KR101090481B1 - 평판 디스플레이의 노광장치 - Google Patents

평판 디스플레이의 노광장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 평판 디스플레이의 노광장치에 관한 것으로, 글라스가 안착된 척의 상부에는 처짐감지센서가 설치되고, 척의 하부에는 공압에 의해 작동되는 공압실린더 및 피스톤으로 마련되는 가압수단이 배치된다.
이에 따라, 평판 디스플레이를 지지하는 척의 처짐이 발생된 부분을 처짐감지센서로 감지하고, 이후 가압수단을 통해 처짐이 발생된 부위를 보완함으로써 척의 평탄도를 유지할 수 있게 된다.
평판 디스플레이, 노광장치, 척

Description

평판 디스플레이의 노광장치{EXPOSURE APPARATUS FOR FLAT PANEL DISPLAY}
도 1은 종래 기술에 따른 평판 플레이트의 노광장치를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 평판 플레이트의 노광장치를 개략적으로 나타낸 측면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 평판 플레이트의 노광장치를 보인 평면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 노광장치의 작동을 보인 회로도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
10:글라스 20:노광기
30:척 41,42,43:조정수단
41a,42a,43a :구동모터 41b,42b,43b:힌지부
50:처짐감지센서 61,62,63,64,65:가압수단
61a,62a,63a,64a,65a:공압실린더 61b,62b,63b,64b,65b:피스톤
70:콘트롤러 80:전자 콘트롤러
본 발명은 평판 디스플레이의 노광장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 글라스를 지지하는 척의 처짐을 감지하고 처짐 정도를 보상할 수 평판 디스플레이의 노광장치에 관한 것이다.
일반적으로, 컴퓨터 및 각종 전자 제품에 적용되는 화상 표시소자로서 부각되고 있는 평판디스플레이는 액정 표시소자(LCD), 플라즈마 디스플레이 소자(PDP) 등이 있다.
특히 액정 표시소자(LCD)는 서로 마주 보도록 결합되어 있는 두 글라스와 그 사이에 주입되어 온도의 변화나 농도의 변화에 따라 상 전이를 발생하는 액정 물질로 이루어져 있다.
이러한 액정 표시소자(LCD)는 크게 어레이(Array)공정, 컬러필터(Color Filter)공정, 액정 셀(Cell) 공정 및 모듈(Module)공정을 거쳐 제조된다.
특히, 어레이(Array)공정에 있어서는 세정된 글라스에 감광제를 도포 시킨 후 미세한 패턴을 형성할 수 있도록 사진 식각법이 이용되고 있다.
이러한 사진 식각법에는 레티클(reticle) 또는 마스크(mask)의 패턴(pattern)을 기판에 형성된 감광막에 전사시킬 수 있도록 노광장치가 필수적으로 사용되게 된다.
즉, 평판 디스플레이를 제조하기 위해서는 글라스에 소정의 패턴 예컨대, 회로 패턴을 형성시키기 위해 노광장치에서 이들 패턴이 형성된 레티클(reticle)을 이용하여 노광공정을 반복적으로 실시하게 되는 것이다.
도 1은 종래의 노광장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 1을 참고하면, 노광장치는 노출광을 글라스(1)에 조사하기 위한 노광기(미도시)와, 글라스(1)가 안착되는 척(2)과, 척(2)을 미세하게 이동시킬 수 있는 조정수단을 구비한다.
여기서 조정수단은 구동모터(3)와, 구동모터(3)에 의해 구동되는 힌지부(4)로 구성되며, 힌지부(4)는 척(2)의 하면을 지지함과 동시에 구동모터(3)에 의해 척(2)을 상하/좌우로 소정거리 이동시키므로 척(2)의 평탄도를 조절하는 기능을 수행하게 된다.
즉, 척(2) 자체가 평탄도를 유지 못하거나 처지게 되는 경우에는 척(2)에 안착되는 글라스(1) 또한 평탄도를 유지할 수 없게 되어 제품의 품질이 저하되므로 조정수단을 이용하여 척(2)의 평탄도를 유지하게 되는 것이다.
그러나, 현재 평판 디스플레이는 점점 대형화되는 추세이며, 이러한 대형 평판 디스플레이를 생산하기 위해서 척(2) 역시 대형화되는 것이 불가피하게 된다. 이에 따라, 조정수단의 구동모터(3) 용량이 커지면서 장비 자체의 크기가 커지게 되는 문제점이 있다.
또한, 척(2)의 강성을 높이고 두께를 두껍게 하여도 조정수단이 척(2)의 두 모서리 및 반대측 일지점을 지지하는 구조이므로 척(2)에 처짐이 발생하게 되는 문제점이 있다.
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 글라스가 안착되는 척의 평탄도를 유지한 상태에서 노광공정을 수행할 수 있는 평판 디스플레이의 노광장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 글라스가 안착되는 척과, 상기 글라스에 광을 조사하기 위한 노광기와, 상기 척의 처짐정도를 감지하는 처짐감지센서와, 상기 척의 처짐을 보완하도록 상기 척을 가압하는 가압수단을 구비한 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 가압수단은 공압실린더와, 피스톤으로 마련된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 처짐감지센서에서 감지된 처짐을 토대로 피드백 공압을 계산하는 콘트롤러와, 피드백 공압을 상기 가압수단으로 피드백하는 전자 레귤레이터를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 척이 평탄도를 유지할 수 있도록 상기 척의 위치를 조정하는 조정수단을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 조정수단은 상기 척을 지지하는 힌지부와, 상기 힌지부를 구동하는 구동모터를 구비한 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 척은 실질적으로 사각형상을 가지며, 상기 조정수단은 상기 척의 일측 중간부를 지지하는 제 1조정수단과, 상기 척의 타측 양단을 각각 지지하는 제2 및 제 3조정수단을 구비한 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 가압수단은 상기 척의 중심측에 배치되는 제 1가압수단과, 상기 제 1조정수단이 배치되는 측의 양단에 각각 배치되는 제2, 제 3가압수단과, 상기 제 2조정수단과 상기 제 2가압수단의 중간부에 배치되는 제 4가압수단과, 상기 제 3조정수단과 상기 제 3가압수단의 중간부에 배치되는 제 5가압수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명에 따른 평판 디스플레이의 노광장치를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다. 도 2는 본 발명에 따른 평판 디스플레이의 노광장치를 개략적으로 나타낸 측면도이고, 도 3은 본 발명에 따른 평판 디스플레이의 노광장치를 보인 평면도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 평판 디스플레이의 노광장치는 노출광을 글라스(10)에 조사하기 위한 노광기(20)와, 글라스가 안착되는 척(30)을 구비한다.
노광기(20)는 램프하우스(21) 내부에 광원을 형성하는 램프(22)와, 램프(22)에서 방사되는 광을 반사 및 집속 시키는 역할을 하는 반사판(미도시)을 구비하고, 램프하우스(21) 하부에는 반사판(미도시)에서 반사된 광을 직사각형의 빔으로 잘라내는 역할을 하는 간극(23, aperture)이 마련된다.
또한, 척(30)의 하부에는 척(30)의 위치를 미세하게 조절하여 평탄도를 유지할 수 있도록 조정수단(43)이 설치되며, 이러한 조정수단(43)은 구동모터(43a)와, 척(30)의 하면을 지지함과 동시에 구동모터(43a)에 의해 척(30)을 상하/좌우로 소정거리 이동시키는 힌지부(43b)로 마련된다.
또한, 글라스(10)가 안착된 척(30)의 상부에는 처짐감지센서(50)가 설치되 며, 이를 통해 척(30)의 처침정도를 감지하게 된다, 그리고, 척(30)의 하부에는 척(30)의 처짐을 보상하기 위한 가압수단(63,65)이 설치되고, 이러한 가압수단(63,65)은 공압에 의해 작동되는 공압실린더(63a,65a)와 피스톤(63b,65b)으로 마련된다.
계속해서 도 3을 참고하여 설명하면, 척(30)은 실질적으로 사각형상을 가지게 되므로, 조정수단(41,42,43)은 척(30)의 3지점에 설치되어서 효과적으로 척(30)을 지지하고 이동시키게 된다. 즉, 조정수단(41,42,43)은 척(30)의 일측 중간부를 지지하는 제 1조정수단(41)과, 척(30)의 타측 양단을 각각 지지하는 제 2조정수단(42)과, 제 3조정수단(43)을 구비하게 된다. 여기서 제 1조정수단(41)은 제 1구동모터(41a)와 제 1힌지부(41b)를 구비하고, 제 2조정수단은(42)은 제 2구동모터(42a)와 제 2힌지부(42b)로 마련되게 된다.
또한, 가압수단(61,62,63,64,65)은 척(30)의 중심측에 배치되는 제 1가압수단(61)과, 제 1조정수단(41)이 배치되는 측의 양단에 각각 배치되는 제2 가압수단(62) 및 제 3가압수단(63)과, 제 2조정수단(42)과 제 2가압수단(62)의 중간부에 배치되는 제 4가압수단(64)과, 제 3조정수단(43)과 제 3가압수단(63)의 중간부에 배치되는 제 5가압수단(65)을 구비한다.
그리고 제 1가압수단(61)과 제 2가압수단(62) 및 제 4가압수단(64)은 전술된 제 3가압수단(63)과 마찬가지로 각각 공압실린더(61a,62a,64a)과 피스톤(61b,62b,64b)으로 구성된다.
상기와 같은 위치에 가압수단(61,62,63,64,65)이 배치되는 이유는 조정수단 (41,42,43)이 척(30)의 3지점을 지지하고 있으므로, 상대적으로 처짐이 가장 잘 발생되는 지점을 보완할 수 있도록 하기 위함이다.
한편, 본 실시예에서 설명된 바와 같이 가압수단(61,62,63,64,65)이 배치될 수 있을 뿐만 아니라, 처짐정도 및 처짐이 발생되는 위치에 따라 추가적인 가압수단이 설치될 수 있다.
다음은 도 4을 참고하여 가압수단(61)의 작동 회로도를 설명한다.
도시된 바와 같이, 먼저 처짐감지센서(50)를 통해 감지된 값은 콘트롤러(70)로 전송되고 콘트롤러(70)에서는 감지된 값을 토대로 처짐을 보상하기 위해 필요한 공압을 계산하게 된다.
그리고 계산된 공압은 전자 레귤레이터(80)로 피드백(feed back) 되고, 전자 레귤레이터(80)는 필요한 공압을 생성한 후 공압실린더(61a)로 공급하게 된다.
그리고 공압실린더(61a)는 공급된 공압에 의해 피스톤(61b)을 상승시켜, 척(30)의 처짐이 발생된 부분을 가압하여 처짐을 보상하게 된다.
한편, 상기에서 실시예가 설명되었음에도 불구하고, 본 발명이 이의 취지 및 범주에서 벗어남 없이 다른 여러 형태로 구체화될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 따라서, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아닌 예시적인 것으로 여겨져야 한다.
이상에서 설명된 바와 같이, 본 발명에 의하면 평판 디스플레이를 지지하는 척의 처짐이 발생된 부분을 처짐감지센서로 감지하고, 이후 가압수단을 통해 처짐 이 발생된 부위를 보완함으로써 척의 평탄도를 유지할 수 있게 되는 이점이 있다.
또한, 별도의 가압수단을 통해 척을 지지하게 되므로, 척의 두께를 상대적으로 얇게 하고, 조정수단의 구동모터 용량 또한 줄일 수 있게 되므로 노광장치의 전체적인 크기를 축소할 수 있게 되는 이점이 있다.

Claims (7)

  1. 글라스가 안착되는 척과,
    상기 글라스에 광을 조사하기 위한 노광기와,
    상기 척의 처짐정도를 감지하는 처짐감지센서와,
    상기 척의 처짐을 보완하도록 상기 척을 가압하는 가압수단을 구비한 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 노광장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 가압수단은 공압실린더와, 피스톤으로 마련된 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 노광장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 처짐감지센서에서 감지된 처짐을 토대로 피드백 공압을 계산하는 콘트롤러와, 피드백 공압을 상기 가압수단으로 피드백하는 전자 레귤레이터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 노광장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 척이 평탄도를 유지할 수 있도록 상기 척의 위치를 조정하는 조정수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 노광장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 조정수단은 상기 척을 지지하는 힌지부와, 상기 힌지부를 구동하는 구동모터를 구비한 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 노광장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 척은 사각형상을 가지며,
    상기 조정수단은 상기 척의 일측 중간부를 지지하는 제 1조정수단과, 상기 척의 타측 양단을 각각 지지하는 제2 및 제 3조정수단을 구비한 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 노광장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 가압수단은 상기 척의 중심측에 배치되는 제 1가압수단과, 상기 제 1조정수단이 배치되는 측의 양단에 각각 배치되는 제2, 제 3가압수단과, 상기 제 2조정수단과 상기 제 2가압수단의 중간부에 배치되는 제 4가압수단과, 상기 제 3조정수단과 상기 제 3가압수단의 중간부에 배치되는 제 5가압수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이의 노광장치.
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