KR20100107947A - 반도체 제조설비용 히터 제어장치 및 방법 - Google Patents
반도체 제조설비용 히터 제어장치 및 방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20100107947A KR20100107947A KR1020090026328A KR20090026328A KR20100107947A KR 20100107947 A KR20100107947 A KR 20100107947A KR 1020090026328 A KR1020090026328 A KR 1020090026328A KR 20090026328 A KR20090026328 A KR 20090026328A KR 20100107947 A KR20100107947 A KR 20100107947A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- temperature
- heater
- alarm
- heaters
- state
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67248—Temperature monitoring
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Control Of Resistance Heating (AREA)
Abstract
Description
Claims (5)
- 반도체 제조설비에 설치된 N개의 히터를 제어하기 위한 히터 제어장치에 있어서,상기 히터들의 동작상태를 표시하기 위한 디스플레이모듈;상기 히터들의 온도를 설정온도로 유지하기 위해 전체 동작을 제어하고 각 히터의 온도와 동작상태를 상기 디스플레이모듈에 디스플레이하는 메인보드; 및상기 메인보드의 슬롯에 카드형태로 실장되고 상기 히터들로부터 온도신호를 입력받아 상기 메인보드로 전달하며 상기 메인보드의 제어신호에 따라 상기 N개의 히터들을 각각 제어하는 N개의 서브보드들을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비용 히터 제어장치.
- 제1항에 있어서, 상기 메인보드는제어에 따라 상기 디스플레이모듈에 각 히터들의 현재온도와 서브보드들의 실장상태, 이상여부 등을 표시하여 전체 히터들의 동작 상태를 모니터링하기 편하도록 하는 디스플레이모듈 구동부와,각 히터들의 기준온도를 설정하기 위한 온도설정부와,제어신호에 따라 경보음을 발생하는 부저와,N개의 서브보드를 각각 실장하기 위한 N개의 슬롯과,제어 프로그램을 실행하여 상기 온도설정부의 설정값을 읽어오고 상기 슬롯 에 실장된 서브보드와 히터의 온도센서의 상태를 검사하며, 각 히터의 온도를 읽어와 각 히터의 온도가 설정온도로 유지하도록 해당 서브보드를 제어하고, 서브보드나 온도센서가 오픈되거나 이상 고온이나 이상 저온이 발생하면 상기 부저를 울려 경보를 표출함과 아울러 상기 디스플레이모듈 구동부를 통해 디스플레이하도록 제어하는 제어수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비용 히터 제어장치.
- 제2항에 있어서, 상기 온도설정부는 N개의 딥 스위치로 구현되고,상기 메인보드는 외부 호스트와 통신하기 위한 통신부와, 조작을 위한 버튼부를 더 구비한 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비용 히터 제어장치.
- 제1항에 있어서, 상기 서브보드는해당 히터의 온도센서로부터 온도신호를 입력받아 처리하여 상기 메인보드로 온도신호를 전달하는 신호처리부와, 상기 메인보드의 제어신호에 따라 해당 히터의 전원을 공급 혹은 차단하는 스위칭부와, 서브보드의 실장여부를 표시하기 위한 실장상태 표시부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비용 히터 제어장치.
- 일정시간 간격으로 각 히터의 온도를 차례대로 읽어 오는 온도 측정단계;각 히터별로 서브보드와 온도센서의 연결여부를 판별하여 연결되어 있으면 현재온도와 설정된 기준온도를 비교하여 현재온도가 기준온도보다 낮으면 히터전원 을 온시키고, 서브보드와 센서가 오픈상태이거나 현재온도가 기준온도보다 높거나 같으면 히터전원은 오프하는 온도 제어단계;각 채널의 딥스위치 설정값을 읽어와 온도 테이블과 비교한 후 해당 테이블의 위치에 읽어온 데이터를 저장하는 설정온도 독출단계;각 히터별로 해당 서브보드가 오픈되었는지를 검사하여 오픈되었으면 해당 히터의 경보상태를 온하고, 오픈상태가 아니면 경보상태를 오프하며, 전체 히터들에 대한 검사를 완료한 후 경보상태가 온인 것이 있으면 경보램프를 점등시키고 부저를 동작시켜 경보음을 발생하는 보드상태 검사단계;각 히터별로 해당 온도센서의 오픈 여부를 판단하여 해당 온도센서가 오픈되었으면 경보상태를 온하고 오픈되지 않았으면 경보상태를 오프하며, 전체 히터들에 대한 검사가 완료된 후 경보상태가 온인 것이 있으면 경보램프를 점등시키고 부저를 온시켜 경보음을 발생하는 센서상태 검사단계;경보상태가 온되었으면 램프를 점등시키고, 부저 온/오프 설정이 오프로 설정되어 있으면 부저를 오프하고 아니면 부저를 온시키며, 각 히터의 서브보드와 온도센서의 오픈여부를 디스플레이모듈에 표시하는 경보상태 제어단계;각 히터별로 폰트 테이블에서 데이터를 가져와 X값과 Y값을 읽어 모든 히터들의 현재온도를 표시하는 온도표시단계;각 히터별로 롱 타임 타이머를 작동시킨 후 온도 설정값으로 읽어오고, 반복하여 현재온도를 읽어 오다가 롱 타임 타이머가 만료되면 현재온도와 이상고온 기준온도를 비교하여 현재온도가 이상고온 기준온도보다 높으면 히터 전원을 오프하 고 경보 상태를 온시키는 이상고온 검사단계; 및각 히터별로 롱 타임 타이머를 작동시킨 후 온도 설정값으로 읽어오고, 반복하여 현재온도를 읽어 오다가 롱 타임 타이머가 만료되면 현재온도와 이상저온 기준온도를 비교하여 현재온도가 이상저온 기준온도보다 낮으면 히터 전원을 오프하고 경보 상태를 온시키는 이상저온 검사단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비용 히터 제어방법.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020090026328A KR101024533B1 (ko) | 2009-03-27 | 2009-03-27 | 반도체 제조설비용 히터 제어장치 및 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020090026328A KR101024533B1 (ko) | 2009-03-27 | 2009-03-27 | 반도체 제조설비용 히터 제어장치 및 방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20100107947A true KR20100107947A (ko) | 2010-10-06 |
KR101024533B1 KR101024533B1 (ko) | 2011-03-31 |
Family
ID=43129590
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020090026328A KR101024533B1 (ko) | 2009-03-27 | 2009-03-27 | 반도체 제조설비용 히터 제어장치 및 방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101024533B1 (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020246679A1 (ko) * | 2019-06-03 | 2020-12-10 | (주)누리텔레콤 | 히터 온도 변화를 이용한 히터 이상 여부 판단 장치 및 그 방법 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101341108B1 (ko) * | 2013-05-10 | 2013-12-13 | 김학출 | 반도체 제조설비의 히터 제어장치 |
KR102050333B1 (ko) | 2019-05-24 | 2019-11-29 | 신재만 | 부분제어 가능한 히팅시스템, 열선 히팅컨트롤러 및 이의 열선 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3853302B2 (ja) * | 2002-08-09 | 2006-12-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理方法及び熱処理装置 |
KR100969696B1 (ko) * | 2007-06-25 | 2010-07-14 | 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키 | 가열 장치, 이것을 이용한 기판 처리 장치 및 반도체장치의 제조 방법 및 관통 부재 |
-
2009
- 2009-03-27 KR KR1020090026328A patent/KR101024533B1/ko active IP Right Grant
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020246679A1 (ko) * | 2019-06-03 | 2020-12-10 | (주)누리텔레콤 | 히터 온도 변화를 이용한 히터 이상 여부 판단 장치 및 그 방법 |
KR20200139019A (ko) * | 2019-06-03 | 2020-12-11 | (주)누리텔레콤 | 히터 온도 변화를 이용한 히터 이상 여부 판단 장치 및 그 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101024533B1 (ko) | 2011-03-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1703348B1 (en) | Programmable controller system | |
KR100799410B1 (ko) | 프로그래머블 컨트롤러 | |
US8289146B2 (en) | System for testing NAC operability using reduced operating voltage | |
KR101024533B1 (ko) | 반도체 제조설비용 히터 제어장치 및 방법 | |
CN108508343A (zh) | 一种印制电路板的检测装置及方法 | |
EP3070883A1 (en) | Diagnostic system for home appliance and method for diagnosting home appliance | |
JP2008014521A (ja) | 制御装置 | |
JP6752169B2 (ja) | 熱電対式液位計測システム | |
JP2006294007A (ja) | プログラマブル・コントローラ装置 | |
JP2002109656A (ja) | ガス漏れ検知システム | |
JP5372398B2 (ja) | 多成分ガス検知装置 | |
JP4719460B2 (ja) | バーンイン装置 | |
JP2009244075A (ja) | 多成分ガス検知装置 | |
JP2001306155A (ja) | 制御装置 | |
JP2982031B2 (ja) | 集積回路の異常検知装置 | |
JP2007328383A (ja) | 電子機器、監視装置および監視システム | |
JP2004303038A (ja) | 火災報知設備 | |
JP2010104148A (ja) | ディジタル保護制御装置とその電源リップル監視基板および監視方法 | |
JP2007173885A (ja) | ネットワーク中継装置の寿命管理方式 | |
JP4679378B2 (ja) | 信号監視回路及び信号監視装置 | |
JP2002311069A (ja) | 電力モニタ及びそれを使用した配電盤システム | |
WO2021111787A1 (ja) | 物理量測定装置および物理量監視システム | |
JP3973918B2 (ja) | エレベーター用電磁スイッチの監視装置 | |
JPH09304471A (ja) | 試料実測式環境試験装置 | |
JPH07244696A (ja) | ビル管理システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20131224 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150102 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160226 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170120 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180105 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190109 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20200115 Year of fee payment: 10 |