KR101063542B1 - 전자 부품 수납 상태 검사 방법 및 시스템 - Google Patents
전자 부품 수납 상태 검사 방법 및 시스템 Download PDFInfo
- Publication number
- KR101063542B1 KR101063542B1 KR1020090061341A KR20090061341A KR101063542B1 KR 101063542 B1 KR101063542 B1 KR 101063542B1 KR 1020090061341 A KR1020090061341 A KR 1020090061341A KR 20090061341 A KR20090061341 A KR 20090061341A KR 101063542 B1 KR101063542 B1 KR 101063542B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- unit
- shadow
- image
- tray
- pattern
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/302—Contactless testing
- G01R31/308—Contactless testing using non-ionising electromagnetic radiation, e.g. optical radiation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
- G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
- G01R31/2865—Holding devices, e.g. chucks; Handlers or transport devices
- G01R31/2867—Handlers or transport devices, e.g. loaders, carriers, trays
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
- G06T7/0004—Industrial image inspection
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N7/00—Television systems
- H04N7/18—Closed-circuit television [CCTV] systems, i.e. systems in which the video signal is not broadcast
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2896—Testing of IC packages; Test features related to IC packages
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
본 발명은 전자 부품의 주변에 생성되는 그림자 영상을 이용하여 수납 상태를 검사하는 방법 및 시스템에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명의 일실시예에 따르면 트레이에 수납된 전자 부품의 주변에 그림자를 형성하고, 그림자 패턴을 포함하는 영상 정보를 획득한 후에 영상 정보로부터 그림자 패턴을 검출하고, 이 검출된 그림자 패턴과 기준 그림자 패턴의 일치 여부 판단 결과에 따라 수납 불량 여부를 판정한다.
전자 부품, 트레이, 수납, 불량, 그림자, 패턴
Description
본 발명은 전자 부품의 수납 상태 검사 방법 및 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 전자 부품의 주변에 생성되는 그림자 영상을 이용하여 수납 상태를 검사하는 방법 및 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 패키지와 같은 전자 부품은 내부의 결함뿐만 아니라, 외부 결함에 있어서도 성능이나 품질에 치명적인 영향을 받을 수 있다.
따라서, 전자 부품은 제조된 후 출하 전에 전기적인 성능 검사 및 외관 검사 과정을 거치고 있으며, 일반적으로 외관 검사는 비전(Vision) 카메라 등을 이용한 자동외관 검사 장치를 통해 이루어지고 있다.
이러한 전자 부품에 대한 검사는 트레이에 수납된 상태에서 이송 중에 검사를 실시하고, 정상품과 불량품을 선별하는 방식으로 이루어지는 인트레이(In-Tray) 검사 방식이 있다.
이 인트레이 검사 방식은 상술한 바와 같이 전자 부품이 수납되어 있는 상태에서 검사를 실시함으로써, 다른 방식에 비하여 소요되는 시간을 단축할 수 있어 검사에 대한 효율성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 일반적인 트레이에 전자 부품의 수납 상태를 도시한 사시도로서, 도 1을 참조하면, 트레이(1)는 판형상의 몸체(11)와, 이 몸체(11)에 일정간격으로 매트릭스 배열된 다수의 포켓(12)을 갖는다.
여기서, 각 포켓(12)에는 전자 부품(2)의 수납 상태가 변형되지 않도록 그 둘레에 각각 가이드(13)가 형성된다.
그런데, 전자 부품이 포켓(12) 내에 정상적으로 수납되지 않고 잘못 수납될 경우 예를 들어, 도 2는 정상 수납된 상태일 경우에는 무관하지만, 도 3과 같이 수납 불량이 발생할 경우 전기적인 성능 검사 및 외관 검사의 정확도에 영향을 미치게 된다.
따라서, 이러한 전자 부품의 수납 상태에 대한 검사가 선행되어야 하는데 종래에는 이를 작업자가 육안 검사를 통해 실시함으로써, 검사 시간이 오래 걸릴 뿐만 아니라 정확도가 떨어지는 단점이 있었다.
이러한 단점을 개선하기 위한 기술로서 반도체 칩의 표면에 존재하는 표식을 검출하여 트레이 내에 수납된 반도체 칩들의 수납 상태를 검사하는 기술이 있다.
그런데, 이 기술의 경우 반도체 패키지 표면의 특정 표식 위치를 검출하는 방식이므로, 특정 표식이 없는 경우에는 수납 오류를 검출할 수 없을 뿐만 아니라, 특정 표식의 위치만을 검출하므로 표식의 위치는 정 위치에 위치하나 반도체 패키지가 경사진 상태로 수납되는 경우와 같은 상태는 검출할 수 없는 단점이 있다.
상기 배경 기술의 단점을 해소하기 위한 본 발명의 목적은, 트레이에 수납된 전자 부품의 주변에 그림자 영상을 형성하고, 그림자 영상 정보를 기준 영상 정보와 비교하여 전자 부품의 수납 불량 여부를 자동으로 보다 정확하게 판별할 수 있도록 하는 전자 부품 수납 상태 검사 방법 및 시스템을 제공함에 있다.
또한, 본 발명은 서로 다른 컬러를 가지는 조명부를 트레이의 양측에 배치하고 각 조명부에서 동시에 조명광을 조사하여 전자 부품의 양측에 그림자가 형성되도록 한 후에 이를 컬러 카메라로 촬상하고, 촬상된 그림자 영상 정보를 기준 영상 정보와 비교함으로써, 한 번의 영상 획득으로 전자 부품의 양측의 그림자 정보를 동시에 분석할 수 있도록 하는 전자 부품의 수납 상태 검사 방법 및 시스템을 제공함에 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일실시예에 따르면 트레이에 수납된 전자 부품의 주변에 그림자를 형성하고, 그림자 패턴을 포함하는 영상 정보를 획득한 후에 영상 정보로부터 그림자 패턴을 검출하고, 이 검출된 그림자 패턴과 기준 그림자 패턴의 일치 여부 판단 결과에 따라 수납 불량 여부를 판정한다.
본 발명은 그림자 영상을 이용하여 전자 부품의 수납 상태를 자동으로 판별함으로써, 검사 신뢰도 및 검사 속도를 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명은 한 번의 영상 촬영으로 전자 부품 양측의 그림자 영상을 동시에 획득함으로써, 검사 속도를 개선할 수 있다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 전자 부품의 수납 상태 검사 시스템 구성도로서, 본 발명은 트레이에 수납된 전자 부품의 수납 상태를 검사하는 시스템에 관한 것이다.
도 4를 참조하면, 본 발명은 조명부(100)와, 촬상부(200) 및 중앙처리장치(300)를 포함한다.
여기서, 조명부(100)는 전자 부품이 수납된 트레이에 대하여 상부 측면에서 선택적으로 조명광을 조사하는 것으로서, 적어도 하나의 광원으로 구성된다.
그리고, 조명부(100)의 광 진행 경로에는 집광 렌즈(130)가 더 구비될 수 있다. 이때, 집광 렌즈(130)는 시편, 즉 트레이 상으로 진행하는 광이 주변으로 퍼지지 않고 트레이 상에 집광되어 조사되도록 함으로써 보다 선명한 영상을 획득할 수 있도록 한다.
또한, 촬상부(200)는 트레이(T) 상부의 측면에 위치하는 조명광에 의해 생성되는 이미지를 획득하는 것으로서, 조명광에 의해 전자 부품의 주변에 형성되는 그림자가 포함된 영상을 획득하게 되며, CCD 카메라와 같은 광학 검사 장치로 구성될 수 있다.
중앙처리장치(300)는 촬상부(200)에서 촬상된 영상을 이용하여 트레이 내의 전자부품 수납 불량 여부를 판별하는 것으로서, 메모리부(310), 영상 입력부(320), 패턴 검출부(330), 불량 판정부(340)를 포함한다.
메모리부(310)는 기준 그림자 패턴 정보가 저장된 것으로서, 기준 그림자 패턴은 트레이(T)의 각 포켓 내에 모든 전자 부품들이 정상 수납된 상태에서 획득된 것이다.
영상 입력부(320)는 촬상부(200)로부터 촬상된 영상 정보를 입력받고, 패턴 검출부(330)는 영상 입력부(320)로 입력된 영상 정보로부터 그림자 패턴을 검출한다.
즉, 영상 입력부(320)에 입력된 정보는 트레이와 전자 부품 및 그림자 영역에 대한 밝기 값으로 나타나며, 그림자 영역과 그 이외 영역은 서로 다른 밝기 값을 갖는다.
따라서, 패턴 검출부(330)는 영상 입력부(320)로 입력된 영상 정보로부터 밝기 패턴화를 통해 그림자 영역과 그 이외 영역으로 분리함으로써 그림자 패턴을 검출한다.
한편, 불량 판정부(340)는 패턴 검출부(330)에서 검출된 그림자 패턴과 메모리부(310)에 기 저장된 기준 그림자 패턴을 상호 비교하여 수납 불량 여부를 판별하는 것으로서, 검출된 그림자 패턴과 기준 그림자 패턴이 일치할 경우 정상 수납으로 판정하고, 일치하지 않을 경우 불량 수납된 것으로 판정 한다.
이때, 기준 그림자 패턴과 검출된 그림자 패턴의 일치 여부 비교에서는 소정의 오차 허용 범위를 설정하여 패턴이 오차 허용 범위 내에 위치할 경우 정상 수납인 것으로 판정하도록 할 수 있도록 메모리부(310)에 오차 허용 범위가 기 설정될 수 있다.
아울러, 중앙처리장치(300)는 조명부(100) 및 촬상부(200)의 구동을 제어하는 구동제어부(350)를 더 포함한다.
그리고, 본 발명의 실시예에서는 컨베이어 밸트 등의 이송수단(140)에 의해 이동되는 트레이(T)의 위치를 감지하는 감지 센서(150)를 더 구비할 수 있으며, 감지 센서(150)에서의 감지 결과는 입력부(320)에 입력되고, 그 입력 결과에 따라 구동 제어부(350)는 조명부(100)와 촬상부(200)의 구동을 제어한다.
이와 같이 본 발명의 실시예에 있어서 트레이의 위치를 감지하는 감지 센서(150)를 이용하여 계속하여 이동 중인 트레이가 검사 위치에 이송될 경우에 트레이를 정지시키는 일 없이 영상을 획득함으로써, 검사 속도를 개선할 수 있다.
도 4에서는 조명부(100)를 트레이(T)의 일측에 위치하는 단일 조명부로 도시하여, 구동 제어부(350)가 온/오프만 선택적으로 제어하면 되는 것으로 나타냈으나, 그림자 패턴 비교는 어느 한쪽에 대해서만 이루어지기 보다는 전자 부품의 양측에서 이루어질 경우 검사 신뢰도가 높다.
따라서, 본 발명의 다른 변형된 실시예를 통해 조명부(100)를 도 5에 도시된 바와 같이 트레이(T)의 양측에 위치하는 제 1 조명부(110)와 제 2 조명부(120)로 구성되도록 변형하고 구동 제어부(350)가 각 조명부(110,120)의 온/오프를 번갈아가면서 선택적으로 제어하도록 할 수 있다.
이에 따라, 도 4의 경우 전자 부품 어느 한쪽에 그림자가 형성되고, 도 5의 경우 전자 부품의 일측과 타측에 각각 그림자가 한 번씩 형성된다.
그리고, 촬상부(200)는 트레이의 제 1 조명부에서 조사되는 조명에 의해 형성되는 그림자 영상을 촬상하거나, 트레이의 일측과 타측에서 선택적으로 번갈아가면서 조사되는 조명에 의해 생성되는 제 1 그림자 영상과 제 2 그림자 영상을 순차로 촬상한다.
본 발명의 또 다른 변형된 실시예에 따르면, 제 1 조명부(110)와 제 2 조명부(120)를 각각 서로 다른 컬러의 광을 조사하도록 구성하고, 촬상부(200)를 컬러 카메라로 구성하여 구동 제어부(350)가 각 조명부(110,120) 및 촬상부(200)를 동시에 구동시키도록 제어할 수 있다.
이에 따라, 전자 부품의 일측과 타측에는 각각 서로 다른 컬러 광에 의한 그림자가 동시에 형성되며, 촬상부(200)는 트레이 상의 서로 다른 컬러에 전자 부품의 양측에 형성되는 그림자 영상을 한번의 촬상으로 얻을 수 있다.
이러한 변형된 실시예에 따르면, 검사 신뢰도를 높이기 위하여 전자 부품의 양측에 서로 다른 컬러 조명광에 의한 그림자 영상을 동시에 형성하고, 전자 부품 양측에 형성된 그림자 영상을 한 번에 획득하여 이를 통하여 패턴을 검출하고 검사를 수행함으로써, 검사의 신뢰도 및 속도를 향상시킬 수 있다.
한편, 본 발명의 실시예들에 따르면 검사 결과를 작업자나 관리자가 인식 할 수 있도록 검사 결과를 디스플레이 하는 디스플레이 장치를 더 포함하여, 불량 수납 여부를 알림으로써 불량 수납된 전자 부품을 재수납 하도록 할 수 있다.
이하, 본 발명의 일실시예에 따른 전자 부품의 수납 상태 검사 방법을 설명하면 다음과 같다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 전자 부품의 수납 상태 검사 방법을 순차로 나타낸 흐름도로서, 도 4를 참조하여 설명하도록 한다.
우선, 본 발명의 일실시예에 따르면 수납 상태에 대한 검사에 앞서 기준 그림자 패턴 정보가 메모리부(310)에 기 저장되어야 한다.
즉, 트레이(T) 내에 전자 부품이 모두 정상 상태로 수납된 상태에서 해당 영상을 촬상하고, 촬상된 영상으로부터 기준 그림자 패턴을 검출하여 이에 대한 정보를 중앙처리장치(300)의 메모리부(310)에 설정하는 과정이 선행되어야 한다.
이와 같이 기준 그림자 패턴 정보가 저장된 상태에서, 전자 부품 주변에 형성되는 그림자 패턴이 포함된 영상 정보를 획득(410)한다.
이때, 영상 정보 획득(410) 단계는 조명부와 촬상부에 구동 제어 신호를 출력하는 단계(411)와, 촬상된 영상 정보를 입력받은 단계(412)로 이루어진다.
더욱 상세하게는, 조명부(100)와 촬상부(200)에 구동 제어 신호를 출력하여 조명부(100)를 온(ON)시켜 전자 부품의 주변 즉, 어느 한쪽에 그림자가 생성되도록 하고, 촬상부(200)가 트레이 상면의 영상을 촬상하도록 한다(411).
이어서, 영상 입력부(320)는 촬상부(200)로부터 촬상된 영상 정보를 입력 받는다(412).
이때, 조명부(100) 및 촬상부(200)의 구동을 제어하기 이전에, 이송 수단(140)에 의해 이송되는 트레이(T)의 위치를 감지 센서(150)로부터 입력 받는 단계(400)를 더 포함할 수 있으며, 이 경우 조명부(100)와 촬상부(200)에 구동 제어 신호를 출력하는 단계(411)는 감지 센서(150)로부터의 감지가 이루어질 경우에만 이루어질 수 있다.
그리고, 패턴 검출부(330)는 영상 입력부(320)에 입력된 영상 정보를 이용하여 그림자 패턴을 검출한다(420).
즉, 영상 입력부(320)에 입력된 영상 정보는 도 7에 도시된 바와 같이 밝기 값을 갖는데, (A)와 같이 그림자 영역은 밝기 값이 "0" 이고, 그 이외의 영역은 밝기 값이 "255" 값을 갖는다. 그리고, 그림자 영상이 없을 때의 전체 구간의 밝기 값은 (B)와 같이"255"값으로 가지므로, 그림자 영상이 없는 상태의 밝기 값 (A)에서 그림자가 형성된 영상의 밝기 값(B)의 차 값에 대한 절대값 (C) 값을 얻어, 이 값을 2차원으로 패턴화하면 도 8에 도시된 바와 같이 그림자 패턴을 얻을 수 있게 된다.
이렇게 그림자 패턴이 검출되면, 검출된 그림자 패턴과 기 저장된 그림자 패턴의 일치 여부를 판단하고(430), 그 결과에 따라 수납 불량 여부를 판정한다(440).
즉, 검출된 그림자 패턴과 기준 그림자 패턴이 일치하면 정상 수납 상태인 것으로 판정하고(441), 일치하지 않으면 불량 수납 상태인 것으로 판정한다(442).
이때, 일치 여부 판별에 있어서 소정의 오차 허용 범위를 설정하여 오차 허용 범위 내에 패턴이 위치할 경우는 정상 수납인 것으로 판정하도록 할 수도 있다.
또한, 불량 수납 상태인 것으로 판별될 경우에는 이 결과를 작업자나 관리자가 확인할 수 있도록 디스플레이하여, 불량 수납된 전자 부품을 재수납하도록 할 수 있다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전자 부품의 수납 상태 검사 방법을 순차로 나타낸 흐름도로서, 도 5를 참조하되 상술한 도 6의 본 발명의 일실시예와 동일한 단계에 대하여는 간략하게 설명하도록 한다.
우선, 메모리부에 기준 그림자 패턴에 대한 정보를 기 설정한다.
그리고, 전자 부품 주변에 형성되는 그림자 패턴이 포함된 제 1 영상 정보를 획득(510)한다.
이때, 제 1 영상 정보 획득 단계(510)는 제 1 조명부(110)와 촬상부(200) 제어 단계(511)와, 제 1 영상 정보를 입력받는 단계(512)로 이루어진다.
더욱 상세하게는, 제 1 조명부(110)와 촬상부(200)에 구동 제어 신호를 출력하여 전자 부품의 일측에 그림자가 생성되도록 하고, 촬상부(200)가 트레이 상면의 제 1 영상을 촬상하도록 한다(511).
이때, 제 1 조명부(110) 및 촬상부(200)의 구동을 제어하기 이전에, 이송 수단(140)에 의해 이송되는 트레이(T)의 위치를 감지 센서(150)로부터 입력 받는 단계(500)를 더 포함할 수 있으며, 이 경우 제 1 조명부(100)와 촬상부(200)에 구동 제어 신호를 출력하는 단계(511)는 감지 센서(150)로부터의 감지가 이루어질 경우에만 이루어질 수 있다.
그리고, 전자 부품 주변에 형성되는 그림자 패턴이 포함된 제 2 영상 정보를 획득(520)한다.
이때, 제 2 영상 정보 획득 단계(520)는 제 2 조명부(120)와 촬상부(200) 제어 단계(521)와, 제 2 영상 정보를 입력받는 단계(522)로 이루어진다.
더욱 상세하게는, 제 2 조명부(120)와 촬상부(200)에 구동 제어 신호를 출력하여 전자 부품의 일측에 그림자가 생성되도록 하고, 촬상부(200)가 트레이 상면의 제 2 영상을 촬상하도록 한다(521).
그리고 나서, 입력된 제 1 영상 정보와 제 2 영상 정보로부터 그림자 패턴을 검출한다(530).
그런 다음 검출된 그림자 패턴과 기 저장된 그림자 패턴의 일치 여부를 판단하고(540), 그 결과에 따라 수납 불량 여부를 판정한다(550).
즉, 패턴 일치 여부 판단 결과 일치할 경우 정상 판정하고(551), 일치하지 않을 경우 불량 판정한다(552).
여기서, 패턴의 일치 여부는 소정 오차 허용 범위를 설정하여 소정 오차 허용 범위 내에 패턴이 일치할 경우 정상으로 판정할 수 있다.
그리고, 불량 수납 상태인 것으로 판별될 경우에는 이 결과를 작업자나 관리자가 확인할 수 있도록 디스플레이하여, 불량 수납된 전자 부품을 재수납하도록 할 수 있다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 전자 부품의 수납 상태 검사 방법을 순차로 나타낸 흐름도로서, 도 5를 참조하되 도 5의 제 1 조명부(110)와 제 2 조명부(120)는 각각 서로 다른 컬러의 조명광을 조사하도록 구성되고, 촬상부(200)는 컬러 카메라로 이루어진 구성을 참조하여 설명한다.
우선, 메모리부에 기준 그림자 패턴에 대한 정보를 기 설정한다.
그리고, 전자 부품 주변에 형성되는 그림자 패턴이 포함된 컬러 영상 정보를 획득(610)한다.
이때, 컬러 영상 정보 획득 단계(610)는 각각 서로 다른 컬러를 가지는 제 1 및 제 2 조명부(110,120) 및 촬상부(200) 제어 단계(611)와, 제 1 영상 정보를 입력받는 단계(612)로 이루어진다.
더욱 상세하게는, 제 1 조명부(110)와 제 2 조명부(120) 및 촬상부(200)에 구동 제어 신호를 출력하여 전자 부품의 일측 및 타측에 서로 다른 조명광에 의해 각각 그림자가 생성되도록 하고, 컬러 카메라로 이루어진 촬상부(200)가 트레이 상면의 컬러 영상을 촬상하도록 한다(611).
이때, 제 1 및 제 2 조명부(110,120) 및 촬상부(200)의 구동을 제어하기 이전에, 이송 수단(140)에 의해 이송되는 트레이(T)의 위치를 감지 센서(150)로부터 입력 받는 단계(600)를 더 포함할 수 있으며, 이 경우 제 1 및 제 2 조명부(110,120)와 촬상부(200)에 구동 제어 신호를 출력하는 단계(611)는 감지 센서(150)로부터의 감지가 이루어질 경우에만 이루어질 수 있다.
그리고 나서, 입력된 컬러 영상 정보로부터 그림자 패턴을 검출한다(620).
그런 다음 검출된 그림자 패턴과 기 저장된 그림자 패턴의 일치 여부를 판단하고(630), 그 결과에 따라 수납 불량 여부를 판정한다(640).
즉, 패턴 일치 여부 판단 결과 일치할 경우 정상 판정하고(641), 일치하지 않을 경우 불량 판정한다(642).
여기서, 패턴의 일치 여부는 소정 오차 허용 범위를 설정하여 소정 오차 허용 범위 내에 패턴이 일치할 경우 정상으로 판정할 수 있다.
그리고, 불량 수납 상태인 것으로 판별될 경우에는 이 결과를 작업자나 관리자가 확인할 수 있도록 디스플레이하여(650), 불량 수납된 전자 부품을 재수납하도록 할 수 있다.
도 1은 일반적인 트레이에 전자 부품의 수납 상태를 도시한 사시도.
도 2 및 도 3은 트레이 내의 전자 부품 수납 상태를 도시한 단면도.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 전자 부품의 수납 상태 검사 시스템 구성도.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전자 부품의 수납 상태 검사 시스템 구성도.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 전자 부품의 수납 상태 검사 방법을 순차로 나타낸 흐름도.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 그림자 패턴 검출 방법을 도시한 개념도.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따라 획득된 그림자 패턴 개념도.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 전자 부품의 수납 상태 검사 방법을 순차로 나타낸 흐름도.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 전자 부품의 수납 상태 검사 방법을 순차로 나타낸 흐름도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호 설명>
100 : 조명부
110 : 제 1 조명부
120 : 제 2 조명부
130 : 렌즈
140 : 이송 수단
150 : 위치 감지 센서
200 : 촬상부
300 : 중앙처리장치
310 : 메모리부
320 : 영상 입력부
330 : 패턴 검출부
340 : 불량 판정부
350 : 구동 제어부
Claims (13)
- 트레이에 수납된 복수의 전자 부품의 수납 상태를 검사하는 시스템에 있어서,상기 트레이에 대하여 측면에서 선택적으로 조명광을 조사하는 적어도 하나의 광원을 포함하는 조명부;상기 조명광 조사에 따라 상기 복수의 전자 부품 주변에 형성되는 그림자가 포함된 영상을 촬상하는 촬상부;상기 촬상부에서 촬상된 영상을 이용하여 수납 불량 여부를 판별하는 중앙처리장치를 포함하며,상기 중앙처리장치는,상기 트레이의 각 포켓 내의 모든 전자 부품들이 정상 수납된 상태에서 획득된 기준 그림자 패턴 정보가 저장된 메모리부와,상기 촬상부로부터 촬상된 영상 정보를 입력받는 영상 입력부와,상기 영상 입력부로 입력된 영상 정보를 이용하여 그림자 패턴을 검출하는 패턴 검출부와,상기 패턴 검출부에서 검출된 그림자 패턴과 메모리부에 기 저장된 그림자 패턴을 비교하여 수납 불량 여부를 판별하는 불량 판정부를 포함함을 특징으로 하는 전자 부품의 수납 상태 검사 시스템.
- 삭제
- 제 1항에 있어서,상기 중앙처리장치는 상기 조명부 및 촬상부의 구동을 제어하는 구동 제어부를 더 포함하고,상기 촬상부 하부로 이동하는 트레이의 위치를 감지하는 위치 감지 센서가 더 구비되고,상기 구동 제어부는 위치 감지 센서의 감지 결과에 따라 조명부와 촬상부의 구동을 제어함을 특징으로 하는 전자 부품의 수납 상태 검사 시스템.
- 삭제
- 제 3항에 있어서,상기 조명부는 상기 트레이의 일측에서 조명광을 조사하는 제 1 조명부와 제 1 조명부의 타측에서 조명광을 조사하는 제 2 조명부로 구성되고,상기 구동 제어부는 상기 제 1 조명부와 제 2 조명부를 선택적으로 구동시켜 제 1 그림자 영상과 제 2 그림자 영상이 각각 생성되도록 함을 특징으로 전자 부품의 수납 상태 검사 시스템.
- 제 5항에 있어서,상기 제 1 조명부와 상기 제 2 조명부는 각각 서로 다른 컬러의 광을 조사하도록 구성되고,상기 촬상부는 컬러 카메라인 것을 특징으로 하는 전자 부품의 수납 상태 검사 시스템.
- 삭제
- 트레이에 수납된 복수의 전자 부품의 수납 상태를 검사하는 방법에 있어서,상기 복수의 전자 부품 주변에 형성되는 그림자가 포함된 영상 정보를 획득하는 단계;상기 영상 정보로부터 그림자 패턴을 검출하는 단계;상기 검출된 그림자 패턴과 상기 트레이의 각 포켓 내의 모든 전자 부품들이 정상 수납된 상태에서 획득된 기 저장된 그림자 패턴의 일치 여부를 판단하는 단계;상기 일치 여부 판단 결과에 따라 수납 불량 여부를 판정하는 단계를 포함함을 특징으로 하는 전자 부품의 수납 상태 검사 방법.
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020090061341A KR101063542B1 (ko) | 2009-07-06 | 2009-07-06 | 전자 부품 수납 상태 검사 방법 및 시스템 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020090061341A KR101063542B1 (ko) | 2009-07-06 | 2009-07-06 | 전자 부품 수납 상태 검사 방법 및 시스템 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20110003871A KR20110003871A (ko) | 2011-01-13 |
KR101063542B1 true KR101063542B1 (ko) | 2011-09-08 |
Family
ID=43611569
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020090061341A KR101063542B1 (ko) | 2009-07-06 | 2009-07-06 | 전자 부품 수납 상태 검사 방법 및 시스템 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101063542B1 (ko) |
-
2009
- 2009-07-06 KR KR1020090061341A patent/KR101063542B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20110003871A (ko) | 2011-01-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6425755B2 (ja) | 基板の異物質検査方法 | |
US8179434B2 (en) | System and method for imaging of curved surfaces | |
TW201531695A (zh) | 自動外觀檢查裝置 | |
JP2009293999A (ja) | 木材欠陥検出装置 | |
TW201918439A (zh) | 電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置 | |
JPWO2017169242A1 (ja) | 欠陥検査装置、及び欠陥検査方法 | |
JP2021193744A (ja) | 半導体製造装置および半導体装置の製造方法 | |
JP6092602B2 (ja) | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 | |
KR101622628B1 (ko) | 부품이 실장된 기판 검사방법 및 검사장치 | |
KR100862883B1 (ko) | 반도체 소자 인-트레이 검사 장치 및 그를 이용한 검사방법 | |
JP2009036710A (ja) | 検査装置 | |
WO2005031642A1 (ja) | 撮像装置及び同装置を搭載した被撮像物移動装置 | |
JP2000009655A (ja) | 外観検査装置 | |
KR20140087134A (ko) | 반도체 패키지의 검사장비 | |
KR101063542B1 (ko) | 전자 부품 수납 상태 검사 방법 및 시스템 | |
KR100957130B1 (ko) | 케이스의 표면 검사장치와, 이를 이용한 케이스의 표면검사방법 | |
JP4613090B2 (ja) | 検査装置 | |
JP7299728B2 (ja) | 半導体製造装置および半導体装置の製造方法 | |
KR20110117371A (ko) | 패턴 검사 장치 | |
JP2021150586A (ja) | ダイボンディング装置および半導体装置の製造方法 | |
JPH0979990A (ja) | 半導体装置の検査装置及びその検査方法 | |
KR20070068170A (ko) | 비전 검사 시스템 및 그를 이용한 검사 방법 | |
JP6196684B2 (ja) | 検査装置 | |
WO2019064622A1 (ja) | 光学表示パネルの損傷検査方法 | |
JP2009257905A (ja) | 自己診断機能を備えた品質検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140901 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150821 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160819 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170901 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180730 Year of fee payment: 8 |