KR100908686B1 - 노광 장치의 조명 광학계 - Google Patents

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김재순
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오에프티 주식회사
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Abstract

본 발명은 반도체 기판 및 평판 디스플레이 기판 등의 제조에 사용되는 노광 장치에 구비되는 조명 광학계에 관한 것이다.
본 발명은, 제1 초점에 위치된 아크 램프에서 출사된 광이 타원형 미러에서 반사되어 후방의 제2 초점에 광원 상을 형성하는 노광 장치의 조명 광학계에 있어서, 상기 아크 램프 내의 음극과 양극 사이의 중앙부가 상기 제1 초점에 위치 정렬되고, 상기 제2 초점에서 상기 아크 램프 쪽으로 이격되는 위치에 광을 평행화 및 굴절시키는 콜리메이션 렌즈가 구비되는 것을 특징으로 한다.
따라서, 광원의 위치 정렬에 따라 후방 렌즈들의 위치 정렬을 정확하게 실시할 수 있으므로, 노광 성능을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
조명, 광학계, 노광, 광원, 렌즈, 초점

Description

노광 장치의 조명 광학계{ILLUMINATION OPTICAL SYSTEM FOR EXPOSURE APPARATUS}
본 발명은 반도체 기판 및 평판 디스플레이 기판 등의 제조에 사용되는 노광 장치에 구비되는 조명 광학계에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 광원의 위치 정렬에 따라 후방 렌즈들의 위치 정렬을 정확하게 실시할 수 있는 노광 장치의 조명 광학계에 관한 것이다.
일반적으로, 컴퓨터 및 각종 전자 제품에 적용되는 반도체 소자나, 화상 표시 소자인 액정 표시 소자(LCD : Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 소자(PDP : Plasma Display Panel), 전자 부품이 실장되는 회로기판(PCB) 등의 제조 과정 중에서 미세 패턴을 정밀하게 형성하기 위해 포토 리소그래피(photo-lithography) 방법을 널리 이용한다.
포토 리소그래피 방법은, 피처리 기판 상에 감광 물질(photo-resist)을 균일하게 도포하여 감광 물질 막을 형성하는 단계와, 형성된 감광 물질 막을 선택적으로 노광용 광에 노출시켜 노출된 부분의 감광 물질의 성질을 변화시키는 단계와, 현상액 등을 이용하여 성질이 변화된 부분을 선택적으로 제거시켜 목적하는 감광 물질 막 패턴을 형성하는 단계로 이루어지며, 이후 형성된 감광 물질 막 패턴을 이용하여 식각(etching) 공정 등을 통해 피처리 기판 상에 대응되는 패턴을 형성시킬 수 있도록 한다.
포토 리소그래피 공정에 속하는 노광(exposure) 공정은, 목적하는 패턴이 디자인된 레티클(reticle) 또는 마스크(mask)를 광원과 피처리 기판 사이에 위치시키고, 광원으로부터 피처리 기판을 향해 광을 조사시키는 것에 의해 광이 레티클 또는 마스크 상의 패턴에 따라 피처리 기판을 선택적으로 노출시키도록 한다.
노광 공정은 노광 장치를 이용하여 수행되며, 노광 장치에는 노광용 광을 조사할 수 있도록 조명 광학계가 구비된다.
이러한 조명 광학계에 대해서는 대한민국 등록특허번호 10-0378431호 등에 개시되어 있다.
해당 등록특허번호 10-0378431호에 개시된 종래의 조명 광학계를 도 1에 나타낸다.
조명 광학계(100)는, 광을 출사하는 광원인 아크 램프(arc lamp)(102)와, 아크 램프(102)의 배면 측을 피복하도록 구비되며 아크 램프(102)로부터 출사되는 광을 반사시켜 집속시키는 타원형 미러(ellipse mirror)(104)와, 타원형 미러(104)에서 반사된 광이 집속되어 광원 상을 형성하는 위치인 제2 초점(f2)의 후방에 구비되어 광을 평행화시키는 콜리메이션 렌즈(collimation lens)(106)와, 콜리메이션 렌즈(106)의 후방에 구비되어 평행화된 광을 통과시켜 복수의 광원 상을 형성하는 FEL(Fly Eye Lens)(108)과, FEL(108)의 후방에 구비되어 광을 집속시키는 컨덴싱 렌즈(condensing lens)(110) 등을 포함한다.
상기한 아크 램프(102)는 타원형 미러(104) 내측의 제1 초점(f1)에 위치되며, 즉 별도의 고정수단(미도시)을 통해 고정되도록 타원형 미러(104)의 내주면에 의해 형성되는 공간 내에 구비된다.
해당 아크 램프(102)는 내부에 음극(cathode)과 양극(anode)으로 되는 한 쌍의 전극을 구비하며, 해당 전극들에 전원이 인가되어 아크 방전이 일어나는 것에 의해 주변으로 광을 출사시킨다.
타원형 미러(104)는 그 내주 측에 타원형의 반사면을 갖는 것으로, 반사면을 통해 광을 반사시켜 집속되도록 한다.
콜리메이션 렌즈(106)는 제2 초점(f2)의 후방에 구비되어 제2 초점(f2)에서 집속된 후 발산되는 광을 입사받아 평행화시킨다.
FEL(108)은 수직 및 수평방향으로 배열되는 복수개의 렌즈 요소로 이루어지며, 콜리메이션 렌즈(108)에 의해 평행화된 광을 그 입사 평면(108a)을 통해 입사받아 그 출구 평면(108b)에 복수개의 광원 상이 형성되도록 한다.
컨덴싱 렌즈(110)는 FEL(108)의 후방에 구비되어 광을 집속시킨다.
덧붙여, 컨덴싱 렌즈(110)의 후방에는 기타 다양한 렌즈들 및 다양한 컴포런트(component)들이 구비되며, 또한 레티클(R) 또는 마스크가 위치된다.
그러나, 이상과 같은 종래의 조명 광학계(100)는 다음과 같은 문제점이 있다.
즉, 도 2에 나타낸 바와 같이, 제1 초점(f1)에 위치된 아크 램프(102)가 하 나의 점(point) 광원이어서 제1 초점(f1)에서 출사된 모든 광이 제2 초점(f2)에 정확히 집속되는 개념을 이용하고 있다.
그러나, 도 3의 광 공간 분포(spatial distribution)도를 통해 알 수 있는 바와 같이, 광원인 아크 램프(102)는 서로 이격되는 음극과 양극을 갖고 해당 전극들 사이의 소정 부피를 갖는 공간을 통해 광을 출사시키므로, 실제로는 점 광원이라 할 수 없다.
참고로, 도 3의 광 공간 분포도 내에 표기된 숫자들은 광의 상대적인 강도(power)를 나타낸다.
따라서, 실제로는 광원이 점 광원이 아니므로 이 점을 고려하여 조명 광학계(100)를 설계 및 구성해야만 한다.
관련하여, 광원인 아크 램프(102)의 위치를 도 4a에 나타낸 바와 같이 z축 방향으로 조금 이동시키면, 제2 초점(f2)에서 광은 발산되며, 한편 도 4b에 나타낸 바와 같이 광원인 아크 램프(102)의 위치를 x축 방향으로 조금 이동시키면, 역시 제2 초점(f2)에서 광은 발산된다.
따라서, 광원이 위치되는 정렬 위치도 고려하여 조명 광학계(100)를 설계 및 구성해야만 하며, 즉 제1 초점(f1)에 대한 광원의 위치 정렬에 따라 제2 초점(f2)에 대한 콜리메이션 렌즈(106) 및 FEL(108)의 위치 정렬을 설계 및 구성해야 한다.
한편, 종래 기술에 따르면, 콜리메이션 렌즈(106)가 제2 초점(f2)의 후방에 구비됨에 따라 아크 램프(102)와 콜리메이션 렌즈(106) 간의 이격 거리가 매우 길어지고, 이 점과 더불어 발산되는 형태의 크기가 큰 광을 모두 입사받을 수 있도록 콜리메이션 렌즈(106) 및 FEL(108)의 크기도 커지게 되므로, 그 결과로서 제조되는 노광 장치의 크기가 증대되고, 제조 비용이 상승되는 문제점이 있다.
관련하여, 콜리메이션 렌즈(106) 및 FEL(108)의 크기가 조금만 커져도 그 후방에 구비되는 모든 렌즈들 및 컴포런트들의 크기도 모두 커져야 함에 따라 제조되는 노광 장치의 크기는 대폭 증대될 수 있다.
본 발명은 상기와 같은 제반 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로서, 제1 초점에 대한 광원의 위치 정렬에 따라 제2 초점에 대한 콜리메이션 렌즈의 위치 정렬을 정확하게 실시할 수 있음으로써 노광 성능을 향상시킬 수 있는 노광 장치의 조명 광학계를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 매우 컴팩트하게 구성될 수 있어 제조되는 노광 장치의 크기를 줄이고 제조 비용을 절감시킬 수 있는 노광 장치의 조명 광학계를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 상기 목적과 여러 가지 장점은 이 기술분야에 숙련된 사람들에 의해 본 발명의 바람직한 실시예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명은,
서로 이격되어 대향하는 아크 램프를 구성하는 음극과 양극 사이의 중앙부가 중심축 상의 제1 초점에 위치 정렬되고, 상기 아크 램프에서 출사된 광이 제1 초점 후방 측의 타원형 미러에서 반사되어 중심축 상에 위치하는 제1 초점 전방 측의 제2 초점에 광원 상을 형성하며, 상기 제2 초점에서 상기 아크 램프 쪽으로 이격되는 위치에 배치되어 광을 평행화 및 굴절시키는 콜리메이션 렌즈, 및 상기 콜리메이션 렌즈와 상기 제2 초점 사이의 위치 또는 상기 제2 초점의 전방 측의 위치에 배치되어 상기 콜리메이션 렌즈를 통과한 광을 입사받아 다중 광원 상을 형성하도록 하는 FEL(Fly Eye Lens)를 구비하는 노광 장치의 조명 광학계에 있어서,
상기 아크 램프를 구성하는 상기 음극과 상기 양극 중 어느 하나가 상기 제1 초점에 위치하도록, 중심축 상에서 상기 아크 램프의 정렬 상태가 변경되는 경우,
각각, 상기 콜리메이션 렌즈는 상기 제2 초점으로부터 이격되는 전방 측에 위치하도록, 상기 FEL는 상기 콜리메이션 렌즈로부터 이격되는 전방 측에 위치하도록 정렬 상태가 변경되는 것을 특징으로 하는 노광 장치의 조명 광학계를 제공한다.
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그리고, 상기 음극의 첨단부와 상기 양극의 첨단부 중 어느 하나가 상기 제1 초점에 위치하도록 정렬되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 아크 램프가 중심축을 따라 선형 이동됨에 따른 상기 아크 램프의 상기 제1 초점에 대한 상대적인 위치 변경에 연동하여, 상기 콜리메이션 렌즈의 상기 제2 초점에 대한 상대적인 위치 변경이 이루어지도록 상기 콜리메이션 렌즈가 중심축을 따라 선형 이동되는 것을 특징으로 한다.
나아가, 상기 콜리메이션 렌즈의 선형 이동 시 상기 콜리메이션 렌즈와 상기 FEL은 서로 간의 간격을 유지한 채로 함께 선형 이동되는 것을 특징으로 한다.
한편, 본 발명은,
서로 이격되어 대향하는 음극과 양극을 구비하는 중심축 상의 제1 초점에 위치되는 아크 램프에서 출사된 광이 제1 초점 후방 측의 타원형 미러에서 반사되어 중심축 상에 위치하는 제1 초점 전방 측의 제2 초점에 광원 상을 형성하며, 상기 제2 초점 전방 측에 배치되어 광을 평행화시키는 콜리메이션 렌즈를 구비하는 노광 장치의 조명 광학계에 있어서,
상기 아크 램프를 구성하는 상기 음극과 상기 양극 중 어느 하나가 상기 제1 초점에 위치하도록 정렬되는 것을 특징으로 하는 노광 장치의 조명 광학계를 제공한다.
여기서, 상기 음극의 첨단부와 상기 양극의 첨단부 중 어느 하나가 상기 제1 초점에 위치하도록 정렬되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 타원형 미러에서 반사되는 모든 광이 집속과정에서 중심축을 가로지른 후 발산되는 위치에 상기 콜리메이션 렌즈가 배치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 광원의 위치 정렬에 따라 전방 렌즈들의 위치 정렬을 정확하게 실시할 수 있으므로, 노광 성능을 향상시킬 수 있는 효과가 달성될 수 있다.
또한, 광원의 센터 정렬에 따라 제2 초점에 대한 전방에 콜리메이션 렌즈를 구비시킬 수 있음과 아울러, FEL로 입사되는 광의 크기를 줄일 수 있으므로, 제조되는 노광 장치의 크기를 줄이고, 제조 비용도 절감시킬 수 있는 효과가 달성될 수 있다.
그리고, 광원의 에지 정렬에 따라 FEL로 입사되는 광의 입사각을 줄여 광 효율을 향상시킬 수 있으므로, 노광 성능을 향상시킬 수 있는 효과가 달성될 수 있다.
나아가, 광원의 위치 정렬 상태의 변동에 연동하여 전방 렌즈들의 위치 정렬 상태를 변경할 수 있으므로, 노광 성능을 향상시킬 수 있는 효과가 달성될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
설명에 앞서, 종래와 동일한 구성요소에 대해서는 그 상세한 설명을 일부 생략함을 밝힌다.
본 발명은 전체 조명 광학계에서 광원인 아크 램프로부터 FEL까지의 구성만을 그 대상으로 하는 것으로, 도 5a 내지 도 6c를 통해 나타낸다.
광원인 아크 램프(202)는 내부에 서로 이격되어 대향하는 음극과 양극을 구비하며, 해당 전극들에 전원이 인가되어 전극들 사이의 공간을 통해 아크 방전이 일어나는 것에 의해 주변으로 광을 출사시킨다.
이러한 아크 램프(202)는 소정 공간의 부피를 통해 광을 출사시키므로 명확히 점 광원이라 할 수 없다.
아크 램프(202)는 음극과 양극을 연결하는 아크 축이 타원형 미러(204)의 중심부와 제1 초점(f1) 및 제2 초점(f2)을 직선으로 연결하는 중심축과 동일 선 상에 위치되도록 구비된다. 참고로, 중심축 상에서 아크 램프를 기준으로 타원형 미러가 배치되는 일 측의 방향을 후방으로, 그 반대방향을 전방으로 정의하여 설명함을 밝혀둔다.
이에, 아크 램프(202)를 음극과 양극의 이격 거리에 해당하는 길이 및 소정 부피를 갖는 실린더 형태의 실린더체로 모델링(modeling)할 수 있으며, 해당 실린더체의 수많은 포인트로부터 광이 출사되는 것을 가정하여 광의 진행 특성을 시뮬레이션(simulation)해 본 결과, 아크 램프(202)의 위치 정렬에 따라 제2 초점(f2)에서의 광의 형태 및 입사각(incident angle)이 변화되는 것을 알 수 있었다.
즉, 타원형 미러(204)의 형태 등에 의해 규정될 수 있는 제1 초점(f1)에 음극과 양극 사이의 중앙부를 맞추어 위치 정렬(설명의 편의상, '센터(center) 정렬'이라 함)하는 경우와, 제1 초점(f1)에 음극과 양극의 어느 하나를 맞추어 위치 정렬(설명의 편의상, '에지(edge) 정렬'이라 함)하는 경우에 따라 제2 초점(f2)에서의 광의 형태 및 입사각이 달라진다.
여기서, 에지 정렬의 경우에는 서로 대향되는 음극과 양극 각각의 첨단부 중의 어느 하나가 제1 초점(f1)에 위치하도록 정렬한다.
도 5a는 에지 정렬의 경우를 나타내며, 도 6a는 센터 정렬의 경우를 나타낸다.
먼저, 도 5a를 참조하면, 에지 정렬 시에는 제2 초점(f2) 후방 측의 위치에서 이미 광이 집속된 후 발산되며, 따라서 제2 초점(f2)에서 광은 어느 정도 발산된 상태의 크기를 갖는다.
따라서, 도 5b에 나타낸 바와 같이, 타원형 미러(204)에서 반사된 모든 광이 집속과정에서 중심 축을 가로지른 후 발산되는 위치인, 제2 초점(f2)으로부터 'x' 만큼 이격되는 전방 위치에 콜리메이션 렌즈(206)를 구비시키면, 발산되는 모든 광이 콜리메이션 렌즈(206)를 통해 평행화되고, 그 후 콜리메이션 렌즈(206)가 갖는 초점 거리 값에 따라 결정될 수 있는 'y' 만큼 이격되는 전방 위치에 FEL(208)을 구비시키면 된다.
그러면, FEL(208)에 광이 수직으로 입사될 수 있으므로, 입사각이 매우 작아짐에 따라 우수한 광 효율이 제공될 수 있다.
그러나, 이와 같이 에지 정렬을 실시하면, 입사각을 줄여 광 효율을 향상시킬 수는 있으나, 제2 초점(f2)의 전방에 콜리메이션 렌즈(206)가 구비됨과 아울러 콜리메이션 렌즈(206) 및 FEL(208)로 입사되는 광의 크기가 커져, 제조되는 노광 장치의 크기가 증대되고, 제조 비용이 상승되는 단점이 있다.
한편, 도 6a를 참조하면, 센터 정렬의 경우에는 제2 초점(f2) 주변에서 광은 가장 작은 크기를 갖는다는 것을 알 수 있다. 즉, 제2 초점(f2) 주변에서는 발산되는 광과 집속되는 광이 혼재한다는 것을 의미한다.
따라서, 도 6b에 나타낸 바와 같이, 제2 초점(f2)의 후방에 콜리메이션 렌즈(206)를 배치시키면, 콜리메이션 렌즈(206) 전방의 FEL(208)로 입사되는 광의 크기를 매우 작게 만들 수 있다.
상세하게, 이미 중심축을 가로지른 후에 발산되는 과정에서 콜리메이션 렌즈(206)로 입사되는 광은 콜리메이션 렌즈(206)를 통해 평행화된 상태에서 FEL(208)로 입사되며, 아직 중심축을 가로지르지 못하고 집속되는 과정에서 콜리메이션 렌즈(206)로 입사되는 광은 콜리메이션 렌즈(206)를 통해 굴절되어 다소 큰 입사각으로 FEL(208)로 입사된다.
따라서, 제2 초점(f2)으로부터 후방 측으로 'y' 만큼 이격되는 위치에 FEL(208)의 입사 평면(208a)을 위치시키고, FEL(208)의 입사 평면(208a)으로부터 후방 측으로 'x' 만큼 이격되는 위치에 콜리메이션 렌즈(206)를 위치시키며, 이때 'y' 값은 콜리메이션 렌즈(206)의 초점 거리 값에 따라 결정될 수 있는 것이므로 FEL(208)은 제2 초점(f2)의 전방에 배치될 수도 있다.
이와 같은 센터 정렬의 경우에 의하면, 무엇보다도 콜리메이션 렌즈(206) 및 FEL(208)로 입사되는 광의 크기를 줄여 해당 렌즈들 및 전방의 컴포넌트들의 크기를 줄일 수 있음과 아울러, 제2 초점(f2)의 후방에 콜리메이션 렌즈(206)가 구비될 수 있으므로, 제조되는 노광 장치의 크기를 대폭 줄이고, 제조 비용도 절감시킬 수 있는 이점이 있다.
한편, 상술한 바와 같이, 광원인 아크 램프(202)의 위치에 따라 전방에 배치되는 콜리메이션 렌즈(206) 및 FEL(208)의 위치가 결정될 수 있으므로, 아크 램프(202)가 위치 변경 가능하도록 구비되는 경우, 그 위치 변경에 연동하여 콜리메이션 렌즈(206) 및 FEL(208)의 위치도 변경될 수 있도록 구현할 수 있다.
즉, 아크 램프(202)가 중심축을 따라 선형 이동 가능하도록 구현되고, 또한 콜리메이션 렌즈(206) 및 FEL(208)이 중심축을 따라 선형 이동 가능하도록 구현된 상태에서, 아크 램프(202)의 위치가 에지 정렬상태에서 센터 정렬상태로 변경되는 때에는, 이와 같은 위치 변경에 연동하여 콜리메이션 렌즈(206)의 위치가 제2 초점(f2)을 기준으로 후방 위치로부터 전방 위치로 변경될 수 있으며, 이때 콜리메이션 렌즈(206)와 FEL(208)은 서로 간의 간격을 일정하게 유지한 채로 함께 위치 이동될 수 있다.
이상, 상기 내용은 본 발명의 바람직한 일 실시예를 단지 예시한 것으로 본 발명의 당업자는 본 발명의 요지를 변경시킴이 없이 본 발명에 대한 수정과 변경을 가할 수 있음을 인지해야 한다.
도 1은 종래의 노광 장치의 조명 광학계를 나타내는 구성도,
도 2는 종래의 조명 광학계에서의 광의 진행 특성을 나타내는 개략도,
도 3은 통상적인 아크 램프에 대한 광 공간 분포(spatial distribution)도,
도 4a는 광원의 위치가 z축 방향으로 이동함에 따른 광의 진행 특성을 나타내는 개략도,
도 4b는 광원의 위치가 y축 방향으로 이동함에 따른 광의 진행 특성을 나타내는 개략도,
도 5a는 본 발명에 따라 아크 램프를 에지 정렬하는 경우에 대한 광의 진행 특성을 나타내는 개략도,
도 5b는 본 발명에 따라 아크 램프를 에지 정렬하는 경우에 대한 위치 정렬 관계를 나타내는 개략 구성도,
도 6a는 본 발명에 따라 아크 램프를 센터 정렬하는 경우에 대한 광의 진행 특성을 나타내는 개략도,
도 6b는 본 발명에 따라 아크 램프를 센터 정렬하는 경우에 대한 위치 정렬 관계를 나타내는 개략 구성도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
200 : 조명 광학계 202 : 아크 램프
204 : 타원형 미러 206 : 콜리메이션 렌즈
208 : FEL(Fly Eye Lens) 208a : 입사 평면
f1 : 제1 초점 f2 : 제2 초점

Claims (10)

  1. 서로 이격되어 대향하는 아크 램프를 구성하는 음극과 양극 사이의 중앙부가 중심축 상의 제1 초점에 위치 정렬되고, 상기 아크 램프에서 출사된 광이 제1 초점 후방 측의 타원형 미러에서 반사되어 중심축 상에 위치하는 제1 초점 전방 측의 제2 초점에 광원 상을 형성하며, 상기 제2 초점에서 상기 아크 램프 쪽으로 이격되는 위치에 배치되어 광을 평행화 및 굴절시키는 콜리메이션 렌즈, 및 상기 콜리메이션 렌즈와 상기 제2 초점 사이의 위치 또는 상기 제2 초점의 전방 측의 위치에 배치되어 상기 콜리메이션 렌즈를 통과한 광을 입사받아 다중 광원 상을 형성하도록 하는 FEL(Fly Eye Lens)를 구비하는 노광 장치의 조명 광학계에 있어서,
    상기 아크 램프를 구성하는 상기 음극과 상기 양극 중 어느 하나가 상기 제1 초점에 위치하도록, 중심축 상에서 상기 아크 램프의 정렬 상태가 변경되는 경우,
    각각, 상기 콜리메이션 렌즈는 상기 제2 초점으로부터 이격되는 전방 측에 위치하도록, 상기 FEL는 상기 콜리메이션 렌즈로부터 이격되는 전방 측에 위치하도록 정렬 상태가 변경되는 것을 특징으로 하는 노광 장치의 조명 광학계.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 음극의 첨단부와 상기 양극의 첨단부 중 어느 하나가 상기 제1 초점에 위치하도록 정렬되는 것을 특징으로 하는 노광 장치의 조명 광학계.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 아크 램프가 중심축을 따라 선형 이동됨에 따른 상기 아크 램프의 상기 제1 초점에 대한 상대적인 위치 변경에 연동하여, 상기 콜리메이션 렌즈의 상기 제2 초점에 대한 상대적인 위치 변경이 이루어지도록 상기 콜리메이션 렌즈가 중심축을 따라 선형 이동되는 것을 특징으로 하는 노광 장치의 조명 광학계.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 콜리메이션 렌즈의 선형 이동 시 상기 콜리메이션 렌즈와 상기 FEL은 서로 간의 간격을 유지한 채로 함께 선형 이동되는 것을 특징으로 하는 노광 장치의 조명 광학계.
  8. 서로 이격되어 대향하는 음극과 양극을 구비하는 중심축 상의 제1 초점에 위치되는 아크 램프에서 출사된 광이 제1 초점 후방 측의 타원형 미러에서 반사되어 중심축 상에 위치하는 제1 초점 전방 측의 제2 초점에 광원 상을 형성하며, 상기 제2 초점 전방 측에 배치되어 광을 평행화시키는 콜리메이션 렌즈를 구비하는 노광 장치의 조명 광학계에 있어서,
    상기 아크 램프를 구성하는 상기 음극과 상기 양극 중 어느 하나가 상기 제1 초점에 위치하도록 정렬되는 것을 특징으로 하는 노광 장치의 조명 광학계.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 음극의 첨단부와 상기 양극의 첨단부 중 어느 하나가 상기 제1 초점에 위치하도록 정렬되는 것을 특징으로 하는 노광 장치의 조명 광학계.
  10. 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,
    상기 타원형 미러에서 반사되는 모든 광이 집속과정에서 중심축을 가로지른 후 발산되는 위치에 상기 콜리메이션 렌즈가 배치되는 것을 특징으로 하는 노광 장치의 조명 광학계.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20060065709A (ko) * 2003-08-22 2006-06-14 세이코 엡슨 가부시키가이샤 조명 장치 및 이것을 구비한 프로젝터

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