KR101051889B1 - 단선 감지를 위한 와이어-쏘 시스템 - Google Patents

단선 감지를 위한 와이어-쏘 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR101051889B1
KR101051889B1 KR1020110011906A KR20110011906A KR101051889B1 KR 101051889 B1 KR101051889 B1 KR 101051889B1 KR 1020110011906 A KR1020110011906 A KR 1020110011906A KR 20110011906 A KR20110011906 A KR 20110011906A KR 101051889 B1 KR101051889 B1 KR 101051889B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
wire
insulating
hole
motor
coupling
Prior art date
Application number
KR1020110011906A
Other languages
English (en)
Inventor
장석준
박태인
조창석
조상식
김해연
곽범석
Original Assignee
오성엘에스티(주)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 오성엘에스티(주) filed Critical 오성엘에스티(주)
Priority to KR1020110011906A priority Critical patent/KR101051889B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101051889B1 publication Critical patent/KR101051889B1/ko

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0058Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/04Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
    • B28D5/045Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

본 발명에 따른 단선 감지를 위한 와이어-쏘 시스템은 상호 이격되어 회전축을 중심으로 회전되는 적어도 두 개의 안내롤러와, 상기 안내롤러에 권취되어 상기 안내롤러의 회전에 따라 주행하면서 상기 잉곳을 절단하는 와이어와, 고정축을 중심으로 회전되는 권취롤러와, 인가된 전원에 의해 구동축을 회전시키는 모터를 포함하여 잉곳을 절단하기 위한 와이어-쏘 시스템에 있어서, 상기 와이어에 전기적으로 연결되어 상기 와이어의 단선 유무를 감지하는 단선감지유닛; 상호 이격되어 상기 안내롤러의 회전축과 상기 모터의 구동축에 각각 결합되거나 상기 권취롤러의 고정축과 상기 모터의 구동축에 각각 결합되는 두 개의 연결부재와, 상기 한 쌍의 연결부재 사이에 이격 배치되는 디스크와, 상기 한 쌍의 연결부재와 상기 디스크를 이격된 상태로 결합 고정시키는 결합부재와, 상기 연결부재와 상기 결합부재가 상호 절연되도록 상기 연결부재와 상기 결합부재 사이에 개재되는 절연부재를 포함하여 구성되는 절연커플링; 을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 의하여 모터의 구동을 위해 인가된 전원과 와이어에 인가되는 전원이 통전되는 것을 방지하고, 이에 따라 모터가 파손되거나 모터의 구동 상태에 오류가 발생하는 것을 방지할 수 있는 단선 감지를 위한 와이어-쏘 시스템이 제공된다.

Description

단선 감지를 위한 와이어-쏘 시스템{wire-saw system for sensing of wire disconnection}
본 발명은 단선 감지를 위한 와이어-쏘 시스템에 관한 것으로, 좀더 자세하게는, 모터의 회전력으로 회전되는 롤러를 통해 와이어가 주행하면서 잉곳을 절단하는 와이어-쏘 시스템에서 와이어에 전기적으로 연결되는 단선감지유닛이 와이어의 단선 유무를 감지할 때, 와이어에 인가된 전원이 모터의 구동을 위해 인가된 전원와 통전되는 것을 방지하고, 와이어에 전원이 인가되더라도 모터의 구동 상태에 영향을 미치지 않도록 하는 단선 감지를 위한 와이어-쏘 시스템에 관한 것이다.
일반적으로, 잉곳의 성장(growth) 공정이 완료된 후 웨이퍼로 제조하기 위해 잉곳을 낱장 단위로 절단하는 슬라이싱 공정이 진행된다.
이러한 슬라이싱 공정은 여러 가지 방식이 있는데, 그 대표적인 것은 챔버 내에서 피아노 와이어 또는 고장력 와이어를 빠른 속도로 왕복 주행시키면서 그 위에 슬러리(slurry) 용액을 분사시켜 와이어에 묻은 슬러리와 단결정 잉곳의 마찰에 의해 절단하는 와이어-쏘(Wire-Saw) 방식이다.
와이어-쏘 방식은 잉곳을 동시에 여러 개의 웨이퍼로 절단할 수 있어 단위 시간당 생산수율을 향상시킬 수 있기 때문에 현재 널리 쓰이고 있다.
한국등록특허 제887494호에는 잉곳을 절단하는 와이어-쏘 시스템이 개시되어 있다. 한국등록특허 제887494호의 와이어-쏘 시스템은 메인롤러에 와이어가 300~400회 권취되어 있고, 메인롤러의 회전으로 인해 와이어가 고속으로 주행하게 된다. 그리고 잉곳을 고정하는 고정유닛이 하강하면서 고속 주행하는 와이어에 의해 잉곳을 절단하도록 한다. 이때, 고정유닛의 구조를 한정하고 있다.
여기서 종래 기술에 따른 와이어-쏘 시스템은 모터가 메인롤러의 회전축에 연결되어 모터의 회전력으로 메인롤러가 회전되도록 하고 있으며, 메인롤러에 권취된 와이어에 소정의 전원을 인가하고 인가된 전원을 검출하여 와이어의 단선 유무를 판단할 수 있다.
하지만, 종래 기술에 따른 와이어-쏘 시스템에서 보면, 와이어에 인가된 전원이 메인롤러를 통해 모터의 구동을 위해 인가된 전원과 통전됨으로써, 모터가 파손되거나 모터의 구동 상태에 오류가 발생하는 문제점이 있었다. 이에 따라 와이어에 인가된 전원이 모터의 구동을 위해 인가된 전원과 통전되는 것을 방지하고자 한다.
따라서 본 발명의 목적은 모터의 구동을 위해 인가된 전원과 와이어에 인가되는 전원이 통전되는 것을 방지하고, 이에 따라 모터가 파손되거나 모터의 구동 상태에 오류가 발생하는 것을 방지할 수 있는 단선 감지를 위한 와이어-쏘 시스템을 제공함에 있다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 상호 이격되어 회전축을 중심으로 회전되는 적어도 두 개의 안내롤러와, 상기 안내롤러에 권취되어 상기 안내롤러의 회전에 따라 주행하면서 잉곳을 절단하는 와이어와, 상기 안내롤러에 상기 와이어를 공급하거나 상기 안내롤러에서 상기 와이어를 회수하도록 고정축을 중심으로 회전되는 권취롤러와, 상기 안내롤러 또는 상기 권취롤러를 회전시키기 위해 인가된 전원에 의해 구동축을 회전시키는 모터를 포함하는 와이어-쏘 시스템에 있어서, 상기 와이어에 전기적으로 연결되어 상기 와이어의 단선 유무를 감지하는 단선감지유닛; 상호 이격되어 상기 안내롤러의 회전축과 상기 모터의 구동축에 각각 결합되거나 상기 권취롤러의 고정축과 상기 모터의 구동축에 각각 결합되는 두 개의 연결부재와, 상기 한 쌍의 연결부재 사이에 이격 배치되는 디스크와, 상기 한 쌍의 연결부재와 상기 디스크를 이격된 상태로 결합 고정시키는 결합부재와, 상기 연결부재와 상기 결합부재가 상호 절연되도록 상기 연결부재와 상기 결합부재 사이에 개재되는 절연부재를 포함하여 구성되는 절연커플링; 을 더 포함하는 단선 감지를 위한 와이어-쏘 시스템에 의해 달성된다.
여기서, 상기 디스크는 구부러졌다가 원상태로 복귀되도록 탄성을 갖도록 하는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 연결부재는 상기 회전축 또는 상기 고정축 또는 상기 구동축이 삽입 고정되는 연결공이 형성된 보스와, 상기 보스의 가장자리에서 돌출되고 다수의 절연공이 관통 형성된 플랜지를 포함하여 구성되고, 상기 디스크는 가장자리를 따라 상기 절연공에 대응되는 지지공이 관통 형성되고, 상기 결합부재는 상기 절연공과 상기 지지공을 관통하는 볼트와, 상기 볼트에 나사 결합되는 너트로 구성되고, 상기 절연부재는 상기 절연공에 삽입되고, 중앙에는 상기 볼트가 통과하도록 제1삽입공이 관통 형성되도록 하는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 절연부재는, 상기 결합부재와 상기 연결부재가 이격되도록 상기 두 개의 연결부재 중 어느 하나의 연결부재의 절연공에 삽입되는 제1절연부재; 상기 결합부재와 상기 연결부재가 이격되도록 상기 두 개의 연결부재 중 다른 하나의 연결부재의 절연공에 삽입되는 제2절연부재; 를 포함하여 구성되도록 하는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 절연공 내면에는 지지리브가 돌출 형성되고, 상기 절연부재에는 상기 지지리브가 삽입되는 지지홈이 함몰 형성되도록 하는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 절연부재는 상기 절연공을 감싸도록 외주면에 돌출 형성되어 상기 연결부재와 상기 결합부재를 절연시키는 절연리브가 더 형성되도록 하는 것이 바람직하다.
여기서, 외주면에 돌출 형성되어 상기 연결부재와 상기 결합부재를 절연시키는 절연리브와, 상기 절연부재가 삽입되도록 중앙을 관통하는 제2삽입공을 포함하여 구성된 보강부재; 를 더 포함하도록 하는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 절연공 내면에는 지지리브가 돌출 형성되고, 상기 보강부재에는 상기 지지리브가 삽입되는 지지홈이 형성되도록 하는 것이 바람직하다.
삭제
본 발명에 따르면, 모터의 구동을 위해 인가된 전원과 와이어에 인가되는 전원이 통전되는 것을 방지하고, 이에 따라 모터가 파손되거나 모터의 구동 상태에 오류가 발생하는 것을 방지할 수 있는 단선 감지를 위한 와이어-쏘 시스템이 제공된다.
또한, 복수의 부품들이 결합되어 부품 상호 간에 통전되더라도 와이어에 인가된 전원이 모터의 구동을 위해 인가된 전원과 통전되는 것을 방지할 수 있는 단선 감지를 위한 와이어-쏘 시스템이 제공된다.
또한, 상호 결합되는 복수의 부품들 간에 결합력을 향상시키고, 모터의 회전력이 안전되게 전달되도록 하는 단선 감지를 위한 와이어-쏘 시스템이 제공된다.
또한, 모터의 구동축 방향과 안내롤러의 회전축 방향 또는 권취롤러의 고정축 방향이 모터의 구동축 방향과 어긋나더라도 안내롤러 또는 권취롤러의 회전이 안정되도록 하는 단선 감지를 위한 와이어-쏘 시스템이 제공된다.
또한, 모터의 회전에 따라 발생되는 진동이나 소음이 안내롤러 또는 권취롤러로 전달되는 것을 방지할 수 있는 단선 감지를 위한 와이어-쏘 시스템이 제공된다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 와이어-쏘 시스템을 나타내는 도면,
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 절연커플링을 나타내는 사시도,
도 3은 도 2의 단면도,
도 4는 도 3의 분해도이다.
설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예에 따른 단선 감지를 위한 와이어-쏘 시스템에 대하여 상세하게 설명한다.
첨부 도면 도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 와이어-쏘 시스템을 나타내는 도면이다. 도 1을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 와이어-쏘 시스템은 주행하는 와이어(W)를 통해 잉곳(I)을 절단하는 장치로써, 고정유닛(P)과, 안내롤러(GR)와, 와이어(W)와, 권취롤러(WR)와 모터(M)를 포함하고, 단선감지유닛이 더 포함된다.
고정유닛(P)은 잉곳(I)을 장착하고, 주행하는 와이어(W)를 향해 잉곳(I)을 일정한 속도로 이동시키는 것이다. 고정유닛(P)은 안내롤러(GR)의 상측에 이격 배치되고, 일정한 속도로 하강하도록 하는 것이 유리하다.
안내롤러(GR)는 와이어(W)가 감겨서 지지되는 롤러로서, 적어도 두 개가 배치될 수 있으면 충분하다. 안내롤러(GR)는 적어도 하나가 별도로 마련되는 모터(미도시)의 회전력에 의해 회전축(S1)을 중심으로 회전되도록 설치될 수 있고, 이에 따라 와이어(W)를 고속으로 주행시킬 수 있다.
와이어(W)는 안내롤러(GR)에 권취되어 안내롤러(GR)의 회전에 따라 주행하면서 잉곳(I)을 절단하게 된다.
권취롤러(WR)는 안내롤러(GR)에 와이어(W)를 공급하거나 안내롤러(GR)에 감겨진 와이어(W)를 회수하기 위한 롤러이다. 권취롤러(WR)는 외주면에 와이어(W)가 권취되고, 권취된 와이어(W)를 안내롤러(GR)에 공급하기 위한 공급측의 권취롤러(WR)와, 안내롤러(GR)에 감겨진 와이어(W)를 회수하여 외주면에 와이어(W)가 권취되도록 하는 회수측의 권취롤러(WR)로 구분할 수 있다. 권취롤러(WR)는 모터(M)에 연결되어 모터(M)의 회전력에 의해 고정축(S2)을 중심으로 회전되도록 설치될 수 있다.
모터(M)는 상술한 안내롤러(GR) 또는 권취롤러(WR)를 회전시키기 위해 인가된 전원에 의해 구동축(S3)을 회전시킨다. 모터(M)는 후술하는 컨트롤러(C) 또는 별도로 마련되는 제어부(미도시)를 통해 제어될 수 있으며, 여기서 모터(M)의 제어에 대해 한정하지 않는다.
단선감지유닛은 와이어(W)에 전기적으로 연결됨으로써, 와이어(W)에 사전에 설정된 설정 전압을 인가하고, 인가한 전압을 검출하여 와이어(W)의 단선 여부를 감지하도록 하는 유닛이다. 단선감지유닛은 와이어(W)에 사전에 설정된 전압을 인가하는 전원부(P)와, 전원부(P)와 권취롤러(WR)를 전기적으로 연결하는 전도체(A)와, 인가한 전압을 검출하여 와이어(W)의 단선 여부를 감지하는 컨트롤러(C)를 포함하여 구성될 수 있다.
도면부호 B는 모터(M)의 회전력으로 안내롤러(GR) 또는 권취롤러(WR)가 회전되도록 모터(M)와 안내롤러(GR)를 연결하거나 모터(M)와 권취롤러(WR)를 연결하기 위한 절연커플링으로 모터(M)와 안내롤러(GR) 사이를 상호 절연시키거나 모터(M)와 권취롤러(WR) 사이를 절연시켜 모터(M)의 파손을 방지할 수 있다. 도면부호 N은 잉곳(I)을 절단할 때 슬러리를 분사하도록 하는 노즐이다.
그러면, 공급측의 권취롤러(WR)가 모터(M)에 의해 회전함에 따라 공급측의 권취롤러(WR)에 권취된 와이어(W)는 일방향으로 풀어지고, 다수의 롤러배치구조(미도시)를 경유한 후 안내롤러(GR)에 감겨진다. 안내롤러(GR)는 모터(미도시)에 의해 회전하게 된다. 안내롤러(GR)에 감겨진 와이어(W)는 안내롤러(GR)의 회전에 따라 주행하면서 고정유닛(P)에 의해 하강하는 잉곳(I)을 절단하도록 한다. 이때, 노즐(N)을 통해 슬러리가 분사되면서 잉곳(I)의 절단이 안정되게 한다. 잉곳(I) 절단에 사용된 와이어(W)는 다시 다수의 롤러배치구조(미도시)를 경유한 후 모터(M)의 회전에 따라 회전되는 회수측 권취롤러(WR)에 감겨진다.
여기서 전원부(P)와 컨트롤러(C)와 전도체(A)와 권취롤러(WR)와 와이어(W)가 전기적으로 연결됨으로써, 단선감지유닛은 전원부(P)를 통해 사전에 설정된 설정 전압을 인가하면, 전도체(A)와 권취롤러(WR)를 거쳐 와이어(W)에 설정 전압이 인가되고, 컨트롤러(C)에서 인가한 전압을 검출함으로써, 검출된 전압 변화를 이용하여 와이어(W)의 단선 여부를 감지할 수 있다. 그리고 절연커플링(B)에 의해 와이어(W)에 인가되는 전원이 모터(M)의 구동을 위해 인가된 전원과 통전되는 것을 방지하게 된다.
지금부터는 본 발명의 일실시예에 따른 절연커플링(B)에 대하여 상세하게 설명한다. 본 발명의 일실시예에서는 모터(M)의 회전력으로 권취롤러(WR)가 회전되도록 권취롤러(WR)의 고정축(S2)과 모터(M)의 구동축(S2)을 연결하여 권취롤러(WR)와 모터(M) 사이를 상호 절연시키는 절연커플링(B)에 대하여 설명한다. 이러한 절연커플링(B)은 권취롤러(WR)의 고정축(S2) 대신에 안내롤러(GR)의 회전축(S1)이 모터(M)의 구동축(S3)에 연결되어 안내롤러(GR)와 모터(M) 사이를 절연할 수 있다.
첨부 도면 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 절연커플링을 나타내는 사시도이고, 도 3은 도 2의 단면도이며, 도 4는 도 3의 분해도이다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 절연커플링(B)은 모터(M)의 회전력으로 권취롤러(WR)가 회전되도록 권취롤러(WR)의 고정축(S2)과 모터(M)의 구동축(S3)을 연결하여 권취롤러(WR)와 모터(M) 사이를 상호 절연시키는 부재로서, 연결부재(1)와, 디스크(2)와, 결합부재(3)와, 절연부재(4)를 포함하여 구성되고, 보강부재(5)가 더 포함될 수 있다.
연결부재(1)는 두 개가 쌍을 이루어 형성되고, 상호 이격되어 권취롤러(WR)의 고정축(S2)과 모터(M)의 구동축(S3)에 각각 결합되는 부재로써, 보스(11)와 플랜지(12)를 포함하여 구성될 수 있다. 보스(11)는 고정축(S2) 또는 구동축(S3)이 삽입 고정되는 연결공(111)이 형성되어 있다. 그리고 플랜지(12)는 보스(11)의 가장자리에서 돌출되고, 다수의 절연공(121)이 관통 형성되어 있다. 여기서 절연공(121)의 내면에는 지지리브(122)가 돌출 형성될 수 있다. 지지리브(122)는 후술하는 절연부재(4)의 지지홈(402) 또는 보강부재(5)의 지지홈(402)에 삽입되어 절연부재(4) 또는 보강부재(5)가 절연공(121)에 안착 고정될 수 있도록 한다.
디스크(2)는 두 개가 쌍을 이룬 연결부재(1) 사이에 이격 배치되는 것으로, 연결부재(1)에 형성된 절연공(121)에 대응하여 가장자리를 따라 지지공(201)이 관통 형성되어 있다. 디스크(2)는 구부러졌다가 원상태로 복귀되도록 탄성을 갖도록 할 수 있다.
결합부재(3)는 두 개가 쌍을 이룬 연결부재(1)와 디스크(2)를 상호 이격된 상태로 결합 고정시키는 부재로써, 볼트(31)와 너트(32)로 구성될 수 있다. 볼트(31)는 연결부재(1)의 절연공(121)과 디스크(2)의 지지공(201)을 관통하고, 너트(32)는 볼트(31)의 끝단부에 나사 결합된다.
절연부재(4)는 연결부재(1)와 결합부재(3) 사이에 개재되어 연결부재(1)와 결합부재(3)가 상호 절연되도록 하는 부재로써, 결합부재(3)의 절연공(121)에 삽입되고, 중앙에는 볼트(31)가 통과하도록 제1삽입공(401)이 관통 형성될 수 있다.
절연부재(4)에는 상술한 연결부재(1)의 절연공(121)에 형성된 지지리브(122)가 삽입되도록 지지홈(402)이 함몰 형성될 수 있다. 또한, 절연부재(4)에는 절연공(121)을 감싸서 연결부재(1)와 결합부재(3)를 절연시키는 절연리브(501)가 절연부재(4)의 외주면에 돌출 형성될 수 있다.
여기서 절연부재(4)는 제1절연부재(41)와 제2절연부재(42)로 구분할 수 있다. 제1절연부재(41)는 연결부재(1)와 결합부재(3)가 이격되도록 두 개가 쌍을 이룬 연결부재(1) 중 어느 하나의 연결부재의 절연공(121)에 삽입되고, 제2절연부재(42)는 연결부재(1)와 결합부재(3)가 이격되도록 상기 두 개가 쌍을 이룬 연결부재(1) 중 다른 하나의 연결부재의 절연공(121)에 삽입되도록 한다. 본 발명의 일실시예에서 제1절연부재(41)에는 지지홈(402)이 함몰 형성되어 지지리브(122)가 형성된 절연공(121)에 삽입되고, 제2절연부재(42)에는 절연리브(501)가 형성되어 결합부재(3)의 절연공(121)에 삽입되도록 하고 있다.
보강부재(5)는 연결부재(1)와 결합부재(3)의 절연 상태를 향상시키기 위해 절연부재(4)를 감싸도록 설치될 수 있다. 보강부재(5)는 절연부재(4)가 삽입되도록 중앙에 제2삽입공(502)이 관통 형성되고, 외주면에 절연리브(501)가 돌출 형성되어 있다. 여기서 보강부재(5)에는 연결부재(1)의 절연공(121)에 형성된 지지리브(122)가 삽입되는 지지홈(402)이 형성될 수 있다.
그러면, 권취롤러(WR)의 고정축(S2)과 모터(M)의 구동축(S3)이 각각 연결부재(1)의 연결공(111)에 삽입 고정되고, 연결부재(1)의 절연공(121)에 절연부재(4)를 삽입한다. 이때, 지지리브(122)와 지지홈(402)이 결합되거나 절연리브(501)가 절연공(121)을 감싸도록 하여 절연부재(4)가 절연공(121)에 안정되게 안착되어 있도록 할 수 있다. 그리고 두 개가 쌍을 이룬 연결부재(1) 사이에 디스크(2)를 개재한다. 그리고 볼트(31)가 절연부재(4)의 제1삽입공(401)과 디스크(2)의 지지공(201)을 통과하여 너트(32)와 나사 결합됨으로써, 연결부재(1)와 디스크(2)를 결합 고정시키게 된다. 이때, 절연부재(4)가 디스크(2)의 양측면을 지지하게 되므로 결합부재(3)가 연결부재(1)와 디스크(2)의 이격 상태를 유지한 채로 연결부재(1)와 디스크(2)를 결합 고정시킬 수 있게 된다. 도시되지 않았지만, 절연부재(4)는 디스크(2)의 지지공(201)에 삽입되어 디스크(2)와 결합부재(3)가 상호 절연되도록 할 수 있다. 여기서 결합부재(3)와 디스크(2)는 접촉되어 상호 절연되지 않아도 된다. 도면부호 R은 볼트(31)와 너트(32)가 나사 결합될 때, 볼트(31)와 너트(32) 사이에 넣는 와셔이다.
또한, 고정축(S2)과 구동축(S3)이 연동하여 회전시 축 방향이 일치하지 않아 동심도를 유지하지 못하거나 어긋난 상태로 회전하는 경우에는 디스크(2)의 탄성 작용에 의해 이를 보상하여 권취롤러(WR)가 동심도를 유지하면서 안정되게 회전될 수 있도록 한다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
F: 고정유닛 GR: 안내롤러 WR: 권취롤러
M: 모터 P: 전원부 C: 컨트롤러
W: 와이어 I: 잉곳 A: 전도체
B: 절연커플링 S1: 회전축 S2: 고정축
S3: 구동축 R: 와셔 1: 연결부재
11: 보스 111: 연결공 12: 플랜지
121: 절연공 122: 지지리브 2: 디스크
201: 지지공 3: 결합부재 31: 볼트
32: 너트 4: 절연부재 41: 제1절연부재
42: 제2절연부재 401: 제1삽입공 402: 지지홈
5: 보강부재 501: 절연리브 502: 제2삽입공

Claims (9)

  1. 상호 이격되어 회전축을 중심으로 회전되는 적어도 두 개의 안내롤러와, 상기 안내롤러에 권취되어 상기 안내롤러의 회전에 따라 주행하면서 잉곳을 절단하는 와이어와, 상기 안내롤러에 상기 와이어를 공급하거나 상기 안내롤러에서 상기 와이어를 회수하도록 고정축을 중심으로 회전되는 권취롤러와, 상기 안내롤러 또는 상기 권취롤러를 회전시키기 위해 인가된 전원에 의해 구동축을 회전시키는 모터를 포함하는 와이어-쏘 시스템에 있어서,
    상기 와이어에 전기적으로 연결되어 상기 와이어의 단선 유무를 감지하는 단선감지유닛;
    상호 이격되어 상기 안내롤러의 회전축과 상기 모터의 구동축에 각각 결합되거나 상기 권취롤러의 고정축과 상기 모터의 구동축에 각각 결합되는 두 개의 연결부재와, 상기 한 쌍의 연결부재 사이에 이격 배치되는 디스크와, 상기 한 쌍의 연결부재와 상기 디스크를 이격된 상태로 결합 고정시키는 결합부재와, 상기 연결부재와 상기 결합부재가 상호 절연되도록 상기 연결부재와 상기 결합부재 사이에 개재되는 절연부재를 포함하여 구성되는 절연커플링; 을 더 포함하는 단선 감지를 위한 와이어-쏘 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 디스크는 구부러졌다가 원상태로 복귀되도록 탄성을 갖는 것을 특징으로 하는 단선 감지를 위한 와이어-쏘 시스템.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 연결부재는 상기 회전축 또는 상기 고정축 또는 상기 구동축이 삽입 고정되는 연결공이 형성된 보스와, 상기 보스의 가장자리에서 돌출되고 다수의 절연공이 관통 형성된 플랜지를 포함하여 구성되고,
    상기 디스크는 가장자리를 따라 상기 절연공에 대응되는 지지공이 관통 형성되고,
    상기 결합부재는 상기 절연공과 상기 지지공을 관통하는 볼트와, 상기 볼트에 나사 결합되는 너트로 구성되고,
    상기 절연부재는 상기 절연공에 삽입되고, 중앙에는 상기 볼트가 통과하도록 제1삽입공이 관통 형성되는 것을 특징으로 하는 단선 감지를 위한 와이어-쏘 시스템.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 절연부재는,
    상기 결합부재와 상기 연결부재가 이격되도록 상기 두 개의 연결부재 중 어느 하나의 연결부재의 절연공에 삽입되는 제1절연부재;
    상기 결합부재와 상기 연결부재가 이격되도록 상기 두 개의 연결부재 중 다른 하나의 연결부재의 절연공에 삽입되는 제2절연부재; 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 단선 감지를 위한 와이어-쏘 시스템.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 절연공 내면에는 지지리브가 돌출 형성되고, 상기 절연부재에는 상기 지지리브가 삽입되는 지지홈이 함몰 형성되는 것을 특징으로 하는 단선 감지를 위한 와이어-쏘 시스템.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 절연부재는 상기 절연공을 감싸도록 외주면에 돌출 형성되어 상기 연결부재와 상기 결합부재를 절연시키는 절연리브가 더 형성되는 것을 특징으로 하는 단선 감지를 위한 와이어-쏘 시스템.
  7. 제3항에 있어서,
    외주면에 돌출 형성되어 상기 연결부재와 상기 결합부재를 절연시키는 절연리브와, 상기 절연부재가 삽입되도록 중앙을 관통하는 제2삽입공을 포함하여 구성된 보강부재; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 단선 감지를 위한 와이어-쏘 시스템.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 절연공 내면에는 지지리브가 돌출 형성되고, 상기 보강부재에는 상기 지지리브가 삽입되는 지지홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 단선 감지를 위한 와이어-쏘 시스템.
  9. 삭제
KR1020110011906A 2011-02-10 2011-02-10 단선 감지를 위한 와이어-쏘 시스템 KR101051889B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110011906A KR101051889B1 (ko) 2011-02-10 2011-02-10 단선 감지를 위한 와이어-쏘 시스템

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110011906A KR101051889B1 (ko) 2011-02-10 2011-02-10 단선 감지를 위한 와이어-쏘 시스템

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101051889B1 true KR101051889B1 (ko) 2011-07-26

Family

ID=44924068

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110011906A KR101051889B1 (ko) 2011-02-10 2011-02-10 단선 감지를 위한 와이어-쏘 시스템

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101051889B1 (ko)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10277914A (ja) 1997-03-31 1998-10-20 Tokyo Seimitsu Co Ltd ワイヤソー切断機
JPH1199466A (ja) * 1997-07-31 1999-04-13 Nippei Toyama Corp ワイヤソー
JP2008213110A (ja) 2007-03-06 2008-09-18 Shin Etsu Handotai Co Ltd 切断方法およびワイヤソー装置
JP2010089197A (ja) 2008-10-06 2010-04-22 Toyo Advanced Technologies Co Ltd ワイヤ巻取り装置およびワイヤソー

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10277914A (ja) 1997-03-31 1998-10-20 Tokyo Seimitsu Co Ltd ワイヤソー切断機
JPH1199466A (ja) * 1997-07-31 1999-04-13 Nippei Toyama Corp ワイヤソー
JP2008213110A (ja) 2007-03-06 2008-09-18 Shin Etsu Handotai Co Ltd 切断方法およびワイヤソー装置
JP2010089197A (ja) 2008-10-06 2010-04-22 Toyo Advanced Technologies Co Ltd ワイヤ巻取り装置およびワイヤソー

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100258439B1 (ko) 와이어톱의 와이어단선검출장치
CN105819277B (zh) 一种光纤筛选复绕防鞭打装置
JP5072135B2 (ja) ワイヤソーのワイヤ断線検知方法および装置
TWI449612B (zh) 線鋸裝置
KR101084966B1 (ko) 잉곳 절단용 와이어쏘 장치의 단선감지방법
KR101064875B1 (ko) 와이어-쏘 시스템용 권취롤러
CN105666715B (zh) 一种带有断线报警装置的硅锭切割机
KR20120018752A (ko) 회전자, 고정자 및 회전자와 고정자 사이의 에어 갭을 모니터링하는 디바이스를 구비한 전기 기계
KR101051889B1 (ko) 단선 감지를 위한 와이어-쏘 시스템
JP5996342B2 (ja) ワイヤソーの断線検出装置
KR101402237B1 (ko) 가이드롤러의 마멸에 따른 와이어 권취오차의 보상장치 및 그것이 설치된 와이어소
JP5875277B2 (ja) ワイヤソー
US10439468B2 (en) Motor including bearing seating unit
KR101712001B1 (ko) 등전위 본딩을 위한 구동 롤러 및 이를 구비한 송전선 검사 로봇
KR101051892B1 (ko) 와이어-쏘 시스템용 안내롤러
CN107972194A (zh) 金刚线切割机及其排线控制方法
JP2003224964A (ja) 磁力応用回転装置
JP2009050151A (ja) キャップ式ステータコアウェッジ及び関連する方法
JP4948441B2 (ja) ワイヤ放電加工装置およびワイヤ断線検出方法
WO2009105017A1 (en) Hose feed machine
CN107963418A (zh) 一种输送机调心装置
KR101121747B1 (ko) 테이핑 장치
CN210985829U (zh) 一种用于固定滚筒电机电机线的固定装置
JP2015123556A (ja) 防振装置、防振方法。
CN207645235U (zh) 一种输送机调心装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140714

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170705

Year of fee payment: 9