JPH0469464A - 軸封装置を備えた回転体の駆動方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、軸封装置、例えば磁性流体軸封装置、流体封
止用軸封装置などによって封止されながら回転する回転
体を回転駆動するための駆動方法に関する。

［従来の技術］ 上記の流体封止用軸封装置とは、例えばゴムバッキング
のように、回転体の外周表面に一定圧力下で接触し、流
体、例えば冷却水がその回転体に沿って漏れ流れるのを
防止するものである。

従来、この種の流体封止用軸封装置によって封止されて
いる回転体を回転させるにあたっては、その回転体を瞬
時に所定の設定回転速度まで立ち上げていた。この従来
の駆動方法によれば、ゴムバッキングなどが短期間の間
に変形あるいは摩耗し、そのため、長期間にわたって良
好な軸封能力を維持することができなかった。

上記の磁性流体軸封装置とは、磁性流体を用いて回転体
まわりの流体圧力差を保持しようとするものであり、例
えば、第４図に示す構造のものが知られている。ここに
示した磁性流体軸封装Ｗ１は、はぼ円筒状のケース１５
と、そのケース１５の中に互いに平行に配列された複数
の環状の磁石２と、それらの各磁石２の間に配置された
環状の磁性部材３とを有している。この磁性流体軸封装
置によって封止される回転軸４は、各磁石２および各磁
性部材３を貫通して図の左右方向へ延びており、その一
方（左方）が低圧領域Ｑに位置し、他方（右方）が高圧
領域Ｐに位置している。この回転軸４は、図示しない駆
動手段によって駆動されて矢印Ａのように回転する。

各磁性部材３と回転軸４との間には、磁性流体５が置か
れている。また、各磁石２は、Ｎ極およびＳＩ！のうち
の同極が互いに隣り合うように並べられており、各磁石
２のＮ極から出る磁束線は、図示の矢印のように、磁性
部材３、磁性流体５、そして回転軸４を通って各磁石２
のＳ極へ到達する循環路を形成する。この磁束線により
、磁性流体５が回転軸４および磁性部材３の両方に磁力
によって吸着し、これにより回転軸４が封止される。

すなわち、回転軸４が回転する間、磁性流体５によって
、高圧値ｊｉ！Ｐ側の気体、例えば空気が低圧領域Ｑ側
へ漏れるのが防止される。

この磁性流体軸封装置を用いれば、高圧領域Ｐから低圧
領域Ｑへの気体の漏れを確実に防止することができる。

しかも、回転軸４の摩耗が少なく、長寿命が確保される
。

従来、この磁性流体軸封装置１によって封止されている
回転軸を回転駆動するにあたっては、上記低圧領域Ｑ内
の空気を排気して該領域を減圧状態、例えば真空状態に
し、その状態において回転体を瞬時に所定の設定回転速
度まで立ち上げていた。しかしながらこの駆動方法では
、磁性流体５が飛散してしまい、短期間の間に密閉能力
が著しく低下してしまうという問題があった。

このような磁性流体５の飛散は、回転軸４と共に回転す
る磁性流体５に大きな遠心力が作用することが一つの原
因と考えられる。また、磁石２と回転軸４との間および
磁性部材３と回転軸４との間に残留する空気が、瞬時に
低圧領域Ｑ側へ引かれることも一つの原因と考えられる
。

［発明が解決しようとする課１（］ 以上のように、磁性流体軸封装置あるいは流体封止用軸
封装置などといった軸封装置を備えた回転体に関しては
、長期間にわたって高い封止能力を維持するのが難しい
という問題があった。特に、回転体の回転速度が速い場
合にその問題が顕著に現れていた。

本発明は、従来の回転体駆動方法における上記の問題点
に鑑みてなされたものであって、軸封装置の密閉能力を
長期間にわたって良好に維持することのできる回転体の
駆動方法を提供することを目的とする。

［課題を解決するための手段］ 上記の目的を解決するため、本発明に係る第１の回転体
の駆動方法は、回転体の一方の側が位置している低圧領
域が既に減圧状態になっているときに、回転体の回転速
度を希望する設定回転速度まで瞬時に立ち上げるのでは
なくて、徐々に上げてゆくことを特徴としている。

また、第２の回転体の駆動方法は、上記低圧領域が既に
減圧状態になっているときに、回転体の回転速度を、一
旦、希望する設定回転速度よりも低い中間回転速度に上
げて一定時間その速度を保持し、その後、上記の設定回
転速度まで上げること、すなわち回転体の回転速度を瞬
時に希望回転速度まで立ち上げるのではなくて１段階状
に徐々に上げてゆくことを特徴としている。

上記ＩＪ１および第２の回転体駆動方法は、磁性流体軸
封装置のみによって封止されている回転体、あるいは流
体封止用軸封装置、例えばゴムバッキングのみによって
封止されている回転体、あるいは磁性流体軸封装置およ
び流体封止用軸封装置の両方によって封止されている回
転体のいずれにも適用することができる。

特に、両方の軸封装置によって封止された回転体に適用
する場合には、回転体の回転速度を上記のように段階状
に徐々に上げてゆくときに、１段階の昇速ステップでは
なくて２段階の昇速ステップを介して回転体を所定の設
定回転速度に上げることが好ましい。すなわち、まず、
回転体の回転速度をｔＪ１中間回転速度まで上げて一定
時間その速度を保持し、次に第２中間回転速度まで速度
を上げて一定時間その速度を保持し、その後、所定の設
定回転速度に昇速するという駆動方法を用いるのが好ま
しい。

本発明に係るＩＩ３の回転体の駆動方法は、上記低圧領
域が未だ減圧状態になっていないとき、その低圧領域を
減圧状態にするための排気処理が行われている間に、上
記回転体を回転させることを特徴としている。この場合
、回転体の回転は、排気処理が行われている間、その排
気処理と共に継続して実行されるものであってもよい。

また、回転を開始してから一定時間経過した後にその回
転を停止するようにしてもよい。

なお本明細書において、低圧領域および高圧領域とは、
一方の圧力雰囲気（低圧領域）が他方の圧力雰囲気（高
圧領域）よりも低いか、あるいは高いかを相対的に表現
しているものであって、通常の大気圧に比べて低いとか
、あるいは高いとかいったような、具体的な数値を表現
しているものではない。

また、磁性部材とは、磁場をかけられたときに磁化する
性質を有する部材、すなわち磁石から出る磁束線を通す
ことのできる性質を有する部材のことである。

また、磁性流体とは、非磁性の流体媒体に磁性体の金属
微粒子をコロイド状に分散させることによって形成され
た流体のことである。例えば、炭化水素、炭化フッ素、
あるいは脂肪酸などの液体にフェライトその他の磁性体
粉末を分散した流体を用いることができる。

［作用］ 請求項１および２の駆動方法は、磁性流体軸封装置（１
）によって封止された回転体を対象とし、さらに、低圧
領域（Ｑ）が既に減圧状態、例えば、真空状態になって
いる場合を想定している。この場合、回転体（ターゲッ
ト回転軸２１）の回転速度を徐々に上げたり（第３図ａ
、　　ｂ）、あるいは段階状に上げたり（第３図ｂ）す
ることにより、磁性流体軸封装置（１）内に残留する残
留空気は徐々に低圧領域内へ空気抜きされる。

請求項３および４の駆動方法は、磁性流体軸封装置（１
）によって封止された回転体を対象とし、さらに、低圧
領域（Ｑ）が木だ所望の減圧状態、例えば真空状態にな
っておらず、その所望の減圧状態を得るための排気処理
が行われる場合を想定している。この場合、回転体（２
１）は、その排気処理が行われている間に回転させられ
る（第３図ｃ、ｄ）。低圧領域（Ｑ）は排気処理に応じ
て徐々に減圧してゆく。一方、磁性流体軸封装置（１）
内の残留空気は、回転体の回転に応じて、そして徐々に
減圧されてゆく低圧領域内の気圧に従って、徐々に低圧
領域内へ引き抜かれてゆく。

請求項５および６の駆動方法は、流体封止用軸封装置（
バッキング２６）によって封止された回転体を対象とし
ている。回転体（ターゲット回転軸２１）の回転速度を
徐々に上げたり（第３図ａ。

ｂ）、あるいは段階状に上げたり（第３図ｂ）すること
により、流体封止用軸封装置を徐々に回転体になじませ
、その軸封装置の変形、摩耗などを特徴する 請求項７および８の駆動方法は、磁性流体軸封装置（１
）および流体封止用軸封装置（バンキング２６）の両方
によって封止された回転体を対象としている。特に、請
求項８の方法においては、少なくとも２段階の昇速ステ
ップを介して回転体が所望の設定回転速度まで昇速され
る（第３図ｂ）。第１の昇速ステップにおいて、磁性流
体軸封装置についての空気抜き処理あるいは流体封止用
軸封装置のなじませ処理のうちのいずれか一方が実行さ
れる。そして、第２の昇速ステップにおいて、残りの一
方の処理が実行される。

［実施例コ 第１図は本発明に係る回転体の駆動方法を、Ｘ線回折装
置などに用いられるＸ線発生装置に適用した場合の実施
例を図式的に示している。

ここにあげたＸ線発生装置は、角柱状の密閉容器である
Ｘ線管チューブ６と、ロータターゲット７を備えたター
ゲットユニット８と、Ｘ線管チューブ６の下方に配設さ
れた真空減圧手段９とによって構成されている。

Ｘ線管チューブ６の外部は高圧領域Ｐとなっていて大気
圧に設定されている。一方、Ｘ線管チューブ６の内部は
低圧領域Ｑとなっていて、真空排気手段９によって空気
を排気されることにより、その内部が真空状態にされて
いる。

真空排気手段９としては、任意の構成のものを用いるこ
とができるが、実施例の場合は、ロータリーポンプ１０
によって粗排気を行い、ターボ分子ポンプ１１によって
最終的で完璧な排気を行うことによって精度の高い真空
が得られるように構成しである。ロータリーポンプ１０
およびターボ分子ポンプ１１の動作は、制御装置１２に
よって１’制御される。

低圧領域Ｑの上部にはフィラメント１３が設けられてい
る。このフィラメント１３とロータターゲット７との間
には、図示されていない高圧電源によって高電圧が印加
されており、またフィラメント１３には図示されていな
い電流源によって電流が流される。電流が流されること
によってフィラメント１３は発熱し、そこから電子が放
出される。放出された電子は、フィラメント１３とター
ゲット７との間の電位差によって加速されてターゲット
７に衝突し、そこからＸ線が放射される。

放射されたＸ線は、ＸＳ管チューブ６の左側側面に予め
設けられているＸ線取出窓１４から外部へ取り出される
。

ターゲットユニット８は、第２図に示すように、Ｘ線管
チューブ６に固定されたフランジ１６に気密に固定され
た円柱状のハウジング１７と、そのハウジング１７の右
側に固定された駆動モータ１８と、その駆動モータ１８
の右側に固定された給排水コネクタ１９とを有している
。

ハウジング１７の内部の右側には２つの軸受け２０．２
０がはめ込まれていて、これらのベアリングによってタ
ーゲット７の回転軸２１が支持されている。ハウジング
１７の内部の左側には、第４図において説明した磁性流
体軸封装置１が気密にはめ込まれている。この軸封装置
１によって、Ｘ線管チューブ６の内外の圧力差が保持さ
れる。

すなわち、大気圧に設定された高圧領域Ｐから真空状態
にある低圧領域Ｑへの空気の漏れが確実に防止される。

駆動モータ１８は、ハウジング１７に固定されたケース
２２と、そのケース２２に固定されたステータコイル２
３と、ターゲット回転軸２１の外周面に固定されたロー
タ２４とによって構成されている。制御装置１２からの
指示に基づいてステータコイル２３に電流が流されるこ
とにより、ロータ２４のまわりに回転磁界が形成され、
ロータ２４が回転する。ロータ２４が回転すると、それ
に固定されているターゲット回転軸２１も回転し、その
結果、ターゲット回転軸２１の左側先端に取り付けられ
ているロータターゲット７が回転する。

ターゲット回転軸２１は中空になっていて、その中に一
定の間隔をおいて、通水パイプ２５が挿入されている。

この通水パイプ２５も中空になっている。ターゲット回
転軸２１の右端は、バッキング２６を介して給排水コネ
クタ１９に回転可能に接続されている。給排水コネクタ
１９の内部には通水路２８が形成されていて、この通水
路２８を介してターゲット回転軸２１と排水管２９とが
互いに連通している。一方、通水パイプ２５は給排水パ
イプ１９の中心部を貫通し、そして給水管２７に接続さ
れている。

給水管２７は、図示されていない給水源に接続されてい
て、その給水源から冷却水が供給される。

供給された冷却水は、通水パイプ２５の中を通って図の
左方向へ進行し、ロータターゲット７の内周面に沿って
流れることによってそのロータターゲット７を冷却し、
その後、ターゲット回転軸２１と通水パイプ２５との間
を通って図の右側へ戻り、最終的に、給排水コネクタ１
９内の通水路２８およびそれに連通する排水管２９を介
して外部へ排出される。上記のバッキング２６は、冷却
水が外部へ漏れるのを防止する。

以下、制御装置１２によって実行される。真空減圧手段
９およびターゲット駆動モータ１８の動作の制御につい
て説明する。

第１図のＸ線発生装置を稼働するにあたっては、まず、
Ｘ線管チューブ６の内部、すなわち低圧領域Ｑを真空状
態に減圧する必要がある。そのため、第３図のタイミン
グｔｏにおいてロータリーポンプ１０およびターボ分子
ポンプ１１がオンとされ、低圧領域Ｑ内の空気が徐々に
徐々に排気されてゆく。この排気処理は２時間径度継続
して行われ、タインミングｔ１において所望の真空状態
が得られる。

低圧領域Ｑが真空状態になると、ロータターゲット７を
回転させながら記述したＸ線の放射処理を行うことが可
能となる。第３図では、ロータターゲット７の回転駆動
の方法として、　（ａ）〜（ｄ）の異なる４つの方法が
例示されている。以下。

それらを個々に説明する。

ａ上 この方法は、タイミングｔ１で真空状態が得られた後、
ターゲット７の回転を開始したいと考える適宜のタイミ
ングｔ２で駆動モータ１８．すなわちターゲット回転軸
２１の回転を開始する。この場合、制御装置１２は、タ
ーゲット回転軸２１の回転を徐々に立ち上げてゆき、約
８砂径度かかッテ所望の回転速度ｒｌ、例えば８，００
０−１０，０００ｒｐｍに到達するように制御する。

従来の駆動方法によれば、ターゲット回転軸２１は破線
で示すように瞬時に所望回転速度「ｌに立ち上げられて
いた。この従来方法によれば、第４図においてターゲッ
ト回転軸２１、すなわち回転軸４が瞬時に高回転になる
ので、磁性流体５に大きな遠心力が加わり、その結果、
その磁性流体５が飛散してしまい、所望の密閉状態が得
られなくなるおそれがあった。

また、第３図における時間（ｔＯ−ｔｌ）の間に行われ
る排気処理が終わった後でも、磁性流体軸封装置１の内
部、すなわち磁石２とターゲット回転軸２１との間およ
び磁性部材３とターゲット回転軸２１との間には空気が
残留している。ターゲット回転軸２１を従来のように瞬
時に高速回転させた場合は、その残留空気が瞬時に低圧
領域Ｑに吸引され、その際、やはり磁性流体５が飛散し
てしまうと考えられる。

これに対して、第３図（、）に実線で示す本実施例の駆
動方法によれば、ターゲット回転軸２１の回転速度が徐
々に上げられてゆくので、磁性流体５に大きな遠心力が
加わることがない。また、軸封装置１内の残留空気も瞬
時に低圧領域Ｑへ引かれることなく、徐々に引かれてゆ
く。つまり、緩やかな空気抜きを行うことができる。従
って。

磁性流体５の飛散が防止される。

なお、第２図に示すように本実施例では、ターゲット回
転軸２１の右端が一定圧力下でバッキング２６に接触し
ている。従来決方のように、ターゲット回転軸２１の回
転速度を急激に立ち上げれば、バッキング２６のところ
で水漏れが生じたり。

あるいはバッキング２６が短期間に摩耗してしまい、長
寿命を確保できないといった問題があった。

これに対して本実施例によれば、ターゲット回転軸２１
の回転速度が徐々に立ち上げられてゆくので、バッキン
グ２６に無理な力が加わることがなく、バッキング２６
が自然にターゲット回転軸２１になれてゆく。それ故、
上記のような水漏れ、摩耗などといった問題も解消され
る。

駆１Ｌ方１しく上Ｊ− 第３図の（ｂ）に示す駆動方法は、　（ａ）のようにタ
ーゲット回転軸２１の回転速度を一定の加速度で徐々に
上げてゆくのに代えて、まず、低速度ｒ２まで上げて一
定時間その低速度ｒ２に保持し、その後、中速度ｒ３ま
で上げて一定時間その中速度ｒ３に保持し、そして最後
に所望の回転速度ｒ１まで上げるという、いわゆる段階
状の昇速方法となっている。

この場合、低速度ｒ２まで速度を上げる第１の昇速ステ
ップは、主に、バッキング２６をターゲット回転軸２１
になじませて、水漏れや摩耗を防止するためのものであ
る。一方、中速度ｒ３まで速度をあげる第２の昇速ステ
ップは、主に、磁性流体軸封装置１内の空気を緩やかに
空気抜きするためのものである。従って、低速度ｒ２お
よび中速度ｒ３の具体的な数値は、それらの機能が達成
されることを条件として任意の値に設定することができ
る。

また、上記ｊ１１および第２の昇速ステップにおける速
度立上時開ｔ３およびｔ５並びに一定速度保持時間ｔ４
およびｔ６は、磁性流体５の性質、バッキング２６の材
質、設定される低速度ｒ２および中速度ｒ３の値その他
種々の条件に応じて適宜に設定される。

ｕｆｌ上 第３図の（ａ）および（ｂ）に示した駆動方法は、低圧
領域Ｑが既に真空状態になった後に、回転体としてのタ
ーゲット回転軸２１をどのように回転させるかというも
のであった。これに対して（Ｃ）に示す駆動方法は、低
圧領域Ｑが末だ真空状態になっておらず、その低圧領域
Ｑを真空状態にするための排気処理が行われている間に
、ターゲット回転軸２１をどのように回転させるかとい
うものである。

すなわち、この駆動方法においては、Ｘ線を発生させた
いと考える所望のタイミングｔ２が到来した時点ではじ
めて駆動モータ１８を始動、すなわちターゲット回転軸
２１の回転を開始するのではなくて、タイミングｔｏに
おいてポンプ１０゜１１が始動したその時点において、
駆動モータ１８も始動させている。

タイミング１０においては、低圧領域Ｑが末だ真空状態
になっておらず大気圧であるので、この時点でターゲッ
ト回転軸２１を瞬時に立ち上げたとしても、磁性流体軸
封装置１内の残留空気が瞬時に低圧領域Ｑに引き抜かれ
るということはなく、その残留空気は徐々に空気抜きさ
れてゆく。従って、磁性流体５の飛散も防止される。

この駆動方法において、残留空気を抜くためのターゲッ
ト回転軸２１の初期回転速度ｒ４は、通常稼働時におけ
る設定回転速度ｒ１と等しくすることができる。しかし
ながら、この回転速度ｒ４があまり高すぎると、バンキ
ング２６をターゲット回転軸２１になじませるというこ
とが難しくなる。したがって、この初期回転速度ｒ４は
稼働時の設定回転速度ｒ１よりも低くしておくことが好
ましい。

駆ＩＬ机法−←［Ｙ この駆動方法は、上記の駆動方法（Ｃ）と同様に、低圧
領域Ｑを真空状態にするための排気処理が行われている
間に、ターゲット回転軸２１をどのように回転させるか
というものである。

この駆動方法がＬ記の駆動方法（ｃ）と異なっている点
は、タイミング１０で始動させたターゲット回転軸２１
の回転を適宜のタイミングｔ７で停止することである。

ｔｏからｔ７に至るターゲット回転軸２１を回転させて
おくための時間は、磁性流体軸封装置１内の残留空気を
完全に空気抜きすることのできる時間に設定する。

既に説明した通り、低圧領域Ｑを真空にするための排気
処理に要する時間は、２時間などといったように非常に
長い時間を必要とする。従って、上記の駆動方法（Ｃ）
のように、この排気処理を行っている間中、ターゲット
回転軸２１を回転速度ｒ４で継続して回転させておくと
いうことは不経済である。これに対して本駆動方法（ｄ
）のように、目的とする磁性流体軸封装置１内の空気抜
きが終わった後に、ターゲット回転軸２１の回転を止め
ておくことにすれば、軸封装置１内における磁性流体５
の飛散を防止するという初期の［１的を達成できると共
に、ターゲット回転軸２１を不必要に回転させておくこ
とを回避して装置を経済的にｌｊＡｇｌＪさせることが
できる。

なお、ポンプ１０．１１を始動させたとき（タイミング
ｔＯ）、低圧領域Ｑ内の圧力は末だ大気圧である。従っ
て、このとき同時にターゲット回転軸２１の回転を開始
したとしても、直ちに残留空気の空気抜きは始まらない
。それ故、図に破線で示すように、適宜の時間ｔ８だけ
遅らせてターゲット回転軸２１の回転を始めることもで
きる。

［発明の効果］ 請求項１および２の発明によれば、低圧領域が既に減圧
状態（例えば、真空状態）になっている場合に、磁性流
体と接触している回転体を瞬時に高速回転させるのでは
なくて、徐々に回転速度を上げてゆくようにしたので、
磁性流体軸封装置内に残留する残留空気を低圧領域内へ
徐々に空気抜きすることが可能となり、その結果、磁性
流体の飛散を防止して、長期間にわたって良好な軸封機
能を維持することができる。また、磁性流体に大きな遠
心力がかかることもなくなるので、その点からも磁性流
体の飛散を防止することができる。

請求項３および４の発明によれば、低圧領域を排気処理
している開に上記の残留空気がその低圧領域内へ徐々に
空気抜きされる。従来のように、残留空気が瞬時に低圧
領域へ引き抜かれるのではないので、磁性流体が飛散す
ることがない。

請求項５および６の発明によ九ば、流体封止用軸封装置
を徐々に回転体になじませることができ、それ故、その
軸封装置の変形、摩耗を防止して、長期間にわたって良
好な軸封機能を維持することができる。

請求項７および８の発明によれば、磁性流体軸封装置お
よび流体封止用軸封装置の両方によって封止されている
回転体に関して、その両方の軸封機能を共に長期間にわ
たって良好に維持することができる。特に、請求項８の
発明によれば、個々の軸封装置に対応させてそれぞれ固
有の昇速ステップを設けたので、より一層確実に、両方
の軸封装置の軸封機能を良好に維持できるようになった
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る方法を実施するための装置の一実
施例を示す概略図、第２図はその実施例の要部を示す側
断面図、第３図は上記実施例の動作を示すタイミングチ
ャート、第４図は磁性流体軸封装置の一例を示す側断面
図である。 ■−・−磁性流体軸封装置、２・・・磁石、３・・・磁
性部材、４・・・回転軸、５・・・磁性流体、９・・・
真空減圧手段＋　　１０・・・ロータリーポンプ、１１
・・・ターボ分子ポンプ、２１・・・ターゲット回転軸
、Ｐ・・・高圧領域、Ｑ−・・低圧領域

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. （１）磁性流体軸封装置を境にして一方が低圧領域に位
   置し、他方が高圧領域に位置する回転体を駆動するため
   の駆動方法であつて、 上記磁性流体軸封装置は、回転体に対向して配置される
   磁性部材と、その磁性部材と回転体との間に配置される
   磁性流体と、磁性部材、磁性流体そして回転体を通る磁
   束線を形成する磁石とを有しており、 上記駆動方法は、上記低圧領域が既に減圧状態になって
   いるときに、回転体の回転速度を希望する設定回転速度
   まで徐々に上げてゆくことを特徴とする回転体の駆動方
   法。
2. （２）磁性流体軸封装置を境にして一方が低圧領域に位
   置し、他方が高圧領域に位置する回転体を駆動するため
   の駆動方法であつて、 上記磁性流体軸封装置は、回転体に対向して配置される
   磁性部材と、その磁性部材と回転体との間に配置される
   磁性流体と、磁性部材、磁性流体そして回転体を通る磁
   束線を形成する磁石とを有しており、 上記駆動方法は、上記低圧領域が既に減圧状態にあると
   きに、回転体の回転速度を、一旦、希望する設定回転速
   度よりも低い中間回転速度に上げて一定時間その速度を
   保持し、その後、回転体の回転速度を上記の設定回転速
   度まで上げることを特徴とする回転体の駆動方法。
3. （３）磁性流体軸封装置を境にして一方が低圧領域に位
   置し、他方が高圧領域に位置する回転体を駆動するため
   の駆動方法であつて、 上記磁性流体軸封装置は、回転体に対向して配置される
   磁性部材と、その磁性部材と回転体との間に配置される
   磁性流体と、磁性部材、磁性流体そして回転体を通る磁
   束線を形成する磁石とを有しており、 上記駆動方法は、上記低圧領域が未だ減圧状態になつて
   いないとき、その低圧領域を減圧状態にするための排気
   処理が行われている間に、上記回転体を回転させること
   を特徴とする回転体の駆動方法。
4. （４）請求項３記載の回転体の駆動方法であつて、上記
   回転体が回転を開始してから所定時間経過後、低圧領域
   が所望の減圧状態になる前に、その回転体の回転を停止
   することを特徴とする回転体の駆動方法。
5. （５）流体封止用軸封装置と接触しながら回転する回転
   体を駆動するための駆動方法であって、上記流体封止用
   軸封装置は、回転体に沿つて流体が漏れ流れるのを防止
   するものであり、上記駆動方法は、回転体の回転速度を
   希望する設定回転速度まで徐々に上げてゆくことを特徴
   とする回転体の駆動方法。
6. （６）流体封止用軸封装置と接触しながら回転する回転
   体を駆動するための駆動方法であって、上記流体封止用
   軸封装置は、回転体に沿って流体が漏れ流れるのを防止
   するものであり、上記駆動方法は、回転体の回転速度を
   、一旦、希望する設定回転速度よりも低い中間回転速度
   に上げて一定時間その速度を保持し、その後、回転体の
   回転速度を上記の設定回転速度まで上げることを特徴と
   する回転体の駆動方法。
7. （７）磁性流体軸封装置を境にして一方が低圧領域に位
   置し、他方が高圧領域に位置すると共に、流体封止用軸
   封装置と接触しながら回転する回転体を駆動するための
   駆動方法であって、 上記磁性流体軸封装置は、回転体に対向して配置される
   磁性部材と、その磁性部材と回転体との間に配置される
   磁性流体と、磁性部材、磁性流体そして回転体を通る磁
   束線を形成する磁石とを有しており、 上記流体封止用軸封装置は、回転体に沿って流体が漏れ
   流れるのを防止するものであり、上記駆動方法は、回転
   体の回転速度を希望する設定回転速度まで徐々に上げて
   ゆくことを特徴とする回転体の駆動方法。
8. （８）磁性流体軸封装置を境にして一方が低圧領域に位
   置し、他方が高圧領域に位置すると共に、流体封止用軸
   封装置と接触しながら回転する回転体を駆動するための
   駆動方法であって、 上記磁性流体軸封装置は、回転体に対向して配置される
   磁性部材と、その磁性部材と回転体との間に配置される
   磁性流体と、磁性部材、磁性流体そして回転体を通る磁
   束線を形成する磁石とを有しており、 上記流体封止用軸封装置は、回転体に沿つて流体が漏れ
   流れるのを防止するものであり、上記駆動方法は、上記
   低圧領域が既に減圧状態にあるときに、回転体の回転速
   度を希望する設定回転速度よりも低い第１中間回転速度
   に上げて一定時間その速度を保持し、次いで、第２中間
   回転速度まで速度を上げて一定時間その速度を保持し、
   その後、回転体の回転速度を上記の設定回転速度まで上
   げることを特徴とする回転体の駆動方法。