KR100930826B1 - 매엽식 세정장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (7)
- 기판을 고정시키는 스핀척;상기 스핀척을 회전시키는 회전축;상기 스핀척에 구비되어 상기 기판 배면으로 세정액을 분사하는 노즐부; 및상기 회전축 내에 구비되고, 내측에 길이 방향을 따라 상기 노즐부로 세정액을 공급하는 복수의 세정액 공급홀이 형성되고 외측에 퍼지가스의 유동을 위한 퍼지홈이 형성된 칼럼 형태의 제1 세정액 공급 칼럼과 상기 제1 세정액 공급칼럼 외측에 구비된 중공관 형태의 제2 세정액 공급 칼럼으로 구성된 세정액 공급라인;을 포함하는 매엽식 세정장치.
- 제1항에 있어서,상기 노즐부는 상기 스핀척 중앙부에 구비되고, 상기 세정액 공급 칼럼은 상기 스핀척을 관통하여 상기 노즐부와 연통된 것을 특징으로 하는 매엽식 세정장치.
- 제1항에 있어서,상기 제2 세정액 공급 칼럼은 상기 퍼지홈을 밀폐시키도록 상기 제1 세정액 공급 칼럼의 외측에 밀착 구비되거나 상기 제1 세정액 공급 칼럼의 외측과 소정 간격으로 이격되어 구비되는 것을 특징으로 하는 매엽식 세정장치.
- 제1항에 있어서,상기 제2 세정액 공급 칼럼은 중공부를 갖는 중공축이고,상기 제1 세정액 공급 칼럼은 상기 제2 세정액 공급 칼럼의 중공부에 대응하는 단면을 갖는 것을 특징으로 하는 매엽식 세정장치.
- 삭제
- 제4항에 있어서,상기 제2 세정액 공급 칼럼은 원형 또는 다각형 단면의 중공부를 갖는 중공축이고,상기 제1 세정액 공급 칼럼은 원형 또는 다각형 단면을 갖는 것을 특징으로 하는 매엽식 세정장치.
- 제1항에 있어서,상기 제1 세정액 공급 칼럼 또는 상기 제2 세정액 공급 칼럼은 합성수지 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 매엽식 세정장치.
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