소할 수 있는 산업상 대단히 유용한 효과가 기대된다.
In addition, the present invention is easy and economical as it is made of a simple structure provided with a middle plate formed with a branch slit hole through which air is branched, and an upper and lower plates formed with an air hole and a chamber connected to the branch slit hole. It is possible to manufacture, and since the thickness and weight can be significantly reduced compared to the previous products, it is expected that a very useful effect in the industry that can eliminate the freedom of installation constraints.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다. 이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
The features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description based on the accompanying drawings. Prior to that, terms and words used in the present specification and claims should not be construed in a conventional and dictionary sense, and the inventor may properly define the concept of the term in order to best explain its invention It should be construed as meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention.

도 1 및 도 2는 종래 기술에 따른 반송플레이트를 나타낸 도면,
도 3은 종래 기술에 따른 피 운반체의 이송 상태를 설명하기 위한 도면,
도 4는 본 발명에 따른 대면적 패널용 반송플레이트를 나타낸 사시도,
도 5는 본 발명에 따른 대면적 패널용 반송플레이트를 나타낸 분해 사시도,
도 6은 본 발명에 따른 대면적 패널용 반송플레이트를 하측에서 바라본 사시도,
도 7은 본 발명에 따른 대면적 패널용 반송플레이트에서 에어분기판을 나타낸 평면도,
도 8은 도 7의 A-A선을 나타낸 단면도,
도 9는 도 7의 B-B선을 나타낸 단면도,
도 10은 도 9의 다른 실시례를 나타낸 단면도,
도 11은 본 발명의 다른 실시례에 따른 대면적 패널용 반송플레이트를 나타낸 사시도,
도 12는 도 11의 구성을 설명하기 위한 분해 사시도,
도 13은 도 11을 설명하기 위한 평면 예시도.1 and 2 is a view showing a conveying plate according to the prior art,
3 is a view for explaining a transport state of the carrier according to the prior art,
4 is a perspective view showing a transport plate for a large area panel according to the present invention,
5 is an exploded perspective view showing a transport plate for a large area panel according to the present invention;
Figure 6 is a perspective view of the transport plate for a large area panel according to the present invention from the bottom,
7 is a plan view showing an air branch plate in the transport plate for a large area panel according to the present invention,
8 is a cross-sectional view illustrating a line AA of FIG. 7;
9 is a cross-sectional view showing the BB line of FIG.
10 is a cross-sectional view showing another embodiment of FIG. 9;
11 is a perspective view showing a transport plate for a large area panel according to another embodiment of the present invention,
12 is an exploded perspective view for explaining the configuration of FIG. 11;
FIG. 13 is a plan view for explaining FIG. 11. FIG.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 대면적 패널용 반송플레이트를 설명하면 다음과 같다. 먼저, 도면들 중 동일한 구성요소 또는 부품들은 가능한 동일한 참조부호로 나타내고 있음을 유의하여야 한다. 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지의 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 모호하지 않게 하기 위하여 생략한다.
Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described a transport plate for a large area panel according to the present invention. First, it should be noted that the same components or parts among the drawings are denoted by the same reference numerals as possible. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.

도 4는 본 발명이 일 실시례에 따른 대면적 패널용 반송플레이트를 나타낸 사시도이다. Figure 4 is a perspective view showing a transport plate for a large area panel according to an embodiment of the present invention.

도면에는 얇은 금속판재로 된 에어분기판(20)을 사이에 두고 상측으로는 복수의 에어홀(33)이 구비된 상판(30)이 배치되고, 상기 에어분기판(20)의 하측으로는 하판(10)이 배치되는 구성의 대면적 패널용 반송플레이트(1)이 나타나 있다.
In the drawing, an upper plate 30 having a plurality of air holes 33 is disposed above the air branch plate 20 made of a thin metal plate, and a lower plate below the air branch plate 20. The conveyance plate 1 for large area panels of the structure by which (10) is arrange | positioned is shown.

도 5는 본 발명의 일 실시례에 따른 대면적 패널용 반송플레이트를 나타낸 분해 사시도이다. 5 is an exploded perspective view showing a transport plate for a large area panel according to an embodiment of the present invention.

도면에는 복수의 나사부재(s)에 의해 일체로 나사 체결되는 하판(10)과, 에어분기판(20) 그리고 상판(30)으로 이루어진 대면적 패널용 반송플레이트(1)가 나타나 있으며, 상기 하판(10)은 외부로부터 에어를 공급받는 것으로 상면에 에어챔버(13)가 형성되고, 상기 에어분기판(20)은 상기 에어챔버(13)로부터 에어를 공급받아 분기 안내하는 에어로드(21)가 형성된 것으로 상기 하판(10)의 상부면에 밀착되는 얇은 금속판재로 제공되며, 상기 상판(30)은 상기 에어분기판(20)으로부터 공급받은 에어가 회전 추진력을 갖도록 분출시키는 에어홀(33)이 형성되는 구성이다.
The lower plate 10 which is screwed together integrally by a plurality of screw members (s) and the large plate panel conveying plate (1) consisting of an air branch plate 20 and the upper plate 30 is shown in the figure, the lower plate 10 is an air chamber 13 is formed on the upper surface to receive air from the outside, the air branch plate 20 is an air rod 21 for branching guided by receiving air from the air chamber 13 It is formed as a thin metal plate material that is in close contact with the upper surface of the lower plate 10, the upper plate 30 has an air hole 33 for ejecting the air supplied from the air branch plate 20 to have a rotational driving force It is a structure formed.

도 6은 본 발명의 일 실시례에 따른 대면적 패널용 반송플레이트를 하측에서 바라본 사시도이다. 6 is a perspective view of the transport plate for a large area panel according to an embodiment of the present invention as viewed from below.

도면에는 에어를 공급받기 위한 에어포트(a1)가 형성된 하판(10)과, 이 하판(10)의 에어포트(a1)에 접속하는 것으로 에어를 공급하는 라인인 에어공급라인(ap)이 나타나 있다.
In the figure, there is shown a lower plate 10 having an air port a1 for receiving air, and an air supply line ap which is a line for supplying air by connecting to the air port a1 of the lower plate 10. .

도 7은 본 발명에 따른 대면적 패널용 반송플레이트에서 에어분기판을 나타낸 평면도이다. Figure 7 is a plan view showing an air branch plate in the transport plate for a large area panel according to the present invention.

도면에는 상판(30)과 하판(10)의 사이에 밀착 구비되는 얇은 금속판재로 이루어지면서, 상기 하판(10)의 에어챔버(13)에 연결되어 에어를 공급받아 분기시키는 에어로드(21)가 형성된 에어분기판(20)이 나타나 있다. 여기서 상기 에어로드(21)는 공급받은 에어를 빠른 속도로 분출시키는 급속로드(21a)와, 이 급속로드(21a)에 대해 늦은 속도로 에어를 분출시키는 지연로드(21b)로 구성된다.
In the drawing, an air rod 21 made of a thin metal plate provided in close contact between the upper plate 30 and the lower plate 10 and connected to the air chamber 13 of the lower plate 10 to supply and branch air is provided. The formed air branch plate 20 is shown. The air rod 21 is composed of a rapid rod 21a for ejecting the supplied air at a high speed, and a delay rod 21b for ejecting air at a slow rate with respect to the rapid rod 21a.

도 8은 도 7의 A-A선을 나타낸 단면도이다. 도면에는 나사부재(s)에 의해 일체로 결합되는 대면적 패널용 반송플레이트(1)가 나타나 있으며, 구성 요소 중 하나인 하판(10)에는 에어를 공급받기 위한 에어포트(a1)가 관통 형성되고, 이 에어포트(a1)를 통해 유입되는 에어는 하판(10)의 상면에 형성된 에어챔버(13)에 채워지는 구성이 나타나 있다.
8 is a cross-sectional view illustrating line AA of FIG. 7. In the figure, there is shown a conveying plate 1 for a large area panel which is integrally coupled by a screw member s. The lower plate 10, which is one of the components, has an air port a1 for receiving air therethrough. The air flowing through the air port a1 is filled in the air chamber 13 formed on the upper surface of the lower plate 10.

도 9는 도 7의 B-B선을 나타낸 단면도이다. FIG. 9 is a cross-sectional view illustrating line B-B in FIG. 7.

도면에는 하판(10)의 에어챔버(13)에 채워진 에어는 에어분기판(20)에 형성되는 복수의 에어로드(21)를 경유하여 상판(30)의 제공되는 에어홀(33)을 통해 상측으로 분출되게 구성된 대면적 패널용 반송플레이트(1)가 나타나 있다. In the drawing, the air filled in the air chamber 13 of the lower plate 10 is raised through an air hole 33 provided in the upper plate 30 via a plurality of air rods 21 formed in the air branch plate 20. The conveying plate 1 for large area panels comprised so that it may be ejected by the is shown.

여기서 상기 상판(30)에 형성된 에어홀(33)은 분출되는 에어가 회오리 형태의 추진 회전력을 일으키도록 유도하는 와류발생부(33a) 및 이 와류발생부(33a)의 상부에 수직면을 형성하여 에어가 직진성을 갖도록 유도하는 직진유도부(33b)로 이루어지는 구성이다.
Here, the air hole 33 formed in the upper plate 30 has a vortex generating unit 33a for inducing the ejected air to generate a whirlwind propulsion force and a vertical surface formed on the upper portion of the vortex generating unit 33a to form air. Is a configuration composed of a straight induction portion 33b for inducing to have a straightness.

도 10은 도 9의 다른 실시례를 나타낸 단면도이다. 10 is a cross-sectional view illustrating another embodiment of FIG. 9.

도면에는 외주면에 헬리컬 나선홈을 형성한 와류핀(33ap)이 끼워 맞춤으로 조립된 와류발생부(33a)를 갖는 상판(30)이 나타나 있다.
In the figure, there is shown a top plate 30 having a vortex generating portion 33a assembled by fitting a vortex pin 33ap having a helical spiral groove formed on an outer circumferential surface thereof.

이상의 도면을 참조하여 본 발명의 구성을 상세하게 살펴보면 다음과 같다.Referring to the configuration of the present invention in detail with reference to the drawings as follows.

본 실시례에 따른 대면적 패널용 반송플레이트(1)는 크게 하부에 배치되는 하판(10)과, 이 하판(10)의 상부에 밀착 구비되는 얇은 금속판재로 된 에어분기판(20) 그리고 이 에어분기판(20)의 상부에 밀착 구비되는 것으로 상기 하판(10)과 에어분기판(20)과 함께 일체로 결합되는 상판(30)으로 구성된다.
The large-area panel conveying plate 1 according to the present embodiment includes a lower plate 10 largely disposed at a lower portion, an air branch plate 20 made of a thin metal plate material provided in close contact with an upper portion of the lower plate 10, and the To be provided in close contact with the upper portion of the air branch plate 20 is composed of the upper plate 30 which is integrally coupled with the lower plate 10 and the air branch plate 20.

하판(10)은 외부로부터 에어를 공급받을 수 있도록 에어포트(a1)가 관통 형성되고, 상면으로는 상기 에어포트(a1)를 통해 공급된 에어가 채워질 수 있도록 에어챔버(13)가 형성되며, 상기 에어포트(a1) 및 에어챔버(13)와 위치 간섭되지 않는 위치에 나사부재(s)가 삽입 통과할 수 있도록 제1체결구멍(h1)이 관통 형성된다.The lower plate 10 has an air port a1 formed therethrough so as to receive air from the outside, and an air chamber 13 is formed on the upper surface thereof so that the air supplied through the air port a1 is filled. A first fastening hole h1 is formed through the screw member s so that the screw member s can be inserted at a position that does not interfere with the air port a1 and the air chamber 13.

여기서 상기 에어챔버(13)는 하판(10)의 상부면에 길이 방향으로 길게 패인 홈 형태로 형성되는 것으로, 피 운반체(p)를 부상시키기 위해 필요한 에어압을 고려하여 그 설치 위치와 홈의 깊이나 넓이 등이 결정된다.In this case, the air chamber 13 is formed in the shape of a groove that is elongated in the longitudinal direction on the upper surface of the lower plate 10, the installation position and the depth of the groove in consideration of the air pressure required to float the carrier (p). Or width is determined.

또한, 상기 에어포트(a1)는 외부로부터부터 고압의 공기를 공급받기 위한 연결요소인 에어공급라인(ap)이 연결되는 구성이다.In addition, the air port (a1) is a configuration that is connected to the air supply line (ap) which is a connecting element for receiving a high pressure air from the outside.

이러한 구성의 하판(10)은 상기 에어공급라인(ap)을 통해 외부로부터 에어가 공급되면, 상기 에어포트(a1)를 경유하여 에어챔버(13)에 채워지게 된다.
The lower plate 10 of this configuration is filled with the air chamber 13 via the air port a1 when air is supplied from the outside through the air supply line ap.

에어분기판(20)은 상기 하판(10)과 후술할 상판(30)의 사이에 구비되는 얇은 금속판재로 제공되는 것으로, 상기 에어챔버(13)에 연결되어 에어를 공급받아 분기시킬 수 있도록 레이저 가공을 통해 길고 가는 구멍 형상을 갖는 에어로드(21)가 형성된다. 이러한 구성의 에어분기판(20)은 상기 제1체결구멍(h1)과 대응하는 위치에 제2체결구멍(h2)이 관통 형성된다.
The air branch plate 20 is provided as a thin metal plate provided between the lower plate 10 and the upper plate 30 to be described later, the laser is connected to the air chamber 13 so that the air can be supplied and branched Through the processing, the air rod 21 having a long thin hole shape is formed. In the air branch plate 20 having such a configuration, a second fastening hole h2 is formed at a position corresponding to the first fastening hole h1.

상판(30)은 상기 에어분기판(20)의 상부에 적층 구비되는 판재형의 부재로서, 하면에는 상기 에어분기판(20)의 에어로드(21)를 경유한 에어가 상측으로 분출될 수 있게 원통형의 직관의 형태를 갖는 복수의 에어홀(33)이 형성되며, 상기 에어홀(33)은 유입된 에어가 통과하면서 회오리 형태의 추진 회전력을 갖도록 유도하는 와류발생부(33a)와, 이 와류발생부(33a)의 상부에 위치되어 생성된 와류가 직진성을 유지한 상태로 분출될 수 있게 유도하는 수직면으로 이루어진 직진유도부(33b)로 이루어진다.The upper plate 30 is a plate-shaped member which is provided on the upper portion of the air branch plate 20, and the bottom surface of the air branch plate 20 so that air through the air rod 21 of the air branch plate 20 can be ejected upwards. A plurality of air holes 33 having a cylindrical straight tube form is formed, the air hole 33 is a vortex generating portion 33a for inducing to have a whirlwind-propelled rotational force while the air introduced therethrough, and the vortex It consists of a straight induction part 33b made up of a vertical plane which is located above the generating part 33a and induces the generated vortex to be ejected while maintaining the straightness.

상기 와류발생부(33a)는 헬리컬 나선을 이용하여 유입되는 공기가 회오리 형태의 강한 추진 회전력을 갖도록 유도하는 요소로, 본 발명에서는 도 9에 나타내 보인 바와 같이 에어홀(33)의 내면에 헬리컬 나선홈(35ah)을 형성하거나, 또는 상기 에어홀(33)의 내주면에 형성된 헬리컬 나선홈(35ah)에 원기둥 형태의 핀(33ap′)을 끼워 맞춤으로 삽입하여 형성된다. The vortex generator 33a is an element that induces the air introduced by using a helical spiral to have a strong propulsion rotational force in a whirlwind form, and in the present invention, as shown in FIG. 9, a helical spiral is formed on the inner surface of the air hole 33. A groove 35ah is formed, or a cylindrical pin 33ap 'is inserted into the helical spiral groove 35ah formed on the inner circumferential surface of the air hole 33 by fitting.

이외에도 도 10에 나타내 보인 바와 같이 상기 와류발생부(33a)는 상 에어홀(33)의 전체 길이를 기준으로 50~80%의 범위로 구비되되, 외면에 헬리컬 나선홈이 형성된 금속재로 된 와류핀(33ap)이 끼워 맞춤으로 조립하는 것에 의해 형성될 수 있다. 이때, 상기 와류발생부(33a)는 상기 에어홀(33)의 전체 길이를 기준으로 50%~80%의 범위를 갖는 구간을 갖도록 형성되는 것이 바람직하며, 이는 와류발생부(33a)가 50% 미만의 구간에 형성되는 경우에는 추진 회전력을 가진 와류의 형성이 곤란하고, 상대적으로 직진유도부(33b)의 구간이 커짐에 따라 에어가 지닌 와류 성질이 상실되면서 추진성이 저하됨에 따라 결과적으로 에어의 원활한 분출이 곤란하여 피 운반체(p)에 대한 부상이 불가능하기 때문이다. In addition, as shown in FIG. 10, the vortex generator 33a is provided in a range of 50 to 80% based on the total length of the upper air hole 33, and a vortex pin made of a metal having a helical spiral groove formed on an outer surface thereof. 33ap can be formed by assembling by fitting. At this time, the vortex generator 33a is preferably formed to have a section having a range of 50% to 80% based on the entire length of the air hole 33, which is 50% of the vortex generator 33a. If it is formed in less than the section is difficult to form a vortex with a propulsion rotational force, and as the section of the straight induction portion 33b is larger, the vortex property of the air is lost and the propulsion is lowered, resulting in air This is because smooth ejection is difficult, so that injury to the carrier (p) is impossible.

상기 직진유도부(33b)는 상기 와류발생부(33a)를 통과한 에어가 직진성을 유지한 상태로 분출될 수 있도록 상기 와류발생부(33a)의 상부측에 수직면을 형성하며, 바람직하게는 상기 상판(30)의 상면과 직각을 이루도록 형성되는 것이다. The straight induction part 33b forms a vertical surface on the upper side of the vortex generating part 33a so that the air passing through the vortex generating part 33a can be ejected while maintaining the straightness. It is formed to form a right angle with the upper surface of (30).

한편, 이러한 구성의 상판(30)은 상기 제1체결구멍(h1) 및 제2체결구멍(h2)과 대응하는 위치에 제3체결구멍(h3)이 관통 형성되어 나사부재(s)에 의해 상기 하판(10) 및 에어분기판(20)과 일체로 결합되는 구성이다.
On the other hand, the upper plate 30 of such a configuration is formed through the third fastening hole (h3) at a position corresponding to the first fastening hole (h1) and the second fastening hole (h2) by the screw member (s) The lower plate 10 and the air branch plate 20 is integrally coupled with the configuration.

상기와 같이 구성되는 대면적 패널용 반송플레이트(1)의 구성은 종전의 반송플레이트의 구성과 유사하다. 다만 본 발명에서는 상기 상판(30)에 형성된 에어홀(33)에 에어를 분기 공급하기 위한 에어로드(21)를 제공함에 있어 각 에어홀에 공급되는 에어의 분출압을 달리하여 피 운반체(p)의 국부 처짐 현상을 억제하여 평탄도 유지 성능을 높일 수 있도록 급속로드(21a)와 지연로드(21b)를 구성하는 것을 그 기술적 특징으로 한다. The structure of the conveyance plate 1 for large area panels comprised as mentioned above is similar to the structure of the previous conveyance plate. However, in the present invention, in providing the air rod 21 for branching and supplying air to the air hole 33 formed in the upper plate 30, the ejected pressure of the air supplied to each air hole is changed by the carrier (p) The technical feature is to configure the rapid rod 21a and the delay rod 21b so as to suppress the local sag phenomenon to increase the flatness maintaining performance.

즉, 본 발명의 에어로드(21)는 에어가 빠르게 유동될 수 있도록 직선의 구간 또는 완만한 곡선 구간을 갖는 급속로드(21a)와, 이 급속로드(21a)에 대해 상대적으로 에어가 늦은 속도로 유동되도록 저항요소를 갖는 지연로드(21b)로 구성된다.That is, the air rod 21 of the present invention has a rapid rod 21a having a straight section or a smooth curved section so that the air can flow quickly, and the air at a slower speed relative to the rapid rod 21a. It consists of a delay rod 21b having a resistance element to flow.

이러한 에어로드(21)는 다양한 형태와 모양으로 구비될 수 있으며, 본 발명의 도면에 나타내 보인 바와 같이 상기 급속로드(21a)와 지연로드(21b)가 서로 연결되는 것에 의해 상기 하판(10)의 에어챔버(13)로부터 에어를 공급받아 분기시키는 구조로 제공되거나 또는 도시하지는 않았으나 상기 급속로드(21a)와 지연로드(21b)가 서로 연결되지 않고 단절된 형태로 구비되어 독립적으로 에어를 공급받도록 구성될 수도 있다.The air rod 21 may be provided in various forms and shapes, as shown in the drawings of the present invention by the rapid rod 21a and the delay rod 21b is connected to each other of the lower plate 10 Although not shown, the rapid rod 21a and the delay rod 21b are provided in a disconnected form without being connected to each other, and may be configured to receive air independently from the air chamber 13. It may be.

또한, 본 발명에서의 상기 에어로드(21)를 구성하는 급속로드(21a)와 지연로드(21b)는 국부처짐을 방지하기 위한 역할이므로 피 운반체(p)에서 처짐 현상이 발생할 가능성이 높은 곳에는 급속로드(21a)를 배치하여 에어압이 빠르게 분출되는 것에 의해 부상되도록 하고, 상대적으로 국부 처짐 현상이 발생하지 않는 곳에는 지연로드(21b)를 배치할 수 있다. In addition, since the rapid rod 21a and the delay rod 21b constituting the air rod 21 in the present invention serve to prevent local sagging, the position where the phenomenon of sagging occurs in the carrier p is high. By arranging the rapid rod 21a so that the air pressure is ejected quickly, the delay rod 21b can be disposed where the local deflection does not occur.

본 발명에서는 도 9에 나타내 보인 바와 같이 피 운반체(p)를 기준으로 중심부측에 위치한 에어홀(33)에는 지연로드(21b)가 에어를 공급하도록 배치하였고, 피 운반체(p)의 외곽측에 위치한 에어홀에는 급속로드(21a)가 에어를 공급하도록 배치하였다. 이는 피 운반체(p)의 중심부측으로 공급되는 에어는 피 운반체(p)의 외부로 신속하게 유동되지 못하고 갇히게 되는 현상 즉, 체류되어 일정 부상력이 보존되므로 상기 급속로드(21a)에 비해 에어의 분출속도가 느린 지연로드(21b)를 배치시켰고, 피 운반체(p)의 외곽부측으로 공급되는 에어는 외부로 빠르게 유실됨에 따라 지연로드(21b)에 대해 에어의 분출속도가 빠른 급속로드(21a)를 배치시켰다.
In the present invention, as shown in FIG. 9, the retard rod 21b is arranged to supply air to the air hole 33 positioned at the center of the carrier p, and the outer side of the carrier p is provided. In the air hole located, the quick rod 21a is arranged to supply air. This is because the air supplied to the center side of the to-be-carried body p is not rapidly flowed to the outside of the to-be-carried body p, which is trapped, that is, stays and a certain floating force is preserved, so that air is blown out compared to the rapid rod 21a. The slow-speed delay rod 21b is disposed, and the air supplied to the outer side of the to-be-carried body p is rapidly lost to the outside, so that the rapid rod 21a having the high speed of ejecting air with respect to the delay rod 21b is provided. Placed.

한편, 본 발명에서의 급속로드(21a)와 지연로드(21b)는 상대적으로 에어의 분출속도가 다르게 설정된 것을 특징으로 하고 있으며, 이를 위해 본 발명은 상기 지연로드(21b)를 경유하는 에어가 저항에 의해 그 속도가 늦춰지도록 유도하는 저항요소를 부가하는 것을 제안한다.On the other hand, the rapid rod 21a and the delay rod 21b in the present invention is characterized in that the ejection speed of the air is set relatively different, for this purpose, the air through the delay rod 21b is resistance It is proposed to add a resistance element that causes the speed to be slowed down.

이러한 저항요소는 다양하게 실시될 수 있는데, 본 발명은 크게 세 가지 방법을 제안한다.Such a resistance element can be implemented in various ways, and the present invention proposes three methods.

첫째, 상기 지연로드(21b)는 상기 급속로드(21a)에 대해 에어에 유동저항을 발생시켜 상대적인 에어의 분출속도가 늦어지도록 굴곡형상을 갖는 구간을 포함한다. First, the delay rod 21b includes a section having a curved shape so as to generate a flow resistance in the air with respect to the rapid rod 21a, so that the blowing speed of the relative air is slowed.

즉, 상기 급속로드(21a)는 직선구간을 형성하거나 또는 완만한 곡선구간을 갖는 가늘고 긴 구멍 형태를 갖도록 하고, 상기 지연로드(21b)는 도면에 나타내 보인 바와 같이 굴곡형상 즉 물결모양의 구간을 갖는 가늘고 긴 구멍 형태로 형성한다. 이러한 구성에 의해 상기 급속로드(21a)를 경유하는 에어는 빠르게 유동하여 에어홀(33)측으로 유동될 수 있으나, 상기 지연로드(21b)를 경유하는 에어는 물결모양의 저항요소에 의해 상기 급속로드(21a)에 비해 지연 유동하여 에어홀측으로 유동되게 된다. That is, the rapid rod 21a forms a straight section or has an elongated hole shape having a gentle curved section, and the delay rod 21b has a curved shape, that is, a wavy section as shown in the drawing. It has a thin long hole shape. With this configuration, the air passing through the rapid rod 21a may flow rapidly and flow to the air hole 33 side, but the air passing through the delay rod 21b is caused by the wave-shaped resistance element. Compared with 21a, it is delayed and flows to the air hole side.

둘째, 상기 지연로드(21b)는 상기 급속로드(21a)에 대해 상대적으로 더 긴 유동거리를 형성하여 에어의 분출속도가 늦어지도록 할 수 있다. Second, the delay rod 21b may form a relatively longer flow distance with respect to the rapid rod 21a so that the air blowing speed is slowed down.

즉, 상기 급속로드(21a)와 지연로드(21b)는 상기 에어챔버(13)로부터 공급받는 공급 위치를 기준으로 각각의 에어홀에 공급하기 위한 경로를 형성함에 있어 상기 급속로드(21a)에 비해 상기 지연로드(21b)가 더 긴 거리를 갖도록 형성함으로써 결과적으로 상기 급속로드(21a)에 비해 지연로드(21b)를 경유하는 에어의 분출속도가 늦춰지도록 유도한다.That is, the rapid rod 21a and the delay rod 21b are formed in comparison with the rapid rod 21a in forming a path for supplying the respective air holes based on the supply position supplied from the air chamber 13. The delay rod 21b is formed to have a longer distance, and as a result, the ejection speed of air passing through the delay rod 21b is slower than that of the rapid rod 21a.

셋째, 상기 지연로드(21b)는 상기 급속로드(21a)에 대해 에어의 전체 통과량이 감소되는 크기를 갖도록 형성된다. Third, the delay rod 21b is formed to have a size that reduces the total amount of air passing through the rapid rod 21a.

즉, 상기 급속로드(21a)는 상기 지연로드(21b)에 대해 구멍의 크기(폭 또는 깊이)를 더 크게 형성함으로써 결과적으로 상기 급속로드(21a)에 비해 지연로드(21b)를 경유하는 에어의 분출속도가 늦춰지도록 유도한다.
That is, the rapid rod 21a forms a larger hole size (width or depth) with respect to the delay rod 21b, and as a result, air of the air passing through the delay rod 21b than the rapid rod 21a is formed. Induces a slow jet.

한편, 상기 급속로드(21a)와 지연로드(21b)는 각각 일측 끝 단부에 반원호 형상의 토출부(21c)가 일체로 형성되고, 상기 토출부(21c)는 상기 에어홀(33)의 내부 지름에 대해 감소된 지름 크기를 갖도록 형성된다. On the other hand, each of the rapid rod 21a and the delay rod 21b is formed integrally with a semi-circular discharge portion 21c at one end thereof, and the discharge portion 21c is formed inside the air hole 33. It is formed to have a reduced diameter size relative to the diameter.

여기서, 상기 토출부(21c)는 바람직하게는 상기 에어홀(33)의 와류발생부(33a)를 형성하는 헬리컬 나선을 기준으로 나사산과 나사골의 중간부분에 위치하는 지름을 갖도록 형성되는 것이 바람직하며, 이러한 구성에 의해 상기 토출부(21c)를 통해 토출되는 에어는 헬리컬 나선을 따라 원활하게 상측으로 유동된다.
Here, the discharge portion 21c is preferably formed to have a diameter located in the middle portion of the screw thread and the screw bone on the basis of the helical spiral forming the vortex generating portion 33a of the air hole 33, By this configuration, the air discharged through the discharge portion 21c smoothly flows upward along the helical spiral.

상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 대면적 패널용 반송플레이트의 작용을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the large-area panel transport plate according to the present invention configured as described above are as follows.

먼저, 하판(10)의 에어포트(a1)를 통해 유입되는 에어는 에어챔버(13)를 경유하여 그 상측에 구비된 상기 에어분기판(20)의 에어로드(21)를 따라 분기 유동된 뒤 상판(30)이 형성된 에어홀(33)을 통해 그 상부측으로 분출된다.First, the air flowing through the air port a1 of the lower plate 10 is branched and flows along the air rod 21 of the air branch plate 20 provided above through the air chamber 13. The upper plate 30 is blown to the upper side through the air hole 33 is formed.

이때, 상기 에어로드(21)는 에어가 빠르게 유동될 수 있는 급속로드(21a)와, 이 급속로드(21a)에 비해 상대적으로 늦은 속도로 유동되는 지연로드(21b)로 이루어져 있으며, 상기 급속로드(21a)는 피 운반체(p)의 외곽측에 배치된 에어홀에 연결되어 있고, 상기 지연로드(21b)는 피 운반체(p)의 중심부측에 배치된 에어홀에 연결되어 있으므로 결과적으로 피 운반체(p)의 처짐 현상을 억제하여 평탄한 상태로의 부상을 가능하게 한다.
At this time, the air rod 21 is composed of a rapid rod 21a through which air can flow quickly, and a delay rod 21b that flows at a relatively slower speed than the rapid rod 21a. 21a is connected to the air hole disposed on the outer side of the carrier p, and the delay rod 21b is connected to the air hole disposed on the central side of the carrier p, and as a result, the carrier The deflection phenomenon of (p) can be suppressed to allow a rise to a flat state.

도 11은 본 발명의 다른 실시례에 따른 대면적 패널용 반송플레이트를 나타낸 사시도이고, 도 12는 도 11의 구성을 설명하기 위한 분해 사시도이며, 도 13은 도 11을 설명하기 위한 평면 예시도이다.FIG. 11 is a perspective view illustrating a transport plate for a large area panel according to another embodiment of the present invention, FIG. 12 is an exploded perspective view for explaining the configuration of FIG. 11, and FIG. 13 is a plan view illustrating FIG. 11. .

도면에 나타내 보인 바와 같이 본 실시례에서의 대면적 패널용 반송플레이트(1)는 크게 하부에 배치되는 하판(10)과, 이 하판(10)의 상부에 밀착 구비되는 얇은 금속판재로 된 진공분기판(40)과, 이 진공분기판(40)의 상부에 밀착 구비되는 에어분기판(20) 그리고 최상부에 위치되는 상판(30)으로 구성된다.
As shown in the drawing, the large-area panel conveying plate 1 according to the present embodiment has a lower plate 10 largely disposed at a lower portion thereof, and a vacuum branch made of a thin metal plate material provided in close contact with the upper portion of the lower plate 10. It consists of the board 40, the air branch board 20 provided in close contact with the upper part of this vacuum branch board 40, and the upper board 30 located in the uppermost part.

하판(10)은 외부로부터 에어와 진공압이 각각 공급되는 에어포트(a1) 및 진공포트(v1)가 위치 간섭되지 않게 각각 구비되고, 상면으로는 상기 진공포트(v1)에 연결되어 진공압이 작용하는 홈 형상의 진공챔버(14)가 형성된다. 이러한 구성의 하판(10)은 전술한 일 실시례의 구성과 유사하며, 다만 진공압이 작용하는 진공포트(v1)가 더 구비되는 차이가 있다. The lower plate 10 is provided so that the air port a1 and the vacuum port v1 to which the air and the vacuum pressure are supplied from the outside, respectively, do not interfere with the position, and the upper surface is connected to the vacuum port v1 so that the vacuum pressure is A groove shaped vacuum chamber 14 is formed. The lower plate 10 of such a configuration is similar to the configuration of the above-described embodiment, except that a vacuum port v1 to which a vacuum pressure acts is further provided.

상판(30)은 상기 하판(10)의 상부에 구비되어 하면에 상기 에어포트(a1)로부터 공급받은 에어가 채워지는 홈 형상의 에어챔버(13)가 형성되고, 상측으로 에어가 분출되는 에어홀(33) 및 진공압이 작용하는 진공홀(37)이 서로 위치 간섭되지 않게 형성된다. 이러한 구성의 상판(30)은 앞서 설명한 일 실시례의 구성과 대동소이하며, 다만 저면에 에어챔버(34)가 형성되는 차이가 있다.The upper plate 30 is provided in the upper portion of the lower plate 10 is formed on the lower surface of the air chamber 13 of the groove shape is filled with the air supplied from the air port a1, the air hole is ejected to the upper side 33 and the vacuum hole 37 to which the vacuum pressure acts are formed so as not to interfere with each other. The top plate 30 of such a configuration is similar to the configuration of the above-described embodiment, except that the air chamber 34 is formed on the bottom thereof.

진공분기판(40)은 상기 하판(10)과 상판(30) 사이에 구비되는 박판의 금속판재로서, 상기 진공챔버(14)에 연결되어 진공압을 상기 진공홀(37)에 전달하기 위한 복수의 진공로드(41)가 형성되며, 이때의 상기 진공로드(41)는 레이저 가공을 통해 형성되는 것으로 가늘고 긴 슬릿(slit) 형태의 구멍으로 제공된다.The vacuum branch plate 40 is a thin plate metal plate provided between the lower plate 10 and the upper plate 30, and is connected to the vacuum chamber 14 to transfer a vacuum pressure to the vacuum hole 37. The vacuum rod 41 is formed, and the vacuum rod 41 at this time is formed through laser processing, and is provided as a hole having a long slits.

에어분기판(20)은 상기 진공챔버(14)의 상측 또는 하측에 구비되는 것으로, 상기 에어챔버(13)에 연결되어 공급받은 에어를 분기시켜 상기 에어홀(33)에 공급하는 에어로드(21)가 형성된다. 이때의 상기 에어로드(21)는 에어가 빠르게 유동되게 좁은 틈을 형성하여 된 급속로드(21a) 및 이 지연로드(21b)에 대해 상대적으로 늦은 속도로 에어가 유동되게 저항요소를 갖는 지연로드(21b)로 이루어진다.The air branch plate 20 is provided above or below the vacuum chamber 14, and is connected to the air chamber 13 to branch the supplied air and supply the air rod 21 to the air hole 33. ) Is formed. At this time, the air rod 21 has a rapid rod 21a formed by forming a narrow gap in which air flows quickly and a delay rod having a resistance element such that air flows at a relatively slow speed with respect to the delay rod 21b ( 21b).

한편, 상기 에어분기판(20)은 상기 진공홀(37)과 일치되는 위치에 제1진공포트(v2)가 형성되고, 상기 하판(10)의 에어포트(a1)에 연결되는 관통구멍인 제2에어포트(a3)이 형성된다. 그리고, 상기 진공분기판(40)은 상기 제2에어포트(a3)과 상기 에어포트(a1)를 연결하는 관통구멍인 제1에어포트(a2)가 형성된다.On the other hand, the air branch plate 20 is the first vacuum port (v2) is formed in a position coinciding with the vacuum hole 37, the first through hole connected to the air port a1 of the lower plate 10 Two air ports a3 are formed. The vacuum branch plate 40 has a first air port a2 which is a through hole connecting the second air port a3 and the air port a1.

이와 같은 구성의 본 실시례의 대면적 패널용 반송플레이트(1)는 앞서 설명한 일 실시례의 구성과 기본적으로 유사하지만, 상기 상판(30)의 상부로 에어압과 진공압을 동시에 작용하는 차이가 있다. The large-area panel conveying plate 1 of this embodiment of this configuration is basically similar to the configuration of the embodiment described above, but the difference in acting simultaneously the air pressure and the vacuum pressure to the upper portion of the upper plate 30 have.

본 실시례에서의 대면적 패널용 반송플레이트(1)의 기술적 특징부는 에어로드(21)와 진공로드(41)가 각기 다른 압을 작용하는 구성으로 구비되는 것이다.The technical feature of the large-area panel conveying plate 1 in this embodiment is that the air rod 21 and the vacuum rod 41 are provided with different pressures.

본 실시례에서의 에어로드(21)는 에어가 빠르게 유동될 수 있도록 직선의 구간 또는 완만한 곡선 구간을 갖는 급속로드(21a)와, 이 급속로드(21a)에 대해 상대적으로 에어가 늦은 속도로 유동되도록 저항요소를 갖는 지연로드(21b)로 이루어지며, 이때의 상기 급속로드(21a)와 지연로드(21b)는 앞서 설명한 일 실시례와 동일하게 실시되는 것이므로 상세한 설명은 생략한다.The air rod 21 in this embodiment has a rapid rod 21a having a straight section or a smooth curved section so that the air can flow rapidly, and at a speed at which air is relatively slow with respect to the rapid rod 21a. It consists of a delay rod (21b) having a resistance element to flow, the rapid rod (21a) and the delay rod (21b) at this time is carried out in the same manner as the above-described embodiment, so a detailed description thereof will be omitted.

본 실시례에서의 진공로드(41)는 진공압이 작용하도록 구멍을 길게 형성하여 된 급속슬릿(41a)과, 상기 급속슬릿(41a)에 대해 상대적으로 늦은 속도로 진공압이 작용하도록 굴곡형상을 갖는 구간을 형성하거나 또는 상기 급속슬릿(41a)에 비해 더 긴 유동거리를 갖도록 형성하거나 또는 상기 급속슬릿(41a)에 비해 진공압이 작용하는 용적이 감소되는 크기를 갖도록 형성한 저항요소를 포함하는 지연슬릿(41b) 그리고 상기 급속슬릿(41a)과 지연슬릿(41b)의 각 일측 끝에는 상기 진공홀(37)에 연결되는 관통된 구멍 형상의 흡입부(41c)로 이루어진다.The vacuum rod 41 in this embodiment has a rapid slit 41a formed by forming a hole long so that the vacuum pressure acts, and a curved shape so that the vacuum pressure acts at a relatively slow speed with respect to the rapid slit 41a. It includes a resistance element formed to form a section having a longer flow distance than the rapid slit (41a) or formed to have a size to reduce the volume of the vacuum pressure action compared to the rapid slit (41a) At one end of the delay slit 41b and each of the rapid slit 41a and the delay slit 41b is formed of a through hole suction part 41c connected to the vacuum hole 37.

이때의 상기 진공로드(41)는 앞서 설명한 일 실시례의 에어로드(21)와 마찬가지로 진공압의 크기를 달리하여 작용할 수 있도록 한 것으로, 기본적인 구성 및 형태는 전술한 에어로드(21)와 동일하게 실시되어도 무방하므로 상세한 설명은 생략한다.
At this time, the vacuum rod 41 is to operate by varying the magnitude of the vacuum pressure, similar to the air rod 21 of the above-described embodiment, the basic configuration and shape is the same as the air rod 21 Since it may be implemented, detailed description is abbreviate | omitted.

한편, 도면에 도시하지는 않았으나, 본 발명은 에어로드 또는 진공로드가 갖는 기술적 특징을 포함한다면 하판과 상판의 구조는 다양하게 변형 실시될 수 있을 것이다. On the other hand, although not shown in the drawings, the present invention may be implemented in a variety of modifications if the structure of the lower plate and the upper plate including the technical features of the air rod or vacuum rod.

일례로, 에어와 진공압을 공급받는 각각의 포트를 마련하고, 상면에는 각각의 포트를 통해 공급되는 압이 작용하는 에어챔버와 진공챔버를 형성한 하판과, 이 하판의 상측으로 마주보게 배치되는 것으로 상기 에어챔버와 진공챔버에 각각 연결되어 에어를 분출하는 에어홀 및 진공압이 작용하는 진공홀이 형성된 상판을 구비하고, 이들 하판과 상판 사이에 각각 진공압을 분기시키는 진공로드가 형성된 진공분기판 그리고 에어를 분기시키는 에어로드가 형성된 에어분기판을 적층 구성하고, 상기 에어분기판과 진공분기판은 수직하는 방향으로 에어 또는 진공압이 전달되는 경로를 형성하는 관통된 구멍 형태를 포함하는 대면적 패널용 반송플레이트도 가능할 것이다.
For example, each port receiving air and a vacuum pressure is provided, and an upper side of the lower plate which forms an air chamber and a vacuum chamber in which pressure supplied through each port acts and a vacuum chamber are disposed to face the upper side of the lower plate. A vacuum branch having an air hole connected to the air chamber and the vacuum chamber, respectively, for ejecting air and a vacuum hole for acting with a vacuum pressure, and having a vacuum rod for branching vacuum pressure between the lower plate and the upper plate, respectively; Comprising a plate and an air branch plate formed with an air rod for branching the air, the air branch plate and the vacuum branch plate comprises a through hole form that forms a path through which air or vacuum pressure is transmitted in a vertical direction A conveying plate for an area panel may also be possible.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 다른 실시례에 따른 대면적 패널용 반송플레이트의 작용을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the large-area panel transport plate according to another embodiment of the present invention configured as described above are as follows.

먼저, 하판(10)의 에어포트(a1)를 통해 유입되는 에어는 에어챔버(13)를 경유하여 그 상측에 구비된 상기 에어분기판(20)의 에어로드(21)를 따라 분기 유동된 뒤 상판(30)의 에어홀(33)을 통해 분출되는데, 이때 상기 에어로드(21)를 구성하는 급속로드(21a)는 피 운반체(p)의 외곽측에 배치된 에어홀에 연결되어 있고, 상기 지연로드(21b)는 피 운반체(p)의 중심부측에 배치된 에어홀에 연결되어 있어 피 운반체(p)를 전체적으로 처짐 현상없이 안정되게 부상시키게 된다.First, the air flowing through the air port a1 of the lower plate 10 is branched and flows along the air rod 21 of the air branch plate 20 provided above through the air chamber 13. It is ejected through the air hole 33 of the upper plate 30, wherein the rapid rod (21a) constituting the air rod 21 is connected to the air hole disposed on the outer side of the carrier (p), The delay rod 21b is connected to an air hole disposed at the center side of the to-be-carried p, thereby stably floating the to-be-carried p without sagging.

또한, 상기 하판(10)의 에어포트(a1) 일측에 제공되는 진공포트(v1)로 작용하는 진공압은 진공챔버(14)를 경유하여 진공분기판(40)의 진공로드(41)를 통해 상기 상판(30)의 진공홀(37)에 작용하며, 이때 상기 진공로드(41)는 상기 에어로드(21)와 마찬가지로 서로 진공압을 달리 하는 급속슬릿(41a)과 지연슬릿(41b)으로 이루어져 있어 피 운반체(p)에 대한 국부적인 진공압을 달리 함으로써 평탄성을 정밀하게 유지관리 할 수 있다.
In addition, the vacuum pressure acting as the vacuum port v1 provided on one side of the air port a1 of the lower plate 10 is via the vacuum rod 41 of the vacuum branch plate 40 via the vacuum chamber 14. It acts on the vacuum hole 37 of the upper plate 30, wherein the vacuum rod 41 is formed of a rapid slit 41a and a delay slit 41b, which differ in vacuum pressure from each other like the air rod 21. Therefore, it is possible to precisely maintain flatness by varying the local vacuum pressure on the carrier (p).

한편, 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것은 아니고, 적용 부위를 변경하여 사용하는 것이 가능하고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형을 할 수 있음은 이 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명하다. 따라서, 그러한 변형예 또는 수정예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 해야 할 것이다.
While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but that various changes and modifications may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention. It is obvious to those who have knowledge. It is therefore intended that such variations and modifications fall within the scope of the appended claims.

1 : 대면적 패널용 반송플레이트 10 : 하판
13,34 : 에어챔버 20 : 에어분기판
21 : 에어로드 21a : 급속로드
21b : 지연로드 30 : 상판
33 : 에어홀 33a : 와류발생부
33b : 직진유도부 40 : 진공분기판
a1 : 에어포트 v1 : 진공포트1: Transfer plate for large area panel 10: Lower plate
13,34: air chamber 20: air branch board
21: Air Rod 21a: Rapid Rod
21b: delay load 30: tops
33: air hole 33a: vortex generating unit
33b: straight induction part 40: vacuum branch plate
a1: Air port v1: Vacuum port

Claims (12)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 외부로부터 에어와 진공압이 각각 공급되는 에어포트(a1) 및 진공포트(v1)가 구비되고, 상면으로는 상기 진공포트(v1)에 연결되어 진공압이 작용하는 홈 형상의 진공챔버(14)가 형성된 하판(10)과;
상기 하판(10)의 상부에 구비되어 하면에 에어포트(a1)로부터 공급받은 에어가 채워지는 홈 형상의 에어챔버(34) 및 상측으로 에어분출 및 진공압이 작용하도록 에어홀(33) 및 진공홀(37)이 형성된 상판(30)과;
상기 하판(10)과 상판(30) 사이에 구비되는 것으로, 상기 진공챔버(14)에 연결되어 진공압을 상기 진공홀(37)에 전달하는 진공로드(41)가 형성된 진공분기판(40)과;
상기 진공챔버(14)의 상측 또는 하측에 구비되는 것으로, 상기 에어챔버(34)에 연결되어 공급받은 에어를 분기시켜 상기 에어홀(33)에 공급하는 에어로드(21)가 형성된 에어분기판(20)을 포함하되,
상기 에어로드(21)는 피 운반체(p)의 외곽부 측으로 배치되어 에어가 빠르게 유동되게 좁은 틈을 형성하여 된 급속로드(21a)와, 피 운반체(p)의 중심부 측으로 배치되어 급속로드(21a)에 대해 상대적으로 늦은 속도로 에어가 유동되게 저항요소를 갖는 지연로드(21b)로 이루어진 것을 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 대면적 패널용 반송플레이트.An air port (a1) and a vacuum port (v1) for supplying air and vacuum pressure from the outside are provided, the upper surface is connected to the vacuum port (v1), the groove-shaped vacuum chamber 14, the vacuum pressure acts Is formed on the bottom plate 10;
The lower plate 10 is provided in the upper portion of the groove-shaped air chamber 34 is filled with the air supplied from the air port a1 on the lower surface and the air hole 33 and vacuum so that the air ejection and vacuum pressure acts on the upper side An upper plate 30 on which holes 37 are formed;
The vacuum branch plate 40 is provided between the lower plate 10 and the upper plate 30 and has a vacuum rod 41 connected to the vacuum chamber 14 to transfer a vacuum pressure to the vacuum hole 37. and;
An air branch plate provided at an upper side or a lower side of the vacuum chamber 14 and having an air rod 21 connected to the air chamber 34 and branching the supplied air to the air hole 33. 20),
The air rod 21 is disposed on the outer side of the to-be-carried p to form a narrow gap in which air flows quickly, and is arranged to the central side of the to-be-carried p so that the quick rod 21a. And a retardation rod (21b) having a resistance element to allow air to flow at a relatively slow speed relative to the cover plate. 삭제delete 제 4항에 있어서,
상기 급속로드(21a)와 상기 지연로드(21b)는 각각 일측 끝단부에 반원호 형상의 토출부(21c)가 형성되고, 이 토출부(21c)는 상기 에어홀(33)의 내부지름에 대해 감소된 지름 크기를 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 대면적 패널용 반송플레이트.The method of claim 4, wherein
Each of the rapid rod 21a and the delay rod 21b has a semicircular discharge portion 21c formed at one end thereof, and the discharge portion 21c has an inner diameter of the air hole 33. A conveying plate for a large area panel, characterized in that it is formed to have a reduced diameter size. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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