KR101034375B1 - 이송 로봇 및 이를 갖는 기판 가공 장치 - Google Patents

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Abstract

기판 가공 장치의 이송 로봇은 로봇 몸체, 제1 암, 제2 암 및 블레이드를 포함한다. 제1 암은 로봇 몸체와 장착되고, 상기 로봇 몸체를 기준으로 수평 방향으로 회전하며 다수의 기판을 적재하는 카세트를 지지한다. 제2 암은 상기 제1 암에 장착되고, 상기 제1 암을 기준으로 신축 및 승하강한다. 블레이드는 상기 제2 암에 장착되고, 상기 제2 암을 기준으로 수평 방향으로 회전하며 상기 제1 암으로 상기 카세트를 로딩 및 상기 제1 암으로부터 상기 카세트를 언로딩하고, 상기 제1 암에 안착된 카세트로 상기 기판을 로딩 및 상기 카세트로부터 상기 기판을 언로딩한다.

Description

이송 로봇 및 이를 갖는 기판 가공 장치{Transfer robot and apparatus for processing a substrate having the transfer robot}
본 발명은 이송 로봇 및 이를 갖는 기판 가공 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평판표시장치소자를 제조하기 위한 이송 로봇 및 이를 갖는 기판 가공 장치에 관한 것이다.
평판표시소자는 글래스와 같은 기판 위에 물질막을 형성하는 증착공정, 증착된 물질막을 필요한 형태로 패터닝하는 패터닝 공정, 기판 상의 불필요한 잔류물질들을 제거하는 세정공정 등을 반복적으로 수행하여 제조된다. 상기 공정들을 수행하는 과정에서 다수의 기판들이 적재된 카세트의 기판들을 상기 공정들이 수행되는 공정 챔버로 이송하거나, 상기 공정이 완료된 기판을 상기 카세트로 이송하는 과정이 반복된다. 상기 기판의 이송은 이송 로봇에 의해 이루어진다.
종래 기술에 따른 이송 로봇은 로봇 몸체를 기준으로 로봇 암이 회전 및 신축한다. 상기 로봇 암이 상기 카세트의 기판 하나를 파지한 후, 상기 로봇 몸체를 기준으로 회전하여 상기 기판을 상기 공정 챔버로 이송한다. 또한, 상기 로봇 암이 상기 공정 챔버에서 공정이 완료된 하나의 기판을 파지한 후, 상기 로봇 몸체를 기 준으로 회전하여 상기 기판을 상기 카세트로 이송한다.
상기 이송 로봇은 상기 기판을 하나씩 이송하며, 상기 기판의 이송시마다 상기 로봇 암의 회전 동작이 필요하므로, 상기 기판의 이송에 많은 시간이 소요된다.
본 발명은 기판을 이송하는데 소요되는 시간을 줄일 수 있는 이송 로봇을 제공한다.
본 발명은 상기 이송 로봇을 갖는 기판 가공 장치를 제공한다.
본 발명에 따른 이송 로봇은 로봇 몸체와, 상기 로봇 몸체와 장착되고, 상기 로봇 몸체를 기준으로 수평 방향으로 회전하며 다수의 기판을 적재하는 카세트를 지지하는 제1 암과 상기 제1 암에 장착되고, 상기 제1 암을 기준으로 신축 및 승하강하는 제2 암 및 상기 제2 암에 장착되고, 상기 제2 암을 기준으로 수평 방향으로 회전하며 상기 제1 암으로 상기 카세트를 로딩 및 상기 제1 암으로부터 상기 카세트를 언로딩하고, 상기 제1 암에 안착된 카세트로 상기 기판을 로딩 및 상기 카세트로부터 상기 기판을 언로딩하는 블레이드를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제2 암은 상기 제1 암에 장착되어 상하 방향으로 회전하는 제1 보조 암 및 상기 제1 보조 암에 장착되어 상하 방향으로 회전하고, 상기 제1 보조 암과 상기 블레이드를 연결하는 제2 보조 암을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제2 암은 상기 제1 암에 장착되어 상기 수평 방향으로 회전하는 제1 보조 암과, 상기 제1 보조 암에 장착되어 상기 수평 방향으로 회전하고, 상기 제1 보조 암과 상기 블레이드를 연결하는 제2 보조 암 및 상기 제1 보조 암과 상기 제2 보조 암 사이에 장착되며, 상기 제2 보조 암을 상하로 이동시키는 승강부를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 가공 장치는 다수의 기판을 적재하기 위한 카세트가 안착되는 스테이지와, 상기 기판을 가공하기 위한 기판 가공 공정이 수행되는 공정 챔버 및 상기 스테이지와 상기 공정 챔버 사이에 배치되어 상기 카세트 및 상기 기판을 이송하는 이송 로봇을 포함하고, 상기 이송 로봇은 로봇 몸체와, 상기 로봇 몸체와 장착되고, 상기 로봇 몸체를 기준으로 수평 방향으로 회전하며 상기 카세트를 지지하는 제1 암과, 상기 제1 암에 장착되고, 상기 제1 암을 기준으로 신축 및 승하강하는 제2 암 및 상기 제2 암에 장착되고, 상기 제2 암을 기준으로 수평 방향으로 회전하며 상기 스테이지의 상기 카세트를 상기 제1 암으로 로딩 및 상기 제1 암으로부터 상기 카세트를 상기 스테이지로 언로딩하고, 상기 제1 암에 안착된 카세트로 상기 공정 챔버의 기판을 로딩 및 상기 카세트로부터 상기 기판을 상기 공정 챔버로 언로딩하는 블레이드를 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면 이송 로봇은 암으로 카세트를 이송한 후 상기 카세트의 기판을 공정 챔버로 이송하거나, 상기 공정 챔버에서 공정이 완료된 기판들을 카세트로 이송한 후 상기 카세트를 이송한다. 따라서, 상기 기판의 이송에 소요되는 시간을 줄일 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 이송 로봇 및 이를 갖는 기판 가공 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 로봇을 설명하기 위한 측면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 이송 로봇을 설명하기 위한 평면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 이송 로봇(100)은 카세트(10) 및 기판(20)을 이송하기 위한 것으로, 로봇 몸체(110), 제1 암(120), 제2 암(130) 및 블레이드(140)를 포함한다.
상기 기판(20)들은 상기 카세트(10)에 수직 방향으로 적재된다. 상기 기판(20)은 평판표시소자를 제조하기 위한 것으로, 글래스(glass) 기판일 수 있다.
상기 로봇 몸체(110)는 원통 형상, 다각기둥 형상 등 다양한 형상을 가지며, 바닥에 고정될 수 있다.
상기 제1 암(120)은 상기 로봇 몸체(110)의 상면과 평행하도록 상기 로봇 몸체(110)의 상면에 장착된다. 상기 제1 암(120)은 상기 로봇 몸체(110)를 기준으로 상기 상면과 평행한 수평 방향으로 회전한다.
상기 제1 암(120)의 상면에는 상기 카세트(10)가 안착된다. 상기 카세트(10)의 안정적인 안착을 위해 상기 제1 암(120)은 일정한 폭을 갖는다. 이때, 상기 제1 암(120)의 폭은 상기 카세트(10)의 폭보다 작을 수 있다. 따라서, 후술하는 상기 블레이드(140)가 상기 카세트(10)의 저면 양측을 지지함으로써, 상기 카세트(10)를 상기 제1 암(110) 상으로 용이하게 로딩하거나, 상기 제1 암(110)으로부터 상기 카세트(10)를 용이하게 언로딩할 수 있다.
상기 제2 암(130)은 상기 제1 암(120)에 장착되며, 상기 제1 암(120)을 기준으로 상기 수평 방향으로 신축하며, 상기 수평 방향과 수직하는 상하 방향으로 승하강한다.
상기 제2 암(130)은 제1 보조 암(132) 및 제2 보조 암(134)을 포함한다.
상기 제1 보조 암(132)은 상기 제1 암(120)에 장착된다. 상기 제1 보조 암(132)은 상기 제1 암(120)을 기준으로 상기 상하 방향으로 따라 회전한다. 상기 제1 보조 암(132)은 상기 제1 암(120)의 중앙 양측면 또는 상기 로봇 몸체(110)와 연결된 상기 제1 암(120)의 제1 단부와 반대되는 제2 단부의 양측면에 장착될 수 있다. 일 예로, 상기 제1 보조 암(132)은 상기 제1 암(120)과 힌지 결합될 수 있다.
상기 제2 보조 암(134)은 상기 제1 보조 암(132)에 장착된다. 상기 제2 보조 암(134)은 상기 제1 보조 암(132)과 평행하도록 배치되며, 상기 제1 보조 암(132)을 기준으로 상기 상하 방향으로 회전한다. 또한, 상기 제2 보조 암(134)은 상기 제1 보조 암(132)과 상기 블레이드(140)를 연결한다. 상기 제2 보조 암(134)은 상기 제1 암(120)과 연결된 상기 제1 보조 암(132)의 제1 단부와 반대되는 제2 단부의 양측면에 장착될 수 있다. 일 예로, 상기 제2 보조 암(134)은 상기 제1 보조 암(132)과 힌지 결합될 수 있다.
상기 제1 보조 암(132) 및 상기 제2 보조 암(134)의 상기 상하 방향 회전에 따라 상기 제2 암(130)은 상기 제1 암(120)을 기준으로 상기 수평 방향으로 신축할 수 있고 상기 상하 방향으로 상승 및 하강할 수 있다.
상기 블레이드(140)는 상기 제2 암(130), 구체적으로 상기 제2 보조 암(134)에 장착된다. 상기 블레이드(140)는 상기 제2 보조 암(134)을 기준으로 상기 수평 방향으로 회전한다.
상기 제2 암(130)이 상기 제1 암(120)을 기준으로 상기 수평 방향으로 신축 및 상기 상하 방향으로 승하강하므로, 상기 블레이드(140)는 상기 수평 방향 및 상기 상하 방향으로 이동할 수 있다.
상기 블레이드(140)는 상기 카세트(10) 및 상기 기판(20)을 지지한다. 일 예로, 도 2와 같이 상기 블레이드(140)는 U자 형태를 가질 수 있다. 다른 예로, 상기 블레이드(140)는 평판 형태를 가질 수 있다.
한편, 상기 블레이드(140)는 상기 카세트(10) 및 상기 기판(20)을 보다 안정적으로 지지하기 위해 진공력으로 상기 카세트(10) 및 상기 기판(20)을 흡착하는 진공 수단을 더 포함할 수 있다.
상기 제2 암(130) 및 블레이드(140)가 상기 수평 방향 및 상기 상하 방향으로 이동하여 상기 카세트(10)를 상기 제1 암(110) 상으로 로딩하거나, 상기 제1 암(110) 상의 카세트(10)를 상기 제1 암(110)으로부터 언로딩할 수 있다. 또한, 상기 제2 암(130) 및 블레이드(140)가 상기 수평 방향 및 상기 상하 방향으로 이동하여 상기 제1 암(110) 상의 카세트(10)로부터 상기 기판(20)을 언로딩하거나, 상기 기판(20)을 상기 제1 암(110) 상의 카세트(10)로 로딩할 수 있다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 로봇을 설명하기 위한 측면도이다.
도 3을 참조하면, 상기 이송 로봇(200)은 카세트(10) 및 기판(20)을 이송하기 위한 것으로, 로봇 몸체(210), 제1 암(220), 제2 암(230) 및 블레이드(240)를 포함한다.
상기 제2 암(230)을 제외한 상기 로봇 몸체(210), 제1 암(220) 및 블레이드(240)에 대한 구체적인 설명은 도 1 및 도 2를 참조한 로봇 몸체(110), 제1 암(120) 및 블레이드(140)에 대한 설명과 실질적으로 동일하므로 생략한다.
상기 제2 암(230)은 상기 제1 암(220)에 장착되며, 상기 제1 암(220)을 기준으로 상기 수평 방향으로 신축하며, 상기 수평 방향과 수직하는 상하 방향으로 승하강한다.
상기 제2 암(230)은 제1 보조 암(232), 제2 보조 암(236) 및 승강부(234)를 포함한다.
상기 제1 보조 암(232)은 상기 제1 암(220)의 하면에 상기 제1 암(220)과 평행하도록 장착된다. 예를 들면, 상기 제1 보조 암(232)은 상기 로봇 몸체(210)와 연결된 상기 제1 암(220)의 제1 단부와 반대되는 제2 단부에 장착될 수 있다. 상기 제1 보조 암(232)은 상기 제1 암(220)을 기준으로 수평 방향으로 회전한다.
상기 제2 보조 암(234)은 상기 제1 보조 암(232)에 장착된다. 상기 제2 보조 암(234)은 상기 제1 보조 암(232)과 평행하도록 배치되며, 상기 제1 보조 암(232)을 기준으로 상기 수평 방향으로 회전한다.
상기 승강부(236)는 상기 제1 보조 암(232)과 상기 제2 보조 암(234) 사이에 배치된다. 상기 승강부(236)는 상기 제1 보조 암(232)을 기준으로 상기 제2 보조 암(234)을 상기 수평 방향과 수직하는 상하 방향으로 승강시킬 수 있다. 상기 승강부(236)의 예로는 실린더를 들 수 있다.
상기 제1 보조 암(232) 및 상기 제2 보조 암(234)의 상기 수평 방향 회전에 따라 상기 제2 암(230)은 상기 제1 암(220)을 기준으로 상기 수평 방향으로 신축할 수 있고, 상기 승강부(236)의 상하 구동에 따라 상기 제2 암(230)은 상기 제1 암(220)을 기준으로 상기 상하 방향으로 상승 및 하강할 수 있다.
상기 제2 암(230) 및 블레이드(240)가 상기 수평 방향 및 상기 상하 방향으로 이동하여 상기 카세트(10)를 상기 제1 암(210) 상으로 로딩하거나, 상기 제1 암(210) 상의 카세트(10)를 상기 제1 암(210)으로부터 언로딩할 수 있다. 또한, 상기 제2 암(230) 및 블레이드(240)가 상기 수평 방향 및 상기 상하 방향으로 이동하여 상기 제1 암(210) 상의 카세트(10)로부터 상기 기판(20)을 언로딩하거나, 상기 기판(20)을 상기 제1 암(210) 상의 카세트(10)로 로딩할 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 가공 장치를 설명하기 위한 측면도이다.
도 4를 참조하면, 상기 기판 가공 장치(500)는 스테이지(510), 공정 챔 버(520) 및 이송 로봇(530)을 포함한다.
상기 스테이지(510)는 블록 형태 또는 평판 형태를 가지며, 상면에 카세트(10)가 안착된다. 상기 카세트(10)는 다수의 기판(20)들이 적재될 수 있다.
상기 공정 챔버(520)는 상기 스테이지(510)와 이격되어 배치되며, 상기 기판(20)을 가공하기 위한 공정을 수행하기 위한 공간을 제공한다. 상기 공정의 예로는 상기 기판(20) 위에 물질막을 형성하는 증착공정, 증착된 물질막을 필요한 형태로 패터닝하는 패터닝 공정, 상기 기판 상의 불필요한 잔류물질들을 제거하는 세정공정 등을 들 수 있다.
상기 이송 로봇(530)은 상기 스테이지(510)와 상기 공정 챔버(520) 사이에 배치되어 상기 카세트(10) 및 상기 기판(20)을 이송한다.
상기 이송 로봇(530)은 상기 로봇 몸체(532), 제1 암(534), 제2 암(536) 및 블레이드(538)를 포함한다. 상기 로봇 몸체(532), 제1 암(534), 제2 암(536) 및 블레이드(538)에 대한 구체적인 설명은 도 1 및 도 2를 참조한 로봇 몸체(110), 제1 암(120), 제2 암(130) 및 블레이드(140)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.
한편, 상기 이송 로봇(530)으로 상기 도 3에 도시된 이송 로봇(200)이 채용될 수 있다.
상기 이송 로봇(530)은 상기 스테이지(510)의 카세트(10)를 상기 공정 챔버(520)에 인접하도록 이송한 후, 상기 카세트(10)의 기판(20)들을 상기 공정 챔버(520)로 이송한다. 또한, 상기 이송 로봇(530)은 상기 공정 챔버(520)에서 공정이 완료된 기판(20)들은 상기 카세트(10)로 적재한 후 상기 카세트(10)를 상기 스 테이지(510)로 이송한다.
상기 이송 로봇(530)이 상기 기판(20)들을 상기 공정 챔버(530)에서 상기 제1 암(532)에 안착된 카세트(10)로 이송하거나, 상기 제1 암(532)에 안착된 카세트(10)에서 상기 공정 챔버(530)로 이송하므로, 상기 기판(20)을 이송할 때마다 상기 제1 암(534)이 상기 로봇 몸체(532)를 기준으로 회전하는 동작을 줄일 수 있다.
따라서, 상기 기판 가공 장치(500)는 상기 기판(20)들의 이송에 소요되는 시간을 줄일 수 있고, 나아가 상기 기판 가공 장치(500)의 효율을 향상시킬 수 있다.
도 5a 내지 도 5f는 도 4에 도시된 기판 가공 장치를 동작을 설명하기 위한 측면도들이다.
도 5a를 참조하면, 스테이지(510)에 다수의 기판(20)들이 적재된 카세트(10)가 안착된다.
도 5b를 참조하면, 이송 로봇(530)의 제2 암(536) 및 블레이드(538)가 동작하여 상기 스테이지(510)의 카세트(10)를 상기 제1 암(534)으로 이송한다.
다음으로, 상기 제1 암(534)이 상기 로봇 몸체(532)를 기준으로 회전하여 상기 카세트(10)를 공정 챔버(520)와 인접하도록 이송한다.
도 5c를 참조하면, 상기 제2 암(536) 및 블레이드(538)가 동작하여 상기 카세트(10)의 기판(20)들을 하나씩 상기 공정 챔버(520)로 이송한다.
도 5d를 참조하면, 상기 제2 암(536) 및 블레이드(538)가 동작하여 상기 공정 챔버(520)에서 공정이 완료된 기판(20)들은 하나씩 상기 카세트(10)로 이송한 다.
일 예로, 상기 카세트(10)의 기판(20)들을 상기 공정 챔버(520)로 이송하는 공정이 모두 완료된 후, 상기 공정 챔버(520)의 기판(20)들은 상기 카세트(10)로 이송하는 공정이 수행될 수 있다.
다른 예로, 상기 카세트(10)의 기판(20)들을 상기 공정 챔버(520)로 이송하는 공정과 상기 공정 챔버(520)의 기판(20)들은 상기 카세트(10)로 이송하는 공정이 교대로 수행될 수 있다.
도 5e를 참조하면, 상기 제1 암(534)이 상기 로봇 몸체(532)를 기준으로 회전하여 상기 카세트(10)를 상기 스테이지(510)와 인접하도록 이송한다.
도 5f를 참조하면, 상기 제2 암(536) 및 블레이드(538)가 동작하여 상기 제1 암(534)의 카세트(10)를 상기 스테이지(510)로 이송한다.
이후, 상기 스테이지(510)의 카세트(10)를 후속 공정을 위해 별도의 이송 수단으로 이송한다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 이송 로봇은 스테이지의 카세트를 공정 챔버에 인접하도록 이송한 후, 상기 카세트의 기판들을 상기 공정 챔버로 이송하거나, 상기 공정 챔버에서 공정이 완료된 기판들은 상기 카세트로 적재한 후 상기 카세트를 상기 스테이지로 이송한다.
상기 이송 로봇의 제1 암이 로봇 몸체를 기준으로 회전하는 동작을 최소화할 수 있으므로, 상기 기판의 이송에 소요되는 시간을 줄일 수 있다. 또한, 상기 이송 로봇을 갖는 기판 가공 장치의 효율을 향상시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 로봇을 설명하기 위한 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 이송 로봇을 설명하기 위한 평면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송 로봇을 설명하기 위한 측면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 가공 장치를 설명하기 위한 측면도이다.
도 5a 내지 도 5f는 도 4에 도시된 기판 가공 장치를 동작을 설명하기 위한 측면도들이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 카세트 20 : 기판
100 : 이송 로봇 110 ; 로봇 본체
120 : 제1 암 130 : 제2 암
140 : 블레이드

Claims (4)

  1. 로봇 몸체;
    상기 로봇 몸체와 장착되고, 상기 로봇 몸체를 기준으로 수평 방향으로 회전하며 다수의 기판을 적재하는 카세트를 지지하는 제1 암;
    상기 제1 암에 장착되고, 상기 제1 암을 기준으로 신축 및 승하강하는 제2 암; 및
    상기 제2 암에 장착되고, 상기 제2 암을 기준으로 수평 방향으로 회전하며 상기 제1 암으로 상기 카세트를 로딩 및 상기 제1 암으로부터 상기 카세트를 언로딩하고, 상기 제1 암에 안착된 카세트로 상기 기판을 로딩 및 상기 카세트로부터 상기 기판을 언로딩하는 블레이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 로봇.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제2 암은,
    상기 제1 암에 장착되어 상하 방향으로 회전하는 제1 보조 암; 및
    상기 제1 보조 암에 장착되어 상하 방향으로 회전하고, 상기 제1 보조 암과 상기 블레이드를 연결하는 제2 보조 암을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 로봇.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제2 암은,
    상기 제1 암에 장착되어 상기 수평 방향으로 회전하는 제1 보조 암;
    상기 제1 보조 암에 장착되어 상기 수평 방향으로 회전하고, 상기 제1 보조 암과 상기 블레이드를 연결하는 제2 보조 암; 및
    상기 제1 보조 암과 상기 제2 보조 암 사이에 장착되며, 상기 제2 보조 암을 상하로 이동시키는 승강부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 로봇.
  4. 다수의 기판을 적재하기 위한 카세트가 안착되는 스테이지;
    상기 기판을 가공하기 위한 기판 가공 공정이 수행되는 공정 챔버; 및
    상기 스테이지와 상기 공정 챔버 사이에 배치되어 상기 카세트 및 상기 기판을 이송하는 이송 로봇을 포함하고,
    상기 이송 로봇은,
    로봇 몸체;
    상기 로봇 몸체와 장착되고, 상기 로봇 몸체를 기준으로 수평 방향으로 회전하며 상기 카세트를 지지하는 제1 암;
    상기 제1 암에 장착되고, 상기 제1 암을 기준으로 신축 및 승하강하는 제2 암; 및
    상기 제2 암에 장착되고, 상기 제2 암을 기준으로 수평 방향으로 회전하며 상기 스테이지의 상기 카세트를 상기 제1 암으로 로딩 및 상기 제1 암으로부터 상기 카세트를 상기 스테이지로 언로딩하고, 상기 제1 암에 안착된 카세트로 상기 공정 챔버의 기판을 로딩 및 상기 카세트로부터 상기 기판을 상기 공정 챔버로 언로딩하는 블레이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 가공 장치.
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