KR20100129034A - Glass transfering apparatus - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A glass transferring device, capable of reduction the air pressure loss amount, is provided to prevent damage to a glass by controlling and maintaining the air pressure toward a various sizes of glasses. CONSTITUTION: A glass transferring device comprises a floating stage unit, an air floating unit and a transfer unit(300). The floating stage unit comprises a plurality of floating stages(100). The glass is arranged on the top of the floating stage unit. The air floating unit is located in the floating stage and makes the glass float from the top of the floating stage unit by inhaling and ejecting air. A jetting hole(110) and a sucking hole(120) are formed at cross with one another. The air floating unit comprises an air jetting unit and an air suction unit.

Description

글래스 이송장치 {Glass Transfering Apparatus}Glass Transfer Apparatus {Glass Transfering Apparatus}

본 발명은 글래스 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 에어플로팅을 이용한 글래스 이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a glass transfer apparatus, and more particularly, to a glass transfer apparatus using air floating.

일반적으로, 컴퓨터 및 각종 전자 제품에 적용되는 평판디스플레이는 액정 표시 소자(LCD), 플라즈마 디스플레이 소자(PDP)등이 있으며, 이러한 액정 표시 소자나 플라즈마 디스플레이 소자를 구성하는 기판을 제조하기 위해서는 글래스가 사용된다. 여기서, 상기 글래스는 상기한 기판제조를 위하여 각 작업라인을 따라 글래스 이송장치에 의하여 이송작업이 진행되는데, 이때 상기 글래스 안정적인 이송을 위하여 종래에는 에어플로팅을 이용한 글래스 이송방법이 널리 사용되고 있다. Generally, a flat panel display applied to a computer and various electronic products includes a liquid crystal display device (LCD) and a plasma display device (PDP), and glass is used to manufacture a substrate constituting the liquid crystal display device or the plasma display device. do. Here, the glass is carried by the glass conveying apparatus along each working line for manufacturing the substrate, wherein the glass conveying method using air-floating is widely used in order to stabilize the glass.

이러한 종래의 에어플로팅을 이용한 글래스 이송장치는, 상면에 글래스가 배치되는 플로팅스테이지와, 플로팅스테이지로 에어를 분사하여 글래스를 부상시키는 에어플로팅장치 및 부상된 글래스를 클램핑하여 이송하는 이송장치를 포함하여 상기 글래스를 플로팅스테이지에서 부상시킨 상태에서 이송함으로써 글래스의 안정적인 이송 및 공정상의 정밀함을 꾀하였다.The glass conveying apparatus using the conventional air floating includes a floating stage on which the glass is disposed on an upper surface, an air floating apparatus for injecting air onto the floating stage to float the glass, and a conveying apparatus for clamping the injured glass. The glass is conveyed while floating in the floating stage to achieve a stable transfer of glass and process precision.

그런데, 상기한 종래의 에어플로팅을 이용한 글래스 이송장치는, 플로팅스테이지 면적전체에 대하여 일괄적으로 에어를 분사하고 제어하는 방식이었기 때문에, 가령 플로팅스테이지 전체면적에 대하여 글래스의 면적이 현저하게 차이가 나는 경우에는 글래스가 상면에 위치하지 않은 플로팅스테이지 구역과 글래스가 상면에 위치한 플로팅스테이지 구역간의 에어압의 차이로 인하여 글래스의 편평도를 유지하기가 힘들었으며, 또한 분사되는 에어의 낭비를 초래하여 경제적인 손실을 가져오는 문제점이 있었다. By the way, since the glass conveying apparatus using the conventional air floating is a system which injects and controls air collectively over the whole floating stage area, for example, the area of glass differs significantly with respect to the whole floating stage area. In this case, it is difficult to maintain the flatness of the glass due to the difference in air pressure between the floating stage area where the glass is not located on the upper surface and the floating stage area where the glass is located on the upper surface. There was a problem bringing.

본 발명은, 다양한 크기의 글래스에 대응하여 플로팅스테이지상의 에어압을 정밀하게 제어하여 부상하는 글래스의 편평도를 향상시키고, 손실되는 에어압을 줄여 효율적이고 경제적인 글래스 이송장치를 제공하는데 목적이 있다.An object of the present invention is to provide an efficient and economical glass transfer apparatus by precisely controlling the air pressure on the floating stage in response to glasses of various sizes, thereby improving the flatness of the floating glass and reducing the air pressure lost.

본 발명은, 다수의 플로팅스테이지가 서로 인접하게 형성되고, 상부에 글래스가 배치되는 플로팅스테이지유닛, 상기 다수의 플로팅스테이지 각각에 구비되고 에어를 분출 및 흡입하여 상기 글래스가 상기 플로팅스테이지유닛의 상면에 대하여 부상하도록 하는 에어플로팅유닛 및 상기 에어플로팅유닛을 통하여 부상된 상기 글래스를 이송시키는 이송장치를 포함하는 글래스 이송장치를 제공한다. According to the present invention, a plurality of floating stages are formed adjacent to each other, and a floating stage unit having a glass disposed thereon, the plurality of floating stages are provided in each of the plurality of floating stages, and the air is blown out and sucked in so that the glass is disposed on an upper surface of the floating stage unit. It provides a glass conveying apparatus including an air floating unit for causing a floating against the air and a conveying device for conveying the glass floated through the air floating unit.

여기서, 상기 플로팅스테이지의 상면에는 다수의 분출홀과 다수의 흡입홀이 격자구조로 서로 교차되게 형성되고, 상기 에어플로팅유닛은, 상기 다수의 분출홀과 연통되어 상기 분출홀로 에어를 분출하는 에어분사유닛과, 상기 다수의 흡입홀과 연통되어 상기 분출홀을 통하여 분출된 에어를 흡입하는 에어흡입유닛을 포함한다. 이때, 상기 에어분사유닛은, 상기 플로팅스테이지의 내부에 형성되어 상기 다수의 분출홀과 연통되는 다수의 블로잉챔버와, 상기 다수의 블로잉챔버와 연결되는 에어공급라인과, 상기 에어공급라인으로 에어를 공급하는 에어공급장치를 포함하며, 상기 에어흡입유닛은, 상기 플로팅스테이지의 내부에 형성되어 상기 다수의 흡입홀과 연통되는 다수의 흡입챔버와, 상기 흡입챔버와 연결되는 흡입라인과, 상기 흡입라인으로 상기 에어를 흡입하여 배출하는 진공펌핑유닛을 포함한다. 여기서, 상기 블로잉챔버는 원통형상이고, 상기 흡입챔버는 직사각형 형상인 것이 좋으며 또한, 상기 분출홀의 단면적은 상기 흡입홀의 단면적 보다 큰 것이 바람직하다. Here, a plurality of ejection holes and a plurality of suction holes are formed to cross each other in a lattice structure on the upper surface of the floating stage, the air floating unit is in communication with the plurality of ejection holes to eject air to the ejection holes And an air suction unit communicating with the plurality of suction holes and sucking the air blown out through the jet hole. At this time, the air injection unit, a plurality of blowing chambers formed in the floating stage and in communication with the plurality of blowing holes, air supply lines connected to the plurality of blowing chambers, and the air to the air supply line And an air supplying device, wherein the air suction unit includes: a plurality of suction chambers formed in the floating stage and in communication with the plurality of suction holes; a suction line connected to the suction chambers; And a vacuum pumping unit for sucking and discharging the air. The blowing chamber may have a cylindrical shape, the suction chamber may have a rectangular shape, and the cross-sectional area of the jet hole may be larger than the cross-sectional area of the suction hole.

한편, 본 발명은 상기 에어공급장치와 상기 진공펌핑유닛 각각에는 상기 에어의 유동량을 정밀하게 제어하기 위한 레귤레이터를 더 구비할 수 있다. On the other hand, the present invention may further include a regulator for precisely controlling the flow amount of the air in each of the air supply device and the vacuum pumping unit.

본 발명에 따른 글래스 이송장치는 다양한 크기의 글래스에 대해서도 정밀한 에어압을 제어 및 유지할 수 있기 때문에 글래스의 편평도를 향상시켜 글래스의 파손 등을 방지할 수 있으며, 효율적으로 에어압을 발생시켜 경제적이다. The glass transfer apparatus according to the present invention can control and maintain precise air pressure even for glass of various sizes, thereby improving flatness of the glass, preventing breakage of the glass, and the like.

이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 글래스 이송장치를 나타내는 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 플로팅스테이지의 내부구조를 나타내는 단면도이며, 도 3은 도 2에 도시된 플로팅스테이지의 에어공급라인과 흡입라인을 나타내는 저면사시도이다.1 is a perspective view showing a glass conveying apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a cross-sectional view showing the internal structure of the floating stage shown in Figure 1, Figure 3 is an air supply line of the floating stage shown in FIG. Bottom perspective view showing an over suction line.

도 4 내지 도 5b는 도 3에 도시된 블로잉챔버와, 흡입챔버의 형상을 보여주는 사시도이고, 도 6은 도 3에 도시된 I-I선도에 따른 단면도이며, 도 7은 도 3에 도시된 Ⅱ-Ⅱ선도에 따른 단면도이다.4 to 5b are perspective views showing the shapes of the blowing chamber and the suction chamber shown in FIG. 3, FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the line II of FIG. 3, and FIG. 7 is a II-II shown in FIG. 3. Sectional view along the diagram.

먼저, 도 1을 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 글래스 이송장치(300)는, 상부에 글래스(1)가 배치되는 플로팅스테이지유닛(500)과, 플로팅스테이지유닛(500) 상면으로 상기 글래스(1)가 부상하도록 하는 에어플로팅유닛과, 부상된 상기 글래스(1)를 이송하는 이송장치(300)를 포함한다. First, referring to FIG. 1, the glass conveying apparatus 300 according to the preferred embodiment of the present invention may include a floating stage unit 500 having a glass 1 disposed thereon and an upper surface of the floating stage unit 500. And an air floating unit for allowing the glass 1 to float, and a transfer device 300 for transporting the injured glass 1.

상기 플로팅스테이지유닛(500)은 다수의 플로팅스테이지(100)가 서로 인접하게 형성되어 있으며, 상기 다수의 플로팅스테이지(100) 각각은 독립적으로 에어압을 제어할 수 있는 구조이다. 즉, 본 발명의 실시예에 따른 글래스 이송장치(300)는 상기 플로팅스테이지유닛(500)이 하나의 공압라인에 의하여 일괄적으로 에어압을 제어하는 방식이 아니라 개별적인 에어압제어가 가능한 플로팅스테이지(100) 다수를 인접하게 배치함으로써 플로팅스테이지유닛(500)에 대하여 구역별로 에어압의 제어가 가능하여, 플로팅스테이지유닛(500)의 상부에 어떠한 크기의 글래스(1)가 배치되더라도 글래스(1)의 크기에 대응하여 에어압을 구역별 제어하여 안정적인 에어압의 제어는 물론, 글래스(1)의 편평도를 향상시키고 이를 유지할 수 있다. 한편, 상기 플로팅스테이지(100) 각각의 공압구조에 대하여 살펴보면 다음과 같다.The floating stage unit 500 has a plurality of floating stage 100 is formed adjacent to each other, each of the plurality of floating stage 100 has a structure that can independently control the air pressure. That is, the glass feeding apparatus 300 according to the embodiment of the present invention is not a method in which the floating stage unit 500 collectively controls air pressure by one pneumatic line, but a floating stage capable of individual air pressure control ( 100) By arranging a plurality of adjacent, it is possible to control the air pressure for each area with respect to the floating stage unit 500, so that even if the glass 1 of any size is disposed on the upper portion of the floating stage unit 500 By controlling the air pressure for each zone in correspondence with the size, as well as control of the stable air pressure, the flatness of the glass 1 can be improved and maintained. Meanwhile, the pneumatic structure of each of the floating stages 100 will be described.

우선, 상기 플로팅스테이지(100)는 상면에 에어가 분출되는 다수의 분출홀(110)과 에어를 흡입하는 다수의 흡입홀(120)이 격자구조로 서로 교차되게 형성되어, 플로팅스테이지(100) 전체면적에 대하여 에어의 분출(양압)과 흡입(음압)이 균형적으로 이루어져 글래스(1)의 부상을 안정적으로 할 수 있다. First, the floating stage 100 has a plurality of ejection holes 110 for ejecting air on the upper surface and a plurality of suction holes 120 for sucking air are formed to cross each other in a lattice structure, the entire floating stage 100 The blowing (positive pressure) and the suction (negative pressure) of the air are balanced with respect to the area, so that the floating of the glass 1 can be stabilized.

이때, 상기 분출홀(110)의 크기는, 도 2에 나타난 바와 같이, 상기 흡입홀(120)의 크기보다 작게 형성되는 것이 좋다. 이러한 이유는 분출되는 분사에어압과 흡입하는 흡입에어압이 서로 동일한 조건으로 유지된다고 볼 때 분출홀(110)의 단면적이 흡입홀(120)의 단면적보다 작으면 상기 글래스(1)와 상기 플로팅스테이지(100) 사이의 에어압이 부압에 가까워져 글래스(1)의 부상이 어렵기 때문이다. 따라서, 상기 글래스(1)가 상기 플로팅스테이지(100)의 상부에서 일정간격 이격되어 부상된 상태로 유지하기 위해서는 분사에어압과 흡입에어압이 동일한 조건일 경우에는 분출홀(110)의 단면적 크기를 흡입홀(120)의 단면적크기보다 크게 하는 것이 좋다. 하지만, 상기한 분출홀(110)과 흡입홀(120)의 단면적크기를 변화시키지 않을 경우에는 분사에어압이 흡입에어압보다 크도록 에어압을 조절하여 글래스(1)의 부상정도를 제어할 수도 있다.At this time, the size of the jet hole 110, as shown in Figure 2, it is preferably formed smaller than the size of the suction hole (120). The reason for this is that if the cross-sectional area of the ejection hole 110 is smaller than the cross-sectional area of the suction hole 120 when the ejected injection air pressure and the suction air pressure to be sucked are maintained under the same condition, the glass 1 and the floating stage This is because the air pressure between the 100 becomes close to the negative pressure, making it difficult to injure the glass 1. Therefore, in order to maintain the glass 1 in an injured state at a predetermined interval from the upper portion of the floating stage 100, when the injection air pressure and the suction air pressure are equal to the cross-sectional area size of the ejection hole 110 It is preferable to make the suction hole 120 larger than the cross-sectional area size. However, when the cross-sectional area sizes of the jetting hole 110 and the suction hole 120 are not changed, the degree of injury of the glass 1 may be controlled by adjusting the air pressure so that the injection air pressure is larger than the suction air pressure. have.

상기 플로팅스테이지(100) 각각에는 상기 분출홀(110)과 상기 흡입홀(120)로 일정압의 에어를 분출 및 흡입하여 상기 글래스(1)를 플로팅스테이지유닛(500)의 상면에 대하여 부상시키는 에어플로팅유닛을 구비한다. Each of the floating stages 100 blows and sucks a predetermined pressure of air into the blowing holes 110 and the suction holes 120 to float the glass 1 on the upper surface of the floating stage unit 500. A floating unit is provided.

상기 에어플로팅유닛은 일정한 에어압으로 상기 글래스(1)를 부상시키는 역할을 하는 것으로, 상기 다수의 분출홀(110)과 연통되어 상기 분출홀(110)로 에어를 분출하는 에어분사유닛과, 상기 다수의 흡입홀(120)과 연통되어 상기 분출홀(110)을 통하여 분출된 에어 또는 그 주변의 에어를 상기 흡입홀(120)로 흡입하는 에어흡입유닛을 포함한다. The air floating unit serves to float the glass 1 at a constant air pressure, is in communication with the plurality of blowing holes 110 and the air injection unit for ejecting air to the blowing holes 110, and the And an air suction unit communicating with a plurality of suction holes 120 to suck air blown out through the jet hole 110 or air around the suction hole 120 into the suction hole 120.

상기 에어분사유닛은, 도 3에 나타난 바와 같이, 상기 플로팅스테이지(100)의 내부에 형성되어 상기 다수의 분출홀(110)과 연통되는 다수의 블로잉챔버(112)와, 상기 다수의 블로잉챔버(112)와 연결되는 에어공급라인(114)과, 상기 에어공급라인(114)으로 에어를 공급하는 에어공급장치를 포함한다.As shown in FIG. 3, the air spray unit includes a plurality of blowing chambers 112 and a plurality of blowing chambers formed in the floating stage 100 to communicate with the plurality of ejection holes 110. An air supply line 114 is connected to the 112, and an air supply device for supplying air to the air supply line 114.

상기 에어흡입유닛은, 상기 플로팅스테이지(100)의 내부에 형성되어 상기 다수의 흡입홀(120)과 연통되는 다수의 흡입챔버(122)와, 상기 흡입챔버(122)와 연결되는 흡입라인(124)과, 상기 흡입라인(124)으로 상기 에어를 흡입하여 배출하는 진공펌핑유닛을 포함한다. The air suction unit may include a plurality of suction chambers 122 formed in the floating stage 100 and communicating with the plurality of suction holes 120, and suction lines 124 connected to the suction chambers 122. And a vacuum pumping unit for sucking and discharging the air to the suction line 124.

상기 블로잉챔버(112)는 도 4에 나타난 바와 같이 대략 원통형상으로 상기 플로팅스테이지(100)의 내부에 형성되어 상부에는 다수의 분출홀(110)의 행방향 또는 열방향에 따라 일렬로 연통되고 하부에는 상기 에어공급라인(114)과 연통된다. The blowing chamber 112 is formed in the inside of the floating stage 100 in a substantially cylindrical shape, as shown in Figure 4 is communicated in a row along the row direction or column direction of the plurality of ejection holes 110 in the upper and Is in communication with the air supply line 114.

상기 흡입챔버(122)는 도 4에 나타난 바와 같이, 대략 직사각형 형상으로 상기 플로팅스테이지(100)의 내부에 형성되어 상부에는 다수의 흡입홀(120)의 행방향 또는 열방향에 따라 일렬로 연통되고 하부에는 상기 흡입라인(124)과 연통된다. As shown in FIG. 4, the suction chamber 122 is formed in the floating stage 100 in a substantially rectangular shape and communicates in a line along a row direction or a column direction of the plurality of suction holes 120. The lower part is in communication with the suction line 124.

여기서, 상기 도 4에 나타난 바에 따르면, 상기 분출홀(110)과 상기 흡입홀(120)이 플로팅스테이지(100)상에서 격자구조로 교차형성되지 않고 일렬로 형성되어 있으나, 이는 상기 블로잉챔버(112)와 흡입챔버(122)의 형상을 나타내기 위한 것으로, 도 1에 도시된 바와 같이 상기 분출홀(110)과 상기 흡입홀(120)이 서로 격자구조로 교차되도록 상기 블로잉챔버(112)와 흡입챔버(122)를 플로팅스테이 지(100)의 길이방향에 대하여 사선으로 배치하는 등 그 배치구조를 달리 할 수 있다. Here, as shown in FIG. 4, the blowing holes 110 and the suction holes 120 are formed in a row without being formed in a lattice structure on the floating stage 100, but this is the blowing chamber 112. And the shape of the suction chamber 122, as shown in FIG. 1, the blowing chamber 112 and the suction chamber such that the blowout hole 110 and the suction hole 120 cross each other in a lattice structure. The arrangement structure of the 122 may be arranged diagonally with respect to the longitudinal direction of the floating stage 100.

상기 블로잉챔버(112)와 상기 흡입챔버(122)를 도 5a에 나타난 바와 같이, 각각 원통형상과 직사각형 형상으로 형성시킨 이유를 살펴보면 다음과 같다.As shown in FIG. 5A, the blowing chamber 112 and the suction chamber 122 will be described below.

먼저, 상기 블로잉챔버(112)와 흡입챔버(122)는, 플로팅스테이지(100) 내부에서 서로 인접하게 교차배치되어야 하고, 또한 각각의 에어공급라인(114) 및 흡입라인(124)에서 분출홀(110) 및 흡입홀(120)로 에어를 유동시킴에 있어서 압력강하에 의한 에어압의 저하를 방지하여 균일한 에어압을 유지할 수 있도록 단면적이 커지는 확관의 형태로 형성함과 동시에 적정단면적을 유지해야한다.First, the blowing chamber 112 and the suction chamber 122 should be arranged to cross adjacent to each other inside the floating stage 100, and also in the air supply line 114 and the suction line 124, the ejection hole ( 110) and inlet hole 120 in the form of an enlarged pipe with a large cross-sectional area to maintain a uniform air pressure by preventing a drop in air pressure due to the pressure drop to maintain an appropriate cross-sectional area. do.

이에, 도 5b에 나타난 바와 같이 상기 블로잉챔버(112)와 흡입챔버(122)를 가공이 용이하도록 단면적이 각각 원형상으로 가공할 수 있는데, 이러한 경우에는, 상기 흡입챔버(122)의 단면적이 적정단면적을 만족시키기 힘든 경우가 발생한다. 이는, 상기 블로잉챔버(112)와 흡입챔버(122)는 한정된 공간의 플로팅스테이지(100)에서 형성되어야 하고, 특히 상기 흡입챔버(122)는 상기 블로잉챔버(122) 사이의 좁은 거리간격(A) 안에서 형성되어야 하는데 흡입챔버(122)의 단면적을 원형으로 형성하면 적정단면적을 확보할 수가 없기 때문이다. 따라서, 도 5a에 나타난 바와 같이, 상기 흡입챔버(122)의 단면적은 한정된 거리간격(A) 내에서 적정단면적을 얻을 수 있는 직사각형 형상으로 형성하는 것이 좋다. Thus, as shown in FIG. 5B, the blowing chamber 112 and the suction chamber 122 may be processed in a circular cross section to facilitate processing. In this case, the cross-sectional area of the suction chamber 122 may be appropriate. It is difficult to meet the cross-sectional area. That is, the blowing chamber 112 and the suction chamber 122 should be formed in the floating stage 100 of a limited space, in particular the suction chamber 122 is a narrow distance interval (A) between the blowing chamber 122 It should be formed inside, because if the cross-sectional area of the suction chamber 122 is formed in a circular shape it is not possible to secure a proper cross-sectional area. Therefore, as shown in Figure 5a, the cross-sectional area of the suction chamber 122 is preferably formed in a rectangular shape that can obtain a suitable cross-sectional area within a limited distance interval (A).

즉, 본 발명의 실시예에서는 상기 흡입챔버(122)를 도 5a에 나타난 바와 같 이 그 단면을 직사각형으로 형성함으로써, 블로잉챔버(112)간의 피치(A)는 일정하게 유지하되, 흡입챔버(122)의 흡입단면적도 일정값 확보할 수 있다. That is, in the embodiment of the present invention by forming the suction chamber 122 in a rectangular cross section as shown in Figure 5a, while maintaining the constant pitch (A) between the blowing chamber 112, the suction chamber 122 The suction cross-sectional area of) can also be secured.

상기 에어공급라인(114)은 도 3 및 도 6에 나타난 바와 같이, 상기 플로팅스테이지(100)의 하부에 위치하여 다수의 블로잉챔버(112)와 한번에 연결되어 에어를 공급하는 역할을 한다. 또한, 상기 흡입라인(124)은 도 3 및 도 7에 나타난 바와 같이, 상기 플로팅스테이지(100)의 하부에 위치하여 다수의 흡입챔버(122)와 한번에 연결되어 에어를 흡입하는 역할을 한다. 상기한 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 블로잉챔버(112)와 에어공급라인(114) 및 흡입챔버(122)와 흡입라인(124)은, 다수의 분출홀(110)과 흡입홀(120)에 대한 유로의 수를 감소시켜 공압라인을 간결하게 함으로써 장비의 설치, 유지보수가 용이하다.As shown in FIGS. 3 and 6, the air supply line 114 is positioned below the floating stage 100 to be connected to a plurality of blowing chambers 112 at a time to supply air. In addition, the suction line 124 is located in the lower portion of the floating stage 100, as shown in Figure 3 and 7, it is connected to a plurality of suction chambers 122 at a time serves to suck the air. As described above, the blowing chamber 112, the air supply line 114, the suction chamber 122 and the suction line 124 according to the embodiment of the present invention, the plurality of ejection holes 110 and the suction hole 120 By reducing the number of flow paths for the condensed pneumatic lines, the equipment is easy to install and maintain.

상기 에어공급장치와 상기 진공펌핑유닛은 상기 에어공급라인(114)과 상기 흡입라인(124)으로 에어를 공급 또는 흡입하는 역할을 하며, 이러한 상기 에어공급장치와 상기 진공펌핑유닛은 상기 에어공급라인(114)과 흡입라인(124)으로 에어를 공급 및 흡입할 수 있는 목적을 달성할 수 있는 장치라면 모두 가능하며, 이는 당업자에게는 일반적인 장치이므로 생략하기로 한다. The air supply device and the vacuum pumping unit serve to supply or suck air to the air supply line 114 and the suction line 124, and the air supply device and the vacuum pumping unit are the air supply line. Any device that can achieve the purpose of supplying and sucking air to the 114 and the suction line 124 is possible, which will be omitted since it is a general device for those skilled in the art.

한편, 본 발명의 실시예는 상기 에어공급라인(114)과 흡입라인(124)으로 유동되는 에어량을 레귤레이터를 더 구비할 수 있으며, 이를 통하여 에어압을 정밀하게 제어할 수 있다. On the other hand, the embodiment of the present invention may further include a regulator for the amount of air flowing into the air supply line 114 and the suction line 124, it is possible to precisely control the air pressure.

상기 이송장치(300)는 상기 에어플로팅유닛을 통하여 부상된 상기 글래스(1)의 일측을 클램핑기구를 통하여 클램핑하여 이송하는 역할을 하는 것으로, 이에 대한 상세한 설명은 평판을 클램핑하여 이송하는 일반적인 클램핑이송장치와 실질적으로 동일하므로 생략하기로 한다. The conveying device 300 serves to convey and clamp one side of the glass 1, which is floated through the air floating unit, through a clamping mechanism, and the detailed description thereof is a general clamping conveying method of clamping and transporting a flat plate. Since it is substantially the same as the apparatus, it will be omitted.

상기한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 글래스 이송장치는, 다수의 플로팅스테이지(100)를 서로 인접하게 형성하고, 다수의 플로팅스테이지(100) 각각에 대하여 개별적인 에어압제어가 가능하도록 에어플로팅유닛을 구비하여 다양한 크기의 글래스(1)에 대해서도 일정한 에어압을 유지할 수 있어 향상된 편평도를 유지할 수 있으며, 글래스(1)의 높이를 용이하게 조절할 수 있다. As described above, the glass conveying apparatus according to the embodiment of the present invention, the plurality of floating stage 100 is formed adjacent to each other, the air floating to enable individual air pressure control for each of the plurality of floating stage 100 The unit may be provided to maintain a constant air pressure even for the glass 1 of various sizes, it is possible to maintain the improved flatness, it is possible to easily adjust the height of the glass (1).

또한, 본 발명의 실시예는 플로팅스테이지(100)상에 형성된 분출홀(110)과 흡입홀(120)을 격자구조로 서로 교차되게 형성하고 다수의 분출홀(110)과 다수의 흡입홀(120) 모두에 연통되는 블로잉챔버(112)와 흡입챔버(122)를 형성한 다음 에어공급라인(114)과 흡입라인(124)과 연결시켜 동일한 압력을 공급할 수 있으며, 또한 레귤레이터를 연결하여 보다 정밀하게 에어압을 제어할 수 있다. In addition, the embodiment of the present invention is formed to cross the ejection hole 110 and the suction hole 120 formed on the floating stage 100 to each other in a lattice structure and a plurality of ejection holes 110 and a plurality of suction holes 120 ) To form a blowing chamber 112 and a suction chamber 122 in communication with both, and then connected to the air supply line 114 and the suction line 124 can supply the same pressure, and also by connecting a regulator more precisely The air pressure can be controlled.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, this is merely exemplary, and it will be understood by those skilled in the art that various modifications and equivalent other embodiments are possible. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 글래스 이송장치를 나타내는 사시도이다.1 is a perspective view showing a glass transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1에 도시된 플로팅스테이지의 내부구조를 나타내는 단면도이다. 2 is a cross-sectional view showing the internal structure of the floating stage shown in FIG.

도 3은 도 2에 도시된 플로팅스테이지의 에어공급라인과 흡입라인을 나타내는 저면사시도이다.3 is a bottom perspective view illustrating an air supply line and a suction line of the floating stage illustrated in FIG. 2.

도 4 내지 도 5b는 도 3에 도시된 블로잉챔버와, 흡입챔버의 형상을 보여주는 사시도이다.4 to 5b are perspective views showing the shape of the blowing chamber and the suction chamber shown in FIG.

도 6은 도 3에 도시된 I-I선도에 따른 단면도이다.FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line II of FIG. 3.

도 7은 도 3에 도시된 Ⅱ-Ⅱ선도에 따른 단면도이다.FIG. 7 is a cross-sectional view taken along line II-II of FIG. 3.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 간단한 설명 ><Brief description of symbols for the main parts of the drawings>

1... 글래스 100... 플로팅스테이지1 ... Glass 100 ... Floating Stage

110... 분출홀 112... 블로잉챔버110 ... Blowout hole 112 ... Blowing chamber

114... 에어공급라인 120... 흡입홀114.Air supply line 120 ... Suction hole

122... 흡입챔버 124... 흡입라인Suction chamber 124 Suction line

300... 이송장치 500... 플로팅스테이지유닛300 ... Feeder 500 ... Floating Stage Unit

Claims (6)

다수의 플로팅스테이지가 서로 인접하게 형성되고, 상부에 글래스가 배치되는 플로팅스테이지유닛;A floating stage unit having a plurality of floating stages formed adjacent to each other and having a glass disposed thereon; 상기 다수의 플로팅스테이지 각각에 구비되고, 에어를 분출 및 흡입하여 상기 글래스가 상기 플로팅스테이지유닛의 상면에 대하여 부상하도록 하는 에어플로팅유닛; 및An air floating unit which is provided in each of the plurality of floating stages, and blows and sucks air so that the glass floats on the upper surface of the floating stage unit; And 상기 에어플로팅유닛을 통하여 부상된 상기 글래스를 이송시키는 이송장치를 포함하는 글래스 이송장치. Glass transfer apparatus comprising a transfer device for transferring the injured glass through the air floating unit. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 플로팅스테이지의 상면에는 다수의 분출홀과 다수의 흡입홀이 격자구조로 서로 교차되게 형성되고,On the upper surface of the floating stage, a plurality of ejection holes and a plurality of suction holes are formed to cross each other in a lattice structure, 상기 에어플로팅유닛은, 상기 다수의 분출홀과 연통되어 상기 분출홀로 에어를 분출하는 에어분사유닛과, 상기 다수의 흡입홀과 연통되어 상기 분출홀을 통하여 분출된 에어를 흡입하는 에어흡입유닛을 포함하는 글래스 이송장치.The air floating unit includes an air injection unit communicating with the plurality of ejection holes to eject air to the ejection holes, and an air suction unit communicating with the plurality of suction holes to suck air ejected through the ejection holes. Glass feeder. 청구항 2에 있어서,The method according to claim 2, 상기 에어분사유닛은, 상기 플로팅스테이지의 내부에 형성되어 상기 다수의 분출홀과 연통되는 다수의 블로잉챔버와, 상기 다수의 블로잉챔버와 연결되는 에어 공급라인과, 상기 에어공급라인으로 에어를 공급하는 에어공급장치를 포함하며, The air spray unit may include a plurality of blowing chambers formed in the floating stage and communicating with the plurality of ejection holes, an air supply line connected to the plurality of blowing chambers, and supply air to the air supply lines. Including an air supply, 상기 에어흡입유닛은, 상기 플로팅스테이지의 내부에 형성되어 상기 다수의 흡입홀과 연통되는 다수의 흡입챔버와, 상기 흡입챔버와 연결되는 흡입라인과, 상기 흡입라인으로 상기 에어를 흡입하여 배출하는 진공펌핑유닛을 포함하는 글래스 이송장치. The air suction unit may include a plurality of suction chambers formed in the floating stage and communicating with the plurality of suction holes, a suction line connected to the suction chambers, and a vacuum for sucking and discharging the air through the suction lines. Glass transfer device comprising a pumping unit. 청구항 3에 있어서,The method according to claim 3, 상기 에어공급장치와 상기 진공펌핑유닛 각각에는 상기 에어의 유동량을 정밀하게 제어하기 위한 레귤레이터를 더 구비하는 글래스 이송장치.And each of the air supply device and the vacuum pumping unit further includes a regulator for precisely controlling the flow amount of the air. 청구항 3에 있어서,The method according to claim 3, 상기 블로잉챔버는 단면이 원통형상이고,The blowing chamber is cylindrical in cross section, 상기 흡입챔버는 단면이 직사각형 형상인 글래스 이송장치. The suction chamber is a glass transfer device having a rectangular cross section. 청구항 2 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 2 to 5, 상기 분출홀의 단면적은 상기 흡입홀의 단면적 보다 큰 글래스 이송장치. And a cross-sectional area of the jet hole is larger than a cross-sectional area of the suction hole.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101274640B1 (en) * 2010-05-25 2013-06-13 주식회사 에이엠에이치시스템즈 Noncontact Conveying Plate
KR101276064B1 (en) * 2011-02-15 2013-06-17 박봉선 Non-contact Plate Transferring Device
KR101277070B1 (en) * 2011-05-17 2013-06-20 주식회사 에스에프에이 Apparatus for transferring substrate
CN107814200A (en) * 2017-10-31 2018-03-20 武汉华星光电技术有限公司 A kind of air-flotation type array coating machine and its conveyer
KR20210153469A (en) * 2020-06-10 2021-12-17 세메스 주식회사 Substrate transfer module and die bonding apparatus including the same

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100834734B1 (en) * 2006-04-06 2008-06-05 주식회사 에스에프에이 Apparatus for transferring substrate

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101274640B1 (en) * 2010-05-25 2013-06-13 주식회사 에이엠에이치시스템즈 Noncontact Conveying Plate
KR101276064B1 (en) * 2011-02-15 2013-06-17 박봉선 Non-contact Plate Transferring Device
KR101277070B1 (en) * 2011-05-17 2013-06-20 주식회사 에스에프에이 Apparatus for transferring substrate
CN107814200A (en) * 2017-10-31 2018-03-20 武汉华星光电技术有限公司 A kind of air-flotation type array coating machine and its conveyer
KR20210153469A (en) * 2020-06-10 2021-12-17 세메스 주식회사 Substrate transfer module and die bonding apparatus including the same

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