KR100943681B1

KR100943681B1 - 액체를 사용하여 물체를 처리하는 방법 및 장치

Info

Publication number: KR100943681B1
Application number: KR1020047006781A
Authority: KR
Inventors: 쉬미트크리스찬
Original assignee: 게부르. 쉬미트 게엠베하 운트 코.
Priority date: 2001-11-05
Filing date: 2002-10-29
Publication date: 2010-02-22
Also published as: US20050106867A1; DE50205718D1; CN100409132C; TWI257270B; JP4490101B2; WO2003041461A3; TW200300324A; ES2256564T3; WO2003041461A2; ATE316667T1; EP1442344B1; AU2002346895A1; EP1442344A2; JP2005509094A; DE10154885A1; KR20040070352A; CN1613036A

Abstract

본 발명은 액체를 사용하여 인쇄회로산업에 사용되는 기판(29)인 물체를 처리하는 방법 및 장치에 관한 것이다. 기판(29)은 패턴이 형성되는 동안 액체의 영향으로 부분적으로 제거되는 층을 표면에 구비하며, 다수의 노즐(24)은 상기 액체를 방출하기 위해 구비되고 적어도 하나의 액체 접속부(12)에 연결되며, 상기 액체 접속부(12)는 액체 저장통에 연결되고 개방 및 폐쇄가능하며, 밸브(17)는 상기 각각의 노즐(24)에 직접 구비되며, 상기 밸브(17)는 개방 또는 폐쇄하기 위해 개별적으로 제어가능하며, 상기 기판(29)은 상기 노즐(24)에 대해 이동 경로(B)를 따라 배치되며, 상기 밸브(17) 및/또는 상기 액체 접속부(12)를 개방 및 폐쇄함으로써, 설정된 표면 분할부(26a,26b,26c,26d)를 구비하여 미리 결정된 액체 방출이 발생되는 것을 특징으로 한다.

Description

액체를 사용하여 물체를 처리하는 방법 및 장치{Method and device for treating objects by means of a liquid}

본 발명은 액체를 사용하여 물체, 예를 들어, 인쇄회로산업에 사용되는 기판을 처리하는 방법 및 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 이러한 방법과 장치에는 층, 예를 들어, 구리와 같은 도전성 금속으로 이루어진 층을 표면에 구비하는 기판 또는 소위 인쇄회로기판과 같은 물체가 사용된다. 이러한 층은 패턴이 형성되는 동안 특히 식각액일 수 있는 액체의 영향으로 제거된다. 이때, 상기 액체는 액체 접속부에 연결된 노즐을 사용하여 분사된다.

여기서, 이러한 노즐이 다수의 노즐 필드 형태로 나란히 그리고 연속적으로 구비되는 문제점이 여러 번 나타난다. 이러한 노즐 필드 하부에서 상기 기판은 편평한 상태로 통과되며 이때 액체가 분사된다. 여기서, 상기 기판에서 완전히 동일하게 분할된 액체유동이 일어나는 문제점이 발생한다. 그러나, 외부영역에서 상기 액체를 용이하게 가장자리로 유출할 수 있으므로, 상기 액체의 교환이 빈번해지거나 다량의 식각액이 새로 공급된다. 이와는 달리, 중간영역에서는 일종의 액체정체(소위 웅덩이 효과)가 발생하고 상기 액체의 교환은 현저하게 줄어든다. 결론적으로, 상기 외부영역에서는 중간영역에서보다 더 많이 층을 식각하고 제거하여 그 결과물이 더 악화되거나 이러한 환경하에서 기판은 사용할 수 없게 된다.

이러한 문제점을 해결하기 위해서, 상기 기판의 외부영역에서 소량의 액체가 공급되거나 유출을 감소하는 기술이 DE 33 45 125에 개시되어 있다. 또한, 공급관의 노즐에는 제어밸브와 유출 블레이드가 구비된다. 이러한 유출 블레이드를 사용할 경우, 상기 장치에 대한 비용이 상승한다. 또한, 상기 밸브를 제어하는 것이 용이하지 않으며, 이로 인해 비싼 밸브가 요구된다.

본 발명의 목적은, 상기 언급된 방법 및 장치를 제공함으로써, 물체에 대한 액체의 유동이 개별적으로, 또한 원하는 대로 가능케 되도록 하는 것이다. 이때, 본 발명에 따른 방법 및 장치는 가능한한 간단히 수행되어야 한다.

상기 목적은 특허청구범위 1항의 특징을 갖는 방법 및 특허청구범위 10항의 특징을 갖는 장치에 의해 달성된다. 본 발명의 바람직한 실시예들은 또다른 특허청구범위의 주제이며 추후 상세히 설명될 것이다. 특허청구범위는 본원의 내용을 참조로 하여 작성된다.

본 발명에 따른 방법에 있어서, 노즐의 액체 접속부는 액체 저장고에 연결되며 개방 및 폐쇄될 수 있다. 가능한한 근소한 간격을 두고 밸브가 상기 각각의 노즐에 직접 배치된다. 이러한 방법에서 바람직하게는, 상기 노즐을 사용하여 액체 유동을 최대한 감속없이 제어할 수 있다. 이때, 상기 밸브는 개방 또는 폐쇄하기 위해 개별적으로 제어될 수 있다. 이는 개별적으로 또는 그룹별로 동시에 수행될 수 있다. 따라서, 개개의 임의의 액체 유동이 발생되거나 이에 따라 액체 방출 이미지가 형성될 수 있다.

상기 물체는 상기 노즐에 대해 이동 경로를 따라 연속적인 속도로 이동되는 것이 바람직하다. 상기 밸브를 개방 및 폐쇄함으로써 한편으로는, 상기 이동 경로를 따라 설정된 표면 분할부를 구비하여 소정의 액체 방출이 상기 개방된 액체 접속부에서 발생될 수 있다. 대안으로서, 상기 표면 분할부를 형성하기 위해 부가적으로 상기 액체 접속부를 개방하거나 폐쇄할 수 있다.

따라서, 상기 액체 접속부는 길게 형성되는 것이 바람직하며, 상기 액체 접속부는 서로 소정의 간격을 갖는 다수의 노즐을 구비한다. 상기 액체 접속부는 폐쇄부에 의해 개방되거나 폐쇄될 수 있는 것이 바람직하다. 바람직한 실시예에 따르면, 이러한 다수의 액체 접속부는 서로 평행으로 연속적으로 배치된다. 따라서, 상기 액체 접속부는 상기 물체의 이동 경로를 따라 표면에 액체를 방출할 수 있다. 상기 액체 접속부는 개별적으로 제어되거나 소정의 표면 분할부에 따라 독립적으로 서로 상이하게 개방되거나 폐쇄되는 것이 특히 바람직하다.

상기 액체 접속부는 고정되고 상기 물체는 이동 경로 위에서 이동하는 것이 바람직하다. 상기 이동 경로는 전송 경로(transport path)일 수 있는데, 예를 들어, 롤러 경로 또는 이와 유사한 것일 수 있다. 적어도 상기 물체의 이동 경로 상부에는 상기 액체 접속부가 구비되고 상기 액체는 상부로부터 상기 물체 위로 공급되는 것이 바람직하다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 표면 분할부를 형성하기 위해 상기 노즐의 밸브만이 제어된다. 따라서, 상기 노즐의 밸브에는 상기 공정을 제어하는 데에 제약이 따를 수 있다. 본 발명의 또다른 실시예에 따르면, 상기 표면 분할부를 형성하기 위해 상기 밸브의 노즐과 상기 액체 접속부의 폐쇄부가 개방 및 폐쇄될 수 있다. 이때, 제1 단계에서 상기 밸브를 사용하여 상기 노즐을 초기화하거나 개방 및 폐쇄할 수 있다. 이러한 공정중에서도 상기 액체 접속부 또는 그 폐쇄부가 개방 및 폐쇄된다. 따라서, 말하자면, 상기 노즐의 밸브에 의해 상기 액체 분할부가 초기화되고, 그리고 나서 상기 액체 방출을 위한 접속부를 개방하고 폐쇄함으로써 상기 액체 분할부가 활성화된다. 이러한 방법에 의해 상기 밸브는 보호될 수 있으며, 지속적으로 작동하거나 변경할 필요는 없다. 다수의 액체 접속부는 상기 노즐에 의해 운반되므로, 상기 액체 접속부를 사용하여 액체 방출을 수행하는 것이 보다 용이해진다.

본 발명에 따른 방법에서 있어서, 너무 강한 액체 분사를 방지하기 위해서, 기판의 측면 및/또는 전후면 외부영역에서는 중간영역에서보다 적은 액체가 공급된다. 이때, 기본적으로 상기 액체 분사는 임의로 감소될 수 있다. 상기 액체 분사는 양적으로 상대적으로 적은 것이 바람직하며,시간적 감소에 의해 수행되는 것이 특히 바람직하다. 이는, 액체 분사가 발생되는 한, 노즐을 통한 액체 유출은 항상 동일하다는 것을 의미한다. 상기 외부영역에서 또는 상기 외부영역에 대해 상기 노즐은 시간적으로 더 빈번히 또는 더 오랫동안 턴 오프(turn off)되거나 더 드물게 활성화된다.

상기 노즐은 고정되게 배치되는 것이 바람직하다. 본 발명의 일 가능성에 따 르면, 상기 노즐은 강건하며, 고정된 방출방향으로 배치된다. 본 발명의 또다른 가능성에 따르면, 상기 노즐은 정렬시 이동되거나 가변될 수 있다. 이는 상기 각각의 노즐에 대해 개별적으로 또는 그룹별로 수행될 수 있다. 이러한 정렬은 일방향에서 또는 평면에서, 즉, 다수의 평면에서 또는 완전히 자유롭게 선택가능하게 가변될 수 있다. 구동부를 구비하여 상기 노즐을 제어하고 상기 노즐은 예를 들어 전동적으로 정렬될 수 있다. 상기 노즐의 그룹은 상기 액체 접속부에 따라 분할될 수 있다. 예를 들어, 상기 그룹은 상기 액체 접속부와 함께 파이프 또는 이와 유사한 것의 형태로 분할될 수 있다. 이와같이 조정가능한 노즐을 사용하여 보다 정밀하고 임의로 액체 방출을 수행할 수 있다.

본 발명의 또다른 실시예에 따르면, 상기 물체의 통과방향에서 볼 때 상기 전면영역에서 단일 또는 소수의 노즐 액체가 방출된다. 상기 통과방향에서 점점 더 많은 노즐이 액체를 방출하며, 바람직하게는, 그 노즐들이 상대적으로 큰 표면에 액체를 방출하거나 확장되면서 액체를 방출한다. 따라서, 쐐기(wedge) 형태의, 통과방향으로 확대되는 표면 분할부가 형성될 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 방법에 있어서, 다수의 물체는 서로 인접하여 통과될 수 있다. 여기서, 상기 각각의 물체에서 소정의, 예를 들어, 쐐기(wedge) 형태의 측면부(profile)가 형성될 수 있다. 또한, 상기 각각의 물체에서 또다른 자체 측면부가 형성될 수도 있다.

상기 노즐의 밸브를 작동하기 위해서 압축공기를 사용할 수 있다. 이는, 상대적으로 간단하고 신뢰적이며 정비가 별로 요구되지 않는다. 압축공기관은 상기 밸브에 직접 안내될 수 있다.

상기 특허청구범위 외에도 상세한 설명 및 도면으로부터 추론되는 또다른 특징은, 자체로서의 상기 개개의 특징 또는 하위조합 형태의 다수의 특징은 본 발명의 실시예에서 그리고 또다른 영역에서 실현되며, 보호를 청구하는 보호가능한 실시예를 위해 도시되는 것이 바람직하다. 개개의 패러그래프 및 중간 표제로 본원을 하위분할하는 것은 보편타당성 측면에서 상기 언급한 설명을 제한하지 않는다.

도 1은 본 발명에 따른 노즐을 구비한 다수의 방출부를 구비한 액체 접속부의 측면도,

도 2는 방출부를 기준으로 한 도 1의 확대도,

도 3은 노즐을 구비한 방출부를 기준으로 한 도 2의 단면도이며,

도 4 내지 도 6은 서로 다른 형태의 분할 측면부 및 인쇄회로기판을 구비한 노즐 필드를 각각 개략적으로 도시한다.

이하 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 설명부 및 첨부된 도면을 참조로 하여 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 액체 접속부(12)를 구비한 장치(11)의 측면도이다. 상기 액체 접속부(12)는 좌우에 액체 접속부(12)가 통과하는 액체 유입구(13)를 구비한다. 상기 액체 접속부(12)는 도 4에 개략적으로 도시된 폐쇄부에 의해 개방 및 폐쇄가능하다. 상기 액체 접속부(12)의 폐쇄부(27)는 압축공기에 의해 작동될 수 있다.

상기 액체 접속부(12)는 서로 동일한 간격을 두고 동일하게 형성되는 방출부(15)를 구비한다. 상기 방출부(15)는 접속부(16)에 의해 유동하여 상기 액체 접속부(12)에 연결된다. 또한, 상기 방출부(15)는 제어를 위한 압축공기 접속부(18)를 구비한 밸브부(17)를 구비한다. 또다른 실시예에서, 상기 방출부(15)는 서로 다른 간격으로 상기 액체 접속부(12)에 배치될 수 있다. 또한, 다른 형태로 형성된 방출부가 구비될 수도 있다. 이러한 방출부는 상기 액체 접속부(12)의 양측에 연결될 수도 있다.

도 2는 도 1에 도시된 상기 액체 접속부(12)에 배치된 방출부(15)의 확대도이다. 압축공기 접속부(18)에는 압축공기관(19)이 연장된다. 상기 압축공기관(19)은 도시되지 않은 압축공기부에 연결된다. 따라서, 상기 각각의 압축공기관(19)과 상기 각각의 방출부(15)는 상기 압축공기관(19)에 의해 개별적으로 제어될 수 있다.

상기 방출부(15)는 상기 접속부(16)를 통과하고 수로(21)를 경유하여 상기 액체 접속부(12)에 유동적으로 연결된다. 또한, 상기 수로(21)는 밸브부(17)를 통과한다. 이때, 상기 압축공기 접속부(18)를 사용하여 작동가능한 멤브레인 밸브가 개방 및 폐쇄하기 위해 구비된다. 여기서 이에 대해 상세히 논의할 필요는 없다. 상기 수로(21)는 일점쇄선으로 연장되는 노즐구(22)로 통한다.

도 2는 한편으로는 상기 방출부(15) 또는 노즐이 상기 액체 접속부(12)에 매우 인접하게 배치되는 것을 도시한다. 다른 한편으로는, 상기 노즐에 직접 구비된 상기 밸브부(17)와, 상기 노즐(24)이 작동하는지의 여부를 도 2에서 알 수 있다. 따라서, 상기 노즐에 대한 매우 정확하고 시간적 영향을 파악할 수 있다.

도 3으로부터, 상기 노즐(24)이 상기 밸브부(17) 하부에 배치되는 것을 알 수 있다. 상기 노즐(24)은 상기 노즐구(22)를 통해 유동적으로 연결된다. 여기서, 상기 노즐(24)의 상세한 형성과정은 도 3에서 명백히 알 수 있을 뿐만 아니라 실질적으로 잘 알려진 노즐부와 상응하므로 이에 대해 상세히 설명할 필요는 없다.

상기 노즐(24)로부터 노즐 액체가 하부로 향한다. 상기 노즐 액체는 그 측면부 또는 폭과 관련하여 상기 노즐(24) 자체에서 제어될 수 있다. 이는 수동 또는 자동으로 제어 수행될 수 있다.

도 4는 노즐 필드(25)를 개략적으로 도시한다. 상기 노즐 필드(25)는 다수의 방출부(15)로 이루어진다. 상기 방출부(15)는 도 1에 도시된 액체 접속부(12)에 인접하여 배치된다. 도 4에 도시되지 않은 상기 액체 접속부는 상기 폐쇄부(27)를 사용하여 유동적으로 제어가능하다.

상기 방출부(15)중 일부는 삭제되었음을 알 수 있다(X 로 표시됨). 이는, 상기 밸브부(17)를 사용함으로써 상기 방출부(15)의 작동이 차단되고 액체 방출이 발생되지 않는 것을 의미한다. 따라서, 상기 활성화된 방출부(15)로부터 빗금친 선으로 표시된 분할 측면부(distribution profile, 26a)가 형성된다. 이로부터 알 수 있는 바와 같이, 도 4에 도시된 상기 분할 측면부(26a)는 쐐기(wedge) 형태이다.

인쇄회로기판(29a)은 이동방향(B)을 따라 상기 노즐 필드(25) 하부를 통과한다. 상기 분할 측면부(26a)에 의해 인쇄회로기판(29a) 위에 액체 방출이 발생된다. 이로써, 상기 액체 방출은 상기 인쇄회로기판(29a) 또는 중앙선의 중심영역에서 가 장자리영역보다 강하게 발생한다. 이는 상기 중심영역에서 다수의 노즐이 활성화되기 때문이다.

상기 액체 방출은 상기 분할 측면부(26a)에 해당하는 밸브부(17)를 사용하여 초기화하기 위해 개방되거나 폐쇄될 수 있도록 수행된다. 상기 방출부(15)는 상기 액체 접속부(12) 상부의 상기 폐쇄부(27)를 사용하여 제어된다. 전술한 바와 같이, 상기 밸브부(17)는 너무 자주 작동되어서는 안되도록 보호된다.

도 5는 도 4에 도시된 노즐 필드(25)를 다시 도시한다. 여기서 인쇄회로기판(29b)은 근소한 폭을 구비하므로, 상기 쐐기 형태의 분할 측면부(26b)는 첨예하게 진행되거나 상기 폭으로 조정된다. 또한, 상기 인쇄회로기판(29b)은 상기 노즐 필드(25)의 중앙축에 대해 우측으로 밀려 있다. 이로 인해, 또한 상기 분할 측면부(26b)는 우측으로 밀려 있다.

상기 이동방향(B)으로 상대적으로 짧은 인쇄회로기판에 적용하기 위해서, 상기 이동방향(B)에 대해 수직으로 신장된 일련의 방출부(15) 또는 액체 접속부(12)를 턴 오프(turn off)할 수 있다.

또한, 도 6은 도 4에 도시된 노즐 필드(25)를 도시한다. 여기서, 두 개의 서로 인접한 인쇄회로기판(29c 및 29d)은 액체를 사용하여 작동될 수 있다. 이로써, 빗금친 선으로 다시 도시된 상기 분할 측면부(26c 또는 26d)가 형성된다. 상기 분할 측면부(26c 및 26d)도 쐐기 형태로 상기 이동 경로(B)에 대향해 있다. 상기 방출부(15)의 상부 중앙 영역에는 상기 두 개의 분할 측면부가 중첩된다. 이는 실제로 어떠한 문제점도 없음을 나타낸다.

상기 두 개의 인쇄회로기판(29c 및 29d)이 상기 이동방향(B)으로 서로 밀어 움직여진다면, 상기 분할 측면부(26c, 26d) 자체가 동일한 것일 것이다. 각각의 인쇄회로기판이 채용시간만 상이하고 항상 개별적으로 조정될 것이다.

상기 액체의 방출을 위한 제어부는 도면에 도시되어 있지 않다. 이러한 제어부는 상기 인쇄회로기판의 위치, 레이아웃, 및 크기를 파악하고 이에 따라 액체 방출을 조정하거나 해당 분할 측면부를 형성하고 상기 액체 방출을 위해 사용되는 센서를 구비할 수 있다.

이상 상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 액체를 사용하여 물체를 처리하는 방법 및 장치를 제공함으로써, 이러한 물체의 액체 유동이 개별적으로 원하는 대로 가능케 한다.

Claims

인쇄회로기판 산업에 사용되는 기판과 같은 물체(29)를 액체를 사용하여 처리하는 방법으로서,

패턴이 형성되는 동안 상기 액체의 영향으로 부분적으로 제거되는 층을 표면에 구비하는 물체(29)를 제공하는 단계;

적어도 하나의 액체 접속부(12)에 연결되고 액체 방출을 위한 다수의 노즐(24)을 제공하는 단계로서, 상기 액체 접속부(12)는 액체 저장통에 연결되고 개방 및 폐쇄가능하며, 밸브(17)가 상기 노즐(24)마다 직접 제공되는, 다수의 노즐(24)을 제공하는 단계;

상기 밸브(17)를 개별적인 방식으로 개방 또는 폐쇄시키도록 제어하는 단계;

상기 물체(29)를 상기 노즐(24)에 대하여 이동 경로(B)를 따라 이동시키는 단계; 및

상기 밸브(17) 또는 상기 액체 접속부(12)를 개방 및 폐쇄함으로써, 이동 경로(B)를 따라 미리 설정되었거나 미리 설정가능한 표면 분할부(26a,26b,26c,26d)를 가지고 특정량의 액체를 방출하는 단계;를 포함하고,

상기 물체(29)가 통과되는 동안 상기 표면 분할부(26a,26b,26c,26d)를 형성하기 위해, 제1 단계에서는 상기 밸브(17)에 의해 상기 노즐(24)이 초기화되고,

제2 단계에서는 상기 액체 접속부(12)가 주기적으로 개방 및 폐쇄되는 것을 특징으로 하는, 액체를 사용하여 물체를 처리하는 방법.
제1항에 있어서, 상기 액체 접속부(12)는 길고, 상기 다수의 노즐(24)을 서로 간격을 두고 구비하고, 폐쇄부(27)에 의해 개방 및 폐쇄가능하며, 상기 다수의 액체 접속부(12)는 표면을 덮기 위해 서로 평행하고 연속적으로 상기 이동 경로(B)를 따라 배치되고 개별적으로 제어가능한 것을 특징으로 하는, 액체를 사용하여 물체를 처리하는 방법.
제1항에 있어서, 상기 액체 접속부(12)는 상기 이동 경로(B)에 대해 연속적으로 배치되며, 상기 물체(29)는 상기 이동 경로(B)를 따라 이동되는 것을 특징으로 하는, 액체를 사용하여 물체를 처리하는 방법.
제1항에 있어서, 상기 이동 경로(B) 상의 상기 액체 방출의 특정의 표면 분할부(26a,26b,26c,26d)를 형성하기 위해, 상기 노즐(24)의 밸브(17)가 제어되는 것을 특징으로 하는, 액체를 사용하여 물체를 처리하는 방법.
제4항에 있어서, 상기 표면 분할부(26a,26b,26c,26d)를 형성하기 위해, 상기 노즐(24)의 밸브(17)만이 제어되는 것을 특징으로 하는, 액체를 사용하여 물체를 처리하는 방법.
삭제
제1항에 있어서, 상기 액체 방출의 특정 표면 분할부(26a,26b,26c,26d)를 형성하기 위해, 상기 물체(29)의 측면 또는 전후면 외부영역에서는 중간영역에서보다 적은 액체가 공급되고, 방출 액체의 양 및 액체 방출의 시간은 중간영역에서보다 물체의 측면 또는 전후면 외부영역에서 감소되는 것을 특징으로 하는, 액체를 사용하여 물체를 처리하는 방법.
제1항에 있어서, 상기 노즐(24)은 정렬시 이동되거나 가변되고, 상기 노즐(24)은 개별적으로 또는 그룹별로 가변되고, 상기 그룹은 액체 접속부(12)에 따라 분할되는 것을 특징으로 하는, 액체를 사용하여 물체를 처리하는 방법.
제1항에 있어서, 상기 물체(29)의 통과방향으로 상기 이동 경로(B)를 따라, 액체의 영향을 받는 물체(29)의 표면을 증가시키기 위하여 액체를 방출시키는 노즐들의 수가 증가되는 것을 특징으로 하는, 액체를 사용하여 물체를 처리하는 방법.
제1항 내지 제 9 항중 어느 한 항에 따른 방법을 수행하기 위해, 인쇄회로기판산업에 사용되는 기판과 같은 물체(29)를 액체로 처리하는 장치로서,

상기 물체(29)는 패턴이 형성되는 동안 액체의 영향으로 부분적으로 제거되는 층을 표면에 구비하며;

다수의 노즐(24)은 상기 액체를 방출하기 위해 구비되고 적어도 하나의 액체 접속부(12)에 연결되며;

상기 액체 접속부(12)는 액체 저장통에 연결되며,

상기 액체 접속부(12)는 개방 및 폐쇄가능하며;

밸브(17)는 상기 모든 노즐(24)마다 직접 제공되고;

상기 밸브(17)는 개방 또는 폐쇄되기 위해 개별적으로 제어가능하며;

상기 물체(29)는 상기 노즐(24)에 대해 이동 경로(B)를 따라 움직이고;

상기 밸브(17) 또는 상기 액체 접속부(12)는 이동 경로(B)를 통해 미리 결정된 표면 분할부(26a,26b,26c,26d)를 가지고 특정한 액체 방출을 발생시키기 위하여 개방 및 폐쇄가능하고,

상기 이동 경로(B) 상에 액체 방출의 특정한 표면 분할부(26a,26b,26c,26d)를 형성하기 위해, 상기 노즐(24)의 밸브(17)는 개별적으로 제어가능한 것을 특징으로 하는, 액체를 사용하여 물체를 처리하는 장치.
제10항에 있어서, 상기 액체 접속부(12)는 길고, 상기 다수의 노즐(24)을 서로 간격을 두고 구비하고, 폐쇄부(27)에 의해 개방 및 폐쇄가능하며, 상기 다수의 액체 접속부(12)는 표면을 덮기 위해 서로 평행하고 연속적으로 상기 이동 경로(B)를 따라 배치되고 개별적으로 제어가능한 것을 특징으로 하는, 액체를 사용하여 물체를 처리하는 장치.
제10항에 있어서, 상기 액체 접속부(12)는 상기 이동 경로(B)에 대해 연속적으로 고정되게 배치되며, 상기 물체(29)는 이동 경로(B)를 따라서 상기 액체 접속부(12) 하부에서 이동될 수 있는 것을 특징으로 하는, 액체를 사용하여 물체를 처리하는 장치.
삭제
제10항에 있어서, 상기 노즐(24)은 서로 간격을 두고 상기 액체 접속부(12)에 배치되며, 상기 노즐(24)과 상기 액체 접속부(12) 사이에 상기 밸브(17)가 배치되는 것을 특징으로 하는, 액체를 사용하여 물체를 처리하는 장치.
제10항에 있어서, 상기 노즐(24)은 정렬시 이동되거나 가변될 수 있고, 상기 노즐(24)은 개별적으로 또는 그룹별로 가변될 수 있으며, 상기 그룹은 액체 접속부(12)에 따라 분할되는 것을 특징으로 하는, 액체를 사용하여 물체를 처리하는 장치.