JPH1063856A - 外観検査方法および外観検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ＣＣＤラインセンサ等の線状領域撮影手段を
用いて、基準画像データとの比較により欠陥部を検出す
る外観検査方法において、試料ないし線状領域撮影手段
を高精度に移動させる移動手段を備えることなしでも、
精度の低いローラ搬送を用いるフープ状の試料をインラ
インで検査することができる外観検査方法を提供する。 【解決手段】 ほぼ一定の速度で一方向へ移動する試料
の線状領域を、線状領域撮影手段にて撮影することによ
り得られた画像データを用いて、試料の外観検査を行う
検査方法であって、予め、基準試料を用いて検査する試
料の検査領域に対応する領域を線状領域撮影手段にて撮
影し、基準となる第一の画像データを準備しておき、検
査される試料から撮影された第二の画像データを得た
後、第二の画像データの欠陥部を検出する単位である処
理領域毎に第一の画像データと比較して欠陥部の検出を
行い、試料全体の欠陥部の検出を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は，リードフレーム、
プリント基板等の工業製品の検査方法および検査装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、試料を撮影した画像データを
画像処理することにより、リードフレーム等の試料の外
観を検査する一般的な方法としては、「小孔または凹部
がある」とか、「局所的に出っ張りがある」等の欠陥の
特徴を定義して、定義に対応した箇所を欠陥として抽出
する方法が知られているが、この方法においては、欠陥
の定義と同一形状の正常な形状が試料にある場合には、
欠陥として抽出されてしまい、抽出箇所が真の欠陥部な
のか、否か判別できないという問題があった。

【０００３】これに対応する欠陥検出方法として、予め
基準試料を撮影し、基準となる画像データを得ておき、
その基準画像データと、検査する試料から得られた画像
データの差異を比較して欠陥を得る基準画像データ比較
欠陥検出方法がある。検査精度向上の要求に伴い、基準
画像データ比較欠陥検出方法においても、高解像度の撮
影が可能なＣＣＤラインセンサ等の線状領域撮影手段
が、その撮影手段として使用されるようになってきた。
しかし、このようなＣＣＤラインセンサ等の線状領域撮
影手段は、撮影する領域が線状であり、試料全体を撮影
するには試料もしくは撮影手段を移動させながら撮影を
行う為、基準画像データとの比較欠陥検出方法にＣＣＤ
ラインセンサ等の線状領域撮影手段を用いた場合、基準
画像データと検査する試料の画像データが精度良く合う
ことが必要であり、試料ないし線状領域撮影手段を移動
する手段に高い精度が求められていた。基準画像データ
と検査する試料の画像データが精度良く合うように、試
料ないし線状領域撮影手段を高精度に移動させる移動手
段を備えるには、価格が高くなり、検査装置の価格が高
くなるという問題がある。即ち、高精度に移動させる移
動手段を備えることなしでは、精度の低いローラ搬送を
用いるフープ状の試料をインラインで検査することがで
きないという問題があった。また、基準画像データ比較
欠陥検出方法においては、基準画像データを得るための
基準試料の撮影時期と、検査する試料を撮影する時期が
時間的に離れてしまう場合があるが、この場合、撮影の
ための明るさや試料の製造条件の変化等が原因で、基準
画像データと検査する試料の画像データが異なってしま
うことがあり、問題となっていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、リード
フレーム等の試料の外観検査を基準画像データとの比較
で行い、且つ、ＣＣＤラインセンサ等の線状領域撮影手
段を用いる場合には、試料ないし線状領域撮影手段を高
精度に移動させる移動手段を備えることなしでは、精度
の低いローラ搬送を用いるフープ状の試料をインライン
で検査することができないという問題や、基準画像デー
タを得るための基準試料の撮影時期と、検査する試料を
撮影する時期が時間的に離れてしまうことにより、基準
画像データと検査する試料の画像データが異なってしま
うという問題があり、これらの対応が求められていた。
本発明は、このような状況のもと、ＣＣＤラインセンサ
等の線状領域撮影手段を用いて、基準画像データとの比
較により欠陥部を検出する外観検査方法において、試料
ないし線状領域撮影手段を高精度に移動させる移動手段
を備えることなしでも、精度の低いローラ搬送を用いる
フープ状の試料をインラインで検査することができる外
観検査方法を提供しようとするものである。同時に、基
準画像データを得るための基準試料の撮影時期と、検査
する試料を撮影する時期が時間的に離さずにできる外観
検査方法を提供しようとするものである。また、本発明
の外観検査方法を実施できる外観検査装置を提供しよう
とするものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の外観検査方法
は、ほぼ一定の速度で一方向へ移動する試料の線状領域
を、線状領域撮影手段にて撮影することにより得られた
画像データを用いて、試料の外観検査を行う検査方法で
あって、予め基準試料を用いて検査する試料の検査領域
に対応する領域を、線状領域撮影手段にて撮影して基準
となる第一の画像データを準備しておき、検査される試
料を前記線状領域撮影手段にて撮影して試料の検査領域
全体の画像データである第二の画像データを得た後、第
二の画像データの欠陥部を検出する単位である処理領域
毎に、順次第一の画像データと比較して欠陥部の検出を
行い、試料全体の欠陥部の検出を行うもので、且つ、第
二の画像データの各処理領域の欠陥部の検出は、第二の
画像データの各処理領域に対し、基準となる第一の画像
データにおいて、線状領域撮影手段による試料撮影の位
置再現精度等から割り出した、検査する試料の処理領域
の画像データに類似する画像データを有する一連領域で
ある類似領域を含む検索領域を決めるステップと、第一
の画像データの検索領域内の画像データから、処理領域
の画像データに類似した画像データをもつ、処理領域と
同じサイズの一連領域を抽出し、これを類似領域とする
ステップと、処理領域の画像データと、類似領域の画像
データについて、それぞれ、対応する１画素毎に減算を
施し、減算結果が予め定めたレベルを超える箇所または
予め定めたレベルを下まわる箇所を欠陥部と判断するス
テップとを順次有するものであることを特徴とするもの
である。そして、上記における類似領域の決定は、処理
領域の画像データと、検索領域内の処理領域と同じサイ
ズの一連の線状領域の画像データについて、画素位置を
変える毎に、類似性を求める計算を行い、計算結果より
類似性の大きい箇所ほど類似していると判断して決める
ものであることを特徴とするものである。そしてまた、
上記における類似性を求める計算は、処理領域と検索領
域内の処理領域と同じサイズの一連の線状領域につい
て、画素位置を変える毎に、一画素毎もしくは複数画素
毎に差分演算を行うもので、演算を行った線状領域（差
分領域）の中で最も大きな差分結果の値を代表値とし、
該代表値が最小もしくは定められた値よりも小さくなっ
たものを類似しているとするものであることを特徴とす
るものである。また、上記において、順次、検査された
Ｎ番目の試料を基準試料としてＮ＋１番目の試料を検査
するＮ回目の検査を行うもので、且つ、Ｎが４以上の場
合は、Ｎ回目の検査を行う際に、Ｎ回目の検査で欠陥部
と検出されたものの内、Ｎ−１回目の検査において欠陥
部と検出された箇所を除き、Ｎが３以下の場合について
は、１番目の試料を基準画像として２番目の試料を検査
した１回目の検査結果と、２番目の試料を基準画像とし
て３番目の試料を検査した２回目の検査結果とを比較し
て、１回目の検査結果と２回目の検査結果で検出された
箇所が同じ場合、この箇所における欠陥は２番目の試料
の欠陥に因るものとし、１回目の検査結果で検出された
欠陥箇所が２回目の検査結果で検出されない場合には、
この欠陥箇所の検出は１番目の試料の欠陥に因るものと
し、１回目の検査結果で検出されず、２回目の検査結果
で検出された箇所については、３番目の試料の欠陥に因
るものとすることを特徴とするものである。

【０００６】本発明の外観検査方法は、上記のように、
試料を撮影して得られた画像データの中から、欠陥部を
検出する単位である処理領域を決め、処理領域を順次ず
らして試料全体の欠陥検出を行うものであるが、処理領
域のサイズは検査する対象により適宜決める。また、ス
テップとは処理工程である。

【０００７】本発明の外観検査装置は、ほぼ一定の速度
で一方向に移動する試料の線状領域を、線状領域撮影手
段にて撮影することにより得られた画像データを用い
て、試料の外観検査を行う検査装置であって、試料を撮
影する線状領域撮影手段と、試料を照明する照明手段
と、試料を一方向へ移動させる搬送装置と、撮影された
画像データを処理し欠陥検出を行う画像処理部とを備
え、予め基準試料を用いて検査する試料の検査領域に対
応する領域を、線状領域撮影手段にて撮影して基準とな
る第一の画像データを準備しておき、検査される試料を
前記線状領域撮影手段にて撮影して試料の検査領域全体
の画像データである第二の画像データを得た後、第二の
画像データの欠陥部を検出する単位である処理領域毎
に、順次第一の画像データと比較して欠陥部の検出を行
い、試料全体の欠陥部の検出を行うもので、且つ、前記
画像処理部は、第二の画像データの各処理領域に対し、
基準となる第一の画像データにおいて、線状領域撮影手
段による試料撮影の位置再現精度等から割り出した、検
査する試料の処理領域の画像データに類似する画像デー
タを有する一連領域である類似領域を含む検索領域を決
める処理と、第一の画像データの検索領域内の画像デー
タから、処理領域の画像データに類似した画像データを
もつ、処理領域と同じサイズの一連領域を抽出し、これ
を類似領域とする処理と、処理領域の画像データと、類
似領域の画像データについて、それぞれ、対応する１画
素毎に減算を施し、減算結果が予め定めたレベルを超え
る箇所を欠陥部と判断する処理とを順次行うものである
ことを特徴とするものである。そして、上記における、
画像処理部は、少なくとも線状領域撮影手段で撮影した
画像データをＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換部、線状領域撮
影手段で撮影した画像データをＡ／Ｄ変換してデジタル
演算を施す演算装置と、基準試料を線状領域撮影手段で
撮影した画像データをＡ／Ｄ変換した画像データ等を蓄
積しておくメモリ部とを備えていることを特徴とするも
のである。

【０００８】

【作用】本発明の外観検査方法は、上記のように構成す
ることにより、ＣＣＤラインセンサ等の線状領域撮影手
段を用いて、基準画像データとの比較により欠陥部を検
出する外観検査方法において、試料ないし線状領域撮影
手段を高精度に移動させる移動手段を備えることなしで
も、精度の低いローラ搬送を用いるフープ状の試料をイ
ンラインで検査することができる外観検査方法の提供を
可能としている。また、同時に、基準画像データを得る
ための基準試料の撮影時期と、検査する試料を撮影する
時期が時間的に離さずにできる外観検査方法の提供を可
能としている。即ち、予め基準試料を用いて検査する試
料の検査領域に対応する領域を、線状領域撮影手段にて
撮影して基準となる第一の画像データを準備しておき、
検査される試料を前記線状領域撮影手段にて撮影して試
料の検査領域全体の画像データである第二の画像データ
を得た後、第二の画像データの欠陥部を検出する単位で
ある処理領域毎に、順次第一の画像データと比較して欠
陥部の検出を行い、試料全体の欠陥部の検出を行うもの
で、且つ、第二の画像データの各処理領域の欠陥部の検
出は、第二の画像データの各処理領域に対し、基準とな
る第一の画像データにおいて、線状領域撮影手段による
試料撮影の位置再現精度等から割り出した、検査する試
料の処理領域の画像データに類似する画像データを有す
る一連領域である類似領域を含む検索領域を決めるステ
ップと、第一の画像データの検索領域内の画像データか
ら、処理領域の画像データに類似した画像データをも
つ、処理領域と同じサイズの一連領域を抽出し、これを
類似領域とするステップと、処理領域の画像データと、
類似領域の画像データについて、それぞれ、対応する１
画素毎に減算を施し、減算結果が予め定めたレベルを超
える箇所を欠陥部と判断するステップとを順次有するこ
とにより、試料ないし線状領域撮影手段を高精度に移動
させる移動手段を備えることなしでも、精度の低いロー
ラ搬送を用いるフープ状の試料をインラインで検査する
ことができる外観検査方法の提供を可能としている。そ
して、類似領域の決定は、処理領域の画像データと、検
索領域内の処理領域と同じサイズの一連の線状領域の画
像データについて、画素位置を変える毎に、類似性を求
める計算を行い、計算結果より類似性の大きい箇所ほど
類似していると判断して決めるものであり、類似性を求
める計算は、処理領域と検索領域内の処理領域と同じサ
イズの一連の線状領域について、画素位置を変える毎
に、一画素毎もしくは複数画素毎に差分演算を行うもの
で、演算を行った線状領域（差分領域）の中で最も大き
な差分結果の値を代表値とし、該代表値が最小もしくは
定められた値よりも小さくなったものを類似していると
するものであることにより、比較的簡単に、処理領域と
対応した類似領域を求めることができるものとしてい
る。

【０００９】また、順次、検査されたＮ番目の試料を基
準試料としてＮ＋１番目の試料を検査するＮ回目の検査
を行うことにより、検査した試料の画像データをそのま
ま次の検査試料の基準となる画像データとして用いてお
り、基準画像データを得るための基準試料の撮影時期
と、検査する試料を撮影する時期が時間的に離さずに検
査できるものとしている。そして、Ｎが４以上の場合
は、Ｎ回目の検査を行う際に、Ｎ回目の検査で欠陥部と
検出されたものの内、Ｎ−１回目の検査において欠陥部
と検出された箇所を除き、Ｎが３以下の場合について
は、１番目の試料を基準画像として２番目の試料を検査
した１回目の検査結果と、２番目の試料を基準画像とし
て３番目の試料を検査した２回目の検査結果とを比較し
て、１回目の検査結果と２回目の検査結果で検出された
箇所が同じ場合、この箇所における欠陥は２番目の試料
の欠陥に因るものとし、１回目の検査結果で検出された
欠陥箇所が２回目の検査結果で検出されない場合には、
この欠陥箇所の検出は１番目の試料の欠陥に因るものと
し、１回目の検査結果で検出されず、２回目の検査結果
で検出された箇所については、３番目の試料の欠陥に因
るものとすることにより、確実な欠陥検査を可能として
いる。

【００１０】本発明の外観検査装置は、本発明の外観検
査方法を実施するための装置で、試料ないし線状領域撮
影手段を高精度に移動させる移動手段を備えることなし
でも、精度の低いローラ搬送を用いるフープ状の試料を
インラインで検査することができる外観検査方法の提供
を可能としている。

【００１１】

【実施例】本発明の外観検査方法の実施例を挙げ図に基
づいて説明する。図１は本実施例の外観検査方法のフロ
ー図であり、図２は外観検査装置および外観検査をして
いる状態を示した概略図であり、図３は検索領域を説明
するための図であり、図４は類似性を求める方法を説明
するための図であり、図５は欠陥部を説明するための図
である本実施例はエッチング加工等により外形加工され
たリードフレーム等の外観検査等に適用できる外観検査
方法であり、図２に示す構成の外観検査装置を用いて試
料の外観検査を行ったものである。図２中、１１０はＣ
ＣＤラインセンサカメラ（線状領域撮影手段）、１２０
は試料（リードフレーム）、１３０は反射照明、１４０
は透過照明、１５０は試料巻取り部、１６０は試料巻き
出し部、１７０は制御部、１８０表示部、１９０はマー
クセンサーである。尚、リードフレームの場合、一部が
フープ状の素材に連結するようにして固定され、多数素
材に面付けされた状態で、エッチング加工等により外形
加工され、必要に応じて、マーク部を付けた状態で加工
する。

【００１２】図２に示すように、本実施例の外観検査方
法は、試料（リードフレーム）１２０をほぼ一定の速度
で一方向に移動させながら、且つ試料の撮影する側から
は反射照明１３０で、試料の撮影する側と反対側からは
透過照明１４０により試料１２０を照明しながら、ＣＣ
Ｄラインセンサカメラ（線状領域撮影手段）１１０にて
試料１２０を撮影し、得られた試料の画像データと基準
画像データとを比較することにより試料の外観検査を行
う方法である。

【００１３】先ず、基準となる基準画像データ（第一の
画像データ）を、基準試料から予め作成しておき（Ｓ１
１０）、図２に示すＣＣＤラインセンサカメラ（線状領
域撮影手段）１１０にて試料の撮影を行い、試料全体の
画像データ（第二の画像データ）を得る。（Ｓ１２０） 第二の画像データの中から欠陥検出処理を行う処理領域
を逐次決めて（Ｓ１３０）、以下の処理を処理領域毎に
行う。本実施例では処理領域のサイズを１画素×１２８
画素としている。次いで、検査する試料の処理領域、即
ち外観検査により欠陥部を検出する単位領域の画像デー
タに類似する画像データを有する一連領域である類似領
域を含む検索領域を基準画像データ（第一の画像デー
タ）の中で決める。（Ｓ１４０） 検索領域の決定は、試料の各処理領域の画像データに対
し、基準となる第一の画像データの、線状領域撮影手段
による試料撮影の位置再現精度から割り出す。即ち、試
料に予め設けられたマーク一を図２に示すマークセンサ
ー１９０からその位置を検出しながら、線状領域撮影手
段による試料撮影の位置再現精度を考慮して決める。図
３（ａ）は処理領域３１２を示したもので、図３（ｂ）
は処理領域に対応する第一の画像データ位置から前後、
左右に３０画素分大きくした検索領域３２４を示した図
である。図３（ｂ）の場合は、処理領域３１２に対応す
る画像データの位置はマークセンサーから判断され、そ
の位置から前後、左右に３０画素分大きくするのは、試
料撮影の位置再現精度から決められたものである。次
に、第一の画像データの検索領域内の画像データから、
試料の処理領域の画像データに類似した画像データをも
つ、処理領域と同じサイズの一連領域を抽出し、これを
類似領域として抽出する。（Ｓ１５０） 図４に示すように、検索は矢印方向に１画素ずつずら
し、図３（ａ）に示す処理領域１画素×１２８画素に対
応するように、一連の１２８画素（照合領域４２０）に
ついて、処理領域との差分演算を行い各照合領域毎に類
似性を求める。図４中、４１０は検索領域、４２０は照
合領域である。本実施例では、各演算を行った照合領域
（差分領域）毎に、その中で最も大きな差分結果の値を
代表値とし、全ての照合領域に対する代表値の内、最小
もしくは定められた値よりも小さくなった照合領域を類
似領域とする。次いで、試料の処理領域の画像データ
と、類似領域の画像データについて、それぞれ、対応す
る１画素毎に減算を施し（Ｓ１６０）、減算結果が予め
定めたレベルを超える箇所または予め定めたレベルを下
まわる箇所を欠陥部と判断する。（Ｓ１７０） 図５（イ）（ａ）は欠陥の無い処理領域のデータをグラ
フ化したもので、図５（イ）（ｂ）は欠陥のない類似領
域をグラフ化したもので、図５（イ）（ｃ）は、この場
合の処理領域、類似領域間で減算した結果のデータをグ
ラフ化したもので、欠陥のないデータ同志の減算の結果
はすべて０に近い値になることが分かる。これに対し、
図５（ロ）（ａ）はピンホール欠陥を撮影したデータを
含む処理領域をグラフ化したもので、図５（ロ）（ｂ）
は欠陥のない類似領域をグラフ化したもので、図５
（ロ）（ｃ）は、この場合の処理領域、類似領域間で減
算した結果のデータをグラフ化したものであるが、減算
の結果は、図５（ロ）（ｃ）のＡ０のように０に近い値
にならない欠陥部が検出される。尚、図５（ロ）（ａ）
に示すように、ピンホール欠陥部Ａ１は反射照明で撮影
するとその部分のみが暗くなり、その部分の撮影データ
の値が小さくなる。

【００１４】このようにして、処理領域を順次ずらし
て、試料全体の欠陥検出を行う。

【００１５】尚、基準画像データを得るには、予め基準
試料を撮影しておいて、検査を行う際にこれを用いるこ
ともできるが、試料のＮ番目の画像データをＮ＋１番目
の画像データの基準画像データとして用いることによ
り、基準画像データの作成と検査との時間的なずれを無
くすことも可能である。この場合には、Ｎが４以上の場
合は、Ｎ回目の検査を行う際に、Ｎ回目の検査で欠陥部
と検出されたものの内、Ｎ−１回目の検査において欠陥
部と検出された箇所を除き、Ｎが３以下の場合について
は、１番目の試料を基準画像として２番目の試料を検査
した１回目の検査結果と、２番目の試料を基準画像とし
て３番目の試料を検査した２回目の検査結果とを比較し
て、１回目の検査結果と２回目の検査結果で検出された
箇所が同じ場合、この箇所における欠陥は２番目の試料
の欠陥に因るものとし、１回目の検査結果で検出された
欠陥箇所が２回目の検査結果で検出されない場合には、
この欠陥箇所の検出は１番目の試料の欠陥に因るものと
し、１回目の検査結果で検出されず、２回目の検査結果
で検出された箇所については、３番目の試料の欠陥に因
るものとすることにより、確実な欠陥検査を可能とす
る。

【００１６】また、本実施例では、２０４８画素のＣＣ
Ｄラインセンサカメラを使用しており、、リードフレー
ムを試料とした場合は、リードフレーム１連分は、図７
に示すように２０４８画素×１００００画素程度の長方
形の画像データとなる。画像データの中には、本来欠陥
検出には必要とされない、図７の斜線部で示す無効領域
７２０があるため、この部分については処理の対象とし
ない方が効率的で、この部分を除いた検査領域７１０を
検査の処理対象領域とする。ここで１連とはリードフレ
ーム等の外形加工品での連続した製品の面付けを言い、
検査領域１単位分である。尚、フープ状の板にリードフ
レームを外形加工する場合には、１連を複数個、連続し
て連ねて加工するのが一般的である。

【００１７】本発明の外観検査装置の実施例を挙げ図に
基づいて説明する。図２は、本実施例装置を示した図
で、試料を外観検査している状態を示している。図６は
図２に示す実施例の外観検査装置における制御部内の概
略構成図であり、図６中、６１０は制御用演算部、６２
０は画像処理部、６３０は表示制御部、６４０は入出力
部、６５０は画像処理用演算部、６６０はＡ／Ｄ変換
部、６７０はメモリー部である。本実施例の装置は、本
発明の外観検査方法を実施するための装置であり、図２
に示すように、ほぼ一定の速度で一方向に移動する試料
１２０の線状領域を、ＣＣＤラインセンサカメラ（線状
領域撮影手段）１２０にて撮影することにより得られた
画像データを用いて、試料１２０の外観検査を行う検査
装置であって、試料を撮影するＣＣＤラインセンサカメ
ラ（線状領域撮影手段）１１０と、試料１２０を照明す
る照明手段（反射照明１３０、透過照明１４０）と、試
料１２０を一方向へ移動させる搬送装置（試料巻取り部
１５０、試料巻き出し部１６０）と、撮影された画像デ
ータを処理し欠陥検出を行う画像処理部をもち全体を制
御する制御部１７０とを備えている。そして、前述の本
発明の外観検査方法の実施例のように、予め基準試料を
用いて検査する試料の検査領域に対応する領域を、線状
領域撮影手段にて撮影して基準となる第一の画像データ
を準備しておき、検査される試料を前記線状領域撮影手
段にて撮影して試料の検査領域全体の画像データである
第二の画像データを得た後、第二の画像データの欠陥部
を検出する最小単位である処理領域毎に、順次第一の画
像データと比較して欠陥部の検出を行い、試料全体の欠
陥部の検出を行うものである。

【００１８】制御部１７０は、図６に示すように、全体
の動作を統括する制御演算部６１０と、撮影された画像
データを処理する画像処理部６２０と、表示部６３０
と、図２に示す試料巻取り部１５０、試料巻き出し部１
６０への入出力をつかさどる入出力部６４０とを有す
る。そして、画像処理部６２０は、少なくとも図２に示
す線状領域撮影手段で撮影した画像データをＡ／Ｄ変換
するＡ／Ｄ変換部６６０、線状領域撮影手段で撮影した
画像データをＡ／Ｄ変換してデジタル演算を施す演算部
６５０と、基準試料を線状領域撮影手段で撮影した画像
データをＡ／Ｄ変換した画像データ等を蓄積しておくメ
モリ部６７０とを備えている。画像処理部６２０は、検
査試料の第二の画像データの各処理領域に対し、基準と
なる第一の画像データにおいて、線状領域撮影手段によ
る試料撮影の位置再現精度等から割り出した、検査する
試料の処理領域の画像データに類似する画像データを有
する一連領域である類似領域を含む検索領域を決める処
理と、第一の画像データの検索領域内の画像データか
ら、処理領域の画像データに類似した画像データをも
つ、処理領域と同じサイズの一連領域を抽出し、これを
類似領域とする処理と、処理領域の画像データと、類似
領域の画像データについて、それぞれ、対応する１画素
毎に減算を施し、減算結果が予め定めたレベルを超える
箇所または予め定めたレベルを下まわる箇所をを欠陥部
と判断する処理とを順次行うものである。

【００１９】

【効果】本発明は、上記のように、試料の撮影をＣＣＤ
ラインセンサカメラのような線状領域を撮影する線状領
域撮影手段を用い、基準画像データとの比較により試料
の欠陥部を検出する外観検査方法において、試料ないし
線状領域撮影手段を高精度に移動させる移動手段を備え
ることなしでも、精度の低いローラ搬送を用いるフープ
状の試料をインラインで検査することができる外観検査
方法の提供を可能としており、同時に、基準画像データ
を得るための基準試料の撮影時期と、検査する試料を撮
影する時期が時間的に離さずにできる外観検査方法の提
供を可能にしている。また、本発明は、本発明の外観検
査方法を実施できる外観検査装置の提供を可能としてい
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施例の外観検査方法のフロー図

【図２】本実施例の外観検査装置を概略図

【図３】検索領域の決め方を説明するための図

【図４】類似領域をさがし方を説明するための図

【図５】欠陥部の抽出を説明するための図

【図６】制御部の構成を示した図

【図７】リードフレームを試料とした場合の検査領域を
説明するための図

【符号の説明】

１１０ ＣＣＤラインセンサカメラ
（線状領域撮影手段） １２０ 試料（リードフレーム） １３０ 反射照明 １４０ 透過照明 １５０ 試料巻取り部 １６０ 試料巻き出し部 １７０ 制御部 １８０ 表示部 １９０ マークセンサー ３１０ 第二の画像データ ３１２ 処理領域 ３２０ 第一の画像データ ３２２ 処理領域に対応する領域 ３２４ 検索領域 ４１０ 検索領域 ４２０ 照合領域 ６１０ 制御演算部 ６２０ 画像処理部 ６３０ 表示部 ６４０ 入出力部 ６５０ 演算部 ６６０ Ａ／Ｄ変換部 ６７０ メモリ部 ７１０ 検査領域 ７２０ 無効領域

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ほぼ一定の速度で一方向へ移動する試料
   の線状領域を、線状領域撮影手段にて撮影することによ
   り得られた画像データを用いて、試料の外観検査を行う
   検査方法であって、予め基準試料を用いて検査する試料
   の検査領域に対応する領域を、線状領域撮影手段にて撮
   影して基準となる第一の画像データを準備しておき、検
   査される試料を前記線状領域撮影手段にて撮影して試料
   の検査領域全体の画像データである第二の画像データを
   得た後、第二の画像データの欠陥部を検出する単位であ
   る処理領域毎に、順次第一の画像データと比較して欠陥
   部の検出を行い、試料全体の欠陥部の検出を行うもの
   で、且つ、第二の画像データの各処理領域の欠陥部の検
   出は、第二の画像データの各処理領域に対し、基準とな
   る第一の画像データにおいて、線状領域撮影手段による
   試料撮影の位置再現精度等から割り出した、検査する試
   料の処理領域の画像データに類似する画像データを有す
   る一連領域である類似領域を含む検索領域を決めるステ
   ップと、第一の画像データの検索領域内の画像データか
   ら、処理領域の画像データに類似した画像データをも
   つ、処理領域と同じサイズの一連領域を抽出し、これを
   類似領域とするステップと、処理領域の画像データと、
   類似領域の画像データについて、それぞれ、対応する１
   画素毎に減算を施し、減算結果が予め定めたレベルを超
   える箇所または予め定めたレベルを下まわる箇所を欠陥
   部と判断するステップとを順次有するものであることを
   特徴とする外観検査方法。
2. 【請求項２】 請求項１における類似領域の決定は、処
   理領域の画像データと、検索領域内の処理領域と同じサ
   イズの一連の線状領域の画像データについて、画素位置
   を変える毎に、類似性を求める計算を行い、計算結果よ
   り類似性の大きい箇所ほど類似していると判断して決め
   るものであることを特徴とする外観検査方法。
3. 【請求項３】 請求項２における類似性を求める計算
   は、処理領域と検索領域内の処理領域と同じサイズの一
   連の線状領域について、画素位置を変える毎に、一画素
   毎もしくは複数画素毎に差分演算を行うもので、演算を
   行った線状領域（差分領域）の中で最も大きな差分結果
   の値を代表値とし、該代表値が最小もしくは定められた
   値よりも小さくなったものを類似しているとするもので
   あることを特徴とする外観検査方法。
4. 【請求項４】 請求項１ないし３において、順次、検査
   されたＮ番目の試料を基準試料としてＮ＋１番目の試料
   を検査するＮ回目の検査を行うもので、且つ、Ｎが４以
   上の場合は、Ｎ回目の検査を行う際に、Ｎ回目の検査で
   欠陥部と検出されたものの内、Ｎ−１回目の検査におい
   て欠陥部と検出された箇所を除き、Ｎが３以下の場合に
   ついては、１番目の試料を基準画像として２番目の試料
   を検査した１回目の検査結果と、２番目の試料を基準画
   像として３番目の試料を検査した２回目の検査結果とを
   比較して、１回目の検査結果と２回目の検査結果で検出
   された箇所が同じ場合、この箇所における欠陥は２番目
   の試料の欠陥に因るものとし、１回目の検査結果で検出
   された欠陥箇所が２回目の検査結果で検出されない場合
   には、この欠陥箇所の検出は１番目の試料の欠陥に因る
   ものとし、１回目の検査結果で検出されず、２回目の検
   査結果で検出された箇所については、３番目の試料の欠
   陥に因るものとすることを特徴とする外観検査方法。
5. 【請求項５】 ほぼ一定の速度で一方向に移動する試料
   の線状領域を、線状領域撮影手段にて撮影することによ
   り得られた画像データを用いて、試料の外観検査を行う
   検査装置であって、試料を撮影する線状領域撮影手段
   と、試料を照明する照明手段と、試料を一方向へ移動さ
   せる搬送装置と、撮影された画像データを処理し欠陥検
   出を行う画像処理部とを備え、予め基準試料を用いて検
   査する試料の検査領域に対応する領域を、線状領域撮影
   手段にて撮影して基準となる第一の画像データを準備し
   ておき、検査される試料を前記線状領域撮影手段にて撮
   影して試料の検査領域全体の画像データである第二の画
   像データを得た後、第二の画像データの欠陥部を検出す
   る単位である処理領域毎に、順次第一の画像データと比
   較して欠陥部の検出を行い、試料全体の欠陥部の検出を
   行うもので、且つ、前記画像処理部は、第二の画像デー
   タの各処理領域に対し、基準となる第一の画像データに
   おいて、線状領域撮影手段による試料撮影の位置再現精
   度等から割り出した、検査する試料の処理領域の画像デ
   ータに類似する画像データを有する一連領域である類似
   領域を含む検索領域を決める処理と、第一の画像データ
   の検索領域内の画像データから、処理領域の画像データ
   に類似した画像データをもつ、処理領域と同じサイズの
   一連領域を抽出し、これを類似領域とする処理と、処理
   領域の画像データと、類似領域の画像データについて、
   それぞれ、対応する１画素毎に減算を施し、減算結果が
   予め定めたレベルを超える箇所を欠陥部と判断する処理
   とを順次行うものであることを特徴とする外観検査装
   置。
6. 【請求項６】 請求項５における、画像処理部は、少な
   くとも線状領域撮影手段で撮影した画像データをＡ／Ｄ
   変換するＡ／Ｄ変換部、線状領域撮影手段で撮影した画
   像データをＡ／Ｄ変換してデジタル演算を施す演算装置
   と、基準試料を線状領域撮影手段で撮影した画像データ
   をＡ／Ｄ変換した画像データ等を蓄積しておくメモリ部
   とを備えていることを特徴とする外観検査装置。