KR101125997B1 - A method for examinning a foreign substance on a transparent film - Google Patents

A method for examinning a foreign substance on a transparent film Download PDF

Info

Publication number
KR101125997B1
KR101125997B1 KR1020040058780A KR20040058780A KR101125997B1 KR 101125997 B1 KR101125997 B1 KR 101125997B1 KR 1020040058780 A KR1020040058780 A KR 1020040058780A KR 20040058780 A KR20040058780 A KR 20040058780A KR 101125997 B1 KR101125997 B1 KR 101125997B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
foreign material
foreign
transparent film
film
less
Prior art date
Application number
KR1020040058780A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20050014684A (en
Inventor
시노즈카아츠히코
혼다사토시
데구치노부오
Original Assignee
스미또모 가가꾸 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 스미또모 가가꾸 가부시키가이샤 filed Critical 스미또모 가가꾸 가부시키가이샤
Publication of KR20050014684A publication Critical patent/KR20050014684A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101125997B1 publication Critical patent/KR101125997B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
    • G01N21/896Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/30Polarising elements
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/21Polarisation-affecting properties

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

본 발명은 투명성 필름 표면에 부착된 이물을 제거하고 이물의 갯수를 검출하여 투명성 필름의 양부를 양호한 정밀도로 신속히 판정할 수 있는 투명성 필름의 이물 검사 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a foreign material inspection method of a transparent film which can remove foreign matters adhered to the transparent film surface, detect the number of foreign matters, and quickly determine whether the transparency film is good and accurate.

광원과 카메라의 사이에 직교 니콜로 배치한 2장의 편광판 사이로 투명성 필름을 이동시키고, 투과하여 오는 광원으로부터의 빛을 카메라로 촬영하여 그 화상 처리에 의해서 투명성 필름 중의 이물을 검사하는 방법으로서, 이물의 형상 및 이물의 신호 강도로부터 투명성 필름 표면에 부착된 이물의 제거 처리를 실시한 후, 이물의 갯수를 검출하여 투명성 필름의 양부를 판정하는 것을 특징으로 한다.As a method of moving a transparent film between two polarizing plates arrange | positioned with orthogonal Nicole between a light source and a camera, imaging the light from the light source which passes through with a camera, and inspecting the foreign material in a transparent film by the image processing, The shape of a foreign material And after performing the removal process of the foreign material adhering to the transparent film surface from the signal intensity of the foreign material, the number of foreign objects is detected and it is characterized by the determination of the transparency film.

이물 검사 방법Foreign body inspection method

Description

투명성 필름의 이물 검사 방법{A METHOD FOR EXAMINNING A FOREIGN SUBSTANCE ON A TRANSPARENT FILM}Foreign material inspection method of transparency film {A METHOD FOR EXAMINNING A FOREIGN SUBSTANCE ON A TRANSPARENT FILM}

도 1은 투명성 필름의 이물 검사의 방법을 나타내는 모식도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic diagram which shows the method of the foreign material test | inspection of a transparency film.

도 2는 이물을 검출한 화상의 예를 도시하는 도면이다.2 is a diagram illustrating an example of an image in which foreign matter is detected.

도 3은 이물의 형상을 규정하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.3 is a view for explaining a method for defining the shape of a foreign material.

도 4는 고강도 임계치(임계치 2)를 넘는 신호 강도를 나타내는 이물의 예를 도시하는 도면이다.4 is a diagram showing an example of a foreign material showing signal strength exceeding a high intensity threshold (threshold 2).

도 5는 고강도 임계치(임계치 2) 미만이고 저강도 임계치(임계치 1) 이상의 신호 강도를 나타내는 이물의 예를 도시하는 도면이다.FIG. 5 is a diagram showing an example of a foreign material that exhibits a signal strength below the high intensity threshold (threshold 2) and higher than the low intensity threshold (threshold 1).

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

1: 편광판1: polarizer

2: 편광판2: polarizer

3: 투명성 필름3: transparency film

10: 광원10: light source

20: 카메라20: camera

30: 화상 처리 장치30: image processing apparatus

본 발명은 투명성 필름의 이물을 검사하는 방법에 관한 것이다. 자세하게는, 투명성 필름 표면에 부착된 이물의 제거 처리를 실시한 후, 이물의 갯수를 검출하여 투명성 필름의 양부를 판정하는 이물 검사 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for inspecting foreign matter of a transparent film. In detail, after performing the removal process of the foreign material adhering to the transparent film surface, it is related with the foreign material inspection method which detects the quantity of a foreign material and determines the quality of a transparent film.

폴리카보네이트 필름, 폴리메타크릴레이트 필름, 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름, 폴리비닐알콜 필름, 아세틸셀룰로오스 필름, 폴리올레핀 필름, 노르보넨계 필름 등의 투명성 필름, 특히 광학 용도의 투명성 필름은 이물이 문제가 된다.Foreign materials are problematic for transparent films such as polycarbonate films, polymethacrylate films, polyethylene terephthalate films, polyvinyl alcohol films, acetylcellulose films, polyolefin films, norbornene-based films, and especially for optical applications.

이들 투명성 필름은 단독으로 또는 적층하여 이용된다. 이들 필름 또는 적층 필름은 제조 후, 적어도 그 한 면에 보호 필름을 접합한 상태로 취급되는 것이 많다.These transparency films are used individually or in lamination. These films or laminated | multilayer film are often handled in the state which bonded the protective film to at least one surface after manufacture.

투명성 필름의 이물은 제품의 결함이 되기 때문에 검사를 빠뜨릴 수 없다. 검사는 예컨대, 2장의 편광판을 직교 니콜(crossed nicol), 즉 이들의 편광축 방향이 직교하는 상태로 배치하고, 검사하고자 하는 투명성 필름을 2장의 편광판 사이에 배치하여, 광원으로부터 빛을 조사하여 투과광의 화면을 카메라에 의해 관찰하는 방법에 의해 실시된다.Foreign matter in the transparent film becomes a defect in the product, so inspection is indispensable. For example, the inspection may be performed by arranging two polarizing plates in a state of orthogonal cross nicol, that is, their polarization axis direction is orthogonal, and arranging a transparent film to be inspected between two polarizing plates and irradiating light from the light source to It is carried out by the method of observing the screen by the camera.

검사하고자 하는 투명성 필름이 보호 필름 점착 편광판의 경우, 검사용의 편광판에 대하여 검사하고자 하는 보호 필름 점착 편광판을 직교 니콜 상태로 배치하여 실시된다. 검사하고자 하는 보호 필름 점착 편광판을 투과하는 빛은 검사용 편광판에 의해 완전히 차단되지만, 검사하고자 하는 편광판의 검사용 편광판측에 이 물 등이 있으면 그것이 밝은 부분으로서 관찰되어, 이에 따라 이물을 검사할 수 있다. 반대측의 이물은 검사하고자 하는 편광판을 뒤집어 마찬가지로 검사함으로써 실시할 수 있다(예컨대, 특허문헌 1 및 특허문헌 2 참조.).In the case where the transparent film to be inspected is a protective film adhesive polarizing plate, the protective film adhesive polarizing plate to be inspected is disposed in an orthogonal nicotine state with respect to the polarizing plate for inspection. Light passing through the protective film-adhesive polarizing plate to be inspected is completely blocked by the inspecting polarizing plate, but if water or the like exists on the side of the inspecting polarizing plate of the polarizing plate to be inspected, it is observed as a bright part, thereby inspecting foreign matters. have. The foreign material on the opposite side can be performed by inverting the polarizing plate to be inspected in the same manner (see Patent Document 1 and Patent Document 2, for example).

[특허문헌 1][Patent Document 1]

특허 공개 2000-206327호 공보(단락 [0002])Patent Publication No. 2000-206327 (paragraph [0002])

[특허문헌 2][Patent Document 2]

특허 공개 2001-349839호 공보(단락 [0012], 단락 [0013])Patent Publication 2001-349839 (paragraph [0012], paragraph [0013])

이 직교 니콜로 배치한 2장의 편광판 사이에 검사하고자 하는 투명성 필름을 배치하여 실시하는 방법은 우수한 방법이지만, 검사하고자 하는 투명성 필름의 내부의 이물인지, 표면에 부착된 이물인지는 판별할 수 없다.Although the method of arrange | positioning and implementing the transparent film to test between two polarizing plates arrange | positioned by this orthogonal nicol is an excellent method, it cannot determine whether it is a foreign material in the inside of the transparent film to test, or the foreign material adhering to the surface.

투명성 필름은 접촉, 마찰이나 접합되어 있는 보호 필름을 박리했을 때 등에 정전기가 발생하여 표면에 먼지가 부착되기 쉽다.The transparent film tends to generate static electricity when contacting, rubbing, or peeling off the bonded protective film, and easily adheres to dust on the surface.

투명성 필름의 이물을 검사하는 경우, 표면에 부착된 먼지를 제거하여 실시하나 완전히 제거할 수 있는 것이 아니어서 이것이 정밀도를 방해하고 있다.In the case of inspecting the foreign material of the transparent film, the dust attached to the surface is removed but not completely removed, which hinders precision.

본 발명의 목적은 투명성 필름 표면에 부착된 이물을 제거하고 이물의 갯수를 검출하여 투명성 필름의 양부를 양호한 정밀도로 신속히 판정할 수 있는 투명성 필름의 이물 검사 방법을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a foreign material inspection method of a transparent film that can remove foreign matters adhered to the transparent film surface and detect the number of foreign matters to quickly determine whether the transparency film is good and accurate.

본 발명자는 이러한 과제를 해결하기 위해서 투명성 필름의 이물 검사 방법 에 관해서 예의 검토한 결과, 일반적으로 광학재료가 취급되는 청정 환경 혹은 비청정 환경에서 검출되는 형상이 편평형 또는 털실형인 이물, 또는 상대적으로 큰 이물은 투명성 필름의 내부에 존재하는 투명성 필름에서 유래한 이물이 아닌 것이 많고, 판정 기준으로서 이물 형상의 종횡비 또는 면적비를 설정함으로써, 또는 화상의 신호 강도에 임계치를 설정하여 판정함으로써, 투명성 필름 표면에 부착하고 있는 이물을 제거한 후, 이물의 갯수를 검출하여 투명성 필름의 양부를 양호한 정밀도로 신속히 판정할 수 있는 것을 발견하여 본 발명을 완성하기에 이르렀다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to solve such a subject, this inventor earnestly examined about the foreign material inspection method of a transparent film, As a result, the shape detected in the clean environment or the non-clean environment in which an optical material is handled generally is a foreign substance whose shape is flat or a yarn, or a relatively large thing. The foreign material is often not a foreign material derived from the transparent film existing inside the transparent film, and is determined by setting the aspect ratio or area ratio of the foreign material shape as a criterion, or by setting a threshold to the signal intensity of the image to determine the surface of the transparent film. After removing the adhering foreign matter, the number of the foreign matter was detected, and it was found that the quality of the transparent film could be quickly determined with good accuracy, and thus the present invention was completed.

즉, 본 발명은 광원과 카메라의 사이에 직교 니콜로 배치한 2장의 편광판 사이로 투명성 필름을 이동시키고, 투과하여 오는 광원으로부터의 빛을 카메라로 촬영하여 그 화상 처리에 의해서 투명성 필름 중의 이물을 검사하는 방법으로서, 이물의 형상 및 이물의 신호 강도로부터 투명성 필름 표면에 부착된 이물의 제거 처리를 실시한 후, 이물의 갯수를 검출하여 투명성 필름의 양부를 판정하는 것을 특징으로 하는 투명성 필름의 이물 검사 방법에 관한 것이다.That is, the present invention is a method of moving a transparent film between two polarizing plates arranged in orthogonal Nicole between a light source and a camera, photographing the light from the light source passing through with a camera, and inspecting the foreign material in the transparent film by the image processing. As a foreign material, the foreign material adhering to the surface of the transparent film from the shape of the foreign material and the signal strength of the foreign material is subjected to the removal process, and then the number of the foreign materials is detected to determine the quality of the transparent film. will be.

도 1은 투명성 필름의 이물 검사의 방법을 도시하는 모식도이다. 광원(10)과 카메라(20)의 사이에 2장의 편광판(1, 2)이 배치되고, 그 사이에 검사하고자 하는 투명성 필름(3)이 배치되어 있다. 여기서, 2장의 편광판은 서로 직교 니콜로, 즉 이들의 편광축 방향이 서로 직교하는 상태로 배치되어 있다. 카메라로부터의 화상 신호는 화상 처리 장치(30)에서 처리되어, 이물을 검출하여, 모니터에 출력된다. 또, 검사하고자 하는 투명성 필름이 편광판인 경우에는 상기 2장의 편광판은 한쪽만을 배치하여 실시한다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic diagram which shows the method of the foreign material inspection of a transparency film. Two polarizing plates 1 and 2 are arrange | positioned between the light source 10 and the camera 20, and the transparent film 3 to test | inspect is arrange | positioned between them. Here, two polarizing plates are arrange | positioned in orthogonal nico mutually, ie, the state in which these polarization axis directions orthogonally cross each other. The image signal from the camera is processed by the image processing apparatus 30 to detect foreign substances and output them to the monitor. Moreover, when the transparency film to be examined is a polarizing plate, the said two polarizing plates are arrange | positioned only one side and are implemented.                     

광원(10)으로부터의 빛은 편광판(1)의 편광축 방향의 편광 성분을 선택적으로 투과하고, 투명성 필름(3)에 이물이 없으면 투명성 필름을 투과하여 오는 빛은 편광판(2)으로 저지되어 카메라의 촬영 화상은 어두운 색을 나타낸다. 투명성 필름에 주변의 정상부와 위상차가 다른 이물이 있으면 그 부분의 편광 상태가 바뀌어, 편광판(2)을 통과하여 어두운 촬영 화상중에 밝은 부분(휘점)이 나타난다.Light from the light source 10 selectively transmits the polarization component in the direction of the polarization axis of the polarizing plate 1, and if there is no foreign material in the transparent film 3, the light passing through the transparent film is blocked by the polarizing plate 2 to prevent the camera. The photographed image shows a dark color. If there is a foreign material whose phase difference differs from the surrounding top part in a transparency film, the polarization state of that part will change, and a bright part (bright spot) will appear in a dark image | photographed image passing through the polarizing plate 2.

본 발명의 검사 대상은 투명성 필름이면 특별히 제한되지 않는데, 예컨대, 폴리카보네이트 필름, 폴리메타크릴레이트 필름, 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름, 폴리비닐알콜 필름, 트리아세틸셀룰로오스 필름, 폴리올레핀 필름, 노르보넨계 필름 등을 들 수 있다.The inspection object of the present invention is not particularly limited as long as it is a transparent film. For example, a polycarbonate film, a polymethacrylate film, a polyethylene terephthalate film, a polyvinyl alcohol film, a triacetylcellulose film, a polyolefin film, a norbornene-based film, or the like Can be mentioned.

카메라로서는 통상 CCD 카메라가 사용되고, 촬영하여 얻어지는 화상 신호는 화상 처리 장치에서 컴퓨터 시스템을 이용하여 화상 처리하여, 이물이 검출된다.As a camera, a CCD camera is normally used, and the image signal obtained by imaging is image-processed using a computer system in an image processing apparatus, and a foreign material is detected.

도 2에는 이물을 검출한 화상의 예를 도시한다. 도면 중, (A)는 투명성 필름 중의 이물, (B)는 투명성 필름에 부착하고 있는 실밥형 이물, (C)는 투명성 필름에 부착하고 있는 비교적 큰 이물의 예이다.2 shows an example of an image in which foreign matter is detected. In the figure, (A) is a foreign material in a transparent film, (B) is a seam type foreign material adhering to a transparent film, (C) is an example of a comparatively large foreign material adhering to a transparent film.

투명성 필름 중의 이물은 원료에 기인하는 것이거나, 투명성 필름을 제조하는 중에 필름을 구성하는 성분으로부터 생성된 불용물, 또는 외부에서 들어오는 것 등이다.The foreign matter in the transparent film is due to a raw material, an insoluble material generated from the components constituting the film during the production of the transparent film, or an external substance.

이용하는 CCD 카메라의 해상도에도 의하지만, CCD 카메라의 대신에 현미경을 이용하여 이물을 검사한 경우, 투명 필름 중에 포함되는 이물을 양호한 정밀도로 검출할 수 있으나, 검출 범위가 좁고 전체를 검사하기 위해서는 시간이 필요하므로 많은 샘플을 신속히 검사하기 위해서는 바람직한 방법이라고 할 수 없다.Although foreign matters are inspected using a microscope instead of the CCD camera, foreign matters contained in the transparent film can be detected with good accuracy, but the detection range is narrow and time is required to inspect the whole. This is not a desirable method for quickly inspecting a large number of samples.

도 2의 (B), (C)와 같은 이물은, 현미경을 이용하여 투명성 필름내를 관찰한 경우에는 거의 관찰되지 않는다는 점, 또, 검출된 투명성 필름의 세정 등에 의해서 감소되는 점으로부터 투명성 필름의 표면에 부착된 이물이라고 생각된다.The foreign materials such as (B) and (C) of FIG. 2 are hardly observed when the inside of the transparent film is observed using a microscope, and also reduced from cleaning or the like of the detected transparent film. It is considered that it is a foreign material attached to the surface.

본 발명에 있어서 우선 이물 형상 및 신호 강도로부터 투명성 필름의 표면에 부착된 이물을 판별한다.In the present invention, foreign matter adhering to the surface of the transparent film is first determined from the foreign matter shape and the signal strength.

실밥형이나 가늘고 긴 이물은 투명성 필름의 표면에 부착된 이물이다. 이들은 통상 필름의 이동 방향에 대해 평행 방향인 이물의 길이 성분과 수직 방향인 길이 성분 중 긴 성분에 대한 짧은 성분의 비가 설정치 이하, 이물의 평행 방향의 길이 성분과 수직 방향의 길이 성분을 적산하여 구하는 면적에 대한 이물의 면적의 비가 설정치 이하, 이물의 최대 길이를 대각선으로 하는 정방형의 면적에 대한 이물의 면적비가 설정치 이하, 또는 이물의 최대 길이를 직경으로 하는 원의 면적에 대한 이물의 면적비가 설정치 이하이며, 이들 중 어느 하나를 만족하는 것을 이물로서 검출한다.The seams or elongate foreign matters are foreign matters attached to the surface of the transparent film. These are usually obtained by integrating the length component in the parallel direction of the foreign material and the length component in the vertical direction below the set value of the ratio of the short component to the long component among the length components of the foreign material parallel to the moving direction of the film and the vertical component. The ratio of the area of the foreign material to the area is less than or equal to the set value, the area ratio of the foreign material to the square area of the diagonal of the maximum length of the foreign material is less than the set value, or the area ratio of the foreign material to the area of the circle whose maximum length is the diameter. Below, what satisfies either of these is detected as a foreign material.

도 3은 이것을 설명하는 도면이다. 이물은 가늘고 긴 타원형으로 모식적으로 도시되어 있고, (A)에 있어서 흰 화살표는 필름의 이동 방향을 나타내고, 이물의 평행 방향의 길이 성분을 X, 수직 방향의 길이 성분을 Y로 도시한다. 필름의 이동 방향에 대한 이물의 기울기의 정도에 의해서 평행 방향의 길이 성분 및 수직 방향의 길이 성분의 크기는 변한다. 본 발명에 있어서는 긴 성분에 대한 짧은 성분의 비가 설정치 이하의 이물을 표면에 부착된 이물이라고 판정한다. 또, 도 2의 (B)는 이물이 필름의 이동 방향에 대해 평행한 경우를 도시한다.3 is a diagram for explaining this. The foreign material is typically shown as an elongated ellipse, and in (A), the white arrow indicates the moving direction of the film, and the length component in the parallel direction of the foreign material is represented by X and the length component in the vertical direction is Y. The magnitude of the length component in the parallel direction and the length component in the vertical direction changes depending on the degree of inclination of the foreign material with respect to the moving direction of the film. In this invention, it is determined that the foreign matter below the set value is the foreign matter adhering to the surface. Moreover, FIG.2 (B) shows the case where a foreign material is parallel with the moving direction of a film.

이 설정치는 필름의 종류, 부착 환경에 있는 이물에 의하지만, 트리아세틸셀룰로오스 필름의 경우 통상 약 0.2~0.4, 바람직하게는 약 0.3으로 하는 것에 의해 양호한 정밀도로 판정할 수 있다.Although this setting value is based on the kind of film and the foreign material in an adhesion environment, in the case of a triacetyl cellulose film, it can be judged with good precision by setting it normally to about 0.2-0.4, Preferably it is about 0.3.

또한, 이물의 평행 방향의 길이 성분과 수직 방향의 길이 성분을 적산하여 구하는 면적에 대한 이물의 면적비가 설정치 이하, 이물의 최대 길이를 대각선으로 하는 정방형의 면적에 대한 이물의 면적비가 설정치 이하, 또는 이물의 최대 길이를 직경으로 하는 원의 면적에 대한 이물의 면적비가 설정치 이하인 이물을 투명성 필름 표면에 부착된 이물로서 판정한다.The area ratio of the foreign material to the area obtained by integrating the length component in the parallel direction of the foreign material and the length component in the vertical direction is less than or equal to the set value, and the area ratio of the foreign material to the square area that makes the maximum length of the foreign material diagonal is less than or equal to the predetermined value, or The foreign material whose area ratio of the foreign material to the area of the circle which makes the maximum length of a foreign material the diameter is below a set value is determined as a foreign material affixed on the transparent film surface.

도 3의 (A)는 이물의 평행 방향의 길이 성분(X)과 수직 방향의 길이 성분(Y)을 적산하여 구하는 면적(XY)에 대한 이물의 면적비를 설명하는 도면이다. 도 3의 (B)는 이물의 최대 길이를 대각선으로 하는 정방형의 면적에 대한 이물의 면적비를 설명하는 도면이다. 도 3의 (C)는 이물의 최대 길이를 직경으로 하는 원의 면적에 대한 이물의 면적비를 설명하는 도면이다.3: (A) is a figure explaining the area ratio of the foreign material with respect to the area XY calculated | required by integrating the length component X of the parallel direction of the foreign material, and the length component Y of the vertical direction. FIG. 3B is a diagram for explaining the area ratio of the foreign matter to the area of a square with the maximum length of the foreign material diagonally. FIG. 3C is a diagram illustrating the area ratio of the foreign material to the area of the circle whose maximum length is the diameter of the foreign material.

설정치는 필름의 종류, 부착 환경에 있는 이물에 의하지만, 트리아세틸셀룰로오스 필름의 경우 통상 이물의 평행 방향의 길이 성분과 수직 방향의 길이 성분을 적산하여 구하는 면적에 대한 이물의 면적비의 설정치는 약 0.2~0.4, 바람직하게는 약 0.3이고, 이물의 최대 길이를 대각선으로 하는 정방형의 면적에 대한 이물의 면적비의 설정치는 약 0.2~0.4, 바람직하게는 약 0.3이며, 이물의 최대 길이를 직경으로 하는 원의 면적에 대한 이물의 면적비의 설정치는 약 0.1~0.3, 바람직하 게는 약 0.2이다.Although the set value depends on the kind of film and foreign matter in the adhesion environment, in the case of a triacetyl cellulose film, the set value of the area ratio of the foreign matter to the area obtained by integrating the length component in the parallel direction and the length component in the vertical direction is usually about 0.2. ˜0.4, preferably about 0.3, and the set value of the area ratio of the foreign matter to the square area with the diagonal of the maximum length of the foreign material is about 0.2 to 0.4, preferably about 0.3, and the circle having the maximum length of the foreign material as the diameter. The set value of the area ratio of the foreign matter to the area of is about 0.1 to 0.3, preferably about 0.2.

통상 화상 신호는 화소 또는 화소군마다 구해지고, 화소가 차지하는 길이로부터 각각의 길이가, 이물이 차지하는 화소의 수로부터 면적이 용이하게 구해진다.Normally, an image signal is obtained for each pixel or pixel group, and the area is easily obtained from the number of pixels occupied by foreign matter from the length occupied by the pixel.

더욱 본 발명에 있어서는 신호 강도에 고강도 임계치 및 저강도 임계치를 마련하여, 저강도 임계치 미만의 강도 신호는 베이스 신호의 진동으로 하고, 고강도 임계치를 넘는 신호를 나타내는 이물은 투명성 필름 표면에 부착된 이물로서 제거 처리를 실시한다.Furthermore, in the present invention, a high intensity threshold and a low intensity threshold are provided in the signal intensity, and an intensity signal below the low intensity threshold is a vibration of the base signal, and a foreign material that exhibits a signal exceeding the high intensity threshold is a foreign material attached to the transparent film surface. The removal process is performed.

베이스 신호의 진동에 의한 오신호를 저강도 임계치(임계치 1)에 의해서 삭제하고, 고강도 임계치(임계치 2)를 넘는 신호를 나타내는 이물을 투명성 필름 표면에 부착된 이물이라고 판정한다(도 4).The false signal due to the vibration of the base signal is deleted by the low intensity threshold (threshold value 1), and it is determined that the foreign matter that exhibits a signal exceeding the high intensity threshold (threshold value 2) is a foreign material attached to the transparent film surface (FIG. 4).

다음에, 고강도 임계치(임계치 2) 미만이고 저강도 임계치(임계치 1) 이상의 신호 강도를 나타내는 이물(도 5)의 갯수를 검출하여 투명성 필름의 양부를 판정한다.Next, the number of foreign substances (FIG. 5) which are less than a high intensity threshold (threshold value 2) and which show signal strength more than a low intensity threshold (threshold value 1) is detected, and the quality of a transparency film is determined.

투명성 필름의 양부를 판정하는 이물의 갯수의 설정치는 투명성 필름의 종류, 용도 등에 따라 달라진다. 또한, 이물의 크기에 따라서도 다르고, 이물의 크기에 적어도 1개의 설정치를 마련하고, 그 상하의 크기에 관해서 갯수의 설정치를 마련하는 경우가 있다.The setting value of the number of foreign objects which determine the quality of a transparency film changes with kinds, uses, etc. of a transparency film. Moreover, also depending on the size of a foreign material, at least 1 setting value may be provided in the size of a foreign material, and the number of setting values may be provided regarding the magnitude | size of the upper and lower sides.

트리아세틸셀룰로오스를 편광판(편광자의 양면에 접합하여 편광판을 제작)에 사용하는 경우에는 큰 이물의 영향이 크기 때문에, 통상 이물의 크기가 약 90 μm 을 설정치로 하여, 필름 면적 1 m2당 크기가 9O μm 이상인 이물이 15OO개 이내, 90 μm 미만인 이물이 2000개 이내인 경우 양호품이라고 판정할 수 있다.When triacetyl cellulose is used in a polarizing plate (bonding both sides of the polarizer to produce a polarizing plate), the influence of a large foreign material is large, so that the size of the foreign material is about 90 μm, and the size per 1 m 2 of film area is usually set. If there are less than 150,000 foreign objects with a size of more than 90 μm and less than 2000 foreign materials with less than 90 μm, it can be judged as a good product.

투명성 필름은 접촉, 마찰이나 접합되어 있는 보호 필름을 박리했을 때 등에 정전기가 발생하여, 표면에 먼지가 부착되기 쉽다. 따라서, 이물 검사를 실시하는 투명성 필름의 샘플을 제작할 시에 이물이 부착되거나, 또는 부착된 이물을 그대로 검사하는 경우가 있다. 될 수 있는 한 부착된 이물을 제거하고 양호한 정밀도로 검사하기 위해서 샘플 필름을 세정하여, 먼지가 부착하지 않도록 한다.In the transparent film, static electricity is generated when contacting, rubbing, or peeling off the bonded protective film, and dust easily adheres to the surface. Therefore, when producing the sample of the transparent film which performs a foreign material test | inspection, a foreign material may adhere or the attached foreign material may be inspected as it is. As much as possible, the sample film is cleaned to remove adhered foreign matter and inspect it with good precision, so that dust does not adhere.

구체적으로는, 소정의 크기로 추출한 투명성 필름을 증류수 속에서 세정하여, 표면의 부착물을 제거하고, 세정한 TAC 필름을 증류수 속에서 세정하여 부착 이물이 없는 2장의 유리판의 사이에 삽입하여, 기포를 제거하면서 투명성 필름을 끼워 맞춘다. 끼워 맞춘 유리판을 수중에서 꺼내, 주위를 내수성 테이프로 밀봉하고, 유리 표면을 와이핑크로스로 닦아 수분을 제거하고, 검사용 샘플로 한다. 수중에서 실시하기 때문에 정전기의 발생이 없고, 또한 유리판의 표면은 수지 필름에 비교해서 대전성이 낮다. 따라서, 이물을 세정 제거할 수 있는 동시에, 그 후의 이물의 부착이 억제된다.Specifically, the transparent film extracted to a predetermined size is washed in distilled water to remove deposits on the surface, the washed TAC film is washed in distilled water and inserted between two glass plates free of adhering foreign substances. Fit the transparent film while removing it. The fitted glass plate is taken out of the water, the surroundings are sealed with a water-resistant tape, the glass surface is wiped with a wiping cross to remove moisture, and a sample for inspection is used. Since it is carried out in water, no static electricity is generated, and the surface of the glass plate has a low chargeability compared with the resin film. Therefore, the foreign matter can be washed and removed, and subsequent adhesion of the foreign matter is suppressed.

[실시예][Example]

이하, 실시예에 의해 본 발명을 보다 상세히 설명하지만, 본 발명은 이들 실시예에 한정되는 것이 아니다.Hereinafter, although an Example demonstrates this invention in detail, this invention is not limited to these Examples.

실시예 1 Example 1                     

트리아세틸셀룰로오스 필름(TAC 필름)의 이물 검사를 실시했다.The foreign material inspection of the triacetyl cellulose film (TAC film) was performed.

25 ×17 cm로 자른 TAC 필름(샘플번호: A-1)을 증류수 속에서 세정하여, 표면의 부착물을 제거했다. 세정한 TAC 필름을 증류수 속에서 세정하여 부착 이물이 없는 2장의 유리판(30 ×20 cm)의 사이에 삽입하고, 기포를 제거하면서 TAC 필름을 끼워 맞추었다. 끼워 맞춘 유리판을 수중에서 꺼내, 주위를 내수성 테이프로 밀봉했다. 유리 표면을 와이핑크로스로 닦아 수분을 제거하고, 검사용 TAC 필름의 샘플을 제작했다.The TAC film (sample number: A-1) cut to 25x17 cm was washed in distilled water to remove deposits on the surface. The washed TAC film was washed in distilled water, and inserted between two glass plates (30 x 20 cm) without adherent foreign substances, and the TAC film was fitted while removing bubbles. The fitted glass plate was taken out of water and the circumference was sealed with water resistant tape. The glass surface was wiped with a wiping cross to remove moisture, and a sample of the TAC film for inspection was produced.

도 1에 도시한 바와 같이 광원(10)과 카메라(20)의 사이에 2장의 편광판(1, 2)을 직교 니콜로 배치하고, 그 사이에 제작한 상기한 검사용 TAC 필름(3)을 배치했다. 광원으로서 180 W의 메탈할라이드 램프 전송 라이트, 카메라로서 55 mm 매크로 렌즈를 구비한 5000 화소 라인 카메라를 이용했다.As shown in FIG. 1, the two polarizing plates 1 and 2 were arrange | positioned in orthogonal nico between the light source 10 and the camera 20, and the above-mentioned TAC film 3 for inspection produced between them was arrange | positioned. . A 5000-pixel line camera equipped with a 180 W metal halide lamp transmission light as a light source and a 55 mm macro lens as a camera was used.

샘플을 3 m/분으로 이동시키면서 검사 범위(12 ×7 cm)에 대해서 이물 검사를 실시했다. 카메라로부터의 화상 신호는 화상 처리 장치(30)로 처리했다.The foreign material inspection was performed about the inspection range (12x7 cm), moving the sample at 3 m / min. The image signal from the camera was processed by the image processing apparatus 30.

필름의 이동 방향에 대해 평행 방향인 이물의 길이 성분과 수직 방향인 길이 성분 중 긴 성분에 대한 짧은 성분의 비가 0.3 이하, 이물의 평행 방향의 길이 성분과 수직 방향의 길이 성분을 적산하여 구하는 면적에 대한 이물의 면적의 비가 0.3 이하, 이물의 최대 길이를 대각선으로 하는 정방형의 면적에 대한 이물의 면적비가 0.3 이하, 또는 이물의 최대 길이를 직경으로 하는 원의 면적에 대한 이물의 면적비가 0.2 이하인 이물은 필름 표면에 부착된 이물로서 제거했다. 또, 실제로 이 조건에 포함되는 이물은 없었다. In the area obtained by integrating the length component of the length component in the parallel direction with the length component in the vertical direction and the length component in the parallel direction and the length component in the vertical direction of the foreign material in the length component parallel to the moving direction of the film. Foreign material whose area ratio of the foreign material to the area of a foreign object is 0.3 or less, the area ratio of the foreign material to the square of the diagonal of the maximum length of the foreign material is 0.3 or less, or the area ratio of the foreign material to the area of the circle whose diameter is the maximum length of the foreign material. Silver was removed as foreign matter adhering to the film surface. In addition, there was no foreign matter included in this condition.                     

다음에, 신호 강도에 고강도 임계치 및 저강도 임계치를 마련하여, 고강도 임계치를 넘는 신호를 나타내는 이물은 투명성 필름 표면에 부착된 이물로서 제거했다. 이것에 의해서 제거된 이물의 갯수는 13개(1 m2당 1550개)였다.Next, high intensity | strength threshold and low intensity | strength threshold were provided in signal intensity, and the foreign material which shows the signal over a high intensity threshold was removed as a foreign material adhering to the transparent film surface. The number of foreign substances removed by this was 13 (1550 per 1 m <2> ).

더욱, 고강도 임계치 미만이고 저농도 임계치 이상의 신호 강도를 나타내는 이물에 대해서, 크기가 90 μm 이상인 갯수 및 90 μm 미만인 갯수를 검출한 바, 90 μm 이상 13개(1 m2당 1550개), 90 μm 미만이 31개(1 m2당 3690개)였다.Furthermore, for foreign bodies below the high intensity threshold and showing signal strength above the low concentration threshold, the number of sizes greater than or equal to 90 μm and less than 90 μm was detected, and more than 90 μm and 13 (1550 per m 2 ) and less than 90 μm. There were 31 (3690 per 1 m 2 ).

TAC 필름의 다른 샘플에 관해서 마찬가지로 이물 검사를 행했다. 결과를 표 1에 나타낸다.The foreign material test was similarly performed about the other sample of a TAC film. The results are shown in Table 1.

샘플Sample 부착물질
(1 m2당 갯수)
Attachment substance
(Number per 1 m 2 )
이물
(1 m2당 갯수)
bow
(Number per 1 m 2 )
형상으로 제거Remove to geometry 신호 강도로 제거Eliminate with signal strength 90 μm 이상90 μm or more 90 μm 미만Less than 90 μm A-1A-1 00 15501550 15501550 36903690 B-1B-1 00 22602260 21402140 22602260 C-1C-1 00 360360 13101310 20202020 C-2C-2 00 120120 710710 17901790 D-1D-1 00 950950 10701070 600600

본 발명의 방법에 따르면 투명성 필름 표면에 부착된 이물을 제거하고 이물의 갯수를 검출하여 투명성 필름의 양부를 양호한 정밀도로 신속히 판정할 수 있고, 이물 발생의 원인 구명의 시간을 단축하며, 또한 불필요하게 불량품의 발생을 막을 수 있다.
According to the method of the present invention, foreign matter adhering to the surface of the transparent film is removed and the number of foreign matters can be detected to quickly determine whether the transparent film is good and accurate, and shorten the time for finding out the cause of the foreign material generation, and also needlessly. The occurrence of defective products can be prevented.

Claims (6)

광원과 카메라의 사이에 직교 니콜로 배치한 2장의 편광판 사이로 투명성 필름을 이동시키고, 투과하여 오는 광원으로부터의 빛을 카메라로 촬영하여 그 화상 처리에 의해서 투명성 필름 중의 이물을 검사하는 방법으로서, As a method of moving a transparent film between two polarizing plates arrange | positioned with orthogonal Nicole between a light source and a camera, imaging the light from the light source which passes through with a camera, and inspecting the foreign material in a transparent film by the image processing, 필름의 이동 방향에 대해 평행 방향인 이물의 길이 성분과 수직 방향인 길이 성분 중 긴 성분에 대한 짧은 성분의 비가 설정치 이하,The ratio of the short component to the long component of the length component of the foreign material parallel to the moving direction of the film and the length component of the vertical direction is below the set value, 이물의 평행 방향의 길이 성분과 수직 방향의 길이 성분을 적산하여 구하는 면적에 대한 이물의 면적비가 설정치 이하,The area ratio of the foreign material to the area obtained by integrating the length component in the parallel direction of the foreign material and the length component in the vertical direction is less than or equal to the set value, 이물의 최대 길이를 대각선으로 하는 정방형의 면적에 대한 이물의 면적비가 설정치 이하, 또는The ratio of the area of the foreign material to the square area of the diagonal of the maximum length of the foreign material is less than or equal to the set value, or 이물의 최대 길이를 직경으로 하는 원의 면적에 대한 이물의 면적비가 설정치 이하인 이물을 투명성 필름 표면에 부착된 이물로서 제거 처리를 실시하고,The foreign material whose area ratio of the foreign material to the area of the circle which makes the maximum length of the foreign material the diameter is below a set value is removed as a foreign material adhered to the transparent film surface, 신호 강도에 고강도 임계치 및 저강도 임계치를 마련하여, 저강도 임계치 미만의 강도 신호는 베이스 신호의 진동으로 하고, 고강도 임계치를 넘는 신호를 나타내는 이물은 투명성 필름 표면에 부착된 이물로서 제거 처리를 실시한 후,A high intensity threshold and a low intensity threshold are provided in the signal strength, and the intensity signal below the low intensity threshold is a vibration of the base signal, and the foreign matter that exhibits a signal exceeding the high intensity threshold is a foreign matter adhering to the transparent film surface after the removal treatment. , 이물의 갯수를 검출하여, Detect the number of foreign objects, 크기가 설정치 이상인 이물의 갯수가 설정치 이내이고, 크기가 설정치 미만인 이물의 갯수가 설정치 이내인 투명성 필름을 양호품으로서, As a good product, the transparency film whose number of foreign objects whose size is more than a setting value is within a setting value, and the number of foreign materials whose size is less than a setting value is within a setting value, 투명성 필름의 양부(良否)를 판정하는 것을 특징으로 하는 투명성 필름의 이물 검사 방법.The foreign material inspection method of a transparency film characterized by determining the quality of a transparency film. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서, 투명성 필름이 트리아세틸셀룰로오스 필름이고, 필름의 이동 방향에 대해 평행 방향의 이물의 길이 성분과 수직 방향의 길이 성분 중의 긴 성분에 대한 짧은 성분의 비가 0.2~0.4 이하, 이물의 평행 방향의 길이 성분과 수직 방향의 길이 성분을 적산하여 구하는 면적에 대한 이물의 면적의 비가 0.2~0.4 이하, 이물의 최대 길이를 대각선으로 하는 정방형의 면적에 대한 이물의 면적비가 0.2~0.4 이하, 또는 이물의 최대 길이를 직경으로 하는 원의 면적에 대한 이물의 면적비가 0.1~0.3 이하인 것인 이물 검사 방법.The transparent film is a triacetyl cellulose film, and the ratio of the short component to the long component in the length component in the parallel direction with respect to the moving direction of the film and the length component in the vertical direction is 0.2 to 0.4 or less, the foreign material The ratio of the area of the foreign material to the area obtained by integrating the length component in the parallel direction and the length component in the vertical direction is 0.2 to 0.4 or less, and the area ratio of the foreign material to the square area having the maximum length of the foreign material diagonally is 0.2 to 0.4 or less, Or the foreign material inspection method that the area ratio of the foreign material with respect to the area of the circle which makes the maximum length of the foreign material a diameter is 0.1-0.3 or less. 제1항에 있어서, 투명성 필름이 트리아세틸셀룰로오스 필름이며, 필름 면적 1 m2당 크기가 90 μm 이상인 이물의 갯수가 1500개 이내이고 크기가 90 μm 미만인 이물의 갯수가 2000개 이내인 투명성 필름을 양호품이라고 판정하는 것인 이물 검사 방법.The transparent film of claim 1, wherein the transparent film is a triacetyl cellulose film, and the number of foreign matters having a size of 90 μm or more per 1500 m 2 or less is less than 1500, and the number of foreign matters of less than 90 μm is less than 2000. The foreign material inspection method to determine that it is a favorable article.
KR1020040058780A 2003-07-31 2004-07-27 A method for examinning a foreign substance on a transparent film KR101125997B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003204497A JP4396160B2 (en) 2003-07-31 2003-07-31 Foreign film inspection method for transparent film
JPJP-P-2003-00204497 2003-07-31

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20050014684A KR20050014684A (en) 2005-02-07
KR101125997B1 true KR101125997B1 (en) 2012-03-19

Family

ID=34263485

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020040058780A KR101125997B1 (en) 2003-07-31 2004-07-27 A method for examinning a foreign substance on a transparent film

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP4396160B2 (en)
KR (1) KR101125997B1 (en)
CN (1) CN100582752C (en)
TW (1) TWI346201B (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103389040A (en) * 2012-05-10 2013-11-13 东友精细化工有限公司 Method for detecting defects in optical films

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006275843A (en) * 2005-03-30 2006-10-12 Nitto Denko Corp Method of inspecting contamination in insulating film for wiring circuit board
KR100688094B1 (en) 2006-05-04 2007-03-02 삼성전기주식회사 Exposure method and apparatus
JP4960161B2 (en) * 2006-10-11 2012-06-27 日東電工株式会社 Inspection data processing apparatus and inspection data processing method
JP5024935B2 (en) * 2007-01-16 2012-09-12 富士フイルム株式会社 Device and method for detecting defect of light transmitting member
JP5167731B2 (en) * 2007-09-06 2013-03-21 大日本印刷株式会社 Inspection apparatus and method
KR101428816B1 (en) 2007-09-28 2014-08-12 엘지전자 주식회사 Method for reselecting a cell and detecting whether a terminal is stationay in mobile telecommunications system
WO2009114433A2 (en) * 2008-03-08 2009-09-17 Redwood Scientific, Inc. Device and method for quantifying a surface's cleanliness
JP5258349B2 (en) * 2008-03-28 2013-08-07 富士フイルム株式会社 Defect detection apparatus and method
JP5446232B2 (en) * 2008-04-10 2014-03-19 凸版印刷株式会社 Defect inspection apparatus and defect inspection method for color filter substrate
CN101672803B (en) * 2008-09-08 2011-12-07 中国建筑材料科学研究总院 Method and device for detecting impurities and defects of tempered glass curtain wall
CN101968453B (en) * 2009-12-01 2012-05-09 北京理工大学 Polarization detection method and device for white and colorless foreign matters in cotton
JP5274622B2 (en) * 2011-06-27 2013-08-28 富士フイルム株式会社 Defect inspection apparatus and method
KR101349662B1 (en) * 2013-05-16 2014-01-13 동우 화인켐 주식회사 Method for discriminating defect of optical films
JP6156820B2 (en) * 2013-08-22 2017-07-05 住友化学株式会社 Defect inspection apparatus, optical member manufacturing system, and optical display device production system
JP6220653B2 (en) * 2013-11-28 2017-10-25 シャープ株式会社 Optical position detection device and electronic apparatus using the same
KR101697071B1 (en) * 2014-04-18 2017-01-17 동우 화인켐 주식회사 Method for discriminating defect of polarizing plate
KR101581385B1 (en) * 2014-05-21 2015-12-31 주식회사 넥스트아이 Instant boiledrice container examination method
CN104390976A (en) * 2014-11-12 2015-03-04 河北铠朗新型材料科技有限公司 Online film coating monitoring system
KR102513214B1 (en) * 2015-06-05 2023-03-22 스미또모 가가꾸 가부시키가이샤 Method for inspecting defects in a light-transmitting film, method for manufacturing a linear polarizer film, and method for manufacturing a polarizing plate
CN107024482B (en) * 2015-12-15 2020-11-20 住友化学株式会社 Defect imaging device and method, film manufacturing device and method, and defect inspection method
CN105699395A (en) * 2016-02-04 2016-06-22 成都泓睿科技有限责任公司 Method for detecting liquid surface foreign matter of transparent glass bottles
CN109781743A (en) * 2017-11-14 2019-05-21 鹤立精工股份有限公司 Optical detecting method
CN108254426A (en) * 2017-12-15 2018-07-06 新乡医学院 It is prepared for dopamine concentration detection miniature electrochemical in animal brain
CN109187577A (en) * 2018-08-29 2019-01-11 深圳市盛波光电科技有限公司 A kind of polaroid recessiveness defect light detection means and method

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001324453A (en) * 2000-03-08 2001-11-22 Fuji Photo Film Co Ltd Apparatus, system and method for inspecting defect of film

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001324453A (en) * 2000-03-08 2001-11-22 Fuji Photo Film Co Ltd Apparatus, system and method for inspecting defect of film

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103389040A (en) * 2012-05-10 2013-11-13 东友精细化工有限公司 Method for detecting defects in optical films
KR101330098B1 (en) * 2012-05-10 2013-11-18 동우 화인켐 주식회사 Method for discriminating defect of optical films
CN103389040B (en) * 2012-05-10 2017-12-01 东友精细化工有限公司 Method for detecting defects in optical films

Also Published As

Publication number Publication date
KR20050014684A (en) 2005-02-07
JP2005049158A (en) 2005-02-24
CN100582752C (en) 2010-01-20
TW200506354A (en) 2005-02-16
CN1580749A (en) 2005-02-16
TWI346201B (en) 2011-08-01
JP4396160B2 (en) 2010-01-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101125997B1 (en) A method for examinning a foreign substance on a transparent film
JP6890377B2 (en) Display device inspection device and display device inspection method
EP2198279B1 (en) Apparatus and method for detecting semiconductor substrate anomalies
TWI332080B (en)
WO2016194874A1 (en) Inspection method for defects in light transmissive film, manufacturing method for linear polarizer film, and manufcturing method for polarizing plate
JPH07311160A (en) Method and device for preforming visual inspection
CN104280407A (en) Inspecting method for polarizing plate
JPH06148095A (en) Method for detecting transparent defect of film sheets
JP2001209798A (en) Method and device for inspecting outward appearance
KR101860733B1 (en) Film inspection device and film inspection method
KR101330098B1 (en) Method for discriminating defect of optical films
JP2000146537A (en) Pattern defect detecting device and correcting device
KR100971081B1 (en) Defect Inspection Method of Polarizing Film
KR100749954B1 (en) Method and apparatus for inspection of polarizer
JP4595564B2 (en) Preparation method for foreign matter inspection of transparent film and foreign matter inspection method
JP2005274383A (en) Inspection method for hole defect of oriented film
JP2004108902A (en) Method and system for classifying defect of color display screen
JP2002257749A (en) Inspection device, inspection method, and method of manufacturing color filter using thereof
CN208297379U (en) A kind of Systems for optical inspection
KR100834730B1 (en) Inspection system of inferior liquid crystal display panel using vision sensor
JP4675160B2 (en) Optical inspection apparatus and optical film bonded product manufacturing apparatus
KR101998081B1 (en) Method for discriminating defect of composite film
TW201541068A (en) Method for discriminating defect of optical films
KR20220112567A (en) Defect inspection apparatus
KR20220117060A (en) Defect inspection apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee