TWI356141B - Liquid dispensing method and system with headspace - Google Patents

Description

1356141 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於用於儲存及分配液體的儲存及分配系 統。更明確地說，本發明有關於用以分配來自含頂部空間 氣體的容器的液體至一製造程序中的方法與系統。 【先前技術】 某些製造程序需要使用液體化學品，例如酸、溶劑、鹼、 光阻劑、摻雜物、無機溶液、有機溶液、生物溶液、藥劑、 及放射性化學品。儲存及分配系統允許其他容器被用以在 一特定時間中，分配液 理液體通常自被加壓的 配。 在一充填設施充填這 一製程中所用的一位置 器可以在連接至一製程 φ 被儲存相當長時間時， 傾向。例如，在製造薄 及儲存時的溫度上下變 原子團被釋放，所以， 變。為了防止此情形， 份被充填以頂部空間氣 應發生於儲存中的液體 如，在彩色遽光片化學 體化學品至一製造程序中。這些處 儲存及分配容器為特殊分配泵所分 些容器後，該等容器典型被運送至 。一旦在製造程序設施中，這些容 前被儲存一相當長時間。然而，當 部份上述化學品的純度具有衰變的 膜電晶體平面顯示器時，因為運送 動，在彩色濾光片化學品中之自由 所用的彩色濾光片化學品傾向於衰 該容器的被稱為頂部空間的排空部 體。頂部空間氣體藉由禁止化學反 中，而防止液體化學品的衰變。例 品的情形中，包含氧的頂部空間氣 5 1356141 體係在充填設施處被引入容器中，因為氧有清除在化學品 中被釋放出的自由原子團的傾向，因而，防止彩色濾光片 的衰變。

當容器予以被連接至製程中時，頂部空間氣體即不再需 要。因此，在將液體分配至製程前，頂部空間氣體必須被 移除。然而，必須小心練習以避免在排出頂部空間氣體時， 搖晃容器或強迫頂部空間氣體進入液體化學品。氣體的引 入液體化學品中可能造成在化學品中形成氣泡，這可能造 成在製程中，液體化學品的缺陷。 再者，在移除頂部空間氣體後，可能想要在容器中留下 少量的氣體。當所有之液體都被自容器排出時，此少量排 空檢測氣體係為配送器所檢測，以指出該容器為空的。在 傳統系統甲，保留在容器中之排空檢測氣體的量並不可容 易控制。

因此，需要一系統，其可以允許容易移除頂部空間氣體， 若想要的話，可以在頂部空間氣體被移除後，可以容易調 整殘留在容器中之排空檢測氣體的量。 【發明内容】 本發明為一種由包含外容器及内容器的容器分配液體化 學品至製造程序中的分配方法與系統，該内容器的一部份 係為液體所佔用，及内容器的其他部份係為頂部空間氣體 所佔用。該系統包含：一探棒，其内具有一流體路徑並可 以插入内容器的内部；及一氣體路徑，連通於内容器的内 6 1356141

部與外容器的外部之間。該系統更包含機構與外容 容器的内壁間之空間作流體相通，用以允許受壓力 被流入外容器與内容器的内壁間之空間中，以強迫 間氣體經由氣體路徑流出内容器外至頂部空間氣 口，並強迫液體經在探棒中之流體路徑而流出内容 造程序中。 於較佳實施例中，該系統更包含一排出閥，連接 部空間氣體排出口與該氣體路徑之間。該排出閥具 放位置，可選擇以允許頂部空間氣體經由氣體路徑 頂部空間氣體排出口。該排出閥也具有一閉合位置 部空間氣體已經被由内容器的内部排出時可選擇。 同時較佳包含一液體感應器，連接於該氣體路徑與 間氣體排出口間，以感應液體化學品何時開始流入 徑，並表示頂部空間氣體已經被由内容器内部排出 該系統同時也較佳包含一排空檢測機構，用以檢 液體化學品係由内容器排空。於一實施例中，排空 構為一排空檢測氣體感應器。於使用中，在將液體 分配至製造程序之前，少量的排空氣體被引入内容 部。當液體化學品被由容器排出時，該排空檢測氣 器感應此排空檢測氣體。當排空檢測氣體為排空檢 感應器所感應時，將液體分配至製造程序的程序被 於另一實施例t，排空檢測機構包含一秤，用以在 分配至製造程序的同時將液體容器稱重，使得當流 到達為秤所量測的預定排空重量時，液體的分配被 器與内 的流體 頂部空 體排出 器至製 於該頂 有一開 排出至 ，當頂 該系統 頂部空 氣體路 〇 測何時 檢測機 化學品 器的内 體感應 測氣體 終止。 液體被 體容器 終止。 7 1356141

【實施方式】 第1圖為依據本發明較佳實施例的系統1 0的示美 以將液體12由容器14配送至製造程序13，該容署 含有頂部空間1 6被充填以頂部空間氣體1 8。容器 撓性内容器2 0及剛性外容器2 2。系統1 0更包含壓 或氮‘供給30、壓縮空氣路徑32、頂部空間氣體路 排出閥36、液體感應器38、頂部空間氣體排出口 體路徑42、容器秤44、及系統控制46。 壓縮空氣供給30係經由壓縮空氣路徑32連接至 空間3 1 (即在外容器22之内部與内容器20之外面 間）。内容器20的内部經由氣體路徑34連接至頂部 體排出口 4 0。排出閥3 6及液體感應器3 8係沿著氣 34連接於内容器20的内部與頂部空間氣體排出口 間。最後，内容器2 0的内部係經由流體路徑4 2與 序1 3作體相通。 氣體路徑3 4及流體路徑 4 2較佳組合為單一連 裝，使得内容器20的内部以一連接與頂部空間氣體 40及製造程序1 3作流體相通。流體路徑42典型設 内，該探棒係可經由容器的一埠插入内容器20，以 1 2與製造程序1 3間提供流體相通。 外容器22提供於充填、傳送、處理及分配時，為 20(例如撓性聚合物袋）所需之機械支撐及保護。外 典型由金屬所構成，但取決於處理包含在容器14内 匕圖'用 ί 14包 1 6包含 縮空氣 徑34、 40、流 一壓縮 間之空 空間氣 體路徑 40之 製造程 接器包 排出口 在探棒 在液體 内容器 容器22 的特定 8 1356141

液體處理的政府規定，其他材料，包含塑膠材料也可 用。較佳地，容器14為一如於1 9 94年八月9日領證 Osgar的美國專利 5,33 5,82 1號所示，該案係併入作 考。較佳為微處理機為主之控制系統的系統控制4 6係 至壓縮空氣供給30、排出閥36、液體感應器38、及 秤44。系統控制46基於由系統1 0的各種元件所收到 號加以控制系統1 0的操作。 在附著至製造程序13前，容器14係在一充填設施 充填。於充填時，内容器 20首先以例如氮的氣體加 脹。液體12然後經由在容器14中之埠引入，以充填 容器22内之内容器20。 當長時間儲存時，特別是受到溫度上下變動時，部 學品的純度會傾向衰變。例如，在製造薄膜電晶體平 示器中，在運送及儲存時，因為彩色濾光片化學品的 原子團被釋放，所以所用之彩色濾光片傾向於衰變 聯。為了防止此情形發生，容器的排空部份，即頂部 16被充填以頂部空間氣體18。頂部空間氣體18藉由 器14的運送及儲存時，禁止在液體12中發生化學反 而防止了液體1 2的衰變。例如，在彩色濾光片化學品 形中，包含氧的頂部空間氣體18在充填設施中被引入 器20，因為氧傾向於清除化學品中之自由原子團，所 止了彩色濾光片化學品的衰變或交聯。 當容器14予以被連接至製造程序13時，頂部空間 18不再需要或想要。因此，頂部空間氣體1 8必須在 以使 予由 為參 連接 容器 之信 加以 以膨 在外 份化 面顯 自由 或交 空間 在容 應， 的情 内容 以防 氣體 分配 9 1356141

液體12至製程序13前被移除。開始，壓縮空氣路徑 氣體路徑34、及流體路徑42被連接至容器14。一信 後被系统控制4 6所送出，該系統控制較佳係微處理機 之系統，以打開排出閥36，這在内容器20的内部與 空間氣體排出口 4 0間產生流體連接。隨後，較佳為壓 氣或氮的加壓流體為壓縮空氣供給30所供給至壓縮 3 1，以強迫頂部空間氣體1 8經由氣體路徑3 4及經由 感應器38、並到頂部空間氣體排出口 40。因為頂部空 體18被由容器14的内容器20抽出，所以空氣被允許 壓縮空間31，藉以壓縮該撓性内容器20。雖然内容| 較佳以壓縮空氣加以壓縮，但任何可以壓縮内容器20 強迫頂部空間氣體18經由氣體路徑34的手段均可 用，包含液體及機械為主裝置。或者，一連接至氣體 34的泵可以由容器14抽出頂部空間氣體18。 在頂部空間氣體1 8已經由内容器2 0排出之後，因 縮空氣供給3 0持續供給氣體至壓縮空間31，所以液$ 開始流入氣體路徑3 4。當液體1 2到達液體感應器3 8 送出一信號給系統控制4 6，以關閉排出閥3 6 »此結束 容器20内部與頂部空間氣體排出口 40間之連接。或 一系統1 〇使用者可以視覺地決定何時液體1 2開始流 體路徑3 4並手動關閉排出閥3 6，以終止至頂部空間 排出口 40的連接。 當内容器20内部與頂部空間氣體排出口 40間之連 終止時，因為壓縮空氣持續被壓縮空氣供給3 0所供給 32、 號然 為主 頂部 縮空 空間 液體 間氣 進入 I 20 ，以 以使 路徑 為壓 蜜12 時， 在内 者， 入氣 氣體 接被 至壓 10 1356141

縮空間31，所以液體12被強迫向上通過流體路徑42。 液體12由容器14的撓性内容器20抽出時，空氣被允許 入壓缩空間31，藉以使内容器20被壓縮。雖然内容器 較佳以壓縮空氣加以壓縮，但任何可以壓縮内容器20, 強迫液體經由流體路徑42的手段均可以使用，包含液體 機械為主裝置。或者，一連接至流體路徑42的泵或細腰 可以由容器14抽出液體12。 此時，應注意若在分配液體12至製造程序13前，頂 空間氣體1 8並未被移除，則頂部空間氣體1 8將依據亨 定律開始溶解入溶液中。亨利定律說明在一定溫度中， 解於一溶液中之氣體量係直接成比例於在溶液上的氣體 壓力。因此，因為内容器20係為壓縮空氣供給30所壓絲 強迫液體12流出内容器20,所以頂部空間氣體18的壓 將於此程序中增加。這將造成頂部空間氣體18溶解入液 12中，藉此造成當液體12被輸送至程序13時，有害氣 的形成。 因為液體12係被分配至製造程序13中，所以容器 的重量減少。當液體12被分配至製造程序時，容器秤 持續稱重容器1 4，以決定何時容器1 4到達一預定排空 量。此容器14的排空重量係為具有排空内容器20在其 的外容器22的重量。為容器秤44所決定的排空重量確 了所有液體12均被由内容器20排出》 當容器.科44決定容器1 4被排空，則系統控制46送出 信號以關閉壓縮空氣供給3 0。隨後，壓縮空氣路徑3 2、 當 進 20 以 及 管 部 利 溶 的 i， 力 體 泡 14 44 重 中 保 氣 11 1356141 體路徑34、及流體路徑42被自排空容器14斷開，排空容 器14係由系統10移除，及一包含液體12及頂部空間氣體 1 8的新容器1 4被連接至系統1 0。然後開始將液體1 2由容 器1 4排放。

第2圖為依據本發明另一較佳實施例的系統5 0的示意 圖，用以將液體12由容器14分配至製造程序13。容器14 包含用以在容器14的運送及儲存時，穩定液體12的頂部 空間氣體18。容器16包含撓性内容器2 0及剛性外容器 2 2。類似於第1圖所示之系統10，系統5 0包含一壓縮空 氣供給3 0、一壓縮空氣路徑3 2、頂部空間氣體路徑3 4、 液體感應器38、頂部空間氣體排出口 40、流體路徑42、 及系統控制4 6。另外，系統5 0包含排空檢測氣體供給部 52、調節器量表54、第一封閉閥55、氣體量控制器56、 第二封閉閥5 8、選擇閥60、及排空檢測氣體感應器62。

壓縮空氣供給30係經由壓縮空氣路徑32所連接至壓縮 空間3 1。選擇閥6 0係為一三埠閥，取決於選擇閥6 0的位 置狀態，而連接内容器20内部（經由氣體路徑3 4)至連接 至選擇閥埠60a或選擇閥埠60b的裝置。更明確地說，在 第一位置中，選擇閥60提供於内容器20内部與連接至槔 60a之裝置（即液體感應器38與頂部空間氣體排出口 40) 間之流體連接。液體感應器38係連接於選擇閥60與頂部 空間氣體排出口 40之間。在第二位置中，選擇閥60提供 於内容器20内部與連接至埠60b之裝置（即排空檢測氣體 供給部52、調節器量表54、第一封閉閥55、氣體量控制 12 1356141

器56及第二封閉閥58)間之流體連接。調節器量表54、 一封閉閥5 5、氣體量控制器5 6、及第二封閉閥5 8係連 於排空檢測氣體供給部52與選擇閥60之間。最後，内 器20的内部係與製造程序1 3經由流體路徑42加以流體 接。排空檢測氣體感應器62係沿著流體路徑42連接。 氣體路徑34、流體路徑42及選擇閥60係較佳组合於 一連接器包裝中，使得内容器20的内部係以一連接法連 至頂部空間氣體排出口 4 0、排空檢測氣體供給部5 2、及 造程序13。流體路徑42典型被設在探棒中，該探棒可 由容器的一蟑插入内容器20，以提供於12與製造程序 間之流體相通。 於第2圖所示之實施例中，系統控制4 6係連接至壓縮 氣供給30、液體感應器38、調節器量表54、第一封閉 5 5、第二封閉閥 5 8、選擇閥 6 0、及排空檢測氣體感應 62。系統控制4 6基於自系統5 0的各元件所收到的信號 控制系統5 0的操作。 如上所述，當容器14予以被連接至製造程序13時， 部空間氣體18不再需要或想要。因此，頂部空間氣體 必須在分配液體1 2至製造程序1 3前移除。在.系統5 0中 容器1 4移除頂部空間氣體1 8的程序係類似於系統1 0中 相同程序。開始，壓縮空氣路徑32、氣體路徑34、及流 路徑42係連接至容器14 ^系統控制46然後選出一信號 選擇閥60，以到其第一位置，以在内容器20之内部與 部空間氣體排出口 40間（經由選擇閥埠60a)產生一流體 第 接 容 連 〇〇 早 接 製 經 13 空 閥 器 頂 18 由 之 體 給 頂 連 13 1356141

接。系統50的使用者也可以手動開關選擇閥60至 位置。隨後，加壓流體、較佳為空氣或氮氣被壓縮 給30所供給至壓缩空間31，以強迫頂部空間氣體： 氣體路徑 34、液體感應器38、及至頂部空間氣體 40。當頂部空間氣體18被由容器14的内容器20抽 空氣被允許進入壓縮空間31，藉以壓縮撓性内容器 然内容器2 0較佳以壓縮空氣加以壓縮，但任何可以 容器20，以強迫頂部空間氣體18經由氣體路徑34 均可以使用，包含液體及機械為主裝置。或者，一 氣體路徑34的泵或細腰管均可以由容器14抽出頂 氣體18。 在頂部空間氣體18已經由内容器20排出之後， 縮空氣供給3 0持續供給氣體至壓縮空間3 1，所以； 開始流入氣體路徑34。當液體1 2到達液體感應器 系統控制46藉由將選擇閥60開至第二位置而反應 束在内容器20内部與頂部空間氣體排出口 40間之 並開啟在内容器20的内部與選擇閥埠60b間之連 者，一系統5 0使用者可以視覺地決定何時液體12 入氣體路徑34並手動關閉選擇閥60至第二位置， 至頂部空間氣體排出口 40的連接。 此時，應再次注意，若在分配液體12至製造程序 頂部空間氣體1 8並未被移除，則頂部空間氣體1 8 亨利定律開始溶解入溶液中。因為内容器2 0係為壓 供給3 0所壓縮，強迫液體12流出内容器2 0，所以 其第一 空氣供 ί 8經過 排出口 出時， 20。雖 壓縮内 的手段 連接至 部空間 因為壓 夜體12 38時， 。此結 連接， 接。或 開始流 以終止 13前， 將依據 缩空氣 頂部空 14 1356141 間氣體18的壓力將於此程序中增加。這將造成頂部空間氣 體18溶解入液體12中，藉此造成當液體12被輸送至程序 13時，有害氣泡的形成。

於很多液體分配系統中，想要在移除頂部空間氣體18 後，留下少量氣體於容器14中。當所有液體12由容器14 分配後，此稱為排空檢測氣體的少量氣體係為一感應器（例 如在第2圖中之排空檢測氣體感應器62)所檢測，以表示 該容器内部為空的。於傳統系統中，殘留在容器14内的排 空檢測氣體量並不容易控制，因為予以排至頂部空間氣體 排出口 40的氣體量並不容易量得。

於系統50中，排空檢測氣體的加入内容器20内係為排 空檢測氣體供給部5 2、調節器量表5 4、第一封閉閥5 5、 氣體量控制器5 6及第二封閉閥5 8所控制。開始時，系統 控制4 6打開第一封閉閥5 5，以在排空檢測氣體供給部5 2 與氣體量控制器5 6間產生一流體連接。排空檢測氣體然後 開始由排空檢測氣體供給部5 2流入氣體量控制器5 6。因 為氣體量控制器5 6填入排空檢測氣體，所以在氣體量控制 器56中之壓力增加。壓力係為調節器量表54所調整並可 以為整合入氣體量控制器5 6的壓力換能器所量測。流入氣 體量控制器5 6的排空檢測氣體量取決於氣體量控制器5 6 的容量體積及在氣體量控制器56中之排空檢測氣體的壓 力。基於這些因素，排空檢測氣體供給部52持續流動，直 到氣體量控制器56被填以想要的氣體量為止（例如每平方 叶100時量規）。 15 1356141

當想要的氣體量已經充填氣體量控制器56時，系統控 46關閉第一封閉閥5 5，以終止在排空檢測氣體供給部 與氣體量控制器56間之連接。隨後或同時，系統控制 開放第二封閉閥58，以在氣體量控制器56及内容器20 内部間建立一流體連接。這允許包含在氣體量控制器 中之排空檢測氣體流入内容器2 0的内部。若在排空檢測 體自氣體量控制器56流入内容器20同時，壓縮氣體供 3 0被關閉，則包含在氣體量控制器5 6中之排空檢測氣 將流入内容器 2 0。若在排空檢測氣體由氣體量控制器 流入内容器20的同時，壓縮氣體供給30仍保持動作， 排空檢測氣體將由氣體量控制器5 6流入内容器2 0，直 在壓縮氣體供給30與在氣體量控制器56中之壓力保持 平衡壓力為止。典型地，壓縮空氣供給30為作動否係為 連接於壓縮空氣供給3 0及壓縮空間3 1間之雙向或三向 所控制。一般而言，由氣體量控制器56流入内容器20 排空檢測氣體量係基於氣體量控制器5 6的尺寸、在氣體 控制器56及在壓縮空間31中之壓力間之壓力差。 在排空檢測氣體停止由氣體量控制器56流出後，系統 制4 6閉合第二封閉閥5 8，以終止由氣體量控制器5 6至 容器20的連接。在第二封閉閥58閉合後，因為壓縮空 係為壓縮空氣供給3 0所供給入壓縮空間3 1中，所以液 12被強迫上流經流體路徑42。因為液體12被由容器 的撓性内容器20所抽出，所以，空氣被允許進入壓縮空 31，藉此壓縮内容器20。雖然内容器20較佳以壓縮空 制 52 46 的 56 氣 給 體 56 則 到 閥 的 量 控 内 氣 體 14 間 氣 16 1356141

加以壓縮，但任何可以壓縮内容器20，以強迫頂部液 由流體路徑42的手段均可以使用，包含液體及機械為 置。或者，一連接至流體路徑42的泵或細腰管均可以 器14抽出液體1 2。 因為内容器20係為壓縮空氣供給30所壓縮，所以 1 2持續流入製造程序1 3，直到液體1 2由内容器2 0排 止。在液體12由内容器2 0排空後，只有排空檢測氣 留在内容器20内。因為壓縮空氣供給30持續壓縮内 2 0，所以排空檢測空氣被強迫流經流體路徑4 2朝向製 序1 3。當排空檢測氣體流經排空檢測氣體感應器62 排空檢測氣體感應器6 2送出一信號給系統控制4 6， 閉壓縮空氣供給3 0，藉以終止系統5 0的操作。隨後 縮空氣路徑32、氣體路徑34、及流體路徑42由空的 14斷開，空的容器14被由系統50移除，且，一包含 12及頂部空間氣體18的新容器14被連接至系統50。 液體12由容器14排放的程序重新開始。 總結，部份化學品的純度有在長時間儲存時，特別 度上下變動時，會有衰變或交聯的情形。為了防止衰 交聯發生，稱為頂部空間的容器的排空部份係被填入 部空間氣體。該頂部空間氣體藉由禁止儲存中，化學 發生於液體中，而防止液體化學品的衰變。當容器予 接至製造程序時，頂部空間不再需要或想要。傳統分 統並不允許在分配液體化學品前，頂部空間的容易移 本發明為一種系統與方法，以將來自一容器的液體化 體經 主裝 由容 液體 空為 體保 容器 造程 時， 以關 ，壓 容器 液體 則， 當溫 變或 以頂 反應 以連 配系 除。 學品 17 1356141

分配至製造程序，該容器包一外容器、一内容器、及一璋， 其係連通内容器的内部，内容器的一部份係為液體化學品 所佔用用，内容器的其他部份係為頂部空間氣體所佔用 用，用以防止液體化學品衰變，直到容器連接至一製造程 序為止。該系統包含一探棒，其中，具有一流體路徑及一 氣體路徑，連通於内容器的内部與外容器的内部之間。該 系統更包含機構，以流體相通在外容器與内容器之内壁間 之壓縮空間，以允許受壓力的流體流入外容器與内容器之 内壁間之空間中，以強迫頂部空間氣體經由氣體路徑流出 内容器至一頂部空間氣體排出口，並強迫流體經由探棒中 之流體路徑流出内容器至製造程序。 雖然本發明已參考較佳實施例加以說明，但熟習於本技 藝者了解，在形式及細節上之變化並不會脫離本發明之精 神與範圍。 【圖式簡單說明】 • 第1圖為依據本發明之較佳實施例的系統示意圖，用以 分配來自一容器的液體至製程中，該容器包含一頂部空間 氣體，用以穩定容器運送及儲存時的液體。 第2圖為依據本發明另一較佳實施例的系統示意圖，用 以分配來自一容器的液體至製程中，該容器包含一頂部空 間氣體，用以穩定容器運送及儲存時的液體。 【元件代表符號簡單說明】 18 1356141

10 系 統 12 液 體 13 製 造 程 序 14 容 器 16 頂 部 空 間 18 頂 部 空 間 氣 體 20 内 容 器 22 外 容 器 30 空 氣 供 給 32 壓 縮 空 氣 路 徑 34 頂 部 空 間 氣 體 路 徑 36 排 出 閥 38 液 體 感 應 器 40 頂 部 空 間 氣 體排出 42 流 體 路 徑 44 容 器 秤 46 系 統 控 制 50 系 統 52 排 空 檢 測 氣 體 供 給部 54 調 即 器 量 表 55 第 — 封 閉 閥 56 氣 體 量 控 制 器 58 第 二 封 閉 閥 60 選 擇 閥 60a,b 選 擇 閥 埠

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Claims (1)

1. Γ356141 第气IMIUM號專利案㈣年7月修ΪΕ令 113 十、申請專利範圍： 1. 一種分配液體的方法，其包含以下之步驟： 提供一流體容器，該流體容器具有一外容器及一内容 器，該内容器的一部份係被一液體所佔據，該内容器的其 他部份係被一頂部空間氣體所佔據； 將該頂部空間氣體自該内容器排出； 將一定量的排空檢測氣體引入該内容器中；及 供給壓力至該内容器，以迫使該液體自該内容器流至一 製造程序。 2. 如申請專利範圍第1項所述之方法，其中將該定量的排 空檢測氣體引入該内容器中之步驟包含： 連接一第一封閉閥、一氣體量控制器、及一第二封閉閥 於一排空檢測氣體供給部及一氣體路徑之間； 開啟該第一封閉閥，以允許該排空檢測氣體由該排空檢 測氣體供給部流入該氣體量控制器； 當一排空檢測氣體的量測量已充填該氣體量控制器 時，關閉該第一封閉閥；及 開啟該第二封閉閥，以允許該排空檢測氣體由該氣體量 控制器，經由該氣體路徑流入該内容器的内部。 3. 如申請專利範圍第2項所述之方法，其中當該排空檢測 氣體的量測量已充填該氣體量控制器時，關閉該第一封閉 20 P356141 閥之步驟更包含： 連接一壓力調節器量表於該排空檢測氣體供給部與該 氣體量控制器之間，以於將該排空檢測氣體引入該 氣體量控制器時，調節在該氣體量控制器中之壓 力；及 依據該氣體量控制器中之壓力，當該排空檢測氣體的量 測量已被引入該氣體量控制器時，關閉該第一封閉 4. 如申請專利範圍第1項所述之方法，更包含： 當該液體已由該内容器排出時，感應該排空檢測氣體； 及 當感應到該排空檢測氣體時，停止將該液體分配至該製 造程序。 5. 如申請專利範圍第1項所述之方法，其中該排空檢測氣 體的成分與該頂部空間氣體不同。 6. —種將液體從一容器分配至一製造程序的系統，該容器 包含：一外容器及一内容器，該内容器係為該液體及一頂 部空間氣體所佔據，該系統包含： 一探棒，可插入該内容器中，該探棒之中具有一流體路 徑； 21 Γ356141 一氣體路徑，連通於該内容器内部與該外容器外部之 間； 一強迫構件，用以迫使該頂部空間氣體經由該氣體路徑 從該内容器流出到一頂部空間氣體排出口，且用以 迫使液體經由該探棒中的流體路徑，從該内容器流 出至該製造程序；及 一排空檢測氣體感應器，該排空檢測氣體感應器係配置 成用以感應一排空檢測氣體，該一排空檢測氣體在 緊接將該液體分配至該製造程序前，被引入該内容 器内部。 7.如申請專利範圍第6項所述之系統，更包含： 一氣體量控制器； 一第一封閉閥，連接於一排空檢測氣體供給部與該氣體 量控制器之間，該第一封閉閥具有一開啟位置及一 閉合位置，可選擇該開啟位置以允許該排空檢測氣 體由該排空檢測氣體供給部流入該氣體量控制 器，且當將一排空檢測氣體之量測量已被引入該氣 體量控制器時，可選擇該閉合位置；及 一第二封閉閥，連接於該氣體量控制器與該内容器之内 部之間，該第二封閉閥具有一開啟位置及一閉合位 置，可選擇該開啟位置以允許該排空檢測氣體由該 氣體量控制器流入該内容器内部，且當該排空檢測 22 Γ356141 氣體已由該氣體量控制器排出時，可選擇該閉合位 置。 8. 如申請專利範圍第7項所述之系統，更包含： 一壓力調節器量表，連接於該排空檢測氣體供給部與該 氣體量控制器之間，用以當該排空檢測氣體被引入 該氣體量控制器時，調節該氣體量控制器中之壓 力，以在將該排空檢測氣體的量測量已被引入該氣 體量控制器時，基於該氣體量控制器中之壓力，關 閉該第一封閉閥。 9. 如申請專利範圍第7項所述之系統，更包含： 一選擇閥，具有數個埠，該等數個埠連接至該第一封閉 閥及該第二封閉閥、該頂部空間氣體排出口及該内 容器的内部之任一者，其中該選擇閥允許該第一封 閉閥或該第二封閉閥之任一者及該頂部空間氣體 排出口，可選擇性地流體連接至該内容器的内部。 10 · —種用於一系統中之連接器，該系統包含··一流體容 器，該流體容器具有一外容器及一内容器，該内容器的一 部份係被一液體所佔據，該内容器的其他部份係被一頂部 空間氣體所佔據，該連接器包含： 一氣體路徑，適於連通於該内容器内部與該外容器外 23 1356141 部之間，其中該系統係適以將該頂部空間氣體經 由该氣體路徑從該内容器排出； 一探棒，可插入該内容器内，且具有一流體路徑於該 探棒中，其中該系統係適以迫使液體從該内容器 經該流體路徑流至一製造程序；以及 一排空檢測氣體感應器，適以感應一排空檢測氣體， 該一排空檢測氣體在緊接將該液體分配至該製造 程序前，被引入該内容器内部，其中該排空檢測 氣體的成分與該頂部空間氣體不同，且與該頂部 空間氣體相較，該排空檢測氣體感應器係適以優 先檢測該排空檢測氣體。 11. 如申請專利範圍第10項所述之連接器，其中在該内容 器與該外容器間之空間内受壓的流體，迫使該頂部空間氣 體經由該氣體路徑流出該内容器，且使該液體經由該流體 路徑，從該内容器流出至該製造程序。 12. —種從容器分配液體的方法，該容器包含：一外容器 及一内容器，該内容器的一部份初始為一液體所佔據，且 該内容器的其他部份初始為一頂部空間氣體所佔據，該方 法包含： 將該頂部空間氣體自該内容器排出； 在該排出步驟後，將一定量的排空檢測氣體引入該内 容器中；及. 24 1356141 壓縮該内容器，以迫使該液體自該内容器流出。 13. 如申請專利範圍第12項所述之方法，其中壓縮該内容 器之步驟包含： 將受壓的流體供給於内容器與外容器之間，以將液體 由該内容器分配。 14. 如申請專利範圍第12項所述之方法，更包含： 將一連接器連接至該流體容器，該連接器包含：一探 棒，該探棒之中具有一適以將液體由該内容器分 配之流體路徑，該連接器更包含：一氣體路徑， 該氣體路徑連通該内容器内部與該外容器外部 間，其中該氣體路徑係適以使該頂部空間氣體自 該内容器排出。 15. 如申請專利範圍第14項所述之方法，其中排出該頂部 空間氣體之步驟包含： 在一頂部空間氣體排出口及該氣體路徑之間連接一排 出閥； 開啟該排出閥，以允許該頂部空間氣體經由該氣體路 徑排至該頂部空間氣體排出口；及 當該液體開始流入該氣體路徑時，關閉該排出閥。 25 1356141 16. 如申請專利範圍第15項所述之方法，其中於關閉該排 出閥之前，該方法更包含： 將受壓的流體供給於内容器與外容器之間，以迫使該 頂部空間氣體經由該氣體路徑，從該内容器流出 至該頂部空間氣體排出口。 17. 如申請專利範圍第15項所述之方法，更包含： 將一液體感應器連接於該氣體路徑與該頂部空間氣體 排出口之間，以感應液體何時開始流入該氣體路 徑中。 18. 如申請專利範圍第12項所述之方法，其中將一定量的 排空檢測氣體引入該内容器中之步驟包含： 連接一第一封閉閥、一氣體量控制器、及一第二封閉 閥於一排空檢測氣體供給部及該氣體路徑之間； 開啟該第一封閉閥，以允許該排空檢測氣體由該排空 檢測氣體供給部流入該氣體量控制器； 當一排空檢測氣體的量測量已充填該氣體量控制器 時，關閉該第一封閉閥；及 開啟該第二封閉閥，以允許該排空檢測氣體由該氣體 量控制器，經由該氣體路徑流入該内容器的内部。 19. 如申請專利範圍第18項所述之方法，其中當該排空檢 26 Γ356141 測氣體的量測量已充填該氣體量控制器時，關閉該第一封 閉閥之步驟包含： 連接一壓力調節器量表於該排空檢測氣體供給部與該 氣體量控制器之間，以於將該排空檢測氣體引入 該氣體量控制器時，調節在該氣體量控制器中之 壓力；及 當該排空檢測氣體的量測量已被引入該氣體量控制器 時，依據該氣體量控制器中之壓力，關閉該第一 封閉閥。 20.如申請專利範圍第12項所述之方法，更包含： 當該液體已由該内容器排出時，感應該排空檢測氣 體；及 當感應到該排空檢測氣體時，停止將該液體分配至該 製造程序。 2 1.如申請專利範圍第1 2項所述之方法，其中該排空檢測 氣體的成分與該頂部空間氣體不同。 22. —種將液體從一容器分配至一製造程序的系統，該容 器包含：一外容器及一内容器，該内容器係為該液體及一 頂部空間氣體所佔據，該系統包含： 一連接器，連接至該容器，該連接器包含：一探棒， 27 Γ356141 該探棒可插入該内容器中，且定義出一流體 於該探棒中，該連接器更包含：一氣體路徑 該内容器的内部流體連通，其中該氣體路徑 選擇性地耦合至一頂部空間氣體排出口與一 檢測氣體源； 一強迫構件，適以迫使該頂部空間氣體經由該氣 徑從該内容器流出到該頂部空間氣體排出口 適以迫使液體經由該流體路徑，從該内容器 至該製造程序；及 一排空檢測氣體感應器，該排空檢測氣體感應器 以感應一排空檢測氣體，該一排空檢測氣體 接將該液體分配至該製造程序前，從該排空 氣體源被引入該内容器内部； 其中該強迫構件係不同於該排空檢測氣體源。 2 3.如申請專利範圍第22項所述之系統，更包含： 一排出閥，連接於該頂部空間氣體排出口與該氣 徑之間，該排出閥具有一開啟位置及一閉 置，可選擇該開啟位置以允許該頂部空間氣 由該氣體路徑排出至該頂部空間氣體排出口 當該頂部空間氣體已由該内容器的内部排出 可選擇該閉合位置。 路徑 ，與 係可 排空 體路 ，且 流出 係適 在緊 檢測 體路 合位 體經 ，且 時， 28 Γ356141 2 4.如申請專利範圍第23項所述之系統，更包含： 一液體感應器，連接於該氣體路徑與該頂部空間氣體 排出口之間，用以感應液體何時開始流入該氣體 路徑中，以指示該頂部空間氣體已由該内容器之 内部排出。 2 5.如申請專利範圍第2 3項所述之系統，更包含： 一氣體量控制器； 一第一封閉閥，連接於一排空檢測氣體供給部與該氣 體量控制器之間，該第一封閉閥具有一開啟位置 及一閉合位置，可選擇該開啟位置以允許該排空 檢測氣體由該排空檢測氣體供給部流入該氣體量 控制器，且當將一排空檢測氣體之量測量已被引 入該氣體量控制器時，可選擇該閉合位置；及 一第二封閉閥，連接於該氣體量控制器與該内容器之 内部之間，該第二封閉閥具有一開啟位置及一閉 合位置，可選擇該開啟位置以允許該排空檢測氣 體由該氣體量控制器流入該内容器内部，且當該 排空檢測氣體已經由該氣體量控制器排出時，可 選擇該閉合位置。 26.如申請專利範圍第25項所述之系統，更包含： 一壓力調節器量表，連接於該排空檢測氣體供給部與 29 Γ356141 該氣體量控制器之間，用以當該排空檢測氣體被 引入該氣體量控制器時，調節該氣體量控制器中 之壓力，以在將該排空檢測氣體的量測量已被引 入該氣體量控制器時，基於該氣體量控制器中之 壓力，關閉該第一封閉閥。 2 7.如申請專利範圍第2 5項所述之系統，更包含： 一選擇閥，具有數個埠，該等數個埠連接至該第一封 閉閥及該第二封閉閥、該頂部空間氣體排出口、 及該内容器的内部之任一者，其中該選擇閥允許 該第一封閉閥或該第二封閉閥之任一者及該頂部 空間氣體排出口，可選擇性地流體連接至該内容 器的内部。 2 8.如申請專利範圍第22項所述之系統，其中該排空檢測 氣體的成分與該頂部空間氣體不同。 2 9.如申請專利範圍第2 2項所述之系統，其中該強迫構件 包含：一受壓氣體源。 3 0. —種液體操作系統，該液體操作系統包含： 一容器，該容器包含： 一外容器； 30 1356141 一内容器，該内容器具有一内部；以及 其中該内容器之一部份係為該液體所佔據 内容器的其他部份係被一頂部空間氣 據； 一連接器，連接至該容器，該連接器包含：一 該探棒可插入該内容器中，且定義出一流 於該探棒中，該連接器更包含：一氣體路 該内容器的内部流體連通，其中該氣體路 擇性地可耦合至一頂部空間氣體排出口與 檢測氣體源； · 一流體源，與該外容器之内壁及該内容器間的 作流體相通，使受壓的流體流入該外容器 及該内容器間的該空間，以迫使該頂部空 經由該氣體路徑，從該内容器流出至一頂 氣體排出口，並迫使液體經由該流體路徑 内容器流出至該製造程序；及 一排空檢測氣體感應器，適以感應一排空檢測 該一排空檢測氣體在緊接將該液體分配至 程序前，被引入該内容器内部； 其中該排空檢測氣體源係不同於該流體源。 3 1.如申請專利範圍第3 0項所述之液體操作系統 含： ，及該 體所佔 探棒， 體路徑 徑，與 徑係選 一排空 一空間 之内壁 間氣體 部空間 ，從該 氣體， 該製造 ，更包 31 1356141 一液體感應器，連接於該氣體路徑與該頂部空間氣體 排出口之間，用以感應液體何時開始流入該氣體 路徑中，以指示該頂部空間氣體已由該内容器之 内部排出。 32. 如申請專利範圍第30項所述之液體操作系統，更包 含： 一排出閥，連接於該頂部空間氣體排出口與該氣體路 徑之間，該排出閥具有一開啟位置及一閉合位 置，可選擇該開啟位置以允許該頂部空間氣體經 由該氣體路徑排出至該頂部空間氣體排出口 ，且 當該頂部空間氣體已由該内容器的内部排出時， 可選擇該閉合位置。 33. —種將液體從一容器分配至一製造程序的系統，該容 器包含：一外容器及一内容器，該内容器係為該液體及一 頂部空間氣體所佔據，該系統包含： 一連接器，連接至該容器，且具有一探棒，該探棒可 插入該内容器中，該探棒具有一流體路徑於該探 棒中，該連接器更包含：一氣體路徑，連通於該 内容器内部與該外容器外部間； 一強迫構件，適以迫使該頂部空間氣體經由該氣體路 徑從該内容器流出到該頂部空間氣體排出口 ，且 32 1356141 適以迫使液體經由該流體路徑，從該内容器流出 至該製造程序； 一排出閥，連接於該頂部空間氣體排出口與該氣體路 徑之間，該排出閥具有一開啟位置及一閉合位 置，可選擇該開啟位置以允許該頂部空間氣體經 由該氣體路徑排出至該頂部空間氣體排出口，且 當該頂部空間氣體已由該内容器的内部排出時， 可選擇該閉合位置。 一氣體量控制器； 一第一封閉閥，連接於一排空檢測氣體供給部與該氣 體量控制器之間，該第一封閉閥具有一開啟位置 及一閉合位置，可選擇該開啟位置以允許該排空 檢測氣體由該排空檢測氣體供給部流入該氣體量 控制器，且當將一排空檢測氣體之量測量已被引 入該氣體量控制器時，可選擇該閉合位置；及 一第二封閉閥，連接於該氣體量控制器與該内容器之 内部之間，該第二封閉閥具有一開啟位置及一閉 合位置，可選擇該開啟位置以允許該排空檢測氣 體由該氣體量控制器流入該内容器内部，且當該 排空檢測氣體已經由該氣體量控制器排出時，可 選擇該閉合位置》 34.如申請專利範圍第33項所述之系統，更包含：一壓力 33 Γ356141 調節器量表，連接於該排空檢測氣體供給部與該氣體量控 制器之間，用以當該排空檢測氣體被引入該氣體量控制器 時，調節該氣體量控制器中之壓力，以在將該排空檢測氣 體的量測量已被引入該氣體量控制器時，基於該氣體量控 制器中之壓力，關閉該第一封閉閥。 3 5. —液體分配系統，該液體分配系統包含： 一外容器； 一可壓縮内容器，該可壓缩内容器位於該外容器中， 且係被配置成包含一液體，在該外容器及該内容器之間具 有一壓缩空間； 一氣體路徑，該氣體路徑係被配置成允許由該内容器 移除頂部空間氣體； 一頂部空間氣體排出口，該頂部空間氣體排出口係被 配置成由該氣體路徑接收氣體； 一排出閥，該排出閥係被配置成，在對該内容器之任 何内容物施加經增加之壓力，以開始排出頂部空間氣體之 前，開啟該排出閥，以將頂部空間氣體經由該氣體路徑移 除至該排出閥，該頂部空間氣體係被配置成與該内容器内 所包含之任何液體接觸；及 一液體感應器，該液體感應器係被配置成感應液體何 時開始流入該氣體路徑中； 其中該系統係被配置成，對該液體感應器偵測到該氣 34 Γ356141 體路徑有液體做出反應，而關閉該排出閥，且該系統係被 配置成，在關閉該排出閥後，由該内容器分配液體。 3 6.如申請專利範圍第3 5項所述之液體分配系統，其中該 内容器包含：一撓性聚合物袋。 3 7.如申請專利範圍第3 5項所述之液體分配系統，包含： 一流體路徑，該流體路徑係被配置成接收由該内容器所分 配之液體，其中該流體路徑及該氣體路徑係被结合為一單 一連接器包裝，使得該内容器的内部經由一單一連接，而 與該頂部空間氣體排出口及一製造程序流體相通。 3 8.如申請專利範圍第3 5項所述之液體分配系統，包含： 一探棒，該探棒可插入該内容器中，且該探棒具有一流體 路徑於該探棒中，用以由該内容器分配液體。 39. 如申請專利範圍第35、36、37或38項所述之液體分 配系統，包含：排空檢測構件，用於當液體已由該内容器 排出時進行檢測。 40. 如申請專利範圍第39項所述之液體分配系統，其中該 排空檢測構件包含：一排空檢測氣體感應器。 35 1356141 41. 如申請專利範圍第39項所述之液體分配系統， 排空檢測構件包含：一秤。 42. 如申請專利範圍第35、36、37或38項所述之 配系統，該液體分配系統係被配置成由該内容器分 至一製造程序。 43 .如申請專利範圍第42項所述之液體分配系統， 製造程序包含：一平面顯示器製造程序。 44. 如申請專利範圍第35、36、37或38項所述之 配系統，其中該内容器包含：從一群組中所選擇之 該群組由酸、溶劑、鹼、光阻劑、彩色濾光片化學 雜物及無機溶液所組成。 45. 如申請專利範圍第35、36、37或38項所述之 配系統，其中該内容器包含：從一群組中所選擇之 該群組由有機溶液、生物溶液、藥劑及放射性化學 成。 46. —種由一可壓縮内容器分配一液體之方法，該 係被配置於一外容器中，該内容器初始包含：液體 空間氣體，且在該外容器及該内容器之間具有一 其中該 液體分 配液體 其中該 液體分 液體， 品、捧 液體分 液體， 品所組 内容器 及頂部 壓縮空 36 1356141 間，該方法包含以下之步驟： 在對該内容器之内容物施加經任何增加之壓力之前， 開啟一頂部空間氣體排出口 ，以開始排出頂部空間氣體， 該頂部空間氣體係被配置成與該内容器内之該液體接觸， 以將頂部空間氣體經由一氣體路徑移除，該氣體路徑連接 一頂部空間氣體排出口； 利用一液體感應器，感應液體何時開始流入該氣體路 徑中； 對該液體感應器偵測到該氣體路徑有液體做出反應， 而關閉一排出閥，以停止該内容器及該頂部空間氣體排出 口之間的一連接；及 在該排出閥關閉後，由該内容器分配液體。 47.如申請專利範圍第46項所述之方法，其中由該内容器 分配液體之步驟包含：使用一探棒，該探棒可插入該内容 器中，且該探棒之中具有一流體路徑，以由該内容器分配 液體。 48. 如申請專利範圍第46項所述之方法，包含：自該内容 器分配液體至一製造程序。 49. 如申請專利範圍第48項所述之方法，其中該製造程序 包含：一平面顯示器製造程序。 37 Γ356141 50.如申請專利範圍第46、47、48或49項所述之方法， 其中由該内容器分配液體之步驟包含：供應經加壓之流體 至該壓縮空間。 5 1.如申請專利範圍第46、47、48或49項所述之方法， 其中由該内容器分配液體之步驟包含：使用一泵或一細腰 管由該内容器抽出液體。 52.如申請專利範圍第46、47、48或49項所述之方法， 包含：使用排空檢測構件，以當液體已由該内容器排出時 進行檢測。 5 3 .如申請專利範圍第5 2項所述之方法，其中該排空檢測 構件包含：一排空檢測氣體感應器。 5 4.如申請專利範圍第5 2項所述之方法，其中該排空檢測 構件包含：一秤。 55.如申請專利範圍第46、47、48或49項所述之方法， 包含：停止由該内容器分配液體，及將一新容器連接至該 氣體路徑及該液體感應器，該新容器包含：液體及頂部空 間氣體。 38 1.356141 56. 如申請專利範圍第46、47、48或49項所述之方法， 其中該液體係由一群组中所選擇，該群組由酸、溶劑、鹼、 光阻劑、彩色濾光片化學品、摻雜物及無機溶液所組成。 57. 如申請專利範圍第46、47' 48或49項所述之方法， 其中該液體係由一群組中所選擇，該群組由有機溶液、生 物溶液、藥劑、及放射性化學品所組成。 39