JPH05226810A - プリント基板のエッチング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明はプリント基板のエッチング装置に関
し、特にプリンド基板表面に不均一に滞留するエッチン
グ液がそのプリント板表面から円滑に移動され、基板各
部におけるエッチング量を均一に維持する装置を提供す
ること。 【構成】 プリント基板の搬送装置の上方に複数のヘッ
ダーパイプが配置され、夫々のヘッダーパイプに多数の
エッチング液スプレー用のノズルが設けられる。そし
て、各ヘッダーパイプ毎にエッチング液の噴射時期を順
次周期的に変化させたもの。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はプリント基板のエッチン
グ装置に関し、特にプリンド基板表面に不均一に滞留す
るエッチング液をそのプリント板表面から円滑に移動し
て排除できる装置に関する。

【０００２】

【従来技術】絶縁基板に銅箔を積層したプリント基板
に、回路パターンを形成する際、不要部分の銅箔が通常
エッチングにより取り除かれる。従来のエッチング方法
はエッチング装置本体内を通過する搬送装置にプリント
基板を載置し、搬送されるプリント基板の表面にエッチ
ング液を空気中でスプレーするのが一般的である。図12
はそのエッチング装置の平面図であり、ヘッダ26に多数
の分岐ヘッダ27が互いに平行に且つプリント基板の搬送
方向にほぼ沿って配置されており、各分岐ヘッダ27に多
数のエッチングノズル３が設けられている。この分岐ヘ
ッダ27は一般に同図では図示しないオシレーション装置
により軸の周りに揺動するように構成さている。即ち、
図13に示す如く分岐ヘッダ27の下面に突設された多数の
エッチングノズル３の向きが時間の経過と共に、周期的
に変化するように構成し、プリント基板２表面の各部に
おけるスプレー条件を可能な限り均一に維持するもので
ある。

【０００３】

【解決しようとする課題】しかしながら、このようなエ
ッチング装置において、夫々の分岐ヘッダ27のエッチン
グノズル３からスプレーされるエッチング液は、隣合う
分岐ヘッダ27の中間部において最も多く集まる。そし
て、エッチングノズル３が揺動するのに伴って、そのエ
ッチング液28の盛り上がり部が移動する。このときプリ
ント基板２の幅方向縁部のエッチング液28は比較的円滑
に排除され易いが、幅方向中央部のエッチング液28は全
体として滞留しがちである。すると、プリント基板２の
各部において、不均一なエッチングが生ずることにな
る。なお、図13において、プリント基板２は紙面に直交
する方向に搬送されている。

【０００４】

【課題を解決するための手段】そこで、本発明はプリン
ト基板各部において均一なエッチングが得られるエッチ
ング装置を提供することを目的とし、その目的達成のた
めに次の構成をとる。本発明のエッチング装置は、複数
のヘッダーパイプ１ａ〜１ｆがプリント基板２の搬送方
向に沿って互いに平行に且つ、基板搬送レベルの上方に
配置され、夫々のヘッダパイプ１に多数のエッチング液
スプレー用のエッチングノズル３が一定間隔で設けられ
たエッチング装置において、夫々のヘッダーパイプ１ａ
〜１ｆ毎にエッチング液の噴射時期を順次周期的に変化
させたことを特徴とする。

【０００５】本発明の装置はプリント基板の上面のみを
エッチングする場合及び、上下両面を同時にエッチング
する場合のいずれにも適用できる。片面のみにエッチン
グする場合は、搬送装置によって搬送されるプリント板
のエッチング面に合わせて搬送装置の上面からエッチン
グ液をスプレーする。又、両面に同時にエッチングする
場合は搬送装置の上方及び下方から同時にエッチング液
をスプレーすればよい。又、本エッチング装置は空気中
において、エッチング液をスプレーする場合のみならず
エッチング液中にプリント基板を搬送しつつ、さらに液
をノズルから噴射する場合にも適用される。この場合に
はプリント基板表面のエッチング液の流れを均一にし、
基板表面の各部におけるエッチング量が均一になる。

【０００６】

【作用】本エッチング装置によれば、夫々のヘッダーパ
イプ１ａ〜１ｆ毎にエッチング液の噴射時期を順次周期
的に変化させたため、実質的にエッチング液が噴射され
ないヘッダーパイプが順次生じる。それにより、プリン
ト基板上のエッチング液は噴射されないヘッダー側に円
滑に移動し、基板各部におけるエッチング条件を均一に
し、均一にエッチングされたプリント基板を得ることが
できるか。

【０００７】

【実施例】次に、図面に基づいて本発明の実施例につき
説明する。図１は本装置の説明図であり、図２は同装置
に用いられるロータリバルブ４の側面図である。又、図
３は同ロータリバルブ４の軸横断面図である。そして、
図４は本装置の平面図、図５は同正面図である。本装置
は図５に示す如くコンベアライン19上に多数のカップリ
ングロール７が並列され、上流側にエッチング装置本体
５が設けられ、下流側に洗浄機本体６が設けられてい
る。エッチング装置本体５はその下部にエッチング液タ
ンク16が設けられ、コンベアライン19を挟んで上下に夫
々ヘッダーパイプ１ａ〜１ｆが配置されている。これら
のヘッダーパイプは互いに平行で且つ搬送面に平行であ
ると共に、搬送方向に対してはわずかに傾斜している。
各ヘッターパイプには多数のエッチングノズル３が等間
隔に配置されている。又、上下の各ヘッダーパイプはそ
の軸線の周りに僅かに揺動するいわゆるオシレーション
が行われるている。

【０００８】図７はそのオシレーション装置の一例を示
す側面図であり、揺動レバー25がオシレーションモータ
の駆動により軸の周りに矢印の如く揺動する。それに伴
ってオシレーションアーム24が左右方向に移動する。す
ると、このオシレーションアーム24に枢着されたリンク
31がヘッダーパイプ１ａ〜１ｆの軸線の周りに左右に揺
動する。このリンク31とヘッダーパイプとは固定されて
いるため、各ヘッダーパイプはリンク31の揺動に伴って
首ふり動作を行う。そして、エッチングノズル３から噴
射されるエッチング液のスプレー範囲を図６の如く時間
的に変化させるものである。同図はプリント基板２の上
側に配置されたヘッダーパイプ１ａ〜１ｆのみを示し、
上段から下段に夫々時間の経過と共に、各ヘッダーのエ
ッチングノズル３の向き及びスプレーの向きを表示した
ものである。即ち、図６の最上段は最初の瞬間を示し、
ヘッダーパイプ１ｂ〜１ｆの夫々のエッチングノズル３
からエッチング液がプリント基板２にスプレーされてい
るが、そのエッチングノズル３の中心線は最も左寄りに
位置する。

【０００９】次に、第二段目の図は最初の瞬間から僅か
に時間を経た状態を示し、エッチングノズル３からスプ
レーされるエッチング液の中心が第一段目に比べて僅か
に右寄りに位置されている。同様に第三段目、第四段目
と時間の経過に従ってエッチングノズル３から噴射され
るエッチング液のスプレーの中心がより右へ移動し、最
下段において最も右よりへスプレー範囲が移動する。次
いでスプレー範囲は徐々に左寄りに移動し、最上段の位
置に戻る。そして、このような動作を周期的に繰り返す
のである。ここで、図６において各時間においてスプレ
ー29の存在しないヘッダーパイプがーある。即ち、最上
段においてはヘッダーパイプ１ａ、第二段においてはヘ
ッダーパイプ１ｂ、第三段はヘッダーパイプ１ｃ、最終
段ではヘッダーパイプ１ｆと順次エッチングの噴射しな
いヘッダーパイプがオシレーションに同期して移動す
る。この動作はプリント基板２上のエッチング液を円滑
に排除するためである。即ち、プリント基板２上には各
ヘッダーからスプレーされたエッチング液が不均一に溜
る。各ヘッダーのスプレーの重複する部分等にはエッチ
ング液の盛り上がる部分が形成される。そして、各ヘッ
ダーの首ふり動作（オシュレーション）に伴って、左右
にその盛り上がり部分が移動することになる。

【００１０】このとき、スプレー液はプリント基板２の
幅方向周縁部よりも中心部に集まり勝ちであり、それに
伴ってエッチングに不均一さが生じる。そこで、エッチ
ング液を噴射しないヘッダーパイプが順次変化すること
により、そこにエッチング液を順次円滑に移動させ、結
果としてプリント基板２の中心部のエッチング液を円滑
に排除するものである。そのために、本発明では一つの
実施例として、図１〜図３に示すロータリバルブ４が配
置さている。即ち、図３に示す如くロータリバルブ４内
には回転軸20に固定された弁21が設けられ、それがロー
タリバルブ本体の内面に摺接して回転する。その回転に
伴ってこの実施例では６つの吐出孔23が順次閉塞される
ものである。ロータリバルブ本体の中心には図１及び図
２に示す如く、ボンプを介しエッチング液タンク16に連
通する戻り管30が接続されると共に、本体の外周に放射
状のヘッダ連結管22が設けられ、その先端がヘッダーパ
イプ１ａ〜１ｆに接続されている。ロータリバルブ本体
の内部は図３の如く両端閉塞の筒状に形成され、戻り管
から流入したエッチング液がその中心部に穿設された複
数の入口孔35よりロータリバルブ本体の内部に流入す
る。そして、弁21に閉塞された吐出孔23を除き、他の吐
出孔23から夫々ヘッダーパイプにエッチング液を供給す
る。すると、弁21の回転に伴って閉塞されるヘッダーパ
イプが順次変化する。

【００１１】次に、プリント基板は図５のコンベアライ
ン19上を装置の最左端から供給される。このコンベアは
図７の上部位置に配置された多数のカップリングロール
７により構成される。図７は上下互いに平行に配置され
た軸に、一定間隔で幅の狭いゴムローラが固定され前記
のカップリングロールを形成する。各ゴムローラは、そ
の側面にエッチング液流通用の多数の孔が穿設されてい
る。一対のカップリングロール７は互いに同期するよう
に、一対の平行軸が一組の歯車34により連結されてい
る。又、一方の軸はベベルギア33を介してコンベア駆動
軸32に連結されている。このコンベア駆動軸32は装置の
長手方向に配置され、適宜間隔でベベルギア33が設けら
れ、各カップリングロール７を駆動するものである。こ
のようなコンベアライン19上をプリント基板２が図１の
左から右に移動する。そして、エッチング液はエッチン
グ液タンク16からポンプ及びロータリバルブ４を介し各
ヘッダーパイプ１ａ〜１ｆに供給され、プリント基板２
にスプレーされる。スプレーされたエッチング液はエッ
チング液タンクに流入し、再びスプレーされる。

【００１２】このエッチング液はヒータの加熱装置や冷
却装置によって所定温度に維持される。それと共に、新
しいエッチング液である過酸化水素等が供給され、所定
の濃度に維持される。プリント基板は、本装置を通過す
ると酸洗浄ノズル17、水洗浄ノズル18により洗浄され
る。そして、液切りロール９及び絞りロール14を経て外
部に取り出される。これらの制御は図５における制御盤
８を介して行われ、エッチング作業にはコンベアモータ
13、水洗ポンプ12、オシレーションモータ10及びロータ
リバルブ４の駆動モータその他が駆動される。次に、図
８〜図11は夫々本発明の他の実施例を示し、本装置の制
御盤を介して選択される一つのものである。図８は各ヘ
ッダーのオシレーション即ち、首振り動作を行わない場
合を示し、スプレーしないヘッダーパイプが並列順序に
従って順次変化するものである。この図８の例では最上
段から最下段に向かう時間の変化と共に、スプレー29の
存在しないヘッダーパイプは１ｆ〜１ａに順次移動す
る。次いで、ヘッダーパイプ１ａ 〜１ｆの順に移動
し、それらが繰り返される。

【００１３】次に、図９の実施例は各ヘッダーパイプを
オシレーションすると共に、スプレーするヘッダーパイ
プを常に一つのみとし、それをオシレーションに同期し
て各ヘッダーパイプの並列順序に沿って移動するもので
ある。即ち、最上段のヘッダーパイプ１ａから、時間の
経過と共に最下段のヘッダーパイプ１ｆまで順次スプレ
ー29の存在するヘッダーを変化したものである。このよ
うにするには図３におけるロータリバルブ４の弁21を大
きくし、一つのみの吐出孔23が開口するように変更すれ
ばよい。或いは、ロータリバルブ４を用いず、適宜な電
磁弁を用いて各ヘッダーの噴射時期を制御してもよい。
さらにはモータバルブを用いることもできる。次に、図
10はオシレーションによるエッチングノズル３の向く方
向とエッチング液が吐出するヘッダーパイプの移動方向
とが、図９の場合と逆のものを示したものである。即
ち、時間の経過と共に、エッチングノズル３と向きは上
段から下段に、左向きから右向きに変化するのに伴って
エッチング液が吐出するヘッダーは右から左に変化する
ものである。

【００１４】次に、図11はオシーションによるエッチン
グノズル３の向きが前記図10の実施例と同様に左向きか
ら右向きに移動するが、一つのみのスプレーしないヘッ
ダーパイプが右から左側に移動する例である。即ち、各
ヘッダーパイプのエッチングノズル３は左から右へ時間
の経過と共に移動するのに対し、スプレーしない一つの
みのヘッダーパイプは右から左に順次変化するものであ
る。これらの各実施例はプリント基板の大きさその他に
応じて適宜なものが選択される。

【００１５】

【発明の効果】本発明のエッチング装置は、夫々のヘッ
ダーパイプ１ａ〜１ｆのスプレーされるエッチング液の
噴射時期を順次周期的に変化させるように構成したか
ら、プリント基板２表面上に不均一に滞留するエッチン
グ液をそのプリント基板２上から円滑に排除することが
できる。即ち、実質的にエッチング液が噴射しない位置
のプリント基板２表面部分にエッチング液を順次移動さ
せることにより、基板表面からエッチング液を確実に移
動することができる。それにより、基板表面の各部で不
均一にエッチングされることを防止し、信頼性の高いエ
ッチング装置を得る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本装置の説明図。

【図２】同装置に用いられるロータリバルブ４の側面
図。

【図３】同ロータリバルブ４の軸断面図。

【図４】本装置の平面図。

【図５】同正面図。

【図６】本装置によるスプレーの状態を上段から下段に
時間の経過と共に示したもの。

【図７】本装置に用いられるオシレーション装置の原理
図。

【図８】時間の経過と共に、プリント基板２にスプレー
されるエッチング液の状態を示す他の実施例。

【図９】時間の経過と共に、プリント基板２にスプレー
される他の実施例。

【図10】時間の経過と共に、プリント基板２にスプレー
される他の実施例。

【図11】時間の経過と共に、プリント基板２にスプレー
される他の実施例。

【図12】従来のエッチング装置の平面図。

【図13】従来のエッチング装置における時間の経過と共
に、プリント基板２にスプレーされる状態を示す説明
図。

【符号の説明】

１ａ〜１ｆ ヘッダーパイプ ２ プリント基板 ３ エッチングノズル ４ ロータリーバルブ ５ エッチング装置本体 ６ 洗浄機本体 ７ カップリングロール ８ 制御盤 ９ 液切りロール 10 オシレーションモータ 11 ダクト 12 水洗ポンプ 13 コンベアモータ 14 絞りロール 15 エッチングポンプ 16 エッチング液タンク 17 酸洗浄ノズル 18 水洗浄ノズル 19 コンベアライン 20 回転軸 21 弁 22 ヘッダ連結管 23 吐出口 24 オシレーションアーム 25 揺動レバー 26 ヘッダ 27 分岐ヘッダ 28 エッチング液 29 スプレー 30 戻り管 31 リンク 32 コンベア駆動軸 33 ベベルギア 34 歯車 35 入口孔

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数のヘッダパイプ（１ａ）〜（１ｆ）
   がプント基板（２）の搬送方向に沿って互いに平行に且
   つ、前記基板の搬送レベルの上方に配置され、夫々の前
   記ヘッダパイプ（１）に多数のエッチング液スプレイ用
   のエッチングノズル（３）が一定間隔で設けられたプリ
   ント基板のエッチング装置において、各ヘッダパイプ
   （１ａ）〜（１ｆ）毎に前記エッチング液の噴射時期を
   順次周期的に変化させたことを特徴とするプリント基板
   のエッチング装置。