JP5274622B2 - Defect inspection apparatus and method - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To simply determine existence of a false defect of a laminate film. <P>SOLUTION: A polarizing filter 19 is arranged on a laminate film 9 including a polarizing plate 13 and a separator 15. A polarization axis of the polarizing filter 19 is made approximately orthogonal to a polarization axis of the polarizing plate 13. A line light source 17 is arranged just under the laminate film 9 and a line sensor camera 20 is arranged just above the polarizing filter 19. Inspection light 24 is applied from the line light source 17 to the laminate film 9. The inspection light 24 transmitted through the laminate film 9 and the polarizing filter 19 is imaged by the line sensor camera 20. A high luminance area 40 with high luminance is extracted from image data 41 obtained by imaging, as defect image data. When the defect image data is specific defect image data in which two high luminance areas 40 are aligned, a film defect portion corresponding to the defect image data is determined as a false defect. <P>COPYRIGHT: (C)2013,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、偏光板とフィルムとを積層してなる積層フィルムの欠陥を検査する欠陥検査装置及び方法に関するものである。   The present invention relates to a defect inspection apparatus and method for inspecting a defect of a laminated film formed by laminating a polarizing plate and a film.

液晶ディスプレイには、各種の光学機能性フィルムが用いられている。この光学機能フィルムとしてフィルム状の偏光板が知られている。この偏光板の一面には、偏光板を液晶ディスプレイのガラス基板等に貼り付けるための粘着層が形成されている。この粘着層は、ガラス基板等に貼り付けられるまでの間はセパレータで覆われている。このため、液晶ディスプレイの製造工程には、偏光板とセパレータとを積層してなる積層フィルムの製造工程が含まれる(特許文献1参照)。   Various optical functional films are used for liquid crystal displays. A film-like polarizing plate is known as this optical functional film. An adhesive layer for attaching the polarizing plate to a glass substrate of a liquid crystal display is formed on one surface of the polarizing plate. This adhesive layer is covered with a separator until it is attached to a glass substrate or the like. For this reason, the manufacturing process of a liquid crystal display includes the manufacturing process of the laminated film formed by laminating | stacking a polarizing plate and a separator (refer patent document 1).

このような積層フィルムには、その製造工程においてフィルム表面またはフィルム内部に異物が付着したり、汚れや傷が付いたりする等の各欠陥が発生する場合がある。このため、積層フィルムの製造工程では、光源から積層フィルムに対して光を照射して、積層フィルムの透過光または反射光をカメラで撮影し、この撮影により得られた画像に基づいて欠陥検査を行う。   Such a laminated film may have various defects such as foreign matters adhering to the film surface or the inside of the film, or contamination or scratches in the production process. For this reason, in the production process of the laminated film, light is emitted from the light source to the laminated film, the transmitted light or reflected light of the laminated film is photographed with a camera, and defect inspection is performed based on the image obtained by this photography. Do.

特許文献2には、積層フィルムとカメラとの間に偏光フィルタを介在させた状態で、積層フィルムの透過光を撮影する欠陥検査装置が開示されている。偏光フィルタは、その偏光軸が偏光板の偏光軸と直交する、いわゆるクロスニコルとなるように配置されている。これにより、積層フィルムに欠陥が存在しなければ、積層フィルムの透過光の振動方向は偏光フィルタの偏光軸と直交するので、この透過光は偏光フィルタにより遮断される。このため、透過光像は全面黒画像となる。逆に、積層フィルムに欠陥が存在する場合は、その欠陥部分を透過した透過光の偏光状態が変わることにより、この欠陥部分の透過光は偏光フィルムを透過する。このため、透過光像の欠陥部分に対応する部分の輝度が高くなる。これにより、積層フィルムの欠陥の有無を検査することができる。   Patent Document 2 discloses a defect inspection apparatus that captures the transmitted light of a laminated film with a polarizing filter interposed between the laminated film and a camera. The polarizing filter is arranged so that its polarization axis is a so-called crossed Nicol that is orthogonal to the polarizing axis of the polarizing plate. Thus, if there is no defect in the laminated film, the vibration direction of the transmitted light of the laminated film is orthogonal to the polarization axis of the polarizing filter, so that the transmitted light is blocked by the polarizing filter. For this reason, the transmitted light image is an entire black image. On the other hand, when a defect exists in the laminated film, the polarization state of the transmitted light that has passed through the defective portion is changed, so that the transmitted light of the defective portion is transmitted through the polarizing film. For this reason, the brightness | luminance of the part corresponding to the defective part of a transmitted light image becomes high. Thereby, the presence or absence of the defect of a laminated | multilayer film can be test | inspected.

特許文献3には、細長く延びた欠陥部の画像を解析して、この欠陥部の種類を判定する傷検査方法が開示されている。この特許文献3の傷検査方法では、欠陥部の画像の2次モーメントから欠陥部の形状と方向性を求めることにより、欠陥部が傷であるか汚れであるかを判定する。   Patent Document 3 discloses a flaw inspection method that analyzes an image of a defect portion that is elongated and determines the type of the defect portion. In the scratch inspection method disclosed in Patent Document 3, it is determined whether the defect is a scratch or a stain by obtaining the shape and directionality of the defect from the second moment of the image of the defect.

特許文献4には、積層フィルム等の被検査体の反射光を撮影して得られた画像から各種の特徴量を抽出し、この特徴量を基づき欠陥検査を行う欠陥検査装置が開示されている。この欠陥検査装置では、各特徴量をもとに重回帰式を計算して予測特性値を得るとともに、判別関数から判別スコアを計算して、これらの結果に基づいて欠陥の有無を判定する。   Patent Document 4 discloses a defect inspection apparatus that extracts various feature amounts from an image obtained by photographing reflected light of an object to be inspected such as a laminated film, and performs defect inspection based on the feature amounts. . In this defect inspection apparatus, a multiple regression equation is calculated based on each feature amount to obtain a predicted characteristic value, and a discrimination score is calculated from a discriminant function, and the presence or absence of a defect is determined based on these results.

特開2009−069142号公報JP 2009-069142 A 特開2007−213016号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2007-213061 特開平6−160295号公報JP-A-6-160295 特開平7−318508号公報JP-A-7-318508

積層フィルムのセパレータは、液晶ディスプレイの製造工程において最終的に偏光板から剥離されてしまう。このため、セパレータ自体に欠陥が存在していても粘着層の保護機能が損なわれていなければ、このセパレータの欠陥を本来は欠陥として扱う必要はない。しかしながら、特許文献2及び3の検査方法では、偏光板の欠陥とセパレータの欠陥を区別することができないので、検査員等が欠陥の発生箇所を確認して、偏光板の欠陥である実害欠陥であるか、あるいはセパレータの欠陥である擬似欠陥であるかを判定する必要がある。   The separator of the laminated film is finally peeled off from the polarizing plate in the manufacturing process of the liquid crystal display. For this reason, if the protective function of the adhesive layer is not impaired even if the separator itself has a defect, it is not necessary to treat the defect of the separator as a defect. However, in the inspection methods of Patent Documents 2 and 3, the defect of the polarizing plate and the defect of the separator cannot be distinguished. Therefore, the inspector or the like confirms the occurrence location of the defect, and the actual defect that is the defect of the polarizing plate. It is necessary to determine whether it is a pseudo defect that is a separator defect.

特許文献4の欠陥検査装置では、撮影画像から抽出する特徴量の種類を適宜設定することで、実害欠陥と擬似欠陥を判別することは不可能ではないが、撮影画像の全てに対して特徴量の抽出処理、重回帰式及び判別関数による複雑な演算処理を行う必要がある。このため、演算量が膨大になり処理に時間が掛かるという問題が生じる。その結果、特許文献4の欠陥検査装置を、搬送ラインを走行中の積層フィルムの欠陥検査に用いることは極めて困難である。   In the defect inspection apparatus of Patent Document 4, it is not impossible to discriminate a real defect from a pseudo defect by appropriately setting the type of the feature amount extracted from the photographed image. Extraction processing, multiple regression equations and discriminant functions need to be performed. For this reason, there is a problem that the amount of calculation becomes enormous and the processing takes time. As a result, it is extremely difficult to use the defect inspection apparatus disclosed in Patent Document 4 for defect inspection of a laminated film that is traveling on a conveyance line.

本発明の目的は、積層フィルムの擬似欠陥の判定を簡単に実行することができる欠陥検査装置及び方法を提供することにある。   The objective of this invention is providing the defect inspection apparatus and method which can perform the determination of the pseudo defect of a laminated film easily.

上記目的を達成するため、本発明の欠陥検査装置は、偏光板とフィルムとを積層してなる多層の積層フィルムの表裏面の一方側に配置され、前記積層フィルムに対して光を照射する光源と、前記表裏面の他方側に配置され、前記表裏面に平行でかつ前記偏光板の第1偏光軸に略直交する第2偏光軸を有し、前記積層フィルムの正常部分を透過した前記光を遮断する偏光フィルタと、前記偏光フィルタの前記積層フィルムに対向する面側とは反対面側に配置され、前記偏光フィルタを透過した光を撮影する撮影手段と、前記撮影手段により取得された前記偏光フィルタの透過光像から、前記積層フィルムの欠陥部分及び前記偏光フィルタを透過した前記光によって輝度が高くなる高輝度領域を欠陥画像として抽出する欠陥画像抽出手段と、前記欠陥画像抽出手段が抽出した前記欠陥画像が、2つの高輝度領域が並んでいる特定欠陥画像である場合に、当該欠陥画像に対応する前記欠陥部分を前記偏光板の欠陥ではない擬似欠陥であると判定する擬似欠陥判定手段と、を備えることを特徴とする。   In order to achieve the above object, a defect inspection apparatus according to the present invention is a light source that is arranged on one side of the front and back surfaces of a multilayer laminated film formed by laminating a polarizing plate and a film, and irradiates light on the laminated film And the light that is disposed on the other side of the front and back surfaces, has a second polarization axis that is parallel to the front and back surfaces and substantially perpendicular to the first polarization axis of the polarizing plate, and has passed through a normal portion of the laminated film A polarizing filter for blocking light, a photographing means for photographing light transmitted through the polarizing filter, disposed on a surface opposite to the surface facing the laminated film of the polarizing filter, and the photographing means obtained by the photographing means A defect image extracting means for extracting, as a defect image, a defect portion of the laminated film and a high-luminance region whose luminance is increased by the light transmitted through the polarizing filter from the transmitted light image of the polarizing filter; When the defect image extracted by the fallen image extraction means is a specific defect image in which two high-luminance regions are arranged, the defect portion corresponding to the defect image is a pseudo defect that is not a defect of the polarizing plate. And a pseudo-defect determination unit.

前記欠陥画像抽出手段が抽出した前記欠陥画像から、前記欠陥画像の輝度の平均値である平均輝度と、前記欠陥画像の中心位置における輝度である中心輝度とを少なくとも含む複数種類の特徴量を抽出する特徴量抽出手段を備え、前記擬似欠陥判定手段は、前記特徴量抽出手段の抽出結果を、前記特定欠陥画像の特徴に応じて予め定められた各前記特徴量のしきい値と比較することで、前記欠陥画像が前記特定欠陥画像であるか否かを判定することが好ましい。   A plurality of types of feature amounts including at least an average luminance that is an average value of the luminance of the defect image and a central luminance that is a luminance at the center position of the defect image are extracted from the defect image extracted by the defect image extraction unit. A feature amount extracting unit that compares the extraction result of the feature amount extracting unit with a threshold value of each feature amount that is predetermined according to the feature of the specific defect image. Therefore, it is preferable to determine whether or not the defect image is the specific defect image.

前記特徴量には、前記平均輝度と前記中心輝度との差が含まれることが好ましい。   The feature amount preferably includes a difference between the average luminance and the central luminance.

前記特定欠陥画像は、N(Nは2以上の自然数)種類の第1〜第N擬似欠陥にそれぞれ対応した第1〜第N特定欠陥画像からなり、前記しきい値は、前記第1〜第N特定欠陥画像の特徴に応じてそれぞれ個別に定められた第1〜第Nしきい値からなるものであり、前記擬似欠陥判定手段に設けられ、前記特徴量抽出手段の抽出結果を、第1〜第Nしきい値とそれぞれ個別に比較することで、前記欠陥画像が前記第1〜第N特定欠陥画像であるか否かを個別に判定する第1〜第N判定手段と、前記第1〜第N判定手段による判定処理を所定の順番で実行させるとともに、第M[Mは(N−1)以下の自然数]番目の判定処理で前記欠陥部分が前記擬似欠陥であると判定された場合には、第(M+1)番目以降の判定処理を中止させる判定制御手段と、を備えることが好ましい。   The specific defect image includes first to N-th specific defect images corresponding to N (N is a natural number of 2 or more) types of first to N-th pseudo defects, respectively, and the threshold value includes the first to N-th specific defect images. N first threshold value to Nth threshold value individually determined according to the features of the N specific defect image, provided in the pseudo defect determining means, and the extraction result of the feature value extracting means is the first First to Nth determination means for individually determining whether or not the defect image is the first to Nth specific defect image by individually comparing with each of the Nth threshold value and the first threshold value. When the determination process by the Nth determination means is executed in a predetermined order, and the defect portion is determined to be the pseudo defect in the Mth [M is a natural number equal to or less than (N−1)] th determination process Includes a determination control unit that stops the (M + 1) th and subsequent determination processes. When, it is preferable to provide.

前記特定欠陥画像には、略十字形状の前記高輝度領域を有するものが含まれることが好ましい。   It is preferable that the specific defect image includes an image having the substantially bright cross-shaped high luminance region.

前記フィルムは、前記偏光板の表面上に形成された粘着層上に剥離自在に貼り付けられたセパレータであることが好ましい。   The film is preferably a separator that is detachably attached to an adhesive layer formed on the surface of the polarizing plate.

前記擬似欠陥判定手段が前記特定欠陥画像であると判定しなかった前記欠陥画像に対応をする前記欠陥部分を、前記偏光板の欠陥である実害欠陥と判定する実害欠陥判定手段を備えることが好ましい。   It is preferable to include actual defect determination means that determines the defect portion corresponding to the defect image that has not been determined to be the specific defect image by the pseudo defect determination means as an actual defect that is a defect of the polarizing plate. .

前記積層フィルムの前記実害欠陥と判定された部分に、前記実害欠陥を示すマーキングを行うマーキング手段を備えることが好ましい。   It is preferable that a marking unit that performs marking indicating the actual damage defect is provided on a portion of the laminated film determined to be the actual damage defect.

また、本発明の欠陥検査方法は、偏光板とフィルムとを積層してなる多層の積層フィルムの表裏面の一方側に配置された光源から、前記積層フィルムに対して光を照射する照射ステップと、前記表裏面の他方側に配置され、前記表裏面に平行でかつ前記偏光板の第1偏光軸に略直交する第2偏光軸を有する偏光フィルタにより、前記積層フィルムの正常部分を透過した前記光を遮断する遮断ステップと、前記偏光フィルタの前記積層フィルムに対向する面側とは反対面側に配置された撮影手段により、前記偏光フィルタを透過した光を撮影する撮影ステップと、前記撮影ステップで取得された偏光フィルタの透過光像から、前記積層フィルムの欠陥部分及び前記偏光フィルタを透過した前記光によって輝度が高くなる高輝度領域を欠陥画像として抽出する欠陥画像抽出ステップと、前記欠陥画像抽出ステップで抽出した前記欠陥画像が、2つの高輝度領域が並んでいる特定欠陥画像である場合に、当該欠陥画像に対応する前記欠陥部分を前記偏光板の欠陥ではない擬似欠陥であると判定する擬似欠陥判定ステップと、を有することを特徴とする。   In addition, the defect inspection method of the present invention includes an irradiation step of irradiating light to the laminated film from a light source disposed on one side of the front and back surfaces of a multilayer laminated film obtained by laminating a polarizing plate and a film. The polarizing film that is disposed on the other side of the front and back surfaces, is parallel to the front and back surfaces, and has a second polarization axis that is substantially orthogonal to the first polarization axis of the polarizing plate, and transmits the normal part of the laminated film. A blocking step for blocking light, a shooting step for shooting the light transmitted through the polarizing filter by a shooting means disposed on a surface opposite to the surface facing the laminated film of the polarizing filter, and the shooting step From the transmitted light image of the polarizing filter acquired in Step 1, a defective portion of the laminated film and a high-luminance region where the luminance is increased by the light transmitted through the polarizing filter are defined as a defective image. And when the defect image extracted in the defect image extraction step is a specific defect image in which two high-luminance regions are arranged, the defect portion corresponding to the defect image is And a pseudo defect determination step for determining that the defect is not a defect of the polarizing plate.

本発明の欠陥検査装置及び方法は、偏光フィルタの透過光像からその高輝度領域を欠陥画像として抽出し、この欠陥画像の中で2つの高輝度領域が並んでいる特定欠陥画像に対応する積層フィルムの欠陥部分を、偏光板の欠陥ではない擬似欠陥であると判定することにより、重回帰式及び判別関数などを用いた複雑な演算処理を行うことなく擬似欠陥の判定を簡単に実行することができる。これにより、検査処理に掛かる時間を短縮することができるので、走行中の積層フィルムの欠陥検査が可能になる。   The defect inspection apparatus and method of the present invention extract a high brightness area from a transmitted light image of a polarizing filter as a defect image, and a stack corresponding to a specific defect image in which two high brightness areas are arranged in the defect image. By determining that the defective part of the film is a pseudo defect that is not a defect of the polarizing plate, it is possible to easily execute the determination of the pseudo defect without performing complicated arithmetic processing using multiple regression equations and discriminant functions. Can do. Thereby, since the time required for the inspection process can be shortened, it becomes possible to inspect the laminated film for defects during traveling.

欠陥検査装置の概略図である。It is the schematic of a defect inspection apparatus. 欠陥検査装置の斜視図である。It is a perspective view of a defect inspection apparatus. 積層フィルムの断面図である。It is sectional drawing of a laminated film. セパレータ内の異物に起因する積層フィルムの擬似欠陥を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the pseudo defect of the laminated | multilayer film resulting from the foreign material in a separator. 擬似欠陥が偏光板の性能に影響を及ぼさないことを説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating that a pseudo defect does not affect the performance of a polarizing plate. 欠陥検査装置の電気的構成を示したブロック図である。It is the block diagram which showed the electrical structure of the defect inspection apparatus. セパレータ内の異物により、偏光板中の各分子の配向方向に乱れが生じることを説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating that disorder arises in the orientation direction of each molecule | numerator in a polarizing plate by the foreign material in a separator. 2つの高輝度領域が並んでいる画像データの説明図である。It is explanatory drawing of the image data in which two high-intensity area | regions are located in a line. 擬似欠陥である「2点並び(1)」を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating "two-point arrangement | sequence (1)" which is a pseudo defect. 擬似欠陥である「2点並び(2)」を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating "two-point arrangement | sequence (2)" which is a pseudo defect. 「2点並び(2)」の他の例を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the other example of "2 point arrangement | sequence (2)." 第1抽出パターンによる欠陥画像データの抽出処理を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the extraction process of the defect image data by a 1st extraction pattern. 第2抽出パターンによる欠陥画像データの抽出処理を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the extraction process of the defect image data by a 2nd extraction pattern. 欠陥画像抽出基準データ、擬似欠陥分類用特徴量データ、及び欠陥位置情報データを説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating defect image extraction reference | standard data, the feature-value data for pseudo defect classification, and defect position information data. 欠陥検査装置による検査処理の流れを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the flow of the inspection process by a defect inspection apparatus. 実害欠陥の種類を判定するための実害欠陥分類用特徴量データの説明図である。It is explanatory drawing of the feature-value data for actual damage defect classification for determining the kind of actual damage defect. 図7とは異なる偏光板中の各分子の配向方向の乱れを説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating disorder of the orientation direction of each molecule | numerator in a polarizing plate different from FIG. 十字形状の高輝度領域が含まれる画像データの説明図である。It is explanatory drawing of the image data containing a cross-shaped high-intensity area | region. 2点並び擬似欠陥と十字擬似欠陥の種類を判定可能な他実施形態の欠陥検査装置の電気的構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the electric constitution of the defect inspection apparatus of other embodiment which can determine the kind of 2 point | piece arrangement | sequence pseudo defect and a cross pseudo defect. セパレータと偏光板との間に挟まれている異物に起因する積層フィルムの擬似欠陥を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the pseudo defect of the laminated | multilayer film resulting from the foreign material pinched | interposed between a separator and a polarizing plate.

図1及び図2に示すように、長尺の積層フィルム9を製造する積層フィルム製造ライン10には、欠陥検査装置11が配置されている。欠陥検査装置11は、図中Y方向に走行する積層フィルム9の欠陥を検査する。図3に示すように、検査対象となる積層フィルム9は、フィルム状の偏光板13と、この偏光板13の一面に形成された粘着層14上に積層されたセパレータ(フィルム)15とを備える積層構造を有している。   As shown in FIGS. 1 and 2, a defect inspection apparatus 11 is arranged in a laminated film production line 10 for producing a long laminated film 9. The defect inspection apparatus 11 inspects the defects of the laminated film 9 that runs in the Y direction in the drawing. As shown in FIG. 3, the laminated film 9 to be inspected includes a film-like polarizing plate 13 and a separator (film) 15 laminated on an adhesive layer 14 formed on one surface of the polarizing plate 13. It has a laminated structure.

偏光板13は、例えばポリビニルアルコール(PVA)などのポリマー中に各種有機物を混合してなるフィルムを所定方向に延伸することで生成される。これにより、偏光板13の中の各分子M(図7参照)が延伸方向に沿って配向する。その結果、偏光板13は、各分子Mの配向方向に平行な方向に振動する偏光を透過させる。ここで、偏光板13の偏光軸D1(図2参照)は図中Y方向に平行であるものとする。偏光板13は、その一面に形成された粘着層14を介して液晶ディスプレイのガラス基板(図示せず)等に貼り付けられる。   The polarizing plate 13 is produced | generated by extending | stretching the film formed by mixing various organic substances in polymers, such as polyvinyl alcohol (PVA), for example in a predetermined direction. Thereby, each molecule | numerator M (refer FIG. 7) in the polarizing plate 13 orientates along an extending | stretching direction. As a result, the polarizing plate 13 transmits polarized light that vibrates in a direction parallel to the alignment direction of each molecule M. Here, it is assumed that the polarization axis D1 (see FIG. 2) of the polarizing plate 13 is parallel to the Y direction in the drawing. The polarizing plate 13 is attached to a glass substrate (not shown) of a liquid crystal display through an adhesive layer 14 formed on one surface thereof.

セパレータ15は、粘着層14上に剥離可能に積層されており、偏光板13がガラス基板等に貼り付けられるまでの間は粘着層14を保護する。このセパレータ15は、偏光板13をガラス基板等に貼り付ける際など、最終的には粘着層14上から剥離される。   The separator 15 is detachably laminated on the adhesive layer 14 and protects the adhesive layer 14 until the polarizing plate 13 is attached to a glass substrate or the like. The separator 15 is finally peeled off from the adhesive layer 14 when the polarizing plate 13 is attached to a glass substrate or the like.

図1及び図2に戻って、欠陥検査装置11は、積層フィルム9の搬送ラインの途中に配置されている。この欠陥検査装置11は、ライン光源17と、偏光フィルタ19と、ラインセンサカメラ(以下、単にカメラという、撮影手段)20と、マーキング装置21と、欠陥検査装置本体(以下、単に装置本体という)22とで構成されている。   Returning to FIG. 1 and FIG. 2, the defect inspection apparatus 11 is arranged in the middle of the conveyance line of the laminated film 9. The defect inspection apparatus 11 includes a line light source 17, a polarizing filter 19, a line sensor camera (hereinafter simply referred to as a camera) 20, a marking device 21, and a defect inspection apparatus body (hereinafter simply referred to as an apparatus body). 22.

ライン光源17及び偏光フィルタ19は、それぞれ積層フィルム9の幅方向(以下、単にフィルム幅方向という、図中X方向)に積層フィルム9の幅よりも長く延びた形状を有している。   Each of the line light source 17 and the polarizing filter 19 has a shape that extends longer than the width of the laminated film 9 in the width direction of the laminated film 9 (hereinafter, simply referred to as the film width direction, X direction in the drawing).

ライン光源17は、積層フィルム9の表裏面の一面側(図中下面側)に配置されている。ライン光源17は、フィルム幅方向に平行なライン状の検査光24を積層フィルム9に向けて照射する。なお、ライン光源17としては、ハロゲンランプ、LED等を用いることができる。   The line light source 17 is disposed on one surface side (the lower surface side in the drawing) of the front and back surfaces of the laminated film 9. The line light source 17 irradiates the laminated film 9 with linear inspection light 24 parallel to the film width direction. In addition, as the line light source 17, a halogen lamp, LED, etc. can be used.

偏光フィルタ19は、積層フィルム9の表裏面の他面側(図中上面側)、より具体的には積層フィルム9とカメラ20との間に配置されている。偏光フィルタ19は、積層フィルム9の表裏面に平行で、かつ偏光軸D1に対して略直交する偏光軸D2を有している。なお、ここでいう「略直交」には、完全に直交している場合とほぼ直交している場合(偏光軸D1と偏光軸D2とのなす角度が90°に近い値となる場合)の両方が含まれる。これにより、偏光フィルタ19と偏光板13とは、いわゆるクロスニコルの関係になる。   The polarizing filter 19 is disposed on the other surface side (upper surface side in the figure) of the front and back surfaces of the laminated film 9, more specifically, between the laminated film 9 and the camera 20. The polarizing filter 19 has a polarization axis D2 that is parallel to the front and back surfaces of the laminated film 9 and is substantially orthogonal to the polarization axis D1. Note that “substantially orthogonal” here refers to both the case of being completely orthogonal and the case of being substantially orthogonal (when the angle between the polarization axis D1 and the polarization axis D2 is close to 90 °). Is included. Thereby, the polarizing filter 19 and the polarizing plate 13 have a so-called crossed Nicol relationship.

偏光フィルタ19は、積層フィルム9を透過して入射した検査光24のうち、偏光軸D2に垂直な方向に振動する偏光成分の光を遮断し、偏光軸D2に平行な方向に振動する偏光成分の光はそのまま透過させる。これにより、偏光フィルタ19を透過した検査光24は、偏光軸D2に平行な方向に振動する偏光となる。   The polarizing filter 19 blocks the polarized component light that vibrates in the direction perpendicular to the polarization axis D2 and inspects the incident light 24 that has passed through the laminated film 9 and oscillates in the direction parallel to the polarization axis D2. The light is transmitted as it is. Thereby, the inspection light 24 transmitted through the polarizing filter 19 becomes polarized light that vibrates in a direction parallel to the polarization axis D2.

カメラ20は、偏光フィルタ19の積層フィルム9に対向する面側とは反対面側で、かつ積層フィルム9の幅方向中心の直上位置に配置されている。カメラ20は、フィルム幅方向に1列に配列された複数の画素からなるライン状の撮像領域を有している。この撮像領域は、フィルム幅方向に積層フィルム9の幅よりも長く延びている。   The camera 20 is disposed on the surface of the polarizing filter 19 opposite to the surface facing the laminated film 9 and at a position directly above the center of the laminated film 9 in the width direction. The camera 20 has a linear imaging region composed of a plurality of pixels arranged in a line in the film width direction. This imaging region extends longer than the width of the laminated film 9 in the film width direction.

カメラ20は、積層フィルム9及び偏光フィルタ19を透過した検査光24を撮像して、1ライン分の画像信号を装置本体22へ出力する。このカメラ20は、積層フィルム9が1ライン分ずつ搬送されるごとに撮像と画像信号の出力とを連続して実行する。これにより、積層フィルム9の全領域を透過した検査光24の撮像信号が得られる。   The camera 20 images the inspection light 24 transmitted through the laminated film 9 and the polarizing filter 19 and outputs an image signal for one line to the apparatus main body 22. The camera 20 continuously performs imaging and image signal output each time the laminated film 9 is conveyed line by line. As a result, an imaging signal of the inspection light 24 transmitted through the entire region of the laminated film 9 is obtained.

マーキング装置21は、積層フィルム9の搬送路上で、かつライン光源17やカメラ20などよりも積層フィルム9の搬送方向下流側に配置されている。マーキング装置21は、装置本体22の制御の下、積層フィルム9で特定の欠陥が発生した場合に、その位置を示すマーキングを積層フィルム9に行う。   The marking device 21 is disposed on the conveyance path of the laminated film 9 and on the downstream side in the conveyance direction of the laminated film 9 with respect to the line light source 17 and the camera 20. When a specific defect occurs in the laminated film 9 under the control of the apparatus main body 22, the marking device 21 performs a marking indicating the position on the laminated film 9.

装置本体22は、カメラ20から入力された画像信号に基づき、積層フィルム9に欠陥が発生している否かの欠陥検査を行う。また、装置本体22は、積層フィルム9に欠陥が発生している場合に、この欠陥がセパレータ15で発生した擬似欠陥であるか、あるいは偏光板13で発生した実害欠陥であるかを判定する。   The apparatus body 22 performs a defect inspection based on the image signal input from the camera 20 to determine whether or not a defect has occurred in the laminated film 9. Further, when a defect occurs in the laminated film 9, the apparatus main body 22 determines whether the defect is a pseudo defect generated in the separator 15 or an actual damage defect generated in the polarizing plate 13.

ここで擬似欠陥とは、例えば、図4に示すようにセパレータ15の内部に存在する異物26に起因する欠陥である。この場合には、異物26によって偏光板13の表面に凹み13aが形成されるものの、図5に示すように、偏光板13からセパレータ15を剥離した場合には偏光板13に異物26は残らない。また、偏光板13の復元力により凹み13aも消えてしまうので、偏光板13の性能にも影響を及ぼさない。このため、擬似欠陥は、セパレータ15による粘着層14や偏光板13の保護という機能が損なわれていなければ、本来は欠陥として扱う必要がないものである。   Here, the pseudo defect is, for example, a defect caused by the foreign matter 26 existing inside the separator 15 as shown in FIG. In this case, although the recess 13a is formed on the surface of the polarizing plate 13 by the foreign matter 26, the foreign matter 26 does not remain on the polarizing plate 13 when the separator 15 is peeled off from the polarizing plate 13 as shown in FIG. . Further, since the recess 13a is also lost due to the restoring force of the polarizing plate 13, the performance of the polarizing plate 13 is not affected. For this reason, if the function of protection of the adhesion layer 14 and the polarizing plate 13 by the separator 15 is not impaired, the pseudo defect originally does not need to be treated as a defect.

実害欠陥は、例えば、偏光板13に異物が付着あるいは埋め込まれるなどの外観欠陥であり、セパレータ15を剥離した場合でも偏光板13に残る欠陥である。この実害欠陥は、偏光板13の性能に影響を及ぼすものであるので、欠陥として扱う必要がある。   The actual damage defect is, for example, an appearance defect such as a foreign substance adhering to or embedded in the polarizing plate 13, and a defect remaining in the polarizing plate 13 even when the separator 15 is peeled off. Since this actual harm defect affects the performance of the polarizing plate 13, it must be treated as a defect.

図6に示すように、装置本体22のCPU28は、操作部29からの制御信号に基づき、メモリ30から読み出した各種プログラムやデータを逐次実行することで、装置本体22の各部を統括的に制御する。メモリ30のRAM領域は、CPU28が処理を実行するためのワークメモリや、各種データの一時保管先として機能する。また、メモリ30のROM領域には、制御用の各種プログラムやデータが格納されている。   As shown in FIG. 6, the CPU 28 of the apparatus main body 22 comprehensively controls each part of the apparatus main body 22 by sequentially executing various programs and data read from the memory 30 based on the control signal from the operation unit 29. To do. The RAM area of the memory 30 functions as a work memory for the CPU 28 to execute processing and a temporary storage destination for various data. The ROM area of the memory 30 stores various control programs and data.

CPU28には、バスBuを介して、操作部29、メモリ30、入力I/F31、画像処理回路32、欠陥画像抽出回路33、特徴量抽出回路34、擬似欠陥判定回路35、実害欠陥判定回路36、欠陥位置検出回路37、マーキング制御回路38などが接続されている。操作部29は、欠陥検査の開始/停止操作などに用いられる。   The CPU 28 is connected to the operation unit 29, the memory 30, the input I / F 31, the image processing circuit 32, the defect image extraction circuit 33, the feature amount extraction circuit 34, the pseudo defect determination circuit 35, and the actual damage defect determination circuit 36 via the bus Bu. A defect position detection circuit 37, a marking control circuit 38, and the like are connected. The operation unit 29 is used for a defect inspection start / stop operation and the like.

入力I/F31は、カメラ20と接続している。入力I/F31は、カメラ20から逐次入力される1ライン分の画像信号を、画像処理回路32へ逐次出力する。   The input I / F 31 is connected to the camera 20. The input I / F 31 sequentially outputs image signals for one line sequentially input from the camera 20 to the image processing circuit 32.

画像処理回路32は、入力I/F31から入力される1ライン分の画像信号を蓄積し、例えば所定ライン数分の画像信号が蓄積される度に、これら画像信号に基づき2次元の画像データを生成する。これにより、積層フィルム9をY方向に複数の区間に分けたときの、各区間をそれぞれ透過した検査光24を撮影した画像データが生成される。画像処理回路32は、画像データをメモリ30に逐次格納する。   The image processing circuit 32 accumulates image signals for one line input from the input I / F 31. For example, every time image signals for a predetermined number of lines are accumulated, two-dimensional image data is obtained based on these image signals. Generate. Thereby, when the laminated film 9 is divided into a plurality of sections in the Y direction, image data obtained by photographing the inspection light 24 transmitted through each section is generated. The image processing circuit 32 sequentially stores image data in the memory 30.

画像データは、積層フィルム9の正常部分に対応する領域が黒画像となる。これは、積層フィルム9の正常部分を透過した検査光24の振動方向が偏光軸D2と直交するため、この検査光24が偏光フィルタ19で遮断されるからである。   In the image data, a region corresponding to a normal portion of the laminated film 9 is a black image. This is because the inspection light 24 transmitted through the normal part of the laminated film 9 is orthogonal to the polarization axis D 2, so that the inspection light 24 is blocked by the polarizing filter 19.

逆に画像データは、積層フィルム9の欠陥部分(以下、フィルム欠陥部分という)に対応する領域の輝度が高くなる。これは、検査光24がフィルム欠陥部分を透過する際に偏光状態が変わることで、偏光軸D2と垂直な方向に振動する直線偏光ではなくなり、検査光24が偏光フィルタ19を透過するためである。   On the other hand, the image data has high brightness in a region corresponding to a defective portion of the laminated film 9 (hereinafter referred to as a film defective portion). This is because when the inspection light 24 passes through the film defect portion, the polarization state changes, so that the linearly polarized light that vibrates in the direction perpendicular to the polarization axis D2 is eliminated and the inspection light 24 passes through the polarizing filter 19. .

この際に、偏光フィルタ19を透過する検査光24の量(以下、透過検査光量という)は、フィルム欠陥部分を透過した検査光24の偏光状態によって変わる。例えば、検査光24に偏光軸D2に平行な方向に振動する偏光成分が多い場合には透過検査光量が増加し、逆に少ない場合には透過検査光量は減少する。なお、フィルム欠陥部分を透過した検査光24の偏光状態は、偏光板13中の分子Mの配向方向によって変わる。   At this time, the amount of inspection light 24 transmitted through the polarizing filter 19 (hereinafter referred to as transmission inspection light amount) varies depending on the polarization state of the inspection light 24 transmitted through the film defect portion. For example, when the inspection light 24 has a large amount of polarized light components that vibrate in the direction parallel to the polarization axis D2, the transmission inspection light amount increases. Note that the polarization state of the inspection light 24 transmitted through the film defect portion varies depending on the orientation direction of the molecules M in the polarizing plate 13.

例えば、図4に示した異物26による擬似欠陥が発生した場合には、この異物26からの押圧を受けて偏光板13中の分子M(図7参照)の配向方向に乱れが生じる。具体的に異物26からの押圧により、各分子Mは異物26の中心に向けて引っ張られる。図7に示すように、異物26の中心付近に位置する分子Maは、異物26により偏光板13の厚み方向に押圧されるだけなので、分子Maの配向方向は偏光軸D1にほぼ平行な方向のまま変わらない。   For example, when a pseudo defect due to the foreign material 26 shown in FIG. 4 occurs, the orientation of the molecules M (see FIG. 7) in the polarizing plate 13 is disturbed by the pressure from the foreign material 26. Specifically, each molecule M is pulled toward the center of the foreign matter 26 by pressing from the foreign matter 26. As shown in FIG. 7, since the molecule Ma located near the center of the foreign material 26 is only pressed in the thickness direction of the polarizing plate 13 by the foreign material 26, the orientation direction of the molecule Ma is substantially parallel to the polarization axis D1. It remains unchanged.

また、分子Maの周辺に位置する分子Mbの中で、異物26の中心に向けて偏光軸D1に平行な方向に引っ張られるものは、そのまま平行移動するだけで配向方向は変わらない。一方、分子Mbの中で、異物26の中心に向けて斜め方向に引っ張られるものは、配向方向が異物26の中心に向けて斜めに傾く。   Further, among the molecules Mb located around the molecule Ma, those pulled in the direction parallel to the polarization axis D1 toward the center of the foreign material 26 are merely translated as they are and the orientation direction does not change. On the other hand, among the molecules Mb, those that are pulled in the oblique direction toward the center of the foreign material 26 are inclined in the orientation direction toward the center of the foreign material 26.

このような分子Mの配向方向に乱れが生じている箇所を透過した検査光24は、偏光軸D2と垂直な方向に振動する直線偏光ではなくなるので、偏光フィルタ19を透過する。その結果、この検査光24を撮像すると、図8に示すように、黒画像(図中のドットで表示)の中に輝度が高い2つの高輝度領域40(図中の白抜き部分で表示)が並んでいる画像データ(透過光像)41が取得される。以下、2つの高輝度領域40が並んで観察される擬似欠陥を「2点並び擬似欠陥」という。   The inspection light 24 transmitted through such a place where the alignment direction of the molecule M is disturbed is not linearly polarized light that vibrates in a direction perpendicular to the polarization axis D2, and thus passes through the polarization filter 19. As a result, when this inspection light 24 is imaged, as shown in FIG. 8, two high-intensity areas 40 (indicated by white portions in the figure) having high luminance in the black image (indicated by dots in the figure). The image data (transmitted light image) 41 in which are arranged is acquired. Hereinafter, a pseudo defect in which two high-luminance regions 40 are observed side by side is referred to as a “two-point aligned pseudo defect”.

2点並び擬似欠陥には、両高輝度領域40の輝度、画素数、及び間隔等が異なるN(Nは2以上の自然数)種類があり、各々の2点並び擬似欠陥を「2点並び(1)」、「2点並び(2)」・・・「2点並び(N)」という。例えば、図9に示すように「2点並び(1)」は、両高輝度領域40が完全に分離している。   There are N types (N is a natural number greater than or equal to 2) of the two-point aligned pseudo-defects in which the brightness, the number of pixels, the interval, etc. of both high-luminance regions 40 are different. 1) "," Two point arrangement (2) "..." Two point arrangement (N) ". For example, as shown in FIG. 9, in the “two-point arrangement (1)”, both high-intensity regions 40 are completely separated.

図10に示すように「2点並び(2)」は、目視では2つの高輝度領域40が分離しているように見えても実際には両者が繋がっている。また、2点並び(2)には、図11に示すように、両高輝度領域40の面積及び輝度が大きくなり、目視でも2つの高輝度領域40が繋がっていることが確認可能なものも含まれる。   As shown in FIG. 10, the “two-point arrangement (2)” is actually connected even though the two high-luminance regions 40 appear to be separated by visual observation. In addition, in the two-point arrangement (2), as shown in FIG. 11, the areas and luminances of both high luminance regions 40 are large, and it is possible to visually confirm that the two high luminance regions 40 are connected. included.

一方、実害欠陥には、偏光板13に球形あるいは多角形状の異物が付着する「異物」と、「異物」よりも細長形状の異物が偏光板13に付着する「細長異物」と、偏光板13に繊維状異物が埋め込まれている「ケバ」との少なくとも3種類がある。なお、異物の大きさが所定の下限規格値を下回る「異物(小)」は、偏光板13の性能に影響を及ぼすものではないので、実害欠陥とは判定しない。   On the other hand, the actual defect includes “foreign matter” in which spherical or polygonal foreign matter adheres to the polarizing plate 13, “elongated foreign matter” in which a foreign matter that is narrower than “foreign matter” adheres to the polarizing plate 13, and the polarizing plate 13. There are at least three types of “Keba” in which fibrous foreign matter is embedded. Note that “foreign matter (small)” in which the size of the foreign matter is lower than the predetermined lower limit standard value does not affect the performance of the polarizing plate 13, and thus is not determined as an actual harm defect.

図6に戻って、欠陥画像抽出回路33は、メモリ30に格納された画像データ41から、予め定められた条件に従って、フィルム欠陥部分に起因する高輝度領域40を欠陥画像データとして抽出する。この条件とは、例えば、高輝度領域40を構成する各画素の輝度値の下限値や、画素数の下限値である。これにより、輝度値が所定値以上の画素が所定個数以上連結されてなる高輝度領域40が欠陥画像データとして抽出される。また、欠陥画像抽出回路33は、第1抽出パターンと第2抽出パターンの2種類の抽出パターンで欠陥画像データの抽出を行う。   Returning to FIG. 6, the defect image extraction circuit 33 extracts from the image data 41 stored in the memory 30 the high-intensity region 40 resulting from the film defect portion as defect image data in accordance with a predetermined condition. This condition is, for example, the lower limit value of the luminance value of each pixel constituting the high luminance region 40 or the lower limit value of the number of pixels. As a result, a high luminance region 40 in which a predetermined number of pixels having luminance values equal to or higher than a predetermined value are connected is extracted as defect image data. Further, the defect image extraction circuit 33 extracts defect image data using two types of extraction patterns, ie, a first extraction pattern and a second extraction pattern.

図12に示すように、第1抽出パターンでは、高輝度領域40の外周に沿うように外接四角形43aを設定し、この外接四角形43aの内側を欠陥画像データ42aとして抽出する。例えば2点並び擬似欠陥のように複数の高輝度領域40が集合している場合には、これら高輝度領域40の集合体を含む外接四角形43aを設定し、この外接四角形43aの内側を欠陥画像データ42aとして抽出する。また、3以上の高輝度領域40が集合している場合にも、全ての高輝度領域40の集合体を欠陥画像データ42aとして抽出する。   As shown in FIG. 12, in the first extraction pattern, a circumscribed rectangle 43a is set along the outer periphery of the high luminance region 40, and the inside of the circumscribed rectangle 43a is extracted as defect image data 42a. For example, when a plurality of high brightness areas 40 are gathered like a two-point aligned pseudo defect, a circumscribed rectangle 43a including an aggregate of the high brightness areas 40 is set, and the inside of the circumscribed square 43a is defined as a defect image. Extracted as data 42a. In addition, even when three or more high-luminance areas 40 are aggregated, an aggregate of all the high-luminance areas 40 is extracted as defect image data 42a.

一方、高輝度領域40が単体で存在している場合には、これを含む外接四角形43aを設定して欠陥画像データ42aの抽出を行う。なお、外接四角形43aの大きさには上限が定められている。従って、外接四角形43a内に入らない高輝度領域40については、別のフィルム欠陥部分に起因するものと見なして、別途抽出を行う。   On the other hand, when the high-intensity region 40 exists alone, the circumscribed rectangle 43a including the high-luminance region 40 is set, and the defect image data 42a is extracted. An upper limit is set for the size of the circumscribed rectangle 43a. Therefore, the high luminance region 40 that does not enter the circumscribed rectangle 43a is regarded as being caused by another film defect portion and is separately extracted.

図13に示すように、第2抽出パターンでは、複数の高輝度領域40が集合している場合に、画素数の多い高輝度領域40を含む外接四角形43bを設定し、この外接四角形43bの内側を欠陥画像データ42bとして抽出する。なお、高輝度領域40が単体で存在している場合には、これを含む外接四角形43bを設定して欠陥画像データ42bの抽出を行う。この場合には、欠陥画像データ42aと欠陥画像データ42bとは同じものになる。欠陥画像抽出回路33は、画像データ41から抽出した欠陥画像データ42a,42bを互いに関連付けてメモリ30に格納する。   As shown in FIG. 13, in the second extraction pattern, when a plurality of high-luminance regions 40 are gathered, a circumscribed rectangle 43b including the high-luminance region 40 with a large number of pixels is set, and the inside of the circumscribed rectangle 43b is set. Are extracted as defect image data 42b. When the high brightness area 40 exists alone, the circumscribed square 43b including the high brightness area 40 is set, and the defect image data 42b is extracted. In this case, the defect image data 42a and the defect image data 42b are the same. The defect image extraction circuit 33 stores the defect image data 42 a and 42 b extracted from the image data 41 in the memory 30 in association with each other.

図6に戻って、特徴量抽出回路34は、メモリ30に格納された欠陥画像データ42a,42bからそれぞれ特徴量を抽出する。この特徴量には、例えば「平均輝度」、「中心輝度」、「平均輝度−中心輝度」、「最大輝度」、「画素数」、「面積比1」、「面積比2」、「幅」、「長さ」、「縦横比」、「平均幅」、「平均幅縦横比」などが含まれる。   Returning to FIG. 6, the feature quantity extraction circuit 34 extracts feature quantities from the defect image data 42 a and 42 b stored in the memory 30. The feature amount includes, for example, “average brightness”, “center brightness”, “average brightness−center brightness”, “maximum brightness”, “number of pixels”, “area ratio 1”, “area ratio 2”, “width”. , “Length”, “aspect ratio”, “average width”, “average width aspect ratio”, and the like.

「平均輝度」は、欠陥画像データ42aを構成する各画素の輝度の平均値である。「中心輝度」は、欠陥画像データ42aの中心位置における画素の輝度である。「平均輝度−中心輝度」は、「平均輝度」−「中心輝度」である。   “Average luminance” is an average value of the luminance of each pixel constituting the defect image data 42a. “Center luminance” is the luminance of the pixel at the center position of the defect image data 42a. “Average brightness−center brightness” is “average brightness” − “center brightness”.

「画素数」は、欠陥画像データ42a,42b内の高輝度領域40を構成する画素の画素数である。「面積比1」は、欠陥画像データ42aにおける「画素数」÷「高輝度領域40外の画素の画素数」であり、「面積比2」は、欠陥画像データ42bにおける「画素数」÷「高輝度領域40外の画素の画素数」である。   The “number of pixels” is the number of pixels constituting the high luminance area 40 in the defect image data 42a and 42b. “Area ratio 1” is “the number of pixels” in the defect image data 42 a ÷ “the number of pixels outside the high brightness region 40”, and “area ratio 2” is “the number of pixels” in the defect image data 42 b ÷ “ The number of pixels outside the high luminance area 40 ”.

「幅」は、欠陥画像データ42aの幅(外接四角形43aの幅)である。「長さ」は、欠陥画像データ42aの長さ(外接四角形43aの長さ)である。「縦横比」は、「長さ」÷「幅」である。「平均幅」は、欠陥画像データ42a内の高輝度領域40の幅の平均値である。「平均幅縦横比」は、「長さ」÷「平均幅」である。特徴量抽出回路34は、欠陥画像データ42a,42bから抽出した各特徴量を、抽出元の欠陥画像データ42a,42bに対応付けてメモリ30に格納する。   “Width” is the width of the defect image data 42a (the width of the circumscribed rectangle 43a). The “length” is the length of the defect image data 42a (the length of the circumscribed rectangle 43a). “Aspect ratio” is “length” ÷ “width”. The “average width” is an average value of the width of the high brightness area 40 in the defect image data 42a. “Average width aspect ratio” is “length” ÷ “average width”. The feature amount extraction circuit 34 stores the feature amounts extracted from the defect image data 42a and 42b in the memory 30 in association with the defect image data 42a and 42b of the extraction source.

擬似欠陥判定回路35は、メモリ30内の欠陥画像データ42a,42bに対応するフィルム欠陥部分が2点並び擬似欠陥であるか否かを判定する。この際に、2点並び擬似欠陥には、「2点並び(1)」〜「2点並び(N)」のN種類がある。このため、擬似欠陥判定回路35は、フィルム欠陥部分が「2点並び(1)」・・・「2点並び(N)」であるか否かを個別に判定する第1判定回路46(1)〜第N判定回路46(N)を有している。   The pseudo defect determination circuit 35 determines whether or not two film defect portions corresponding to the defect image data 42 a and 42 b in the memory 30 are arranged in a pseudo defect. In this case, there are N types of two-point arrangement pseudo defects, “two-point arrangement (1)” to “two-point arrangement (N)”. Therefore, the pseudo defect determination circuit 35 individually determines whether the film defect portion is “two-point alignment (1)”... “Two-point alignment (N)”. ) To N-th determination circuit 46 (N).

第1判定回路46(1)は、メモリ30内の欠陥画像データ42a,42bの特徴量に基づき、欠陥画像データ42a,42bが「2点並び(1)」を示す第1特定欠陥画像データ(図14参照)であるか否かを判定する第1判定処理を行うことで、フィルム欠陥部分が「2点並び(1)」であるか否かを判定する。この第1判定処理は、欠陥画像データ42a,42bの各特徴量と、第1特定欠陥画像データの特徴に応じて予め定められた各特徴量の第1しきい値54(1)(図14参照)と、の比較により実行される。   The first determination circuit 46 (1) is configured to display the first specific defect image data (where the defect image data 42 a and 42 b indicate “two-point alignment (1)”) based on the feature amounts of the defect image data 42 a and 42 b in the memory 30. 14), it is determined whether or not the film defect portion is “two-point alignment (1)”. The first determination process includes a first threshold value 54 (1) of each feature amount predetermined according to each feature amount of the defect image data 42a and 42b and the feature of the first specific defect image data (FIG. 14). And the reference).

第2判定回路46(2)は、欠陥画像データ42a,42bが「2点並び(2)」を示す第2特定欠陥画像データ(図14参照)である否かを判定する第2判定処理を行うことで、フィルム欠陥部分が「2点並び(2)」であるか否かを判定する。以下同様に、第N判定回路46(N)は、欠陥画像データ42a,42bが「2点並び(N)」を示す第N特定欠陥画像データである否かを判定する第N判定処理を行うことで、フィルム欠陥部分が「2点並び(N)」であるか否かを判定する。   The second determination circuit 46 (2) performs a second determination process for determining whether or not the defect image data 42a and 42b is second specific defect image data (see FIG. 14) indicating “two-point alignment (2)”. By performing, it is determined whether the film defect portion is “two-point alignment (2)”. Similarly, the Nth determination circuit 46 (N) performs an Nth determination process for determining whether or not the defect image data 42 a and 42 b is the Nth specific defect image data indicating “two-point alignment (N)”. Thus, it is determined whether or not the film defect portion is “two-point alignment (N)”.

第2〜第N判定処理は、欠陥画像データ42a,42bの各特徴量を、第2〜第N特定欠陥画像データの特徴に応じて個別に予め定められた各特徴量の第2〜第Nしきい値54(2)〜54(N)(図14参照)とそれぞれ比較することにより実行される。   In the second to Nth determination processes, the feature amounts of the defect image data 42a and 42b are converted into the second to Nth feature amounts individually determined in advance according to the features of the second to Nth specific defect image data. It is executed by comparing with each of the threshold values 54 (2) to 54 (N) (see FIG. 14).

実害欠陥判定回路36は、メモリ30内に格納された欠陥画像データ42a,42bに対応するフィルム欠陥部分が実害欠陥であるか否かを判定する。実害欠陥判定回路36は、擬似欠陥判定回路35により第1〜第N特定欠陥画像データであると判定されなかった欠陥画像データ42a,42bに対応するフィルム欠陥部分を、実害欠陥であると判定する。   The actual defect determination circuit 36 determines whether or not the film defect portion corresponding to the defect image data 42a and 42b stored in the memory 30 is an actual defect. The actual defect determination circuit 36 determines that the film defect portions corresponding to the defect image data 42a and 42b that are not determined to be the first to Nth specific defect image data by the pseudo defect determination circuit 35 are actual damage defects. .

欠陥位置検出回路37は、擬似欠陥判定回路35及び実害欠陥判定回路36によりそれぞれ2点並び擬似欠陥、実害欠陥と判定されたフィルム欠陥部分の積層フィルム9内における位置座標を検出する。この位置座標は、例えば、積層フィルム9の先端の通過を検出する先端検出センサ(図示せず)からの検出情報、既知の積層フィルム9の搬送速度、及び画像データ41内における欠陥画像データ42a,42bの位置情報などから求められる。なお、この方法以外にも公知の各種検出方法を用いてフィルム欠陥部分の位置座標を検出してもよい。欠陥位置検出回路37は、2点並び擬似欠陥及び実害欠陥の位置座標データをメモリ30に格納する。   The defect position detection circuit 37 detects the position coordinates in the laminated film 9 of the film defect portion determined to be a pseudo defect and an actual defect by arranging two points by the pseudo defect determination circuit 35 and the actual damage defect determination circuit 36, respectively. The position coordinates include, for example, detection information from a front end detection sensor (not shown) that detects passage of the front end of the laminated film 9, known conveyance speed of the laminated film 9, and defect image data 42 a in the image data 41. It is calculated | required from the positional information on 42b. In addition to this method, the position coordinates of the film defect portion may be detected using various known detection methods. The defect position detection circuit 37 stores the position coordinate data of the two-point aligned pseudo defect and the actual harm defect in the memory 30.

マーキング制御回路38は、メモリ30内の実害欠陥の位置座標データ(以下、実害欠陥位置座標データという)に基づき、マーキング装置21を制御して、搬送路上の積層フィルム9に実害欠陥の位置を示すマーキングを行う。マーキング制御回路38は、先端検出センサからの検出情報、既知の積層フィルム9の搬送速度などから、積層フィルム9の実害欠陥位置座標データに対応する位置(以下、位置座標対応位置という)の移動を監視する。これにより、積層フィルム9の位置座標対応位置へのマーキングが可能となる。   The marking control circuit 38 controls the marking device 21 based on the position coordinate data (hereinafter referred to as actual damage defect position coordinate data) of the actual damage defect in the memory 30 to indicate the position of the actual damage defect on the laminated film 9 on the conveyance path. Mark. The marking control circuit 38 moves the position corresponding to the actual harm defect position coordinate data of the laminated film 9 (hereinafter referred to as position coordinate corresponding position) based on the detection information from the tip detection sensor, the known conveyance speed of the laminated film 9, and the like. Monitor. Thereby, the marking to the position corresponding to the position coordinate of the laminated film 9 becomes possible.

CPU28は、メモリ30のROM領域から読み出した各種プログラムを逐次実行することで、擬似欠陥判定制御部28aとして機能する。擬似欠陥判定制御部28aは、第1〜第N判定回路46(1)〜46(N)による判定処理を所定の順番(例えば、第1判定回路46(1)、第2判定回路46(2)、・・・第N判定回路46(N))で実行させる。   The CPU 28 functions as the pseudo defect determination control unit 28 a by sequentially executing various programs read from the ROM area of the memory 30. The pseudo defect determination control unit 28a performs determination processing by the first to Nth determination circuits 46 (1) to 46 (N) in a predetermined order (for example, the first determination circuit 46 (1) and the second determination circuit 46 (2). ,... Are executed by the Nth determination circuit 46 (N)).

また、擬似欠陥判定制御部28aは、第1判定処理でフィルム欠陥部が2点並び(1)であると判定された場合には第2〜第N判定処理を中止させ、第2判定処理でフィルム欠陥部が2点並び(2)であると判定された場合には第3〜第N判定処理を中止させる。このため、第M[Mは(N−1)以下の自然数]判定処理でフィルム欠陥部が2点並び擬似欠陥であると判定された場合には、それ以降の判定処理は行われない。   Further, the pseudo defect determination control unit 28a stops the second to Nth determination processes when it is determined in the first determination process that the film defect portions are arranged in two points (1), and the second determination process When it is determined that the film defect portion is the two-point alignment (2), the third to Nth determination processing is stopped. For this reason, when it is determined in the M-th [M is a natural number equal to or less than (N−1)] determination that two film defect portions are arranged and are pseudo defects, the subsequent determination processing is not performed.

図14に示すように、メモリ30のROM領域には、各種プログラムの他に、欠陥画像抽出基準データ60と、擬似欠陥分類基準データ61と、欠陥位置情報データ62とが格納されている。   As shown in FIG. 14, the ROM area of the memory 30 stores defect image extraction reference data 60, pseudo defect classification reference data 61, and defect position information data 62 in addition to various programs.

欠陥画像抽出基準データ60は、欠陥画像抽出回路33が画像データ41から欠陥画像データ42a,42bを抽出するための基準データとして用いられる。この欠陥画像抽出基準データ60には、高輝度領域40を構成する画素の輝度値の下限値、画素数の下限値などが格納されている。これにより、欠陥画像抽出回路33は、欠陥画像抽出基準データ60を参照して、画像データ41から欠陥画像データ42a,42bを抽出する。   The defect image extraction reference data 60 is used as reference data for the defect image extraction circuit 33 to extract the defect image data 42 a and 42 b from the image data 41. The defect image extraction reference data 60 stores the lower limit value of the luminance value and the lower limit value of the number of pixels that constitute the high luminance region 40. Thereby, the defect image extraction circuit 33 extracts the defect image data 42 a and 42 b from the image data 41 with reference to the defect image extraction reference data 60.

擬似欠陥分類基準データ61は、第1〜第N判定回路46(1)〜46(N)による第1〜第N判定処理に用いられるデータである。擬似欠陥分類基準データ61には、第1〜第N特定欠陥画像データの特徴に応じてそれぞれ予め定められた各特徴量の第1〜第Nしきい値54(1)〜54(N)が格納されている。   The pseudo defect classification reference data 61 is data used for the first to Nth determination processing by the first to Nth determination circuits 46 (1) to 46 (N). The pseudo defect classification reference data 61 includes first to Nth threshold values 54 (1) to 54 (N) of respective feature amounts respectively predetermined according to the features of the first to Nth specific defect image data. Stored.

例えば、第1しきい値54(1)は、第1特定欠陥画像データの外観上の特徴に応じて定められている。この特徴とは、具体的には(a1)面積が大きい方の高輝度領域40が略円形で、(b1)目視観察上は両高輝度領域40が分離しており、(c1)両高輝度領域40が近接して並んでいる、などである。第1しきい値54(1)は、(a1)に対応して、「面積比2」が所定値β以上に定められている。(b1)に対応して、「平均輝度−中心輝度」が0.0以上(正の値)に定められている。(c1)に対応して、「縦横比」が1.0以下の所定値でかつ「面積比1」が所定値α以上に定められている。   For example, the first threshold value 54 (1) is determined according to the appearance characteristics of the first specific defect image data. Specifically, (a1) the high-intensity region 40 having a larger area is substantially circular, (b1) the two high-intensity regions 40 are separated on visual observation, and (c1) both high-intensities. For example, the regions 40 are arranged close to each other. In the first threshold value 54 (1), “area ratio 2” is set to be equal to or greater than a predetermined value β corresponding to (a1). Corresponding to (b1), “average luminance−center luminance” is set to 0.0 or more (positive value). Corresponding to (c1), the “aspect ratio” is set to a predetermined value of 1.0 or less and the “area ratio 1” is set to a predetermined value α or more.

また、第2しきい値54(2)は、第2特定欠陥画像データの外観上の特徴、具体的には(a2)ほぼ円形の2つの高輝度領域40が一部重なるように並んでいる、などの特徴に応じて定められている。第2しきい値54(2)は、(a2)に対応して、「縦横比」が1.0以下、「平均輝度−中心輝度」が所定値γ以上、「面積比1」が所定値δ以上、「平均幅縦横比」が所定値ε以下に定められている。   Further, the second threshold value 54 (2) is arranged such that the appearance characteristics of the second specific defect image data, specifically, (a2) two substantially circular high-intensity regions 40 partially overlap. , Etc. are determined according to the characteristics. The second threshold value 54 (2) corresponds to (a2), in which “aspect ratio” is 1.0 or less, “average luminance-center luminance” is a predetermined value γ or more, and “area ratio 1” is a predetermined value. More than δ and the “average width aspect ratio” is set to a predetermined value ε or less.

第1〜第N判定回路46(1)〜46(N)は、それぞれ第1〜第Nしきい値54(1)〜54(N)を参照することにより、欠陥画像データ42a,42bが第1〜第N特定欠陥画像データであるか否かを個別に判定する。   The first to Nth determination circuits 46 (1) to 46 (N) refer to the first to Nth threshold values 54 (1) to 54 (N), respectively, so that the defect image data 42a and 42b are the first. It is individually determined whether or not it is 1st to Nth specific defect image data.

欠陥位置情報データ62は、欠陥位置検出回路37により抽出された2点並び擬似欠陥及び実害欠陥の位置座標データを格納する。これにより、マーキング制御回路38は、欠陥位置情報データ62を参照することにより、実害欠陥位置座標データを取得することができる。   The defect position information data 62 stores the position coordinate data of the two-point aligned pseudo defect and the actual harm defect extracted by the defect position detection circuit 37. Thereby, the marking control circuit 38 can acquire the actual defect position coordinate data by referring to the defect position information data 62.

次に、図16を用いて上記構成の欠陥検査装置11の作用について説明を行う。操作部29で検査開始操作がなされると、積層フィルム9の搬送開始と同時に欠陥検査装置11による検査処理が開始される。最初に、ライン光源17から積層フィルム9に向けて検査光24が照射される。   Next, the operation of the defect inspection apparatus 11 having the above configuration will be described with reference to FIG. When an inspection start operation is performed at the operation unit 29, an inspection process by the defect inspection apparatus 11 is started simultaneously with the start of transport of the laminated film 9. First, the inspection light 24 is irradiated from the line light source 17 toward the laminated film 9.

積層フィルム9の正常部分に入射した検査光24は、偏光軸D1に平行な方向に振動する直線偏光に変換されて積層フィルム9を透過する。これに対して、フィルム欠陥部分に入射した検査光24は、フィルム欠陥部分を透過する際に偏光状態が変わることで、偏光軸D1と平行な方向に振動する直線偏光にはならない。これら正常部分またはフィルム欠陥部分を透過した検査光24は、偏光フィルタ19に入射する。   The inspection light 24 incident on the normal part of the laminated film 9 is converted into linearly polarized light that vibrates in a direction parallel to the polarization axis D <b> 1 and passes through the laminated film 9. On the other hand, the inspection light 24 incident on the film defect portion does not become linearly polarized light that vibrates in a direction parallel to the polarization axis D <b> 1 due to a change in the polarization state when passing through the film defect portion. The inspection light 24 transmitted through these normal portions or film defect portions enters the polarizing filter 19.

偏光フィルタ19に入射した検査光24の中で、偏光軸D1と平行な方向(偏光軸D2に垂直な方向)に振動する直線偏光は偏光フィルタ19により遮断される。これに対して、フィルム欠陥部分を透過することで、偏光軸D1と平行な方向に振動する直線偏光にならなかった検査光24は、偏光フィルタ19を透過してカメラ20に入射する。   In the inspection light 24 incident on the polarization filter 19, linearly polarized light that vibrates in a direction parallel to the polarization axis D 1 (direction perpendicular to the polarization axis D 2) is blocked by the polarization filter 19. On the other hand, the inspection light 24 that has not become linearly polarized light that oscillates in a direction parallel to the polarization axis D <b> 1 by passing through the film defect portion passes through the polarization filter 19 and enters the camera 20.

カメラ20は、偏光フィルタ19を透過した検査光24を撮像して、1ライン分の画像信号を装置本体22へ出力する。以下、カメラ20は、積層フィルム9が1ライン分ずつ搬送されるごとに撮像と画像信号の出力とを連続して実行する。   The camera 20 images the inspection light 24 that has passed through the polarization filter 19 and outputs an image signal for one line to the apparatus main body 22. Hereinafter, the camera 20 continuously performs imaging and image signal output each time the laminated film 9 is conveyed line by line.

カメラ20から出力された1ライン分の画像信号は、入力I/F31を介して、画像処理回路32に逐次入力する。画像処理回路32は、入力I/F31から入力される1ライン分の画像信号を蓄積し、所定ライン数分の画像信号が蓄積される度に、これら画像信号に基づき2次元の画像データ41を生成してメモリ30に格納する。   The image signal for one line output from the camera 20 is sequentially input to the image processing circuit 32 via the input I / F 31. The image processing circuit 32 accumulates one line of image signals input from the input I / F 31 and each time image signals for a predetermined number of lines are accumulated, two-dimensional image data 41 is obtained based on these image signals. Generated and stored in the memory 30.

CPU28は、新たな画像データ41がメモリ30に格納されたときに、欠陥画像抽出回路33に対して欠陥画像抽出指令を発する。この指令を受けて、欠陥画像抽出回路33は、メモリ30内の画像データ41を読み出す。そして、欠陥画像抽出回路33は、メモリ30内の欠陥画像抽出基準データ60で定められた基準に従って、画像データ41からフィルム欠陥部分に起因する高輝度領域40の抽出を開始する。   The CPU 28 issues a defect image extraction command to the defect image extraction circuit 33 when new image data 41 is stored in the memory 30. In response to this instruction, the defect image extraction circuit 33 reads the image data 41 in the memory 30. Then, the defect image extraction circuit 33 starts extracting the high brightness area 40 resulting from the film defect portion from the image data 41 in accordance with the standard defined by the defect image extraction standard data 60 in the memory 30.

最初に、欠陥画像抽出回路33は、図12に示したように第1抽出パターンで高輝度領域40の抽出を行う。これにより、2点並び擬似欠陥のように複数の高輝度領域40が集合している場合には、これら高輝度領域40の集合体が欠陥画像データ42aとして抽出される。なお、高輝度領域40が単体で存在している場合には、この高輝度領域40が欠陥画像データ42aとして抽出される。   First, the defect image extraction circuit 33 extracts the high luminance region 40 using the first extraction pattern as shown in FIG. As a result, when a plurality of high brightness areas 40 are gathered like a two-point aligned pseudo defect, an aggregate of these high brightness areas 40 is extracted as defect image data 42a. If the high brightness area 40 exists alone, the high brightness area 40 is extracted as the defect image data 42a.

次いで、欠陥画像抽出回路33は、図13に示したように第2抽出パターンで高輝度領域40の抽出を行う。これにより、2点並び擬似欠陥のように複数の高輝度領域40が集合している場合には、その中で最大画素数の高輝度領域40が欠陥画像データ42bとして抽出される。なお、高輝度領域40が単体で存在している場合には、この高輝度領域40が欠陥画像データ42bとして抽出されるので、欠陥画像データ42bは欠陥画像データ42aと同じものになる。欠陥画像抽出回路33は、欠陥画像データ42a,42bをメモリ30に格納する。   Next, the defect image extraction circuit 33 extracts the high luminance region 40 with the second extraction pattern as shown in FIG. As a result, when a plurality of high brightness areas 40 are gathered like a two-point aligned pseudo defect, the high brightness area 40 having the maximum number of pixels is extracted as the defect image data 42b. If the high-intensity region 40 exists alone, the high-intensity region 40 is extracted as the defect image data 42b, so that the defect image data 42b is the same as the defect image data 42a. The defect image extraction circuit 33 stores the defect image data 42 a and 42 b in the memory 30.

CPU28は、新たな欠陥画像データ42a,42bがメモリ30に格納されたときに、特徴量抽出回路34に対して特徴量抽出指令を発する。この指令を受けて、特徴量抽出回路34は、メモリ30内の欠陥画像データ42a,42bから各種の特徴量を抽出する。特徴量抽出回路34は、各特徴量を抽出元の欠陥画像データ42a,42bに対応付けてメモリ30に格納する。   The CPU 28 issues a feature amount extraction command to the feature amount extraction circuit 34 when new defect image data 42 a and 42 b are stored in the memory 30. In response to this command, the feature amount extraction circuit 34 extracts various feature amounts from the defect image data 42 a and 42 b in the memory 30. The feature amount extraction circuit 34 stores each feature amount in the memory 30 in association with the defect image data 42a and 42b of the extraction source.

次いで、CPU28は、擬似欠陥判定回路35及び実害欠陥判定回路36に対して判定指令を発する。最初に、擬似欠陥判定制御部28aによる制御の下、第1判定回路46(1)は、メモリ30内の欠陥画像データ42a,42bの各特徴量と、擬似欠陥分類基準データ61の第1しきい値54(1)とを比較する。この比較結果を基に、第1判定回路46(1)は、欠陥画像データ42a,42bが第1特定欠陥画像データであるか否かを判定する第1判定処理を行う。これにより、フィルム欠陥部分が「2点並び(1)」であるか否かが判定される。   Next, the CPU 28 issues a determination command to the pseudo defect determination circuit 35 and the actual harm defect determination circuit 36. First, under the control of the pseudo defect determination control unit 28 a, the first determination circuit 46 (1) performs the first processing on each feature amount of the defect image data 42 a and 42 b in the memory 30 and the pseudo defect classification reference data 61. The threshold value 54 (1) is compared. Based on the comparison result, the first determination circuit 46 (1) performs a first determination process for determining whether or not the defect image data 42a and 42b are the first specific defect image data. Thereby, it is determined whether or not the film defect portion is “two-point alignment (1)”.

擬似欠陥判定制御部28aは、フィルム欠陥部分が「2点並び(1)」ではないと判定されたときに、第2判定回路46(2)を作動させる。第2判定回路46(2)は、欠陥画像データ42a,42bの各特徴量と第2しきい値54(2)とを比較して、欠陥画像データ42a,42bが第2特定欠陥画像データであるか否かを判定する第2判定処理を行う。これにより、フィルム欠陥部分が「2点並び(2)」であるか否かが判定される。   The pseudo defect determination control unit 28a activates the second determination circuit 46 (2) when it is determined that the film defect portion is not “two-point alignment (1)”. The second determination circuit 46 (2) compares the feature amounts of the defect image data 42a and 42b with the second threshold value 54 (2), and the defect image data 42a and 42b are the second specific defect image data. A second determination process is performed to determine whether or not there is. Thereby, it is determined whether or not the film defect portion is “two-point alignment (2)”.

以下同様にして、フィルム欠陥部分が2点並び擬似欠陥であると判定されるまで、擬似欠陥判定制御部28aは、第3判定回路46(3)〜第N判定回路46(N)による第3〜第N判定処理を順番に実行させて、2点並び擬似欠陥の有無を判定させる。   Similarly, until the film defect portion is determined to be a two-point aligned pseudo defect, the pseudo defect determination control unit 28a performs the third determination by the third determination circuit 46 (3) to the Nth determination circuit 46 (N). The Nth determination process is sequentially executed to determine the presence or absence of two-point aligned pseudo defects.

積層フィルム9の擬似欠陥の殆どはセパレータ15内部の異物26に起因するものであり、この異物26に起因する擬似欠陥では、図7〜図8に示したように高輝度領域40が2つ並んで観察される。このため、画像データ41から抽出した欠陥画像データ42a,42bの中で、2つの高輝度領域40が並んでいる欠陥画像データ42aに対応するフィルム欠陥部分を擬似欠陥として判定することができる。その結果、従来のように、画像データ41の全てに対して特徴量の抽出処理や、重回帰式及び判別関数による複雑な演算を行うことなく、擬似欠陥の有無を判定することができる。これにより、検査処理に掛かる時間を短縮することができるので、走行中の積層フィルム9の欠陥検査が可能になる。   Most of the pseudo defects of the laminated film 9 are caused by the foreign matter 26 inside the separator 15. In the pseudo defect caused by the foreign matter 26, two high-luminance regions 40 are arranged as shown in FIGS. 7 to 8. Observed at. For this reason, in the defect image data 42a and 42b extracted from the image data 41, the film defect portion corresponding to the defect image data 42a in which the two high-intensity regions 40 are arranged can be determined as a pseudo defect. As a result, the presence / absence of a pseudo defect can be determined without performing feature amount extraction processing or complex calculation using multiple regression equations and discriminant functions for all of the image data 41 as in the past. As a result, the time required for the inspection process can be shortened, so that it is possible to inspect the laminated film 9 during traveling.

擬似欠陥判定制御部28aは、第1〜第(N(1))判定処理のいずれかでフィルム欠陥部分が2点並び擬似欠陥であると判定されたときには、それ以降の判定処理を中止させる。これにより、無駄な判定処理が行われなくなるので、より検査を迅速に行うことができる。   The pseudo-defect determination control unit 28a stops the subsequent determination process when it is determined in any one of the first to (N (1)) determination processes that two film defect portions are pseudo-defects. Thereby, since useless determination processing is not performed, the inspection can be performed more quickly.

実害欠陥判定回路36は、第1判定回路46(1)〜第N判定回路46(N)による第1〜第N判定処理を監視する。そして、実害欠陥判定回路36は、各判定処理のいずれでも2点並び擬似欠陥と判定されなかった場合に、フィルム欠陥部分を実害欠陥であると判定する。   The actual damage defect determination circuit 36 monitors the first to Nth determination processes by the first determination circuit 46 (1) to the Nth determination circuit 46 (N). The actual defect determination circuit 36 determines that the film defect portion is an actual defect when it is not determined as a pseudo defect by arranging two points in any of the determination processes.

CPU28は、フィルム欠陥部分が2点並び擬似欠陥あるいは実害欠陥であると判定されたときに、欠陥位置検出回路37に対して位置検出指令を発する。この指令を受けて、欠陥位置検出回路37は、2点並び擬似欠陥あるいは実害欠陥と判定されたフィルム欠陥部分の積層フィルム9内における位置座標を検出する。次いで、欠陥位置検出回路37は、2点並び擬似欠陥あるいは実害欠陥の位置座標データをメモリ30内の欠陥位置情報データ62に格納する。   The CPU 28 issues a position detection command to the defect position detection circuit 37 when it is determined that the film defect portion is a two-point arrangement and is a pseudo defect or an actual defect. Upon receiving this command, the defect position detection circuit 37 detects the position coordinates in the laminated film 9 of the film defect portion determined to be a two-point arrangement pseudo defect or an actual defect. Next, the defect position detection circuit 37 stores the position coordinate data of the two-point aligned pseudo defect or the actual harm defect in the defect position information data 62 in the memory 30.

CPU28は、実害欠陥位置座標データが欠陥位置情報データ62に格納されたときに、マーキング制御回路38に対してマーキング指令を発する。この指令を受けて、マーキング制御回路38は、欠陥位置情報データ62から実害欠陥位置座標データを読み出す。   The CPU 28 issues a marking command to the marking control circuit 38 when the actual harm defect position coordinate data is stored in the defect position information data 62. In response to this command, the marking control circuit 38 reads the actual defect position coordinate data from the defect position information data 62.

次いで、マーキング制御回路38は、先端検出センサからの検出情報、及び積層フィルム9の搬送速度などから、積層フィルム9における位置座標対応位置の移動を監視する。そして、マーキング制御回路38は、位置座標対応位置がマーキング装置21の直下に移動したときに、マーキング装置21を作動させて位置座標対応位置にマーキングを行わせる。これにより、積層フィルム9における実害欠陥の位置の判別が容易となる。   Next, the marking control circuit 38 monitors the movement of the position corresponding to the position coordinate in the laminated film 9 based on the detection information from the leading end detection sensor, the conveyance speed of the laminated film 9, and the like. Then, when the position coordinate corresponding position moves directly below the marking device 21, the marking control circuit 38 operates the marking device 21 to perform marking at the position coordinate corresponding position. Thereby, the position of the actual harm defect in the laminated film 9 can be easily determined.

以下、積層フィルム9の全領域の検査が完了するまで、上述の処理が繰り返し実行される。   Hereinafter, the above-described processing is repeatedly executed until the inspection of the entire region of the laminated film 9 is completed.

上記実施形態では、実害欠陥判定回路36はフィルム欠陥部分が実害欠陥であるか否かの判定しか行っていないが、フィルム欠陥部分が実害欠陥である場合にはその種類(「異物」、「細長異物」、「ケバ」など)の判定を行ってもよい。この場合には、図16に示すように、メモリ30のROM領域に実害欠陥分類基準データ64を格納しておく。   In the above embodiment, the actual defect determination circuit 36 only determines whether or not the film defect portion is an actual defect, but when the film defect portion is an actual defect, the type (“foreign matter”, “elongated” Determination of “foreign matter”, “bare”, etc.) may be performed. In this case, as shown in FIG. 16, actual defect classification criteria data 64 is stored in the ROM area of the memory 30.

実害欠陥分類基準データ64には、「異物」、「細長異物」、「ケバ」などの実害欠陥の種類に応じてそれぞれ予め定められた各特徴量のしきい値が格納されている。これにより、実害欠陥判定回路36は、特徴量抽出回路34の抽出結果に基づき、実害欠陥分類基準データ64を参照することで、実害欠陥の種類を判定することができる。   In the actual damage defect classification reference data 64, threshold values of respective feature amounts respectively determined in advance according to the types of actual damage defects such as “foreign matter”, “elongated foreign matter”, and “bare” are stored. Thereby, the actual damage defect determination circuit 36 can determine the type of the actual damage defect by referring to the actual damage defect classification reference data 64 based on the extraction result of the feature amount extraction circuit 34.

上記実施形態では、セパレータ15内の異物26による擬似欠陥として、図7〜図11に示した「2点並び擬似欠陥」が発生する場合を例に挙げて説明を行ったが、これ以外に十字形状の擬似欠陥(以下、十字擬似欠陥という)が発生する場合がある。なお、ここでいう「十字」には、「X字」も含まれるものとする。   In the above embodiment, the case where the “two-point aligned pseudo defect” shown in FIGS. 7 to 11 occurs as a pseudo defect due to the foreign substance 26 in the separator 15 has been described as an example. There is a case where a pseudo defect having a shape (hereinafter referred to as a cross pseudo defect) occurs. In addition, “X” is included in “cross” here.

セパレータ15内に異物26が存在している場合には、図4に示したように、異物26からの押圧を受けて偏光板13の表面に凹み13aが形成される。この際に、凹み13aが理想円に近い形状に形成されると、図17に示すように、異物26の中心を通りかつ偏光軸D1に平行な直線L1上またはその付近に位置する分子Mcは、偏光軸D1に平行な方向に平行移動するだけで、配向方向は変わらない。また、異物26の中心を通りかつ偏光軸D1に垂直な直線L2上またはその付近に位置する分子Mdも、偏光軸D1に垂直な方向に平行移動するだけで、配向方向は変わらない。これに対して、異物26の中心に対して斜め方向に位置する分子Meの配向方向は、異物26の中心に向けて斜めに傾く。   When the foreign substance 26 exists in the separator 15, a depression 13 a is formed on the surface of the polarizing plate 13 in response to the pressure from the foreign substance 26 as shown in FIG. 4. At this time, if the dent 13a is formed in a shape close to an ideal circle, as shown in FIG. 17, the molecule Mc located on or near the straight line L1 passing through the center of the foreign material 26 and parallel to the polarization axis D1 is The alignment direction is not changed by merely translating in the direction parallel to the polarization axis D1. In addition, the molecular Md positioned on or near the straight line L2 passing through the center of the foreign substance 26 and perpendicular to the polarization axis D1 is merely translated in the direction perpendicular to the polarization axis D1, and the alignment direction does not change. On the other hand, the orientation direction of the molecules Me positioned obliquely with respect to the center of the foreign material 26 is inclined obliquely toward the center of the foreign material 26.

分子Mc,Mdを透過した検査光24は、偏光軸D1と平行な方向(偏光軸D2に対して垂直な方向)に振動する直線偏光であるので、この検査光24は偏光フィルタ19で遮断される。これに対して、分子Meを透過した検査光24の振動方向は偏光軸D2に対して垂直な方向に振動する直線偏光ではなくなるので、偏光フィルタ19を透過する。その結果、この検査光24を撮像すると、図18に示すように、黒画像(図中のドットで表示)の中に十字形状の高輝度領域66(図中の白抜き部分で表示)を含む画像データ41が取得される。   Since the inspection light 24 transmitted through the molecules Mc and Md is linearly polarized light oscillating in a direction parallel to the polarization axis D1 (direction perpendicular to the polarization axis D2), the inspection light 24 is blocked by the polarization filter 19. The On the other hand, the vibration direction of the inspection light 24 that has passed through the molecule Me is not linearly polarized light that vibrates in a direction perpendicular to the polarization axis D2, and thus passes through the polarization filter 19. As a result, when the inspection light 24 is imaged, as shown in FIG. 18, a black image (displayed with dots in the drawing) includes a cross-shaped high-intensity region 66 (displayed with a white portion in the drawing). Image data 41 is acquired.

このようにセパレータ15内の異物26に起因する擬似欠陥に、「2点並び擬似欠陥」と「十字擬似欠陥」との両方がある場合には、擬似欠陥判定回路35に第X判定回路46(X)を設けるとともに、擬似欠陥分類基準データ61に第Xしきい値54(X)を登録しておく。   As described above, when the pseudo defect caused by the foreign material 26 in the separator 15 includes both the “two-point aligned pseudo defect” and the “cross pseudo defect”, the pseudo defect determination circuit 35 includes the Xth determination circuit 46 ( X) is provided, and the Xth threshold value 54 (X) is registered in the pseudo defect classification reference data 61.

第X判定回路46(X)は、欠陥画像データ42a,42bが「十字擬似欠陥」を示す第X特定欠陥画像データであるか否かを判定する第X判定処理を行うことで、フィルム欠陥部分が「十字擬似欠陥」であるか否かを判定する。   The X-th determination circuit 46 (X) performs the X-th determination process for determining whether or not the defect image data 42a and 42b is the X-th specific defect image data indicating the “cross-fault defect”, so that the film defect portion Is a “cross pseudo defect”.

第Xしきい値54(X)は、第X判定処理に用いられるデータであり、第X特定欠陥画像データの外観上の特徴に応じて定められている。この特徴は、具体的には(aX)高輝度領域40が略十字形状になり、(bX)十字の中央部分の輝度が他の部分の輝度に比べて同等または暗い、などである。また、(aX)において高輝度領域40が略十字形状になる場合の特徴とは、(aX−1)外接四角形43aが略正方形状であり、(aX−2)外接四角形43a内における高輝度領域40の面積の割合が所定値以下になる、などが挙げられる。   The Xth threshold value 54 (X) is data used for the Xth determination process, and is determined according to the appearance characteristics of the Xth specific defect image data. Specifically, (aX) the high luminance region 40 has a substantially cross shape, and (bX) the luminance of the central portion of the cross is equal to or darker than the luminance of other portions. Further, in (aX), when the high-luminance area 40 has a substantially cross shape, (aX-1) the circumscribed square 43a has a substantially square shape, and (aX-2) the high-luminance area within the circumscribed square 43a For example, the ratio of the area of 40 becomes a predetermined value or less.

第1しきい値54(1)は、(aX−1)に対応して、「縦横比」が1.0を含む所定範囲(ζ以上η以下)に定められている。また、(aX−2)に対応して、「面積比1」が0.5以下の所定範囲内に定められるとともに、「平均幅縦横比」が3.0以下の所定範囲内に定められる。また、(bX)に対応して、「平均輝度−中心輝度」が−5.0以上の0に近い値に定められている。   The first threshold value 54 (1) is set in a predetermined range (ζ or more and η or less) in which the “aspect ratio” includes 1.0, corresponding to (aX−1). Corresponding to (aX-2), “area ratio 1” is determined within a predetermined range of 0.5 or less, and “average width aspect ratio” is determined within a predetermined range of 3.0 or less. Corresponding to (bX), “average luminance−center luminance” is set to a value close to 0 of −5.0 or more.

第X判定回路46(X)は、特徴量抽出回路34の抽出結果と、第Xしきい値54(X)とを比較することで、第X判定処理を行うことができる。なお、各判定処理の中で第X判定処理を行う順番を、例えば1番目にするなど適宜変更してもよい。この場合に、擬似欠陥判定制御部28aは、フィルム欠陥部分が「十字擬似欠陥」であると判定されたときにはそれ以降の判定処理を中止させる。   The X-th determination circuit 46 (X) can perform the X-th determination process by comparing the extraction result of the feature amount extraction circuit 34 with the X-th threshold value 54 (X). In addition, you may change suitably the order which performs a Xth determination process in each determination process, for example to the 1st. In this case, when it is determined that the film defect portion is the “cross pseudo defect”, the pseudo defect determination control unit 28 a stops the subsequent determination processing.

また、「十字擬似欠陥」が1種類だけでなく複数種類ある場合にも本発明を適用することができる。この場合には「2点並び擬似欠陥」と同様に、「十字擬似欠陥」の種類毎に予め定められた各特徴量のしきい値を擬似欠陥分類基準データ61に格納しておく。これにより、擬似欠陥判定回路35は、擬似欠陥分類基準データ61を参照することで、「十字擬似欠陥」の種類を判定することができる。   Further, the present invention can be applied to a case where there are not only one type of “cross pseudo defect” but also a plurality of types. In this case, similarly to the “two-point aligned pseudo defect”, the threshold value of each feature amount predetermined for each type of “cross pseudo defect” is stored in the pseudo defect classification reference data 61. Thereby, the pseudo defect determination circuit 35 can determine the type of “cross pseudo defect” by referring to the pseudo defect classification reference data 61.

上記実施形態では、積層フィルム9の擬似欠陥として、セパレータ15内に含まれる異物26に起因する擬似欠陥を例に挙げて説明を行ったが、例えば、図20に示すように、セパレータ15と偏光板13との間に存在する異物68に起因した擬似欠陥の検査にも本発明を適用することができる。セパレータ15を偏光板13から剥離した際に、異物68は粘着層14に残るおそれがあるが、偏光板13を液晶ディスプレイのガラス基板等に貼り付ける前に行われるクリーニング処理により異物68は除去される。このため、異物68が発生していても偏光板13の性能に影響は及ぼさない。なお、異物68に起因する擬似欠陥の検査は、上記の異物26に起因する2点並び擬似欠陥や十字擬似欠陥の検査と同様の方法で行うことができる。   In the above-described embodiment, the pseudo defect caused by the foreign material 26 included in the separator 15 is described as an example of the pseudo defect of the laminated film 9. For example, as illustrated in FIG. The present invention can also be applied to inspection of a pseudo defect caused by the foreign matter 68 existing between the plate 13 and the plate 13. When the separator 15 is peeled off from the polarizing plate 13, the foreign matter 68 may remain in the adhesive layer 14, but the foreign matter 68 is removed by a cleaning process performed before the polarizing plate 13 is attached to a glass substrate of a liquid crystal display. The For this reason, even if the foreign material 68 is generated, the performance of the polarizing plate 13 is not affected. The inspection of the pseudo defect caused by the foreign substance 68 can be performed by the same method as the inspection of the two-point aligned pseudo defect or the cross pseudo defect caused by the foreign substance 26 described above.

上記実施形態では、偏光フィルタ19を透過した検査光24をカメラ20で撮像しているが、積層フィルム9の幅方向に移動自在なエリアカメラなどの各種のカメラ(撮影手段)を用いて検査光24を撮像してもよい。   In the above embodiment, the inspection light 24 transmitted through the polarizing filter 19 is imaged by the camera 20, but the inspection light is used by using various cameras (imaging means) such as an area camera movable in the width direction of the laminated film 9. 24 may be imaged.

上記実施形態では、特徴量抽出回路34が欠陥画像データ42a,42bから抽出する特徴量として、「平均輝度」及び「中心輝度」などを例に挙げて説明したが、2点並び擬似欠陥や十字擬似欠陥の判定に有用な上記以外の特徴量の抽出を行ってもよい。   In the above embodiment, “average luminance”, “center luminance”, and the like have been described as examples of feature amounts extracted by the feature amount extraction circuit 34 from the defect image data 42a and 42b. You may extract the feature-value other than the above useful for determination of a pseudo defect.

上記実施形態では、2点並び擬似欠陥や十字擬似欠陥を積層フィルム9の擬似欠陥として判定しているが、セパレータ15で発生するような偏光板13の性能に影響を及ぼさない各種欠陥を積層フィルム9の擬似欠陥として判定してもよい。   In the above-described embodiment, the two-point aligned pseudo defect or the cross pseudo defect is determined as the pseudo defect of the laminated film 9. It may be determined as 9 pseudo defects.

上記実施形態では、積層フィルム9は3層構造であるが、少なくとも偏光板13を含む2層または4層以上の積層フィルムの検査を行う場合にも本発明を適用することができる。また、偏光板13の両面に粘着層14を介してセパレータ15が貼り付けられていてもよい。   In the said embodiment, although the laminated | multilayer film 9 is a 3 layer structure, this invention is applicable also when performing the test | inspection of the laminated film of 2 layers or 4 layers or more including the polarizing plate 13 at least. Further, the separator 15 may be attached to both surfaces of the polarizing plate 13 via the adhesive layer 14.

液晶ディスプレイに用いられる積層フィルム9を製造する積層フィルム製造ライン10に配置される欠陥検査装置11を例に挙げて説明を行ったが、駅層ディスプレイ以外に用いられる積層フィルムの欠陥検査装置にも本発明を適用することができる。   Although the defect inspection apparatus 11 arrange | positioned in the lamination film manufacturing line 10 which manufactures the lamination | stacking film 9 used for a liquid crystal display was mentioned as an example, it demonstrated, and the defect inspection apparatus of the lamination | stacking film used other than a station layer display The present invention can be applied.

以下、本発明の効果を実証するための実施例を示し、本発明を具体的に説明する。ただし、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。   Hereinafter, examples for demonstrating the effects of the present invention will be shown to specifically describe the present invention. However, the present invention is not limited to these examples.

下記表1に示すように、実施例では、欠陥検査装置11で1139枚分の画像データ41(積層フィルム9の約7500m分のデータ)で取得するとともに、個々の画像データ41ごとに欠陥画像データ42a,42bの取得、欠陥画像データ42a,42bからの各特徴量の取得、及び2点並び擬似欠陥及び実害欠陥の有無の判定を実施した。   As shown in Table 1 below, in the embodiment, the defect inspection apparatus 11 acquires 1139 sheets of image data 41 (data of about 7500 m of the laminated film 9), and defect image data for each individual image data 41. Acquisition of 42a, 42b, acquisition of each feature amount from the defect image data 42a, 42b, and determination of the presence / absence of a two-point aligned pseudo defect and an actual defect were performed.

欠陥検査装置11により2点並び擬似欠陥及び実害欠陥と判定されたフィルム欠陥部分を検査員により目視で確認を行った。その結果、2点並び擬似欠陥をケバと判定したものが10個、ケバを2点並び擬似欠陥と判定したものが1個発生した。実際の606(=597+10−1)個の2点並び擬似欠陥の中で誤判定が11個となり、誤判定率が約1.81%になった。その結果、欠陥検査装置11では高精度で2点並び擬似欠陥の有無の判定が実行できることが確認された。   A film defect portion determined to be a pseudo defect and an actual defect by the defect inspection apparatus 11 was visually confirmed by an inspector. As a result, there were 10 cases in which the two-point aligned pseudo defect was determined to be a chipping, and one one in which a double-point aligned pseudo defect was determined to be a pseudo defect was generated. Among the actual 606 (= 597 + 10−1) two-point aligned pseudo defects, 11 misjudgments were made, and the misjudgment rate was about 1.81%. As a result, it was confirmed that the defect inspection apparatus 11 can execute the determination of the presence or absence of two-point aligned pseudo defects with high accuracy.

9 積層フィルム
11 欠陥検査装置
13 偏光板
15 セパレータ
17 ライン光源
19 偏光フィルタ
20 ラインセンサカメラ
21 マーキング装置
22 装置本体
24 検査光
28 CPU
33 欠陥画像抽出回路
34 特徴量抽出回路
35 擬似欠陥判定回路
36 実害欠陥判定回路
40,66 高輝度領域
42a,42b 欠陥画像データ
46(1)〜46(N) 第1判定回路〜第N判定回路
54(1)〜54(N) 第1しきい値〜第Nしきい値
61 擬似欠陥分類基準データ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 9 Laminated film 11 Defect inspection apparatus 13 Polarizing plate 15 Separator 17 Line light source 19 Polarization filter 20 Line sensor camera 21 Marking apparatus 22 Apparatus main body 24 Inspection light 28 CPU
33 Defect Image Extraction Circuit 34 Feature Amount Extraction Circuit 35 Pseudo Defect Determination Circuit 36 Actual Defect Defect Determination Circuit 40, 66 High Brightness Area 42a, 42b Defect Image Data 46 (1) to 46 (N) First Determination Circuit to Nth Determination Circuit 54 (1) to 54 (N) First threshold value to Nth threshold value 61 Pseudo defect classification reference data

Claims (9)

偏光板とフィルムとを積層してなる多層の積層フィルムの表裏面の一方側に配置され、前記積層フィルムに対して光を照射する光源と、
前記表裏面の他方側に配置され、前記表裏面に平行でかつ前記偏光板の第1偏光軸に略直交する第2偏光軸を有し、前記積層フィルムの正常部分を透過した前記光を遮断する偏光フィルタと、
前記偏光フィルタの前記積層フィルムに対向する面側とは反対面側に配置され、前記偏光フィルタを透過した光を撮影する撮影手段と、
前記撮影手段により取得された前記偏光フィルタの透過光像から、前記積層フィルムの欠陥部分及び前記偏光フィルタを透過した前記光によって輝度が高くなる高輝度領域を欠陥画像として抽出する欠陥画像抽出手段と、
前記欠陥画像抽出手段が抽出した前記欠陥画像が、2つの高輝度領域が並んでいる特定欠陥画像である場合に、当該欠陥画像に対応する前記欠陥部分を前記偏光板の欠陥ではない擬似欠陥であると判定する擬似欠陥判定手段と、
を備えることを特徴とする欠陥検査装置。
A light source that is disposed on one side of the front and back surfaces of a multilayer laminated film formed by laminating a polarizing plate and a film, and irradiates light to the laminated film;
Arranged on the other side of the front and back surfaces, having a second polarization axis parallel to the front and back surfaces and substantially perpendicular to the first polarization axis of the polarizing plate, and blocking the light transmitted through the normal portion of the laminated film A polarizing filter,
An imaging unit that is disposed on the side opposite to the side of the polarizing filter that faces the laminated film, and that captures the light that has passed through the polarizing filter;
A defect image extracting means for extracting, from the transmitted light image of the polarizing filter acquired by the photographing means, a defective portion of the laminated film and a high brightness region whose brightness is increased by the light transmitted through the polarizing filter as a defect image; ,
When the defect image extracted by the defect image extraction means is a specific defect image in which two high-luminance regions are arranged, the defect portion corresponding to the defect image is a pseudo defect that is not a defect of the polarizing plate. Pseudo-fault determination means for determining that there is,
A defect inspection apparatus comprising:
前記欠陥画像抽出手段が抽出した前記欠陥画像から、前記欠陥画像の輝度の平均値である平均輝度と、前記欠陥画像の中心位置における輝度である中心輝度とを少なくとも含む複数種類の特徴量を抽出する特徴量抽出手段を備え、
前記擬似欠陥判定手段は、前記特徴量抽出手段の抽出結果を、前記特定欠陥画像の特徴に応じて予め定められた各前記特徴量のしきい値と比較することで、前記欠陥画像が前記特定欠陥画像であるか否かを判定することを特徴とする請求項1記載の欠陥検査装置。
A plurality of types of feature amounts including at least an average luminance that is an average value of the luminance of the defect image and a central luminance that is a luminance at the center position of the defect image are extracted from the defect image extracted by the defect image extraction unit. Feature amount extraction means
The pseudo defect determination unit compares the extraction result of the feature amount extraction unit with a threshold value of each feature amount that is predetermined according to the feature of the specific defect image, so that the defect image is identified. The defect inspection apparatus according to claim 1, wherein it is determined whether or not the image is a defect image.
前記特徴量には、前記平均輝度と前記中心輝度との差が含まれることを特徴とする請求項2記載の欠陥検査装置。   The defect inspection apparatus according to claim 2, wherein the feature amount includes a difference between the average luminance and the central luminance. 前記特定欠陥画像は、N(Nは2以上の自然数)種類の第1〜第N擬似欠陥にそれぞれ対応した第1〜第N特定欠陥画像からなり、前記しきい値は、前記第1〜第N特定欠陥画像の特徴に応じてそれぞれ個別に定められた第1〜第Nしきい値からなるものであり、
前記擬似欠陥判定手段に設けられ、前記特徴量抽出手段の抽出結果を、第1〜第Nしきい値とそれぞれ個別に比較することで、前記欠陥画像が前記第1〜第N特定欠陥画像であるか否かを個別に判定する第1〜第N判定手段と、
前記第1〜第N判定手段による判定処理を所定の順番で実行させるとともに、第M[Mは(N−1)以下の自然数]番目の判定処理で前記欠陥部分が前記擬似欠陥であると判定された場合には、第(M+1)番目以降の判定処理を中止させる判定制御手段と、を備えることを特徴とする請求項2または3記載の欠陥検査装置。
The specific defect image includes first to N-th specific defect images corresponding to N (N is a natural number of 2 or more) types of first to N-th pseudo defects, respectively, and the threshold value includes the first to N-th specific defect images. It consists of first to Nth threshold values individually determined according to the characteristics of the N specific defect image,
The defect image is provided in the pseudo defect determination unit, and the defect image is the first to Nth specific defect image by individually comparing the extraction result of the feature amount extraction unit with the first to Nth threshold values. First to Nth determination means for individually determining whether or not there are;
The determination processes by the first to Nth determination means are executed in a predetermined order, and the defect portion is determined to be the pseudo defect in the Mth [M is a natural number equal to or less than (N−1)] th determination process. 4. The defect inspection apparatus according to claim 2, further comprising: a determination control unit that cancels the (M + 1) th and subsequent determination processes when the determination is made.
前記特定欠陥画像には、略十字形状の前記高輝度領域を有するものが含まれることを特徴とする請求項1ないし4いずれか1項記載の欠陥検査装置。   The defect inspection apparatus according to any one of claims 1 to 4, wherein the specific defect image includes an image having the high-intensity region having a substantially cross shape. 前記フィルムは、前記偏光板の表面上に形成された粘着層上に剥離自在に貼り付けられたセパレータであることを特徴とする請求項1ないし5記載の欠陥検査装置。   The defect inspection apparatus according to claim 1, wherein the film is a separator that is detachably attached to an adhesive layer formed on a surface of the polarizing plate. 前記擬似欠陥判定手段が前記特定欠陥画像であると判定しなかった前記欠陥画像に対応をする前記欠陥部分を、前記偏光板の欠陥である実害欠陥と判定する実害欠陥判定手段を備えることを特徴する請求項1ないし6いずれか1項記載の欠陥検査装置。   It comprises actual defect determination means for determining that the defect portion corresponding to the defect image that has not been determined to be the specific defect image by the pseudo defect determination means is an actual defect that is a defect of the polarizing plate. The defect inspection apparatus according to any one of claims 1 to 6. 前記積層フィルムの前記実害欠陥と判定された部分に、前記実害欠陥を示すマーキングを行うマーキング手段を備えることを特徴とする請求項7記載の欠陥検査装置。   The defect inspection apparatus according to claim 7, further comprising a marking unit that performs marking indicating the actual harmful defect in a portion of the laminated film that is determined to be the actual harmful defect. 偏光板とフィルムとを積層してなる多層の積層フィルムの表裏面の一方側に配置された光源から、前記積層フィルムに対して光を照射する照射ステップと、
前記表裏面の他方側に配置され、前記表裏面に平行でかつ前記偏光板の第1偏光軸に略直交する第2偏光軸を有する偏光フィルタにより、前記積層フィルムの正常部分を透過した前記光を遮断する遮断ステップと、
前記偏光フィルタの前記積層フィルムに対向する面側とは反対面側に配置された撮影手段により、前記偏光フィルタを透過した光を撮影する撮影ステップと、
前記撮影ステップで取得された偏光フィルタの透過光像から、前記積層フィルムの欠陥部分及び前記偏光フィルタを透過した前記光によって輝度が高くなる高輝度領域を欠陥画像として抽出する欠陥画像抽出ステップと、
前記欠陥画像抽出ステップで抽出した前記欠陥画像が、2つの高輝度領域が並んでいる特定欠陥画像である場合に、当該欠陥画像に対応する前記欠陥部分を前記偏光板の欠陥ではない擬似欠陥であると判定する擬似欠陥判定ステップと、
を有することを特徴とする欠陥検査方法。
An irradiation step of irradiating light to the laminated film from a light source disposed on one side of the front and back surfaces of a multilayer laminated film formed by laminating a polarizing plate and a film,
The light that has been transmitted through the normal portion of the laminated film by a polarizing filter that is disposed on the other side of the front and back surfaces and has a second polarization axis that is parallel to the front and back surfaces and substantially perpendicular to the first polarization axis of the polarizing plate. A blocking step for blocking
A photographing step of photographing the light transmitted through the polarizing filter by photographing means disposed on the surface opposite to the surface facing the laminated film of the polarizing filter;
A defect image extraction step for extracting, as a defect image, a defect portion of the laminated film and a high-luminance region whose luminance is increased by the light transmitted through the polarization filter from the transmitted light image of the polarization filter acquired in the photographing step;
When the defect image extracted in the defect image extraction step is a specific defect image in which two high-luminance regions are arranged, the defect portion corresponding to the defect image is a pseudo defect that is not a defect of the polarizing plate. A pseudo-defect determination step for determining that there is,
A defect inspection method characterized by comprising:
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