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Beschreibung
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Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Behandeln von Gegenstnden
mittels einer Fldss1gkeit, insbesondere eine Ätz oder Entwicklermaschine für die
Leiterplattenherste ng, wo bei die Gegenstände an der Oberfläche eine Schicht aufweisen,
welche unter der Einwirkung der Plüssigkeit unter Ausbildung eines Musters teilweise
entfernt wird, mit mindestens einem eine Vielzahl von Düsen enthaltenden Düsenstock,
mit mindestens einem PlUssigkeitssumpf, mit mindestens einer Pumpe, welche die Flüssigkeit
aus dem Sumpf ansaugt und über munde stens eine Flüssigkeits-Sammelleitung den einzelnen
Düsen zuführt.
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Bei der Herstellung von Lelterplatten mit geringem Leiterbahn abstand.und
geringer teiterbahnbreite oder bei Metallformteilen mlt feinster Struktur entscheiden
oft Sekunden der Bearbeitungseit über den letztendlichen Erfolg. Muß die zu bearbeitende
Fläche an einigen Stellen aufgrund ungleichmäßigen Sprühvorgangs zu lange bearbeitet
werden, damit die gesamte Schicht entferut (z.B. bei Ätzmaschinen die gesamte freie
Metallschicht durchgeätzt ist), so kann dies bereits zu nicht mehr hinnehmbaren
Unterätzungen der stehenbleibenden Metallschicht und/oder zu Dimensionsveränderungen
führen.
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Ungleichmäßigkeiten des Sprühvorganges können insbesondare dadurch
entstehen, daß eine oder mehrere Düsen innerhal) des Düsenstockes verstopfen. Bei
den bekannten Vorrichbungen der eingangs genannten Art ist im Betrieb ein visuelles
Erkennen derartiger Störungen nicht möglich. Auch der Fachmann erkennt am Sprühbild
des Düsenstockes nicht oder nicht ohne weiteres, ob und ggf. welche Düse verstopft
ist. Auf diese Weise kommt es zu erheblicher Ausschußproduktion, bis der Fehler
in der Ätz- bzw. Entwicklermaschine entdeckt ist. Auch dann noch bereltet die Beseitigung
der Störung erhebliche Schwierigeiten
da das Auffinden der unregelmäßig
arbeitenden Düse, die innc halb eines mit aggressiven Dämpfen und Flüssigkeiten
angefü ten Raumes angeordnet ist, sehr mühsam ist.
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Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung der eingangs
genannten Art derart auszugestalten, daß das Vorliegen einer Unregelmäßigkeit in
der Zufuhrmenge zu jedes einzelnen Düse leicht erfaßt, lokalisiert und schließlich
be hoben werden kann.
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Diese Aufgabe wird errindungsgemäß dadurch gelöst, daß a) jeder Düse
eine individuelle Flüssigkeits-Zufuhrleitung geordnet ist, welche zur Flüssigkeits-Sammelleitung
führ b) in jeder individuellen Flüssigkeits-Zufuhrleitung ein F1Z sigkeits-Durchflußmengenmesser
vorgesehen ist.
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Während bei den bekannten Entwickler- und Atzmaschinen die Düsen direkt
an der Flüssigkeits-Sammelleitung angeordnet ; und demzufolge eine Kontrolle der
den einzelnen Düsen zugef ten Flüssigkeitsmengen nicht möglich war, wird erfindungsge
mäß eine Vielzahl von individuellen Zufuhrleitungen zu den einzelnen Düsen vorgesehen
In diese Zufuhrleitungen kann nun jeweils ein Durchflußinengenmesser eingesetzt
werden, de: die individuell zu jeder Düse strömende Flüssigkeitsmenge anzeigt. Auf
diese Weise ist es nicht nur möglich, optisch oder auch elektrisch zu kontrollieren,
ob überhaupt eine Unregelmäßigkeit an einer Düse vorliegt, sondern darüber hinaus,
den Ort der jeweils gestörten Düse zuverlässig zu lokalisieren.
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Zusätzlich kann in jeder individuellen Flüssigkeits-Zufuhrleitung
ein Regelventil vorgesehen sein, welches der individuellen Einstellung der zu jeder
Düse führenden Flüssigke
menge dient. Auf diese Weise kann das sprühbild
dem jeweils zu behandelnden Ätzgut anaepaßt werden. Darüber hinaus ist es möglich,
bestimmte Reihen von Düsen vollständig abzustellen, um hierdurch die Verweildauer
des Behandlungsgutes innerhalb der Sprühzone zu verkürzen.
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Der Durchflußmengenmesser kann einen in der Flüssigkeit angeordneten
Auftriebskörper enthalten, der von der -strömenden Flüssigkeit gegen die Wirkung
der Schwerkraft mitgenommen wird. Derartige Durchflußmengenmesser sind besonder
robust und preiswert. Sie können auch anhand der Höhenlage d&s Auftriebskörpers
leicht visuell kontrolliert werden. In diesem Falle sind sie an der Außenseite der
Vorrichtung anzuordnen.
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Selbstverständlich sind auch andere Bauweisen der Durchalußmengenmesser
verwendbar, sofern sie nur gegenüber der jeweils ligen Behandlungsflüssigkeit resistent
sind.
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So können die Durchflußmengenmesser jeweils eine Turbine enthalten,
die von der strömenden Flüssigkeit in Drehung versetzt wird. Alternativ können die
Durchflußmengenmesser einen Ultraschallgeber und einen Ultraschallempfänger umfassen.
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Ultraschallgeber und Ultraschallempfänger können außerhalb der durchströmten
Leitung angeordnet werden, müssen also nich in diese eintauchen. Dieses Meßverfahren
gibt besonders präzise Werte.
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Wenn eine besonders preiswerte Meßmethode gewünscht wiri und wenn
insbesondere weniger absolute Werte als Wertverändzrungen von Interesse sind, empfiehlt
es sich, daß die Durcflußmengenmesser jeweils einen Flüssigkeits-Druckmesserenthaltenf
der -in der individuellen Flüssigkeits-Zufuhrleitung stromauf von den potentiellen
und tatsächlichen Drosselstellen angeordnet ist. Derartige Druckmesser messen den
statischen, strcx auf von den Drosselstellen (den Düsen und ggf, den Regelventil
herrschenden
Staudruck, der nach der Bernoulli'schen Gleicht mit der Strömungsgeschwindigkeit
und damit mit der Durchflußmenge verknüpft ist.
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Jedem Durchflußmengenmesser kann ein elektrischer Meßwertgebf zugeordnet
sein,ttx?i jeder Meßwertgeber mit einer Meßelektr nik verbindbar oder verbunden
ist, welche aus dem elektrisch' Signal des Meßwertgebers ein elektrisches, für die
gemessene Durchflußmenge repräsentatives Signal erzeugt, das einer Sichtanzeige
zugeführt wird. Die elektrische Ablesung hat den -Vorteil, daß die Meßwertgeber
auch an einer von außen her.
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nicht sichtbaren Stelle der Vorrichtung angebracht werden können und
daß übersichtlichere sowie auffälligere Anzeigevorrichtungen verwendbar sind.
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Die Bauweise des Meßwertgebers ist selbstverständlich der Art des
jeweils verwendeten Durchflußmengenmessers angepaßt.
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Wird beispielsweise ein mit Auftriebskörper arbeitender Durc flußmengenmesser
verwendet, kann der Meßwertgeber eine den Auftriebskörper umgebende Spule und ein
die Induktivität der Spule beeinflussendes Teil am Auftriebskörper umfassen. Dies
Anordnung wird besonders einfach, wenn nur die Anzeige eines bestimmten untersten
Grenzwertes für die durchströmende Flüs sigkeit gewünscht wird.
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.Wird ein mit Turbine arbeitender Durchflußmengenmesser verwendet,
kann der Meßwertgeber einen mit der Achse der Turbin verbundenen Drehzahlmesser
oder Generator umfassen. Bei Verwendung eines Druckmessers als Durchflußmengenmesser
schlitz lich ist es von Vorteil, wenn der Meßwertgeber einen piezoelektrischen Wandler
umfaßt.
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Bei einem Ausführungsbeispiel der Erfindung ist jedem Meßwertgeber
eine eigene Meßelektronik zugeordnet. Die gesamte
Schaltungsanordnung
zur überwachung der Durchflußmengen umfaßt dann eine Vielzahl identischer, unabhängiger,
paralleler Kanäle. Dieser Aufbau empfiehlt sich insbesondere dann, wenn aufgrund
der verwendeten Methode zur Mengenmessung und der hierbei eingesetzten Meßwertgeber
eine preiswerte Meßelektronik zur Verfügung steht.
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Alternativ ist es möglich, daß die Meßwertgeber über einen von einem
Taktgeber gesteuerten Multiplexer sequentiell und zyklisch mit einer einzigen Meßelektronik
verbindbar sind und daß das Ausgangssignal der Meßelektronik - ggf. nach Modifikationen
- über einen vom Taktgeber gesteuerten Demultiplexer der Sichtanzeige sequentiell
oder zyklisch zugeführt wird. Bei dieser Gestaltung der Uberwachungselektronik wird
die Meßelektronik nur einmal benötigt. Über sie werden sequentiell und zyklisch
die elektrischen Signale von den verschiedenen Meßwertgebern zu den zugehörigen
Sich-anzeigen geleitet. Diese Ausbildung empfiehlt sich insbesndere: dort, wo aufgrund
des gewählten Meßverfahrens und der hLerfür eingesetzten Mewertgeber sowie aufgrund
der Genauigkei4sanforderungen ei1e teuere Meßelektronik erforderlich ist.
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Wenn es nur darauf ankommt, das Unterschreiten eines unteren Grenzwertes
der Durchflußmenge festzustellen, kann jeder Meßelektronik ein Komparator nachgeschaltet
sein, der das von der Meßelektronik erzeugte Signal mit einem einstellbaren Grenzwertsignal
vergleicht, welches von einer Vergleichswertschaltung erzeugt wird und die geringste,
für die jeweilige Düse zulässige Durchflußmenge repräsentiert, und der ein Ausgangssignal
an die entsprechende Sichtan::eige abgibt, wenn das von der Meßelektrode erzeugte
Signal kleiner als das Grenzwertsignal ist.
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Das Ausgangssignal von jedem Komparator kann außerdem zum Auslösen
einer Hilfsfunktion verwendet werden. Als Hilfs-
funktion kommt
jeder Vorgang in Frage, der dann ausgelöst werden soll, wenn auch nur eine Düse
eine Störung aufweist, wobei es nicht darauf ankommt, um welche Düse es sich handelt.
Derartige Hilfsfunktionen sind insbesondere ein optisches oder akustisches Alarmsignal
oder auch ein Relais, mit dem die Vorrichtung abschaltbar ist.
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Wenn die Uberwachungsschaltung aus einer Vielzahl paralleler, unabhängig
arbeitender Kanäle aufgebaut ist, wird jeder Meßelektronik ein gesonderter Komparator
nachgeschaltet, wobei die Ausgänge der Komparatoren Über ein ODER-Tor der Hilfsfunktion
zugeführt werden.
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Die Vergleichsschaltung kann für jede Düse dasselbe einstellbare Grenzwertsignal
erzeugen.- Dies kommt insbesondere dann in Frage., wenn die zu jeder Düse strömende
Flüssigkeitsmenge in etwa dieselbe ist.
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Wenn jedoch beabsichtigt ist, die verschiedenen Düsen auch mit merkbar
unterschiedlichen Flüssigkeitsmengen zu beschikken, sollte die Vergleichswertschaltung
einen Speicher enthalten, in dem für jede Düse ein individueller, unterer Grenzwert
speicherbar ist, wobei der Speicher im Takt des Taktgebers sequentiell und zyklisch
auslesbar -ist.
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Die Vergleichsschaltung kann auch einen Speicher enthalten, in dem
die Sollwerte für die Durchflußmengen jeder einzelnen Düse speicherbar sind, sowie
einen einstellbaren Abschwächer, der ein ihm zugeführtes Signal auf einen bestimmten
Prozentsatz abschwächt, wobei der Speicher im Takt des Taktgebers sequentiell und
zyklisch über den Abschwächer auslesbar ist.
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Bei dieser Ausgestaltung wird der Speicher kurzzeitig in einem solchen
Zustand der Vorrichtung eingelesen, in dem die Düsen nachweislich richtig eingestellt
sind und arbeiten.
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Der Abschwächer bestimmt dann die Abweichung vom Sollwert,
die
im Einzelfall zugelassen wird, bevor eine Störanzeige erfolgt.
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Zur Ortung der Düse, an der eine eventuelle Störung aufqetreten ist,
ist es besonders einfach, wenn-die Lichtanzeigen in einem Display in einer Anordnung,
die der Anordnung der Düsen im Düsenstock entspricht, zusammengefaßt sind.
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Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand der Zeichnung
näher erläutert; es zeigen Figur 1: schematisch die Seitenansicht des Ätzmittelsystems
einer Ätzmaschine; Figur 2: die Draufsicht auf Figur 1, teilweise im Schnitt; Figur
3: eine Schaltungsanordnung zur Uberwachung des in Figur 1 dargestellten Ätzmittelsystems.
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In Figur 1 ist das Atzmittelsystem einer Ätzmaschine zur Leiterplattenherstellung
schematisch dargestellt. Es steht stel: vertretend für alle Flüssigkeitssysteme
von Vorrichtungen der eingangs genannten Art, insbesondere auch für das Entwicklersystem
einer Entwicklermaschine. Die weiteren bekannten Bestandteile der Ätzmaschine, insbesondere
Wände, Fördersysteme für das Atzgut usw., sind der besseren Übersichtlichkeit halber
weggelassen.
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Das Ätzmittelsystem umfaßt einen Düsenstock 1, der im dargestellten
Beispiel plattenförmig ausgebildet ist. Der Düsenstock 1 trägt in regelmäßiger Anordnung
zwanzig Düsen D1 bis D20, deren Sprühöffnungen in Figur 1 nach unten gerichtet sind.
Jede Düse D1 bis D20 ist über einen individuellen, ihr zugeordneten, im Düsenstock
1 verlaufenden Kanal K1 bis K20 mit einem Anschluß Al bis A20 verbunden. In Figur
2 sind nur die Kanäle K3 und K4 sowie teilweise der Kanal K20 dargestellt. Der Verlauf
der übrigen Kanäle Kl, K2 sowie K5 bis R19 ist strichpunktiert angedeutet. In entsprechender
Weise sind in den Figuren 1 und 2 nur die Anschlüsse A3, A4 und A20 gezeichnet;
auf die Darstellung der Anschlüsse Al, A2 sowie A5 bis A19 wurde zur Entlastung
der Zeichnung verzichtet.
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Die Anscnlüsse Al bis A20, die sich alle an derselben ,ängsseite des
Düsenstocks 1 befinden, sind über flexible Schlauc stücke S1 bis S20, jeweils einen
Durchflußmengenmesser Mi bis M20 sowie jeweils ein Regelventil V1 bis V20 mit einer
Ätzmittel-Sammelleitung 2 verbunden. Für die zeichnerische Darstellung der Schlauchstücke
S1 bis S20, der Durchflußmeng messer M1 bis M20 sowie der Regelventile V1 bis V20
gilt das oben für die Kanäle K1 bis K20 und die Anschlüsse Al bis A20 Gesagte entsprechend.
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Die Sammelleitung 2 führt zu einer Pumpe 3, die in den Ätzmittelsumpf
4 der Atzmaschir.e eintaucht.
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Als Durchflußmengenmesser Ml bis M20 kommen alle bekannten Bauarten
in Frage, soweit sie gegenüber dem Ätzmittel resistent sind. So ist der Einsatz
von Autriebskörper-Mes:;ern möglich, bei denen ein im fließenden Ätzmittel frei
an<eordneter Auftriebskörper vom ätzmittel gegen die Wirkung der Schwerkraft
mitgenommen wird. Die Höhe, in welcher der-Auftriebskörper schwebt, ist ein direktes
Maß für die Durchfluß menge und kann visuell ermittelt werden. Alternativ ist ein
Mengenmesser mit im fließenden Ätzmittel laufender Turbine verwendbar, deren Drehzahl
das Maß für die Durchflußmenge darstellt. Auchrein elektrische Methoden, beispielsweise
mittels Ultraschall, bei denen die Sensoren um die durch strömte Leitung herum angeordnet
sind und ke-ine bewegliche Teile in das Atzmittel eintauchen, kommen in Frage.
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Insbesondere dann, wenn es weniger auf absolute Zahlen der Durchflußmengen
sondern auf relative Mengenmessunqen (''eränderungen) ankommt, kann unter Ausnutzung
der Bernoullischen Gleichung die Durchflußmengenmessung auch durch eine Staudruckmessung
stromauf von der Drosselstelle ersetzt werden. Die als Druckmesser ausgebildeten
Durchflußmengenmesser M1 bis M20 müßten also - anders als in der Zeichnung
stromauf
von den Regelventilen V1 bis V20 direkt hinter der Pumpe angebracht werden. Der
Einsatz von als Durchflußmengenmesser arbeitenden Drucksensoren ist aus Kostengründen
und wegen der Einfachheit, mit welcher das Ausgangs signal weiter verarbeitet werden
kann, von Vorteil.
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Im Betrieb der Ätzmaschine fördert die Pumpe 3 aus dem Sumpf4 Ätzmittel
zur Sammelleitung 2. Dieses verzweigt sich dort und fließt über die Regelventile
V1 bis V20, die Durchflußmengenmesser1 bis M20, die Schlauchstücke S1 bis S20 und'die
Kann: K1 bis K20 zu den Düsen D1 bis D20.
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Durch die Regelventile V1 bis V20 ist es nicht nur möglich, ganze
Reihen von Düsen D1 bis D2Q abzustellen. Hierdurcn kann bei im Durchlaufverfahren
arbeitenden Xtzmaschinen die Verweildauer des Ätzgutes innerhalb der Atzzone verändert
werden Zusätzlich kann die aus jeder einzelnen Düse D1 bis D20 austretende Ätzmittelmenge
individuell eingestellt werden, wodurch ein an das spezielle Ätzgut angepaßtes Sprühbild
des Düsenstockes 1 erzielt wird. Äuf diese Weise können also bestimmte Bereiche
des Ätzguts gezielt stärker, andere schwächer dem Atzmittel ausgesetzt werden, wodurch
insbesondere eine unerwünschte Pfützenbildung verhindert wird.
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Die Durchflußmengenmesser M1 bis M20 zeigen den jeweils zu den einzelnen
Düsen Dl bis D20 fließenden, Atzmittelstrom an.
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Sie dienen nicht nur dazu, ein bereits früher ermitteltes, optimales
Sprühbild des Düsenstockes 1 reproduzierbar wieder aufzufinden. Vor allem haben
sie den Sinn, Veränderungen des Ätzmittelstroms zu den einzelnen Düsen Dl bis D20
im Verlaufe der Zeit zu überwachen. Derartige Veränderungen können sich beispielsweise
dadurch ergeben, daß die eine oder andere Düse Dl bis D20 durch Teilchen, die im
Ätzmittelstrom mitgeführt werden, ganz oder teilweise zugesetzt wird (verstopft).
Bereits eine einzige verstopfte Düse D1 bis D20
kann dazu führen,
daß das Ätzresultat unzulänglich wird und große Menge d:lrchlaufenden Ätzguts zum
Ausschuß wird. Aufgrund der Durchflußmengenmesser Ml bis M20 ist es nicht nur möglich,
schnell zu erkennen, wenn sich der Wert eines Ätzmittelstroms zu einer Düse D1 bis
D20 verändert hat, sondern auch, bei welcher Düse D1 bis D20 die Unregelmäßigkeit-aufgetreten
ist. Beides ist bei herkömmlichen Ätzmaschinen praktisch unmöglich.
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In diesem Zusammenhang wird deutlich, daß die Durchflußmengenmesser
M1 bis M20 selbstverständlich ihren Sinn als Überwachungsorgane auch dann behalten,
wenn keine individuellen Regelventile V1 bis V20 für die einzelnen Düsen Dl bis
D20 vorhanden sind.
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Beim Ausführungsbeispiel der Figuren 1 und 2 erfolgt die Ablesung
der Durchflußmengenmesser M1 bis M20, die batterieartig außerhalb der Ätzmaschine
angeordnet sind, visuell.
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Selbstverständlich ist es auch möglich, die Ablesung der Durchflußmengenisser
M1 bis M20 elektrisch durchzuführen.
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Die in Figur 3 dargestellte Schaltungsanordnung dient der elektronischen
Überwachung voreingestellter unterer Grenzwerte für die Durchflußmengen des Ätzmittels
zu den einzelnen Düsen D1 bis D20. Hierzu sind'den einzelnen Durchflußmengenmessern
Ml bis M20 elektrische Meßwertgeber Tl bis T20 zugeordnet. Deren Aufbau richtet
sich nach der Art des jeweils verwendeten Durchflußmengenmessers Ml bis M20. Beispielsweise
kann bei Auftriebskörper-Messern eine Spule verwendet werden, deren Induktivität
dann verändert wird, wenn ein am Auftriebs körper angebrachtes Weicheisenteil in
sie eintaucht. Bei mit Turbinen arbeitenden Durchflußmengenmessern Ml bis M20 dient
als Meßwertgeber ein elektrischer Drehzahlmesser, zum Beispie.
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ein Generator. Erfolgt die Durchflußmengenmessung über Sie Messung
des Staudrucks, kann ein piezoelektrischer'Wander
eingesetzt werden
usw.
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Die Meßwertgeber T1 bis T20 sind mit entsprechenden Einaänger eines
Multiplexers 5 verbunden, dessen (einziger) Ausgang zu einer Meßelektronik 6 führt.
Die Meßelektronik 6 enthält alle Komponenten, die zur Verstärkung und Auswertung
der von den Meßwertgebern T1 bis T20 abgegebenen Signale erforderlich sind. Art
und Verschaltung dieser Komponenten richten sich wieder nach der Art des verwendeten
Meßwertgebers und sind als solche bekannt.
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Das Ausgangssignal der Meßelektronik 6, welches ein Maß für die von
den Meßwertgebern T1 bis T20 erfaßte Durchflußmenge ist wird über einen normalerweise
offenen Schalter 14 an eine Vergleichswertschaltung 7 sowie an einen Eingang eines
Komparators 8 gelegt.
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Die Vergleichswertschaltung 7 enthält einen Speicher 7a mit einer
Vielzahl von Speicherplätzen, in denen die den Meßwertgebern T1 bis T20 entsprechenden
Signale abgespeichert werden können. Der Speicherinhalt ist über einen variablen
Abschwächer 7b, der das ihm jeweils zugeführte Signal auf einen einstellbaren Prozentsatz
verringert, auslesbar. Das Ausgangssignal des Abschwächers 7b wird dem zweiten Eingang
des Komparators 8 zugeführt.
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Der Ausgang des Komparators 8 ist mit-dem Eingang eines Impulsformers
9, der eine bestimmte Hilfsfunktion 10 auslöst, sowie mit dem Eingang eines Demultiplexers
11 verbunden. Der Demultiplexer 11 verfügt über eine Vielzahl von Ausgängen, welche
mit in einer Matrix angeordneten Lichtanzeigen L1 bis L20 verbunden sind. Die Lichtanzeigen
L1 bis L20 entsprechen in Zahl und Anordnung den Düsen D1 bis D20 im Düsenstock
1 und sind in einem Display 12 zusammengefaßt.
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Multiplexer 5, Demultiplexer 11 und Vergleichswertschalfter 7 werden
von einem gemeinsamen Taktgeber 13 angesteuert.
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Die Funktion der beschriebenen Schaltungsanordnung ist wie folgt:
Siqnale der Die,Meßwertgeber T1 bis T20 werden, gesteuertvom Taktgeber 13, über
den Multiplexer 5 sequentiell der Meßelektronik 6 zugeführt. Im Komparator 8 wird
entschieden, ob das Ausqangssignal der Meßelektronik 6 größer oder kleiner als der
von der Vergleichswertschaltung 7 vorgegebene untere zulässige Grenzwert ist (auf
die Bildung des Grenzwertsignals wird weiter unten noch eingegangen). Ist die durch
einen Durchf!.ußmengenmesser strömende Ätzmittelmenge soweit abgesunken, daß das
Ausgangssignal der Meßelektronik 6 bei der sequentiellen Abfragung des entsprechenden
Meßwertgebers (im Beispiel T1) unter den Grenzwert der Vergleichswertschaltung 7
abfällt, so erscheint am Ausgang des Komparators 8 ein Signal. Dieses wird über
den entsprechend getakteten Demultiplexer 11 derjenigen Sichtanzeige (im Beispiel
L1) zugeführt, welches die unregelmäßig arbeitende Düse (im Beispiel D1) repräsentiert.
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Auf dem Display 12 ist also sofort zu erkennen, welche Düse D1 bis
D20 im Düsenstock 1 in nicht ausreichendem Maße durchströmt wird. Es kann dann sofort
gezielt Abhilfe geschaf-en werden.
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Das Ausgangssignal des Komparators 8 stößt außerdem den Impulsformer
9 an, der einen zum Betrieb der Hilfsfunktiori 10 geeigneten Impuls erzeugt. Bei
der Hilfsfunktion kann es sich um einen besonders auffälligen akustischen oder opcischen
Alarm oder sogar um ein Relais zum Abschalten der gesamten Anlage handeln. über
die Hilfsfunktion 10 wird a so das Bedienungspersonal generell auf das Vorliegen
einer Störung im Bereich der Düsen aufmerksam gemacht; durch das Betrachten des
Displays 12 läßt sich dann der Ort des Fehlers leicht lokalisieren.
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Das Vergleichs signal wird beim dargestellten Ausführungsbeispiel
für jede Düse D1 bis D20 individuell festgelegt.
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Hierzu wird nach der anfänglichen, korrekten Einstellung der Düsen
D1 bis D20 kurzzeitig der Schalter 14 geschlossen, so daß die in diesem Zustand
von den Meßwertgebern T1 bis T 20 abgegebenen und von der Meßelektronik 6 verarbeiteten
Signale in die Speicherplätze des Speichers 7 eingegeben werden können. Sodann wird
der Schalter 14 wieder geöffnet.
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Der- Inhalt der Speicherplätze wird, durch den Abschwächer 7b um einen
einstellbaren Prozentsatz verringert, im Takt mit dem Multiplexer 5 und dem Demultiplexer
11 an den parator 8 gelegt, so daß der momentane Meßwert von jedem einzelnen Meßwertgeber
T1 bis T20 mit seinem eigenen, individuell eingestellten und am Sollwert ausgerichteten
Grenzwert verglichen wird.
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Die Speicherplätze des Speichers 7 können selbstverständlich auch
direkt von Hand belegt werden.
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Sofern nicht daran gedacht ist, die verschiedenen Düsen.D1 bis D20
mit nennenswert unterschiedlichen Durchflußmengen zu betreiben, genügt als Vergleichswert
für den Komparator 8 eine für alle Meßwertgeber T1 bis T20 gemeinsame Größe, die
bei analogem Aufbau der Schaltungsanordnung durch die an einem variablen Spannungsteiler
abgegriffene Spannung repräsentiert werden kann.
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Die beschriebene Schaltungsanordnung in Multiplex-Ausführunc empfiehlt
sich insbesondere dann, wenn aufgrund der Meßmethode, der Art der Meßwertgeber und
der Anforderungen an die Genauigkeit die Meßelektronik 6 sehr teuer ist und nur
einmal vorhanden sein sollte.
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Bei preiswerter Meßelektronik kann die Schaltungsanordnung
auch
aus einer- Vielzahl paralleler, identischer, unabhängig arbeitender Kanäle aufgebaut
werden, von denen jeder einen Meßwertgeber, eine Meßelektronik, einen Komparator
und eine Sichtanzeige enthält. Die Ausgänge der Komparatoren sind dann über ein
gemeinsames ODER-Glied mit dem Impulsformer 9 verbunden.
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Erfolgt die Überwachung und/oder die Ablesung der Durchflußmengenmesser
M1 bis M20 eiektronisch, brauchen diese nicht, wie in den Figuren 1 und 2, von außen
sichtbar angebracht zu werden. Es empfiehlt sich vielmehr, die Durchflußmengenmesser
Ml bis M20 möglichst nahe an den zugeordneten Düsen Dl bis D20 anzuordnen, vorzugsweise
noch innerhalb des Düsenstockes 1, um so die individuellen Zuleitungen zu- -den
einzelnen Düsen D7 bis D20 so kurz wie möglich halten zu können.
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Gleiches gilt für die Anordnung der Regelventile V1 bis V20, insbesondere
dann, wenn diese elektrisch betätigbar sind und daher nicht am Äußeren der Ätzmaschine
zugänglich sein müssen.
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Die beim Ausfünrungsbeispiel der Figuren 1 und 2 vorgesehenen Schlauchstücka
S1 bis S20 haben den Sinn, eine begrenzte reversierende und/oder oszillierende Bewegung
des Düsenstockes 1 zuzulassen, wie dies bei bestimmten Ätzmaschinen bekannt ist.
Steht jedoch der Düsenstock 1 still, können die Schlauchstücke S1 bis S20 durch
starre Rohrstücke ersetzt werden.
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Abschließend ist anzumerken, daß die qeschilderte Messing und/oder
Überwachung der Flüssigkeitsströme zu den einelnen Düsen selbstverständlich auch
bei Vorrichtungen mi mehreren Düsenstöcken anwendbar ist, wobei es auf die v.inbaulage
der Düsenstöcke (senkrecht oder waagerecht) nicht ankommt.