KR101174928B1 - 액체 화학물질 시스템 및 분배 방법 - Google Patents

액체 화학물질 시스템 및 분배 방법 Download PDF

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Abstract

외측 용기와 내측 용기를 포함하며 상기 내측 용기의 일부는 액체가 점하고 나머지는 헤드스페이스 가스가 점하는 용기로부터, 액체를 분배하기 위한 액체 분배 방법 및 시스템이 개시된다. 상기 액체 분배 시스템은 그 내부에 유동 통로를 구비하는 프로브와, 내측 용기의 내부와 외측 용기의 외부를 연결하는 가스 통로를 포함한다. 유체(예를 들어 공기 또는 질소)가 압축되어 외측 용기 및 내측 용기의 내벽들 사이의 공간 내부로 흐르도록 되어 있어서, 헤드스페이스 가스가 가스 통로를 통해 내측 용기로부터 배출되게 하며, 액체가 제조 공정까지 프로브 내의 유동 통로를 통해 내측 용기로부터 배출되게 한다.

Description

헤드스페이스 가스 제거를 수반한 액체 분배 방법 및 시스템{LIQUID DISPENSING METHOD AND SYSTEM WITH HEADSPACE GAS REMOVAL}
본 발명은 액체를 저장하고 분배하기 위한 저장 및 분배 시스템에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 헤드스페이스(headspace) 가스를 포함하는 용기로부터 제조 공정까지 액체를 분배하기 위한 방법 및 시스템에 관한 것이다.
특정 제조 공정들은 액체 화학물질, 예를 들어 산, 용매, 염기, 포토레지스트(photoresist), 도펀트(dopant), 무기 용액, 유기 용액, 생물학적 용액(biological solution), 약제, 그리고 방사성 화학물질의 이용을 필요로 한다. 저장 및 분배 시스템은 선택적인 용기를 사용하여 정해진 시간에 액체 화학물질이 제조 공정까지 이송되도록 할 수 있다. 이들 공정용 액체(process liquid)는 일반적으로 가압된 저장 및 분배 용기로부터 특별한 분배 펌프에 의해 분배된다.
이 용기들은 충전 설비에서 충전된 후, 제조 공정에서 사용하기 위해 소정 장소로 수송되는 것이 일반적이다. 일단 제조 공정 설비에 있으면, 이 용기들은 제조 공정에 연결되기 전에 장기간 동안 저장될 수도 있다. 그러나, 전술한 화학물질 중 일부는, 장기간 동안 저장될 때, 그 순도가 저하되는 경향이 있다. 예를 들어, 박막 트랜지스터 평면 패널 디스플레이의 제조에 사용되는 칼라 필터(color filter) 화학물질은 칼라 필터 화학물질 내의 유리기(遊離基)가 온도 변동의 결과로 수송 및 저장 중에 방출됨에 따라 변질되는 경향이 있다. 이러한 현상이 발생하지 못하도록 하기 위해, 헤드스페이스(headspace)라 불리는, 용기의 비어있는 부분에 헤드스페이스 가스가 채워진다. 헤드스페이스 가스는, 저장 중에 액체 내에서 화학 반응이 발생하지 못하도록 함으로써, 액체 화학물질의 변질을 방지한다. 예를 들어, 칼라 필터 화학물질의 경우, 산소를 함유하는 헤드스페이스 가스가 충전 설비에서 용기에 주입되는데, 이것은 화학물질 내에서 유리기가 발생할 때 산소가 이 유리기를 제거(scavenge)하는 경향이 있고, 이에 따라 산소가 칼라 필터 화학물질의 변질을 방지하기 때문이다.
용기가 제조 공정에 연결되면, 헤드스페이스 가스는 더 이상 필요가 없거나 요구되지 않는다. 따라서, 헤드스페이스 가스는, 액체를 제조 공정에 분배하기 전에 제거되어야만 한다. 그러나, 용기를 흔들거나, 헤드스페이스 가스의 배출 중에 헤드스페이스 가스가 액체 화학물질로 들어가지 않도록 주의해야만 한다. 액체 화학물질로 가스가 들어가면 화학물질 내에 기포가 형성되는 결과를 초래할 수도 있으며, 이것은 상기 액체 화학물질을 제조 공정에서 사용하기에 부적합하게 만들 수 있다.
또한, 헤드스페이스 가스를 제거한 후, 용기 내에 소량의 가스를 남길 필요가 있을 수도 있다. 모든 액체가 용기에서 분배되었을 때, 이 소량의 빈 상태 감지용 가스(empty detect gas)는 분배기에 의해 감지되어 용기가 비었다는 것을 알려준다. 통상적인 시스템에서, 용기 내에 남아있는 빈 상태 감지용 가스의 양은 쉽게 제어할 수 없다.
따라서, 헤드스페이스 가스를 용이하게 제거하고, 필요하다면, 헤드스페이스 가스의 제거 후 용기 내에 남아 있는 빈 상태 감지용 가스의 양을 수월하게 조절하도록 하는 시스템이 요망된다.
본 발명은, 외측 용기와 내측 용기를 구비하고, 그 내측 용기의 일부는 액체 화학물질이 점하고 나머지 부분은 헤드스페이스 가스가 점하는 용기로부터 제조 공정까지 액체 화학물질을 분배하기 위한 방법 및 시스템에 관한 것이다. 상기 액체 분배 시스템은 내측 용기의 내부로 삽입가능한 유동 통로를 구비하는 프로브와, 내측 용기의 내부와 외측 용기의 외부 사이를 연결하는 가스 통로를 포함한다. 상기 액체 분배 시스템은, 내측 용기와 외측 용기의 내벽 사이의 공간에 유체 연통되는 수단을 더 포함하는데, 이것은 내측 용기와 외측 용기의 내벽 사이의 공간으로 압축된 유체가 흐르게 하여, 헤드스페이스 가스가 가스 통로를 통해 내측 용기로부터 헤드스페이스 가스 드레인까지 배출되도록 하고 액체는 프로브 내부의 유동 통로를 통해 내측 용기로부터 제조 공정까지 배출되도록 한다.
바람직한 실시예에서, 상기 액체 분배 시스템은 헤드스페이스 가스 드레인(drain)과 가스 통로 사이에 연결되는 드레인 밸브를 더 포함한다. 드레인 밸브는, 가스 통로를 통해 헤드스페이스 가스 드레인으로 헤드스페이스 가스를 배기하기 위해 선택될 수 있는 개방 위치를 구비한다. 또한, 드레인 밸브는, 헤드스페이스 가스가 내측 용기의 내부에서 소진되었을 때 선택될 수 있는 차단 위치를 구비한다. 또한, 상기 액체 분배 시스템은, 가스 통로와 헤드스페이스 가스 드레인 사이에 연결되는 액체 센서를 포함하는 것이 바람직한데, 이 액체 센서는 액체 화학물질이 가스 통로 내부에서 흐르기 시작하는 때를 감지하여 헤드스페이스 가스가 내측 용기의 내부에서 소진되었음을 알려준다.
또한, 상기 액체 분배 시스템은, 액체 화학물질이 내측 용기로부터 소진되었을 때를 알아내기 위해 빈 상태 감지 수단을 포함하는 것이 바람직하다. 한 가지 실시예에서, 빈 상태 감지 수단은 빈 상태 감지용 가스 센서이다. 빈 상태 감지용 가스가 사용되는 경우, 소량의 빈 상태 감지용 가스는, 액체 화학물질을 제조 공정에 분배하기 직전에 내측 용기의 내부로 도입된다. 액체 화학물질이 용기로부터 소진되었을 때 빈 상태 감지용 가스 센서는 이러한 빈 상태 감지용 가스를 감지한다. 빈 상태 감지용 가스가 빈 상태 감지용 가스 센서에 의해 감지되면, 제조 공정으로의 액체 분배가 종료된다. 다른 실시예에서, 빈 상태 감지 수단은, 액체 화학물질이 제조 공정으로 분배되는 동안 유체 용기의 무게를 측정하는 저울을 포함하여, 저울에 의해 측정되는 유체 용기의 무게가 소정의 빈 상태의 무게에 도달하면 액체의 분배를 종료하도록 한다.
도 1은 용기를 수송하고 저장하는 동안 액체 화학물질을 안정화하기 위해 제공되는 헤드스페이스 가스를 포함하는 용기로부터 제조 공정까지 액체를 분배하기 위한, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 액체 분배 시스템의 개략도이다.
도 2는 용기를 수송하고 저장하는 동안 액체 화학물질을 안정화하기 위해 제공되는 헤드스페이스 가스를 포함하는 용기로부터 제조 공정까지 액체를 분배하기 위한, 본 발명의 다른 바람직한 실시예에 따른 액체 분배 시스템의 개략도이다.
도 1은 헤드스페이스 가스(18)로 채워지는 헤드스페이스(16)를 포함하는 용기(14)로부터 제조 공정(13)까지 액체(12)를 분배하기 위한, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 시스템(10)의 개략도이다. 용기(16)는 가요성 내측 용기(20)와 강성 외측 용기(22)를 구비한다. 시스템(10)은, 압축 공기 또는 질소 공급부(30), 압축 공기 통로(32), 헤드스페이스 가스 통로(34), 드레인 밸브(36), 액체 센서(38), 헤드스페이스 가스 드레인(40), 유동 통로(42), 용기 저울(44), 그리고 시스템 제어부(46)를 더 포함한다.
압축 공기 공급부(30)는 압축 공기 통로(32)를 통해 압축 공간(31)[즉, 외측 용기(22)의 내벽과 내측 용기(20)의 외측 표면 사이의 공간]과 연결된다. 내측 용기(20)의 내부는 가스 통로(34)를 통해 헤드스페이스 가스 드레인(40)과 연결된다. 드레인 밸브(36)와 액체 센서(38)는 가스 통로(34)를 따라 내측 용기(20)의 내부와 헤드스페이스 가스 드레인(40) 사이에 연결된다. 마지막으로, 내측 용기(20)의 내부는 유동 통로(42)를 통해 제조 공정(13)과 유체 연통 상태로 된다.
가스 통로(34)와 유동 통로(42)는, 내측 용기(20)의 내부가 하나의 연결부로 헤드스페이스 가스 드레인(40) 및 제조 공정(13)과 유체 연통 상태가 되도록, 단일 커넥터 패키지 안에서 결합되는 것이 바람직하다. 유동 통로(42)는 프로브 내에 마련되는 것이 일반적이며, 상기 프로브는 액체(12)와 제조 공정(13) 사이에서 유체가 흐르도록 용기의 포트를 통해, 그리고 내부 용기(20) 내부로 삽입가능하다.
외측 용기(22)는, 충전, 이송, 처리 및 분배 중에, 가요성의 내측 용기(20)(예를 들면, 가요성 중합체 백)가 필요로 하는 기계적 지지부 및 보호부를 제공한다. 외측 용기(22)는, 용기(14) 내에 채워진 특정 액체의 취급에 관한 당국의 규제 기준에 따라 플라스틱 재료를 비롯한 다른 재료들이 또한 사용될 수도 있지만, 금속으로 구성되는 것이 일반적이다. 용기(14)는, 1994년 8월 9일자로 오스가(Osgar)에게 허여된 미국 특허 제5,335,821호에 개시된 바와 같은 용기이며, 상기 특허 내용은 인용하는 것으로 본 명세서에 포함된다.
마이크로 프로세서를 기반으로 한 제어 시스템인 것이 바람직한 시스템 제어부(46)는, 압축 공기 공급부(30), 드레인 밸브(36), 액체 센서(38), 그리고 용기 저울(44)과 연결된다. 시스템 제어부(46)는, 시스템(10)의 다양한 구성 요소들로부터 받은 신호들을 기초로 시스템(10)의 작동을 제어한다.
제조 공정(13)에 부착하기 전에, 용기(14)는 충전 설비에서 충전된다. 충전 중에, 내측 용기(20)는 우선 질소와 같은 가스로 팽창된다. 이후, 외측 용기(22) 안에 있는 내측 용기(20)를 채우도록, 액체(12)가 용기(14) 내의 포트를 통해 주입된다.
몇몇 화학물질은, 장기간 보관될 때, 특히 온도의 변동을 겪을 때, 그 순도가 저하되는 경향이 있다. 예를 들면, 박막 트랜지스터 평면 패널 디스플레이의 제작에 사용되는 칼라 필터 화학물질은, 수송과 저장 중에 칼라 필터 화학물질 내의 유리기가 방출됨에 따라 변질되거나 가교 결합하는 경향이 있다. 이러한 현상의 발생을 방지하기 위해, 용기의 빈 부분, 즉 헤드스페이스(16)는 헤드스페이스 가스(18)로 채워진다. 헤드스페이스 가스(18)는, 용기(14)의 수송과 저장 중에 액체(12) 내에서 화학 반응이 일어나는 것을 방지함으로써 액체(12)의 변질을 방지한다. 예를 들어, 칼라 필터 화학물질의 경우, 산소를 포함하는 헤드스페이스 가스(18)는 충전 설비에서 내측 용기(20)에 주입되는데, 이는 화학물질 내의 유리기가 방출될 때 산소가 유리기를 제거하는 경향이 있고, 이에 따라 칼라 필터 화학물질의 변질 또는 가교 결합을 방지하기 때문이다.
용기(14)가 제조 공정(13)에 연결될 때, 헤드스페이스 가스(18)는 더 이상 필요하지 않거나 요구되지 않는다. 따라서, 헤드스페이스 가스(18)는 액체(12)를 제조 공정(13)에 분배하기 전에 제거되어야만 한다. 우선, 압축 공기 통로(32), 가스 통로(34), 그리고 유동 통로(42)가 용기(14)에 연결된다. 이후, 마이크로 프로세서를 기반으로 한 시스템인 것이 바람직한 시스템 제어부(46)는 드레인 밸브(36)를 개방하도록 신호를 보낸다. 이것은 내측 용기(20)의 내부와 헤드스페이스 가스 드레인(40) 사이에서 유체가 흐르도록 한다. 이어서, 압축 공기 혹은 질소인 것이 바람직한 압축 유체가 압축 공기 공급부(30)에 의해 압축 공간(31)에 공급되어, 헤드스페이스 가스(18)가 가스 통로(34)와 액체 센서(38)를 거쳐 헤드스페이스 가스 드레인(40)에 이르도록 한다. 헤드스페이스 가스(18)가 용기(14)의 내측 용기(20)로부터 취출됨에 따라, 공기는 압축 공간(31)으로 들어갈 수 있고, 이에 따라 가요성 내측 용기(20)를 수축시킨다. 내측 용기(20)는 압축 공기로 수축되는 것이 바람직하지만, 가스 통로(34)를 통해 헤드스페이스 가스(18)를 밀어내도록 내측 용기(20)를 수축시킬 수 있는, 수력학적 또는 기계적 장치를 비롯한 임의의 수단이 사용될 수도 있다. 대안으로, 가스 통로(34)에 연결된 펌프가 용기(14)로부터 헤드스페이스 가스(18)를 취출할 수 있다.
헤드스페이스 가스(18)가 내측 용기(20)로부터 소진된 후, 압축 공기 공급부(30)가 압축 공간(31)에 지속적으로 공기를 공급함에 따라, 가스 통로(34) 내에서 액체(12)가 흐르기 시작한다. 액체(12)가 액체 센서(38)에 도달하면, 드레인 밸브(36)를 차단하도록 시스템 제어부(46)에 신호를 보낸다. 이것은 내측 용기(20)의 내부와 헤드스페이스 가스 드레인(40) 사이의 연결을 종료시킨다. 대안으로, 시스템(10)의 사용자는, 액체(12)가 가스 통로(34) 내에서 흐르기 시작하는 시기를 시각적으로 판단할 수도 있으며, 헤드스페이스 가스 드레인(40)과의 연결을 종료시키도록 드레인 밸브(36)를 손으로 닫을 수도 있다.
내측 용기(20)의 내부와 헤드스페이스 가스 드레인(40)과의 사이의 연결이 종료되었을 때, 압축 공기 공급부(30)에 의해 압축 공기가 계속해서 압축 공간(31)으로 공급됨에 따라, 액체(12)는 유동 통로(42)를 통해 밀려 올라간다. 액체(12)가 용기(14)의 가요성 내측 용기(20)로부터 취출됨에 따라, 공기가 압축 공간(31)으로 들어가고, 이에 따라 내측 용기(20)를 수축시킨다. 내측 용기(20)는 압축 공기로 수축되는 것이 바람직하지만, 유동 통로(42)를 통해 액체를 밀어내도록 내측 용기(20)를 수축시킬 수 있는, 수력학적 또는 기계적 장치를 비롯한 임의의 수단이 사용될 수도 있다. 대안으로, 유동 통로(42)와 연결된 펌프 또는 벤투리관(venturi)도 용기(14)로부터 액체(12)를 취출시킬 수 있다.
이때, 액체(12)를 제조 공정(13)에 분배하기 전에 헤드스페이스 가스(18)가 제거되지 않았다면, 헤드스페이스 가스(18)는 헨리(Henry)의 법칙에 따라 용액으로 용해되기 시작한다는 점에 주목하는 것이 중요하다. 헨리의 법칙이란, 온도가 일정한 경우, 용액 속에 용해된 기체의 양이 용액 위의 기체 압력에 정비례한다는 것이다. 따라서, 내측 용기(20)가 압축 공기 공급부(30)에 의해 수축되어 액체(12)를 내측 용기(20) 밖으로 밀어내기 때문에, 헤드스페이스 가스(18)의 압력은 이 과정 동안에 상승한다. 이것은, 헤드스페이스 가스(18)가 액체(12) 속으로 용해되고, 이에 따라 액체(12)가 공정(13)으로 공급될 때, 해로운 기포가 형성되는 결과를 초래한다.
액체(12)가 제조 공정(13)으로 분배됨에 따라서, 용기(14)의 무게는 감소한다. 용기 저울(44)은, 액체(12)가 제조 공정(13)으로 분배되는 중에 계속해서 용기(14)의 무게를 측정하여, 용기(14)의 무게가 소정의 빈 상태의 무게에 도달하는 시기를 측정한다. 용기(14)의 빈 상태의 무게란, 내부에 비어 있는 내측 용기(20)가 있을 때의 외측 용기(22)의 무게이다. 용기 저울(44)로 빈 상태의 무게를 측정하면 모든 액체(12)가 내부 용기(20)로부터 분배되는 것이 보장된다.
용기 저울(44)에 의해 용기(14)가 비어 있다고 판정되면, 시스템 제어부(46)는 압축 공기 공급부(30)를 오프시키는 신호를 보낸다. 이어서, 압축 공기 통로(32), 가스 통로(34), 그리고 유동 통로(42)가 빈 용기(14)로부터 분리되고, 빈 용기(14)는 시스템(10)으로부터 제거되며, 액체(12)와 헤드스페이스 가스(18)로 채워진 새로운 용기(14)가 시스템(10)에 연결된다. 이후, 용기(14)로부터 액체(12)를 분배하는 것이 재개된다.
도 2는, 용기(14)로부터 제조 공정(13)으로 액체(12)를 분배하는, 본 발명의 다른 바람직한 실시예에 따른 시스템(50)의 개략도이다. 용기(14)는, 용기(14)의 수송 및 저장 중에 액체(12)를 안정화시키기 위해 공급된 헤드스페이스 가스(18)를 포함한다. 용기(16)는 가요성 내측 용기(20)와 강성 외측 용기(22)를 포함한다. 도 1에 도시된 시스템(10)과 유사하게, 시스템(50)은 압축 공기 공급부(30), 압축 공기 통로(32), 헤드스페이스 가스 통로(34), 액체 센서(38), 헤드스페이스 가스 드레인(40), 유동 통로(42), 그리고 시스템 제어부(46)를 포함한다. 부가적으로, 시스템(50)은 또한 빈 상태 감지용 가스 공급부(52), 조절 게이지(54), 제1 블록 밸브(55), 가스량 제어기(56), 제2 블록 밸브(58), 선택 밸브(60), 그리고 빈 상태 감지용 가스 센서(62)를 포함한다.
압축 공기 공급부(30)는 압축 공기 통로(32)를 거쳐서 압축 공간(31)과 연결된다. 선택 밸브(60)는, 선택 밸브(60)의 위치 상태에 따라 선택 밸브 포트(60a) 또는 선택 밸브 포트(60b)에 연결되는 장치들에 [가스 통로(34)를 통해서] 내측 용기(20)의 내부를 연결하는 3-포트 밸브이다. 보다 구체적으로, 선택 밸브(60)는, 제1 위치에서, 내측 용기(20)의 내부와 포트(60a)에 연결되는 장치[즉, 액체 센서(38)와 헤드스페이스 가스 드레인(40)]와의 사이에서 유체가 흐르도록 한다. 액체 센서(38)는 선택 밸브(60)와 헤드스페이스 가스 드레인(40) 사이에 연결된다. 제2 위치에서, 선택 밸브(60)는 내측 용기(20)의 내부와 포트(60b)에 연결되는 장치들[즉, 빈 상태 감지용 가스 공급부(52), 조절 게이지(54), 제1 블록 밸브(55), 가스량 제어기(56), 그리고 제2 블록 밸브(58)]과의 사이에서 유체가 흐르도록 한다. 조절 게이지(54), 제1 블록 밸브(55), 가스량 제어기(56), 그리고 제2 블록 밸브(58)는, 빈 상태 감지용 가스 공급부(52)와 선택 밸브(60) 사이에 연결된다. 마지막으로, 내측 용기(20)의 내부는 유동 통로(42)를 통해 제조 공정(13)과 유체 연통 상태로 된다. 빈 상태 감지용 가스 센서(62)는 유동 통로(42)를 따라 연결된다.
가스 통로(34), 유동 통로(42), 그리고 선택 밸브(60)는 단일 커넥터 패키지 안에서 결합되어, 내측 용기(20)의 내부가 헤드스페이스 가스 드레인(40), 빈 상태 감지용 가스 공급부(52) 및 제조 공정(13)과 하나의 연결부로 연결되도록 하는 것이 바람직하다. 유동 통로(42)는, 액체(12)와 제조 공정(13) 사이에서 유체 연통 상태로 되도록 용기의 포트를 통해 그리고 내측 용기(20) 내부로 삽입가능한 프로브에 마련되는 것이 일반적이다.
도 2에 도시된 실시예에서, 시스템 제어부(46)는 압축 공기 공급부(30), 액체 센서(38), 조절 게이지(54), 제1 블록 밸브(55), 제2 블록 밸브(58), 선택 밸브(60), 그리고 빈 상태 감지용 가스 센서(62)와 연결된다. 시스템 제어부(46)는, 시스템(50)의 다양한 구성 요소들로부터 받은 신호에 기초하여 시스템(50)의 작동을 제어한다.
전술한 바와 같이, 용기(14)가 제조 공정(13)에 연결될 때, 헤드스페이스 가스(18)는 더 이상 필요하지 않거나 요구되지 않는다. 따라서, 헤드스페이스 가스(18)는 액체(12)를 제조 공정(13)에 분배하기 전에 제거되어야만 한다. 시스템(50) 내의 용기(14)로부터 헤드스페이스 가스(18)를 제거하는 과정은 시스템(10)에서의 동일한 공정과 유사하다. 우선, 압축 공기 통로(32), 가스 통로(34), 그리고 유동 통로(42)는 용기(14)와 연결된다. 그 후, 시스템 제어부(46)는 선택 밸브(60)에 신호를 보내서, 선택 밸브(60)가 밸브의 제1 위치로 돌아가도록 하여 내측 용기(20)의 내부와 헤드스페이스 가스 드레인(40) 사이에서 [선택 밸브 포트(60a)를 통해] 유체가 흐르도록 한다. 또한, 시스템(50)의 사용자는 수동으로 선택 밸브를 밸브의 제1 위치로 돌려놓을 수도 있다. 이어서, 압축 유체, 바람직하게는 압축 공기 또는 질소가 압축 공기 공급부(30)에 의해 압축 공간(31)으로 공급되어, 헤드스페이스 가스(18)가 가스 통로(34)와 액체 센서(38)를 통해 헤드스페이스 가스 드레인(40)까지 흐르도록 한다. 헤드스페이스 가스(18)가 용기(14)의 내측 용기(20)로부터 취출됨에 따라, 공기가 압축 공간(31)으로 들어갈 수 있어서, 가요성 내측 용기(20)를 수축시킨다. 내측 용기(20)는 압축 공기로 수축되는 것이 바람직하지만, 가스 통로(34)를 거쳐 헤드스페이스 가스(18)가 흐르도록 내측 용기(20)를 수축시킬 수 있는, 수력학적 또는 기계적 장치를 비롯한 임의의 수단이 사용될 수도 있다. 대안으로, 가스 통로(34)에 연결된 펌프 또는 벤투리관도 용기(14)로부터 헤드스페이스 가스(18)를 취출시킬 수 있다.
헤드스페이스 가스(18)가 내측 용기(20)로부터 소진된 후, 압축 공기 공급부(30)가 계속적으로 압축 공간(31)에 공기를 공급함에 따라, 액체(12)는 가스 통로(34) 내에서 흐르기 시작한다. 액체(12)가 액체 센서(38)에 도달하면, 시스템 제어부(46)는 이에 반응하여 선택 밸브(60)를 제2 위치로 돌려놓는다. 이는, 내측 용기(20)의 내부와 헤드스페이스 가스 드레인(40) 사이의 연결을 종료시키고, 내측 용기(20)의 내부와 선택 밸브 포트(60b) 사이의 연결을 개시한다. 대안으로, 시스템(50)의 사용자는, 시각적으로 액체(12)가 가스 통로(34)에서 흐르기 시작하는 시기를 확인할 수도 있으며, 수동으로 선택 밸브(60)를 제2 위치로 돌려서 헤드스페이스 가스 드레인(40)으로의 연결을 종료시킬 수도 있다.
이때, 액체(12)를 제조 공정(13)에 분배하기 전에 헤드스페이스 가스(18)가 제거되지 못했다면, 헤드스페이스 가스(18)는 헨리의 법칙에 따라 용액 속으로 용해되기 시작할 것이라는 것을 다시 한 번 주목하는 것은 중요하다. 내측 용기(20)는 압축 공기 공급부(30)에 의해 수축되어 액체(12)가 내측 용기(20)로부터 배출되도록 하기 때문에, 헤드스페이스 가스(18)의 압력은 이 과정 중에 상승한다. 이것은, 헤드스페이스 가스(18)가 액체(12) 속으로 용해되어, 액체가 공정(13)으로 이송될 때 액체(12) 내에 해로운 기포가 형성되는 결과를 초래한다.
다수의 액체 분배 시스템에 있어서, 헤드스페이스 가스(18)의 제거 후, 용기(14) 내에 소량의 가스를 남기는 것이 바람직하다. 모든 액체(12)가 용기(14)로부터 분배되었을 때, 빈 상태 감지용 가스로 지칭되는 이 소량의 가스는, 센서[예를 들어, 도 2의 빈 상태 감지용 가스 센서(62)]에 의해 감지되어 용기가 비었음을 알려준다. 통상의 시스템에서는, 용기(14)에 남아있는 빈 상태 감지용 가스의 양을 쉽게 제어할 수 없는데, 헤드스페이스 가스 드레인(40)으로 배기되고 있는 가스의 양을 쉽게 측정할 수 없기 때문이다.
시스템(50)에서, 내부 용기(20) 내부에 빈 상태 감지용 가스를 첨가하는 것은 빈 상태 감지용 가스 공급부(52), 조절 게이지(54), 제1 블록 밸브(55), 가스량 제어기(56), 그리고 제2 블록 밸브(58)에 의해 제어된다. 우선, 시스템 제어부(46)가 제1 블록 밸브(55)를 개방하여 빈 상태 감지용 가스 공급부(52)와 가스량 제어기(56) 사이에서 유체가 흐르도록 한다. 이후, 빈 상태 감지용 가스는 빈 상태 감지용 가스 공급부(52)로부터 가스량 제어기(56) 내부로 흐르기 시작한다. 가스량 제어기(56)가 빈 상태 감지용 가스로 채워져 갈수록, 가스량 제어기(56) 내부의 압력은 증가한다. 상기 압력은 조절 게이지(54)에 의해 조절되고, 가스량 제어기(56)에 일체로 된 압력 변환기에 의해 측정될 수도 있다. 가스량 제어기(56) 내부로 흐르는 빈 상태 감지용 가스의 양은 가스량 제어기(56)의 체적 용량 및 가스량 제어기(56) 내부의 빈 상태 감지용 가스의 압력에 따라 결정된다. 이러한 요소들에 기초하여, 빈 상태 감지용 가스 공급부(52)는 가스량 제어기(56)가 소정의 양의 가스(예를 들어, 100 psig)로 채워질 때까지 계속해서 빈 상태 감지용 가스가 흐르게 한다.
소정의 양의 가스가 가스량 제어기(56)를 채우면, 시스템 제어부(46)는 제1 블록 밸브(55)를 닫아 빈 상태 감지용 가스 공급부(52)와 가스량 제어기(56)의 연결을 종료시킨다. 이어서 또는 동시에, 시스템 제어부(46)는 제2 블록 밸브(58)를 열어 가스량 제어기(56)와 내측 용기(20)의 내부 사이에서 유체가 흐르도록 한다. 이는, 가스량 제어기(56)에 담겨 있는 빈 상태 감지용 가스가 내측 용기(20)의 내부로 흐를 수 있도록 한다. 빈 상태 감지용 가스가 가스량 제어기(56)로부터 내측 용기(20)로 흐르는 동안 압축 공기 공급부(30)가 오프되면, 가스량 제어기(56)에 담긴 빈 상태 감지용 가스가 내측 용기(20) 내부로 흐를 것이다. 빈 상태 감지용 가스가 가스량 제어기(56)로부터 내측 용기(20)로 흐르는 동안 압축 공기 공급부(30)가 작동 중이라면, 압축 공기 공급부(30)와 가스량 제어기(56)의 압력이 서로 평형 압력에 도달할 때까지, 빈 상태 감지용 가스가 가스량 제어기(56)로부터 내측 용기(20)로 흐를 것이다. 압축 공기 공급부(30)의 작동 여부는 압축 공기 공급부(30)와 압축 공간(31) 사이에 연결된 2 방향 밸브 또는 3 방향 밸브에 의해 제어되는 것이 보통이다. 일반적으로, 가스량 제어기(56)로부터 내측 용기(20)로 흐르는 빈 상태 감지용 가스의 양은 가스량 제어기(56)의 크기, 가스량 제어기(56)의 압력과 압축 공간(31)의 압력의 차이에 따라 결정된다.
가스량 제어기(56)로부터 빈 상태 감지용 가스의 흐름이 정지된 후, 시스템 제어부(46)는 제2 블록 밸브(58)를 닫아 가스량 제어기(56)와 내측 용기(20) 사이의 연결을 종료시킨다. 제2 블록 밸브(58)가 닫힌 후, 압축 공기가 압축 공기 공급부(30)에 의해 압축 공간(31)으로 공급되기 때문에, 액체(12)는 유동 통로(42)를 통해 밀어 올려진다. 액체(12)가 용기(14)의 가요성 내측 용기(20)로부터 취출됨에 따라, 공기가 압축 공간(31)으로 들어갈 수 있어서, 내측 용기(20)를 수축시킨다. 내측 용기(20)는 압축 공기로 수축되는 것이 바람직하지만, 유동 통로(42)를 통해 액체가 흐르도록 내측 용기(20)를 수축시킬 수 있는, 수력학적 또는 기계적 장치를 비롯한 임의의 수단이 사용될 수도 있다. 대안으로, 유동 통로(42)에 연결된 펌프 또는 벤투리관도 용기(14)로부터 액체(12)를 취출시킬 수 있다.
내측 용기(20)가 압축 공기 공급부(30)에 의해 수축됨에 따라, 액체(12)가 내측 용기(20)로부터 소진될 때까지, 액체(12)는 제조 공정(13)으로 계속 흐른다. 액체(12)가 내측 용기(20)로부터 소진된 후, 빈 상태 감지용 가스만이 내측 용기(20) 안에 남는다. 압축 공기 공급부(30)가 계속해서 내측 용기(20)를 압축하기 때문에, 빈 상태 감지용 가스는 유동 통로(42)를 통해 제조 공정(13)을 향해서 흐르게 된다. 빈 상태 감지용 가스가 빈 상태 감지용 가스 센서(62)를 통과할 때, 빈 상태 감지용 가스 센서(62)는 시스템 제어부(46)에 신호를 보내서 압축 공기 공급부(30)가 오프되게 하며, 이에 따라 시스템(50)의 작동을 종료시킨다. 이어서, 압축 공기 통로(32), 가스 통로(34), 그리고 유동 통로(42)는 빈 용기(14)와의 연결이 차단되고, 빈 용기(14)는 시스템(50)에서 제거되며, 액체(12)와 헤드스페이스 가스(18)를 담은 새로운 용기(14)가 시스템(50)에 연결된다. 이후 용기(14)로부터 액체(12)를 분배하는 것이 재개된다.
요약하면, 일부 화학물질은 장기간 저장될 때, 특히 온도 변동을 겪을 때, 그 순도가 저하되거나 가교 결합하는 경향이 있다. 이러한 변질 또는 가교 결합이 발생하는 것을 방지하기 위해, 헤드스페이스로 지칭되는 용기의 비어 있는 부분은 헤드스페이스 가스로 채워진다. 헤드스페이스 가스는, 저장 중에 액체 내에서 화학 반응이 발생하지 못하도록 함으로써 액체 화학물질의 변질을 방지한다. 용기가 제조 공정에 연결될 때, 헤드스페이스 가스는 더 이상 필요가 없거나 요구되지 않는다. 통상의 분배 시스템은 액체 화학물질을 분배하기 전에 헤드스페이스 가스를 쉽게 제거하지 못한다. 본 발명은, 용기로부터 제조 공정에 액체 화학물질을 분배하기 위한 방법 및 시스템에 관한 것이며, 상기 용기는 외측 용기, 내측 용기 및 내측 용기의 내부와 연결되는 포트를 포함하고, 상기 내측 용기의 일부는 액체 화학물질이 점하고, 나머지는 용기가 제조 공정에 연결될 때까지 액체 화학물질의 변질을 방지하기 위한 헤드스페이스 가스가 점한다. 상기 액체 분배 시스템은 그 내부의 유동 통로를 구비하는 프로브와, 내측 용기의 내부와 외측 용기의 외부 사이를 연결하는 가스 통로를 포함한다. 상기 액체 분배 시스템은, 내측 용기와 외측 용기의 내벽 사이의 압축 공간에 유체로 연통되는 수단을 더 포함하는데, 이것은 내측 용기와 외측 용기의 내벽 사이의 공간으로 압축된 유체가 흐르게 하여, 헤드스페이스 가스가 가스 통로를 통해 내측 용기로부터 헤드스페이스 가스 드레인까지 배출되도록 하고 액체는 프로브 내부의 유동 통로를 통해 내측 용기로부터 제조 공정까지 배출되도록 한다.
본 발명은 바람직한 실시예를 참조하여 기술하였지만, 당업자는 본 발명의 사상과 범위를 벗어나지 않고 형태와 세부 구성의 변경이 가능하다는 것을 인지할 것이다.

Claims (35)

  1. 외측 용기 및 절첩 가능한 내측 용기를 포함하고, 상기 내측 용기는 초기에 액체 화학물질과 헤드스페이스 가스를 수용하는 내부를 갖는 것인 유체 용기로부터 제조 공정으로 액체 화학물질을 분배하는 액체 화학물질 분배 시스템으로서,
    상기 내측 용기에 삽입 가능한 프로브를 포함하며, 상기 프로브는 내부에 액체 유동 통로를 구비하는 것인 커넥터;
    상기 커넥터를 통해 연장되며, 상기 내측 용기와 헤드스페이스 가스 드레인 사이를 유체 연통시키도록 배치되는 가스 통로; 및
    액체가 상기 가스 통로 내에서 흐르기 시작하는 때를 감지하도록 배치되어, 상기 가스 통로 내 액체의 존재를 감지함으로써, 헤드스페이스 가스가 상기 내측 용기의 내부에서 소진되었다는 것을 알려주는 액체 센서를 포함하되,
    (a) 상기 가스 통로를 통해 상기 내측 용기로부터 상기 헤드스페이스 가스 드레인까지 상기 헤드스페이스 가스를 배출하며 (b) 상기 프로브 내의 액체 유동 통로를 통해 상기 내측 용기로부터 상기 제조 공정으로 액체 화학물질을 배출하기 위해, 상기 커넥터는 상기 내측 용기와 상기 외측 용기 사이의 압축 공간과 압축 유체 공급원을 유체 연통하도록 배치되는 것인 액체 화학물질 분배 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 헤드스페이스 가스 드레인과 가스 통로 사이에 연결되며, 상기 가스 통로를 통해 헤드스페이스 가스 드레인까지 상기 헤드스페이스 가스를 배출하기 위해 선택될 수 있는 개방 위치와, 상기 헤드스페이스 가스가 상기 내측 용기의 내부에서 소진되었음을 알리는 지표로서 액체가 상기 가스 통로 내에서 흐르기 시작하는 때를 상기 액체 센서가 감지하는 것에 응답하여 선택될 수 있는 차단 위치를 갖는 드레인 밸브를 더 포함하는 것인 액체 화학물질 분배 시스템.
  3. 액체 화학물질을 제조 공정으로 분배하는 액체 화학물질 분배 시스템으로서,
    외측 용기;
    상기 외측 용기 내에 위치하며, 액체 화학물질을 수용하도록 배치되는 절첩 가능한 내측 용기;
    상기 내측 용기로부터 헤드스페이스 가스를 제거시키도록 배치된 가스 통로;
    상기 가스 통로로부터 가스를 수용하도록 배치되는 헤드스페이스 가스 드레인;
    상기 가스 통로를 통해 헤드스페이스 가스가 상기 헤드스페이스 가스 드레인으로 흐르는 것을 선택적으로 허용하도록 배치되는 드레인 밸브; 및
    액체가 상기 가스 통로 내에서 흐르기 시작하는 때를 감지하도록 배치되는 액체 센서를 포함하되,
    상기 드레인 밸브는 상기 가스 통로 내 액체의 존재에 대한 상기 액체 센서의 감지에 응답하여 차단되는 것인 액체 화학물질 분배 시스템.
  4. 액체 화학물질을 제조 공정으로 분배하는 액체 화학물질 분배 시스템으로서,
    외측 용기;
    상기 외측 용기 내에 위치하며, 액체 화학물질을 수용하도록 배치되는 절첩 가능한 내측 용기로서, 상기 외측 용기와 상기 내측 용기 사이에는 압축 공간이 제공되는 것인 절첩 가능한 내측 용기;
    상기 내측 용기로부터 헤드스페이스 가스를 제거시키도록 배치되는 가스 통로;
    상기 가스 통로로부터 가스를 수용하도록 배치되는 헤드스페이스 가스 드레인;
    상기 가스 통로를 통해 상기 헤드스페이스 가스 드레인으로 헤드스페이스 가스를 제거하기 위해, 상기 내측 용기 내에 수용된 소정의 액체 화학물질과 접촉하도록 배치되는 헤드스페이스 가스의 배출을 개시하도록 상기 내측 용기의 소정의 내용물 상에 증가 압력을 가하기 전에 개방되도록 배치되는 드레인 밸브; 및
    액체가 상기 가스 통로 내에서 흐르기 시작하는 때를 감지하도록 배치되는 액체 센서를 포함하되,
    상기 시스템은 상기 가스 통로 내 액체의 존재에 대한 상기 액체 센서의 감지에 응답하여 상기 드레인 밸브를 차단하도록 배치되며, 상기 드레인 밸브의 차단 후에 상기 내측 용기로부터 액체 화학물질을 분배하도록 배치되는 것인 액체 화학물질 분배 시스템.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 내측 용기는 가요성의 중합체 백을 포함하는 것인 액체 화학물질 분배 시스템.
  6. 제3항 또는 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 내측 용기로부터 분배되는 액체를 수용하도록 배치되는 유동 통로를 더 포함하며, 상기 유동 통로 및 가스 통로는, 상기 내측 용기의 내부를 하나의 연결부로 상기 헤드스페이스 가스 드레인 및 제조 공정과 유체 연통시키도록, 단일 커넥터 패키지 안에서 결합되는 것인 액체 화학물질 분배 시스템.
  7. 제3항 또는 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 내측 용기 내부로 삽입가능한 프로브를 더 포함하며, 상기 내측 용기로부터 액체 화학물질을 분배하기 위해 상기 프로브 내에 유동 통로가 마련되는 것인 액체 화학물질 분배 시스템.
  8. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 액체 화학물질이 내측 용기로부터 소진되었을 때를 감지하기 위한 빈 상태 감지 수단을 더 포함하는 것인 액체 화학물질 분배 시스템.
  9. 제8항에 있어서, 상기 빈 상태 감지 수단은, 상기 액체 화학물질을 분배하기 직전에 상기 내측 용기의 내부로 주입되는 빈 상태 감지용 가스를 감지하도록 배치되는 빈 상태 감지용 가스 센서를 포함하는 것인 액체 화학물질 분배 시스템.
  10. 제8항에 있어서, 상기 빈 상태 감지 수단은, 저울에 의해 측정되는 상기 유체 용기의 무게가 소정의 무게에 도달하면 상기 액체 화합물질의 분배를 종료하기 위해, 상기 액체 화합물질이 제조 공정에 분배되는 동안 유체 용기의 무게를 측정하기 위한 저울을 포함하는 것인 액체 화학물질 분배 시스템.
  11. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 액체 화학물질은 산, 용매, 염기, 포토레지스트, 도펀트, 무기 용액, 및 칼라 필터 화학물질로 이루어진 군으로부터 선택되는 것인 액체 화학물질 분배 시스템.
  12. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 액체 화학물질은 유기 용액, 생물학적 용액, 약제, 및 방사능 화학물질로 이루어진 군으로부터 선택되는 것인 액체 화학물질 분배 방법.
  13. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제조 공정은 평판 패널 표시 장치 제조 공정을 포함하는 것인 액체 화학물질 분배 방법.
  14. 외측 용기 내부에 배치되는 절첩 가능한 내측 용기를 포함하며, 상기 내측 용기는 초기에 액체 화학물질 및 헤드스페이스 가스를 수용하는 내부를 구비하는 것인 유체 용기로부터 제조 공정으로 액체 화학물질을 분배하는 액체 화학물질 분배 방법으로서,
    헤드스페이스 가스 드레인과 연통하는 가스 통로를 통해 상기 내측 용기의 내부로부터 헤드스페이스 가스를 제거하는 것;
    상기 가스 통로 내 액체의 존재를 감지함으로써, 액체가 상기 가스 통로 내에서 흐르기 시작하는 때를 감지하도록 액체 센서를 이용하는 것; 및
    상기 내측 용기로부터 상기 제조 공정으로 액체 화학물질을 분배하도록 상기 내측 용기를 절첩시키는 것
    을 포함하는 것인 액체 화학물질 분배 방법.
  15. 제14항에 있어서, 상기 헤드스페이스 가스 제거 전에, 상기 내측 용기로부터 액체의 분배를 위해 내부에 액체 유동 통로를 구비하는 프로브를 포함하는 커넥터를 상기 유체 용기에 부착하는 것을 더 포함하며,
    상기 커넥터는 상기 가스 통로를 더 포함하고, 상기 프로브는 상기 내측 용기의 내부에 삽입되는 것인 액체 화학물질 분배 방법.
  16. 제14항에 있어서, 상기 내측 용기로부터 헤드스페이스 가스를 제거하는 것은, 상기 헤드스페이스 가스 드레인과 상기 내측 용기의 내부 사이의 유체 연통을 형성하는 것과, 상기 내측 용기를 절첩시키는 것을 포함하는 것인 액체 화학물질 분배 방법.
  17. 제16항에 있어서, 상기 헤드스페이스 가스 드레인과 상기 내측 용기의 내부 사이의 유체 연통을 형성하는 것은, 상기 헤드스페이스 가스가 상기 헤드스페이스 가스 드레인으로 배출될 수 있도록 하기 위해 선택될 수 있는 개방 위치를 갖는 드레인 밸브를 개방하는 것을 포함하는 것인 액체 화학물질 분배 방법.
  18. 제17항에 있어서, 상기 센서의 출력 신호에 응답하여 상기 드레인 밸브를 차단하는 것을 더 포함하는 것인 액체 화학물질 분배 방법.
  19. 제14항에 있어서, 상기 내측 용기를 절첩시키는 것은, 상기 내측 용기와 상기 외측 용기 사이의 압축 공간에 압축 유체를 공급하는 것을 포함하는 것인 액체 화학물질 분배 방법.
  20. 제14항에 있어서, 상기 헤드스페이스 가스를 제거하는 것은, 상기 헤드스페이스 가스가 상기 가스 통로를 통해 상기 헤드스페이스 가스 드레인으로 배출될 수 있도록 상기 가스 통로와 상기 헤드스페이스 가스 드레인 사이에 연결된 드레인 밸브를 개방하는 것; 및
    상기 액체가 상기 가스 통로 내에서 흐르기 시작하는 때에 대한 상기 액체 센서의 감지에 응답하여 상기 드레인 밸브를 차단하는 것
    을 포함하는 것인 액체 화학물질 분배 방법.
  21. 제20항에 있어서, 상기 드레인 밸브를 차단하기 전에, 상기 가스 통로 및 상기 헤드스페이스 가스 드레인을 통해 상기 내측 용기로부터 상기 헤드스페이스 가스를 배출하도록 상기 내측 용기와 상기 외측 용기 사이의 압축 공간에 압축 유체를 공급하는 것을 더 포함하는 것인 액체 화학물질 분배 방법.
  22. 액체 화학물질과 헤드스페이스 가스를 수용하는 내부를 구비하는 내측 용기 및 외측 용기를 포함하는 유체 용기로부터 제조 공정으로 액체 화학물질을 분배하는 방법으로서,
    가스 통로, 드레인 밸브 및 헤드스페이스 가스 드레인을 통해 상기 내측 용기의 내부로부터 헤드스페이스 가스를 제거하는 것;
    센서를 이용하여 액체가 상기 가스 통로 내에서 흐르기 시작하는 때를 감지하여, 헤드스페이스 가스가 상기 내측 용기의 내부로부터 소진되었음을 감지하고, 상기 센서의 출력 신호에 응답하여 상기 드레인 밸브를 차단하는 것; 및
    상기 내측 용기가 절첩 되도록 하고 이에 따라 상기 내측 용기의 내부로부터 상기 제조 공정으로 액체 화학물질을 분배하기 위해, 상기 외측 용기와 상기 내측 용기 사이의 공간에 압축 가스를 공급하는 것
    을 포함하는 것인 액체 화학물질 분배 방법.
  23. 외측 용기 내부에 배치되는 절첩 가능한 내측 용기로부터 액체 화학물질을 분배하며, 상기 내측 용기는 초기에 액체 및 헤드스페이스 가스를 수용하는 것인 액체 화학물질 분배 방법으로서,
    헤드스페이스 가스 드레인과 연통한 가스 통로를 통해 상기 내측 용기로부터 헤드스페이스 가스를 제거하는 것;
    액체가 상기 가스 통로 내에서 흐르는 때를 감지하도록 액체 센서를 이용하는 것;
    상기 가스 통로 내 액체의 존재에 대한 상기 액체 센서의 감지에 응답하여, 상기 내측 용기와 상기 헤드스페이스 가스 드레인 사이의 연결을 종료하도록 드레인 밸브를 차단하는 것; 및
    상기 내측 용기로부터 액체 화학물질을 분배하는 것
    을 포함하는 것인 액체 화학물질 분배 방법.
  24. 외측 용기 내부에 배치되는 절첩 가능한 내측 용기로부터 액체 화학물질을 분배하며, 상기 내측 용기는 초기에 액체 및 헤드스페이스 가스를 수용하며, 상기 외측 용기와 상기 내측 용기 사이에 압축 공간이 제공되는 것인 액체 화학물질 분배 방법으로서,
    헤드스페이스 가스 드레인과 연통된 가스 통로를 통해 헤드스페이스 가스를 제거하기 위해, 상기 내측 용기의 내용물에 소정의 증가 압력을 가하기 전에, 상기 내측 용기 내 액체와 접촉하며 배치되는 헤드스페이스 가스의 배출이 시작되도록 헤드스페이스 가스 드레인을 개방하는 것;
    액체가 상기 가스 통로 내에서 흐르기 시작하는 때를 감지하도록 액체 센서를 이용하는 것;
    상기 가스 통로 내 액체의 존재에 대한 상기 액체 센서의 감지에 응답하여, 상기 내측 용기와 상기 헤드스페이스 가스 드레인 사이의 연결을 종료하도록 드레인 밸브를 차단하는 것; 및
    상기 드레인 밸브의 차단에 이어 상기 내측 용기로부터 액체 화학물질을 분배하는 것
    을 포함하는 것인 액체 화학물질 분배 방법.
  25. 제22항 내지 제24항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 내측 용기로부터 액체를 분배하는 것은, 상기 내측 용기로부터 액체를 분배하기 위해 내부에 유동 통로가 구비되고, 상기 내측 용기 내부로 삽입가능한 프로브의 사용을 포함하는 것인 액체 화학물질 분배 방법.
  26. 제23항 또는 제24항에 있어서, 상기 액체 화학물질을 분배하는 것은, 상기 내측 용기로부터 제조 공정으로 액체 화학물질을 분배하는 것을 포함하는 것인 액체 화학물질 분배 방법.
  27. 제14항, 제22항 또는 제26항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제조 공정은 평판 패널 표시 장치 제조 공정을 포함하는 것인 액체 화학물질 분배 방법.
  28. 제23항 또는 제24항에 있어서, 상기 내측 용기로부터 액체를 분배하는 것은, 상기 압축 공간으로 압축 유체를 공급하는 것을 포함하는 것인 액체 화학물질 분배 방법.
  29. 제23항 또는 제24항에 있어서, 상기 내측 용기로부터 액체를 분배하는 것은, 상기 내측 용기로부터 액체를 배출하기 위해 펌프 또는 벤추리의 사용을 포함하는 것인 액체 화학물질 분배 방법.
  30. 제14항 내지 제24항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 내측 용기로부터의 액체 화학물질의 배출을 나타내는 빈 상태 감지 조건을 감지하는 것을 더 포함하는 것인 액체 화학물질 분배 방법.
  31. 제30항에 있어서, 상기 내측 용기로부터의 상기 액체 화학물질의 분배를 종료하는 것을 더 포함하는 것인 액체 화학물질 분배 방법.
  32. 제14항 내지 제24항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 내측 용기로부터 액체를 분배하기 전에 상기 내측 용기로 일정량의 빈 상태 감지용 가스를 주입하는 것을 더 포함하는 것인 액체 화학물질 분배 방법.
  33. 제14항 내지 제24항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 내측 용기 및 상기 외측 용기는 유체 용기를 구성하고,
    상기 액체가 상기 제조 공정에 분배되는 동안 상기 유체 용기의 무게를 측정하여, 상기 유체 용기가 빈 상태의 무게에 도달하면 상기 제조 공정으로 상기 액체의 분배를 종료하는 것을 더 포함하는 것인 액체 화학물질 분배 방법.
  34. 제14항 내지 제24항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 액체 화학물질은 산, 용매, 염기, 포토레지스트, 도펀트, 무기 용액, 및 칼라 필터 화학물질로 이루어진 군으로부터 선택되는 것인 액체 화학물질 분배 방법.
  35. 제14항 내지 제24항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 액체 화학물질은 유기 용액, 생물학적 용액, 약제, 및 방사능 화학물질로 이루어진 군으로부터 선택되는 것인 액체 화학물질 분배 방법.
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