KR102200691B1 - Inspecting apparatus - Google Patents
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Abstract
검사장치 제공된다. 검사장치는, 상면에 제1층 및 제2층을 포함하는 다층구조물이 안착되는 스테이지, 상기 다층구조물의 제1측면과 대향하고 상기 제1층의 측면 또는 상기 제2층의 측면에 선택적으로 광을 제공하는 제1광조사부, 상기 스테이지 상부에 위치하고, 상기 제1광조사부에서 제공된 광에 의해 발생한 산란광을 수광하여 상기 다층구조물의 이미지 정보를 획득하는 촬상부, 상기 이미지 정보를 기초로 상기 다층구조물의 이물정보를 검출하는 제어부를 포함할 수 있다.An inspection device is provided. The inspection apparatus includes a stage on which a multilayer structure including a first layer and a second layer is mounted on an upper surface, and is opposite to the first side surface of the multilayer structure and selectively provides light to the side surface of the first layer or the side surface of the second layer. A first light irradiation unit providing a, an image pickup unit positioned on the stage and receiving scattered light generated by the light provided from the first light irradiation unit to obtain image information of the multilayer structure, the multilayer structure based on the image information It may include a control unit for detecting foreign material information.
Description
본 발명은 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to an inspection apparatus.
반도체 기술의 발전에 따라 소형화 및 경량화 된 표시장치가 많은 수요를 창출하고 있다. 예를 들면, 상술한 표시장치로서 액정표시장치(LCD, liquid crystal display)와 유기발광표시장치(OLED, organic light emitting diode display)가 있으며, 액정표시장치 및 유기발광표시장치는 소형화, 경량화 및 저전력 소비화 등의 이점을 가지고 있어서, 널리 사용되고 있다.With the development of semiconductor technology, a display device that has been reduced in size and weight is creating a lot of demand. For example, as the above-described display devices, there are a liquid crystal display (LCD) and an organic light emitting diode display (OLED), and the liquid crystal display and organic light emitting display devices are miniaturized, lightweight, and low power. It has advantages such as consumption and is widely used.
한편, 요즘 시장에 출시되는 표시장치들은 모듈화 공정에서 레진(resin)과 같은 투명한 접착제를 이용해 표시패널에 윈도우, 터치패널 등을 등을 직접 부착함으로써 표시장치의 전체 두께를 줄이고 있다.Meanwhile, display devices on the market today are reducing the overall thickness of the display device by directly attaching a window or a touch panel to the display panel using a transparent adhesive such as resin in the modularization process.
표시패널에 레진 등을 이용하여 윈도우, 터치패널 등과 같은 구성을 접착하여 다층구조물을 형성하는 과정에서 그 사이에 이물이 삽입될 가능성이 존재한다. 따라서 접착이 이루어진 이후에는 표시패널과 상기 구성 사이에 이물이 존재하는지 여부를 검사하게 된다.In the process of forming a multi-layered structure by adhering components such as windows and touch panels to the display panel using resin or the like, there is a possibility that foreign substances may be inserted therebetween. Therefore, after adhesion is made, it is checked whether or not a foreign material exists between the display panel and the component.
그러나 종래의 검사장치는 카메라를 통해 상기 다층구조물을 촬영하여, 촬영된 이미지에 결함이나 불량 상태가 존재하는지 여부만 검출하였다.However, the conventional inspection apparatus photographed the multi-layered structure through a camera and detected only whether a defect or a defective state existed in the photographed image.
따라서, 종래의 검사장치에 의하면, 상기 다층구조물에 이물이 존재한다는 것만을 검출할 뿐 이물이 다층구조물의 표면에 존재하는지 또는 다층구조물의 내부에 존재하는지 확인하기 어려운 단점이 존재하였으며, 또한 이물이 다층구조물의 어느 층에 존재하는지 여부도 확인하기 어려운 단점이 존재하였다.Therefore, according to the conventional inspection apparatus, there is a disadvantage that it is difficult to check whether the foreign material is present on the surface of the multilayer structure or whether the foreign material is present in the multilayer structure only by detecting the presence of the foreign material in the multilayer structure. There was a disadvantage that it was difficult to determine which layer of the multilayer structure was present.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 다층구조물의 어느 위치와 어느 층에서 결함이나 불량 상태, 이물질 등이 존재하는지 여부를 명확히 검출할 수 있는 검사장치를 제공하는 데 있다.An object to be solved by the present invention is to provide an inspection device capable of clearly detecting whether a defect, a defective state, a foreign substance, or the like is present in any position and layer of a multilayer structure.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치는, 상면에 제1층 및 제2층을 포함하는 다층구조물이 안착되는 스테이지, 상기 다층구조물의 제1측면과 대향하고 상기 제1층의 측면 또는 상기 제2층의 측면에 선택적으로 광을 제공하는 제1광조사부, 상기 스테이지 상부에 위치하고, 상기 제1광조사부에서 제공된 광에 의해 발생한 산란광을 수광하여 상기 다층구조물의 이미지 정보를 획득하는 촬상부, 상기 이미지 정보를 기초로 상기 다층구조물의 이물정보를 검출하는 제어부를 포함할 수 있다.In an inspection apparatus according to an embodiment of the present invention for solving the above problems, a stage on which a multilayer structure including a first layer and a second layer is mounted on an upper surface, and the first side surface of the multilayer structure A first light irradiation unit that selectively provides light to the side of the layer or the side of the second layer, located on the stage, and receives scattered light generated by the light provided from the first light irradiation unit to receive image information of the multilayer structure. It may include an image capture unit to be acquired, and a control unit for detecting foreign material information of the multi-layered structure based on the image information.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치에 있어서, 상기 제1광조사부는, 상기 다층구조물의 제1측면을 향해 광을 출사하는 제1광원부, 상기 제1광원부와 상기 다층구조물의 제1측면 사이에 위치하고, 상기 제1층의 측면에 대응하는 부분에 위치하는 제1셔터 및 상기 제2층의 측면에 대응하는 부분에 위치하는 제2셔터를 포함하는 제1광투과조절부를 포함할 수 있다.In the inspection apparatus according to an embodiment of the present invention for solving the above problem, the first light irradiation unit includes a first light source unit for emitting light toward a first side of the multilayer structure, the first light source unit and the multilayer A first light transmission control including a first shutter positioned between the first side surfaces of the structure and positioned at a portion corresponding to the side surface of the first layer and a second shutter positioned at a portion corresponding to the side surface of the second layer May contain wealth.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치에 있어서, 상기 제1셔터 및 상기 제2셔터는, 상기 제어부에 의해 서로 상이한 타이밍에 개방되도록 제어될 수 있다.In the inspection apparatus according to an embodiment of the present invention for solving the above problem, the first shutter and the second shutter may be controlled to be opened at different timings by the control unit.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치에 있어서, 상기 제1광조사부는, 상기 제1광투과조절부와 상기 다층구조물의 제1측면 사이에 위치하고 상기 제1광투과조절부를 투과한 광을 시트광 형태로 변환하는 제1렌즈부를 더 포함할 수 있다.In the inspection apparatus according to an embodiment of the present invention for solving the above problem, the first light irradiation unit is positioned between the first light transmission control unit and the first side of the multi-layered structure and controls the first light transmission It may further include a first lens unit for converting the light transmitted through the portion into the form of sheet light.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치에 있어서, 상기 다층구조물의 제2측면과 대향하고 상기 제1층의 측면 또는 상기 제2층의 측면에 선택적으로 광을 조사하는 제2광조사부를 더 포함할 수 있다.In the inspection apparatus according to an embodiment of the present invention for solving the above problems, the first layer facing the second side of the multilayer structure and selectively irradiating light to the side of the first layer or the side of the second layer It may further include a two-light irradiation unit.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치에 있어서, 상기 제2광조사부의 구조는 상기 제1광조사부의 구조와 동일할 수 있다.In the inspection apparatus according to an embodiment of the present invention for solving the above problem, the structure of the second light irradiation unit may be the same as the structure of the first light irradiation unit.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사장치는, 제1층 및 제2층을 포함하는 다층구조물이 상면에 안착되는 스테이지, 상기 다층구조물의 제1측면과 대향하고, 상기 제1층의 측면에 제1색 광을 제공하고 상기 제2층의 측면에 제2색 광을 제공하는 제1광조사부, 상기 스테이지 상부에 위치하고, 상기 제1색 광 및 상기 제2색 광에 의해 발생한 산란광을 수광하여 상기 다층구조물의 이미지 정보를 획득하는 촬상부, 상기 이미지 정보를 기초로 상기 다층구조물의 이물정보를 검출하는 제어부를 포함할 수 있다.In an inspection apparatus according to another embodiment of the present invention for solving the above problems, a stage in which a multilayer structure including a first layer and a second layer is seated on an upper surface, faces a first side surface of the multilayer structure, and A first light irradiation unit that provides a first color light to the side of the first layer and provides a second color light to the side of the second layer, located on the stage, by the first color light and the second color light An image pickup unit configured to receive the generated scattered light to obtain image information of the multilayer structure, and a control unit configured to detect foreign material information of the multilayer structure based on the image information.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사장치에 있어서, 상기 제1광조사부는, 상기 다층구조물의 제1측면을 향해 광을 출사하는 제1광원부, 상기 제1광원부와 상기 다층구조물의 제1측면 사이에 위치하고, 상기 제1광원부에서 출사된 광을 상기 제1색 광으로 변환하는 제1광변환부재 및 상기 제1광원부에서 출사된 광을 상기 제2색 광으로 변환하는 제2광변환부재를 포함하는 제1광변환부를 포함할 수 있다.In the inspection apparatus according to another embodiment of the present invention for solving the above problem, the first light irradiation unit includes a first light source unit for emitting light toward a first side of the multilayer structure, the first light source unit and the multilayer A first light conversion member located between the first side surfaces of the structure and converting the light emitted from the first light source into the first color light, and a first light converting member that converts the light emitted from the first light source into the second color light It may include a first light conversion unit including two light conversion members.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사장치에 있어서, 상기 제1광변환부재는 제1색필터이고, 상기 제2광변환부재는 상기 제1색필터와는 상이한 색상의 제2색필터일 수 있다.In the inspection apparatus according to another embodiment of the present invention for solving the above problem, the first light conversion member is a first color filter, and the second light conversion member is a color different from the first color filter. It may be a two-color filter.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사장치에 있어서, 상기 제1광원부는, 백색광을 출사할 수 있다.In the inspection apparatus according to another embodiment of the present invention for solving the above problem, the first light source unit may emit white light.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사장치에 있어서, 상기 다층구조물은 제3층을 더 포함하고, 상기 제1광변환부는, 상기 제1광원부에서 출사된 광을 상기 제3층의 측면에 제공되는 제3색 광으로 변환하는 제3광변환부재를 더 포함하고, 상기 제3색 광의 색상은, 상기 제1색 광 및 상기 제2색 광의 색상과는 상이할 수 있다.In the inspection apparatus according to another embodiment of the present invention for solving the above problem, the multi-layer structure further includes a third layer, and the first light conversion unit, the light emitted from the first light source unit to the third A third light conversion member for converting light into a third color provided on a side of the layer, wherein a color of the third color light may be different from a color of the first color light and the second color light.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사장치에 있어서, 상기 제1광변환부와 상기 다층구조물의 제1측면 사이에 위치하고 상기 제1광변환부에서 변환된 상기 제1색 광 또는 상기 제2색 광을 시트광 형태로 변환하는 제1렌즈부를 더 포함할 수 있다.In the inspection apparatus according to another embodiment of the present invention for solving the above problem, the first color light is located between the first light conversion unit and the first side of the multilayer structure and converted by the first light conversion unit. Alternatively, a first lens unit for converting the second color light into a sheet light form may be further included.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사장치는, 제1층 및 제2층을 포함하는 다층구조물이 상면에 안착되는 스테이지, 상기 다층구조물의 제1측면과 대향하고 상기 제1층의 측면에 제1색 광을 제공하는 제1광조사부, 상기 다층구조물의 제2측면과 대향하고 상기 제2층의 측면에 제2색 광을 제공하는 제2광조사부, 상기 스테이지 상부에 위치하고, 상기 제1색 광 및 상기 제2색 광 중 적어도 어느 하나에 의해 발생한 산란광을 수광하여 상기 다층구조물의 이미지 정보를 획득하는 촬상부, 상기 이미지 정보를 기초로 상기 다층구조물의 이물정보를 검출하는 제어부를 포함할 수 있다.In an inspection apparatus according to another embodiment of the present invention for solving the above problems, a stage on which a multilayer structure including a first layer and a second layer is mounted on an upper surface, and the first side surface of the multilayer structure A first light irradiation unit that provides a first color light to the side of the first layer, a second light irradiation unit that faces the second side of the multilayer structure and provides a second color light to the side of the second layer, and on the top of the stage An image pickup unit that receives the scattered light generated by at least one of the first color light and the second color light to obtain image information of the multilayer structure, and detects foreign material information of the multilayer structure based on the image information It may include a control unit.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사장치에 있어서, 상기 제1광조사부는, 상기 다층구조물의 제1측면을 향해 제1색 광을 출사하는 제1광원부, 상기 제1층과 대응하는 제1개구부를 포함하는 제1광투과조절부를 포함할 수 있다.In the inspection apparatus according to another embodiment of the present invention for solving the above problems, the first light irradiation unit, a first light source unit for emitting a first color light toward a first side of the multilayer structure, the first It may include a first light transmission control unit including a first opening corresponding to the layer.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사장치에 있어서, 상기 제1광조사부는, 상기 제1광투과조절부와 상기 다층구조물의 제1측면 사이에 위치하고 상기 제1광투과조절부를 투과한 제1색 광을 시트광 형태로 변환하는 제1렌즈부를 더 포함할 수 있다.In the inspection apparatus according to another embodiment of the present invention for solving the above problem, the first light irradiation unit is positioned between the first light transmission control unit and the first side of the multilayer structure, and the first light transmission It may further include a first lens unit for converting the first color light transmitted through the adjustment unit into the form of sheet light.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사장치에 있어서, 상기 제2광조사부는, 상기 다층구조물의 제2측면을 향해 제2색 광을 출사하는 제2광원부, 상기 제2층과 대응하는 제2개구부를 포함하는 제2광투과조절부를 포함할 수 있다.In the inspection apparatus according to another embodiment of the present invention for solving the above problem, the second light irradiation unit includes a second light source unit for emitting a second color light toward a second side surface of the multilayer structure, and the second It may include a second light transmission control unit including a second opening corresponding to the layer.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사장치에 있어서, 상기 제2광조사부는, 상기 제2광투과조절부와 상기 다층구조물의 제2측면 사이에 위치하고 상기 제2광투과조절부를 투과한 제2색 광을 시트광 형태로 변환하는 제2렌즈부를 더 포함할 수 있다.In the inspection apparatus according to another embodiment of the present invention for solving the above problem, the second light irradiation unit is positioned between the second light transmission control unit and the second side surface of the multilayer structure and the second light transmission It may further include a second lens unit for converting the second color light transmitted through the adjustment unit into the form of sheet light.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사장치에 있어서, 상기 제1광조사부 및 상기 제2광조사부는, 상기 제어부에 의해 상기 다층구조물에 상기 제1색 광 및 상기 제2색 광을 동시에 제공하도록 제어될 수 있다.In the inspection apparatus according to another embodiment of the present invention for solving the above problem, the first light irradiation unit and the second light irradiation unit, the first color light and the second light to the multilayer structure by the control unit. It can be controlled to provide color light simultaneously.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사장치에 있어서, 상기 제1색 광과 상기 제2색 광의 색상은 서로 상이할 수 있다.In the inspection apparatus according to another embodiment of the present invention for solving the above problem, the colors of the first color light and the second color light may be different from each other.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사장치에 있어서, 상기 다층구조물은 제3층을 더 포함하고, 상기 다층구조물의 제3측면과 대향하고 상기 제3층의 측면에 상기 제1색 광 및 상기 제2색 광과는 상이한 색상의 제3색 광을 제공하는 제3광조사부를 더 포함할 수 있다.In the inspection apparatus according to another embodiment of the present invention for solving the above problem, the multi-layer structure further includes a third layer, the multi-layer structure facing the third side and the side of the third layer It may further include a third light irradiation unit for providing the first color light and the third color light of a color different from the second color light.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Details of other embodiments are included in the detailed description and drawings.
본 발명의 실시예들에 의하면 적어도 다음과 같은 효과가 있다.According to the embodiments of the present invention, there are at least the following effects.
본 발명에 따르면 다층구조물 내의 불량을 보다 효과적으로 검출할 수 있다.According to the present invention, defects in a multilayer structure can be more effectively detected.
본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.The effects according to the present invention are not limited by the contents exemplified above, and more various effects are included in the present specification.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치의 개략적 구성을 도시한 도면이다.
도 2 및 도 3은 도 1에 도시된 제1광투과조절부를 설명하기 위한 도면이다.
도 4 및 도 5은 도 1에 도시된 제1렌즈부의 기능을 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치의 이물검출과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사장치의 개략적 구성을 도시한 도면이다.
도 8는은 도 7에 도시된 광변환부의 정면을 도시한 도면이다.
도 9는 도 7에 도시된 광변환부의 기능을 설명하기 위한 도면이다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사장치의 이물검출과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 11 내지 도 13는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사장치의 개략적 구성을 도시한 도면이다.
도 14 내지 도 16은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사장치의 이물검출과정을 설명하기 위한 도면이다.1 is a diagram showing a schematic configuration of an inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 and 3 are views for explaining the first light transmission control unit shown in FIG. 1.
4 and 5 are views for explaining the function of the first lens unit shown in FIG. 1.
6 is a view for explaining a foreign matter detection process of the inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
7 is a diagram showing a schematic configuration of an inspection apparatus according to another embodiment of the present invention.
8 is a view showing the front of the light conversion unit shown in FIG.
9 is a view for explaining the function of the light conversion unit shown in FIG. 7.
10 is a view for explaining a foreign matter detection process of the inspection apparatus according to another embodiment of the present invention.
11 to 13 are views showing a schematic configuration of an inspection apparatus according to another embodiment of the present invention.
14 to 16 are diagrams for explaining a foreign body detection process of an inspection apparatus according to another embodiment of the present invention.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 도면에서 층 및 영역들의 크기 및 상대적인 크기는 설명의 명료성을 위해 과장된 것일 수 있다.Advantages and features of the present invention, and a method of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described below in detail together with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in various forms different from each other, and only these embodiments make the disclosure of the present invention complete, and common knowledge in the technical field to which the present invention belongs It is provided to completely inform the scope of the invention to those who have it, and the invention is only defined by the scope of the claims. The same reference numerals refer to the same components throughout the specification. In the drawings, the sizes and relative sizes of layers and regions may be exaggerated for clarity of description.
비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는다.Although the first, second, and the like are used to describe various components, it goes without saying that these components are not limited by these terms. These terms are only used to distinguish one component from another component. Therefore, it goes without saying that the first component mentioned below may be the second component within the technical idea of the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In addition, terms such as "comprises" or "have" are intended to designate the presence of features, numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof described in the specification, but one or more other features or numbers, The possibility of the presence or addition of steps, actions, components, parts, or combinations thereof is not precluded.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below 또는 beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있으며, 이 경우 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.Spatially relative terms "below", "beneath", "lower", "above", "upper", etc., as shown in the figure It may be used to easily describe the correlation between the device or components and other devices or components. Spatially relative terms should be understood as terms including different directions of the device during use or operation in addition to the directions shown in the drawings. For example, if an element shown in the figure is turned over, an element described as “below or beneath” another element may be placed “above” another element. Accordingly, the exemplary term “below” may include both directions below and above. The device may be oriented in other directions as well, in which case spatially relative terms may be interpreted according to the orientation.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대하여 설명한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치의 개략적 구성을 도시한 도면이다.1 is a diagram showing a schematic configuration of an inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치(10)는, 상면에 검사대상물인 다층구조물(900)을 지지하는 스테이지(110), 제1광조사부(130), 촬상부(150) 및 제어부(170)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, the
검사장치(10)의 검사대상물인 다층구조물(900)은 제1층 및 제2층을 포함할 수 있다. 이하에서는 본 명세서 전반에 걸쳐 다층구조물(900)이 표시패널(910), 표시패널(910) 상에 위치하는 편광판(930), 편광판(930) 상에 위치하는 레진층(950), 레진층(950) 상에 위치하는 터치패널(970) 및 터치패널(970) 상에 위치하는 보호필름(990)을 포함하는 구조를 갖는 경우를 예시로 설명하며, 상기 제1층은 다층구조물(900) 내에 포함된 편광판(930), 레진층(950), 터치패널(970) 및 보호필름(990) 중 임의의 어느 하나이고, 상기 제2층은 다층구조물(900) 내에 포함된 편광판(930), 레진층(950), 터치패널(970) 및 보호필름(990) 중 상기 제1층과는 상이한 임의의 다른 하나를 의미하는 것으로 설명한다. 다만 이는 설명의 편의를 위한 것일 뿐, 이에 한정되는 것은 아니다.The
제1광조사부(130)는 다층구조물(900)의 측면에 광을 제공하는 부분으로서, 편광판(930), 레진층(950), 터치패널(970) 및 보호필름(990) 중 둘 이상의 측면에 선택적으로 광을 제공하는 부분이다. 이러한 제1광조사부(130)는 다층구조물(900)의 제1측면(900a)과 대향하도록 배치될 수 있으며, 도면에 도시된 바와 같이 스테이지(110)의 상부에 위치할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.The first
제1광조사부(130)는 제1광원부(131), 제1광투과조절부(133)를 포함할 수 있으며, 제1렌즈부(135)를 더 포함할 수 있다.The first
제1광원부(131)는 다층구조물(900)의 제1측면(900a)을 향해 광을 출사하는 부분이다. 몇몇 실시예에서 제1광원부(131)는 광을 방출하는 레이저 또는 발광다이오드를 포함할 수 있다. The first
제1광투과조절부(133)는 제1광원부(131)에서 방출된 광을 투과시키거나 차단시키는 부분이다. 이러한 제1광투과조절부(133)는 다층구조물(900)의 제1측면(900a)과 제1광원부(131)의 사이에 위치할 수 있다.The first light
제1광투과조절부(133)는 개폐 가능한 셔터를 포함할 수 있다. The first light
도 2 및 도 3은 도 1에 도시된 제1광투과조절부를 설명하기 위한 도면으로서, 보다 구체적으로 도 2는 도 1에 도시된 제1광투과조절부의 정면을 도시한 도면, 도 3은 도 1에 도시된 제1광투과조절부의 동작을 설명하기 위한 도면이다.2 and 3 are views for explaining the first light transmission control unit shown in Fig. 1, and more specifically, Fig. 2 is a front view of the first light transmission control unit shown in Fig. 1, and Fig. 3 is It is a view for explaining the operation of the first light transmission control unit shown in FIG.
도 1 내지 도 2를 참조하면, 제1광투과조절부(133)는 몸체부(B) 및 몸체부(B)에 구비되고 개폐 가능한 셔터(SH1, SH2, SH3, SH4)를 포함할 수 있다.1 to 2, the first light
셔터(SH1, SH2, SH3, SH4)의 개수에는 제한이 없다. 도면에는 셔터(SH1, SH2, SH3, SH4)가 네개 구비된 것으로 도시되어 있으나, 이는 하나의 예시일 뿐이며 그 개수는 적절히 변경 가능하다. 몇몇 실시예에서 셔터(SH1, SH2, SH3, SH4)의 개수는 다층구조물(900) 내의 검사대상층의 개수와 동일할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 필요에 따라 적절히 변경될 수도 있다. There is no limit to the number of shutters (SH1, SH2, SH3, SH4). Although it is shown that four shutters SH1, SH2, SH3, and SH4 are provided in the drawing, this is only an example, and the number of them can be changed appropriately. In some embodiments, the number of shutters SH1, SH2, SH3, and SH4 may be the same as the number of layers to be inspected in the
몇몇 실시예에서 셔터(SH1, SH2, SH3, SH4) 각각은 다층구조물(900) 내의 검사대상층 각각과 대응하는 부분에 위치할 수 있다. 예컨대 다층구조물(900) 내의 검사대상층이 편광판(930), 레진층(950), 터치패널(970) 및 보호필름(990) 층이라고 가정하는 경우, 셔터(SH1, SH2, SH3, SH4) 각각은 편광판(930), 레진층(950), 터치패널(970) 및 보호필름(990)과 대응하는 부분에 위치할 수 있다. 바꾸어 말하면, 제1셔터(SH1)는 보호필름(990)과 실질적으로 동일 레벨(또는 실질적으로 동일한 평면)에 위치할 수 있으며, 제2셔터(SH2)는 터치패널(970)과 실질적으로 동일 레벨에 위치할 수 있다. 또한 제3셔터(SH3)는 레진층(950)과 실질적으로 동일 레벨에 위치할 수 있으며, 제4셔터(SH4)는 편광판(930)과 실질적으로 동일 레벨에 위치할 수 있다.In some embodiments, each of the shutters SH1, SH2, SH3, and SH4 may be positioned in a portion corresponding to each of the inspection target layers in the
셔터(SH1, SH2, SH3, SH4) 각각은 독립적으로 개폐 동작을 수행함으로써 제1광원부(131)에서 출사된 광을 선택적으로 투과시키거나 차단시킬 수 있다. Each of the shutters SH1, SH2, SH3, and SH4 may selectively transmit or block light emitted from the first
몇몇 실시예에서 셔터(SH1, SH2, SH3, SH4) 각각은 MEMS(microelectromechanical system)의 일종인 마이크로셔터로 구현될 수 있다. 마이크로셔터는 전계의 인가 여부에 따라 정전기력에 의해 변형되는 특성을 가지며, 제1광투과조절부(133)는 마이크로셔터의 변형 특성을 이용하여 상기 마이크로셔터의 동작에 따라 직접적으로 빛을 투과 또는 차단할 수 있다.In some embodiments, each of the shutters SH1, SH2, SH3, and SH4 may be implemented as a microshutter, which is a type of microelectromechanical system (MEMS). The microshutter has a characteristic of being deformed by electrostatic force depending on whether an electric field is applied, and the first light
도 1 내지 도 3을 참조하면, 제1광투과조절부(133)의 셔터(SH1, SH2, SH3, SH4)는 각각 개별적으로 개폐 동작을 수행할 수 있으며, 셔터(SH1, SH2, SH3, SH4) 각각은 서로 상이한 시간동안 개방될 수 있다. 바꾸어 말하면 셔터(SH1, SH2, SH3, SH4) 중 어느 하나가 개방된 경우 나머지 셔터는 폐쇄된 상태를 유지할 수 있다. 예컨대 도 3에 도시된 바와 같이 제1셔터(SH1)가 개방되는 동안에는 제1셔터(SH1)를 제외한 나머지 셔터, 즉 제2셔터(SH2), 제3셔터(SH3) 및 제4셔터(SH4)는 개방되지 않고 폐쇄된 상태를 유지할 수 있다. 그리고 제1광원부(131)에서 출사된 광 중 일부(L1)는 개방된 제1셔터(SH1)를 투과할 수 있으며, 이외의 광은 폐쇄된 제2셔터(SH2), 제3셔터(SH3) 및 제4셔터(SH4)에 의해 차단된다. 마찬가지로 도면에는 미도시하였으나, 제2셔터(SH2)가 개방되는 동안에는 제1셔터(SH1), 제3셔터(SH3) 및 제4셔터(SH4)는 폐쇄된 상태를 유지할 수 있으며, 제1광원부(131)에서 출사된 광 중 일부(L2)는 개방된 제2셔터(SH2)를 투과할 수 있고, 이외의 광은 폐쇄된 제1셔터(SH1), 제3셔터(SH3) 및 제4셔터(SH4)에 의해 차단될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위해 제1광원부(131)에서 출사된 광 중 개방된 제1셔터(SH1), 개방된 제2셔터(SH2), 개방된 제3셔터(SH3) 및 개방된 제4셔터(SH4) 각각을 투과한 광을 제1광(L1), 제2광(L2), 제3광(L3), 제4광(L4)이라 한다.1 to 3, the shutters SH1, SH2, SH3, and SH4 of the first light
셔터(SH1, SH2, SH3, SH4) 각각의 개폐 동작은 제어부(170)에 의해 제어될 수 있다.The opening and closing operation of each of the shutters SH1, SH2, SH3, and SH4 may be controlled by the
다시 도 1을 참조하면, 제1렌즈부(135)는 제1광투과조절부(133)과 다층구조물(900)의 제1측면(900a) 사이에 위치할 수 있다. 제1렌즈부(135)는 제1광원부(131)에서 출사된 광 중 제1광투과조절부(133)를 투과한 광을 시트광(sheet light) 형태로 변환하는 부분이다. Referring back to FIG. 1, the
도 4 및 도 5는 도 1에 도시된 제1렌즈부의 기능을 설명하기 위한 도면으로서, 도 4는 측면에서 바라본 광의 형태를 예시적으로 도시한 도면, 도 5는 상면에서 바라본 광의 형태를 예시적으로 도시한 도면이다. 도 4 및 도 5를 참조하면, 제1렌즈부(135)는 제1광원부(131)에서 출사된 광 중 제1광투과조절부(133)를 투과한 광을 시트광 또는 평면광 형태로 확산시키는 기능을 수행할 수 있다. 즉 제1렌즈부(135)를 투과한 광의 형태는, 측면에서 바라본 경우, 도 4에 도시된 바와 같이 평행광 형태를 가질 수 있고, 상면에서 바라본 경우, 도 5에 도시된 바와 같이 시트광 또는 평면광 형태를 가질 수 있다. 몇몇 실시예에서 이러한 제1렌즈부(135)는 실린드리컬 렌즈(cylindrical-lens) 등을 포함할 수 있다. 또한 상기 실린드리컬 렌즈 이외에 광을 확산시킬 수 있는 여타의 렌즈들을 포함한 구조로 구비될 수도 있다. 4 and 5 are diagrams for explaining the function of the first lens unit shown in FIG. 1, FIG. 4 is a diagram illustrating a shape of light viewed from the side, and FIG. 5 is a diagram illustrating a shape of light viewed from an upper surface. It is a drawing shown as. 4 and 5, the
다시 도 1을 참조하면, 스테이지(110)의 상부에는 촬상부(150)가 위치할 수 있다. Referring back to FIG. 1, the
촬상부(150)는 제1광조사부(130)에서 조사된 광이 다층구조물(900) 내에 존재하는 이물에 의해 산란되어 발생하는 광(또는 산란광)을 수광하여 이미지 정보를 획득하는 부분이다. 몇몇 실시예에서 촬상부(150)는 산란광을 수광하여 이미지 정보(또는 이미지)를 획득할 수 있는 CCD(charge-coupled device) 또는 CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor) 를 포함할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.The
제어부(170)는 촬상부(150)가 획득한 이미지 정보를 기초로 다층구조물(900)의 이물정보를 검출하는 부분이다. 몇몇 실시예에서 제어부(170)는 이미지 정보에 포함된 색상, 채도 또는 명암 중의 적어도 어느 하나의 정보를 기초로 이물정보를 검출할 수 있다. 예컨대, 다층구조물(900) 내에 이물이 존재하는 경우, 이물이 존재하는 부분은 산란광에 의해 상대적으로 밝게 나타날 수 있다. 이러한 경우 제어부(170)는 이미지 정보(또는 이미지)의 명도를 분석하여 이물정보를 검출할 수 있다. 다만 이는 하나의 예시일 뿐이며, 제어부(170)가 이물정보를 검출하는 방법에는 그 제한이 없다.The
이외 제어부(170)는 검사장치(10)의 전반적 동작을 제어할 수 있으며, 예컨대 셔터(SH1, SH2, SH3, SH4) 각각의 개폐 동작을 제어할 수 있다.In addition, the
한편, 검사장치(10)는 제2광조사부(130')를 더 포함할 수 있다. 제2광조사부(130')는 다층구조물(900)의 네 측면 중 제1측면(900a)을 제외한 나머지 측면과 대향하도록 배치될 수 있다. 예시적인 실시예에서 제2광조사부(130')는 도면에 도시된 바와 같이 다층구조물(900)의 제2측면(900b)과 대향하도록 배치될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 제2광조사부(130')의 구성은 제1광조사부(130)과 동일할 수 있다. 또한 도면에는 미도시하였으나, 검사장치(10)는 제1측면(900a) 및 제2측면(900a)을 제외한 다층구조물(900)의 측면과 대향하는 광조사부를 더 포함할 수도 있다.Meanwhile, the
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사장치의 이물검출과정을 설명하기 위한 도면이다. 6 is a view for explaining a foreign matter detection process of the inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 1 내지 도 6을 참조하여, 다층구조물(900)이 제1이물 내지 제5이물(P1~P5)를 포함하고 있는 경우를 예시로 설명한다. Referring to FIGS. 1 to 6, a case where the
제2이물(P2)의 경우 다음과 같이 검출될 수 있다. 검사장치(10)는 제1광원부(131)를 구동하여 광을 출사시킨다. 그리고 제1광투과조절부(131)의 제1셔터(SH1)를 개방하고 제2셔터(SH2), 제3셔터(SH3) 및 제4셔터(SH4)를 폐쇄된 상태를 유지하며, 이에 따라 제1광원부(131)에서 출사된 광 중 제1광(L1)만이 제1광투과조절부(131)를 투과하게 된다. 그리고 제1광(L1)은 제1렌즈부(135)를 투과하여 시트광 형태로 변형되어 제1셔터(SH1)와 대응하는 보호필름(990)의 측면으로 입사하게 된다. 그리고 제1광(L1)은 터치패널(970)과 보호필름(990) 사이에 위치하는 제2이물(P2)에 의해 산란되어 제1산란광(L1')을 발생시키게 되며, 촬상부(150)는 제1산란광(L1')을 수광하여 이미지 정보를 획득하게 된다. 제어부(170)는 촬상부(150)가 획득한 이미지 정보를 분석하여 제2이물(P2)의 존재여부를 검출하게 된다. 또한 제어부(170)는 제1광투과조절부(131)의 각 셔터(SH1, SH2, SH3, SH4)의 개폐를 제어할 수 있는 바, 제2이물(P2)이 보호필름(990) 또는 보호필름(990)과 터치패널(970) 사이에 위치함을 검출하게 된다. 한편 제1이물(P1) 및 제2이물(P2)은 보호필름(990) 박리시 제거될 수 있는 바, 최종적으로 제어부(170)는 제2이물(P2)이 존재하더라도, 이를 이물불량으로 판단하지 않을 수 있다.In the case of the second foreign material P2, it may be detected as follows. The
제3이물(P3)의 경우 다음과 같이 검출될 수 있다. 검사장치(10)는 제1광원부(131)를 구동하여 광을 출사시킨다. 그리고 제1광투과조절부(131)의 제2셔터(SH2)를 개방하고 제1셔터(SH1), 제3셔터(SH3) 및 제4셔터(SH4)를 폐쇄된 상태를 유지하며, 이에 따라 제1광원부(131)에서 출사된 광 중 제2광(L2)만이 제1광투과조절부(131)를 투과하게 된다. 그리고 제2광(L2)은 제1렌즈부(135)를 투과하여 시트광 형태로 변형되어 제2셔터(SH2)와 대응하는 터치패널(970)의 측면에 입사하게 된다. 그리고 제2광(L2)은 터치패널(970)과 레진층(950) 사이에 위치하는 제3이물(P3)에 의해 산란되어 제2산란광(L2')을 발생시키게 되며, 촬상부(150)는 제2산란광(L2')을 수광하여 이미지 정보를 획득하게 된다. 제어부(170)는 촬상부(150)가 획득한 이미지 정보를 분석하여 제3이물(P3)의 존재여부를 검출하게 된다. 또한 제어부(170)는 제1광투과조절부(131)의 각 셔터(SH1, SH2, SH3, SH4)의 개폐를 제어할 수 있는 바, 제3이물(P3)이 터치패널(970) 또는 터치패널(970)과 레진층(950) 사이에 위치함을 검출하게 된다. 한편 제3이물(P3)은 실제로 다층구조물(900)의 내부에 위치하는 이물에 해당하는 바, 최종적으로 제어부(170)는 제3이물(P3)의 존재여부 및 그 위치를 기초로 다층구조물(900)에 이물불량이 존재하는 것으로 판단할 수 있다.In the case of the third foreign material P3, it may be detected as follows. The
제4이물(P4)의 경우도 마찬가지이다. 즉 제3셔터(SH3)를 개방하고, 제1셔터(SH1), 제2셔터(SH2) 및 제4셔터(SH4)를 폐쇄하여 레진층(950)의 측면에 제3광(L3)을 제공하면, 제4이물(P4)에 의해 제3산란광(L3')이 발생하며, 촬상부(150)는 제3산란광(L3')에 의한 이미지 정보를 획득한다. 그리고 제어부(170)는 이미지 정보를 분석하여 제4이물(P4)이 레진층(950) 또는 레진층(950)과 편광판(930) 사이에 존재함을 검출하게 되고, 최종적으로 다층구조물(900) 내에 이물불량이 존재하는 것으로 판단할 수 있다.The same is true for the fourth foreign material P4. That is, the third shutter (SH3) is opened, the first shutter (SH1), the second shutter (SH2), and the fourth shutter (SH4) are closed to provide a third light (L3) on the side of the
제5이물(P5)의 경우도 제4셔터(SH4)를 개방하고, 제1셔터(SH1), 제2셔터(SH2) 및 제3셔터(SH3)를 폐쇄하여 편광판(930)에 제4광(L4)을 제공하면, 제5이물(P5)에 의해 제4산란광(L4')이 발생하며, 촬상부(150)는 제4산란광(L4')에 의한 이미지 정보를 획득한다. 그리고 제어부(170)는 이미지 정보를 분석하여 제5이물(P4)이 편광판(930) 또는 편광판(930)과 표시패널(910) 사이에 존재함을 검출하게 되고, 최종적으로 다층구조물(900) 내에 이물불량이 존재하는 것으로 판단할 수 있다.In the case of the fifth foreign object P5, the fourth shutter SH4 is opened, the first shutter SH1, the second shutter SH2, and the third shutter SH3 are closed to provide the fourth light to the
본 발명에 따르면, 다층구조물(900) 내의 이물존재여부 뿐만 아니라 이물의 위치도 검출할 수 있게 되어, 다층구조물(900)에 실제 이물불량이 존재하는지 여부 및 다층구조물(900) 내의 이물의 위치를 정확히 검출할 수 있는 이점이 존재한다.According to the present invention, it is possible to detect not only the presence of foreign matters in the
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사장치의 개략적 구성을 도시한 도면이다.7 is a diagram showing a schematic configuration of an inspection apparatus according to another embodiment of the present invention.
도 7을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사장치(20)는, 상면에 검사대상물인 다층구조물(900)을 지지하는 스테이지(210), 제1광조사부(230), 촬상부(150) 및 제어부(170)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 7, an
스테이지(210)는 상면에 다층구조물(900)을 지지하는 부분이다.The
제1광조사부(230)는 다층구조물(900)의 측면에 광을 제공하는 부분으로서, 편광판(930), 레진층(950), 터치패널(970) 및 보호필름(990) 중 둘 이상의 측면에 선택적으로 광을 제공하는 부분이다. 이러한 제1광조사부(230)는 도 1의 설명에서 상술한 제1광조사부(도 1의 130)과 마찬가지로 다층구조물(900)의 제1측면(900a)과 대향하도록 배치될 수 있으며, 도면에 도시된 바와 같이 스테이지(210)의 상부에 위치할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.The first
제1광조사부(230)는 제1광원부(231), 제1광변환부(233)를 포함할 수 있으며, 제1렌즈부(235)를 더 포함할 수 있다.The first
제1광원부(231)는 다층구조물(900)의 제1측면(900a)을 향해 광을 출사하는 부분이다. 몇몇 실시예에서 제1광원부(131)는 광을 방출하는 레이저 또는 발광다이오드를 포함할 수 있으며, 몇몇 실시예에서 제1광원부(231)가 출사하는 광의 색상은 백색일 수 있다.The first
제1광변환부(233)는 제1광원부(231)에서 방출된 광의 색상을 변환하는 부분이다. 이러한 제1광변환부(233)는 다층구조물(900)의 제1측면(900a)과 제1광원부(131)의 사이에 위치할 수 있다.The first
제1광투과조절부(133)는 입사광의 색상을 변환시키는 광변환부재를 포함할 수 있다. The first light
도 8 및 도 9는 도 7에 도시된 제1광변환부를 설명하기 위한 도면으로서, 보다 구체적으로 도 8은 도 7에 도시된 제1광변환부의 정면을 도시한 도면, 도 9는 도 7에 도시된 제1광변환부의 기능을 설명하기 위한 도면이다.8 and 9 are views for explaining the first light conversion unit shown in FIG. 7, and more specifically, FIG. 8 is a front view of the first light conversion unit shown in FIG. 7, and FIG. 9 is It is a diagram for explaining the function of the illustrated first light conversion unit.
도 7 내지 도 9를 참조하면, 제1광변환부(133)는 몸체부(B) 및 몸체부(B)에 구비된 광변환부재(CF1, CF2, CF3, CF4)를 포함할 수 있다.7 to 9, the first
광변환부재(CF1, CF2, CF3, CF4)의 개수에는 제한이 없다. 도면에는 광변환부재(CF1, CF2, CF3, CF4)가 네개 구비된 것으로 도시되어 있으나, 이는 하나의 예시일 뿐이며 그 개수는 적절히 변경 가능하다. 몇몇 실시예에서 광변환부재(CF1, CF2, CF3, CF4)의 개수는 다층구조물(900) 내의 검사대상층의 개수와 동일할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 필요에 따라 적절히 변경될 수도 있다. There is no limit to the number of light conversion members CF1, CF2, CF3, and CF4. Although it is shown that four light conversion members CF1, CF2, CF3, and CF4 are provided in the drawing, this is only an example and the number of light conversion members CF1, CF2, CF3, and CF4 can be changed appropriately. In some embodiments, the number of light conversion members CF1, CF2, CF3, and CF4 may be the same as the number of layers to be inspected in the
몇몇 실시예에서 광변환부재(CF1, CF2, CF3, CF4) 각각은 다층구조물(900) 내의 검사대상층 각각과 대응하는 부분에 위치할 수 있다. 예컨대 다층구조물(900) 내의 검사대상층이 편광판(930), 레진층(950), 터치패널(970) 및 보호필름(990) 층이라고 가정하는 경우, 광변환부재(CF1, CF2, CF3, CF4) 각각은 편광판(930), 레진층(950), 터치패널(970) 및 보호필름(990)과 대응하는 부분에 위치할 수 있다. 바꾸어 말하면, 제1광변환부재(CF1)는 보호필름(990)과 실질적으로 동일 레벨(또는 실질적으로 동일한 평면)에 위치할 수 있으며, 제2광변환부재(CF2)는 터치패널(970)과 실질적으로 동일 레벨에 위치할 수 있다. 또한 제3광변환부재(CF3)는 레진층(950)과 실질적으로 동일 레벨에 위치할 수 있으며, 제4광변환부재(CF4)는 편광판(930)과 실질적으로 동일 레벨에 위치할 수 있다.In some embodiments, each of the light conversion members CF1, CF2, CF3, and CF4 may be located in a portion corresponding to each of the inspection target layers in the
광변환부재(CF1, CF2, CF3, CF4) 각각은 입사광을 서로 상이한 색상으로 변환할 수 있다. 예컨대 제1색을 적색, 제2색을 녹색, 제3색을 청색 및 제4색을 황색이라고 가정하면, 도 9에 도시된 바와 같이 제1광변환부재(CF1)는 제1광원부(230)에서 출사되어 입사한 광을 제1색 광(L-CF1)인 적색광으로 변환할 수 있으며, 제2광변환부재(CF2)는 제1광원부(230)에서 출사되어 입사한 광을 제2색 광(L-CF2)인 녹색광으로 변환할 수 있다. 마찬가지로 제3광변환부재(CF3)는 제1광원부(230)에서 출사되어 입사한 광을 제3색 광(L-CF3)인 청색광으로 변환할 수 있으며, 제4광변환부재(CF4)는 제1광원부(230)에서 출사되어 입사한 광을 제4색 광(L-CF2)인 황색광으로 변환할 수 있다. 다만 상술한 색상은 설명의 편의를 위한 하나의 예시일 뿐이며, 각 광변환부재가 변환하는 광의 색상은 변경될 수 있다.Each of the light conversion members CF1, CF2, CF3, and CF4 may convert incident light into different colors. For example, assuming that the first color is red, the second color is green, the third color is blue, and the fourth color is yellow, the first light conversion member CF1 is the first
몇몇 실시예에서 광변환부재(CF1, CF2, CF3, CF4)는 색필터(또는 컬러필터)로 이루어질 수 있다. 예컨대, 제1광변환부재(CF1)는 적색 컬러필터로 이루어지고, 제2광변환부재(CF2)는 녹색 컬러필터로 이루어질 수 있다. 또한 제3광변환부재(CF3)는 청색 컬러필터로 이루어질 수 있으며, 제4광변환부재(CF4)는 황색 컬러필터로 이루어질 수 있다. 다만 이는 하나의 예시일 뿐이며, 입사광의 색상을 변환할 수 있는 구성이라면 광변환부재(CF1, CF2, CF3, CF4)에 적용될 수 있다. 예컨대, 형광물질을 포함하는 파장변환부재 등도 본 발명에 적용될 수 있다고 할 것이다.다시 도 7을 참조하면, 제1렌즈부(235)는 제1광변환부(233)과 다층구조물(900)의 제1측면(900a) 사이에 위치할 수 있다. 제1렌즈부(235)는 제1광원부(231)에서 출사된 광 중 제1광조절부(233)를 투과한 광을 시트광(sheet light) 형태로 변환할 수 있다. 이외 제1렌즈부(235)에 대한 구체적 설명은 도1, 도 4 및 도 5의 설명에서 상술한 바와 동일한 바, 생략한다. In some embodiments, the light conversion members CF1, CF2, CF3, and CF4 may be made of color filters (or color filters). For example, the first light conversion member CF1 may be made of a red color filter, and the second light conversion member CF2 may be made of a green color filter. In addition, the third light conversion member CF3 may be formed of a blue color filter, and the fourth light conversion member CF4 may be formed of a yellow color filter. However, this is only an example, and any configuration capable of converting the color of incident light may be applied to the light conversion members CF1, CF2, CF3, and CF4. For example, it will be said that a wavelength conversion member including a fluorescent material can also be applied to the present invention. Referring back to FIG. 7, the
스테이지(210)의 상부에는 촬상부(250)가 위치할 수 있다. The
촬상부(250)는 제1광조사부(230)에서 조사된 광이 다층구조물(900) 내에 존재하는 이물에 의해 산란되어 발생하는 광(또는 산란광)을 수광하여 이미지 정보를 획득하는 부분이다. 몇몇 실시예에서 촬상부(250)는 산란광을 수광하여 컬러 이미지 정보(또는 컬러 이미지)를 획득할 수 있으며, 이를 위한 CCD(charge-coupled device) 또는 CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor) 를 포함할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. The
제어부(270)는 촬상부(250)가 획득한 이미지 정보를 기초로 다층구조물(900)의 이물정보를 검출하는 부분이다. 몇몇 실시예에서 제어부(270)는 이미지 정보에 포함된 색상, 채도 또는 명암 중의 적어도 어느 하나의 정보를 기초로 이물정보를 검출할 수 있으며, 특히 색상 정보를 기초로 이물정보를 검출할 수 있다. 또한 제어부(270)에는 다층구조물(900)의 각 층에 제공되는 광의 색상정보가 기 저장되어 있을 수 있으며, 이를 기초로 이물이 어느층에 위치하는지 여부를 판단할 수 있다. 이외 제어부(270)는 검사장치(20)의 전반적 동작을 제어할 수 있다.The
검사장치(20)는 제2광조사부(230')를 더 포함할 수 있다. 제2광조사부(230')는 다층구조물(900)의 네 측면 중 제1측면(900a)을 제외한 나머지 측면과 대향하도록 배치될 수 있다. 예시적인 실시예에서 제2광조사부(230')는 도면에 도시된 바와 같이 다층구조물(900)의 제2측면(900b)과 대향하도록 배치될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 제2광조사부(230')의 구성은 제1광조사부(230)과 동일할 수 있다. 또한 도면에는 미도시하였으나, 검사장치(20)는 제1측면(900a) 및 제2측면(900a)을 제외한 다층구조물(900)의 측면과 대향하는 광조사부를 더 포함할 수도 있다.The
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사장치의 이물검출과정을 설명하기 위한 도면이다. 10 is a view for explaining a foreign matter detection process of the inspection apparatus according to another embodiment of the present invention.
도 7 내지 도 10을 참조하여, 다층구조물(900)이 제1이물 내지 제5이물(P1~P5)를 포함하고 있는 경우를 예시로 설명한다. Referring to FIGS. 7 to 10, a case in which the
검사장치(20)는 제1광원부(231)를 구동하여 광을 출사시키며, 제1광원부(231)에서 출사된 광은 제1광변환부(233)의 제1광변환부재(CF1), 제2광변환부재(CF2), 제3광변환부재(CF3) 및 제4광변환부재(CF4)를 통과하여 각각 제1색 광(L-CF1), 제2색 광(L-CF2), 제3색 광(L-CF3) 및 제4색 광(L-CF4)으로 변환된다. 그리고 제1색 광(L-CF1), 제2색 광(L-CF2), 제3색 광(L-CF3) 및 제4색 광(L-CF4) 각각은 제1렌즈부(235)를 투과하여 시트광 형태로 변형되어 보호필름(990), 터치패널(970), 레진층(950) 및 편광판(930) 각각의 측면으로 입사한다. The
다층구조물(900)의 내부로 입사한 제1색 광(L-CF1), 제2색 광(L-CF2), 제3색 광(L-CF3) 및 제4색 광(L-CF4)은 제2이물(P2), 제3이물(P3), 제4이물(P4) 및 제5이물(P5) 각각으로 인해 산란되어 제1색 산란광(L-CF1'), 제2색 산란광(L-CF2'), 제3색 산란광(L-CF3') 및 제4색 산란광(L-CF4')을 발생시키게 된다, 그리고 촬상부(250)는 제1색 산란광(L-CF1'), 제2색 산란광(L-CF2'), 제3색 산란광(L-CF3') 및 제4색 산란광(L-CF4')을 수광하여 컬러 이미지 정보를 획득하게 된다. 제어부(270)는 촬상부(250)가 획득한 컬러 이미지 정보를 분석하여 다층구조물(900) 내의 이물존재여부를 판단하게 된다. .The first color light (L-CF1), second color light (L-CF2), third color light (L-CF3), and fourth color light (L-CF4) incident into the
예시적으로 제1색 광(L-CF1)이 적색광, 제2색 광(L-CF2)이 녹색광, 제3색 광(L-CF3)이 청색광, 제4색 광(L-CF4)이 황색광인 경우, 상기 컬러 이미지 정보 내에는 제2이물(P2)과 대응하는 부분이 적색 점으로 표시될 수 있다. 그리고 제3이물(P3)과 대응하는 부분은 녹색점으로 표시될 수 있으며, 제4이물(P4)와 대응하는 부분은 청색점으로 표시될 수 있고, 제5이물(P5)과 대응하는 부분은 황색점으로 표시될 수 있다. 제어부(270)는 컬러 이미지 정보의 색상 분석을 통해 제2이물(P2), 제3이물(P3), 제4이물(P4) 및 제5이물(P5)의 존재여부를 검출할 수 있다. 또한 제어부(270)는 기 저장된 각 층에 제공되는 광의 색상정보를 기초로 제2이물(P2), 제3이물(P3), 제4이물(P4) 및 제5이물(P5) 각각이 어느층에 위치하는지 여부를 검출할 수 있다. For example, the first color light (L-CF1) is red, the second color light (L-CF2) is green, the third color light (L-CF3) is blue, and the fourth color light (L-CF4) is yellow. In the case of light, a portion corresponding to the second foreign object P2 may be displayed as a red dot in the color image information. In addition, a portion corresponding to the third foreign body P3 may be indicated by a green dot, a portion corresponding to the fourth foreign body P4 may be indicated by a blue dot, and a portion corresponding to the fifth foreign body P5 It can be marked with a yellow dot. The
즉, 제어부(270)는 이물들(P2, P3, P4, P5) 각각의 존재여부 및 위치를 검출할 수 있는 바, 다층구조물(900)내에 실제 불량이 존재하는지 여부를 한번의 검사과정을 통해 검출할 수 있다.That is, the
예시적으로 제1이물(P1) 및 제2이물(P2)은 보호필름(990) 박리시 제거될 수 있는 바, 제어부(270)는 제2이물(P2)이 존재하더라도, 이를 이물불량으로 판단하지 않을 수 있으며, 이외 제3이물(P3), 제4이물(P4) 및 제5이물(P5)이 존재하는 경우, 이를 이물불량으로 판단할 수 있다.Exemplarily, the first foreign matter P1 and the second foreign matter P2 can be removed when the
본 발명에 따르면, 다층구조물(900) 내의 이물존재여부 뿐만 아니라 이물의 위치도 검출할 수 있게 되어, 다층구조물(900)에 실제 이물불량이 존재하는지 여부 및 다층구조물(900) 내의 이물의 위치를 정확히 검출할 수 있는 이점이 존재한다. 또한 한번의 검사과정을 통해 다층구조물(900)내의 이물불량여부를 판단할 수 있는 바, 검사시간을 단축할 수 있는 이점이 추가적으로 존재한다.According to the present invention, it is possible to detect not only the presence of foreign matters in the
도 11 내지 도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사장치의 개략적 구성을 도시한 도면으로서, 도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사장치를 상부에서 바라본 평면도, 도 12는 도 11의 검사장치를 Ⅰ- Ⅰ'선을 따라 절단한 단면도, 도 13은 도 11의 검사장치를 Ⅱ- Ⅱ'선을 따라 절단한 단면도이다.11 to 13 are views showing a schematic configuration of an inspection apparatus according to another embodiment of the present invention, and FIG. 11 is a plan view as viewed from above, and FIG. 12 is a view showing an inspection apparatus according to another embodiment of the present invention. 11 is a cross-sectional view of the inspection device of FIG. 11 taken along the line I-I', and FIG. 13 is a cross-sectional view of the inspection device of FIG. 11 taken along the line II-II'.
도 11 내지 도 13을 참조하면, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사장치(30)는, 상면에 검사대상물인 다층구조물(900)을 지지하는 스테이지(310), 제1광조사부(330a), 제2광조사부(330b), 촬상부(150) 및 제어부(170)를 포함할 수 있으며, 제3광조사부(330c) 및 제4광조사부(330d) 중 적어도 어느 하나를 더 포함할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위해 검사장치(30)가 제3광조사부(330c) 및 제4광조사부(330d)를 더 포함하는 경우를 예시로 설명한다.11 to 13, the
스테이지(310)는 상면에 다층구조물(900)을 지지하는 부분이다.The
제1광조사부(330a)는 다층구조물(900)의 제1측면(900a)에 광을 제공하는 부분으로서, 편광판(930), 레진층(950), 터치패널(970) 및 보호필름(990) 중 어느 하나의 측면에 선택적으로 광을 제공하는 부분이다. 이러한 제1광조사부(330a)는 도 1의 설명에서 상술한 제1광조사부(도 1의 130)과 마찬가지로 다층구조물(900)의 제1측면(900a)과 대향하도록 배치될 수 있으며, 도면에 도시된 바와 같이 스테이지(310)의 상부에 위치할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.The first
제1광조사부(330a)는 제1광원부(331a), 제1광투과조절부(333a)를 포함할 수 있으며, 제1렌즈부(335a)를 더 포함할 수 있다.The first
제1광원부(331a)는 다층구조물(900)의 제1측면(900a)을 향해 제1색 광을 출사하는 부분이다. 몇몇 실시예에서 제1광원부(331a)는 광을 방출하는 레이저 또는 발광다이오드를 포함할 수 있다.The first
제1광투과조절부(333a)는 제1광원부(331a)에서 방출된 제1색 광의 일부만을 투과시키는 부분이다. 이러한 제1광투과조절부(333a)는 다층구조물(900)의 제1측면(900a)과 제1광원부(331a)의 사이에 위치할 수 있다.The first light
제1광투과조절부(333a)는 제1개구부(H1)를 포함할 수 있으며, 제1개구부(H1)는 다층구조물(900)의 보호필름(990)과 대응하는 부분에 위치할 수 있다. 즉, 제1광원부(331a)에서 출사된 광은 제1광투과조절부(333a)의 제1개구부(H1)를 통과하여 보호필름(990)에 제공될 수 있다.The first light
제1렌즈부(335a)는 제1광투과조절층(333a)과 다층구조물(900)의 제1측면(900a) 사이에 위치할 수 있다. 제1렌즈부(333a)는 제1광원부(331a)에서 출사된 광 중 제1광투과조절층(333a)를 투과한 제1색 광을 시트광(sheet light) 형태로 변환할 수 있다. 이외 제1렌즈부(335a)에 대한 구체적 설명은 도1, 도 4 및 도 5의 설명에서 상술한 바와 동일한 바, 생략한다. The
제2광조사부(330b)는 다층구조물(900)의 제2측면(900b)에 광을 제공하는 부분으로서, 편광판(930), 레진층(950), 터치패널(970) 및 보호필름(990) 중 어느 하나의 측면에 선택적으로 광을 제공하는 부분이다. 이러한 제2광조사부(330b)는 다층구조물(900)의 제2측면(900b)과 대향하도록 배치될 수 있으며, 도면에 도시된 바와 같이 스테이지(310)의 상부에 위치할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.The second
제2광조사부(330b)는 제2광원부(331b), 제2광투과조절부(333b)를 포함할 수 있으며, 제2렌즈부(335b)를 더 포함할 수 있다.The second
제2광원부(331b)는 다층구조물(900)의 제2측면(900b)을 향해 제2색 광을 출사하는 부분으로서, 몇몇 실시예에서 상기 제2색 광은 제1광원부(331b)가 출사하는 상기 제1색 광과는 상이한 색상의 광일 수 있다. 몇몇 실시예에서 제2광원부(331b)는 광을 방출하는 레이저 또는 발광다이오드를 포함할 수 있다.The second
제2광투과조절부(333b)는 제2광원부(331b)에서 방출된 제2색 광의 일부만을 투과시키는 부분이다. 이러한 제2광투과조절부(333b)는 다층구조물(900)의 제2측면(900b)과 제2광원부(331b)의 사이에 위치할 수 있다.The second light
제2광투과조절부(333b)는 제2개구부(H2)를 포함할 수 있으며, 제2개구부(H2)는 다층구조물(900)의 터치패널(970)과 대응하는 부분에 위치할 수 있다. 즉, 제2광원부(331b)에서 출사된 광은 제2광투과조절부(333b)의 제2개구부(H2)를 통과하여 터치패널(970)에 제공될 수 있다.The second light
제2렌즈부(335b)는 제2광투과조절부(333b)와 다층구조물(900)의 제2측면(900b) 사이에 위치할 수 있다. 이외 제2렌즈부(335b)에 대한 구체적 설명은 도1, 도 4 및 도 5의 설명에서 상술한 바와 동일하거나 유사한 바, 생략한다. The
제3광조사부(330c)는, 제1광조사부(330a) 및 제2광조사부(330b)와 유사하게, 다층구조물(900)의 제3측면(900c)에 광을 제공할 수 있으며, 다층구조물(900)의 제3측면(900c)와 대향하도록 배치될 수 있다.The third
제3광조사부(330c)는 제3광원부(331c), 제3광투과조절부(333c)를 포함할 수 있으며, 제3렌즈부(335c)를 더 포함할 수 있다. The third
제3광원부(331c)는 다층구조물(900)의 제3측면(900c)을 향해 제3색 광을 출사하는 부분으로서, 몇몇 실시예에서 상기 제3색 광은 상기 제1색 광 및 상기 제2색 광과는 상이한 색상의 광일 수 있다. 몇몇 실시예에서 제3광원부(331c)는 광을 방출하는 레이저 또는 발광다이오드를 포함할 수 있다.The third
제3광투과조절부(333c)는 제3광원부(331c)에서 방출된 제3색 광의 일부만을 투과시키는 부분이다. 이러한 제3광투과조절부(333c)는 다층구조물(900)의 제3측면(900c)과 제3광원부(331c)의 사이에 위치할 수 있다.The third light
제3광투과조절부(333c)는 제3개구부(H3)를 포함할 수 있으며, 제3개구부(H3)는 다층구조물(900)의 레진층(950)과 대응하는 부분에 위치할 수 있다. 즉, 제3광원부(331c)에서 출사된 광은 제3광투과조절부(333c)의 제3개구부(H3)를 통과하여 레진층(950)에 제공될 수 있다.The third light
제3렌즈부(335c)는 제c광투과조절부(333c)와 다층구조물(900)의 제3측면(900c) 사이에 위치할 수 있다. 이외 제3렌즈부(335c)에 대한 구체적 설명은 도1, 도 4 및 도 5의 설명에서 상술한 바와 동일하거나 유사한 바, 생략한다. The
제4광조사부(330d)는, 다층구조물(900)의 제4측면(900d)에 광을 제공할 수 있으며, 다층구조물(900)의 제4측면(900d)와 대향하도록 배치될 수 있다.The fourth
제4광조사부(330d)는 제4광원부(331d), 제4광투과조절부(333d)를 포함할 수 있으며, 제4렌즈부(335d)를 더 포함할 수 있다.The fourth
제4광원부(331d)는 다층구조물(900)의 제4측면(900d)을 향해 제4색 광을 출사하는 부분으로서, 몇몇 실시예에서 상기 제4색 광은 상기 제1색 광 및 상기 제2색 광과는 상이한 색상의 광일 수 있다. 몇몇 실시예에서 제4광원부(331d)는 광을 방출하는 레이저 또는 발광다이오드를 포함할 수 있다.The fourth
제4광투과조절부(333d)는 제4광원부(331d)에서 방출된 제4색 광의 일부만을 투과시키는 부분이다. 이러한 제4광투과조절부(333d)는 다층구조물(900)의 제4측면(900c)과 제4광원부(331d)의 사이에 위치할 수 있다.The fourth light
제4광투과조절부(333d)는 제4개구부(H4)를 포함할 수 있으며, 제4개구부(H4)는 다층구조물(900)의 편광판(930)과 대응하는 부분에 위치할 수 있다. 즉, 제4광원부(331d)에서 출사된 광은 제4광투과조절부(333d)의 제4개구부(H4)를 통과하여 편광판(930)에 제공될 수 있다.The fourth light
제4렌즈부(335d)는 제4광투과조절부(333d)와 다층구조물(900)의 제4측면(900d) 사이에 위치할 수 있다. 이외 제4렌즈부(335d)에 대한 구체적 설명은 도1, 도 4 및 도 5의 설명에서 상술한 바와 동일하거나 유사한 바, 생략한다. The
촬상부(350)는 각 광조사부(330a, 330b, 330c, 330d)에서 조사된 광이 다층구조물(900) 내에 존재하는 이물에 의해 산란되어 발생하는 광(또는 산란광)을 수광하여 이미지 정보를 획득하는 부분이다. 몇몇 실시예에서 촬상부(350)는 산란광을 수광하여 컬러 이미지 정보(또는 컬러 이미지)를 획득할 수 있으며, 이를 위한 CCD(charge-coupled device) 또는 CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor) 를 포함할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. The
제어부(370)는 촬상부(350)가 획득한 이미지 정보를 기초로 다층구조물(900)의 이물정보를 검출하는 부분이다. 몇몇 실시예에서 제어부(370)는 이미지 정보에 포함된 색상, 채도 또는 명암 중의 적어도 어느 하나의 정보를 기초로 이물정보를 검출할 수 있으며, 특히 색상 정보를 기초로 이물정보를 검출할 수 있다. 또한 제어부(370)에는 다층구조물(900)의 각 층에 제공되는 광의 색상정보가 기 저장되어 있을 수 있으며, 이를 기초로 이물이 어느층에 위치하는지 여부를 판단할 수 있다. 이외 제어부(370)는 검사장치(30)의 전반적 동작을 제어할 수 있으며, 예시적으로 제1광조사부(330a), 제2광조사부(330b), 제3광조사부(330c), 제4광조사부(330d) 각각에 포함된 광원부(331a, 331b, 331c, 331d)의 구동타이밍을 제어할 수 있다.The
도 14 내지 도 16은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사장치의 이물검출과정을 설명하기 위한 도면으로서, 보다 구체적으로 도 14은 다층구조물에 제공되는 광을 상부에서 바라본 평면도, 도 15는 도 14를 Ⅲ- Ⅲ'선을 따라 절단한 단면도, 도 16은 도 14를 Ⅳ- Ⅳ'선을 따라 절단한 단면도이다.14 to 16 are views for explaining a foreign matter detection process of an inspection apparatus according to another embodiment of the present invention, and more specifically, FIG. 14 is a plan view as viewed from the top of light provided to a multilayer structure, and FIG. 15 is 14 is a cross-sectional view taken along line III-III', and FIG. 16 is a cross-sectional view of FIG. 14 taken along line IV-IV'.
도 12 내지 도 16을 참조하여, 다층구조물(900)이 제1이물 내지 제10이물(P1~P10)를 포함하고 있는 경우를 예시로 설명하며, 제1이물 내지 제5이물(P1~P5)는 Ⅲ- Ⅲ'상에 위치하고, 제6이물 내지 제10이물(P6~P10)는 Ⅳ- Ⅳ'상에 위치하는 것으로 가정한다.Referring to FIGS. 12 to 16, a case in which the
검사장치(30)는 제1광원부(331a), 제2광원부(331b), 제3광원부(331c) 및 제4광원부(331d)를 동시에 구동하여 제1색 광(L-C1), 제2색 광(L-C2) 및 제3색 광(L-C3) 및 제4색 광(L-C4)광을 출사시킨다. The
제1색 광(L-C1)은 제1개구부(H1)를 통과하여 제1렌즈부(335a)에 제공되며, 제1렌즈부(335a)를 투과한 제1색 광(L-C1)는 시트광 형태로 변형되어 다층구조물(900)의 제1측면(900a) 방향으로 보호필름(990)의 측면에 입사된다. The first color light L-C1 passes through the first opening H1 and is provided to the
제2색 광(L-C2)은 제2개구부(H2)를 통과하여 제2렌즈부(335b)에 제공되며, 제2렌즈부(335a)를 투과한 제2색 광(L-C1)은 시트광 형태로 변형되어 다층구조물(900)의 제2측면(900b) 방향으로 터치패널(970)의 측면에 입사된다. The second color light L-C2 passes through the second opening H2 and is provided to the
제3색 광(L-C3)은 제3개구부(H3)를 통과하여 제3렌즈부(335c)에 제공되며, 제3렌즈부(335c)를 투과한 제3색 광(L-C3)는 시트광 형태로 변형되어 다층구조물(900)의 제3측면(900c) 방향으로 레진층(950)의 측면에 입사된다. The third color light L-C3 passes through the third opening H3 and is provided to the
또한 제4색 광(L-C4)은 제4개구부(H4)를 통과하여 제4렌즈부(335d)에 제공되며, 제4렌즈부(335d)를 투과한 제4색 광(L-C4)는 시트광 형태로 변형되어 다층구조물(900)의 제4측면(900d) 방향으로 편광판(930)의 측면에 입사된다.In addition, the fourth color light L-C4 passes through the fourth opening H4 and is provided to the
제1색 광(L-C1)은 다층구조물(900) 중 보호필름(990) 내부로 입사하여 제2이물(P2)에 의한 제1색 산란광(L-C1') 및 제7이물(P7)로 인한 제1색 산란광(도면 미도시)를 발생시키게 된다. 또한 제2색 광(L-C2)은 다층구조물(900) 중 터치패널(970) 내부로 입사하여 제3이물(P3)에 의한 제2색 산란광(L-C2') 및 제8이물(P8)로 인한 제2색 산란광(도면 미도시)를 발생시키게 된다. 유사하게 제3색 광(L-C3)은 다층구조물(900) 중 레진층(950) 내부로 입사하여 제4이물(P4)에 의한 제3색 산란광(도면 미도시) 및 제9이물(P9)로 인한 제3색 산란광(L-C3')을 발생시키게 된다. 마찬가지로 제4색 광(L-C4)은 다층구조물(900) 중 편광판(930) 내부로 입사하여 제5이물(P5)에 의한 제4색 산란광(도면 미도시) 및 제10이물(P10)로 인한 제4색 산란광(L-C4')을 발생시키게 된다. The first color light (L-C1) enters the
촬상부(350)는 제1색 산란광(L-C1'), 제2색 산란광(L-C2'), 제3색 산란광(L-C3') 및 제4색 산란광(L-C4')을 수광하여 컬러 이미지 정보를 획득하게 된다. 제어부(370)는 촬상부(350)가 획득한 컬러 이미지 정보를 분석하여 다층구조물(900) 내의 이물존재여부를 판단하게 된다. .The
예시적으로 제1색 광(L-C1)이 적색광, 제2색 광(L-C2)이 녹색광, 제3색 광(L-C3)이 청색광, 제4색 광(L-C4)이 황색광인 경우, 상기 컬러 이미지 정보 내에는 제2이물(P2) 및 제7이물(P7)과 대응하는 부분이 적색 점으로 표시될 수 있다. 그리고 제3이물(P3) 및 제8이물(P8)과 대응하는 부분은 녹색점으로 표시될 수 있으며, 제4이물(P4) 및 제9이물(P9)와 대응하는 부분은 청색점으로 표시될 수 있고, 제5이물(P5) 및 제10이물(P10)과 대응하는 부분은 황색점으로 표시될 수 있다. 제어부(370)는 컬러 이미지 정보의 색상 분석을 통해 제2이물(P2), 제3이물(P3), 제4이물(P4) 및 제5이물(P5), 제7이물(P7), 제8이물(P8), 제9이물(P9) 및 제10이물(P10)의 존재여부를 검출할 수 있다. 또한 제어부(370)는 기 저장된 각 층에 제공되는 광의 색상정보를 기초로 각 이물들(P2, P3, P4, P5, P7, P8, P9, P10)이 어느층에 위치하는지 여부를 검출할 수 있다. Exemplarily, the first color light (L-C1) is red light, the second color light (L-C2) is green light, the third color light (L-C3) is blue light, and the fourth color light (L-C4) is yellow. In the case of light, portions corresponding to the second foreign material P2 and the seventh foreign material P7 may be displayed as red dots in the color image information. In addition, a portion corresponding to the third foreign body P3 and the eighth foreign body P8 may be indicated by a green dot, and the portion corresponding to the fourth foreign body P4 and the ninth foreign body P9 may be indicated by a blue dot. In addition, portions corresponding to the fifth foreign body P5 and the tenth foreign body P10 may be indicated by yellow dots. The
즉, 제어부(370)는 이물들(P2, P3, P4, P5, P7, P8, P9, P10) 각각의 존재여부 및 위치를 검출할 수 있는 바, 다층구조물(900)내에 실제 불량이 존재하는지 여부를 한번의 검사과정을 통해 검출할 수 있다.That is, the
예시적으로 제1이물(P1), 제2이물(P2), 제6이물(P6) 및 제7이물(P7)은 보호필름(990) 박리시 제거될 수 있는 바, 제어부(370)는 제2이물(P2) 또는 제7이물(P7)이 존재하더라도, 이를 이물불량으로 판단하지 않을 수 있으며, 이외 제3이물(P3), 제4이물(P4), 제5이물(P5), 제8이물(P8), 제9이물(P9) 및 제10이물(P10)이 존재하는 경우, 이를 이물불량으로 판단할 수 있다.Exemplarily, the first foreign material P1, the second foreign material P2, the sixth foreign material P6, and the seventh foreign material P7 may be removed when the
본 발명에 따르면, 다층구조물(900) 내의 이물존재여부 뿐만 아니라 이물의 위치도 검출할 수 있게 되어, 다층구조물(900)에 실제 이물불량이 존재하는지 여부 및 다층구조물(900) 내의 이물의 위치를 정확히 검출할 수 있는 이점이 존재한다. 또한 한번의 검사과정을 통해 다층구조물(900)내의 이물불량여부를 판단할 수 있는 바, 검사시간을 단축할 수 있는 이점이 추가적으로 존재한다.According to the present invention, it is possible to detect not only the presence of foreign matters in the
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 제조될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.Although the embodiments of the present invention have been described with reference to the accompanying drawings, the present invention is not limited to the above embodiments, but may be manufactured in various different forms, and those skilled in the art to which the present invention pertains. It will be understood that the present invention can be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not limiting.
10, 20, 30: 검사장치
110, 210, 310: 스테이지
130, 230, 330a: 제1광조사부
130', 230', 330b: 제2광조사부
330c, 330d: 제3광조사부, 제4광조사부
150, 250, 350: 촬상부
170, 270, 370: 제어부
900: 다층구조물
910: 표시패널
930: 편광판
950: 레진층
970: 터치패널
990: 보호필름10, 20, 30: inspection device
110, 210, 310: stage
130, 230, 330a: first light irradiation unit
130', 230', 330b: second light irradiation unit
330c, 330d: third light irradiation unit, fourth light irradiation unit
150, 250, 350: imaging unit
170, 270, 370: control unit
900: multi-layered structure
910: display panel
930: polarizer
950: resin layer
970: touch panel
990: protective film
Claims (20)
상기 다층구조물의 제1측면과 대향하고, 상기 제1층의 측면에 제1색 광을 제공하고 상기 제2층의 측면에 제2색 광을 제공하는 제1광조사부;
상기 스테이지 상부에 위치하고, 상기 제1색 광 및 상기 제2색 광에 의해 발생한 산란광을 수광하여 상기 다층구조물의 이미지 정보를 획득하는 촬상부; 및
상기 이미지 정보를 기초로 상기 다층구조물의 이물정보를 검출하는 제어부; 를 포함하는 검사장치. A stage on which a multilayer structure including a first layer and a second layer is mounted on an upper surface;
A first light irradiation unit facing a first side surface of the multilayer structure, providing a first color light to a side surface of the first layer, and providing a second color light to a side surface of the second layer;
An imaging unit located on the stage and configured to receive image information of the multilayer structure by receiving the first color light and the scattered light generated by the second color light; And
A control unit for detecting foreign material information of the multilayer structure based on the image information; Inspection device comprising a.
상기 제1광조사부는,
상기 다층구조물의 제1측면을 향해 광을 출사하는 제1광원부;
상기 제1광원부와 상기 다층구조물의 제1측면 사이에 위치하고, 상기 제1광원부에서 출사된 광을 상기 제1색 광으로 변환하는 제1광변환부재 및 상기 제1광원부에서 출사된 광을 상기 제2색 광으로 변환하는 제2광변환부재를 포함하는 제1광변환부;
를 포함하는 검사장치. The method of claim 7,
The first light irradiation unit,
A first light source unit for emitting light toward a first side of the multilayer structure;
A first light conversion member located between the first light source part and the first side surface of the multilayer structure, converting the light emitted from the first light source part into the first color light, and the light emitted from the first light source part A first light conversion unit including a second light conversion member for converting light into two colors;
Inspection device comprising a.
상기 제1광변환부재는, 제1색필터이고,
상기 제2광변환부재는, 상기 제1색필터와는 상이한 색상의 제2색필터인 검사장치. The method of claim 8,
The first light conversion member is a first color filter,
The second light conversion member is a second color filter having a different color from the first color filter.
상기 제1광원부는, 백색광을 출사하는 검사장치. The method of claim 8,
The first light source unit is an inspection device for emitting white light.
상기 다층구조물은 제3층을 더 포함하고,
상기 제1광변환부는,
상기 제1광원부에서 출사된 광을 상기 제3층의 측면에 제공되는 제3색 광으로 변환하는 제3광변환부재를 더 포함하고,
상기 제3색 광의 색상은, 상기 제1색 광 및 상기 제2색 광의 색상과는 상이한 검사장치. The method of claim 8,
The multilayer structure further includes a third layer,
The first light conversion unit,
Further comprising a third light conversion member for converting the light emitted from the first light source to the third color light provided on the side of the third layer,
The color of the third color light is different from the color of the first color light and the second color light.
상기 제1광변환부와 상기 다층구조물의 제1측면 사이에 위치하고 상기 제1광변환부에서 변환된 상기 제1색 광 또는 상기 제2색 광을 시트광 형태로 변환하는 제1렌즈부를 더 포함하는 검사장치. The method of claim 8,
Further comprising a first lens unit located between the first light conversion unit and the first side surface of the multilayer structure and converting the first color light or the second color light converted by the first light conversion unit into a sheet light form Inspection device.
상기 다층구조물의 제1측면과 대향하고 상기 제1층의 측면에 제1색 광을 제공하는 제1광조사부;
상기 다층구조물의 제2측면과 대향하고 상기 제2층의 측면에 제2색 광을 제공하는 제2광조사부;
상기 스테이지 상부에 위치하고, 상기 제1색 광 및 상기 제2색 광 중 적어도 어느 하나에 의해 발생한 산란광을 수광하여 상기 다층구조물의 이미지 정보를 획득하는 촬상부; 및
상기 이미지 정보를 기초로 상기 다층구조물의 이물정보를 검출하는 제어부;
를 포함하는 검사장치. A stage on which a multilayer structure including a first layer and a second layer is mounted on an upper surface;
A first light irradiation unit facing the first side surface of the multilayer structure and providing a first color light to the side surface of the first layer;
A second light irradiation unit facing the second side surface of the multilayer structure and providing a second color light to the side surface of the second layer;
An image pickup unit positioned above the stage and receiving scattered light generated by at least one of the first color light and the second color light to obtain image information of the multilayer structure; And
A control unit for detecting foreign material information of the multilayer structure based on the image information;
Inspection device comprising a.
상기 제1광조사부는,
상기 다층구조물의 제1측면을 향해 제1색 광을 출사하는 제1광원부;
상기 제1층과 대응하는 제1개구부를 포함하는 제1광투과조절부;
를 포함하는 검사장치. The method of claim 13,
The first light irradiation unit,
A first light source unit for emitting a first color light toward a first side of the multilayer structure;
A first light transmission control unit including a first opening corresponding to the first layer;
Inspection device comprising a.
상기 제1광조사부는,
상기 제1광투과조절부와 상기 다층구조물의 제1측면 사이에 위치하고 상기 제1광투과조절부를 투과한 제1색 광을 시트광 형태로 변환하는 제1렌즈부를 더 포함하는 검사장치. The method of claim 14,
The first light irradiation unit,
An inspection apparatus further comprising a first lens unit positioned between the first light transmission control unit and the first side surface of the multilayer structure and converts the first color light transmitted through the first light transmission control unit into a sheet light form.
상기 제2광조사부는,
상기 다층구조물의 제2측면을 향해 제2색 광을 출사하는 제2광원부;
상기 제2층과 대응하는 제2개구부를 포함하는 제2광투과조절부;
를 포함하는 검사장치. The method of claim 14,
The second light irradiation unit,
A second light source unit emitting second color light toward a second side of the multilayer structure;
A second light transmission control unit including a second opening corresponding to the second layer;
Inspection device comprising a.
상기 제2광조사부는,
상기 제2광투과조절부와 상기 다층구조물의 제2측면 사이에 위치하고 상기 제2광투과조절부를 투과한 제2색 광을 시트광 형태로 변환하는 제2렌즈부를 더 포함하는 검사장치. The method of claim 16,
The second light irradiation unit,
The inspection apparatus further comprising a second lens unit positioned between the second light transmission control unit and the second side surface of the multilayer structure and converts the second color light transmitted through the second light transmission control unit into a sheet light form.
상기 제1광조사부 및 상기 제2광조사부는,
상기 제어부에 의해 상기 다층구조물에 상기 제1색 광 및 상기 제2색 광을 동시에 제공하도록 제어되는 검사장치.The method of claim 13,
The first light irradiation unit and the second light irradiation unit,
An inspection apparatus controlled to simultaneously provide the first color light and the second color light to the multilayer structure by the control unit.
상기 제1색 광의 색상과 상기 제2색 광의 색상은 서로 상이한 검사장치. The method of claim 13,
The first color light color and the second color light color is different from each other.
상기 다층구조물은 제3층을 더 포함하고,
상기 다층구조물의 제3측면과 대향하고 상기 제3층의 측면에 상기 제1색 광 및 상기 제2색 광과는 상이한 색상의 제3색 광을 제공하는 제3광조사부; 를 더 포함하는 검사장치. The method of claim 13,
The multilayer structure further includes a third layer,
A third light irradiation unit facing the third side surface of the multilayer structure and providing a third color light having a color different from the first color light and the second color light to the side surface of the third layer; Inspection device further comprising a.
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