KR100966228B1 - 유리 데이터 설계 시스템과 방법 및 그 방법을 수행하는 프로그램을 기록한 컴퓨터로 독출가능한 기록매체 - Google Patents

Abstract

휴대전화기의 패널로 대표되는 것 같은 작은 유리 패널을, 큰 레티클을 경유하여, 큰 유리 기판 상에 노광하는 경우에, 레티클 데이터와 유리 데이터를 동시 설계하고, 그 비용 계산에 최적의 해를 제공하는 유리 데이터 설계 시스템의 실현을 목적으로 하는 것으로, 패널 셀 데이터와 얼라인먼트 마크 데이터의 형상 및 유리 셀 크기, 각 데이터의 배치 정보를 포함하는 파라미터 정보를 입력하고, 패널 레티클 셀 데이터를 출력하는 패널 레티클 데이터 출력 기능(111a)과, 얼라인먼트 레티클 셀 데이터를 작성하여 출력하는 얼라인먼트 레티클 데이터 출력 기능(111b)을 가지는 레티클 데이터 작성 수단(111)과, 유리 셀 데이터를 작성하여 출력하는 유리 셀 데이터 출력 기능(112a)과, 유리 셀 데이터 작성을 위한 레시피 정보를 작성하여 출력하는 레시피 정보 출력 기능(112b)을 가지는 유리 셀 데이터 작성 수단(112)을 구비하는 것을 특징으로 한다.

패널, 얼라인먼트, 레티클, 셀, 유리, 레시피 정보

Description

유리 데이터 설계 시스템과 방법 및 그 방법을 수행하는 프로그램을 기록한 컴퓨터로 독출가능한 기록매체{SYSTEM AND METHOD FOR PLANNING GLASS DATA AND COMPUTER-READABLE RECORD MEDIUM ON WHICH PROGRAM EXECUTING THE METHOD IS RECORDED}

본 발명은 플랫 패널 디스플레이 제조용의 유리 데이터 설계 시스템, 유리 데이터 설계 방법 및 프로그램에 관한 것이다.

종래, 플랫 패널 디스플레이 제조용의 유리 데이터의 작성에 있어서는, 우선 패널 셀 데이터(panel cell data)로부터 레티클(reticle) 데이터를 작성하고, 이 레티클 데이터를 유리 상에 어레이(array) 배치시켜 유리 데이터를 작성하고 있다. 즉, 이 레티클 데이터 작성과 유리 상의 어레이 배치 데이터 작성은 독립적으로 행해지고 있었다.

그렇지만, 휴대전화기로 대표되는 것 같은 소형의 플랫 패널 디스플레이를 대규모 유리 기판 상에서 레티클 데이터를 통해 노광하는 경우에는, 몇 개의 패널 디스플레이가 몇 회의 노광 샷(shot)으로 제조되는 지를 미리 예측할 필요가 있다. 즉, 패널 셀을 회전시키는 편이 제조 개수를 증가시키는 것인지, 직사각형의 레티 클인지 원형의 레티클인지 어느 쪽이 제조 개수를 증가시키는 것인지 등의 모든 조건에 의해 제조 개수가 다르기 때문이다.

이것은 일종의 최적화 조건의 선택 또는 그 예측 문제라고 말할 수 있다. 이러한 제조상의 비용 최적화를 측정하는데 있어서의 패널 셀과 레티클 데이터와 유리 데이터의 관계를 파라미터에 의해 제어를 도모하는 고안의 보고예는 지금까지 볼 수 없다.

예를 들면, 특허 문헌 1에 있어서 노광 빔의 조건을 바꾸는 것으로, 노광 장치 그것의 노광 조건을 최적화 선을 위한 레티클 작성 방법을 서술하고 있지만, 이것은 본 발명이 해결을 도모하는 것처럼 데이터 수의 최적화를 도모하는 것은 아니고, 그 견적을 내는 것도 아니다.

특허 문헌 1 : 일본국 특허공개공보 2006－332703호

본 발명이 해결을 도모하는 과제는, 패널 셀과 유리 크기가 정해져 있는 경우에 있어서 레티클을 경유하여 어떠한 조건으로 노광 데이터를 작성하면 최적 해가 얻어지는가를 견적함과 아울러, 레티클 데이터와 유리 데이터의 제조 데이터를 동시에 작성하는 설계 시스템을 구축하는 것이다.

최적화 문제라고 하면 선형 계획법이 저명하지만, 본 발명의 분야에 있어서는, 레티클의 크기와 유리의 크기가 큰 만큼 제조 개수는 증가하고 노광 횟수는 감소하므로, 선형 계획법에 의해 요구되는, 서로 반대되는 사상(事象)이 명확하지 않다고 하는 특징이 있다. 따라서, 주어진 조건에서 제조 개수와 노광 횟수가 판명되면 견적 예측상(上)은 충분하다고 말할 수 있다.

또, 견적 예측뿐만 아니라 동시에 제조 데이터를 작성하는 것도 요구된다. 또한, 본 발명에 있어서, 그래픽 디스플레이(graphic display) 상에서의 확인이 요구된다. 즉, 각종 파라미터를 변경하였을 때에, 그 결과인 레티클 상의 배치 데이터나 유리 상의 어레이 배치 데이터를 그래픽(graphic)으로 확인할 필요가 있기 때문이다.

또, 어디까지나 노광 장치로 노광하는 데이터를 작성 또는 추측하는 것이기 때문에, 제조 가능한 데이터를 작성 또는 추측할 필요가 있다.

즉, 노광 장치에는 반드시 노광 가능 범위(스트로크(stroke)라고도 칭한다)가 노광 샷 단위로 규정되게 되고, 이 범위 내에 들어가 있을지 아닐지의 검증도 필요하다.

또한, 제조 가능한 데이터를 작성하는 것이기 때문에, 이것은 노광 장치의 입력으로 되는 데이터 파일로 된다. 즉, 이것은 통상 레시피(recipe) 정보로 칭해지는 곳의 노광 장치의 동작을 기술하는 데이터 파일로 된다.

본 발명은 휴대전화기의 패널로 대표되는 것 같은 작은 유리 패널을, 큰 레티클을 경유하여 큰 유리 기판 상에 노광하는 경우에 있어서, 레티클 데이터와 유리 데이터가 동시에 얻어짐과 아울러, 그 제조 개수와 노광 횟수, 즉 비용 계산을 추측하여, 최적의 해를 제공하는 유리 데이터 설계 시스템의 실현, 또 그 시스템에서 이용되는 유리 데이터 설계 방법 및 그 프로그램의 제공을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 플랫 패널 디스플레이용 유리 데이터 설계 시스템은, 연산 처리부, 저장부 및 입출력 수단을 구비하고 있고, 상기 연산 처리부는, 패널 셀 데이터의 형상과, 상기 패널 셀 데이터의 주변에 배치되는 얼라인먼트 마크 데이터(alignment mark data)의 형상과, 각 데이터의 배치 정보를 포함하는 파라미터 정보를 입력하고, 상기 패널 셀 데이터가 배치된 투광용 포토마스크의 데이터인 패널 레티클 셀 데이터를 출력하는 패널 레티클 데이터 출력 기능과, 상기 얼라인먼트 마크 데이터가 배치된 투광용 포토마스크의 데이터인 얼라인먼트 레티클 셀 데이터를 작성하여 출력하는 얼라인먼트 레티클 데이터 출력 기능을 가지는 레티클 데이터 작성 수단과, 상기 패널 셀 데이터와 상기 얼라인먼트 마크 데이터가 배치되는 유리 셀 데이터를 작성하여 출력하는 유리 셀 데이터 출력 기능과, 유리 셀 데이터 작성을 위한 레시피 정보를 작성하여 출력하는 레시피 정보 출력 기능을 가지는 유리 셀 데이터 작성 수단과, 상기 입출력 수단을 제어하는 입출력 제어 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.

또, 상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 플랫 패널 디스플레이용 유리 데이터 설계 방법은, 패널 셀 데이터, 얼라인먼트 마크 데이터 및 유리 셀 크기, 각 데이터의 배치 정보를 구비한 파라미터 정보를 포함하는 데이터를 입력하는 데이터 입력 공정과, 상기 패널 셀 데이터와 상기 파라미터 정보로부터 패널 셀의 최대의 노광 단위 집합인 레티클 셀A의 데이터를 작성하는 레티클 셀A 데이터 작성 공정과, 상기 유리 셀 크기 상에 상기 레티클 셀A의 일부 또는 전부를 이용하여 노광하는 복수의 노광 샷 영역의 배치를 식별하는 노광 샷 영역 식별 공정과, 상기 복수의 노광 샷 영역으로부터 노광 영역의 크기순으로 특정의 상기 노광 샷 영역을 상기 레티클 셀A로부터 선택하는 노광 샷 영역 선택 공정과, 선택된 상기 노광 샷 영역을 유리 셀 상에 노광 샷으로서 배치하는 노광 샷 배치 공정과, 배치된 상기 노광 샷 영역이 제조상 노광 가능한지 어떤지를 판정하는 노광 가능 범위 검사 공정과, 상기 노광 샷 배치 공정에서 배치되고 상기 노광 가능 범위 검사 공정에서 노광 가능이 판정된 상기 노광 샷 영역에 의해 상기 유리 셀의 패널 셀의 노광 가능 범위가 모두 묻혀있는지 어떤지를 판정하는 유리 셀 노광 완료 판정 공정과, 상기 유리 셀 노광 완료 판정 공정에서 상기 유리 셀 노광 영역이 묻혀있지 않은 것으로 판정되는 경우, 다시 상기 노광 샷 영역 선택 공정으로 돌아와 같은 처리를 반복하는 노광 샷 영역 선택 재현 공정과, 상기 얼라인먼트 마크 데이터와 상기 파라미터 정보로부터 얼라인먼트 마크의 노광 샷 데이터인 샷B의 데이터를 작성하여 상기 유리 셀 크기 상에 어레이 배치하는 얼라인먼트 마크 배치 공정과, 상기 샷B의 데이터를 레티클 상에 작성하여 레티클 셀B 데이터를 작성하는 레티클 셀B 데이터 작성 공정과, 상기 레티클 셀B 데이터에 의해 작성된 얼라인먼트 마크가 제조상 노광 가능한지 어떤지를 판정하는 얼라인먼트 마크 노광 가능 범위 검사 공정과, 상술한 각 공정에 의해 유리 셀 상에 형성된 각 노광 샷 전체에 대해서 상기 파라미터 정보로 지정된 유리 셀의 마진(margin)에 들어가는지를 검사하는 마진 검사 공정과, 마지막에 작성된 데이터와 유리 셀을 작성하기 위한 레시피 정보를 출력하는 설계 결과 출력 공정을 구비하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 과제를 해결하기 위해, 연산 처리부와, 저장부와, 입출력 수단을 구비한 플랫 패널 디스플레이용 유리 데이터 설계 시스템의 유리 데이터 설계용의 프로그램으로서, 패널 셀 데이터, 얼라인먼트 마크 데이터 및 유리 셀 크기, 각 데이터의 배치 정보를 구비한 파라미터 정보를 포함하는 데이터를 읽어들이는 데이터 입력 프로그램과, 상기 패널 셀 데이터와 상기 파라미터 정보로부터 패널 셀의 최대의 노광 단위 집합인 레티클 셀A의 데이터를 작성하는 레티클 셀A 데이터 작성 프로그램과, 상기 유리 셀 크기 상에 상기 레티클 셀A의 일부 또는 전부를 이용하여 노광하는 복수의 노광 샷 영역의 배치를 식별하는 노광 샷 영역 식별 프로그램과, 상기 복수의 노광 샷 영역으로부터 노광 영역의 크기순으로 특정의 상기 노광 샷 영역을 상기 레티클 셀A로부터 선택하는 노광 샷 영역 선택 프로그램과, 선택된 상기 노광 샷 영역을 유리 셀 상에 노광 샷으로서 배치하는 노광 샷 배치 프로그램과, 배치된 상기 노광 샷 영역이 제조상 노광 가능한지 어떤지를 판정하는 노광 가능 범위 검사 프로그램과, 상기 노광 샷 배치 프로그램으로 배치되고 상기 노광 가능 범위 검사 프로그램으로 노광 가능이 판정된 상기 노광 샷 영역에 의해 상기 유리 셀의 패널 셀의 노광 가능 범위가 묻혀있는지 어떤지를 판정하는 유리 셀 노광 완료 판정 프로그램과, 상기 유리 셀 노광 완료 판정 프로그램으로 상기 유리 셀 노광 영역이 묻혀있지 않은 것으로 판정되는 경우, 다시 상기 노광 샷 영역 선택 프로그램으로 돌아와 같은 처리를 반복하는 노광 샷 영역 선택 재현 프로그램과, 상기 얼라인먼트 마크 데이터와 상기 파라미터 정보로부터 얼라인먼트 마크의 노광 샷 데이터인 샷B의 데이터를 작성하여 상기 유리 셀 크기 상에 어레이 배치하는 얼라인먼트 마크 배치 프로그램과, 상기 샷B의 데이터를 레티클 상에 작성하여 레티클 셀B 데이터를 작성하는 레티클 셀B 데이터 작성 프로그램과, 상기 레티클 셀B 데이터에 의해 작성된 얼라인먼트 마크가 제조상 노광 가능한지 어떤지를 판정하는 얼라인먼트 마크 노광 가능 범위 검사 프로그램과, 상술한 각 프로그램에 의해 유리 셀 상에 형성된 각 노광 샷 전체에 대해서 상기 파라미터 정보로 지정된 유리 셀의 마진에 들어가는지를 검사하는 마진 검사 프로그램과, 마지막에 작성된 데이터와 유리 셀을 작성하기 위한 레시피 정보를 출력하는 설계 결과 출력 프로그램을 컴퓨터로 실행시키는 것을 특징으로 한다.

이들에 의해, 휴대전화기의 패널로 대표되는 것 같은 작은 패널을, 큰 레티클을 사용하여, 큰 유리 기판 상에 노광하는 경우에, 종래에 독립적으로 처리되고 있던 레티클 데이터의 작성과, 유리 데이터의 작성을 동시에 할 수가 있고, 패널 셀 데이터의 회전을 포함하는 파라미터를 통해 제조 단가와 노광 처리 시간이 미리 예측 가능하게 되어, 보다 최적의 제조 조건을 전제로 한 데이터 처리가 가능하게 된다.

또한, 노광 샷 횟수도 산출할 수 있으므로, 노광 장치에 걸리는 시간의 산출이 가능하게 되고, 노광 장치에 기인(起因)하는 곳의 유리 셀 상의 패널 셀 제조 원가 계산이 가능하게 된다.

따라서, 비용 계산을 용이하게 하고 최적의 해를 얻을 수 있는 제조 데이터를 작성 가능한 유리 데이터 설계 시스템을 실현할 수가 있다. 또한, 이 시스템에서 이용되는 유리 데이터 설계 방법 및 그 프로그램을 제공할 수가 있다.

이하 본 발명을 도면에 따라 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명의 플랫 패널 디스플레이용 유리 데이터 설계 시스템(10)의 일실시 형태의 기능 블록도이다.

본 시스템(10)은 연산 처리부(11)와, 저장 수단(12)과, 표시 장치(13), 마우스 장치(14) 및 키보드 장치(15) 등으로 이루어지는 입출력 수단을 포함하여 구성되어 있다.

본 실시의 형태는 저장 수단(12)을 장착한 연산 처리부(프로세서)(11)상에서 주행하는 프로그램 군(群)(121)으로 구성된다.

주요한 프로그램으로서는, (1) 데이터 입력 프로그램, (2) 레티클 셀A 데이터 작성 프로그램, (3) 노광 샷 영역 식별 프로그램, (4) 노광 샷 영역 선택 프로그램, (5) 노광 샷 배치 프로그램, (6) 노광 가능 범위 검사 프로그램, (7) 유리 셀 노광 완료 판정 프로그램, (8) 노광 샷 영역 선택 재현 프로그램, (9) 얼라인먼트 마크 배치 프로그램, (10) 레티클 셀B 데이터 작성 프로그램, (11) 얼라인먼트 마크 노광 가능 범위 검사 프로그램, (12) 마진 검사 프로그램, (13) 설계 결과 출력 프로그램이다.

이러한 프로그램의 상세에 대해서는 잠시 후에 기술한다. 또한, 본 실시의 형태에서는 입출력 장치로서 표시 장치(13)와, 키보드 장치(15)와, 마우스 장치(14)와, 저장 수단(12)으로 되는 파일 장치의 각 장치가 구성 요건으로서 추가된다.

도 2는 본 실시의 형태의 입력과 출력의 구성 요건을 나타내는 설명도이다.

입력되는 정보는 패널 셀 데이터와, 얼라인먼트 마크 데이터와, 파라미터 정보이다. 이들은 일단, 저장 수단(12)의 입력 데이터 영역(122)에 저장된 후, 본 실시의 형태의 처리계(處理系)인 연산 처리부(11)에 이용된다.

그리하여, 연산 처리부(11)의 레티클 데이터 작성 수단(111)의 패널 레티클 데이터 출력 기능(111a)에 의해 패널 셀이 배치된 레티클 셀A 데이터가 출력되고, 또, 얼라인먼트 레티클 데이터 출력 기능(111b)에 의해 얼라인먼트 마크가 배치된 레티클 셀B 데이터가 출력된다.

또한, 유리 셀 데이터 작성 수단(112)의 유리 셀 데이터 출력 기능(112a)에 의해 패널 셀과 얼라인먼트 마크가 배치된 유리 셀 데이터가 출력되고, 레시피 정보 출력 기능(112b)에 의해 유리 셀을 제조하기 위한 노광 처리 데이터인 레시피 정보 데이터가 출력된다.

이러한 출력 데이터는 일단, 저장 수단(12)의 출력 데이터 영역(123)에 저장된 후, 표시 장치(13) 등의 출력 수단을 통해 출력된다.

패널 셀 데이터는 통상 GDSII 또는 OASIS(Open Artwork System Interchange Standard) 등의 표준 포맷 데이터로 입력된다. 얼라인먼트 마크 데이터는 라이브러리(library)로서 제공되는 것이지만, 역시 통상은 GDSII 또는 OASIS 등의 표준 포맷 형식이 제공된다. 레티클 셀A 또는 레티클 셀B, 및 유리 셀의 데이터도 GDSII 또는 OASIS 등의 표준 포맷 형식으로 출력된다.

도 3은 도 2의 입출력 구성 요건에 구체적인 예를 삽입한 설명도이다. 도 2에 나타낸 내용을 보다 알기 쉽게 하기 위해서, 여기에서는 패널 셀 데이터의 예를, 문자 “F”로 상징화하여 구체적으로 매립한 도면이다. 레티클 셀A와 유리 셀 상에 나타내듯이, 패널 셀은 휴대전화기의 패널과 같은 작은 패널을 상정(想定)하고 있다. 이와 같이 작은 패널은 레티클 셀A상에 복수 어레이 배치되고 또한, 유리 셀 상에도 다수 어레이 배치되게 된다.

얼라인먼트 마크는 유리 셀 상에 있어서, 어레이 배치된 패널 셀의 좌우 주변부에 배치된다. 얼라인먼트 마크의 근원(元)으로 되는 데이터는 레티클 셀B 상에 배치된다.

레시피 정보는 유리 셀을 구성하는 레티클 셀A와 레티클 셀B에 관한 노광 샷 데이터가 기재된 파일이다. 노광 장치는 레시피 정보를 읽어들여 노광 처리를 하 고, 유리 셀에 상당하는 데이터를 유리 기판 상에 노광 처리해 간다. 따라서, 도 3에 나타내는 유리 셀에는, 노광 처리의 결과 얻어지는 데이터를 도시하고 있다.

도 4는 본 실시의 형태에 있어서의 파라미터 정보의 상세를 나타내고 있다.

(1) 패널 셀은 셀 명칭과, 레티클 셀 상에 배치할 때의 간격을 포함하는 X피치(pitch)와 Y피치를 제공한다. 여기서, X피치와 Y피치는 폭과 높이의 형상으로 패널 셀 GDSII 또는 OASIS 등의 표준 포맷 데이터로 종이표면(recto)(직사각형)에 기술하여 넣어도 좋지만, 그 경우에는 별도 간격의 값이 필요하게 된다. 여기서 X피치와 Y피치에 포함하여 주어진 간격은, 레티클 셀에 반영되고 결과적으로 유리 셀에도 반영된다.

(2) 배치 형태(type)는 패널 셀의 레티클 상에서의 회전을 나타낸다. 회전이 없는 경우는 패널 셀은 그대로 회전하는 일 없이 레티클 상에 배치되어 레티클 셀A로 된다. 회전이 지정되는 경우는, 90도 시계 방향으로 회전된 패널 셀이 레티클 상에 배치되어 레티클 셀A로 된다.

(3) 유리 셀은 작성되는 셀 명칭과, 유리 기판의 크기를 나타낸다. 기판의 크기에서, 실제로 노광 처리되는 크기는 그것보다 작지 않으면 안되고, 그 마진은 다음에 주어진다.

(4) 유리 셀·마진은 전술한 기판의 크기에 대해 노광 처리 데이터로서 작성되는 크기를 기판에 대한 마진으로서 규정하는 것이다. 상변, 하변, 좌변, 우변의 4종류가 지정된다.

(5) 레티클 형태(type)와 크기는 레티클의 형상이 직사각형인지 원형인지를 나타내고, 또한, 그 크기를 폭과 높이 또는 반경으로 규정하는 것이다.

(6) 노광 가능 범위는 스트로크(stroke)로도 칭해지고, 노광 처리 장치가 기계적으로 노광 가능한 범위를 나타내는 것으로, 폭과 높이로 규정된다.

(7) 얼라인먼트 마크 샷(shot)은 얼라인먼트 마크를 노광하는 때의 규정으로, 패널 셀 군의 좌우에 배치되므로, 좌우의 패널 셀과의 간격을 포함하는 X피치와, 상하의 얼라인먼트 마크 셀과의 간격을 포함하는 Y피치로 규정된다.

도 5는 레티클 셀A를 작성하는 때의 회전 파라미터와 피치의 관계를 나타내는 도면이다. 도 4(2)의 배치 형태로 나타낸 회전에 관한 파라미터의 예이다. 도 4(1)에서 나타낸 X피치와 Y피치는 회전 후의 것을 나타내는 것으로서, 이 예와는 다른 것으로 된다.

다음에 본 실시의 형태에 있어서의 처리계의 처리 순서를 도 6의 플로차트에 나타낸다.

(1) 우선, 스텝 S101에서 패널 셀, 얼라인먼트 마크, 파라미터 정보를 입력한다(데이터 입력 공정). 여기서, 얼라인먼트 마크는 통상 라이브러리로서 보유되어 있다.

(2) 이어서, 스텝 S102에서 패널 셀과 파라미터 정보로부터 레티클 데이터 작성 수단(111)의 패널 레티클 데이터 출력 기능(111a)에 의해 레티클 셀A 데이터를 작성한다(레티클 셀A 데이터 작성 공정).

(3) 여기서, 스텝 S103에서 레티클 셀A 상에는 복수의 패널 셀이 형성되어 있을 것이기 때문에, 유리 셀 크기의 수치에 대해서 제산(除算)을 주체로 하는 수 치 연산을 하여, 레티클 셀A 상에 있어서의 노광 샷 영역을 식별한다(노광 샷 영역 식별 공정). 여기에서는 통상 복수의 노광 샷 영역이 인식된다(상세한 것은 후술). 여기에서는 식별된 노광 샷 영역을, 예를 들면 AA/AB/AC/AD의 4종류로 한다. 이 노광 샷 영역의 작성은 유리 셀 데이터 작성 수단(112)의 노광 샷 데이터 작성 기능(112f)에 의해 행해진다.

(4) 다음에, 스텝 S104에서 노광 샷 영역의 하나, 여기에서는 노광 샷 영역 AA를 선택한다(노광 샷 영역 선택 공정).

(5) 그리하여, 스텝 S105에서 유리 셀 상에 노광 샷으로서 배치한다(노광 샷 배치 공정). 통상은 어레이 배치로 된다. 배치는 유리 셀의 중심(center)에 대해서 플러스·마이너스의 X값·Y값으로 한다.

(6) 다음에, 스텝 S106에서 파라미터로 지정된 노광 가능 범위 지정으로부터, 이 배치된 노광 샷 영역 AA가 제조 장치 상 노광 가능한지 아닌지를 검사한다(노광 가능 범위 검사 공정). 그리하여, 유리 셀 데이터 작성 수단(112)의 유리 셀 데이터 출력 기능(112a)에 의해 유리 셀 상에 출력된다.

(7) 그 다음에, 스텝 S107에서 유리 셀 상의 패널 셀의 노광 가능 범위가 모두 묻혀있는지 어떤지를 판정한다(유리 셀 노광 완료 판정 공정).

유리 셀 상의 패널 셀의 노광 가능 범위가 모두 메워지지 않은 경우는, 다시 스텝 S104로 돌아와, 노광 샷 영역 AA에서의 경우와 같은 처리를 노광 샷 영역 AB, AC, AD에 대해서도 한다(노광 샷 영역 선택 재현 공정).

이 과정에서는, 후술하듯이, 유리 셀 데이터 작성 수단(112)의 개수 산출 기 능(112c)에 의해 유리 셀 상에 배치되는 패널 셀의 개수가 산출되고, 노광 횟수 산출 기능(112d)에 의해 노광 횟수가 산출된다.

(8) 유리 셀 상의 패널 셀의 노광 가능 범위가 모두 메워진 경우는, 스텝 S108로 진행하고, 얼라인먼트 마크 데이터와, 파라미터로 지정된 얼라인먼트 마크 샷 값을 이용하여, 얼라인먼트 마크 노광 샷 데이터(이것을 샷B라고 칭하고 있다)를 유리 셀의 중심값에 대해서 어레이 배치한다(얼라인먼트 마크 배치 공정).

(9) 다음에, 스텝 S109에서 레티클 데이터 작성 수단(111)의 얼라인먼트 레티클 데이터 출력 기능(111b)을 이용하여, 샷B의 데이터를 레티클 상에 작성하고, 레티클 셀B 데이터를 작성한다(레티클 셀B 데이터 작성 공정).

(10) 그 후, 스텝 S110에서 레티클 셀B 데이터에 작성된 얼라인먼트 마크에 대해서도 노광 가능 범위의 검사를 한다(얼라인먼트 마크 노광 가능 범위 검사 공정).

(11) 또한, 스텝 S111에서 이와 같이 하여 유리 셀 상에 형성된 각 노광 샷 영역의 전체에 대해서, 파라미터로 지정된 유리 셀의 마진 검사를 유리 셀 데이터 작성 수단(112)의 나머지 산출 기능(112f)에 의해 한다(마진 검사 공정).

(12) 마지막으로, 스텝 S112에서 유리 셀 데이터 작성 수단(112)의 유리 셀 데이터 출력 기능(112a)으로 작성된 데이터가 출력된다. 여기에서는, 유리 셀을 작성할 때의 각 노광 샷 배치 데이터 등이 기재된 레시피 정보도 유리 셀 데이터 작성 수단(112)의 레시피 정보 출력 기능(112b)에 의해 출력된다(설계 결과 출력 공정).

또한, 이상으로 완료한 각 공정은 저장 수단(12)에 저장되는 프로그램 군(121)에 포함되는 프로그램을 연산 처리부(11)가 실행함으로써 실현될 수가 있다.

각각의 공정에 대응하는 프로그램은, 청구항 11에 나타낸 데이터 입력 프로그램, 레티클 셀A 데이터 작성 프로그램, 노광 샷 영역 식별 프로그램, 노광 샷 영역 선택 프로그램, 노광 샷 배치 프로그램, 노광 가능 범위 검사 프로그램, 유리 셀 노광 완료 판정 프로그램, 노광 샷 영역 선택 재현 프로그램, 얼라인먼트 마크 배치 프로그램, 레티클 셀B 데이터 작성 프로그램, 얼라인먼트 마크 노광 가능 범위 검사 프로그램, 마진 검사 프로그램 및 설계 결과 출력 프로그램이다.

도 7은 레티클 데이터 작성 수단(111)의 패널 레티클 데이터 출력 기능(111a)으로, 패널 셀 데이터 abc로부터 지정된 파라미터와 작성된 레티클 셀A를 경유하여 유리 셀 데이터가 작성되어 가는 데이터 처리 과정을 나타내는 설명도이다.

우선, 패널 셀abc로부터 지정된 파라미터의 배치 조건에 의해 레티클 셀A를 작성한다. 여기에서는, 복수의 패널 셀이 레티클 셀A 상에 형성된다.

다음에, 지정된 유리 셀의 크기에 대해, 작성된 레티클 셀A 상에 형성되어 있는 패널 셀 군의 크기를 이용하여 제산을 하여 우선, 도 7에 나타내는 노광 샷 영역 AA의 노광 횟수가 산출된다.

다음에, 제산의 결과 얻어진 유리 셀 상의 나머지에 대해서도 마찬가지의 제산을 하여 노광 샷 영역 AB를 얻는다. 마찬가지로 하여 노광 샷 영역 AC와 AD를 얻 는다. 이와 같이 하여 큰 노광 샷 영역으로부터 출발하여, 차례차례 제산하여 얻어진 나머지를 이용하여 작은 영역인 노광 샷 영역을 산출하여 식별하여 나누어준다(이 산출 방법의 상세에 대하여는 후술한다).

여기에서의 복수의 노광 샷 영역의 작성은, 유리 셀 데이터 작성 수단(112)의 노광 샷 데이터 작성 기능(112e)에 의해 실행되고, 각 노광 샷 영역의 노광 횟수의 산출은 노광 횟수 산출 기능(112d)에 의해 실행된다.

이와 같이 하여, 각 노광 샷 영역에는 명칭이 붙여지고, 배치 위치가 유리 중심으로부터의 X값과 Y값을 이용하여 기재된 유리 셀의 작성 공정을 기재한 레시피 정보가, 유리 셀 데이터 작성 수단(112)의 레시피 정보 출력 기능(112b)으로 작성되어 출력된다.

이러한 배치 위치는 유리 셀의 중심으로부터의 배치 위치가 지정되는 것이 통상적이다.

또, 도 4(3)와 도 4(4)에서 설명한 유리 셀의 크기와, 유리 셀·마진의 상변, 하변, 우변, 좌변의 의미를 도 7에 나타내고 있다. 유리 셀을 작성하는데 있어서 유리 셀의 폭과 높이로부터 각 변의 마진을 공제한 영역이, 실제로 유리 셀 데이터의 존재가 허용되는 범위이다. 이러한 유리 셀·마진은 유리 셀 데이터 작성 수단(112)의 나머지 산출 기능(112f)으로 연산된다.

도 8은 레티클 데이터 작성 수단(111)의 얼라인먼트 레티클 데이터 출력 기능(111b)으로, 얼라인먼트 마크 데이터로부터 B노광 샷 영역을 유리 셀 상에 형성하고, 그런 후에, 레티클 셀B를 작성하는 레티클 셀B 데이터 작성 공정을 나타내는 설명도이다.

샷B 영역의 배치에는 도 4(7)에 나타내는 파라미터로 규정된다.

얼라인먼트 마크에 대해서, 유리 셀 상의 데이터를 우선 작성하고 나서, 필요로 되는 얼라인먼트 마크의 레티클 셀B를 작성한다. 이것은 얼라인먼트 마크는 라이브러리화 되어 복수 종류가 존재하고 있으므로, 유리 셀을 구축할 수 있는 얼라인먼트 마크를 디스플레이 상에서 확인하고 나서, 레티클 셀B를 작성하는 것이 데이터 작성 공정상 적합하기 때문이다.

여기에서는, 도 4(7)에서 나타낸 얼라인먼트 마크·파라미터인 X피치와 Y피치도 나타내고 있다.

도 9는 도 4(5)에서 나타낸 레티클 형태(type)와 크기의 예를 나타내고 있다.

레티클 형태에는 직사각형과 원형이 있다. 직사각형에서는 폭과 높이를, 원형에서는 반경을 나타낸다. 플랫 패널 디스플레이 제조용의 레티클 형태는 원형뿐만 아니라 직사각형도 있다. 이것은 레티클 그것의 관리상, 직사각형인 편이 관리하기 쉬운 이유가 있다.

일정한 면적 내에 최대 개수의 패널 셀을 배치하려고 하면, 그것은 원형이 최적이지만, 실제로는 상하 좌우에 나온 패널 셀은 노광 샷 처리상은 사용하기 곤란한 것으로, 따라서, 직사각형으로 충분한 경우가 많다. 이것은 유리 형상이 직사각형인 것에서 오는 이유이고, 이 점이 실리콘 웨이퍼가 원형인 반도체 노광과는 다른 점이다.

도 10은 레티클 셀A로부터 작성된 레시피 정보 부분에서의 각 샷의 좌표를 나타내는 부분을 나타낸 것이다.

AA, AB, AC, AD가 생성된 노광 샷 영역의 명칭으로서, 그곳에 각각의 유리 셀 중심으로부터의 X값과 Y값이 기재되어 있다. 이것은 캐릭터 파일(character file)로 출력되는 부분이다.

이 파일에 얼라인먼트 마크 데이터인 샷B 노광 정보는 마찬가지로 샷 명칭과, 유리 중심으로부터의 X값과 Y값으로 기술된다. 여기서, 기술되고 있는 레시피 정보는 노광 샷 횟수가 기재되어 있게 되어, 노광에 걸리는 시간이 산출 가능하게 된다. 이것에 의해 유리 셀 상에서 취득되는 패널 셀 1개당의 노광 장치 원가가 계산 가능하게 된다.

도 11은 레티클 셀A에 대해서, 노광 샷 영역을 산출하기 위한 데이터 조건을 나타내는 설명도이다. 여기에서는, 파라미터 지정에 의해, 레티클 크기와 유리 크기가 고정되어 있는 점이 중요하다.

일단, 이들 양자의 수치가 결정된 다음, 어떻게 패널 셀을 회전시켜 레티클 셀A를 작성하고, 어떻게 결정한 노광 샷 영역을 추출할지에 의해 패널 1개당의 비용과 노광 처리 시간(이것도 결국은 비용)이 산출된다.

유리 크기는 제조상 고정으로 되는 경우가 많고, 레티클 셀 크기를 변화시킨다고 하여 어느 정도 노광 처리 시간이 변화할지에 의해 최적의 레티클 크기를 결정할 수가 있다.

일반론으로 말하면, 유리 크기도 레티클 크기도 크게 함으로써, 1개당의 제 조 단가도 노광 처리 시간도 줄인다. 따라서, 여기에서는 패널 셀을 회전시켜 레티클 셀을 작성하는 경우도 포함하여, 레티클 셀을 제조하는 비용(이것은 레티클의 크기에 의존)과 노광 처리 시간(이것도 레티클의 크기에 의존)과 유리로부터 제조되는 패널 셀 1개당의 원가(이것이 유리의 크기에 의존)를 확인하게 된다.

도 12는 레티클 셀에 의한 노광 샷 영역의 산출 순서를 나타내는 설명도이다. 여기에서는, 나머지 계산에 의해 레티클 셀A 상에 형성되어 있는 패널 셀의 부분 집합을 노광 샷 데이터로 하는 계산 순서에 대해서 나타내고 있다.

우선, 패널 셀의 크기(여기에서는 간격도 포함하는 크기이고, 도 4(1)에서 나타내는 X피치와 Y피치)를 X0, Y0, 레티클 셀의 패널 셀 집합의 최대의 크기를 X1, Y1, 유리 셀의 크기를 X2, Y2라고 한다.

우선, 제1회째의 노광 샷 군(群)의 결정은, 큰 것으로부터 결정해가기 때문에, (X2, Y2)를 (X1, Y1)로 제산하게 된다. 이 결과, (X1, Y1) 군에 의해 노광하는 횟수 X횟수1과 Y횟수2가 결정되고, 또한 나머지인 X나머지1과 Y나머지1이 결정된다. 이것에 의해 노광 샷이 결정되고, 이 노광 샷 명칭을 AA라고 하고, AA부분 집합과 반복(repeat) 횟수가 결정된다.

이어서, X나머지1에 대해서 노광 샷 영역을 패널 셀 분(分) 하나를 감산(X1－X0)하고 제산하여, 나머지 X나머지2를 산출한다. 제산 결과는 X횟수2이고, 이것은 노광 샷AB에 대한 반복 횟수로 되고, 다음의 부분 집합인 노광 샷 영역 AB가 결정된다. 다만, X횟수 n(n＞2의 정정수(正整數))은 2(n－1)≥n으로 되기 때문에 항상 1 또는 0이다.

마찬가지의 처리를 Y방향으로 하면, 부분 집합 AC의 영역과 반복 횟수가 산출되고, 마지막에 노광 샷AD의 영역과 반복 횟수, 유리 셀 상의 레티클 셀의 총수가 산출된다. 반복 횟수의 산출에는 유리 셀 데이터 작성 수단(112)의 노광 횟수 산출 기능(112d)이 이용된다.

여기서, 부분 집합과 반복 횟수 산출 시에는, 유리 중심으로부터의 X좌표와 Y좌표도 동시에 산출된다. 또, 반복 횟수는 1회로 하는 경우도 물론 있을 수 있다.

노광 샷 영역이 성립할지 아닐지 판정하고, 성립하지 않는 경우에 보다 작은 노광 샷 영역에 쉬프트다운(shift down)시키는 조건은, X횟수M 또는 Y횟수N에 상당하는 수치가 제로(zero)로 되는 경우이다.

X나머지와 Y나머지 어느 쪽이나 패널 셀보다 작게 되는 경우가 최종적인 종료 조건으로 된다. 나머지의 계산에는 유리 셀 데이터 작성 수단(112)의 나머지 산출 기능(112f)이 이용된다. 또, 노광 샷 영역이 결정된 후에, 유리 셀 데이터 작성 수단(112)의 개수 산출 기능(112c)에 의해 유리 셀 상에 형성되는 레티클 셀의 총수의 산출이 이용된다.

여기서, 쉬프트 다운의 순서는 X방향과 Y방향으로 차례차례 조합해 간다. 이 결과, 레티클 셀A에 형성된 모든 인접하는 직사각형의 조합에 있어서의 패널 셀의 직사각형 집합이 음미(吟味)되게 된다. 또, 여기에서는 제산과 나머지를 이용하여 설명하였지만, 반복 감산을 이용하여도 완전히 등가인 처리를 할 수 있다. 이와 같이 하여, 레티클 셀A상에 형성된 패널 셀의 집합에 있어서 보다 큰 노광 샷 영역을 추출함으로써, 노광 장치에 있어서의 노광 처리 시간을 단축시키는 효과가 있고, 매우 중요한 영역 추출 방법이라고 말할 수 있다.

도 13은 전술한 계산 내용의 프로그램 플로차트이다.

이 프로그램에서는 레티클 셀A의 노광 샷 부분 집합과 반복 횟수 AMN를 구하고 있다. 레티클 셀A의 크기 X1, Y1로부터 시작하고, X1의 크기에서의 X방향으로의 반복 횟수를 M, Y1의 크기에서의 Y방향으로의 반복 횟수를 N으로 하여 초기값 스타트(start)시켜, 차례차례 노광 영역을 축소시켜 가는 이유이다.

노광 영역의 축소는, 유리 셀에 대해서는 나머지 부분의 영역이 대상으로 되고, 레티클 셀에 대해서는 패널 셀 하나 분(分)을 감산한 영역이 대상으로 된다. M과 N은 반복 횟수이지만, 그때의 최대의 레티클 셀 영역에 대한 반복 횟수이다. 따라서, M=1, N=1도 있을 수 있다.

영역과 반복 횟수 M과 N이 결정되면, 유리 영역을 노광시킨 영역 분(分)을 줄이고(X2, Y2의 고쳐 쓰기), 또한 레티클 셀 영역도 패널 셀 분(分)을 하나 줄이고(X1, Y1의 고쳐 쓰기), 계산을 진행한다. 중요한 것은 레티클 셀A의 노광 샷 부분 집합과 반복 횟수 AMN이 결정되었을 때, 이것을 유리 중심으로부터의 배치 좌표로 어레이 배치하는 것이다.

여기에서는, 최종적으로 남은 나머지를 상하 좌우에 균등 배분하고, 유리 중심으로부터의 좌표로 어레이 배치한다. 이러한 처리에 관해서는 얼라인먼트 마크 데이터에 있어서의 샷B에 대해서도 마찬가지이다.

이와 같이 도 13에 나타내는 프로그램을 이용하면, 노광 샷 횟수의 산출이 가능하게 되고, 노광에 걸리는 시간도 산출할 수가 있다.

도 13을 더욱 상세하게 설명한다.

우선, 스텝 S201에서 유리 셀 크기 상에 패널 셀이 충분히 취득될지 어떨지(X0 ＞X2, Y0 ＞Y2)를 확인한다.

다음에, 스텝 S202에서 레티클 셀A의 X1, Y1을 사용하여, 이 레티클 셀A의 폭의 최대 반복 수 M과 높이의 최대 반복 수 N을 산출한다.

또한, 스텝 S203에서 구한 최대 반복 수 M과 N으로부터 노광 횟수 T=MN을 결정한다. 그리하여 스텝 S204에서 폭 방향의 샷 수W를 W=M으로 설정한다. 여기에서의 처리는, 유리 셀 데이터 작성 수단(112)의 노광 횟수 산출 기능(112d)으로서의 기능이다.

다음에, 스텝 S205에서 X2를 X2=(X2－X1*M)로서 폭의 나머지로 바꿔놓는다. 여기에서의 처리는 유리 셀 데이터 작성 수단(112)의 나머지 산출 기능(112f)으로서의 기능이다.

다음에, 스텝 S206에서 X1을 X1=(X1－X0)으로서 패널 셀의 폭 1개분을 줄인다. 이때 X1이 0 또는 0 이하로 되지 않는지 어떤지를 스텝 S207에서 판정한다. 0 또는 0 이하로 되었을 때는 더 이상 샷의 폭은 줄일 수 없기 때문에, 이번은 높이를 줄이는 스텝 S212로 진행한다.

다음에, X1이 0 또는 0 이하가 아닐 때는, 폭의 나머지 X2가 현재의 샷의 폭X1보다 넓은지 어떤지를 스텝 S208에서 판정한다.

넓을 때는 스텝 S209에서, 폭의 나머지 X2를 샷 폭X1만큼 좁혀 X2=(X2－X1)로 하고, 스텝 S210에서 폭 방향의 샷 수W를 1만큼 늘리고, 스텝 S211에서 최대 노 광 샷 수T를 현재의 높이 방향의 샷 수 N분(分) 늘리고, 스텝 S206로 돌아온다. 스텝 S208에서 폭의 나머지 X2가 현재의 샷의 폭X1보다 넓지 않을 때는 그대로 스텝 S206으로 돌아온다.

스텝 S206로부터 S211까지는, 폭의 나머지 X2가 0 또는 0 이하로 될 때까지 반복된다.　

폭의 나머지 X2가 0 또는 0 이하로 되면, 스텝 S212에서 높이 Y2를 Y2=(Y2－Y1*N)로서 높이의 나머지로 바꿔놓는다. 그리고 스텝 S213에서 이 높이의 나머지 Y2가 패널 셀의 높이 Y0보다도 좁은지 어떤지를 판정한다. 좁은 경우는 스텝 S219로 진행한다.

넓은 경우는, 스텝 S214에서 Y1을 Y1=(Y1－Y0)으로서 패널 셀의 높이 1개분 줄인다. 이때, Y1이 0 또는 0 이하로 되지 않는지 어떤지를 스텝 S215에서 판정한다. 0 또는 0 이하로 되었을 때는 더 이상 샷의 폭은 줄일 수 없기 때문에, 종료를 위해서 스텝 S219로 진행한다.

다음에, Y1이 0 또는 0 이하가 아닐 때에는, 높이의 나머지 Y2가 현재의 샷의 높이 Y1보다도 넓은지 어떤지를 스텝 S216에서 판정한다.

넓을 때는 스텝 S217에서 높이의 나머지 Y2를 샷 높이 Y1만큼 좁혀, Y2=(Y2－Y1)로 하고, 스텝 S218에서 최대 노광 샷 수 T를 현재의 폭 방향의 샷 수W 분(分) 늘리고, 스텝 S214로 돌아온다. 스텝 S216에서 높이의 나머지 Y2가 현재의 샷의 높이 Y1보다도 넓지 않을 때는 그대로 스텝 S214로 돌아온다.

스텝 S215에서 Y1이 0 또는 0 이하로 되었을 때, 혹은 스텝 S201이나 S213에 서 예(YES)인 경우는 스텝 S219로 진행하고, 최종적으로 남은 나머지 부분을 상하, 좌우에 평균화하여 할당하고, 각 노광 샷 영역을 유리 중심으로부터의 위치에 배치하여 종료한다.

이 일련의 처리의 결과 최종적인 노광 횟수는 T로 집계된다.

도 14는 본 실시의 형태에 있어서의 표시 장치(13) 상의 그래픽 데이터로서의 윈도우(window) 표시의 예를 나타내고 있다. 이러한 표시는 입출력 제어 수단(113)의 데이터 표시 기능(113a)에 의해 실행된다.

여기에서는, 윈도우는 2종류, 합계 4개 존재한다. 즉, 종류로서는, GDSII 또는 OASIS 등의 표준 포맷 데이터를 표시하는 그래픽·윈도우와 파라미터를 표시하는 다이얼로그·윈도우이다. 그래픽·윈도우로서는, 패널 셀 데이터, 레티클 셀A/B 데이터, 유리 셀이 표시되게 된다.

본 발명은 상기한 실시 형태에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에서 여러 가지의 변형예가 생각될 수 있다.

예를 들면, 이상에 서술한 실시 형태에서는, 실제로 레티클 셀을 이용한 노광 샷 횟수를 포함하는 설계 데이터를 구하고 있다. 그러나 원가 계산상 가장 중요한 것은 유리 셀 상에서 몇 개의 패널 셀을 취득할 수 있을지 없을지를 아는 것이다. 그 때문에, 변형예로서 간단하고 용이한 계산에 의해 유리 셀 상에서 취득할 수 있는 패널 셀의 수만큼을 직접 구하는 예가 생각될 수 있다.

도 15, 도 16, 도 17은, 패널 셀의 외형만의 표시를 이용한 본 발명보다 간단하고 용이한 제2의 실시 형태를 나타낸다. 원가 계산상 가장 중요한 것은 유리 셀 상에서 몇 개의 패널 셀을 취득할 수 있을지 없을지를 아는 것이므로, 시판되고 있는 표 계산 소프트웨어(spread sheet software)를 사용하여 전술한 발명 실시예의 부분을 취출하여 실시하고, 미리 최적의 패널 셀 형상과 회전을 알아 두는 것이 유효로 된다.

도 15는 패널 셀의 외형 치수만이 지정되는 경우의 회전 파라미터와 피치(pitch)의 관계를 나타내는 설명도이고, 회전하지 않는 경우와 90도 회전하는 경우를 나타내고 있다. 이 경우, 패널 셀의 구체적인 내용 데이터는 필요로 하지 않는다. 정확하게 말하면, 패널 셀 형상 데이터로서는, X피치와 Y피치가 필요한 만큼으로 된다. 이것에 파라미터로서 '회전 없음' 또는 '90도 회전함'의 지정만이 있으면 좋게 된다.

도 16은 패널 셀 형상 데이터를 유리 셀 상에 배치하였을 때의 도면이고, 몇 개의 패널 셀이 유리 셀 상에 배치 가능한가를 나타내고 있다.

또, 도 17은 도 16에 나타내는 예에 있어서, 유리 셀 상에 있어서의 패널 셀의 취득 개수만을 계산하는 표 계산식이다. 여기에서는, 패널 셀 형상에 의한 제산이 적용되고 있다.

파라미터로서는 적어도 패널 셀의 회전이 없는 경우의 X피치와 Y피치, 회전 있음/90도 회전의 지시, 유리 셀의 폭과 높이, 유리 셀 마진의 값이 필요로 된다. 이러한 수치를 이용하여, 회전 없음의 경우와 90도 회전 있음의 경우에 있어서의 취득 개수 계산이 나타나고 있다. 여기에서 나타내는 계산식은, 시판의 표 계산 소프트웨어로 용이하게 구축가능한 것이다. 이 결과, 설계자는 미리 취득 개수를 안 다음 처리를 진행하는 것이 가능하게 된다.

이상으로 말한 본 발명의 제1의 실시 형태에 의하면, 플랫 패널 디스플레이용의 유리 데이터를 설계하는 플랫 패널 디스플레이용 유리 데이터 설계 시스템에 있어서, 패널 셀 데이터의 형상과, 상기 패널 셀 데이터의 주변에 배치되는 얼라인먼트 마크 데이터의 형상과, 유리 셀 크기 및 상기 각 데이터의 배치 정보를 포함하는 파라미터 정보를 입력으로서 저장하는 저장 수단과, 상기 패널 셀 데이터가 배치된 투광용 포토마스크의 데이터인 패널 레티클 셀 데이터를 출력하는 패널 레티클 데이터 출력 기능(111a)과, 상기 얼라인먼트 마크 데이터가 배치된 투광용 포토마스크의 데이터인 얼라인먼트 레티클 셀 데이터를 작성하여 출력하는 얼라인먼트 레티클 데이터 출력 기능(111b)을 가지는 레티클 데이터 작성 수단(111)과, 상기 패널 셀 데이터와 상기 얼라인먼트 마크 데이터가 배치되는 유리 셀 데이터를 작성하여 출력하는 유리 셀 데이터 출력 기능(112a)과, 유리 셀 데이터 작성을 위한 레시피 정보를 작성하여 출력하는 레시피 정보 출력 기능(112b)을 가지는 유리 셀 데이터 작성 수단(112)을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하고 있다. 패널 셀 데이터의 형상과, 상기 패널 셀 데이터의 주변에 배치되는 얼라인먼트 마크 데이터의 형상과, 유리 셀 크기 및 상기 각 데이터의 배치 정보를 포함하는 파라미터 정보는 저장 수단에 저장된다.

따라서, 종래 독립적으로 처리되고 있던 레티클 데이터의 작성과 유리 데이터의 작성을 동시에 함으로써, 패널 셀 데이터의 회전을 포함하는 파라미터를 통해 제조 단가와 노광 처리 시간이 미리 예측 가능하게 되고, 보다 최적의 제조 조건을 전제로 하는 데이터 처리가 가능하게 된다. 또한, 노광 샷 횟수도 산출할 수 있으므로, 노광 장치에 걸리는 시간의 산출이 가능하게 되므로, 노광 장치에 기인하는 곳의 유리 셀 상의 패널 셀 제조 원가 계산이 가능하게 된다.

또, 본 발명의 제2의 실시 형태에 의하면, 파라미터로 패널 셀의 배치 간격을 포함하는 패널 셀 형상으로서의 X피치와 Y피치를 지정하는 것만으로, 패널 셀의 실제 데이터가 존재하지 않아도, 전술의 최적 조건을 추측하는 것이 가능한 설계 시스템의 구축을 도모할 수 있는 효과가 있다. 이러한 간단하고 용이한 견적 시스템은 그래픽 기능을 무시하면 시판되어 있는 표 계산 툴(spread sheet tool)을 이용하여도 가능하고, 본 발명이 제조 조건 최적화에 기여하는 효과는 크다.

도 1은 본 발명과 관련되는 플랫 패널 디스플레이용의 유리 데이터 설계 시스템의 일실시 형태의 기능 블록도이다.

도 2는 도 1에 나타내는 실시의 형태의 입력과 출력의 구성 요건을 나타내는 설명도이다.

도 3은　도 2에 나타내는 입출력 용건에 구체적인 예를 삽입한 설명도이다.

도 4는 본 실시의 형태에 있어서의 파라미터 정보의 상세를 나타내는 도표이다.

도 5는 레티클 셀A를 작성할 때의 회전 파라미터와 피치의 관계를 나타내는 설명도이다.

도 6은 본 실시의 형태에 있어서의 처리계(處理系)의 처리 순서를 나타내는 플로차트이다.

도 7은 패널 셀로부터 레티클 셀A를 경유하여 유리 셀 데이터가 작성되어 가는 데이터 처리 과정을 나타내는 설명도이다.

도 8은 얼라인먼트 마크 데이터로부터 유리 데이터를 경유하여 레티클 셀B를 작성하는 레티클 셀B 데이터 작성 공정을 나타내는 설명도이다.

도 9는 레티클 형태와 크기의 예를 나타내는 설명도이다.

도 10은 레티클 셀A로부터 작성된 레시피 정보 부분의 각 샷의 좌표를 나타내는 부분을 표현하는 도표이다.

도 11은 레티클 셀A에 대해서, 노광 샷 영역을 산출하기 위한 데이터 조건을 나타내는 설명도이다.

도 12는 레티클 셀에 의한 노광 샷 영역의 산출 순서를 나타내는 설명도이다.

도 13은　도 12에 나타내는 계산 내용을 실시하는 프로그램의 플로차트이다.

도 14는　디스플레이 장치 상의 출력 그래픽 데이터로서의 윈도우 표시의 일례를 나타내는 도면이다.

도 15는　패널 셀의 외형 치수만이 지정되는 경우의 회전 파라미터와 피치의 관계를 나타내는 설명도이다.

도 16은　패널 셀의 외형 치수만이 지정되는 경우의 패널 셀 형상 데이터를 유리 셀 상에 배치하는 경우의 도면이다.

도 17은 유리 셀 상에 있어서의 패널 셀의 취득 개수를 계산하는 표 계산의 식을 나타내는 도표이다.

<부호의 설명>

10 :　플랫 패널 디스플레이용 유리 데이터 설계 시스템

11 :　연산 처리부

12 : 저장 수단

13　: 표시 장치

14　: 마우스 장치

15　: 키보드 장치

111　: 레티클 데이터 작성 수단

112　: 유리 셀 데이터 작성 수단

113　: 입출력 제어 수단

121　: 프로그램 군

122　: 입력 데이터

123　: 출력 데이터

Claims (11)

1. 플랫 패널 디스플레이용의 유리 데이터를 설계하는 플랫 패널 디스플레이용 유리 데이터 설계 시스템에 있어서,

   패널 셀 데이터의 형상과, 상기 패널 셀 데이터의 주변에 배치되는 얼라인먼트 마크 데이터(alignment mark data)의 형상과, 유리 셀 크기 및 상기 각 데이터의 배치 정보를 포함하는 파라미터 정보를 입력으로 하고,

   상기 패널 셀 데이터가 배치된 투광용 포토마스크(photo mask)의 데이터인 패널 레티클(reticle) 셀 데이터를 출력하는 패널 레티클 데이터 출력 기능과, 상기 얼라인먼트 마크 데이터가 배치된 투광용 포토마스크의 데이터인 얼라인먼트 레티클 셀 데이터를 작성하여 출력하는 얼라인먼트 레티클 데이터 출력 기능을 가지는 레티클 데이터 작성 수단과,

   상기 패널 셀 데이터와 상기 얼라인먼트 마크 데이터가 배치되는 유리 셀 데이터를 작성하여 출력하는 유리 셀 데이터 출력 기능과, 유리 셀 데이터 작성을 위한 레시피(recipe) 정보를 작성하여 출력하는 레시피 정보 출력 기능을 가지는 유리 셀 데이터 작성 수단을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 플랫 패널 디스플레이용 유리 데이터 설계 시스템.
2. 제1항에 있어서,

   상기 유리 셀 데이터 작성 수단은,

   상기 패널 셀 데이터의 형상과 이 패널 셀 데이터가 복수 배치되는 유리 셀의 크기를 입력으로 하고,

   상기 유리 셀 상에 설치되고 상기 패널 셀 데이터의 집합이 배치된 패널 셀의 크기의 수치를 패널 셀 데이터 형상의 수치에 의해 제산(除算)하는 계산항을 적어도 포함하는 계산식을 이용하여 상기 유리 셀 상에 취득 가능한 상기 패널 셀 데이터의 개수를 산출하는 개수 산출 기능을 가지는 것을 특징으로 하는 플랫 패널 디스플레이용 유리 데이터 설계 시스템.
3. 제2항에 있어서,

   상기 유리 셀 데이터 작성 수단은,

   상기 패널 셀 데이터 형상과 상기 유리 셀의 크기에 더하여 또한 상기 레티클 작성 수단으로부터 상기 패널 레티클 셀 데이터의 크기를 입력으로 하고,

   상기 패널 셀 데이터 형상이 배치된 상기 패널 레티클 셀 데이터로부터 노광 샷(shot) 횟수를 산출하는 노광 횟수 산출 기능을 가지는 것을 특징으로 하는 플랫 패널 디스플레이용 유리 데이터 설계 시스템.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 파라미터 정보로서, 레티클의 크기와 상기 유리 셀의 크기와 노광 가능 범위의 지정이 이루어지는 것을 특징으로 하는 플랫 패널 디스플레이용 유리 데이터 설계 시스템.
5. 제4항에 있어서,

   상기 유리 셀 데이터 작성 수단은,

   상기 레티클 데이터 작성 수단으로 작성된 상기 패널 셀 데이터가 배치된 상기 패널 레티클 셀 데이터의 일부 및 전부를 이용하여, 상기 패널 레티클 셀 데이터 상의 적어도 2개의 패널 셀 데이터를 포함하는 노광 샷 데이터를 작성하는 노광 샷 데이터 작성 기능을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 플랫 패널 디스플레이용 유리 데이터 설계 시스템.
6. 제5항에 있어서,

   상기 유리 셀 데이터 작성 수단은,

   상기 유리 셀의 크기에 상당하는 영역에 대해, 1회의 노광 샷 영역에 대응하는 크기로 나눗셈을 하여 유리 셀 상에 있어서의 나머지에 상당하는 영역을 구하는 나머지 산출 기능을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 플랫 패널 디스플레이용 유리 데이터 설계 시스템.
7. 제6항에 있어서,

   상기 레시피 정보에는 상기 노광 샷 데이터의 XY좌표가 기재되어 있는 것을 특징으로 하는 플랫 패널 디스플레이용 유리 데이터 설계 시스템.
8. 제7항에 있어서,

   그래픽 장치 상에, 상기 패널 셀 데이터와, 상기 패널 레티클 셀 데이터와, 상기 유리 셀 데이터를 표시하는 데이터 표시 기능을 가지는 입출력 제어 수단을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 플랫 패널 디스플레이용 유리 데이터 설계 시스템.
9. 제8항에 있어서,

   저장 수단을 더 구비하고,

   상기 저장 수단에 저장되는 내용에는, 연산 처리부에서 실행되는 프로그램 군과, 상기 연산 처리부에 입력되는 상기 패널 셀 데이터 형상, 상기 얼라인먼트 마크 데이터 형상 및 상기 파라미터 정보로 이루어지는 입력 데이터와, 상기 패널 레티클 셀 데이터, 상기 얼라인먼트 레티클 셀 데이터, 상기 유리 셀 데이터 및 상기 레시피 정보로 이루어지는 출력 데이터가 포함되는 것을 특징으로 하는 플랫 패널 디스플레이용 유리 데이터 설계 시스템.
10. 플랫 패널 디스플레이용 유리 데이터 설계 방법에 있어서,

    패널 셀 데이터, 얼라인먼트 마크 데이터 및 유리 셀 크기, 각 데이터의 배치 정보를 구비한 파라미터 정보를 포함하는 데이터를 입력하는 데이터 입력 공정과,

    상기 패널 셀 데이터와 상기 파라미터 정보로부터 패널 셀의 최대의 노광 단위 집합인 레티클 셀A의 데이터를 작성하는 레티클 셀A 데이터 작성 공정과,

    상기 유리 셀 크기 상에 상기 레티클 셀A의 일부 또는 전부를 이용하여 노광하는 복수의 노광 샷 영역의 배치를 식별하는 노광 샷 영역 식별 공정과,

    상기 복수의 노광 샷 영역으로부터 노광 영역의 크기순으로 특정의 상기 노광 샷 영역을 상기 레티클 셀A로부터 선택하는 노광 샷 영역 선택 공정과,

    선택된 상기 노광 샷 영역을 유리 셀 상에 노광 샷으로서 배치하는 노광 샷 배치 공정과,

    배치된 상기 노광 샷 영역이 제조상 노광 가능한지 어떤지를 판정하는 노광 가능 범위 검사 공정과,

    상기 노광 샷 배치 공정에서 배치되고 상기 노광 가능 범위 검사 공정에서 노광 가능이 판정된 상기 노광 샷 영역에 의해 상기 유리 셀의 패널 셀의 노광 가능 범위가 모두 묻혀있는지 어떤지를 판정하는 유리 셀 노광 완료 판정 공정과,

    상기 유리 셀 노광 완료 판정 공정에서 상기 유리 셀 노광 영역이 묻혀있지 않은 것으로 판정되는 경우, 다시 상기 노광 샷 영역 선택 공정으로 돌아와 같은 처리를 반복하는 노광 샷 영역 선택 재현 공정과,

    상기 얼라인먼트 마크 데이터와 상기 파라미터 정보로부터 얼라인먼트 마크의 노광 샷 데이터인 샷B의 데이터를 작성하여 상기 유리 셀 크기 상에 어레이(array) 배치하는 얼라인먼트 마크 배치 공정과,

    상기 샷B의 데이터를 레티클 상에 작성하여 레티클 셀B 데이터를 작성하는 레티클 셀B 데이터 작성 공정과,

    상기 레티클 셀B 데이터에 의해 작성된 얼라인먼트 마크가 제조상 노광 가능한지 어떤지를 판정하는 얼라인먼트 마크 노광 가능 범위 검사 공정과,

    상술한 각 공정에 의해 유리 셀 상에 형성된 각 노광 샷 전체에 대해서, 상기 파라미터 정보로 지정된 유리 셀의 마진(margin)에 들어가는지를 검사하는 마진 검사 공정과,

    마지막에 작성된 데이터와 유리 셀을 작성하기 위한 레시피(recipe) 정보를 출력하는 설계 결과 출력 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 플랫 패널 디스플레이용 유리 데이터 설계 방법.
11. 컴퓨터에,

    패널 셀 데이터, 얼라인먼트 마크 데이터 및 유리 셀 크기, 각 데이터의 배치 정보를 구비한 파라미터 정보를 포함하는 데이터를 입력하는 데이터 입력 공정과,

    상기 패널 셀 데이터와 상기 파라미터 정보로부터 패널 셀의 최대의 노광 단위 집합인 레티클 셀A의 데이터를 작성하는 레티클 셀A 데이터 작성 공정과,

    상기 유리 셀 크기 상에 상기 레티클 셀A의 일부 또는 전부를 이용하여 노광하는 복수의 노광 샷 영역의 배치를 식별하는 노광 샷 영역 식별 공정과,

    상기 복수의 노광 샷 영역으로부터 노광 영역의 크기순으로 특정의 상기 노광 샷 영역을 상기 레티클 셀A로부터 선택하는 노광 샷 영역 선택 공정과,

    선택된 상기 노광 샷 영역을 유리 셀 상에 노광 샷으로서 배치하는 노광 샷 배치 공정과,

    배치된 상기 노광 샷 영역이 제조상 노광 가능한지 어떤지를 판정하는 노광 가능 범위 검사 공정과,

    상기 노광 샷 배치 공정에서 배치되고 상기 노광 가능 범위 검사 공정에서 노광 가능이 판정된 상기 노광 샷 영역에 의해 상기 유리 셀의 패널 셀의 노광 가능 범위가 모두 묻혀있는지 어떤지를 판정하는 유리 셀 노광 완료 판정 공정과,

    상기 유리 셀 노광 완료 판정 공정에서 상기 유리 셀 노광 영역이 묻혀있지 않은 것으로 판정되는 경우, 다시 상기 노광 샷 영역 선택 공정으로 돌아와 같은 처리를 반복하는 노광 샷 영역 선택 재현 공정과,

    상기 얼라인먼트 마크 데이터와 상기 파라미터 정보로부터 얼라인먼트 마크의 노광 샷 데이터인 샷B의 데이터를 작성하여 상기 유리 셀 크기 상에 어레이 배치하는 얼라인먼트 마크 배치 공정과,

    상기 샷B의 데이터를 레티클 상에 작성하여 레티클 셀B 데이터를 작성하는 레티클 셀B 데이터 작성 공정과,

    상기 레티클 셀B 데이터에 의해 작성된 얼라인먼트 마크가 제조상 노광가능한지 어떤지를 판정하는 얼라인먼트 마크 노광 가능 범위 검사 공정과,

    상술한 각 공정에 의해 유리 셀 상에 형성된 각 노광 샷 전체에 대해서 상기 파라미터 정보로 지정된 유리 셀의 마진에 들어가는지를 검사하는 마진 검사 공정과,

    마지막에 작성된 데이터와 유리 셀을 작성하기 위한 레시피 정보를 출력하는 설계 결과 출력 공정을 포함하는 방법을 수행하는 프로그램을 기록한 컴퓨터로 판독 가능한 기록매체.

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