KR101036376B1 - 무전해 도금조의 도금액 농도 제어장치 및 도금액 농도 제어방법 - Google Patents

무전해 도금조의 도금액 농도 제어장치 및 도금액 농도 제어방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 무전해 도금조의 도금액 농도 제어장치 및 도금액 농도 제어방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 무전해 도금조의 도금액 농도 제어방법은, 도금조 본체내에 충진된 도금액을 도금액 우회관을 통해 도금액 재생모듈로 우회시키는 단계; 상기 도금액 재생 모듈의 믹서를 통해 강산성액을 주입하여 우회 도금액 내에 포함된 킬레이트 착화합물을 니켈 이온과 구연산으로 분리하는 단계; 상기 믹서를 통해 니켈 이온과 구연산이 분리된 도금액에서 니켈 이온만을 필터부를 통해 회수하는 단계; 및 상기 필터부를 통해 니켈 이온이 회수된 도금액을 상기 도금조 본체에 재공급하는 단계;를 포함하며, 도금액의 니켈 이온 농도를 낮게 유지하기 위하여 도금액의 전수 교체가 필요없음에 따라 도금 공정의 유지 비용을 절감할 수 있는 장점이 있으며, 도금액 교체에 따른 도금 공정의 중단됨을 방지하여 공정 손실을 최소화함과 아울러 생산성을 증대시키고 생산 단가를 낮출 수 있는 작용효과가 발휘될 수 있다.
무전해 도금조, 치환도금, 도금액 재생모듈, 니켈 이온, 구연산

Description

무전해 도금조의 도금액 농도 제어장치 및 도금액 농도 제어방법{Apparatus and method for controlling of concentration of electroless plating bath}
본 발명은 무전해 도금조의 도금액 농도 제어장치 및 도금액 농도 제어방법에 관한 것으로서, 보다 자세하게는 무전해 도금조 내의 도금액 중에 포함된 킬레이트 착화합물로부터 니켈 이온을 회수함과 동시에 구연산을 재생시켜 도금조 내로 재순환시킴으로써, 도금액 중의 니켈 이온 농도를 낮게 유지시켜 안정된 도금 품질이 유지되도록 한 무전해 도금조의 도금액 농도 제어장치 및 도금액 농도 제어방법에 관한 것이다.
일반적으로, 무전해 니켈 도금(Electroless nickel plating)은 도금 표면의 우수한 접착력이 유지되고, 전기전도도가 우수하며, 균일한 코팅 두께를 유지할 수 있음에 따라 주로 BGA(Ball Grid Array) 디바이스 등의 전자부품에 대한 표면 처리 기술로 널리 사용되고 있다.
또한, 무전해 도금조를 통해 도금된 전자부품의 니켈 도금 표면 상에 금 치 환 도금을 행하여 얇은 금 보호막을 형성시키게 되며, 이를 통해 니켈 도금 표면의 비활성화를 방지하는 역할을 하게 된다.
이와 같은 무전해 도금조는 무전해 화학동도금을 이용하여 니켈을 금속 표면에 먼저 전착시키고 금이온이 존재하는 용액 내에 니켈 도금된 금속을 담가두면, 니켈 금속 내부에 존재하는 전자를 금이온이 강제적으로 제거시키는 니켈의 산화 작용과 금의 환원 작용이 동시에 수행되어 금속 표면에 니켈-금(Ni-Au)의 치환 전착이 이루어지게 된다.
이러한 치환 도금은 금의 환원력이 니켈의 환원력보다 크기 때문에 발생되며, 이 과정에서 니켈의 산화 작용을 촉진시키기 위하여 강산성의 구연산이 첨가될 수 있다.
구연산은 금속 표면에 도금된 니켈과 착화물을 형성하여 니켈 이온을 빠르게 제거함에 따라 니켈의 산화를 촉진시키는 역할을 하게 되는 바, 니켈의 산화 작용을 위한 구연산을 무전해 도금조에 계속적으로 공급하여 치환 도금 공정이 지속되도록 한다.
그러나, 구연산이 지속적으로 공급되면서 도금조를 장시간 운전하게 되면, 도금액 내에 니켈과 구연산의 화학 작용에 의해 니켈 이온 농도가 점차 증가할 수 밖에 없으며, 일정 임계점 이상으로 니켈 이온 농도가 축적되면 도금을 더 이상 진행할 수 없고 블랙 패드(black pad) 현상과 같은 도금 불량이 발생하는 문제점이 지적되고 있다.
또한, 도금조를 통한 원활한 치환 도금이 이루어지도록 하기 위해서는 도금 액의 니켈 이온 농도 측정 후 니켈 농도가 일정 수준이 되면 전체 도금액을 전수 교체해야 하는 바, 도금 교체액의 비용이 증가되고 도금액 교체로 부득이하게 도금 공정을 중단해야 하므로 공정 중단에 따른 생산성 저하와 비용 손실이 발생되는 단점이 있다.
그리고, 도금액의 전수 교체시 폐도금액을 처리하기 위한 제반 장치와 비용이 많이 발생하는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 종래 무전해 도금조에서 제기되고 있는 상기 제반 단점과 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로서, 도금조 일측에 도금액 재생모듈을 설치하여 도금액을 우회 순환시켜 니켈 이온을 회수함과 동시에 구연산을 재생시켜 공급함으로써, 도금액의 전수 교체 없이 도금액 중의 니켈 이온 농도가 낮게 유지되도록 한 무전해 도금조의 도금액 농도 제어장치가 제공됨에 발명의 목적이 있다.
또한, 본 발명은 도금조에서 도금액 순환장치를 통해 우회 순환되는 도금액에 강산성 물질을 첨가하여 니켈 구연산 착화합물을 니켈 이온과 구연산으로 분리하고, 이 후 양이온 투과막을 통해 니켈 이온을 회수하고 분리된 구연산은 도금조 내로 재순환되도록 한 무전해 도금조의 도금액 농도 제어방법이 제공됨에 다른 발명의 목적이 있다.
본 발명의 상기 목적은, 도금액이 충진된 도금조 본체와, 상기 도금조 본체 일측에 설치되고, 강산성액 투입에 의한 전기화학적 반응에 의해 킬레이트(chelate) 착화합물을 니켈 이온과 구연산으로 분리하는 도금액 재생모듈을 포함하는 무전해 도금조의 도금액 농도 제어장치가 제공됨에 의해서 달성된다.
상기 도금조 본체 내에 충진된 도금액은 금이온(Au(CN)2-)이 포함되어 있으 며, 상기 도금액에는 표면에 니켈 도금층이 형성된 기판이 도금액 내에 함침된다. 따라서, 상기 도금액 내에 함침된 기판은 니켈과 금의 치환에 의한 금도금이 이루어진다.
상기 도금조 본체 내에 충진된 도금액은 도금액 재생 모듈을 통해 소량이 지속적으로 우회 순환되면서 순환되는 도금액 중의 포함된 니켈-구연산의 킬레이트 착화합물로부터 니켈 이온과 구연산이 전기 화학적 반응에 의해 분리된다.
이때, 상기 도금액 재생모듈은 도금조 본체에서 우회 순환되는 도금액에 강산성액을 주입하여 도금액 내의 킬레이트 착화합물을 열역학적으로 분리하는 믹서와, 상기 믹서에서 분리된 니켈 이온을 전기 화학적 반응에 의해 회수하는 필터부로 구성된다.
또한, 상기 도금액 재생모듈은 상기 믹서에 도금조 본체내의 도금액이 소량으로 우회 공급되는 도금액 우회관이 연결되고, 상기 필터부에 전기 화학적 반응에 의해 니켈 이온이 제거된 도금액을 다시 도금조 본체에 공금하는 도금액 공급관과, 필터부를 통해 분리된 니켈 이온을 외부로 배출하는 니켈 회수관이 연결된다.
여기서, 상기 필터부는 양극과 음극이 대향 배치되고, 그 사이에 양이온 투과막이 구비되며, 상기 양극과 음극 사이에서 발생되는 전기장에 의해 양이온 투과막을 통해 니켈 이온만이 투과된다.
한편, 본 발명의 다른 목적은, 도금조 본체내에 충진된 도금액을 도금액 우회관을 통해 도금액 재생모듈로 우회시키는 단계와, 상기 도금액 재생 모듈의 믹서 를 통해 강산성액을 주입하여 우회 도금액 내에 포함된 킬레이트 착화합물을 니켈 이온과 구연산으로 분리하는 단계와, 상기 믹서를 통해 니켈 이온과 구연산이 분리된 도금액에서 니켈 이온만을 필터부를 통해 회수하는 단계와, 상기 필터부를 통해 니켈 이온이 회수된 도금액을 상기 도금조 본체에 재공급하는 단계를 포함하는 무전해 도금조의 도금액 농도 제어방법이 제공됨에 의해서 달성된다.
상기 도금액 재생모듈은 도금조 본체의 일측에 장착되며, 상기 도금조 본체와 도금액 재생모듈은 도금조 본체에서 재생 대상의 도금액이 우회하는 도금액 우회관과, 도금액 재생모듈에서 니켈 이온이 회수되어 재생된 도금액이 다시 도금조 본체로 공급되는 도금액 공급관을 통해 연결된다.
또한, 상기 니켈 이온과 구연산을 분리하는 단계에서, 상기 도금액 재생 모듈의 믹서에 주입되는 강산성액은 pH 1 내지 pH 2의 산성액이 주입되어 열역학적 작용에 의해서 니켈 이온과 구연산으로 분리된다.
또한, 상기 필터부를 통해 니켈 이온이 회수되는 단계에서, 우회 도금액 중에 강산성액에 의해 분리된 니켈 이온은 상기 필터부의 양이온 투과막을 통해 걸러져 니켈 회수관을 이용하여 회수된다.
또한, 상기 도금조 본체에 니켈 이온이 제거된 재생 도금액을 재공급하는 단계에서, 상기 도금조에 재공급되는 도금액은 상기 필터부를 통해 니켈 이온이 제거되어 구연산만이 포함된 pH 1 내지 pH 2의 강산성액으로 이루어지며, 이때 상기 도금조 본체에 재공급되는 도금액의 양은 도금조 본체의 도금액에 비해 미비한 양이 재생 순환되므로 전체적인 도금액의 산성도에 끼치는 영향은 미비하다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 무전해 도금조의 도금액 농도 제어장치 및 도금액 농도 제어방법은 도금조 일측에 설치된 도금액 순환장치를 통해 우회되는 도금액 중에 포함된 니켈 이온을 회수하여 니켈 이온이 제거된 도금액을 도금조에 재공급함으로써, 도금액의 니켈 이온 농도를 낮게 유지하기 위하여 도금액의 전수 교체가 필요없음에 따라 도금 공정의 유지 비용을 절감할 수 있는 장점이 있으며, 도금액 교체에 따른 도금 공정의 중단됨을 방지하여 공정 손실을 최소화함과 아울러 생산성을 증대시키고 생산 단가를 낮출 수 있는 작용효과가 발휘될 수 있다.
본 발명에 따른 무전해 도금조의 도금액 농도 제어장치 및 도금액 농도 제어방법의 상기 목적에 대한 기술적 구성을 비롯한 작용효과에 관한 사항은 본 발명의 바람직한 실시예가 도시된 도면을 참조한 아래의 상세한 설명에 의해서 명확하게 이해될 것이다.
먼저, 도 1은 본 발명에 따른 일실시예의 무전해 도금조의 개략적인 구성도이고, 도 2는 본 발명에 따른 일실시예의 무전해 도금조 구성도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 일실시예의 무전해 도금조(100)는 내부에 도금액(111)이 충진된 도금조 본체(110)와, 상기 도금조 본체(110) 일측에 설치된 도금액 재생모듈(120)로 구성된다.
상기 도금조 본체(110) 내부에는 소정의 높이로 도금액(111)이 충진되어 있으며, 상기 도금액(111) 내에 표면에 니켈 도금이 완료된 기판(130)이 삽입된다.
상기 도금액(111)은 금이온(Au(CN)2-)이 포함되어 있으며, 도금액(111) 중에 포함된 킬레이트제의 이온화에 의해 도금액 중에 포함된 니켈 이온(Ni2+)과 안정된 킬레이트 착화합물을 형성함에 따라 상기 기판(130) 표면에 금(Au)과 니켈(Ni)의 치환 도금이 이루어지게 된다.
이때, 상기 도금액(111) 중에 포함된 킬레이트제는 주로 강산성의 구연산이 사용될 수 있으며, 도금액 중의 구연산 이온은 니켈 이온(Ni2+)과 킬레이트 착화합물(NiL-, NiL2 4-)을 형성하여 도금액(111) 중의 니켈 이온(Ni2+)을 제거하게 된다.
그러나, 상기 도금액(111)의 열역학적 평형 상태에서는 킬레이트 착화합물로써, 니켈 이온과 킬레이트제인 구연산의 반응으로 NiL-, NiL2 4- 형태의 킬레이트 착화합물이 여전히 존재하게 되며, 지속적인 도금조 운행에 의해 도금액(111) 중에 상당한 니켈 이온(Ni2+)이 축적될 수 밖에 없다.
이때, 상기 도금조 본체(110)는 pH 5 내지 pH 6 하에서 기본적인 운전 조건을 갖는다.
이와 같이, 상기 도금조 본체(110) 내의 도금액(111)에 니켈 이온이 계속적으로 축적되면 기판(130)과 도금액(111) 간의 열역학적 평형이 깨지면서 기판(130) 표면에 치환 도금이 이루어지지 않게 됨에 따라 상기 도금조 본체(110) 일측에 도금액 재생모듈(120)을 설치하여 도금액(111)의 일부가 상기 도금액 재생모듈(120)을 거치면서 니켈 이온(Ni2+)이 제거된 도금액으로 재생되고, 이를 다시 도금조 본체(110) 내에 공급하여 도금액(111)의 열역학적 평형이 유지되도록 한다.
이와 같은 도금액(111) 재생을 위한 도금액 재생모듈(120)은 도금조 본체(110)로부터 도금액(111)을 우회 순환시키기 위한 도금액 우회관(124)과, 재생된 도금액을 도금조 본체(110)에 공급하기 위한 도금액 공급관(125)을 통해 도금조 본체(110)에 연결된다.
또한, 상기 도금액 재생모듈(120)은 도금액 우회관(124)을 통해 도금조 본체(110)로부터 우회되는 도금액(111)에 강산성액(acid)을 주입하여 니켈 이온(Ni2+)이 분리되는 믹서(121)와, 상기 믹서(121)를 통해 분리된 니켈 이온을 전기장에 의해 회수하는 필터부(122)로 구성된다.
상기 믹서(121)는 도금조 본체(110)에 연결된 도금액 우회관(124)을 통해 도금조 본체(110) 내의 도금액(111)이 소량씩 우회 공급되고, 상기 믹서(121)를 통해 pH 1 내지 pH 2의 강산성액이 주입된다.
상기 강산성액의 주입에 의해서 믹서(121)를 통과하는 우회 도금액은 도금액 중에 포함되어 니켈 이온이 결합된 킬레이트 착화합물(NiL-, NiL2 4-)이 해리도가 감소함에 따라 니켈 이온(Ni2+)과 구연산(citric acid)으로 열역학적으로 분리된다.
또한, 상기 니켈 이온과 구연산이 강산성액에 의해 분리된 우회 도금액은 상기 필터부(122)를 거치면서 니켈 이온(Ni2+)이 회수되는 바, 상기 필터부(122)는 양극(122a)과 음극(122b)이 대향 비치되어 그 사이에 전기장이 형성되고, 상기 전기장에 의해 니켈 이온(Ni2+)이 우회 도금액으로부터 회수된다.
상기 우회 도금액으로부터 회수되는 니켈 이온(Ni2+)은 필터부(122)의 양극(122a)과 음극(122b) 사이에 설치된 양이온 투과막(123)를 통해 우회 도금액에서 별도로 분리되며, 양이온 투과막(123)을 통해 회수된 니켈 이온(Ni2+)은 폐기물로 처리하거나 하이드로옥사이드(hydroxide) 침전법 또는 설파이드(sulfide) 침전법 등을 재활용 가능하게 회수된다.
이때, 상기 양이온 투과막(123)은 nafion 117 등이 주로 이용될 수 있다.
또한, 상기 양이온 투과막(123)을 통해 니켈 이온(Ni2+)이 회수된 우회 도금액은 구연산만 포함한 강산성의 상태로 유지되어 상기 필터부(122)에 연결된 도금액 공급관(125)을 통해 도금조 본체(110)로 공급되며, 상기 도금조 본체(110)에 충진된 도금액(111)의 니켈 이온(Ni2+) 농도를 낮출 수 있으며, 이러한 도금액(111) 재생 과정이 반복되면서 도금액(111)에 포함된 니켈 이온(Ni2+) 농도를 낮은 수준으로 유지시켜 도금액(111)의 전수 교체를 방지할 수 있다.
한편, 상기 도금조 본체(110)로 도금액 재생모듈(120)을 통해 재생되어 공급되는 도금액(111)은 니켈 이온(Ni2+)이 제거되면서 구연산만이 포함된 강산성을 가지게 되는 바, 재생 도금액의 pH를 조절하여 도금조 본체(110)로 공급될 수 있으나, 도금조 본체(110)에서 도금액 재생모듈(120)을 통해 재생 순환되는 도금액이 도금조 본체(110) 내의 도금액(111)에 비하여 그 양이 미미함에 따라 도금조 본체(110)의 도금 조건에 부합하는 중성의 pH에 영향을 미치지 않기 때문에 별도의 pH 조절 없이 도금조 본체(110) 공급이 가능할 수 있다.
이와 같이, 상기 도금조 본체(110) 내에 충진된 도금액(111)은 도금액(111) 중에 포함된 니켈 이온(Ni2+)이 대부분 안정한 킬레이트 착화합물 형태로 존재하게 되는 바, 이 킬레이트 착화합물을 도금조 본체(110) 일측에 설치된 도금액 재생모듈(120)을 통해 제거하게 되면 결국은 킬레이트 착화합물 생성을 위한 강산성액이 도금조 본체(110) 내로 주입되는 것과 같으므로 지속적인 킬레이트 착화합물의 생성과 제거를 통해 도금조 본체(110) 내의 니켈 이온(Ni2+) 농도를 일정하게 낮은 수준으로 유지될 수 있도록 한다.
상기와 같이 구성된 본 실시예에 따른 무전해 도금조의 도금액 농도 제어방 법을 간략하게 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 도금조 본체(110) 내에 충진된 도금액(111) 중 일부가 도금조 본체(110)의 일측에 설치된 도금액 재생모듈(120)을 통해 우회 순환되도록 한다.
상기 도금액 재생모듈(120)을 통해 우회되는 도금액(111)은 도금액 재생모듈(120)을 도금조 본체(110)의 하부측에 설치하여 도금액(111)의 압력에 의해 순환되도록 할 수 있으며, 경우에 따라 도금액 재생모듈(120)에 모터를 부착하여 모터의 구동압에 의해 우회 순환이 이루어지도록 할 수 있다.
상기 도금액 재생모듈(120)로 우회되는 도금액(111)은 도금조 본체(110)와 연결된 도금액 우회관(124)을 통해 믹서(121)로 유입되며, 믹서(121)에 도금액이 유입됨과 동시에 외부에서 믹서(121) 내부로 pH 1 내지 pH 2 의 강산성액을 동시에 주입한다.
상기 믹서(121)에 주입된 강산성액에 의해서 도금액 내의 킬레이트 착화합물이 니켈 이온과 구연산으로 분리되고, 니켈 이온과 구연산으로 분리된 상태로 포함된 우회 도금액은 양극(122a)과 음극(122b) 사이에 양이온 투과막(123)이 배치된 필터부(122)를 거치면서 전기장에 의한 전기화학적 작용에 의해 니켈 이온이 우회 도금액으로부터 분리된다.
다음, 상기 필터부(122)에서 분리된 니켈 이온(Ni2+)은 니켈 회수관(126)을 통해 외부로 배출되어 폐기처리되거나, 하이드로옥사이드(hydroxide) 침전법 또는 설파이드(sulfide) 침전법을 통해 회수되어 재활용될 수 있다.
그리고, 상기 필터부(122)의 양이온 투과막(123)을 통해 니켈 이온(Ni2+)이 제거된 강산성의 재생 도금액은 도금액 공급관(125)을 통해 다시 도금조 본체(110)로 재공급되며, 도금조 본체(110) 내부에 포함된 니켈 이온(Ni2+)과 킬레이트 착화합물을 형성하여 다시 도금액 재생모듈(120)로 순환된다.
이상에서 설명한 본 발명의 바람직한 실시예들은 예시의 목적을 위해 개시된 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러가지 치환, 변형 및 변경이 가능할 것이나, 이러한 치환, 변경 등은 이하의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 일실시예의 무전해 도금조의 개략적인 구성도.
도 2는 본 발명에 따른 일실시예의 무전해 도금조 구성도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
110. 도금조 본체 111. 도금액
120. 도금액 재생모듈 121. 믹서
122. 필터부 123. 양이온 투과막
130. 기판

Claims (9)

  1. 도금액이 충진된 도금조 본체; 및
    상기 도금조 본체 일측에 설치되고, 상기 도금조 본체에서 우회 순환되는 상기 도금액에 강산성액 투입에 의해 니켈이온-구연산이 반응하여 형성된 킬레이트(chelate) 착화합물을 니켈 이온과 구연산으로 분리하는 믹서와, 상기 믹서에서 분리된 니켈 이온을 전기화학적 반응에 의해 회수하는 필터부로 구성된 도금액 재생모듈;
    을 포함하는 무전해 도금조의 도금액 농도 제어장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 도금액 재생모듈은, 상기 도금액 본체내의 도금액이 우회 공급되는 도금액 우회관이 상기 믹서에 연결되고, 상기 필터부에 니켈 이온이 제거된 도금액을 상기 도금조 본체에 재공급하는 도금액 공급관이 연결되며, 상기 필터부를 통해 회수된 니켈 이온을 외부로 배출하는 니켈 회수관이 연결된 무전해 도금조의 도금액 농도 제어장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 필터부는, 양극과 음극이 대향 배치되고, 그 사이에 전기장에 의해 니켈 이온만이 투과되는 양이온 투과막이 구비된 무전해 도금조의 도금액 농도 제어장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 양이온 투과막은, nafion 117로 구성된 무전해 도금조의 도금액 농도 제어장치.
  6. 도금조 본체내에 충진된 도금액을 도금액 우회관을 통해 도금액 재생모듈로 우회시키는 단계;
    상기 도금액 재생 모듈의 믹서를 통해 강산성액을 주입하여 우회 도금액 내에 니켈이온-구연산이 반응하여 형성된 킬레이트 착화합물을 니켈 이온과 구연산으로 분리하는 단계;
    상기 믹서를 통해 니켈 이온과 구연산이 분리된 도금액에서 니켈 이온만을 필터부를 통해 회수하는 단계; 및
    상기 필터부를 통해 니켈 이온이 회수된 도금액을 상기 도금조 본체에 재공급하는 단계;
    를 포함하는 무전해 도금조의 도금액 농도 제어방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 니켈 이온과 구연산을 분리하는 단계에서, 상기 도금액 재생 모듈의 믹서에 주입되는 산성액은 pH 1 내지 pH 2의 산성도를 가진 강산성액이 주입되어 열역학적 작용에 의해서 상기 도금액에 포함된 킬레이트 착화합물이 니켈 이온과 구연산으로 분리되는 무전해 도금조의 도금액 농도 제어방법.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 필터부를 통해 니켈 이온이 회수되는 단계에서, 상기 믹서에서 강산성액에 의해 분리된 니켈 이온은 상기 필터부의 양이온 투과막을 통해 걸러져 니켈 회수관을 이용하여 회수되는 무전해 도금조의 도금액 농도 제어방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 상기 필터부를 통해 회수된 니켈 이온은, 하이드로옥사이드(hydroxide) 침전법 또는 설파이드(sulfide) 침전법을 통해 회수되는 무전해 도금조의 도금액 농도 제어방법.
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