KR101009748B1 - 배향막 인쇄용 스템퍼 및 이의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 배향막 인쇄용 스템퍼의 제조 방법에 관한 것으로, 목표 사이즈의 배향막 인쇄용 스탬퍼 제작을 위해 상기 목표 사이즈보다 작은 다양한 사이즈의 기본 패턴들을 제작하는 단계와, 상기 목표 사이즈가 되도록 상기 기본 패턴들을 베이스 필름상에 정렬하여 베이스 몸체를 제작하는 단계와, 상기 정렬된 기본 패턴들 간의 인접 영역에 형성된 이격 공간을 충진 수지로 충진하는 단계와, 상기 베이스 몸체를 물속에 잠입시키는 단계와, 상기 베이스 몸체의 상기 충진 수지 영역에 광을 조사하여 상기 충진 수지를 경화시키는 단계 및 상기 베이스 몸체를 물속에서 꺼낸 다음 건조시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 인쇄용 스탬퍼의 제조 방법을 제공한다.

Description

배향막 인쇄용 스템퍼 및 이의 제조 방법{POLYIMIDE PRINTING STAMPER AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}

본 발명은 배향막 인쇄용 스템퍼 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 액정 표시 소자(Liquid Crystal Display Device; LCD)에 사용되는 배향막 인쇄를 위한 스템퍼의 제조 방법에 관한 것이다.

통상, 액정표시소자(Liquid Crystal Display; LCD)는 전계를 이용하여 액정의 광투과율을 조절함으로써 화상이 표시된다.

이를 위하여, 액정표시소자는 액정 셀들이 매트릭스 형태로 배열된 액정패널과, 이 액정패널을 구동하기 위한 구동회로를 구비하게 된다. 액정패널에는 액정셀들 각각에 전계를 인가하기 위한 화소전극들과 공통전극이 마련된다. 통상, 화소전극은 하부기판에 액정 셀 별로 형성되는 반면 공통전극은 상부기판의 전면에 형성된다.

하부기판의 화소전극들 각각은 스위칭소자로 사용되는 박막트랜지스터(Thin Film Transistor : TFT)에 접속된다. 화소전극은 박막트랜지스터를 통해 공급되는 데이터신호에 따라 공통전극과 함께 액정셀이 구동된다.

도 1은 종래 기술에 따른 액정 표시 소자의 단면도이다.

도 1을 참조하면, 종래의 액정표시소자는 상부기판(11) 상에 순차적으로 형성된 블랙매트릭스(32)와 칼라필터(30) 및 투명전극(28)을 구성으로 하는 상판과, 하부기판(1) 상에 형성된 박막트랜지스터와 화소전극(22)을 구성으로 하는 하판과, 상판과 하판 사이에 형성된 스페이서(26)와, 상판 및 하판과 스페이서(26)에 의해 마련된 내부공간에 주입된 액정(38)을 구비한다.

상판에서 블랙매트릭스(32)는 상부기판(11) 상에 매트릭스 형태로 형성되어 상부기판(11)의 표면을 칼라필터(30)들이 형성될 다수의 셀 영역들로 분리하고, 인접 셀간의 광간섭을 방지하는 역할을 한다. 이 블랙매트릭스(32)가 형성된 상부기판(1) 상에 적, 녹, 청 삼원색의 칼라필터(30)들이 순차적으로 형성된다. 이 경우, 삼원색의 칼라필터(30) 각각은 블랙매트릭스(32)가 형성된 상부기판(1)의 전면에 백색광원을 흡수하여 특정파장(적색, 녹색, 또는 청색)의 광만을 투과시키는 물질을 도포한 후 패터닝함으로써 형성된다. 블랙매트릭스(32) 및 칼라필터(30)가 형성된 상부기판(1) 상에 그라운드 전위가 공급되는 투명도전막인 투명전극(28)을 도포하여 상판을 완성하게 된다.

하판에서 액정셀의 구동을 스위칭하는 박막트랜지스터는 게이트라인 및 데이터라인의 교차부에 형성되며, 데이터라인 및 게이트라인 중 적어도 어느 하나에 중첩되는 화소전극(22)들은 매트릭스형태로 배열되어 하부기판(1) 상에 형성된다. 하부기판(1) 상에 금속막을 도포한 후 패터닝함으로써 게이트라인과 게이트전극을 형성한다. 게이트라인 및 게이트전극을 덮도록 하부기판 상에 전면 증착하여 게이트절연막(12)을 형성한다. 게이트절연막(12) 상에 제 1 및 제 2 반도체물질(14, 16)을 순차적으로 증착한 후 패터닝함으로써 활성층(14)과 오믹접촉층(16)을 형성한다. 이어서, 게이트절연막(12) 상에 금속막을 도포한 후 패터닝함으로써 데이터라인, 소스전극(8) 및 드레인전극(10)을 형성한 후, 소정크기의 채널을 형성하기 위해 오믹접촉층(16)을 식각하여 활성층(14)을 노출한다. 그리고, 게이트절연막 상에 유기물 보호막(18)을 스핀코팅에 의해 표면이 평탄하게 증착한 후 패터닝함으로써 드레인전극(10)이 노출되도록 콘텍홀(20)이 형성된다. 다음, 보호층(18)상에 투명전도성물질을 도포하여 패터닝함으로써 드레인전극(10)과 전기적으로 접속되는 화소전극(22)을 형성한다. 화소전극(22)이 형성된 하부기판(1)의 전면에 배향막(24)을 도포한 후 러빙공정을 수행하여 하판이 완성된다.

이후, 상판과 하판을 정위치시켜 합착한 후 구형상의 스페이서(26)를 산포한 후 액정을 주입하여 봉지함으로써 액정표시소자를 완성하게 된다.

상기와 같이 완성된 액정표시장치를 광학소자로 활용하기 위해서는 액정분자들을 특정 방향으로 배향시켜야 하는데, 통상의 액정분자들은 국부적으로만 배향한다. 따라서, 액정분자들을 특정 방향으로 배향시키기 위하여 배향막으로 불리는 유기고분자막을 ITO 전극 위에 인위적으로 형성한다. 이를 위해, 배향막은 배향액 예컨대, 폴리 아믹산, 가용성 폴리 이미드 등을 기판 상에 도포하고 경화하여 폴리 이미드화한 후 러빙함으로써 형성된다.

구체적으로, 배향막 인쇄방법은 배향막 인쇄장치를 이용하여 기판 상면에 배향액을 인쇄하고, 상기 배향액을 60℃~80℃정도의 온도로 가열하여 1차 경화한 다음, 좀더 높은 80℃~200℃ 정도의 온도로 가열하여 2차 경화한다. 그 후, 배향액의 표면에 러빙 또는 광조사하여 배향막을 형성한다.

종래의 배향막은 기판 상에 닥터롤과 아니록스 롤등의 인쇄롤을 이용한 인쇄 방법으로 제작하였다.

물론 이외의 다른 방법으로는 배향막을 인쇄 과정을 통해 투명전극과 컬러 필터를 구비한 기판에 인쇄할 수 있다. 플렉소 인쇄와 같이 스템퍼에 대응하는 배향막이 인쇄되도록 할 수 있다.

이러한 배향막 인쇄용 스템퍼의 제조 기술은 다양한 기술이 개발되었다.

특히 최근에는 UV 감광성 수지를 이용하여 배향막을 인쇄하는 스템퍼 제조 기술이 각광받고 있다.

이는 제 1 유리 기판에 베이스필름을 깔고, 그 상부에 액상의 UV감광성수지를 도포한 다음 박막의 투명한 커버필름과 투광과 비투광영역을 갖는 이미지 필름을 적층하고, 제 2 유리 기판을 적층한다.

이어서, 상기 필름의 외측에서 UV 조사장치를 통해 UV광을 소정시간 조사한다. 이때, UV 조사에 의해 이미지 필름의 투광 영역 내의 UV감광성 수지가 경화되고, 비투광성영역에는 경화되지 않는다.

이어서, 커버필름과 이미지 필름을 제거하고, 경화되지 않은 수지를 제거하여 배향막 인쇄용 스템퍼를 제조한다.

그러나, 이러한 종래의 액정표시소자의 배향막 인쇄용 스템퍼는 그 크기를 크게할 수 없는 단점이 있다. 이로인해 액정표시소자의 사이즈가 증가할 경우 스템퍼의 크기 또한 함께 증가되어야 하는 단점이 있다.

따라서, 본 발명은 상기의 제반 문제를 해결하기 위하여 창출된 것으로, 액정표시소자의 사이즈가 증가 또는 가변되더라도 작은 사이즈의 스템퍼를 이용하여 다양한 크기의 액정표시소자의 배향막 인쇄용 스템퍼를 제작할 수 있는 배향막 인쇄용 스템퍼 및 이의 제조 방법을 제공하는 것이다.

본 발명에 따른 목표 사이즈의 배향막 인쇄용 스탬퍼 제작을 위해 상기 목표 사이즈보다 작은 다양한 사이즈의 기본 패턴들을 제작하는 단계와, 상기 목표 사이즈가 되도록 상기 기본 패턴들을 베이스 필름상에 정렬하여 베이스 몸체를 제작하는 단계와, 상기 정렬된 기본 패턴들 간의 인접 영역에 형성된 이격 공간을 충진 수지로 충진하는 단계와, 상기 베이스 몸체를 물속에 잠입시키는 단계와, 상기 베이스 몸체의 상기 충진 수지 영역에 광을 조사하여 상기 충진 수지를 경화시키는 단계 및 상기 베이스 몸체를 물속에서 꺼낸 다음 건조시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 인쇄용 스탬퍼의 제조 방법을 제공한다.

상기 베이스 몸체를 물이 담긴 욕조 내에 잠입하는 것을 특징으로 한다.

상기 충진 수지로 상기 기본 패턴 제작을 위해 사용한 광감성 수지 재료를 사용하고, 상기 베이스 필름 및 상기 차단 필름으로 PET 필름을 사용하는 것을 특징으로 한다.

상기 차단 필름으로 커버하는 단계 이후에 상기 충진 수지에 UV 광을 조사하여 예비 경화시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 예비 경화 단계 전에 상기 충진 수지 상측을 차단 필름을 커버하는 단계를 포함하고, 상기 예비 경화 단계 후에 상기 차단 필름을 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 물속에 잠긴 충진 수지 영역에 40 내지 80분간 광을 조사하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 목표 사이즈 보다 작은 다수의 기본 패턴들을 결합하여 제작된 배향막 인쇄용 스템퍼에 있어서, 상기 다수의 기본 패턴이 목표 사이즈로 정렬된 베이스 몸체와, 상기 기본 패턴들 간의 인접 영역의 이격 공간에 충진된 충진 수지와, 상기 충진 수지 상측 영역에 위치한 차단 필름을 포함하고, 상기 충진 수지로 광감성 수지 재료를 사용하고, 상기 충진 수지를 수중에서 노광한 것을 특징으로 하는 배향막 인쇄용 스템퍼를 제공한다.

상술한 바와 같이 본 발명은 다양한 사이즈의 기본 패턴을 연결하여 목표로하는 대면적의 배향막 인쇄용 스템퍼를 제작할 수 있다.

또한, 물속 노광을 통해 광경화성 재질의 경화 특성을 향상시킬 수 있고, 제작 단가와 제작 공정을 단순화시킬 수 있다.

도 1은 종래 기술에 따른 액정 표시 소자의 단면도.
도 2 내지 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 배향막 인쇄용 스템퍼의 제조 방법을 설명하기 위한 단면 개념도.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 더욱 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.

도 2 내지 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 배향막 인쇄용 스탬퍼의 제조 방법을 설명하기 위한 단면 개념도이다.

도 2에 도시된 바와 같이 목표 사이즈에 해당하는 배향막 인쇄용 스탬퍼 제작을 위해 다양한 사이즈의 기본 패턴(100)을 제작한다. 기본 패턴(100)의 형태의 정사각형 및 직사각형과 같은 다각형 형태인 것이 효과적이다. 이는 배향막이 인쇄될 액정표시소자가 직사각형 형태로 제작되기 때문이다. 이때, 기본 패턴(100)은 베이스 필름과 감광성 수지를 포함한다.

큰 사이즈 즉, 예를 들어 8 ~ 10 세대 액정 표시소자에 사용될 배향막 인쇄용 스탬퍼를 제작하기 위해 이보다 작은 세대의 액정 표시소자에 사용될 배향막 인쇄용 스탬퍼를 그대로 기본 패턴(100)으로 사용하거나 소정 크기로 절단하여 기본 패턴(100)을 제작한다.

도 3에 도시된 바와 같이 상기 기본 패턴(100)을 제작하고자 하는 배향막의 크기에 맞게 나열한다.

상기의 도 3에서는 2개의 기본 패턴(100)을 인접 배치하였다. 물론 도시되지는 않았지만, 이보다 많은 기본 패턴(100)이 사용될 수 있다. 이는 제작하고자 하는 액정표시소자의 사이즈 즉, 목표하는 배향막의 사이즈 그리고, 기본 패턴(100)의 크기에 따라 다양할 수 있다. 앞서 언급한 바와 같이 본 실시예에서는 목표하는 사이즈의 크기가 기본 패턴(100)의 최대 사이즈보다 크기 때문에 적어도 2개 이상의 기본 패턴(100)이 사용된다.

여기서, 동일한 배향막 성능을 위해 기본 패턴(100)의 구성과 기본적인 물리적인 특성은 동일한 것이 효과적이다.

또한, 본실시 예에서는 다수의 기본 패턴(100)을 인접 배치하기 때문에 적어도 1개 이상의 인접 면이 형성된다.

이어서, 도 4에 도시된 바와 같이 기본 패턴(100)을 베이스 필름(120)상에 근접 나열하여 목표하는 사이즈의 베이스 몸체(130)를 제작한다. 이때, 베이스 필름(120)들 간의 인접 면 영역에는 이격 공간(140)이(즉, 연결홈) 발생한다.

물론 효과적으로는 베이스 필름(120)상에 배치되는 기본 패턴(100)은 인접면 부분이 밀착 인접되는 것이 바람직하나, 하지만, 도 4에서와 같이 기본 패턴의 일부가 미세하게 이격된다.

이어서, 상기 기본 패턴(100)들간의 이격 공간(140)을 액상의 충진 수지(110)를 충진한다. 이때, 상기 충진 수지(110)로 액상의 미 경화된 수지를 사용하되, 본 실시예에서는 광에 의해 경화되는 감광성 수지를 사용하는 것이 효과적이다.

이때, 액상의 감광성 수지는 두개 이상의 기본 패턴(100) 사이에 0.1 내지 3mm의 폭으로 기본 패턴(100)의 높이만큼 충진하는 것이 바람직하다.

더욱이 인접한 기본 패턴(100)들 간을 연결하기 위해서는 기본 패턴(100)과 동일한 재질의 원료를 사용하는 것이 패턴 간의 이질감을 없애고 완전한 하나의 패턴으로 결합이 가능하다. 즉, 본 실시예에서는 충진 수지(110)로 기본 패턴(100)을 구성하는 액상의 감광성 수지 물질을 사용한다.

그리고, 본 실시예에서는 베이스 필름(120)으로 PET 필름을 사용한다. 물론 이외에 다양한 수지 필름을 사용할 수 있다. 이때, 상기 베이스 필름(120)의 사이즈는 목표하는 액정표시소자의 사이즈 즉, 배향막 인쇄판의 사이즈와 같거나 이보다 큰 것이 효과적이다. 작업의 편의성을 위해 목표하는 사이즈보다 약간 큰(약 5 내지 20%) 것이 효과적이다.

이어서, 도 5에서와 같이 상기 베이스 몸체(130)의 이격 공간(140)의 상측 영역에 차단 필름(150)으로 커버한다.

이때, 차단 필름(150)은 공기 중의 산소로부터 충진 수지(110)를 차단시키고, 후속 UV 조사시 기본 패턴(100)과 동일하게 경화되도록 할 수 있다. 또한, 차단 필름(150)은 충진 수지(110)가 이격 공간(140)을 벗어나는 것을 방지할 수 있다. 또한, 후속 공정(수중 노광)시 충진 수지(110)의 소실을 방지할 수 있다. 여기서, 차단 필름(150)으로 PET 필름을 사용하는 것이 바람직하다.

본 실시예에서는 이격 공간(140)의 전 영역에 충진 수지(110)가 충진되는 것이 바람직하다. 따라서, 차단 필름(150)의 경우도 인접하는 기본 패턴(100)의 전체 인접면 영역 상에 형성되는 것이 바람직하다.

이어서, 도 6에서와 같이 UV 광을 베이스 몸체(130)의 이격 공간(140) 영역에 조사하여 충진 수지(110)를 예비 경화한다.

UV 광 조사를 위해 UV 램프 또는 UV LED를 사용하는 것이 바람직하다. 물론 별도의 UV 경화기를 사용할 수도 있다. 이러한 예비 경화를 통해 충진 수지(110)가 후속 수중 노광 공정시 씻겨 나가는 것을 방지할 수도 있다.

이어서, 도 7에서와 같이 베이스 몸체(130)를 물속에 위치시킨다. 물속에 위치한 베이스 몸체(130)에 UV 광을 2차 조사하여 이격 공간(140)의 충진 수지(110)를 2차 경화시킨다. 이를 통해 액상 및 젤 상의 충진 수지(110)가 경화(고체화)된다. 이때, 예비 경화시 공기중의 산소로 부터 충진 수지(110)를 보호하기 위해 부착하였던 PET 필름인 차단 필름(150)을 제거한다. 이는 베이스 몸체(130) 즉, 예비 경화된 충진 수지(110)가 물속에 담겨지기 때문이다.

이를 위해 별도의 물이 채워진 챔버 또는 통과 같은 욕조(200)를 마련한다. 그리고, 상기 욕조(200)의 사이즈는 목표로 하는 배향막 인쇄판의 사이즈보다 더 큰 것이 효과적이다.

이와 같이 물 내에 베이스 몸체(130)를 위치시키고, 충진 수지(110)에 UV 광을 조사하여 충진 수지(110)를 완전히 고착시켜 기본 패턴(100)을 결합시킬 수 있다.

이는 감광성 재료인 충진 수지(110)의 경우, 진공 상태에서만 고체 상태로 경화될 수 있다. 즉, 진공 내에서 감광성 재료에 UV 광을 조사할 경우에 고체 상태가 된다. 하지만, 본 실시 예에서는 진공 방법 대신 물 사용하는 방법을 적용(채택)하여 액상의 감광성 재료인 충진 수지(110)를 경화시킬 수 있다.

이를 위해 앞서 언급한 바와 같이 욕조(200) 내에 물을 채워 놓는다. 이때, 욕조(200) 내의 물의 깊이는 베이스 몸체(130)가 충분히 잠길 수 있는 정도의 것이 효과적이다. 그리고 베이스 몸체(130)의 바닥면이 욕조(200)의 바닥에 밀착되는 것이 효과적이다. 물론 욕조(200)의 바닥면에는 소정의 돌기가 위치하고 이 돌기 상에 베이스 몸체(130)가 위치할 수 있다. 이를 통해 욕조(200) 내의 물의 중심 영역에 상기 베이스 몸체(130)가 위치할 수 있다.

본 실시 예에서는 욕조(200)의 내측면에 UV 광을 반사시키는 광 반사막이 형성되어 있는 것이 가능하다. 이를 통해 욕조(200)의 물 외측에서 조사된 UV 광이 욕조 내에서 외측으로 퍼지는 것을 방지할 수 있다.

본 실시 예에서는 욕조(200) 내에 베이스 몸체(130)를 위치시킨 다음 물을 욕조에 부어 베이스 몸체(130)가 물에 잠기게 하거나, 물이 담긴 욕조(200)에 베이스 몸체(130)를 넣을 수도 있다. 이때 베이스 몸체(130)는 별도의 이송 수단을 이용하여 욕조(200)에 잠길 수 있다. 또한, 본 실시 예에서는 욕조(200)의 측면으로 베이스 몸체(130)가 인입될 수 있다. 이를 위해 욕조(200)에 별도의 출입구가 형성될 수 있다. 이때, 앞서 언급한 바와 같이 베이스 몸체(130)가 별도의 이송 수단에 의해 욕조(200)에 인입될 수 있다. 이를 통해 베이스 몸체(130)의 휘어짐을 방지할 수 있다.

또한, 베이스 몸체(130)가 욕조(200) 내에 잠길 때 별도의 받침과 같은 지지 수단에 의해 고정된 이후에 욕조(200)에 잠길 수도 있다.

그리고, 본 실시 예에서는 도 7에서와 같이 욕조(200)의 외측 즉, 물의 외측에서 UV 광을 조사하는 것이 효과적이다.

이때, UV 광을 조사하는 조사 장치 즉, 경화 장치 내의 UV 광원과 기본 패턴(100) 상측면 특히, 충진 수지(110)가 위치한 연결면 영역과의 이격 거리가 50cm 이하인 것이 효과적이다. 만일 50cm이상일 경우 UV 광이 수지 영역에 집중되지 못하는 단점이 있다.

물론 본 실시 예에서는 상기 물속(즉, 수중)에 상기 UV 광원이 위치할 수도 있다. 이때, UV 광원으로 램프를 사용하는 경우, 램프의 유리 영역이 욕조(200) 내에 위치하는 것이 바람직하다.

또한, 본 실시예에서는 욕조(200)를 투광성의 재질로 사용할 수 있다. 이 경우, UV 광원이 욕조(200)의 측면 또는 바닥면에 위치할 수 있다. 이때, 욕조(200)에는 그 하 측면에 광 반사막이 형성됨 커버가 형성될 수 있다.

그리고, 본 실시 예에서는 약 40 내지 80분간 UV 광을 조사하여 충진 수지(110)를 고착시킨다. 이때, 상기 40분보다 짧게 조사할 경우에는 접착재 표면의 끈적거림이 잔류하게 되는 문제가 발생한다. 또한, 상기 80분보다 오래 조사할 경우에는 경과 시간의 증대로 인해 작업성이 낮아지는 문제가 발생한다.

또한, 물의 온도는 15 내지 35도 범위 내의 온도인 것이 효과적이다.

또한, 경화 효과를 높이기 위해 물을 와류시키는 것이 가능하다.

물론 본 발명은 상술한 물속이 아니라 진공 챔버 내에서 충진 수지(110)를 경화시킬 수 있다. 하지만, 이 경우, 진공 챔버의 부피와 가격의 증대로 전체 제품의 가격이 증가하게 되고, 진공의 위험도로 인해 작업이 저하될 수 있다.

이어서, 도 8에 도시된 바와 같이 욕조(200) 내에서 베이스 몸체(130)를 꺼낸 다음 이를 건조시킨다.

이때, 건조는 자연 건조시키는 것이 효과적이다. 물론 이에 한정되지 않고, 별도의 열풍 건조를 실시할 수도 있다. 건조시 베이스 몸체(130)를 지면에 대하여 수직하게 배치되는 것이 효과적이다.

100 : 기본 패턴
110 : 충진 수지
120 : 베이스 필름
130 : 베이스 몸체
140 : 이격 공간
150 : 차단 필름

Claims (7)

1. 목표 사이즈의 배향막 인쇄용 스탬퍼 제작을 위해 상기 목표 사이즈보다 작은 다양한 사이즈의 기본 패턴들을 제작하는 단계;
   상기 목표 사이즈가 되도록 상기 기본 패턴들을 베이스 필름상에 정렬하여 베이스 몸체를 제작하는 단계;
   상기 정렬된 기본 패턴들 간의 인접 영역에 형성된 이격 공간을 충진 수지로 충진하는 단계;
   상기 충진 수지로 충진된 베이스 몸체의 이격 공간의 상측 영역을 차단 필름으로 커버하는 단계;
   광을 조사하여 상기 충진 수지를 예비 경화하는 단계;
   상기 베이스 몸체를 물이 담긴 욕조 내에 잠입시키는 단계;
   상기 베이스 몸체의 상기 충진 수지 영역에 광을 조사하여 상기 충진 수지를 경화시키는 단계; 및
   상기 베이스 몸체를 물속에서 꺼낸 다음 건조시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 인쇄용 스탬퍼의 제조 방법.
   
2. 목표 사이즈의 배향막 인쇄용 스탬퍼 제작을 위해 상기 목표 사이즈보다 작은 다양한 사이즈의 기본 패턴들을 제작하는 단계;
   상기 목표 사이즈가 되도록 상기 기본 패턴들을 베이스 필름상에 정렬하여 베이스 몸체를 제작하는 단계;
   상기 정렬된 기본 패턴들 간의 인접 영역에 형성된 이격 공간을 충진 수지로 충진하는 단계;
   상기 충진 수지로 충진된 베이스 몸체의 이격 공간의 상측 영역을 차단 필름으로 커버하는 단계;
   광을 조사하여 상기 충진 수지를 예비 경화하는 단계;
   상기 차단 필름을 제거하는 단계;
   상기 베이스 몸체를 물이 담긴 욕조 내에 잠입시키는 단계;
   상기 베이스 몸체의 상기 충진 수지 영역에 광을 조사하여 상기 충진 수지를 경화시키는 단계; 및
   상기 베이스 몸체를 물속에서 꺼낸 다음 건조시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 배향막 인쇄용 스탬퍼의 제조 방법.
   
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 충진 수지로 상기 기본 패턴 제작을 위해 사용한 광감성 수지 재료를 사용하고, 상기 베이스 필름 및 상기 차단 필름으로 PET 필름을 사용하는 것을 특징으로 하는 배향막 인쇄용 스템퍼의 제조 방법.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 물속에 잠긴 충진 수지 영역에 40 내지 80분간 광을 조사하는 것을 특징으로 하는 배향막 인쇄용 스템퍼의 제조 방법.
   
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