KR101024533B1 - 반도체 제조설비용 히터 제어장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 다수의 히터들을 개별적으로 분리 제어하여 장애발생시 유지보수가 용이하고 각 히터들의 동작상태를 통합하여 모니터링하기 용이하도록 된 반도체 제조설비용 히터 제어장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명의 장치는, 반도체 제조설비에 설치된 N개의 히터를 제어하기 위한 히터 제어장치에 있어서, 상기 히터들의 동작상태를 표시하기 위한 디스플레이모듈; 상기 히터들의 온도를 설정온도로 유지하기 위해 전체 동작을 제어하고 각 히터의 온도와 동작상태를 상기 디스플레이모듈에 디스플레이하는 메인보드; 및 상기 메인보드의 슬롯에 카드형태로 실장되고 상기 히터들로부터 온도신호를 입력받아 상기 메인보드로 전달하며 상기 메인보드의 제어신호에 따라 상기 N개의 히터들을 각각 제어하는 N개의 서브보드들을 포함하여 전원을 오프하거나 장치를 이동시키지 않고도 현장에서 손쉽게 서브보드를 교체할 수 있어 유지보수가 용이한 장점이 있다. 또한 본 발명의 히터 제어장치는 서브보드의 이상 발생시에 전체 제어장치가 다운되지 않도록 하여 안정성을 향상시키고, 대형 LCD를 장착하여 전체 히터들의 온도상태와 이상유무를 쉽게 모니터링할 수 있도록 되어 있다.

히터제어, 반도체 제조공정, 메인보드, 서브보드, 장애, 온도

Description

반도체 제조설비용 히터 제어장치 및 방법{HEATER CONTROLLER AND CONTROL METHOD FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENTS }

본 발명은 반도체 제조설비용 히터 제어장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 다수의 히터들을 개별적으로 분리 제어하여 장애발생시 유지보수가 용이하고 각 히터들의 동작상태를 통합하여 모니터링하기 용이하도록 된 반도체 제조설비용 히터 제어장치 및 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 제조공정에는 CVD(Chemical Vafor Diffusion), 메탈에칭, 확산로(Diffusion Furnace) 등의 공정장비가 사용되고 있고, 이러한 공정장비들에서는 반도체 제조공정의 특성에 따라 각종 가스가 사용됨과 아울러 사용된 가스는 배기관을 통해 배출되도록 되어 있다.

반도체 제조공정상에서 배기관을 통해 배기되는 가스는 온도가 저하되면 분말화되는 성향이 있으므로 배기가스의 특성에 따라 배기관 내부의 온도를 일정하게 유지시켜 주어야만 분말입자의 축적과 배기관이 막히고 산화 및 부식되는 현상을 방지할 수 있다.

이와 같이 배기관 내부가 분말입자에 의해 막히고 산화 및 부식되는 것을 방지하기 위하여 배기관을 다수의 개별 히터들로 연속하여 감싸고 각 히터들에 각각 전원을 인가하여 히터의 발열작용에 의해 배기관을 통과하는 배기가스를 가열시키도록 되어 있다. 이때 각 히터들의 전원을 제어하기 위해 히터 콘트롤러가 사용되고 있는데, 종래의 히터 콘트롤러는 하나의 보드가 전체 개별 히터를 제어하도록 되어 있으므로 어느 한 부분에서 장애가 발생해도 전체 히터들의 동작이 중단되는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해소하기 위해 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 다수의 히터들을 개별적으로 분리 제어하여 장애발생시 유지보수가 용이하고 각 히터들의 동작상태를 통합하여 모니터링하기 용이하도록 된 반도체 제조설비용 히터 제어장치 및 방법을 제공하는 것이다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 장치는, 반도체 제조설비에 설치된 N개의 히터를 제어하기 위한 히터 제어장치에 있어서, 상기 히터들의 동작상태를 표시하기 위한 디스플레이모듈; 상기 히터들의 온도를 설정온도로 유지하기 위해 전체 동작을 제어하고 각 히터의 온도와 동작상태를 상기 디스플레이모듈에 디스플레이하는 메인보드; 및 상기 메인보드의 슬롯에 카드형태로 실장되고 상기 히터들로부터 온도신호를 입력받아 상기 메인보드로 전달하며 상기 메인보드의 제어신호에 따라 상기 N개의 히터들을 각각 제어하는 N개의 서브보드들을 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 메인보드는 제어에 따라 상기 디스플레이모듈에 각 히터들의 현재온도와 서브보드들의 실장상태, 이상여부 등을 표시하여 전체 히터들의 동작 상태를 모니터링하기 편하도록 하는 디스플레이모듈 구동부와, 각 히터들의 기준온도를 설정하기 위한 온도설정부와, 제어신호에 따라 경보음을 발생하는 부저와, N개의 서브 보드를 각각 실장하기 위한 N개의 슬롯과, 제어 프로그램을 실행하여 상기 온도설정부의 설정값을 읽어오고 상기 슬롯에 실장된 서브보드와 히터의 온도센서의 상태를 검사하며, 각 히터의 온도를 읽어와 각 히터의 온도가 설정온도로 유지하도록 해당 서브보드를 제어하고, 서브보드나 온도센서가 오픈되거나 이상 고온이나 이상 저온이 발생하면 상기 부저를 울려 경보를 표출함과 아울러 상기 디스플레이모듈 구동부를 통해 디스플레이하도록 제어하는 제어수단으로 구성된 것이다.

상기 서브보드는 해당 히터의 온도센서로부터 온도신호를 입력받아 처리하여 상기 메인보드로 온도신호를 전달하는 신호처리부와, 상기 메인보드의 제어신호에 따라 해당 히터의 전원을 공급 혹은 차단하는 스위칭부와, 서브보드의 실장여부를 표시하기 위한 실장상태 표시부를 포함한다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 방법은, 일정시간 간격으로 각 히터의 온도를 차례대로 읽어 오는 온도 측정단계; 각 히터별로 서브보드와 온도센서의 연결여부를 판별하여 연결되어 있으면 현재온도와 설정된 기준온도를 비교하여 현재온도가 기준온도보다 낮으면 히터전원을 온시키고, 서브보드와 센서가 오픈상태이거나 현재온도가 기준온도보다 높거나 같으면 히터전원은 오프하는 온도 제어단계; 각 채널의 딥스위치 설정값을 읽어와 온도 테이블과 비교한 후 해당 테이블의 위치에 읽어온 데이터를 저장하는 설정온도 독출단계; 각 히터별로 해당 서브보드가 오픈되었는지를 검사하여 오픈되었으면 해당 히터의 경보상태를 온하고, 오픈상태가 아니면 경보상태를 오프하며, 전체 히터들에 대한 검사를 완료한 후 경보상태가 온인 것이 있으면 경보램프를 점등시키고 부저를 동작시켜 경보음을 발생하는 보드상태 검사단계; 각 히터별로 해당 온도센서의 오픈 여부를 판단하여 해당 온도센서가 오픈되었으면 경보상태를 온하고 오픈되지 않았으면 경보상태를 오프하며, 전체 히터들에 대한 검사가 완료된 후 경보상태가 온인 것이 있으면 경보램프를 점등시키고 부저를 온시켜 경보음을 발생하는 센서상태 검사단계; 경보상태가 온되었으면 램프를 점등시키고, 부저 온/오프 설정이 오프로 설정되어 있으면 부저를 오프하고 아니면 부저를 온시키며, 각 히터의 서브보드와 온도센서의 오픈여부를 디스플레이모듈에 표시하는 경보상태 제어단계; 각 히터별로 폰트 테이블에서 데이터를 가져와 X값과 Y값을 읽어 모든 히터들의 현재온도를 표시하는 온도표시단계; 각 히터별로 롱 타임 타이머를 작동시킨 후 온도 설정값으로 읽어오고, 반복하여 현재온도를 읽어 오다가 롱 타임 타이머가 만료되면 현재온도와 이상고온 기준온도를 비교하여 현재온도가 이상고온 기준온도보다 높으면 히터 전원을 오프하고 경보 상태를 온시키는 이상고온 검사단계; 및 각 히터별로 롱 타임 타이머를 작동시킨 후 온도 설정값으로 읽어오고, 반복하여 현재온도를 읽어 오다가 롱 타임 타이머가 만료되면 현재온도와 이상저온 기준온도를 비교하여 현재온도가 이상저온 기준온도보다 낮으면 히터 전원을 오프하고 경보 상태를 온시키는 이상저온 검사단계를 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 히터 제어장치는 각 히터를 제어하기 위한 서브보드를 슬롯 타입으로 구성하여 메인보드에 손쉽게 탈부착할 수 있고, 전원을 오프하거나 장치를 이동시키지 않고도 현장에서 손쉽게 서브보드를교체할 수 있어 유지보수가 용이 한 장점이 있다.

또한 본 발명의 히터 제어장치는 서브보드의 이상 발생시에 전체 제어장치가 다운되지 않도록 하여 안정성을 향상시키고, 대형 LCD를 장착하여 전체 히터들의 온도상태와 이상유무를 쉽게 모니터링할 수 있도록 되어 있다.

본 발명과 본 발명의 실시에 의해 달성되는 기술적 과제는 다음에서 설명하는 본 발명의 바람직한 실시예들에 의하여 보다 명확해질 것이다. 다음의 실시예들은 단지 본 발명을 설명하기 위하여 예시된 것에 불과하며, 본 발명의 범위를 제한하기 위한 것은 아니다.

도 1은 본 발명에 따른 히터 제어장치의 전체 구성을 도시한 개략도이고, 도 2는 도 1에 도시된 메인보드의 세부 구성 블럭도이며, 도 3은 도 1에 도시된 서브보드의 세부 구성 블럭도이다.

본 발명에 따른 히터 제어장치(100)는 도 1에 도시된 바와 같이, 동작상태를 표시하기 위한 디스플레이모듈(130)과, 전체 동작을 제어하고 각 히터의 온도와 동작상태를 디스플레이모듈(130)에 디스플레이하는 메인보드(110)와, 메인보드(110)의 슬롯에 카드형태로 실장되며 메인보드(110)의 제어신호에 따라 배기관에 설치된 N개의 히터들(200-1~200-N)을 각각 제어하는 N개의 서브보드(120-1~120-N)들로 구성된다.

메인보드(110)는 도 2에 도시된 바와 같이, 메모리(미도시)에 탑재된 제어 프로그램을 실행하여 전체 동작을 제어하는 마이컴(111)과 마이컴(111)의 제어에 따라 디스플레이모듈(130)을 구동하는 LCD 구동부(112), 각 히터들의 기준온도를 설정하기 위한 온도설정부(113), 조작을 위한 버튼부(114), 외부 호스트 장비와 통신하기 위한 통신부(115), 경보음을 발생하는 부저(116), 교류전원을 입력받아 각 부에 직류전원을 제공하는 전원부(117), N개의 서브보드(120-1~120-N)를 각각 실장하기 위한 N개의 슬롯(118-1~118-N)으로 구성된다.

도 2를 참조하면, LCD 구동부(112)는 마이컴(111)의 제어에 따라 디스플레이모듈(130)에 각 히터들의 현재온도와 서브보드들의 실장상태, 이상여부 등을 표시하여 전체 히터들의 동작 상태를 모니터링하기 편하도록 하고, 온도설정부(113)는 N개의 딥스위치(113-1~113-N)로 이루어져 각 히터들의 기준온도를 각각 설정한다. 버튼부(114)와 통신부(115)는 부가적인 구성으로서, 사용자가 버튼으로 동작을 제어하거나 온도를 설정할 수 있게 하고, 통신부(115)는 RS-232C나 USB 포트 등으로 구현되어 제어 프로그램을 업그레이드하거나 통신모뎀(미도시)을 통해 외부 호스트장치와 연결되어 원격제어를 가능하게 한다.

부저(116)는 마이컴(111)의 제어에 따라 경보음을 발생하고, 슬롯(118-1~118-N)은 서브보드(120-1~120-N)측으로 해당 히터의 전원을 온/오프하기 위한 제어신호를 전달하고, 서브보드(120-1~120-N)로부터 온도신호를 입력받아 마이컴(111)으로 전달한다.

마이컴(111)은 나중에 자세히 설명하는 바와 같이 제어 프로그램을 실행하여 일정시간 간격으로 온도설정부(113)의 설정값을 읽고 서브보드(120-1~120-N)와 각 히터에 설치된 온도센서의 상태를 검사하며, 각 히터의 온도를 읽어와 각 히터의 온도를 설정온도로 제어하고, 경보를 울리거나 온도 및 동작상태를 디스플레이모듈(130)에 표시하도록 제어한다.

서브보드(120-1~120-N)는 도 3에 도시된 바와 같이, 해당 히터의 온도센서로부터 온도신호를 입력받아 처리하여 메인보드(110)로 온도신호를 전달하는 신호처리부(124)와, 메인보드(110)의 제어신호에 따라 해당 히터의 전원을 공급 혹은 차단하는 스위칭부(122)로 구성된다. 그리고 서브보드(120-1~120-N)의 실장여부를 표시하기 위한 실장표시부(124)를 더 구비할 수 있다.

도 3을 참조하면, 스위칭부(122)는 트라이악 등과 같은 반도체 스위칭소자나 계전기 등으로 구현될 수 있으며, 메인보드(110)의 제어신호에 따라 온되면 히터전원을 공급하고 오프되면 히터전원의 공급을 차단한다. 신호처리부(124)는 각 히터(200)에 내장된 온도센서의 아날로그신호를 증폭하여 마이컴(111)으로 전달한다. 실장표시부(126)는 슬롯(118-1~118-N)의 특정 단자를 접지시키는 접지회로 등으로 구현되어 마이컴(111)측에 서브보드(120-1~120-N)의 실장여부를 알려준다.

이어서, 상기와 같이 구성되는 히터 제어장치의 동작절차를 도 4 내지 도13을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

도 4는 본 발명에 따른 히터 제어장치의 전체 동작 절차를 도시한 순서도이고, 도 5는 도 4에 도시된 온도측정단계의 세부 흐름도이고, 도 6은 도 4에 도시된 온도 제어단계의 세부 흐름도이며, 도 7은 도 4에 도시된 설정온도 검출단계의 세부 흐름도이고, 도 8은 도 4에 도시된 서브보드 검사단계의 세부 흐름도이며, 도 9는 도 4에 도시된 온도센서 검사단계의 세부 흐름도이고, 도 10은 도 4에 도시된 경보제어단계의 세부 흐름도이며, 도 11은 도 4에 도시된 온도 표시단계의 세부 흐름도이고, 도 12는 도 4에 도시된 이상 고온 검사단계의 세부 흐름도이며, 도 13은 도 4에 도시된 이상 저온 검사단계의 세부 흐름도이다. 도 4 내지 도 13에서 하나의 채널은 하나의 히터에 대응한다.

본 발명에 따라 N개의 히터를 제어하는 절차는 도 4에 도시된 바와 같이, 일정시간(10msec) 간격(S1)으로 실행하는 온도 측정단계(S2)와, 온도 제어단계(S3), 설정온도 독출단계(S4), 서브보드상태 검사단계(S5), 온도센서상태 검사단계(S6), 경보상태 제어단계(S7), 온도표시단계(S8), 이상고온 검사단계(S9), 이상저온 검사단계(S10)로 구성된다.

온도 측정단계(S2)에서는 도 5에 도시된 바와 같이, 200밀리초 간격으로 제1 내지 제8 채널의 히터(200)의 온도를 순차적으로 읽어 오고(S201~S209), 온도제어단계(S3)에서는 도 6에 도시된 바와 같이 각 히터별로 서브보드와 온도센서의 연결여부를 판별하여 연결되어 있으면 현재온도(Current)와 설정된 기준온도(Set)를 비교하여 현재온도가 기준온도보다 낮으면 히터전원은 온시키고, 서브보드와 온도센서가 오픈상태이거나 현재온도가 기준온도보다 높거나 같으면 히터전원은 오프시킨다(S301~S307). 이후 히터를 변경하여 상기와 같은 동작을 각 히터들에 대해 반복한 후 모두 완료되면 종료한다(S308,S309).

설정온도 독출단계(S4)에서는 도 7에 도시된 바와 같이, 각 채널의 딥(DIP) 스위치 설정값을 읽어와 온도 테이블과 비교한 후 해당 테이블의 위치에 읽어온 데 이터를 저장한다(S401~S404). 이어 채널을 증가시켜 전체 채널에 대한 설정값을 읽어 온 후 종료한다(S405,S406).

보드상태 검사단계(S5)에서는 도 8에 도시된 바와 같이, 서브보드(120-1~120-N)가 오픈되었는지를 검사하여 오픈되었으면 해당 히터의 경보상태를 온하고, 오픈상태가 아니면 경보상태를 오프한다(S501~S505). 전체 히터들에 대한 검사를 완료한 후 경보상태가 온인 것이 있으면 경보램프를 점등시키고, 부저(116)를 동작시켜 경보음을 발생한다(S506,S507).

센서상태 검사단계(S6)에서는 도 9에 도시된 바와 같이, 각 히터별로 온도센서 오픈 여부를 판단하여 온도센서가 오픈되었으면 경보상태를 온하고 오픈되지 않았으면 경보상태를 오프한다(S601~S605). 전체 히터들에 대한 검사가 완료된 후 경보상태가 온인 경우에는 램프를 점등시키고 부저를 온시켜 경보음을 발생한다(S606,S607).

경보상태 제어단계(S7)에서는 도 10에 도시된 바와 같이, 경보상태가 온되었으면 램프를 점등시키고, 부저 온/오프 설정이 오프로 설정되어 있으면 부저를 오프하고 아니면 부저를 온시킨다(S701~S706). 그리고 각 히터의 서브보드가 오픈되었는지를 판단하여 오픈되었으면 디스플레이에 경보를 표시하고, 오프되지 않았으면 경보표시를 클리어시킨다(S707~S710). 그리고 각 히터의 온도센서가 오픈되었는지를 판단하여 오픈되었으면 디스플레이에 경보를 표시하고 오픈되지 않았으면 경보표시를 클리어시킨다(S711~S714). 모든 히터들에 대한 처리가 완료되면 종료한다.

온도표시단계(S8)에서는 도 11에 도시된 바와 같이, 각 히터별로 폰트 테이블에서 데이터를 가져와 X값과 Y값을 읽어 LCD 영역에 온도를 표시한다(S801~S805). 모든 히터들에 대한 처리가 완료되면 종료한다(S806).

이상 고온 검사단계(S9)에서는 도 12에 도시된 바와 같이, 각 히터별로 30초 타이머(롱 타임 타이머)를 작동시킨 후 온도 설정값으로 읽어오고, 반복하여 현재온도를 읽어 오다가 타이머가 30초를 경과한 후에 현재온도(C/T)와 이상고온 기준온도(S/T)를 비교하여 현재온도가 이상고온 기준온도보다 계속 높으면 히터 전원을 오프하고 경보 상태를 온시킨다(S901~S908). 이와 같은 검사를 모든 히터들에 대해 반복한 후 모두 완료하면 검사를 종료한다(S909). 이때 이상고온을 판단하기 위한 기준온도는 설정온도에 대한 일정비율로 정의할 수도 있다. 예컨대, 기준온도가 70도인 경우 이상고온의 기준을 +5%로 정하면 73.5도가 이상고온의 기준온도가 된다.

이상 저온 검사단계(S10)에서는 도 13에 도시된 바와 같이, 각 히터별로 반복하여 수행하는데, 30초 타이머를 작동시킨 후 온도 설정값으로 읽어오고, 반복하여 현재온도를 읽어 오다가 타이머가 30초를 경과한 후에 현재온도와 이상저온 기준온도를 비교하여 현재온도가 이상저온 기준온도보다 계속 낮으면 히터 전원을 오프하고 경보 상태를 온시킨다(S101~S108). 이와 같은 검사를 모든 히터들에 대해 반복한 후 모두 완료하면 검사를 종료한다(S109). 이때 이상 저온을 판단하기 위한 기준온도는 설정온도에 대한 일정비율로 정의할 수도 있다. 예컨대, 기준온도가 70도인 경우 이상저온의 기준을 -5%로 정하면 66.5도가 이상 저온의 기준온도가 된다.

이상에서 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 히터 제어장치의 전체 구성을 도시한 개략도,

도 2는 도 1에 도시된 메인보드의 세부 구성 블럭도,

도 3은 도 1에 도시된 서브보드의 세부 구성 블럭도,

도 4는 본 발명에 따른 히터 콘트롤러의 전체 동작 절차를 도시한 순서도,

도 5는 도 4에 도시된 온도측정단계의 세부 흐름도,

도 6은 도 4에 도시된 온도 제어단계의 세부 흐름도,

도 7은 도 4에 도시된 설정 온도 검출단계의 세부 흐름도,

도 8은 도 4에 도시된 보드검사단계의 세부 흐름도,

도 9는 도 4에 도시된 센서검사단계의 세부 흐름도이고,

도 10은 도 4에 도시된 경보제어단계의 세부 흐름도,

도 11은 도 4에 도시된 온도표시단계의 세부 흐름도,

도 12는 도 4에 도시된 이상고온 검사단계의 세부 흐름도,

도 13은 도 4에 도시된 이상저온 검사단계의 세부 흐름도이다.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

110: 메인보드 120,120-1~120-N: 서브보드

130: 디스플레이모듈 200,200-1~200-N: 히터

111: 마이컴 112: LCD구동부

113: 온도설정부 118-1~118-N: 슬롯

Claims (5)

1. 반도체 제조설비에 설치된 N개의 히터를 제어하기 위한 히터 제어장치에 있어서,

   상기 히터들의 동작상태를 표시하기 위한 디스플레이모듈;

   상기 히터들의 온도를 설정온도로 유지하기 위해 전체 동작을 제어하고 각 히터의 온도와 동작상태를 상기 디스플레이모듈에 디스플레이하는 메인보드; 및

   상기 메인보드의 슬롯에 카드형태로 실장되고 상기 히터들로부터 온도신호를 입력받아 상기 메인보드로 전달하며 상기 메인보드의 제어신호에 따라 상기 N개의 히터들을 각각 제어하는 N개의 서브보드들을 포함하고,

   상기 메인보드는

   제어에 따라 상기 디스플레이모듈에 각 히터들의 현재온도와 서브보드들의 실장상태, 이상여부 등을 표시하여 전체 히터들의 동작 상태를 모니터링하기 편하도록 하는 디스플레이모듈 구동부와,

   각 히터들의 기준온도를 설정하기 위한 온도설정부와,

   제어신호에 따라 경보음을 발생하는 부저와,

   N개의 서브보드를 각각 실장하기 위한 N개의 슬롯과,

   제어 프로그램을 실행하여 상기 온도설정부의 설정값을 읽어오고 상기 슬롯에 실장된 서브보드와 히터의 온도센서의 상태를 검사하며, 각 히터의 온도를 읽어와 각 히터의 온도가 설정온도로 유지하도록 해당 서브보드를 제어하고, 서브보드나 온도센서가 오픈되거나 이상 고온이나 이상 저온이 발생하면 상기 부저를 울려 경보를 표출함과 아울러 상기 디스플레이모듈 구동부를 통해 디스플레이하도록 제어하는 제어수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비용 히터 제어장치.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서, 상기 온도설정부는 N개의 딥 스위치로 구현되고,

   상기 메인보드는 외부 호스트와 통신하기 위한 통신부와, 조작을 위한 버튼부를 더 구비한 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비용 히터 제어장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 서브보드는

   해당 히터의 온도센서로부터 온도신호를 입력받아 처리하여 상기 메인보드로 온도신호를 전달하는 신호처리부와, 상기 메인보드의 제어신호에 따라 해당 히터의 전원을 공급 혹은 차단하는 스위칭부와, 서브보드의 실장여부를 표시하기 위한 실장상태 표시부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비용 히터 제어장치.
5. 일정시간 간격으로 각 히터의 온도를 차례대로 읽어 오는 온도 측정단계;

   각 히터별로 서브보드와 온도센서의 연결여부를 판별하여 연결되어 있으면 현재온도와 설정된 기준온도를 비교하여 현재온도가 기준온도보다 낮으면 히터전원 을 온시키고, 서브보드와 센서가 오픈상태이거나 현재온도가 기준온도보다 높거나 같으면 히터전원은 오프하는 온도 제어단계;

   각 채널의 딥스위치 설정값을 읽어와 온도 테이블과 비교한 후 해당 테이블의 위치에 읽어온 데이터를 저장하는 설정온도 독출단계;

   각 히터별로 해당 서브보드가 오픈되었는지를 검사하여 오픈되었으면 해당 히터의 경보상태를 온하고, 오픈상태가 아니면 경보상태를 오프하며, 전체 히터들에 대한 검사를 완료한 후 경보상태가 온인 것이 있으면 경보램프를 점등시키고 부저를 동작시켜 경보음을 발생하는 보드상태 검사단계;

   각 히터별로 해당 온도센서의 오픈 여부를 판단하여 해당 온도센서가 오픈되었으면 경보상태를 온하고 오픈되지 않았으면 경보상태를 오프하며, 전체 히터들에 대한 검사가 완료된 후 경보상태가 온인 것이 있으면 경보램프를 점등시키고 부저를 온시켜 경보음을 발생하는 센서상태 검사단계;

   경보상태가 온되었으면 램프를 점등시키고, 부저 온/오프 설정이 오프로 설정되어 있으면 부저를 오프하고 아니면 부저를 온시키며, 각 히터의 서브보드와 온도센서의 오픈여부를 디스플레이모듈에 표시하는 경보상태 제어단계;

   각 히터별로 폰트 테이블에서 데이터를 가져와 X값과 Y값을 읽어 모든 히터들의 현재온도를 표시하는 온도표시단계;

   각 히터별로 롱 타임 타이머를 작동시킨 후 온도 설정값으로 읽어오고, 반복하여 현재온도를 읽어 오다가 롱 타임 타이머가 만료되면 현재온도와 이상고온 기준온도를 비교하여 현재온도가 이상고온 기준온도보다 높으면 히터 전원을 오프하 고 경보 상태를 온시키는 이상고온 검사단계; 및

   각 히터별로 롱 타임 타이머를 작동시킨 후 온도 설정값으로 읽어오고, 반복하여 현재온도를 읽어 오다가 롱 타임 타이머가 만료되면 현재온도와 이상저온 기준온도를 비교하여 현재온도가 이상저온 기준온도보다 낮으면 히터 전원을 오프하고 경보 상태를 온시키는 이상저온 검사단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비용 히터 제어방법.

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