KR100898208B1 - Glass substrate inspection equipment and inspection method - Google Patents

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샌트랄 글래스 컴퍼니 리미티드
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Abstract

플랫 패널 디스플레이에 사용되는 유리기판 검사장치로서, 상기 유리기판은 코너부의 절결가공과 관통구멍의 구멍가공이 되어 있으며, 상기 유리기판을 반송하는 반송장치의 도중에 상기 유리기판을 소정의 위치에 정지시키는 정지장치와, 정지된 상기 유리기판의 한쪽 면으로부터 상기 유리기판의 반송방향에 직각으로 배설되는 직선상의 조명기, 상기 유리기판을 끼워 상기 조명기와 반대쪽에 설치되는, 상기 유리기판의 반송방향에 대해 직각방향으로 유리기판에 평행하게 이동 가능한, 광축을 유리기판에 수직으로 향하게 하고 있는 카메라로 되는 화상취득장치와, 상기 화상취득장치에 의해 취득되는 상기 유리기판 코너의 절결과 관통구멍의 화상을 처리하는 화상처리장치로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 유리기판 검사장치가 제공된다.A glass substrate inspection apparatus for use in flat panel displays, wherein the glass substrate has cutouts and hole holes in corners, and stops the glass substrates in a predetermined position in the middle of a conveying apparatus for conveying the glass substrates. A stopper, a linear illuminator disposed at right angles to the conveying direction of the glass substrate from one side of the stopped glass substrate, and a perpendicular to the conveying direction of the glass substrate which is provided on the opposite side to the illuminator by sandwiching the glass substrate An image acquisition device comprising a camera having an optical axis directed perpendicular to the glass substrate that is movable in parallel to the glass substrate in a direction; and processing the cutout and through hole images of the corners of the glass substrate obtained by the image acquisition device. Provided is a glass substrate inspection apparatus, which is composed of an image processing apparatus.

유리기판 검사장치, 화상취득장치, 화상처리장치, 플랫 패널 디스플레이 Glass substrate inspection device, image acquisition device, image processing device, flat panel display

Description

유리기판 검사장치 및 검사방법{Glass substrate inspection equipment and inspection method}Glass substrate inspection equipment and inspection method

본 발명은 플랫 패널 디스플레이(flat panel display)에 사용되는 유리기판 검사장치에 관한 것으로, 특히 유리기판의 구멍가공 및 절결(切缺)가공의 치수검사를 카메라와 화상처리장치를 사용하여 행하는 검사장치 및 검사방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a glass substrate inspection apparatus used for a flat panel display, and more particularly, to an inspection apparatus for performing a dimension inspection of hole processing and notch processing of a glass substrate using a camera and an image processing apparatus. And an inspection method.

액정표시기나 플라즈마 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이에 사용되는 유리기판은, 유리판을 직사각형으로 절단하고, 추가로 오리엔테이션 플랫(orientation flat)이라 불리는 유리판의 코너부가 절결된 형상으로 되어, 변에 가까운 위치에 관통구멍의 구멍가공이 시행되어 있다. Glass substrates used for flat panel displays, such as liquid crystal displays and plasma displays, cut glass plates into rectangles, and further cut the corners of the glass plate, called an orientation flat, to penetrate near the sides. Hole drilling is performed.

이러한 유리기판에 있어서, 절결의 크기, 형태, 또한 관통구멍의 위치·크기가 목적하는 바대로 되어 있지 않으면 표시기의 조립시에 문제를 발생시키고, 또한, 관통구멍의 에지에 칩이나 크랙이라 불리는 결함이 있으면, 유리기판이 파손된다고 하는 문제를 발생시킨다.In such glass substrates, if the size, shape, and location and size of the cutouts are not as desired, a problem arises during assembly of the indicator, and defects called chips or cracks at the edges of the cutouts. If present, a problem that the glass substrate is broken occurs.

이 때문에, 유리기판에 시행되어 있는 절결과 관통구멍의 가공부에 대해, 절결의 크기, 형태, 또한 관통구멍의 위치·크기, 관통구멍 에지 부근의 결함 유무를 검사할 필요가 있다.For this reason, it is necessary to inspect the size and shape of the cutout, the position and size of the cutout hole, and the presence or absence of defects near the edge of the throughhole, with respect to the cutout and the through hole processing portion applied to the glass substrate.

형상·치수의 검사를 광학적으로 행하는 기술이 특허문헌 1에 개시되어 있다. 이 광학계는 형상을 인식하는 것을 목적으로 하고 있어, 결함을 검출하는 것이 곤란하다.Patent Literature 1 discloses a technique for optically inspecting shape and dimensions. This optical system aims to recognize a shape, and it is difficult to detect a defect.

유리기판의 검사장치로서, 유리판의 진행방향에 대해 비스듬한 방향으로 배설(配設)한 조명기로 유리판을 조명하고, 조명기에 평행한 시야를 갖는 라인 카메라로 유리판의 조명된 부분의 빛을 검출하여, 유리판 절단면의 결점을 검출하는 장치가 특허문헌 2에 개시되어 있다.A device for inspecting a glass substrate, which illuminates the glass plate with an illuminator arranged in an oblique direction with respect to the advancing direction of the glass plate, and detects the light of the illuminated portion of the glass plate with a line camera having a field of view parallel to the illuminator. The apparatus which detects the fault of a glass plate cut surface is disclosed by patent document 2. As shown in FIG.

또한, 유리판을 이동과 회전이 가능한 스테이지에 고정하고, 여러 각도에서 유리기판을 파이버 조명하여, 유리기판에 수직인 방향과 비스듬한 방향으로부터 CCD 카메라로 촬상(撮像)하고, 촬상된 결과를 2치화 처리하여, 유리기판의 결함을 검출하는 장치가 특허문헌 3에 개시되어 있다.In addition, the glass plate is fixed to a stage that can be moved and rotated, and the glass substrate is fiber-illuminated from various angles, and the image is captured by a CCD camera from a direction perpendicular to the glass substrate and oblique directions. Patent Document 3 discloses an apparatus for detecting a defect of a glass substrate.

특허문헌 2나 3에 개시되어 있는 장치에서는, 기판에 존재하는 각종 결함을 검출할 수 있더라도, 오리엔테이션 플랫이라 불리는 절결의 형태를 검사하는 것은 곤란하다.In the apparatus disclosed in Patent Documents 2 and 3, even if various defects present in the substrate can be detected, it is difficult to inspect the form of the notch called an orientation flat.

또한, 광투과성 시트를 대상으로 하고, 특허문헌 4에 이동 중의 광투과성 시트를 라인 카메라로 촬상하여, 광투과성 시트 중의 결함으로서 광투과성 시트의 구멍 검출방법이 개시되어 있다.Moreover, the object of a light transmissive sheet is made, The patent document 4 discloses the image of the light transmissive sheet | seat in a line camera, and the hole detection method of a light transmissive sheet as a defect in a light transmissive sheet is disclosed.

이 방법에서는, 결함으로서의 구멍의 위치나 크기를 포착할 수 있더라도, 가공되어 있는 관통구멍의 위치나 크기의 치수 정밀도나 관통구멍의 에지 결함을 검 사하는 것은 곤란하다.In this method, even if the position and size of a hole as a defect can be captured, it is difficult to check the dimensional accuracy of the position and size of the processed through hole and the edge defect of the through hole.

특허문헌 1 : 일본국 특허공개 제(평)6-137815호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-137815

특허문헌 2 : 일본국 특허공개 제(평)1-169343호 공보Patent Document 2: Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-169343

특허문헌 3 : 일본국 특허공개 제2003-98122호 공보Patent Document 3: Japanese Patent Publication No. 2003-98122

특허문헌 4 : 일본국 특허공개 제(평)11-304724호 공보Patent Document 4: Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-304724

발명의 개요Summary of the Invention

종래의 검사장치에서는, 형상·치수의 검사와 결함의 검출을 목적으로 하는 검사에서는 조명방법과 화상처리가 상이하여, 플랫 패널 디스플레이에 사용하는 유리기판의 절결이나 관통구멍 형상의 검사와 관통구멍의 에지에 발생하는 결함의 검사를 각각의 장치로 행해야만 하기 때문에, 하나의 장치로 절결이나 관통구멍 형상의 검사와 관통구멍의 에지에 발생하는 결함의 검사를 행하는 것이 곤란하였다.In the conventional inspection apparatus, the illumination method and the image processing are different in the inspection for the purpose of inspection of shape and dimensions and detection of defects. Since each device must be inspected for defects occurring at the edges, it is difficult to inspect notches and through-hole shapes and defects occurring at the edges of the through-holes with one device.

본 발명은 설계사양서에 결정되어 있는 절결과 구멍의 형상과, 관통구멍의 가공에서 자연 발생적으로 발생하는 관통구멍의 에지에 발생하는 결함을, 하나의 검사장치로 검사할 수 있는 검사장치의 제공을 과제로 한다.The present invention provides a test apparatus capable of inspecting the shape of the cutout and the hole determined in the design specification, and the defects occurring at the edges of the through holes naturally occurring in the processing of the through holes with one inspection apparatus. It is a task.

본 발명의 유리기판 검사장치는 플랫 패널 디스플레이에 사용되는 유리기판 검사장치로서, 상기 유리기판은 코너부의 절결가공과 관통구멍의 구멍가공이 되어 있으며, 상기 유리기판을 반송하는 반송장치의 도중에 상기 유리기판을 소정의 위치에 정지시키는 정지장치와, 정지된 상기 유리기판의 한쪽 면으로부터 상기 유리기판의 반송방향에 직각으로 배설되는 직선상의 조명기, 상기 유리기판을 끼워 상기 조명기와 반대쪽에 설치되는, 상기 유리기판의 반송방향에 대해 직각방향으로 유리기판에 평행하게 이동 가능한, 광축을 유리기판에 수직으로 향하게 하고 있는 카메라로 되는 화상취득장치와, 상기 화상취득장치에 의해 취득되는 상기 유리기판 코너의 절결과 관통구멍의 화상을 처리하는 화상처리장치로 구성되는 것을 특징으로 하는 유리기판 검사장치이다.The glass substrate inspecting apparatus of the present invention is a glass substrate inspecting apparatus used for a flat panel display, wherein the glass substrate is cut out of corners and punched through holes, and the glass is conveyed in the middle of a conveying apparatus for conveying the glass substrate. A stop device for stopping the substrate at a predetermined position, a linear illuminator disposed at right angles to the conveying direction of the glass substrate from one surface of the stopped glass substrate, and the glass substrate fitted to the opposite side to the illuminator An image acquisition device comprising a camera having an optical axis orthogonal to the glass substrate that is movable parallel to the glass substrate in a direction perpendicular to the conveyance direction of the glass substrate, and a section of the glass substrate corner obtained by the image acquisition device. The result is a glass comprising an image processing apparatus for processing an image of a through hole. A board inspection apparatus.

도면의 간단한 설명Brief description of the drawings

도 1은 유리기판을 모식적으로 나타내는 평면도이다.1 is a plan view schematically showing a glass substrate.

도 2는 본 발명의 검사장치를 나타내는 개략도이다.2 is a schematic view showing an inspection apparatus of the present invention.

도 3은 절결의 2치화된 화상을 모식적으로 나타내는 도면이다.3 is a diagram schematically showing a binarized image of a cutout.

도 4는 관통구멍의 2치화된 화상을 모식적으로 나타내는 도면이다.4 is a diagram schematically showing a binarized image of a through hole.

도 5는 관통구멍 에지부의 수치화된 암부(暗部)의 크기를 나타내는 그래프이다.5 is a graph showing the size of the digitized arm portion of the through hole edge portion.

상세한 설명details

본 발명의 유리기판 검사장치 및 검사방법은, 절결가공과 관통구멍의 구멍가공이 시행되어 있는 플랫 패널 디스플레이용 유리기판을 간편하게 검사할 수 있는 장치를 제공한다.The glass substrate inspection apparatus and inspection method of the present invention provide an apparatus that can easily inspect a glass substrate for a flat panel display in which cut processing and through hole drilling are performed.

플랫 패널 디스플레이에 사용되는 유리기판은 대부분 직사각형으로, 도 1에 나타내는 바와 같이, 유리기판의 표리, 방향을 판별할 수 있도록 하기 위한, 오리엔테이션 플랫이라 불리는 직사각형의 모서리에 대해 절결(4, 5, 6, 7)의 가공이 행해지고 있다. 또한, 가스를 충전하기 위한 관통구멍(2, 3)을 설치하는 구멍뚫기가공이 행해지고 있다. 이들 절결이나 관통구멍은 유리기판의 설계사양서를 토대로 소정의 위치에 소정의 크기로 가공된다.Glass substrates used in flat panel displays are mostly rectangular, and as shown in Fig. 1, cutouts are made for the corners of a rectangle called an orientation flat to determine the front and back sides of the glass substrate (4, 5, 6). , 7) is performed. Further, drilling is performed to provide through holes 2 and 3 for filling gas. These cutouts and through-holes are machined to predetermined sizes at predetermined positions based on the design specifications of the glass substrate.

본 발명의 유리기판 검사장치는, 상기 유리기판의 절결과 관통구멍의 형상과 관통구멍의 에지 결함을 검사하기 위한 것으로, 반송 중의 기판을 정지시키는 정지장치와, 상기 유리기판을 조명하는 산란광 광원과 산란광으로 조명된 상기 유리기판을 촬상하는 카메라로 되는 화상취득장치, 상기 카메라를 절결 또는 관통구멍을 촬상하기 위해 소정의 위치로 이동하기 위한 이동장치, 촬상한 카메라의 화상을 해석하는 화상처리장치로 된다.The glass substrate inspection apparatus of the present invention is for inspecting the cutout of the glass substrate, the shape of the through hole, and the edge defects of the through hole. The glass substrate inspection device includes: a stop device for stopping the substrate during transportation; a scattered light source for illuminating the glass substrate; An image acquisition device comprising a camera for imaging the glass substrate illuminated with scattered light, a moving device for moving the camera to a predetermined position for imaging a cut-out or through hole, and an image processing device for analyzing an image of the captured camera do.

도 2는 본 발명의 검사장치의 일례를 나타내는 것이다. 유리기판(1)은 반송 롤(8)에 의해 도면의 화살표로 나타내는 방향으로 이동되고, 검사는 유리기판(1)을 도시하지 않는 정지장치로 정지시켜서 행한다.2 shows an example of the inspection apparatus of the present invention. The glass substrate 1 is moved by the conveyance roll 8 in the direction shown by the arrow of a figure, and inspection is performed by stopping the glass substrate 1 with the stopper which is not shown in figure.

정지장치는 절결이나 관통구멍이 반송방향의 카메라(9)의 위치에 왔을 때 유리기판(1)을 정지시킨다. 상기 정지장치는 광학적인 유리기판의 에지 검출장치를 사용하여, 유리기판(1)의 에지를 검출하는 신호를 토대로, 자동적으로 반송 롤(8)을 멈춰 유리기판을 정지하도록 해도 되고, 또한, 물리적인 정지물체를 사용하여 정지물체에 유리가 접촉했을 때에 반송 롤(8)을 멈춰 유리기판이 정지하도록 해도 된다. 물리적인 정지물체는 검사가 종료된 후에는 다시 반송 롤으로의 반송을 가능하게 하기 위해, 출입 가능하게 해둔다.The stop device stops the glass substrate 1 when the cutout or the through hole reaches the position of the camera 9 in the conveying direction. The stop device may stop the glass substrate by automatically stopping the conveying roll 8 based on a signal for detecting the edge of the glass substrate 1 using an optical glass edge detection device. When glass contacts a stationary object using a phosphorus stop object, the conveyance roll 8 may be stopped and the glass substrate may be stopped. After the inspection is finished, the physical still object is made accessible so that the conveyance to the conveying roll can be made possible again.

도 2에 나타내는 바와 같이, 정지한 유리기판(1)을 산란광(13)으로 조명하는 산란광 광원(10)과, 산란광(13)이 유리기판(1)을 투과하는 쪽에 설치되고, 산란광(13)으로 조명되는 유리기판(1)을 촬상하기 위한 카메라(9)로 되는 화상취득장치를 사용하여, 유리기판(1)의 화상을 취득한다.As shown in FIG. 2, the scattered light light source 10 that illuminates the stationary glass substrate 1 with the scattered light 13, and the scattered light 13 are provided on the side that transmits the glass substrate 1, and the scattered light 13 is provided. The image of the glass substrate 1 is acquired using the image acquisition apparatus used as the camera 9 for imaging the glass substrate 1 illuminated by the light.

정지장치에 의해 정지되어 있는 유리기판(1)의 절결이나 관통구멍을 촬상하기 위한 카메라(9)에는, 에어리어 카메라를 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 관통구멍을 촬상할 때, 관통구멍의 측면이 찍히지 않게 하기 위해, 텔레센트릭 렌즈(telecentric lens)를 사용하는 것이 바람직하다.It is preferable to use an area camera for the camera 9 for imaging the notch and through-hole of the glass substrate 1 stopped by the stop device. In addition, when imaging the through hole, it is preferable to use a telecentric lens so that the side surface of the through hole is not taken out.

정지상태에서 정지된 유리기판(1)을 밑에서부터 직선상의 조명기(15)로 조명하고, 유리기판(1)의 위쪽에서 유리기판(1)의 관통구멍과 모서리의 절결을 카메라(9)로 촬상한다.The glass substrate 1 stopped in the stationary state is illuminated with a linear illuminator 15 from the bottom, and the cut-out of the through hole and the corner of the glass substrate 1 is picked up by the camera 9 from above the glass substrate 1. do.

조명기는 산란광 광원(10)과 박스 커버(11)로 구성되고, 산란광 광원(10)으로서 직선상의 형광등을 사용하는 것이 바람직하지만, 산란광으로 조명할 수 있다면 다른 광원을 사용해도 된다. 또한, 산란광(13)의 조명을 균일화하기 위해, 산란광 광원(10)과 유리기판(1) 사이에 확산판(14)를 설치하는 것이 바람직하다.The illuminator is composed of the scattered light source 10 and the box cover 11, and it is preferable to use a linear fluorescent lamp as the scattered light source 10, but other light sources may be used as long as they can illuminate the scattered light. In addition, in order to uniformize the illumination of the scattered light 13, it is preferable to provide a diffuser plate 14 between the scattered light source 10 and the glass substrate 1.

카메라(9)는 유리기판(1)에 대해 카메라(9)의 광축이 수직이 되도록 설치되어 있다. 또한, 카메라(9)는 도시하지 않는 이동장치에 의해, 유리기판의 반송 롤(8)에 의한 반송방향에 대해 직각의 방향으로 유리기판에 대해 평행하게 이동 가능하게 하고 있다. 형광등(11) 대신에 카메라(9)와 연동(連動)하여 이동 가능한 스포트 조명기를 사용해도 된다.The camera 9 is provided so that the optical axis of the camera 9 is perpendicular to the glass substrate 1. Further, the camera 9 is movable in parallel with the glass substrate in a direction perpendicular to the conveying direction of the conveying roll 8 of the glass substrate by a moving device (not shown). Instead of the fluorescent lamp 11, you may use the spot illuminator which can move | move in cooperation with the camera 9. As shown in FIG.

도 2에 나타내는 카메라(9)로 촬상된 화상은, 화상처리장치(12)에 의해 명(明)과 암(暗)의 2치화 처리되어, 2치화 처리한 화상을 사용하여 절결이나 관통구멍 형상의 검사나 관통구멍 에지에 발생하는 결함의 검사가 행해진다.The image picked up by the camera 9 shown in FIG. 2 is binarized by light and dark by the image processing apparatus 12, and is cut out and a through-hole shape using the binarized image. Inspection and inspection of defects occurring in the through hole edge are performed.

절결의 화상(20)은 도 3에 나타내는 바와 같이, 모서리가 잘라내어져 비스듬한 에지(22)로 되어 있다. 많은 유리기판은 모따기(21)의 가공이 되어 있고, 모따기(21)의 부분은 절결의 화상(20)에서는 암(暗)으로서 표시된다.As shown in FIG. 3, the notched image 20 is the edge 22 cut out and becomes the oblique edge 22. As shown in FIG. Many glass substrates are processed with the chamfer 21, and the part of the chamfer 21 is displayed as a dark in the image 20 of a notch.

절결의 화상으로부터, 예를 들면 다음과 같이 하여 절결의 형상 검사를 행할 수 있다.From the image of a notch, shape inspection of a notch can be performed as follows, for example.

절결의 에지 라인(22)와, 절결 이외의 에지 라인(23) 및 에지 라인(24)와의 교점(P1, P2)의 좌표, 및 에지 라인(23)과 에지 라인(24)와의 연장선 상의 교점(P3)의 좌표를 구함으로써 삼각형(P1, P2, P3)가 계측되고, 절결의 크기와 형태가 구해지며, 설계사양서의 값과 비교하여 차이가 허용 이하인지의 여부로 좋고 나쁨을 판정하는 것이 가능해진다.The coordinates of the intersection points P1 and P2 between the edge line 22 of the notch and the edge line 23 and the edge line 24 other than the notch, and the intersection point on the extension line between the edge line 23 and the edge line 24 ( By obtaining the coordinates of P3), the triangles P1, P2, and P3 are measured, the size and shape of the cutout can be obtained, and it is possible to judge whether the difference is less than acceptable by comparison with the value of the design specification or not. Become.

또한, 본 발명의 유리기판 검사장치에서는, 모따기(21)의 폭도 계측할 수 있어 모따기 형상검사가 가능하다.In the glass substrate inspection apparatus of the present invention, the width of the chamfer 21 can also be measured, and the chamfer shape inspection can be performed.

도 4는 관통구멍(30)의 화상에서 유리기판(1)을 관통구멍(30)이 카메라(9)의 바로 아래가 되도록, 유리기판의 반송방향으로 정지장치로 정지시키는 동시에, 카메라(9)를 이동시키고, 관통구멍(30)을 촬상하여 얻어진다.4 stops the glass substrate 1 in the image of the through hole 30 with the stop device in the conveying direction of the glass substrate so that the through hole 30 is directly below the camera 9, and the camera 9 Is obtained by imaging the through-hole 30.

관통구멍의 검사를 양호하게 행하기 위해, 관통구멍(30)의 중심(P4)와 카메라(9)의 광축을 일치시키는 것이 바람직하다.In order to perform the inspection of the through holes satisfactorily, it is preferable to coincide the optical axis of the camera 9 with the center P4 of the through holes 30.

이 때문에, 유리기판(1)은 흡반(吸盤) 또는 흡착(吸着) 패드 등으로 되는 흡착 지지장치를 사용하여 지지하고, 상기 흡착 지지장치를 서보 모터(servo motor) 또는 펄스 모터(pulse motor) 등과 모터의 제어기로 되는 이동장치로 정밀도 높게 이동할 수 있는 이동장치를 설치하는 것이 바람직하다.For this reason, the glass substrate 1 is supported by the adsorption support apparatus which becomes an adsorption board or an adsorption pad, etc., and supports the said adsorption support apparatus by a servo motor, a pulse motor, etc. It is desirable to provide a moving device that can move with high precision as a moving device that becomes a controller of the motor.

본 발명의 유리기판 검사장치는, 카메라(9)의 이동이 반송방향에 대해 직각방향으로, 유리기판(1)에 평행하게 이동할 수 있도록 하고 있다. 또한, 카메라(9)를 유리기판(1)에 평행하게 유리기판(1)의 반송방향과 동일한 방향의 이동이나, 유리기판(1)에 수직인 방향의 이동을 가능하게 하는 이동장치를 설치해 두는 것이 바람직하다.The glass substrate inspection apparatus of the present invention allows the movement of the camera 9 to move in parallel to the glass substrate 1 in a direction perpendicular to the conveying direction. In addition, a moving device is provided which allows the camera 9 to move in the same direction as the conveying direction of the glass substrate 1 in parallel with the glass substrate 1 or in a direction perpendicular to the glass substrate 1. It is preferable.

관통구멍(30)의 중심과 카메라(9)의 광축은, 카메라(9)의 화상에 있어서 관통구멍(30)의 위치를 화상처리에 의해 구하고, 상기 관통구멍(30)의 위치를 토대로 카메라(9) 및/또는 유리기판(1)의 이동장치에 의해 일치시킬 수 있다.The center of the through hole 30 and the optical axis of the camera 9 determine the position of the through hole 30 in the image of the camera 9 by image processing, and based on the position of the through hole 30, the camera ( 9) and / or by the moving device of the glass substrate 1.

관통구멍(30)의 에지 부근은 암부(31)로서 화상에 나타난다. 관통구멍(30)의 에지에 결함(32)도 암(暗)으로서 화상에 나타난다. 카메라는 유리기판에 대해 수직으로 설치되어 있어, 결함이 유리기판 중 어느 면에 있어서도 검출이 가능하다.The vicinity of the edge of the through hole 30 appears in the image as the dark portion 31. The defect 32 also appears on the image as an arm at the edge of the through hole 30. The camera is mounted perpendicular to the glass substrate so that defects can be detected on any surface of the glass substrate.

관통구멍(30) 형상의 검사 및 결함의 검사는, 예를 들면 다음과 같이 하여 실시할 수 있다.Inspection of the shape of the through hole 30 and inspection of a defect can be performed, for example, as follows.

관통구멍(30)의 중심(P4)의 좌표 및 관통구멍(30)의 반경(r1)을 화상 데이터로부터 계측하여, 설계사양서의 값과의 차이를 토대로 관통구멍(30)의 위치와 크기의 좋고 나쁨을 검사한다.The coordinates of the center P4 of the through hole 30 and the radius r1 of the through hole 30 are measured from the image data, and the position and size of the through hole 30 are good, based on the difference from the value of the design specification. Check for bad

또한, 관통구멍(30)의 에지에는 관통구멍(30)의 가공에 의해 칩이나 크랙 등이라 불리는 결함이 발생하는 경우가 있다. 이와 같은 결함은, 화상에서는 양품(良品)의 에지 암부(31) 보다도 커다란 암부(32)로서 화상에 나타난다.In addition, defects called chips, cracks, or the like may occur at the edges of the through holes 30 due to the processing of the through holes 30. Such a defect appears in the image as the dark portion 32 larger than the edge arm portion 31 of the good article in the image.

관통구멍(30)의 에지 결함은 다음과 같이 하여 검출할 수 있다.The edge defect of the through hole 30 can be detected as follows.

관통구멍(30)의 화상에 있어서, 관통구멍의 중심(P4)로부터 유리기판의 면에 평행하게 적당한 방향으로 기준선을 가상하고, 상기 기준선을 시계방향으로 유리 기판면 상을 회전시킨다. 회전각(θ)에 대해 에지 부근의 암부의 폭(tθ)를 화상으로부터 측정하고, 예를 들면 도 5와 같은 그래프를 작성한다.In the image of the through hole 30, the reference line is simulated in a suitable direction parallel to the surface of the glass substrate from the center P4 of the through hole, and the reference line is rotated on the glass substrate surface in the clockwise direction. About the rotation angle (theta), the width | variety ( theta ) of the arm part near an edge is measured from an image, and the graph like FIG. 5 is created, for example.

결함 암부의 폭(t2)는 양품의 에지 암부의 폭(t1) 보다도 커져, 도 5에 나타내는 그래프를 사용하여 에지 가공의 좋고 나쁨을 판별하는 것이 가능해진다.The width t 2 of the defect arm portion is larger than the width t 1 of the edge arm portion of the good product, and it is possible to determine whether the edge machining is good or bad using the graph shown in FIG. 5.

또한, 관통구멍(30)의 화상을 취득함에 있어서, 확산판(14)와 유리기판(1) 사이에 도시하지 않는 차광판을 설치하여, 직선 상에 산란광(13)으로 조명되는 조명의 폭을, 카메라(9) 시야의 1.5~3배로 하는 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 2배 정도로 한다.In addition, when acquiring the image of the through hole 30, a light shielding plate (not shown) is provided between the diffusion plate 14 and the glass substrate 1, so that the width of the illumination illuminated by the scattered light 13 on a straight line, It is preferable to set it as 1.5 to 3 times the field of view of the camera 9, More preferably, it is about 2 times.

산란광(13)의 조명 폭을 카메라(9) 시야의 3배 보다 크게 하면, 결함 화상의 밝기가 밝아져 2치화에 의한 판별이 곤란해지고, 1.5배 보다 작게 하면 카메라(9)의 시야 전체에 조명이 비치지 않거나, 조명 불균일이 발생하기 쉬워, 검사 정밀도가 저하될 우려가 있다.When the illumination width of the scattered light 13 is larger than three times the field of view of the camera 9, the brightness of the defect image becomes brighter, making it difficult to discriminate by binarization, and when smaller than 1.5 times, the entire view of the camera 9 is illuminated. This may not be reflected or illumination irregularity may occur easily, and inspection precision may fall.

Claims (7)

플랫 패널 디스플레이에 사용되는 유리기판 검사장치로서, 상기 유리기판은 코너부의 절결가공과 관통구멍의 구멍가공이 되어 있으며, 상기 유리기판을 반송하는 반송장치의 도중에 상기 유리기판을 소정의 위치에 정지시키는 정지장치와, 정지된 상기 유리기판의 한쪽 면으로부터 상기 유리기판의 반송방향에 직각으로 배설되는 직선상의 조명기와, 상기 유리기판을 끼워 상기 조명기와 반대쪽에 설치되는, 상기 유리기판의 반송방향에 대해 직각방향으로 유리기판에 평행하게 이동 가능한, 광축이 유리기판에 수직으로 향해져 있는 카메라로 되는 화상취득장치와, 상기 화상취득장치에 의해 취득되는 상기 유리기판 코너의 절결과 관통구멍의 화상을 처리하는 화상처리장치로 구성되어 있는 유리기판 검사장치에 있어서,A glass substrate inspection apparatus for use in flat panel displays, wherein the glass substrate has cutouts and hole holes in corners, and stops the glass substrates in a predetermined position in the middle of a conveying apparatus for conveying the glass substrates. With respect to the conveying direction of the glass substrate, a stationary device, a linear illuminator disposed at right angles to the conveying direction of the glass substrate from one surface of the stopped glass substrate, and a glass substrate fitted to the opposite side to the illuminator. Processes an image acquisition device comprising a camera whose optical axis is perpendicular to the glass substrate, which is movable in parallel to the glass substrate in a perpendicular direction, and the cutting of the corners of the glass substrate obtained by the image acquisition device and the image of the through hole. In the glass substrate inspection apparatus composed of an image processing apparatus, 상기 유리기판 코너의 절결의 2치화 처리된 화상을 사용하여 절결의 크기와 형태를 검사하고,Inspecting the size and shape of the cutout using a binarized image of the cutout of the glass substrate corner, 상기 유리기판 코너의 관통구멍의 2치화된 화상을 사용하여 관통구멍의 위치, 크기, 관통구멍의 에지 결함을 검사하며,By using the binarized image of the through hole in the corner of the glass substrate, the position, size and edge defect of the through hole are inspected. 유리기판의 정지위치에, 유리기판을 흡착 지지하는 지지장치와 상기 지지장치를 반송방향, 반송방향에 대해 직각방향, 또는 반송방향 및 반송방향에 대해 직각방향으로 이동시키는 이동장치가 설치되고,At the stop position of the glass substrate, a support device for adsorption-supporting the glass substrate and a moving device for moving the support device in a direction perpendicular to the conveyance direction and the conveyance direction or at right angles to the conveyance direction and the conveyance direction are provided. 카메라가 반송방향, 유리기판의 수직방향, 또는 반송방향 및 유리기판의 수직방향으로 이동하기 위한 이동장치가 설치되며,A moving device is installed for moving the camera in the conveying direction, vertical direction of the glass substrate, or in the conveying direction and vertical direction of the glass substrate. 유리기판의 이동장치, 카메라의 이동장치, 또는 유리기판의 이동장치 및 카메라의 이동장치에 의해, 카메라의 광축과 관통구멍의 중심을 일치시켜서 상기 관통구멍의 화상을 취득하고, 상기 화상을 사용하여 관통구멍의 검사를 행하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 검사방법.The moving device of the glass substrate, the moving device of the camera, or the moving device of the glass substrate and the moving device of the camera acquire an image of the through hole by matching the optical axis of the camera with the center of the through hole. An inspection method of a glass substrate, characterized in that the through hole is inspected. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 관통구멍의 에지 결함의 검사가, 관통구멍의 원형 에지 및 에지 주위의 암부를 2치화 처리에 의해 「암(暗)」으로 하고, 상기 관통구멍의 원형 에지에 수직인 길이로 에지의 암부를 계측하여, 상기 계측되는 암부의 길이를 사용하여 관통구멍의 검사를 행하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 검사방법.The inspection of the edge defect of the through-hole is made into the "arm" by the binarization process of the circular edge of a through-hole and the edge part around an edge, and the arm part of an edge is measured by the length perpendicular | vertical to the circular edge of the said through-hole. And the through-holes are inspected using the length of the arm portion to be measured.
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