KR100927796B1 - 인-라인 스퍼터링 장치용 코팅물 설치틀 - Google Patents

Abstract

본 발명은 인-라인 스퍼터링 장치용 코팅물 설치틀에 관한 것으로서, 특히

인-라인 스퍼터링장치(101)로 코팅물(A)을 설치/이송토록 하는 사각형상의 코팅물 설치틀에 있어서, 상기 설치틀(1) 중심 세로 방향으로 내부에 회전축(21)이 축설된 회전축설치프레임(2)을 구성함과 동시에 그 회전축설치프레임(2)에 코팅물설치프레임(3)을 등 간격으로 다수개 마련하여, 상기 회전축설치프레임(2)의 회전축(21) 상에는 일정한 간격을 두고 회동롤러(22)를 설치하고, 상기 코팅물 설치프레임(3)에는 하부로 회전롤러(32)를 가지는 다수개의 지그설치대(31)를 회전베어링(31')으로 축설하여, 상기 회전축(21)의 회동롤러(22)와 다수개의 지그설치대(31)의 회전롤러(32)를 각각 회전벨트(4)로 연결구성시켜 회전축(21)에 의해 다수개의 지그설치대(31)가 동시에 회전되도록 하되, 상기 회전축(21)의 회동롤러(22)는 회전축설치프레임(2) 일측에 마련된 피동롤러(23)와 회전벨트(4)로 연결시킴과 동시에 피동롤러(23) 상부의 피동기어(24)를 일측 회전롤러(32)의 회전기어(32')를 치합시켜 회전축(21)의 회전력이 다수개 회전롤러(32)에 전달되도록 하고, 상기 회전축(21) 하단부로는 회전모타(5)를 설치하여 회전축(21)을 회전토록 함을 특징으로 한다.

인-라인 스퍼터링장치, 코팅, 구동장치, 회전모타

Description

인-라인 스퍼터링 장치용 코팅물 설치틀{Setting frame of coatings for in-line sputtering system}

본 발명은 인-라인 스퍼터링 장치용 코팅물 설치틀에 관한 것으로서, 이를 보다 구체적으로 설명하자면 코팅물을 설치하여 이송을 도모하는 코팅물 설치틀로 코팅물을 회전시킬 수 있는 구동장치를 마련하여 어떠한 형상과 모양의 코팅물도 코팅작업이 수행가능케 한 것이다.

일반적으로 인-라인 스퍼터링 장치(In-Line Sputtering System)는 플라즈마코팅방법을 이용하여 백미러, 건축용 유리 등 Al, Cr, Ti 등을 연속적으로 스퍼터링 할 수 있는 장치로 대규모 생산은 물론 연구개발용으로 사용되고 있고, 또 고르지 못한 생산공정에 최적 기능을 부여하는 코팅 기기이다.

따라서, 상기 인-라인 스퍼터링 장치는 규격화된 모듈로 복잡한 공정을 순차적으로 수행하여 코팅물에 각종 코팅 작업을 실시토록 하는 것인데,

이때, 상기 다수 코팅 공정을 가지는 인-라인 스퍼터링 장치는 그 작업시 코 팅물을 설치틀에 다량 설치한 다음 상기 설치틀을 첨부된 도면 도 7에서와 같이 벨트 또는 체인 전동장치 등으로 구성된 이송장치(102)로 다수 공정에 순차적으로 이송시켜 각 공정마다 진동상태에서 코팅작업을 실시토록 하고 있다.

그러나 이상 설명한 인-라인 스퍼터링 장치(101)는 작업하고자 하는 코팅물(A)의 형상과 모양이 한정되어져 있어 보다 다양한 제품의 코팅이 불가능하였던 문제를 가지고 있었다.

이를 보다 구체적으로 설명하자면 인-라인 스퍼터링 장치로 코팅물의 이송을 도모하는 설치틀은 종래에 도 8에서와 같이 사각형상의 설치틀(1) 내주로 다수개의 코팅물설치프레임(3)이 구성되고, 그와 동시에 상기 코팅물설치프레임(3) 상에 다수개의 고정집게가 설치되어져 있는 구성으로, 다수개의 코팅물을 고정집게로 코팅물설치프레임에 고정하는 단순방법으로 사용하고 있다.

그러므로 상기와 같은 코팅물 설치틀을 사용할 경우 백미러, 건축용 유리 등과 같은 판 형상의 제품만을 설치/작업할 수 있을 뿐 아니라 설치틀 양측부로 대칭되게 고정 설치/작업 케 하므로 작업의 효율성이 떨어짐은 물론 판 형상 외의 다른 형상과 모양의 제품 작업이 불가능하여 작업의 한계가 있어, 인-라인 스퍼터링장치의 활용성을 매우 떨어뜨리게 되는 폐단을 가지고 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제를 일소하기 위하여 발명된 것으로서, 특히 인-라인 스퍼터링 장치에 사용되는 코팅물 설치틀로 코팅물을 회전시킬 수 있는 구동장치를 마련하여 어떠한 형상과 모양의 코팅물이라 할지라도, 인-라인 스퍼터링 장치를 이용한 코팅작업이 완벽하게 이루어질 수 있도록 함과 동시에 코팅물의 다양성을 꾀하도록 한 것이다.

본 발명은 인-라인 스퍼터링장치(101)로 코팅물(A)을 설치/이송토록 하는 사각형상의 코팅물 설치틀에 있어서,

상기 설치틀(1) 중심 세로 방향으로 내부에 회전축(21)이 축설된 회전축설치프레임(2)을 구성함과 동시에 그 회전축설치프레임(2) 양측 내지는 일측부에 코팅물설치프레임(3)을 등 간격으로 다수개 마련하여,

상기 회전축설치프레임(2)의 회전축(21) 상에는 일정한 간격을 두고 회동롤러(22)를 설치하고,

상기 코팅물 설치프레임(3)에는 하부로 회전롤러(32)를 가지는 다수개의 지그설치대(31)를 회전베어링(31')으로 축설하여, 상기 회전축(21)의 회동롤러(22)와 다수개의 지그설치대(31)의 회전롤러(32)를 각각 회전벨트(4)로 연결구성시켜 회전축(21)에 의해 다수개의 지그설치대(31)가 동시에 회전되도록 하되,

상기 회전축(21)의 회동롤러(22)는 회전축설치프레임(2) 일측에 마련된 피동롤러(23)와 회전벨트(4)로 연결시킴과 동시에 피동롤러(23) 상부의 피동기어(24)를 일측 회전롤러(32)의 회전기어(32')를 치합시켜 회전축(21)의 회전력이 다수개 회전롤러(32)에 전달되도록 하고,

상기 회전축(21) 하단부로는 회전모타(5)를 설치하여 회전축(21)을 회전토록 한 구조이다.

또한 상기 회전축(21)은 그 하단부로 웜기어(6) 또는 롤러(6')를 설치하여서 된 구조이다.

이상의 설명과 같이 구성된 본 발명은 인-라인 스퍼터링 장치용 설치틀로 구동장치를 마련하여 코팅물의 이송/작업시 코팅물이 구동장치에 의해 계속적으로 회전되는 상태에서 작업이 이루어지도록 하므로,

종래에 판 형상의 제품만을 작업할 수 있었던 것과는 달리 어떠한 형상과 모양의 코팅물(예로 휴대폰 케이스, 펜, 각종 단말기 등의 제품)을 투입할 지라도, 그 코팅작업이 효과적으로 이루어져 다양한 제품의 코팅작업을 신속/편리하게 할 수 있고, 나아가 인-라인 스퍼터링 장치의 활용을 보다 극대화시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있게 된다.

본 발명을 첨부된 도면과 함께 보다 구체적으로 설명하자면 아래와 같다.

우선 본 발명은 첨부된 도면 도 1에서와 같이 인-라인 스퍼터링 장치(101)로 코팅물(A)을 설치/이송토록 하는 사각형상의 코팅물설치틀(1)에 있어서,

상기 설치틀(1) 중심 세로 방향으로 내부에 회전축(21)이 축설된 회전축설치프레임(2)을 구성함과 동시에 그 회전축설치프레임(2) 양측 내지는 일측부에 대칭되게 코팅물설치프레임(3)을 등 간격으로 다수개 수평방향으로 마련한다.

그리고, 상기 회전축설치프레임(2)의 회전축(21) 상에는 일정한 간격을 두고 다수개의 회동롤러(22)를 설치하고, 상기 다수개의 코팅물설치프레임(3)에는 하부로 회전롤러(32)를 가지는 다수개의 지그설치대(31)를 도 3과 같이 회전베어링(31')으로 각각 축설하여,

상기 회전축(21)의 회동롤러(22)와 다수개의 지그설치대(31)의 회전롤러(32)를 각각 회전벨트(4)로 연결구성시켜, 회전축(21)에 의해 다수개의 지그설치대(31)가 동시에 회전되도록 하여준다.

이때, 상기 회전축(21)에 마련된 다수개의 회동롤러(22)는 회전축 설치프레임(2) 양측 내지는 일측에 마련된 설치부재(23')로 축설되어져 있는 피동롤러(23)와 회전벨트(4)로 연결시킴과 동시에 피동롤러(23) 상부의 피동기어(24)를 일측 지그설치대(31)의 회전롤러(32)에 마련된 회전기어(32')와 치합시켜 회전축(21)의 회 전력이 회동롤러(22)와 피동롤러(23) 그리고 피동기어(24)와 회전기어(32')를 통해 지그설치대(31)의 회전롤러(32)에 동시 전달되도록 하였다.

또한 상기 회전축(21)은 그 하단부로는 회전모타(5)와 베벨기어(51)를 설치하여 상기 회전모타(5)에 의해 회전축(21)이 구동되도록 하였다.

따라서, 본 발명은 인-라인 스퍼터링 장치(101)로 제품을 이송코자 그 설치틀(1)로 코팅물(A)을 설치할 경우, 도 3에서와 같이 다수개의 코팅물설치프레임(3)에 구성된 지그설치대(31)로 코팅물 고정을 위한 특정 지그를 설치한 다음 그 지그로 다양한 형상과 모양을 가지는 코팅물(A)을 고정/설치한다.

이때, 상기 코팅물(A)의 종류는 인-라인 스퍼터링 장치(101)의 내부작업공간에 허용되는 크기면 어떠한 제품도 가능하다.

또한 본 발명에서 제시하는 설치틀(1)로 코팅물(A)이 설치완료 되면, 상기 설치틀(1)은 이송장치(102)에 의해 인-라인 스퍼터링장치(101)의 다수 공정에 순차적으로 투입되어 코팅물(A)의 코팅작업을 도모하게 되는데,

이때 상기 코팅물(A)은 인-라인 스퍼터링 장치(101)의 각 공정 내에서 코팅작업 될 때에, 설치틀(1)의 구동장치 즉, 회전축(21)과 지그설치대(31)가 회전벨트(4)로 연결되어 회전모타(5)의 작동에 의해 지그설치대(31)의 코팅물(A)을 계속적으로 회전시키게 된다.

여기서 상기 코팅작업시 코팅물(A)을 계속적으로 회전시키는 이유는 다양한 형상과 모양을 가지는 코팅물(A)이 보다 신속/정교하게 작업 될 수 있도록 계속적으로 회전시켜 코팅물 전체에 안정적이면서 뛰어난 코팅이 이루어지도록 하기 위한 것이다.

만약 상기 코팅물을 회전시키지 않을 경우, 종래와 같이 판형상의 제품만을 코팅할 수 있고 또, 다양한 형상과 모양을 가지는 코팅물의 투입시 코팅물의 굴곡진 부분 또는 각진 부분 그리고 골진 부분은 코팅이 정교하게 이루어지지 못하는 문제를 야기시키게 된다.

그리고 본 발명에서는 상기 회전축(21) 하단부로 웜기어(6)를 도 4, 5에서와 같이 설치틀(1) 외주로 돌출구성하여, 설치틀(1)이 이송장치(102)에 의해 인-라인 스퍼터링장치(101)의 각 공정으로 이송될 때에 이송장치(102)에 마련된 렉기어(61)와 치합되어 회전구동되도록 하거나 또는 회전축(21) 하단부로 롤러(6')를 설치하여 각 공정의 이송시마다 작업자가 수동으로 상기 롤러(6')를 회전시켜 회전축(21)이 회전되도록 하여준다.

도 1은 본 발명의 예시도,

도 2는 본 발명의 구동방법을 나타낸 부분 확대예시도,

도 3은 "가" 부 확대 예시도,

도 4는 본 발명의 또 다른 구동방법을 나타낸 부분 확대도,

도 5는 가 - 가' 선단면도,

도 6은 본 발명의 또 다른 구동방법을 나타낸 예시도,

도 7은 인-라인 스퍼터링 장치를 통한 설치틀의 이송상태도,

도 8은 종래에 사용된 인-라인 스퍼티링장치용 설치틀 예시도.

*도면의 주요부분에 대한 부호설명

A : 코팅물 1 : 설치틀

101 : 인-라인스퍼터링장치 102 : 이송장치

2 : 회전축설치프레임 21 : 회전축

22 : 회동롤러 23 : 피동롤러

23' : 설치부재 24 : 피동기어

3 : 코팅물설치프레임 31 : 지그설치대

31' : 회전베어링 32 : 회전롤러

4 : 회전벨트 5 : 회전모타

51 : 베벨기어 6 : 웜기어

6' : 롤러 61 : 렉기어

Claims (3)

1. 인-라인 스퍼터링장치(101)로 코팅물(A)을 설치/이송토록 하는 사각형상의 코팅물 설치틀에 있어서,

   상기 설치틀(1) 중심 세로 방향으로 내부에 회전축(21)이 축설된 회전축설치프레임(2)을 구성함과 동시에 그 회전축설치프레임(2)에 코팅물설치프레임(3)을 등 간격으로 다수개 마련하여,

   상기 회전축설치프레임(2)의 회전축(21) 상에는 일정한 간격을 두고 회동롤러(22)를 설치하고,

   상기 코팅물 설치프레임(3)에는 하부로 회전롤러(32)를 가지는 다수개의 지그설치대(31)를 회전베어링(31')으로 축설하여, 상기 회전축(21)의 회동롤러(22)와 다수개의 지그설치대(31)의 회전롤러(32)를 각각 회전벨트(4)로 연결구성시켜 회전축(21)에 의해 다수개의 지그설치대(31)가 동시에 회전되도록 하되,

   상기 회전축(21)의 회동롤러(22)는 회전축설치프레임(2) 일측에 마련된 피동롤러(23)와 회전벨트(4)로 연결시킴과 동시에 피동롤러(23) 상부의 피동기어(24)를 일측 회전롤러(32)의 회전기어(32')를 치합시켜 회전축(21)의 회전력이 다수개 회전롤러(32)에 전달되도록 하고

   상기 회전축(21) 하단부로는 회전모타(5)를 설치하여 회전축(21)을 회전토록 함을 특징으로 하는 인-라인 스퍼터링 장치용 코팅물 설치틀.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 회전축(21) 하단부로 웜기어(6)를 일체 구성하여서 됨을 특징으로 하는 인-라인 스퍼터링 장치용 코팅물 설치틀.
3. 제 1항에 있어서,

   회전축(21) 하단부로 롤러(6')를 일체 구성하여서 됨을 특징으로 하는 인-라인 스퍼터링 장치용 코팅물 설치틀.

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