KR101010497B1 - 기판 처리 시스템, 검사 장치 및 검사 방법 - Google Patents

기판 처리 시스템, 검사 장치 및 검사 방법 Download PDF

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Abstract

택트 타임을 만족하는 일정 속도로 검사 대상물을 안정 반송하면서, 촬상부에 입사하는 광량을 일정하게 조정하여 안정한 고정밀도의 검사를 실현한다.
기판 처리 시스템의 인라인 장치로서 구성되는 검사 장치에, 검사 대상물로서의 기판을 실질적으로 일정한 반송 속도로 반송하는 반송 유닛과, 반송 중인 기판을 촬상하는 라인 카메라(21)와, 촬상 제어부(300)와, 화상 처리부(301)를 설치한다. 촬상 제어부(300)는, 기판의 광의 반사율에 관한 특성 데이터(320)에 따라, 라인 카메라(21)의 노광 시간을 제어한다. 즉, 광의 반사율이 높은 기판에 대해서는 당해 반사율에 따라 노광 시간을 짧게 하는 한편으로, 광의 반사율이 낮은 기판에 대해서는 당해 반사율에 따라 노광 시간을 길게 한다. 또한, 필요에 따라 화상 처리부(301)가 라인 카메라(21)로부터의 화상 데이터의 종횡비가 1:1이 되도록, 보간 처리 혹은 솎아냄 처리를 행하여 촬상 데이터(321)를 작성한다.

Description

기판 처리 시스템, 검사 장치 및 검사 방법{SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM, INSPECTION APPARATUS AND INSPECTION METHOD}
본 발명은, 기판 등의 검사 대상물을 반송하면서 촬상하여, 당해 대상물의 표면의 상태를 검사하는 기술에 관한 것이다.
액정 제조 공정에서는, 플랫 패널 디스플레이용의 유리 기판의 표면을 촬상하여, 표면의 상태(예를 들면 레지스트액의 도포 얼룩)를 검사하는 검사 장치가 이용된다. 이러한 검사 장치에서는, 제조 공정에 의해, 다양한 밝기(반사율)의 유리 기판이 검사 대상이 된다. 예를 들면, 크롬(Chromium)이나 몰리브덴(Molybdenum) 등의 금속막이 표면에 형성된 상태의 기판은 표면에 있어서의 광의 반사율이 높고, 밝은 기판이 된다. 또, 복수 레이어로 각종 패턴이 표면에 형성된 상태의 기판은 표면에 있어서의 광의 반사율이 낮고, 어두운 기판이 된다. 따라서, 검사 장치에 있어서, 안정된 검사를 행하기 위해서는, 유리 기판의 반사율 변화에 따라, 촬상부에 입사하는 광량을 일정하게 하는 것이 바람직하다.
유리 기판의 반사율 변화에 따라, 촬상부에 입사하는 광량을 일정하게 하는 수법으로서, 조명광의 광량을 조정하는 것을 생각할 수 있다. 그러나, 우수한 특 성을 갖는 조명광으로서 널리 이용되는 할로겐 램프는, 광량을 변동시키면, 광량이 안정될 때까지 비교적 장시간을 요한다는 문제가 있다. 액정 제조 공정 등에 있어서, 제조 라인에 장착되는 장치(인라인 장치)는, 미리 정해진 택트 타임 내에서의 처리가 요구된다는 사정이 있다. 이것은, 라인 센서를 사용한 검사 장치를 제조 라인에 장착하여, 유리 기판(대상물)의 전체 수의 검사를 실행하는 경우도 동일하다.
즉, 할로겐 램프를 이용하여 유리 기판을 조명하는 검사 장치에서는, 조명광의 광량이 안정될 때까지 대기한 후 검사하면, 택트 타임 내에 검사가 완료하지 않는 사태가 발생할 우려가 있다. 그러나, 광량이 안정될 때까지 대기하지 않고 검사를 실행하면, 약간의 광량 변동을 도포 얼룩으로서 인식해 버려, 검사 정밀도가 저하한다는 문제를 발생한다.
그래서 종래로부터, 조명광의 광량을 조정하는 것이 아니라, 촬상부에 있어서의 노광 시간을 조정함으로써, 촬상부에 입사하는 광량을 일정하게 하는 기술이 제안되어 있다. 이러한 검사 장치가, 예를 들면, 특허 문헌 1에 기재되어 있다.
[특허 문헌 1] 일본국 특허공개 2005-024271호 공보
그런데 특허 문헌 1에 기재되어 있는 기술에서는, 주(主)주사 방향의 화소 사이즈와 부(副)주사 방향의 화소 사이즈를 동일하게 하기 위해, 노광 시간의 변경에 추종하여, 유리 기판의 반송 속도도 변경할 필요가 있다.
그러나 유리 기판의 밝기에 따라 반송 속도를 변경하는 경우, 변경 가능한 모든 속도역에서 속도 변동 없이 유리 기판을 안정 반송하는 것은 어렵다는 문제가 있다. 또, 어두운 유리 기판에 있어서, 노광 시간을 연장시키면, 그만큼 반송 속도가 느려져, 택트 타임 내에 검사를 완료할 수 없다는 문제도 있었다.
본 발명은, 상기 과제를 감안하여 이루어진 것이고, 택트 타임을 만족하는 일정 속도로 검사 대상물을 안정 반송하면서, 촬상부에 입사하는 광량을 일정하게 조정하여 안정한 고정밀도의 검사를 실현하는 것을 목적으로 한다.
상기의 과제를 해결하기 위해, 청구항 1의 발명은, 기판에 대한 처리를 실행하는 복수의 처리 유닛과, 상기 복수의 처리 유닛의 사이에서 실질적으로 일정한 반송 속도로 기판을 반송하는 반송 수단과, 상기 반송 수단에 의해 반송 중인 기판을 검사 대상물로 하여, 당해 기판의 표면을 검사하는 검사 장치를 구비하고, 상기 검사 장치는, 기판의 광의 반사율에 관한 특성 정보를 미리 기억하는 기억 수단과, 상기 반송 수단에 의해 반송 중인 기판을 촬상하는 촬상 수단과, 상기 촬상 수단이 기판을 촬상할 때의 노광 시간을 상기 기억 수단에 기억된 상기 기판의 특성 정보 에 따라 제어하는 촬상 제어 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.
또, 청구항 2의 발명은, 청구항 1의 발명에 따른 기판 처리 시스템으로서, 상기 반송 수단의 반송 속도는, 상기 복수의 처리 유닛에 있어서의 택트 타임에 따라 결정되어 있는 것을 특징으로 한다.
또, 청구항 3의 발명은, 청구항 1 또는 2의 발명에 따른 기판 처리 시스템으로서, 상기 촬상 제어 수단은, 상기 촬상 수단에 의한 촬상 시의 수광량이 실질적으로 같아지도록 상기 노광 시간을 제어하는 것을 특징으로 한다.
또, 청구항 4의 발명은, 청구항 1 또는 2의 발명에 따른 기판 처리 시스템으로서, 상기 촬상 수단은, 상기 반송 수단에 의한 기판의 반송 방향에 대해 상기 기판의 표면을 분할하여 촬상하는 것을 특징으로 한다.
또, 청구항 5의 발명은, 청구항 4의 발명에 따른 기판 처리 시스템으로서, 상기 촬상 제어 수단은, 상기 촬상 수단이 기판을 분할하여 촬상할 때의 노광 간격을 상기 기억 수단에 기억된 상기 기판의 특성 정보에 따라 제어하는 것을 특징으로 한다.
또, 청구항 6의 발명은, 청구항 5의 발명에 따른 기판 처리 시스템으로서, 상기 검사 장치는, 상기 촬상 수단으로부터의 화상 데이터의 종횡비가 1:1이 되도록 보간 처리 또는 솎아냄 처리를 행하여 기판에 있어서의 검사 영역의 전역을 표현한 촬상 데이터를 작성하는 것을 특징으로 한다.
또, 청구항 7의 발명은, 청구항 1 또는 2의 발명에 따른 기판 처리 시스템으로서, 상기 촬상 수단에 의해 촬상되는 기판의 표면을 조명하는 할로겐 램프를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.
또, 청구항 8의 발명은, 검사 대상물의 표면을 검사하는 검사 장치로서, 검사 대상물의 광의 반사율에 관한 특성 정보를 미리 기억하는 기억 수단과, 실질적으로 일정한 반송 속도로 검사 대상물을 반송하는 반송 수단과, 상기 반송 수단에 의해 반송 중인 검사 대상물을 촬상하는 촬상 수단과, 상기 촬상 수단이 검사 대상물을 촬상할 때의 노광 시간을 상기 기억 수단에 기억된 상기 검사 대상물의 특성 정보에 따라 제어하는 촬상 제어 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.
또, 청구항 9의 발명은, 청구항 8의 발명에 따른 검사 장치로서, 상기 촬상 제어 수단은, 상기 촬상 수단에 의한 촬상 시의 수광량이 실질적으로 같아지도록 상기 노광 시간을 제어하는 것을 특징으로 한다.
또, 청구항 10의 발명은, 청구항 8 또는 9의 발명에 따른 검사 장치로서, 상기 촬상 수단은, 상기 반송 수단에 의한 검사 대상물의 반송 방향에 대해 상기 검사 대상물의 표면을 분할하여 촬상하는 것을 특징으로 한다.
또, 청구항 11의 발명은, 청구항 10의 발명에 따른 검사 장치로서, 상기 촬상 제어 수단은, 상기 촬상 수단이 검사 대상물을 분할하여 촬상할 때의 노광 간격을 상기 기억 수단에 기억된 상기 검사 대상물의 특성 정보에 따라 제어하는 것을 특징으로 한다.
또, 청구항 12의 발명은, 청구항 8 또는 9의 발명에 따른 검사 장치로서, 상기 촬상 수단에 의해 촬상되는 검사 대상물의 표면을 조명하는 할로겐 램프를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.
또, 청구항 13의 발명은, 청구항 8 또는 9의 발명에 따른 검사 장치로서, 상기 검사 대상물은, 플랫 패널 디스플레이용의 유리 기판, 프린트 기판 또는 반도체 기판인 것을 특징으로 한다.
또, 청구항 14의 발명은, 검사 대상물의 표면을 검사하는 검사 방법으로서, (a) 검사 대상물의 광의 반사율에 관한 특성 정보를 기억 수단에 미리 기억하는 공정과, (b) 실질적으로 일정한 반송 속도로 검사 대상물을 반송하는 공정과, (c) 상기 (b) 공정에 의해 반송 중인 검사 대상물을 촬상 수단에 의해 촬상하는 공정과, (d) 상기 촬상 수단이 검사 대상물을 촬상할 때의 노광 시간을 상기 기억 수단에 기억된 상기 검사 대상물의 특성 정보에 따라 제어하는 공정을 갖는 것을 특징으로 한다.
또, 청구항 15의 발명은, 청구항 14의 발명에 따른 검사 방법으로서, 상기 (d) 공정에 있어서, 상기 노광 시간은, 상기 촬상 수단에 의한 촬상 시의 수광량이 실질적으로 같아지도록 제어되는 것을 특징으로 한다.
또, 청구항 16의 발명은, 청구항 14 또는 15의 발명에 따른 검사 방법으로서, 상기 촬상 수단은, 상기 (b) 공정에 있어서의 검사 대상물의 반송 방향에 대해 상기 검사 대상물의 표면을 분할하여 촬상하고, (e) 상기 촬상 수단이 검사 대상물을 분할하여 촬상할 때의 노광 간격을 상기 기억 수단에 기억된 상기 검사 대상물의 특성 정보에 따라 제어하는 공정을 더 갖는 것을 특징으로 한다.
청구항 1 내지 13에 기재된 발명은, 실질적으로 일정한 반송 속도로 기판을 반송하는 반송 수단과, 촬상 수단이 기판을 촬상할 때의 노광 시간을 기판의 광의 반사율에 관한 특성 정보에 따라 제어함으로써, 기판을 안정 반송하면서, 밝기가 상이한 기판에 대응할 수 있다.
청구항 2에 기재된 발명은, 반송 수단의 반송 속도는, 복수의 처리 유닛에 있어서의 택트 타임에 따라 결정됨으로써, 검사 장치에 있어서의 검사 처리에, 기판 처리 시스템에 있어서의 처리가 율속(律速)되는 것을 방지할 수 있다.
청구항 3 및 9에 기재된 발명은, 촬상 수단에 의한 촬상 시의 수광량이 실질적으로 같아지도록 노광 시간을 제어함으로써, 더욱 안정한 검사를 실행할 수 있다.
청구항 7 및 12에 기재된 발명은, 광량을 변화시킨 경우에 광량이 안정될 때까지 대기할 필요가 없으므로, 조명으로서 다른 특성이 우수한 할로겐 램프를 이용할 수 있다.
청구항 14 내지 16에 기재된 발명은, 검사 대상물의 광의 반사율에 관한 특성 정보를 기억 수단에 미리 기억하는 공정과, 실질적으로 일정한 반송 속도로 검사 대상물을 반송하는 공정과, 반송 중인 검사 대상물을 촬상 수단에 의해 촬상하는 공정과, 촬상 수단이 검사 대상물을 촬상할 때의 노광 시간을 기억 수단에 기억된 검사 대상물의 특성 정보에 따라 제어하는 공정을 가짐으로써, 기판을 안정 반송하면서, 밝기가 상이한 기판에 대응할 수 있다.
청구항 15에 기재된 발명은, 노광 시간은, 상기 촬상 수단에 의한 촬상 시의 수광량이 실질적으로 같아지도록 제어됨으로써, 더욱 안정한 검사를 실행할 수 있 다.
이하, 본 발명의 적합한 실시 형태에 대해, 첨부의 도면을 참조하면서, 상세하게 설명한다.
<1. 실시 형태>
도 1은, 본 발명에 따른 기판 처리 시스템(1)을 도시한 도면이다. 또한, 도 1에 있어서, 도시 및 설명의 형편상, Z축 방향이 연직 방향을 나타내고, XY 평면이 수평면을 나타내는 것으로서 정의하지만, 그들은 위치 관계를 파악하기 위해 편의상 정의하는 것으로서, 이하에 설명하는 각 방향을 한정하는 것은 아니다. 이하의 각 도면에 대해서도 동일하다.
기판 처리 시스템(1)은, 기판(90)이 반입되는 반입부(10), 기판(90)을 세정하여 청정화시키는 세정부(11), 및 기판(90)을 소정의 온도로 조절하는 온도 조절부(12, 13, 14)를 구비한다. 또한, 본 실시 형태에 있어서의 기판 처리 시스템(1)은, 액정 디스플레이의 플랫 패널용의 유리 기판을 피처리 기판(90)으로 하고 있다. 단, 본 발명은, 플랫 패널 디스플레이용의 유리 기판뿐만 아니라, 프린트 기판이나 반도체 기판 등을 검사 대상물로 하는 경우에도 널리 적용 가능하다.
상세한 것은 도시하지 않지만, 온도 조절부(12, 13, 14)는, 기판(90)을 가열하는 가열 유닛(핫 플레이트), 기판(90)을 냉각하는 냉각 유닛(쿨 플레이트) 및 이들 유닛 사이에서 기판(90)을 반송하는 반송 유닛을 구비하고 있다.
또한, 기판 처리 시스템(1)은, 기판(90)의 표면에 레지스트액을 도포하는 도 포부(15), 기판(90)의 표면을 검사하는 검사 장치(2), 기판(90)의 표면에 회로 패턴 등을 노광하는 노광부(16), 노광된 기판(90)을 현상 처리하는 현상부(17), 기판 처리 시스템(1)에 있어서의 처리 결과를 검사하는 검사부(18) 및 기판 처리 시스템(1)에 있어서의 처리가 완료된 기판(90)을 반출하는 반출부(19)를 구비한다.
도포부(15)는, 온도 조절부(13)로부터 기판(90)을 수취하여 반입하는 반송 유닛이나, 반입된 기판(90)의 표면에 감광 재료인 레지스트액을 도포함으로써 레지스트의 박막을 기판(90)의 표면에 형성하는 도포 유닛, 레지스트액이 도포된 기판(90)을 건조시키는 건조 유닛 등으로 구성된다.
이와 같이, 기판 처리 시스템(1)은, 각각이 기판(90)에 대한 소정의 처리를 실행하는 복수의 처리 유닛을 구비하고 있고, 적절히 배치된 반송 유닛이 이들 복수의 처리 유닛의 사이에서 기판(90)의 반송을 행함으로써, 기판(90)에 대한 일련의 처리가 실행되도록 구성되어 있다.
본 실시 형태에 있어서의 검사 장치(2)는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 기판(90)의 제조 라인을 구성하는 기판 처리 시스템(1)에 장착되어 있고, 이른바 인라인 장치로서 구성되어 있다. 그리고 검사 장치(2)는, 기판 처리 시스템(1)을 제어하는 메인 컨트롤러(도시 생략)와의 사이에서 데이터 통신이 가능한 상태로 접속되어 있다. 따라서, 검사 장치(2)는, 당해 메인 컨트롤러로부터 검사에 필요한 다양한 정보를 취득하는 것이 가능하도록 구성되어 있다.
도 2는, 본 발명에 따른 검사 장치(2)를 도시한 도면이다. 또, 도 3은, 검사 장치(2)의 각 구성의 버스 배선도이다.
검사 장치(2)는, 반송 유닛(20), 라인 카메라(21), 할로겐 램프(22), 위치 센서(23) 및 제어부(3)를 구비하고, 반송 유닛(20)에 의해 반송 중인 기판(90)을 검사 대상물로 하여, 당해 기판(90)의 표면을 검사하는 장치로서 구성되어 있다.
본 실시 형태에 있어서의 검사 장치(2)는, 매크로 검사 장치, 특히 기판(90)의 표면에 도포된 레지스트액의 도포 얼룩을 검사하는, 이른바 얼룩 검사 장치로서 구성되어 있다. 단, 본 발명에 따른 검사 장치는 이러한 용도에 한정되는 것은 아니다. 또, 검사의 대상에 따라, 기판 처리 시스템(1)에 있어서의 검사 장치(2)의 배치 위치는 상이해도 된다. 예를 들면, 현상 얼룩을 검출하는 경우에는, 현상부(17)와 온도 조절부(13)의 사이에 검사 장치(2)가 설치되어도 된다. 또, 기판 처리 시스템(1)에 있어서 복수의 검사 장치(2)가 장착되어도 된다.
반송 유닛(20)은, 도 2에 나타낸 바와 같이, 제어부(3)로부터의 제어 신호에 따라 구동되는 회전 모터(24)와, 각각이 X축에 병행한 회전축을 갖는 원기둥형의 복수의 반송 롤러(25)를 구비하고 있다.
본 실시 형태에 있어서의 회전 모터(24)는, 회전 방향 및 회전 속도를 제어부(3)로부터의 제어 신호에 의해 제어하는 것이 가능한 일반적인 서보 모터를 채용한다. 단, 본 발명에 있어서의 반송 유닛(20)은 실질적으로 일정한 반송 속도로 기판(90)을 반송할 수 있으면 충분하고, 속도 변경 기능은 필수는 아니다. 따라서, 예를 들면, 회전 속도를 제어할 수 없는 (ON·OFF 제어만)의 모터를 회전 모터(24)로서 채용해도 된다. 또, 도 2에서는, 1개의 회전 모터(24)만을 도시하고 있지만, 검사 장치(2)는 복수의 회전 모터(24)를 구비하고 있어도 된다. 회전 모 터(24)로서는, 적어도 특정한 회전 속도(반송 속도를 실현하는 회전 속도)에 있어서, 계속적으로 안정하게 회전할 수 있는 기구의 것을 채용하는 것이 바람직하다.
각 반송 롤러(25)는, 상단의 높이 위치가 서로 대략 동일해지도록 배치되고, 각각의 반송 롤러(25)의 상단이 기판(90)의 이면에 맞닿음으로써, 당해 기판(90)을 수평 자세로 지지하는 기능을 갖고 있다.
반송 유닛(20)에 있어서, 회전 모터(24)에 의해 생성된 구동력은, 도시 생략의 링크 부재에 의해 각 반송 롤러(25)에 전달된다. 이에 의해 각 반송 롤러(25)가 소정의 방향으로 회전하고, 각 반송 롤러(25)의 상단에 지지된 기판(90)이 수평 자세인 채로, 도 2에 있어서 굵은 화살표로 나타낸 방향으로 이동한다. 즉, 본 실시 형태에 있어서의 반송 유닛(20)은, 이른바 「굴림대 반송 기구」를 구성하고 있고, 검사 장치(2)의 상류측에 설치된 도포부(15)와, 검사 장치(2)의 하류측에 설치된 온도 조절부(14)의 사이에서 기판(90)을 (+Y) 방향으로 실질적으로 일정한 반송 속도로 반송하는 기능을 갖고 있다.
기판(90)의 생산 라인을 구성하는 기판 처리 시스템(1)에서는, 시스템 설계 시에 「택트 타임」이 결정되어 설정되어 있다. 택트 타임이란, 기판 처리 시스템(1)에 장착되는 각 처리 유닛에 공통으로 부여되는 시간으로서, 각 처리 유닛이 기판(90)을 처리할 때에 소비하는 것이 허용되는 시간의 기준이 되는 값이다.
만일 기판 처리 시스템(1)의 인라인 장치로서 장착되는 검사 장치(2)에 있어서, 도포부(15)로부터 수취한 기판(90)을 택트 타임 내에 온도 조절부(14)에 수도(受渡)할 수 없으면, 기판 처리 시스템(1)에 있어서의 처리는, 검사 장치(2)에 있 어서의 처리 시간에 율속되게 되어, 기판 처리 시스템(1) 전체의 처리 속도가 저하한다.
그래서, 본 실시 형태에 있어서의 검사 장치(2)에서는, 반송 유닛(20)에 의한 기판(90)의 반송 속도는, 기판 처리 시스템(1)에 있어서의 택트 타임 내에, 기판(90)의 도포부(15)로부터 온도 조절부(14)로의 반송을 완료하는 것이 가능한 속도로 설정된다. 따라서, 검사 장치(2)는, 택트 타임 내에 기판(90)을 온도 조절부(14)에 확실하게 수도할 수 있으므로, 기판 처리 시스템(1)의 처리 속도를 저하시키는 일이 없다.
또, 일반적으로 구동계의 구조물에 있어서 속도를 다양하게 변화시키면, 동작의 안정성이 저하한다. 따라서, 본 실시 형태에 있어서의 검사 장치(2)에서는, 기판(90)의 종류나, 제조 공정의 구별에 상관없이, 반송 유닛(20)의 반송 속도를 변경하지 않고, 고정(실질적으로 일정)으로 한다. 이에 의해, 반송 유닛(20)에 있어서의 특정한 반송 속도에 대해서만 안정 반송할 수 있도록 각 부를 조정하면 되게 된다. 또한, 이하에서는, 반송 유닛(20)의 반송 속도를 100[mm/sec]로 고정하여 운전하는 것으로서 설명한다.
도 2에 있어서 상세를 도시하고 있지 않지만, 라인 카메라(21)는, 소정의 광학계를 구성하는 렌즈군과, X축 방향으로 복수의 수광 소자(CCD)가 배열된 수광부를 갖고 있다. 라인 카메라(21)는, 제어부(3)로부터의 제어 신호에 따라, 반송 유닛(20)에 의해 반송 중인 기판(90)을 촬상하여, 촬상에 의해 얻어진 화상 데이터를 제어부(3)에 전달한다. 본 실시 형태의 라인 카메라(21)의 각 수광 소자는, 8[bit](256 계조)로 수광량을 출력한다.
라인 카메라(21)의 촬상 범위는, 기판(90)의 주주사 방향(X축 방향)에 대해서는 검사가 필요한 모든 영역을 촬상하는 것이 가능한 사이즈로 되어 있다. 또한, 본 실시 형태에 있어서의 라인 카메라(21)의 X축 방향(주주사 방향)의 분해능은 0.1[mm]로 한다.
한편, 라인 카메라(21)의 촬상 범위는, 기판(90)의 부주사 방향(Y축 방향)에 대해서는 1개의 수광 소자의 수광 영역 사이즈밖에 없고, 모든 영역을 1회로 촬상할 수는 없는 구조로 되어 있다. 따라서, 라인 카메라(21)는, 반송 유닛(20)에 의한 기판(90)의 반송 방향(Y축 방향)에 대해서는, 당해 기판(90)의 표면을 분할하여 촬상한다.
이하의 설명에서는, 1회의 촬상에 있어서 라인 카메라(21)(CCD)가 입사광을 계속 수광하는 시간을 「노광 시간 t」라고 칭하고, 촬상이 개시된 후 다음 번의 촬상이 개시될 때까지의 시간을 「노광 간격 T」라고 칭한다. 또, 라인 카메라(21)가 표준 기판(후술)을 촬상할 때의 노광 시간 t(이하, 「기준 노광 시간 t0」이라고 칭한다) 및 노광 간격 T(이하, 「기준 노광 간격 T0」이라고 칭한다)를 모두 1[msec]로 한다.
앞에 서술한 바와 같이, 본 실시 형태에 있어서의 반송 유닛(20)의 반송 속도는, 기판(90)의 종별 등에 상관없이, 100[mm/sec]로 고정되어 있다. 따라서, 노광 시간 t가 기준 노광 시간 t0인 경우, 그 사이의 기판(90)의 반송 거리는 0.1[mm] 가 되고, 라인 카메라(21)의 주주사 방향의 분해능 0.1[mm]과 일치한다. 즉, 기판(90)이 표준 기판인 경우, 촬상 데이터(321)(후술의 도 4 참조)에 있어서의 화상의 종횡비는 1:1(동일)이 된다. 또, 이때, 노광 간격 T가 기준 노광 간격 T0이므로, 기준 노광 시간 t0=기준 노광 간격 T0이 성립되어, 기판(90)의 표면이 간극 없이 촬상된다. 또한, 노광 시간 t 및 노광 간격 T는, 제어부(3)로부터의 제어에 의해 기판(90)마다 결정되지만 상세한 것은 후술한다.
할로겐 램프(22)는, 백색광을 조사하는 조명 장치로서, 라인 카메라(21)에 의해 촬상되는 기판(90)의 표면을 조명하는 기능을 갖고 있다. 본 실시 형태에 있어서의 할로겐 램프(22)는, 기판(90)의 종류 등에 상관없이, 일정한 광량이 되도록 제어부(3)에 의해 제어되어 있다. 또한, 할로겐 램프(22)로부터 조사된 조명광은, 적절히 광학계(석영 로드나 실린드리컬 렌즈 등)에 의한 광학적 변환을 받은 후 기판(90)의 표면에 조사되어도 된다.
위치 센서(23)는, 기판(90)의 (+Y)측의 단부(기판(90)의 선단부)의 위치를 검출하여 제어부(3)에 전달한다. 위치 센서(23)로서는, 광학식 센서나 접촉식 센서 등을 이용할 수 있다.
제어부(3)는, 도 3에 나타낸 바와 같이, CPU(30), 프로그램(310)을 기억하는 판독 전용의 ROM(31) 및 CPU(30)의 일시적인 워킹 에어리어로서 사용되는 RAM(32)을 구비하고 있고, 일반적인 컴퓨터로서의 기능을 갖고 있다.
CPU(30)는, ROM(31)에 저장되어 있는 프로그램(310)에 따라 동작함으로써, 각종 데이터의 연산이나 제어 신호의 생성 등을 행하여, 검사 장치(2)의 각 구성을 제어한다.
또, 검사 장치(2)의 제어부(3)는, 오퍼레이터로부터의 지시를 접수하는 조작부(33)(버튼이나 마우스, 키보드 등) 및 오퍼레이터를 향해 각종 데이터를 표시하는 표시부(34)(램프나 디스플레이, 패널 등)를 구비하고 있다. 또한, 앞에 서술한 바와 같이, 제어부(3)는, 기판 처리 시스템(1)의 메인 컨트롤러와 데이터 통신을 행하기 위한 통신부도 구비하고 있다.
도 4는, 검사 장치(2)의 기능 블록을 데이터의 흐름과 함께 도시한 도면이다. 도 4에 나타낸 촬상 제어부(300), 화상 처리부(301) 및 검사부(302)는, 제어부(3)의 CPU(30)가 프로그램(310)에 따라 동작함으로써 실현되는 검사 장치(2)의 기능 블록이다.
특성 데이터(320)란, 검사 장치(2)의 검사 대상물이 되는 기판(90)의 광의 반사율에 관한 정보(기판(90)의 밝기에 관한 정보)가 저장되어 있다. 본 실시 형태에서는, 특성 데이터(320)로서, 기판(90)의 표준 기판에 대한 「밝기비 M」이 저장된다. 특성 데이터(320)는, 기판(90)마다, 미리 실험에 의해 구해 두는 것이 가능하다. 최적인 밝기의 기판(90)이 어떠한 기판인지는 검사 항목 등에 따라 상이하지만, 본 실시 형태에서는, 예를 들면 이하와 같이 하여 밝기비 M을 구해 두는 것으로 한다.
우선, 노광 시간 t를 기준 노광 시간 t0으로 세트하여, 라인 카메라(21)에 의해 기판(90)의 검사 대상 영역을 촬상한다. 그리고 이때의 라인 카메라(21)의 각 수광 소자로부터의 출력값의 평균치를 구하여, 구한 평균치를 「128」로 나눈 값을 당해 기판(90)의 「밝기비 M」의 값으로 한다. 또한, 일단 구한 평균치를 128로 나누는 이유는, 본 실시 형태에 있어서의 라인 카메라(21)의 수광 소자가 256 계조이고, 그 중앙치(즉 「128」)를 표준으로 하기 때문이다. 바꿔 말하면, 각 수광 소자로부터의 출력값의 평균치가 128이 되는 기판(90)이 표준 기판(밝기비 M의 값이 「1」인 기판(90))이다.
또한, 평균치 대신에, 메디안(median)을 구해도 되고, 다른 연산 방법이 이용되어도 된다. 혹은 표준이 되는 값을 「128」에 한정하지 않고, 118 내지 138 등의 범위로 지정해도 된다. 또, 밝기비 M을 구할 때의 촬상은, 라인 카메라(21)에 의한 촬상에 한정되는 것이 아니라, 검사 대상 영역의 전체 면을 이차원적으로 촬상하여 구해도 된다. 혹은, 특정한 영역이나 특정한 라인에 한정하여 촬상해서 구해도 된다. 즉, 밝기비 M을 구하기 위해 행해지는 공정수에 따라 결정하면 된다.
촬상 제어부(300)는, 라인 카메라(21)가 기판(90)을 촬상할 때의 노광 시간 t를 RAM(32)에 기억된 당해 기판(90)의 특성 데이터(320)에 따라 제어한다. 특히, 본 실시 형태에 있어서의 촬상 제어부(300)는, 라인 카메라(21)에 의한 촬상 시의 수광량이 실질적으로 같아지도록 노광 시간 t를 제어한다.
또, 촬상 제어부(300)는, 라인 카메라(21)가 기판(90)을 분할하여 촬상할 때의 노광 간격 T를 RAM(32)에 기억된 당해 기판(90)의 특성 데이터(320)에 따라 제 어한다.
화상 처리부(301)는, 라인 카메라(21)로부터의 출력 신호(화상 데이터를 표현한 신호)에 소정의 화상 처리를 행하여, 검사 대상물인 1장의 기판(90)에 있어서의 검사 영역(검사 대상이 되는 기판(90)의 표면 영역)의 전역을 표현한 촬상 데이터(321)를 작성하는 기능을 갖고 있다.
검사부(302)는, RAM(32)에 기억되어 있는 촬상 데이터(321)에 의거하여, 기판(90)의 표면에 대해 얼룩 검사를 실행하고, 당해 기판(90)에 대한 검사 결과를 표시부(34)에 표시시킨다. 이때, 검사부(302)는, 검사 결과와 함께, 촬상 데이터(321)를 표시부(34)에 화상으로서 표시시킨다.
또한, 검사부(302)에 있어서의 구체적인 처리 내용은, 종래의 기술을 채용할 수 있으므로, 여기에서는 상세한 설명을 생략한다. 또, 검사부(302)에 의한 검사 결과나 촬상 데이터(321)는, 기판 처리 시스템(1)의 메인 컨트롤러에 송신되어도 된다.
이상이, 기판 처리 시스템(1)의 구성 및 기능의 설명이다. 다음에, 기판 처리 시스템(1)에 있어서, 기판(90)의 표면을 검사하는 방법에 대해 설명한다.
도 5 및 도 6은, 검사 장치(2)에 있어서의 검사 방법을 도시한 흐름도이다.
우선, 검사를 개시하기 전에, 검사 장치(2)는, 기판 처리 시스템(1)의 메인 컨트롤러로부터 특성 데이터(320)를 취득하여, RAM(32)에 기억한다(단계 S11). 또한, 특성 데이터(320)를 취득하는 수법은 이것에 한정되는 것이 아니라, 예를 들면, 오퍼레이터가 검사 장치(2)의 조작부(33)를 조작하여 입력해도 된다.
다음에, 촬상 제어부(300)가 RAM(32)에 기억된 특성 데이터(320)에 따라, 노광 시간 t를 결정한다(단계 S12).
본 실시 형태에 있어서의 촬상 제어부(300)는, t=t0/M에 의해 라인 카메라(21)의 노광 시간 t의 값을 구하여 결정한다.
노광 시간 t를 결정하면, 촬상 제어부(300)는, 다음에, RAM(32)에 기억된 특성 데이터(320)에 따라, 라인 카메라(21)의 노광 간격 T를 결정한다(단계 S13).
본 실시 형태에 있어서의 촬상 제어부(300)는, 노광 간격 T를 결정할 때에 있어서, 우선 t0/(M×T0)을 연산한다. 즉, t/T0을 구한다. 그리고 그 몫을 S, 나머지를 R로 하면, R=0일 때 노광 간격 T의 값을 S로 결정하고, R>0일 때 노광 간격 T의 값을 S+T0으로 결정한다.
노광 시간 t 및 노광 간격 T가 결정되면, 검사 장치(2)는, 기판(90)이 반입될 때까지 대기한다(단계 S14). 그리고 도포부(15)로부터 기판(90)이 반입되면, 반송 유닛(20)에 의해 기판(90)의 반송을 개시한다(단계 S15). 또한, 이후, 후술하는 단계 S26이 실행될 때까지, 반송 유닛(20)에 의한 기판(90)의 반송 처리는 계속된다.
다음에, 촬상 제어부(300)는, 라인 카메라(21)에 의한 촬상을 개시할지의 여부를 판정하여(단계 S16), 촬상을 개시하는 타이밍이 도래할 때까지 대기한다.
단계 S14에 있어서 검사 장치(2)에 반입된 기판(90)에 대해, 아직 한 번도 라인 카메라(21)에 의한 촬상이 실행되어 있지 않은 단계에서는, 촬상 제어부(300) 는, 위치 센서(23)의 출력 신호를 감시함으로써, 단계 S16에 있어서의 판정을 행한다. 즉, 최초의 촬상이 행해질 때까지는, 기판(90)이 라인 카메라(21)에 의한 촬상을 개시하는 위치까지 반송되었는지의 여부에 따라 단계 S16의 판정을 행한다.
한편, 촬상 제어부(300)는, 기판(90)에 대해 한 번이라도 촬상이 행해진 후는, 전회의 촬상으로부터의 경과 시간이, 단계 S13에서 결정한 노광 간격 T에 도달하였는지의 여부에 의거하여, 단계 S16에 있어서의 판정을 행한다.
단계 S16에 있어서 Yes로 판정되면, 촬상 제어부(300)는, 라인 카메라(21)에 입사광(주로 기판(90)에 조사된 조명광의 반사광)을 수광시킴으로써, 각 수광 소자에 있어서의 노광을 개시시킨다(단계 S17). 그리고, 단계 S17이 실행된 후의 경과 시간을 감시하면서, 단계 S12에 있어서 결정한 노광 시간 t가 경과할 때까지 대기한다(단계 S18).
노광 시간 t가 경과하면, 촬상 제어부(300)는 라인 카메라(21)에 있어서의 노광을 정지시킴과 더불어, 라인 카메라(21)에 이 사이의 수광량을 나타내는 출력값을 출력시킨다(단계 S21). 이에 의해, 라인 카메라(21)로부터 1라인분의 화상 데이터가 화상 처리부(301)에 전달되어, 1라인분의 촬상 데이터(321)가 작성된다(단계 S22).
다음에, CPU(30)는, 기판(90)이 검사 종료 위치까지 반송되었는지의 여부를 판정하여(단계 S23), 아직 검사 종료 위치까지 반송되어 있지 않은 경우는, 단계 S16으로 되돌아와 처리를 반복한다. 즉, 단계 S17 내지 S18 및 단계 S21 내지 S22의 처리가 반복됨으로써, 기판(90)이 부주사 방향으로, 1라인씩 분할하여 촬상된 다.
도 7은, 밝기비 M이 「1」인 기판(90)을 촬상하는 경우의 촬상 상황을 도시한 도면이다. 도 7에 있어서의 가로방향의 실선은, 라인 카메라(21)의 노광이 개시되는 위치를 나타낸다.
앞에 서술한 바와 같이, 밝기비 M이 「1」인 기판(90)이란 표준 기판이고, 이 때의 노광 시간 t는 기준 노광 시간 t0(1[msec])이 되며, 노광 간격 T는 기준 노광 간격 T0(1[msec])이다.
도 7로부터 명확하게 알 수 있는 바와 같이, 밝기비 M이 「1」이 되는 기판(90)(표준 밝기의 기판(90))의 경우, 화상의 종횡비는 1:1이 되고, 또한, 노광 시간 t=노광 간격 T이므로 모든 영역이 촬상 대상이 된다.
도 8은, 밝기비 M이 「2」인 밝은 기판(90)을 촬상하는 경우의 촬상 상황을 도시한 도면이다. 도 8에 있어서의 가로방향의 실선은 도 7과 동일하게 라인 카메라(21)의 노광이 개시되는 위치를 나타내고, 가로방향의 파선은 라인 카메라(21)의 노광이 정지되는 위치를 나타낸다.
밝기비 M이 「2」인 기판(90)은, 표준 기판보다 광의 반사율이 높고 밝으므로, 노광 시간 t는 기준 노광 시간 t0보다 짧아진다. 바꿔 말하면, 표준 기판을 촬상할 때의 노광 시간 t인 기준 노광 시간 t0보다 짧은 시간에, 라인 카메라(21)의 수광 소자에 있어서의 수광량이 같아진다. 구체적으로는, 밝기비 M이 「2」인 기판(90)의 경우, 노광 시간 t는 0.5[msec]가 된다.
한편, 노광 간격 T는, 표준 기판의 경우와 동일하게 기준 노광 간격 T0이 되므로, 부주사 방향의 라인수는, 표준 기판의 경우와 동수가 된다. 따라서, 화상 처리부(301)에 의한 솎아냄 처리나 보간 처리는 필요 없다.
그러나 가로방향의 파선의 위치로부터 다음 가로방향의 실선의 위치까지의 사이는 노광이 행해지지 않으므로, 도 8에 빗금으로 나타낸 영역은, 검사 대상 영역이면서 촬상되지 않는 영역이 된다. 그러나 검사 장치(2)에 요구되는 검출 가능한 결함의 최소 사이즈는, 라인 카메라(21)의 수광 소자의 분해능에 비해 충분히 크다(일반적으로는 길이비로 10배 이상). 따라서, 검사 대상 영역이면서 촬상되지 않는 영역이, 도 8에 나타낸 바와 같이, 분포하고 있었다고 해도, 검사 장치(2)의 검출 성능에 그다지 큰 영향은 없다.
도 9는, 밝기비 M이 「1/2」인 어두운 기판(90)을 촬상하는 경우의 촬상 상황을 도시한 도면이다. 또, 도 10은, 밝기비 M이 「2/3」인 어두운 기판(90)을 촬상하는 경우의 촬상 상황을 도시한 도면이다.
기판(90)의 밝기비 M이 1보다 작은 경우에는, 표준 기판보다 광의 반사율이 낮고 어두우므로, 노광 시간 t가 기준 노광 시간 t0보다 길어진다. 바꿔 말하면, 표준 기판을 촬상할 때의 노광 시간 t인 기준 노광 시간 t0보다 긴 시간 노광하지 않으면, 라인 카메라(21)의 수광 소자에 있어서의 수광량이 같아지지 않는다.
어두운 기판(90)을 검사 대상물로 하는 경우, 본 실시 형태에 있어서의 검사 장치(2)에서는, 노광 간격 T가 기준 노광 간격 T0의 N배로 커져(N은 2이상의 자연 수), 부주사 방향의 라인수가 1/N로 감소한다. 예를 들면, 도 7 및 도 8에 나타낸 예에서는 4라인이었던 영역이, 도 9 및 도 10에 나타낸 예에서는 모두 2라인으로 감소하고 있다.
이 경우, 촬상 데이터(321)에 있어서의 화상은, 종횡비가 1:1이 되도록, 화상 처리부(301)에 의해 부주사 방향의 데이터 보간이 실행된다. 이러한 데이터 보간의 수법에 대해서는 종래로부터 다양한 기술이 제안되어 있고, 이들을 채용하는 것이 가능하다. 또한, 부주사 방향의 데이터 보간 대신에, 주주사 방향의 데이터의 솎아냄을 행해도 된다.
도 6으로 되돌아와, 검사 종료 위치까지 기판(90)이 반송되면, 제어부(3)의 CPU(30)는 단계 S23에 있어서 Yes로 판정한다. 이 시점에서, RAM(32)에는, 1장의 기판(90)을 촬상한 촬상 데이터(321)가 완성되어 있다.
다음에, 검사부(302)가 촬상 데이터(321)에 의거하여, 결함, 혹은 얼룩을 검출하는 검사 처리를 실행하여(단계 S24), 검사 결과와 촬상 데이터(321)를 표시부(34)에 표시시킨다.
여기에서, 주주사 방향으로 10화소, 부주사 방향으로 10화소의 원형의 결함을 예로, 노광 시간 t가 t0이 되는 경우(밝기비 M이 「1」인 경우)와, 1/2t0이 되는 경우(밝기비 M이 「2」인 경우)와, 2t0이 되는 경우(밝기비 M이 「1/2」인 경우)에 대해 비교한다.
도 11은, 주주사 방향으로 10화소, 부주사 방향으로 10화소의 원형의 결함 과, 밝기비 M 「1」의 기판(90)의 촬상 상황을 도시한 도면이다. 또, 도 12는, 도 11에 나타낸 상황에 있어서 취득된 결함의 촬상 데이터(321)(디지털 다값)를 도시한 도면이다.
도 13은, 주주사 방향으로 10화소, 부주사 방향으로 10화소의 원형의 결함과, 밝기비 M 「2」의 기판(90)의 촬상 상황을 도시한 도면이다. 또, 도 14는, 도 13에 나타낸 상황에 있어서 취득된 결함의 촬상 데이터(321)(디지털 다값)를 도시한 도면이다.
도 12와 도 14를 비교하면 명확하게 알 수 있는 바와 같이, 도 14에 있어서, 결함의 형상이 다소 변화하지만, 결함으로서의 인식(검출)에는 영향이 없는 것을 알 수 있다.
도 15는, 주주사 방향으로 10화소, 부주사 방향으로 10화소의 원형의 결함과, 밝기비 M 「1/2」의 기판(90)의 촬상 상황을 도시한 도면이다. 또, 도 16은, 도 15에 나타낸 상황에 있어서 취득된 결함의 촬상 데이터(321)(디지털 다값)를 도시한 도면이다.
도 12와 도 16을 비교하면 명확하게 알 수 있는 바와 같이, 부주사 방향에 대해서는, 라인을 카피하는 보간을 행하고 있으므로, 화상으로서 다소 거칠어지지만, 결함으로서의 인식에는 영향이 없는 것을 알 수 있다.
단계 S24의 검사 처리가 종료하면, 제어부(3)의 CPU(30)는, 기판(90)이 반출 위치까지 반송되었는지의 여부를 감시하면서 대기하고(단계 S25), 기판(90)이 반출 위치까지 반송되면, 반송 유닛(20)에 의한 기판(90)의 반송을 정지한다(단계 S26). 그리고 검사 장치(2)로부터 기판(90)이 반출된다(단계 S27).
또한, 다음에 검사 대상물이 되는 기판(90)이 존재하는지의 여부를 판정하여(단계 S28), 그러한 기판(90)이 존재하는 경우는, 단계 S11로 되돌아와 처리를 반복한다. 한편, 검사 대상물이 되는 기판(90)이 존재하지 않는 경우는, 검사 장치(2)에 의한 처리를 종료한다.
이상과 같이, 본 실시 형태에 있어서의 기판 처리 시스템(1)은, 검사 장치(2)에 있어서의 검사에 있어서, 기판(90)의 광의 반사율에 관한 특성 데이터(320)에 따라, 노광 시간 t를 제어함으로써, 밝기(광의 반사율)가 상이한 기판(90)에 대해, 안정적으로 검사를 실행할 수 있다.
또, 기판(90)을 실질적으로 일정한 반송 속도로 안정적으로 반송하면서, 검사를 실행할 수 있다. 또, 실질적으로 일정한 반송 속도로 반송함으로써, 기판(90)의 밝기에 상관없이, 기판 처리 시스템(1)에 있어서의 택트 타임 내에 반송을 완료할 수 있다. 또한, 할로겐 램프(22)의 광량을 조정할 필요가 없으므로, 당해 광량이 안정될 때까지 대기할 필요가 없다.
<2. 변형예>
이상, 본 발명의 실시 형태에 대해 설명해 왔지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되는 것이 아니라 다양한 변형이 가능하다.
예를 들면, 검사 장치(2)의 반송 유닛(20)이 구비하는 복수의 반송 롤러(25) 중 일부는 회전 모터(24)로부터의 구동력이 전달되지 않는, 이른바 종동 롤러로서 구동되어 있어도 된다.
또, 상기 실시 형태에서는, 표준 기판보다 밝은 기판(90)에 대해서는, 노광 시간 t를 짧게 하지만, 노광 간격 T를 변경하지 않음으로써, 촬상하지 않는 영역을 설치하도록 설명하였다. 그러나 노광 시간 t=노광 간격 T로 하여, 부주사 방향 사이즈의 배율을 조정하여 촬상해도 된다. 이 경우, 표준 기판을 촬상하는 경우에 비해, 부주사 방향의 라인수가 증가하게 된다. 단, 이 경우라도, 촬상 데이터(321)에 있어서는, 화상의 종횡비가 1:1이 되도록, 부주사 방향의 데이터의 솎아냄을 행하는 것이 바람직하다.
또, 상기 실시 형태에서는, 검사 장치(2)에 있어서의 반송 유닛(20)으로서, 이른바 「굴림대 반송 기구」를 채용하는 예로 설명하였지만, 반송 유닛(20)이 기판(90)을 반송하는 기구는 굴림대 반송 기구에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 기판(90)의 X축 방향의 양단부를 잡고 반송하는 기구여도 되고, 이른바 셔틀 반송 등이 채용되어도 된다.
또, 검사 장치(2)의 기능 블록(촬상 제어부(300), 화상 처리부(301) 및 검사부(302))의 기능의 일부 또는 전부를 전용의 논리 회로로 실현해도 된다.
또, 상기 실시 형태에 나타낸 각 공정은 어디까지나 예시로서, 동일한 효과가 얻어지는 한, 그 처리 내용이나 순서가 변경되어도 된다.
도 1은 본 발명에 따른 기판 처리 시스템을 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 검사 장치를 도시한 도면이다.
도 3은 검사 장치의 각 구성의 버스 배선도이다.
도 4는 검사 장치의 기능 블록을 데이터의 흐름과 함께 도시한 도면이다.
도 5는 검사 장치에 있어서의 검사 방법을 도시한 흐름도이다.
도 6은 검사 장치에 있어서의 검사 방법을 도시한 흐름도이다.
도 7은 밝기비 「1」의 기판을 촬상하는 경우의 촬상 상황을 도시한 도면이다.
도 8은 밝기비 「2」의 밝은 기판을 촬상하는 경우의 촬상 상황을 도시한 도면이다.
도 9는 밝기비 「1/2」의 어두운 기판을 촬상하는 경우의 촬상 상황을 도시한 도면이다.
도 10은 밝기비 「2/3」의 어두운 기판을 촬상하는 경우의 촬상 상황을 도시한 도면이다.
도 11은 주주사 방향으로 10화소, 부주사 방향으로 10화소의 원형의 결함과, 밝기비 「1」의 기판의 촬상 상황을 도시한 도면이다.
도 12는 도 11에 나타낸 상황에 있어서 취득된 결함의 촬상 데이터를 도시한 도면이다.
도 13은 주주사 방향으로 10화소, 부주사 방향으로 10화소의 원형의 결함과, 밝기비 「2」의 기판의 촬상 상황을 도시한 도면이다.
도 14는 도 13에 나타낸 상황에 있어서 취득된 결함의 촬상 데이터를 도시한 도면이다.
도 15는 주주사 방향으로 10화소, 부주사 방향으로 10화소의 원형의 결함과, 밝기비 「1/2」의 기판의 촬상 상황을 도시한 도면이다.
도 16은 도 15에 나타낸 상황에 있어서 취득된 결함의 촬상 데이터를 도시한 도면이다.
[부호의 설명]
1 : 기판 처리 시스템 10 : 반입부
11 : 세정부 12, 13, 14 : 온도 조절부
15 : 도포부 16 : 노광부
17 : 현상부 18 : 검사부
19 : 반출부 2 : 검사 장치
20 : 반송 유닛 21 : 라인 카메라
22 : 할로겐 램프 3 : 제어부
30 : CPU 300 : 촬상 제어부
301 : 화상 처리부 302 : 검사부
31 : ROM 310 : 프로그램
32 : RAM 320 : 특성 데이터
321 : 촬상 데이터 90 : 기판

Claims (16)

  1. 기판에 대한 처리를 실행하는 복수의 처리 유닛과,
    상기 복수의 처리 유닛의 사이에서 실질적으로 일정한 반송 속도로 기판을 반송하는 반송 수단과,
    상기 반송 수단에 의해 반송 중인 기판을 검사 대상물로 하여, 당해 기판의 표면을 검사하는 검사 장치를 구비하고,
    상기 검사 장치는,
    기판의 광의 반사율에 관한 특성 정보를 미리 기억하는 기억 수단과,
    상기 반송 수단에 의해 반송 중인 기판을 촬상하는 촬상 수단과,
    상기 촬상 수단이 기판을 촬상할 때의 노광 시간을 상기 기억 수단에 기억된 상기 기판의 특성 정보에 따라 제어하는 촬상 제어 수단을 구비하고,
    상기 촬상 수단은, 상기 반송 수단에 의한 기판의 반송 방향에 대해 상기 기판의 표면을 분할하여 촬상하며,
    상기 촬상 제어 수단은, 상기 촬상 수단이 기판을 분할하여 촬상할 때의 노광 간격을 상기 기억 수단에 기억된 상기 기판의 특성 정보에 따라 제어하고,
    상기 검사 장치는, 상기 촬상 수단으로부터의 화상 데이터의 종횡비가 1:1이 되도록 보간 처리 또는 솎아냄 처리를 행하여 기판에 있어서의 검사 영역의 전역을 표현한 촬상 데이터를 작성하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 반송 수단의 반송 속도는, 상기 복수의 처리 유닛에 있어서의 택트 타임에 따라 결정되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 촬상 제어 수단은, 상기 촬상 수단에 의한 촬상 시의 수광량이 실질적 으로 같아지도록 상기 노광 시간을 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  4. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 촬상 수단에 의해 촬상되는 기판의 표면을 조명하는 할로겐 램프를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  5. 검사 대상물의 표면을 검사하는 검사 장치로서,
    검사 대상물의 광의 반사율에 관한 특성 정보를 미리 기억하는 기억 수단과,
    실질적으로 일정한 반송 속도로 검사 대상물을 반송하는 반송 수단과,
    상기 반송 수단에 의해 반송 중인 검사 대상물을 촬상하는 촬상 수단과,
    상기 촬상 수단이 검사 대상물을 촬상할 때의 노광 시간을 상기 기억 수단에 기억된 상기 검사 대상물의 특성 정보에 따라 제어하는 촬상 제어 수단을 구비하고,
    상기 촬상 수단은, 상기 반송 수단에 의한 검사 대상물의 반송 방향에 대해 상기 검사 대상물의 표면을 분할하여 촬상하며,
    상기 촬상 제어 수단은, 상기 촬상 수단이 검사 대상물을 분할하여 촬상할 때의 노광 간격을 상기 기억 수단에 기억된 상기 검사 대상물의 특성 정보에 따라 제어하고,
    상기 촬상 수단으로부터의 화상 데이터의 종횡비가 1:1이 되도록 보간 처리 또는 솎아냄 처리를 행하여 기판에 있어서의 검사 영역의 전역을 표현한 촬상 데이터를 작성하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 촬상 제어 수단은, 상기 촬상 수단에 의한 촬상 시의 수광량이 실질적으로 같아지도록 상기 노광 시간을 제어하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  7. 청구항 5 또는 청구항 6에 있어서,
    상기 촬상 수단에 의해 촬상되는 검사 대상물의 표면을 조명하는 할로겐 램프를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  8. 청구항 5 또는 청구항 6에 있어서,
    상기 검사 대상물은, 플랫 패널 디스플레이용의 유리 기판, 프린트 기판 또는 반도체 기판인 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  9. 검사 대상물의 표면을 검사하는 검사 방법으로서,
    (a) 검사 대상물의 광의 반사율에 관한 특성 정보를 기억 수단에 미리 기억하는 공정과,
    (b) 실질적으로 일정한 반송 속도로 검사 대상물을 반송하는 공정과,
    (c) 상기 (b) 공정에 의해 반송 중인 검사 대상물을 촬상 수단에 의해, 상기 검사 대상물의 반송 방향에 대해 상기 검사 대상물의 표면을 분할하여 촬상하는 공정과,
    (d) 상기 촬상 수단이 검사 대상물을 촬상할 때의 노광 시간을 상기 기억 수단에 기억된 상기 검사 대상물의 특성 정보에 따라 제어하는 공정과,
    (e) 상기 촬상 수단이 검사 대상물을 분할하여 촬상할 때의 노광 간격을 상기 기억 수단에 기억된 상기 검사 대상물의 특성 정보에 따라 제어하는 공정과,
    (f) 상기 촬상 수단으로부터의 화상 데이터의 종횡비가 1:1이 되도록 보간 처리 또는 솎아냄 처리를 행하여 기판에 있어서의 검사 영역의 전역을 표현한 촬상 데이터를 작성하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 검사 방법.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 (d) 공정에 있어서, 상기 노광 시간은, 상기 촬상 수단에 의한 촬상 시의 수광량이 실질적으로 같아지도록 제어되는 것을 특징으로 하는 검사 방법.
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