KR100896199B1 - Apparatus for inspecting optical film - Google Patents

Apparatus for inspecting optical film Download PDF

Info

Publication number
KR100896199B1
KR100896199B1 KR1020080012063A KR20080012063A KR100896199B1 KR 100896199 B1 KR100896199 B1 KR 100896199B1 KR 1020080012063 A KR1020080012063 A KR 1020080012063A KR 20080012063 A KR20080012063 A KR 20080012063A KR 100896199 B1 KR100896199 B1 KR 100896199B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
optical film
planes
unit
support part
inspection apparatus
Prior art date
Application number
KR1020080012063A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
박창언
백진태
김경덕
Original Assignee
주식회사 쓰리비 시스템
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 쓰리비 시스템 filed Critical 주식회사 쓰리비 시스템
Priority to KR1020080012063A priority Critical patent/KR100896199B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100896199B1 publication Critical patent/KR100896199B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
    • H01L21/68728—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a plurality of separate clamping members, e.g. clamping fingers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B41/00—Arrangements for controlling or monitoring lamination processes; Safety arrangements
    • B32B2041/06—Starting the lamination machine or method

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

본 발명은 광학필름 검사장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 광학필름 검사장치는 광학필름의 불량요소를 검출하기 위한 광학필름 검사장치에 있어서, 서로 마주보며 이격되게 형성된 한 쌍의 평면과, 상기 광학필름에 공기를 분사하기 위해 상기 평면들에 각각 형성된 복수의 분사구를 구비하며, 상기 광학필름을 평평하게 유지시키기 위하여 상기 평면들 사이로 유입된 광학필름에 공기를 분사하면서 그 광학필름을 클램핑하기 위한 클램핑유닛;과, 상기 클램핑유닛에 의해 클램핑된 광학필름의 불량요소를 촬상하기 위한 촬상유닛; 및 상기 평면들 사이로 유입되는 광학필름의 두께에 따라 상기 평면들의 사이 간격을 가변시키는 간격조절유닛;을 포함하는 것을 것을 특징으로 한다.The present invention relates to an optical film inspection apparatus, and an optical film inspection apparatus according to the present invention is an optical film inspection apparatus for detecting defective elements of an optical film, the pair of planes facing each other and spaced apart from each other, the optical A plurality of nozzles respectively formed in the planes for injecting air into the film, and clamping for clamping the optical film while injecting air into the optical film introduced between the planes to keep the optical film flat An image pickup unit for picking up a defective element of the optical film clamped by the clamping unit; And a spacing control unit for varying the spacing between the planes according to the thickness of the optical film introduced between the planes.

Description

광학필름 검사장치{Apparatus for inspecting optical film}Apparatus for inspecting optical film

본 발명은 광학필름 검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 광학필름의 두께에 따라 클램핑유닛의 상부패드와 하부패드의 간격이 조절되도록 함으로써, 다양한 두께의 광학필름이 공급되는 경우에도 광학필름에 가해지는 클램핑 압력을 균일하게 유지할 수 있는 광학필름 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to an optical film inspection apparatus, and more specifically, by adjusting the distance between the upper pad and the lower pad of the clamping unit according to the thickness of the optical film, even if the optical film of various thickness is supplied to the optical film The present invention relates to an optical film inspection apparatus capable of maintaining a uniform clamping pressure.

평판 디스플레이 산업에 주로 사용되는 광학필름은 제조 공정 또는 취급 과정에서 불량요소가 발생하게 되며, 광학필름의 불량요소는 LCD 패널이나 PDP 모듈의 불량을 유발하는 주요 원인이 된다. 불량인 광학필름의 유출을 방지하기 위해 광학필름 제조사들은 검사 공정을 운영하고 있으며, 작업자의 육안 검사 및 기술의 발전으로 비전을 이용한 자동검사장치 사용을 병행하고 있다.The optical film mainly used in the flat panel display industry generates defects in the manufacturing process or handling process, and the defects in the optical film are the main causes of the defects in the LCD panel or the PDP module. In order to prevent the leakage of defective optical film, optical film manufacturers are operating an inspection process, and the use of automatic inspection equipment using vision is performed by visual inspection of the worker and development of technology.

광학필름의 검사에서는 광학필름의 제조 공정에서 발생할 수 있는 다양한 불량요소를 검출할 수 있는 것이 무엇보다도 중요하다. 다양한 불량요소에 대응하기 위해서, 불량요소의 종류에 따라 조명과 카메라의 배치를 다르게 하거나 불량요소의 영상 획득을 위한 광학계 수량을 변경하는 등의 다양한 영상 획득 방법을 이용한다.In the inspection of the optical film, it is important to be able to detect various defects that may occur in the manufacturing process of the optical film. In order to cope with various defective elements, various image acquisition methods are used, such as different arrangements of lighting and cameras according to the types of defective elements, or the quantity of optical systems for image acquisition of defective elements.

시트 상태의 광학필름을 순차적으로 검사장비에 투입하면 컨베이어, 롤 등에 의해 광학필름이 이송되며, 이송 도중 복수 개의 광학계를 통과하면서 각 광학계가 전담하고 있는 광학필름의 일정 부분이 포함하고 있는 불량요소의 영상을 획득하게 된다. 상기 불량요소의 영상 획득을 위하여 광학 필름의 네 모서리를 클램핑 수단을 이용하여 1~2 mm 잡은 후 일정한 압력으로 당겨주는 장치를 개발하여 사용하고 있다. 그러나, 종래 기술에 따른 광학필름 검사장치는, 광학필름을 고정하고 검사를 위해 평평하게 유지하는데 소요되는 시간이 길어지는 문제점이 있다. 즉, 클램핑 수단을 이용하여 광학필름의 네 모서리를 동시에 클램핑하고 클램핑된 광학필름을 동시에 바깥쪽으로 당긴 상태에서 광학필름 및 클램핑 수단이 동시에 이동하는 일련의 공정에 소요되는 시간이 20초 길게는 60초까지 소요되어 전체 검사 공정 시간이 늘어나게 되는 문제점이 있다.When the optical film in the sheet state is sequentially input to the inspection equipment, the optical film is transferred by a conveyor, a roll, etc., while passing a plurality of optical systems during the transfer, and a portion of the defective optical film that is dedicated to each optical system is included. The image is acquired. In order to acquire an image of the defective element, the four edges of the optical film are held by using a clamping means, and then, a device that pulls at a constant pressure has been developed and used. However, the optical film inspection apparatus according to the prior art has a problem in that it takes a long time to fix the optical film and keep it flat for inspection. That is, the time required for a series of processes in which the optical film and the clamping means simultaneously move while simultaneously clamping the four corners of the optical film using the clamping means and pull the clamped optical film outward at the same time is 60 seconds or 60 seconds. There is a problem that it takes until the entire inspection process time is increased.

또한, 클램핑 수단의 조립 상태 및 가공 상태에 따라 영상 획득 조건이 변하는 문제점이 있으며, 검사 대상이 되는 광학필름의 종류에 따라 클램핑 수단의 위치, 클램핑 수단의 압력, 클램핑 수단 간의 간격, 사용하는 공압 배관, 광학필름을 클램핑한 후 당기는 거리 등의 조건을 모두 재설정해야 하는 문제점이 있다.In addition, there is a problem that the image acquisition conditions change depending on the assembly state and the processing state of the clamping means, the position of the clamping means, the pressure of the clamping means, the distance between the clamping means, the pneumatic piping used according to the type of optical film to be inspected There is a problem in that all conditions such as a pulling distance after clamping the optical film must be reset.

따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 광학필름의 모서리 부위를 직접 접촉하지 않고 광학필름의 상하면에 공기를 분사하면서 광학필름을 클램핑함으로써, 광학필름의 불량요소 여부를 검사하는데 소요되는 시간을 절감할 수 있는 광학필름 검사장치를 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to solve such a conventional problem, by clamping the optical film while injecting air to the upper and lower surfaces of the optical film without directly contacting the edge portion of the optical film, to determine whether the optical film is a defective element It is to provide an optical film inspection apparatus that can reduce the time required for inspection.

또한, 검사되는 광학필름의 두께에 따라 클램핑유닛의 상부패드와 하부패드의 간격을 조절하여 클램핑유닛의 분사구와 광학필름의 표면이 일정한 간격으로 유지되게 함으로써, 광학필름의 클램핑시 공기에 의해 가해지는 압력을 균일하게 유지할 수 있는 광학필름 검사장치를 제공함에 있다.In addition, by adjusting the distance between the upper pad and the lower pad of the clamping unit according to the thickness of the optical film to be inspected to maintain the surface of the injection port of the clamping unit and the optical film at a constant interval, which is applied by air during clamping of the optical film An optical film inspection apparatus capable of maintaining a uniform pressure is provided.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 광학필름 검사장치는, 광학필름의 불량요소를 검출하기 위한 광학필름 검사장치에 있어서, 서로 마주보며 이격되게 형성된 한 쌍의 평면과, 상기 광학필름에 공기를 분사하기 위해 상기 평면들에 각각 형성된 복수의 분사구를 구비하며, 상기 광학필름을 평평하게 유지시키기 위하여 상기 평면들 사이로 유입된 광학필름에 공기를 분사하면서 그 광학필름을 클램핑하기 위한 클램핑유닛;과, 상기 클램핑유닛에 의해 클램핑된 광학필름의 불량요소를 촬상하기 위한 촬상유닛; 및 상기 평면들 사이로 유입되는 광학필름의 두께에 따라 상기 평면들의 사이 간격을 가변시키는 간격조절유닛;을 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the optical film inspection apparatus of the present invention, in the optical film inspection apparatus for detecting a defective element of the optical film, a pair of planes facing each other and spaced apart from each other, the air in the optical film A clamping unit having a plurality of injection holes respectively formed in the planes for injecting, and clamping the optical film while injecting air into the optical film introduced between the planes to keep the optical film flat; and And an imaging unit for photographing a defective element of the optical film clamped by the clamping unit; And a gap adjusting unit for varying a gap between the planes according to the thickness of the optical film introduced between the planes.

본 발명에 따른 광학필름 검사장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 간격조절유닛은 상기 한쌍의 평면들 중 상부의 평면에 고정되는 제1지지부와, 상기 평면들 중 하부의 평면에 고정되는 제2지지부 및, 상기 제1지지부가 수직방향으로 승강하도록 구동력을 제공하는 구동부를 포함한다.In the optical film inspection apparatus according to the present invention, preferably, the gap adjusting unit may include a first support part fixed to an upper plane of the pair of planes, and a second support part fixed to a lower plane of the planes. And a driving unit providing a driving force to move the first supporting unit in the vertical direction.

본 발명에 따른 광학필름 검사장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 간격조절유닛은 상기 한쌍의 평면들 중 상부의 평면에 고정되는 제1지지부와, 상기 평면들 중 하부의 평면에 고정되는 제2지지부 및, 상기 제1지지부를 수직방향으로 이동시키는 마이크로미터를 포함한다.In the optical film inspection apparatus according to the present invention, preferably, the gap adjusting unit may include a first support part fixed to an upper plane of the pair of planes, and a second support part fixed to a lower plane of the planes. And a micrometer for moving the first support in the vertical direction.

본 발명에 따른 광학필름 검사장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 간격조절유닛은 상기 제2지지부에 설치되어 상기 제1지지부의 수직이동을 안내하는 직선운동 가이드부를 더 포함한다.In the optical film inspection apparatus according to the present invention, preferably, the gap adjusting unit further includes a linear motion guide part installed in the second support part to guide the vertical movement of the first support part.

본 발명에 따른 광학필름 검사장치에 있어서, 바람직하게는, 상기 한 쌍의 평면으로 유입되는 광학필름의 두께를 측정하는 두께감지 센서부를 더 포함한다.In the optical film inspection apparatus according to the present invention, preferably, further comprising a thickness sensor for measuring the thickness of the optical film flowing into the pair of planes.

본 발명에 따르면, 광학필름의 모서리 부위를 직접 접촉하여 광학필름을 클램핑하지 않고 광학필름을 일 방향으로 이송하는 과정에서 광학필름의 상하면에 공기를 분사하면서 그 광학필름을 클램핑함으로써, 광학필름의 이미지 획득에 소요되는 시간을 현저히 절감할 수 있는 광학필름 검사장치가 제공된다.According to the present invention, in the process of transferring the optical film in one direction without clamping the optical film by directly contacting the edge portion of the optical film, by clamping the optical film while injecting air to the upper and lower surfaces of the optical film, the image of the optical film There is provided an optical film inspection apparatus that can significantly reduce the time required for acquisition.

또한, 검사되는 광학필름의 두께에 따라 클램핑유닛의 상부패드와 하부패드의 간격을 조절하여 클램핑유닛의 분사구와 광학필름의 표면이 일정한 간격으로 유 지되게 함으로써, 광학필름의 클램핑시 공기에 의해 가해지는 압력을 균일하게 유지할 수 있는 광학필름 검사장치가 제공된다.In addition, by adjusting the distance between the upper pad and the lower pad of the clamping unit in accordance with the thickness of the optical film to be inspected to maintain the injection port of the clamping unit and the surface of the optical film at regular intervals, it is applied by air during clamping of the optical film There is provided an optical film inspection apparatus capable of maintaining a uniform pressure.

이하, 본 발명에 따른 광학필름 검사장치의 바람직한 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the optical film inspection apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학필름 검사장치의 개략적인 정면도이고, 도 2는 본 발명 광학 필름 검사장치의 간격조절유닛을 나타낸 정면도이고, 도 3은 본 발명 광학 필름 검사장치의 간격조절유닛의 발췌사시도이고, 도 4는 본 발명 광학필름 검사장치의 간격조절유닛의 분해사시도이다.1 is a schematic front view of an optical film inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a front view showing a gap adjusting unit of the optical film inspection device of the present invention, Figure 3 is a gap of the optical film inspection device of the present invention Figure 4 is an exploded perspective view of the adjusting unit, Figure 4 is an exploded perspective view of the gap adjusting unit of the optical film inspection device of the present invention.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 실시예의 광학필름 검사장치(100)는, 광학필름(1)의 상하면을 향해 공기를 분사하면서 그 광학필름(1)을 클램핑하며, 광학필름(1)의 두께가 변경되더라도 광학필름(1)의 공기를 분사하는 분사구가 일정한 간격을 유지할 수 있는 것으로서, 클램핑유닛과 조명유닛과, 촬상유닛과, 간격조절유닛과, 두께감지 센서부를 포함한다.1 to 4, the optical film inspection apparatus 100 of the present embodiment clamps the optical film 1 while injecting air toward the upper and lower surfaces of the optical film 1, Even if the thickness is changed, the injection holes for injecting air of the optical film 1 can maintain a constant interval, and includes a clamping unit, an illumination unit, an imaging unit, an interval adjusting unit, and a thickness sensor.

상기 광학필름 검사장치(100)는, 아직 검사되지 않은 광학필름(1)을 장치 내측으로 이송하는 공급 컨베이어(10)와, 공급 컨베이어(10)로부터 공급받은 광학필름(1)과 접촉하여 광학필름(1)에 직선운동력을 전달하는 공급 롤러(12)를 포함한다. 또한, 광학필름 검사장치(100)는, 검사가 완료된 광학필름(1)과 접촉하여 광학필름(1)에 직선운동력을 전달하는 배출 롤러(22)와, 배출 롤러(22)로부터 배출된 광학필름(1)을 장치 외측으로 이송하는 배출 컨베이어(20)를 포함한다.The optical film inspection device 100 is in contact with the optical film 1 supplied from the supply conveyor 10 and the supply conveyor 10 for conveying the optical film 1 that has not been inspected to the inside of the device, the optical film And a feed roller 12 for transmitting the linear motion force to (1). In addition, the optical film inspection apparatus 100 is in contact with the optical film 1, the inspection of the discharge roller 22 for transmitting a linear movement force to the optical film 1, and the optical film discharged from the discharge roller 22 And a discharge conveyor 20 for conveying (1) to the outside of the apparatus.

상기 클램핑유닛은, 서로 마주보며 이격되게 형성된 한 쌍의 평면들 사이로 유입된 광학필름(1)의 상면 및 하면에 공기를 분사하면서 그 광학필름(1)을 평평하게 클램핑할 수 있는 것으로서, 제1클램프(110)와, 제2클램프(120)와, 제1수평이동수단과, 제2수평이동수단과, 제1승강수단과, 제2승강수단을 포함한다.The clamping unit may flatly clamp the optical film 1 while injecting air into the upper and lower surfaces of the optical film 1 introduced between the pair of planes facing each other and spaced apart from each other. And a clamp 110, a second clamp 120, a first horizontal moving means, a second horizontal moving means, a first lifting means, and a second lifting means.

상기 제1클램프(110)는, 광학필름(1)의 이송방향(A)을 따라 공급 롤러(12)로부터 이격되게 설치되며, 서로 마주보며 이격되게 형성된 한 쌍의 제1평면(113)과, 광학필름(1)에 공기를 분사하기 위해 제1평면들(113)에 각각 형성된 복수의 분사구(114)와, 하면이 제1평면(113)들 중 하나의 평면이고 그 내부에는 분사구(114)에 연결된 유로가 형성된 상부 패드(111)와, 상면이 제1평면(113)들 중 다른 하나의 평면이고 그 내부에는 분사구(114)에 연결된 유로가 형성된 하부 패드(112)를 포함한다.The first clamp 110 is provided to be spaced apart from the supply roller 12 along the conveying direction (A) of the optical film 1, a pair of first plane 113 formed to face each other and, In order to inject air into the optical film 1, a plurality of jet holes 114 formed in the first planes 113, respectively, and a lower surface thereof is one plane of the first planes 113, and an injection hole 114 is formed therein. An upper pad 111 having a flow path connected to the upper surface 111 includes a lower pad 112 having an upper surface formed on the other one of the first planes 113 and having a flow path connected to the injection hole 114 therein.

상기 제2클램프(120)는, 광학필름(1)의 이송방향(A)을 따라 제1클램프(110)로부터 이격되게 설치되며, 서로 마주보며 이격되게 형성된 한 쌍의 제2평면(123)과, 광학필름(1)에 공기를 분사하기 위해 제2평면들(123)에 각각 형성된 복수의 분사구(124)와, 하면이 제2평면(123)들 중 하나의 평면이고 그 내부에는 분사구(124)에 연결된 유로가 형성된 상부 패드(121)와, 상면이 제2평면(123)들 중 다른 하나의 평면이고 그 내부에는 분사구(124)에 연결된 유로가 형성된 하부 패드(122)를 포함한다.The second clamp 120 is installed to be spaced apart from the first clamp 110 along the transport direction A of the optical film 1, and a pair of second flat surfaces 123 facing each other and spaced apart from each other. In order to inject air into the optical film 1, a plurality of injection holes 124 are formed in the second planes 123, and a lower surface thereof is one plane of the second planes 123, and an injection hole 124 is formed therein. The upper pad 121 has a flow path connected to the bottom surface), and an upper surface of the second plane 123 includes a lower pad 122 having a flow path connected to the jet hole 124.

상기 조명유닛(131)은, 광학필름(1)에 광을 조사하기 위한 것으로서, 본 실시예에서는 광학필름(1)의 상면의 상측에 설치되어 광학필름(1) 측으로 일정 각도 경사진 광을 조사한다. 본 실시예에 있어서, 조명유닛(131)은 발광 다이오드(LED) 또는 메탈 할라이드(metal hallide) 램프를 포함한다.The illumination unit 131 is for irradiating light to the optical film 1, in this embodiment is installed on the upper side of the upper surface of the optical film 1 to irradiate the light inclined at a certain angle toward the optical film 1 side. do. In the present embodiment, the lighting unit 131 includes a light emitting diode (LED) or a metal hallide lamp.

상기 촬상유닛(132)은, 광학필름(1)으로부터 반사되는 광을 수광하여 광학필름(1)의 불량요소를 촬상하기 위한 것으로서, 광학필름(1)의 폭방향으로 일정 간격 이격되게 복수 개가 배치된다. 본 실시예에 있어서, 촬상유닛(132)은 에어리어스캔(area scan) 카메라를 포함하지만, 단일의 촬상유닛이 설치되는 경우 라인스캔(line scan) 카메라를 포함할 수도 있다.The imaging unit 132 is for receiving the light reflected from the optical film 1 to capture the defective element of the optical film 1, a plurality of the spaced apart at regular intervals in the width direction of the optical film (1) do. In the present embodiment, the imaging unit 132 includes an area scan camera, but may include a line scan camera when a single imaging unit is installed.

상기 간격조절유닛(160)은 제1평면(113)들 또는 제2평면(123)들 사이로 유입된 광학필름(1)의 두께에 따라 제1평면(113)들 또는 제2평면(123)들의 사이 간격을 조절하기 위한 것으로서, 제1,제2클램프(110,120)의 The gap adjusting unit 160 may include the first planes 113 or the second planes 123 according to the thickness of the optical film 1 introduced between the first planes 113 or the second planes 123. As to adjust the interval between, the first and second clamps (110,120)

상부패드(111,121)에 고정되는 제1지지부(161)와, 하부패드(112,122)에 고정되는 제2지지부(162)와, 상기 제2지지부(162)로부터 제1지지부(161)가 수직방향으로 이동되도록 하는 직선운동 가이드부(163)와, 상기 제2지지부(162)가 수직방향으로 승강할 수 있도록 구동력을 제공하는 구동부(164)를 포함한다.The first support part 161 fixed to the upper pads 111 and 121, the second support part 162 fixed to the lower pads 112 and 122, and the first support part 161 from the second support part 162 in the vertical direction. It includes a linear motion guide portion 163 to be moved, and a drive unit 164 for providing a driving force to the elevating in the vertical direction the second support portion 162.

상기 제1지지부(161)는 상기 상부패드(111,121)의 일단부에 고정되는 것이고, 상기 제2지지부(162)는 상기 하부패드(112,122)의 일단부에 고정되는 것으로서, 상기 제1,제2지지부(161,162)는 일부가 서로 수평방향으로 나란하게 배치된다. The first support part 161 is fixed to one end of the upper pads 111 and 121, and the second support part 162 is fixed to one end of the lower pads 112 and 122. The support parts 161 and 162 are partially arranged side by side in the horizontal direction.

상기 직선운동 가이드부(163)는 레일과 레일상에서 슬라이딩하는 블럭으로 구성되는 LM가이드가 적용되는 것으로서, 제2지지부(162)에 LM가이드의 레일이 고정되고, 제1지지부(161)에 상기 레일상에서 슬라이딩하는 블럭이 고정되어 상기 제 2지지부(161)가 제2지지부(162)상에서 수직방향으로 이동할 수 있게 된다.The linear motion guide portion 163 is applied to the LM guide consisting of a rail and a block sliding on the rail, the rail of the LM guide is fixed to the second support portion 162, the rail to the first support portion 161 The block sliding on the top is fixed so that the second support 161 can move in the vertical direction on the second support 162.

상기 구동부(164)는 상기 제2지지부(162)에 수직방향으로 이동가능하게 설치된 제1지지부(161)에 구동력을 제공하여 제1지지부(161)를 수직방향으로 이동시키는 것으로서, 본 실시예에서는 구동부(164)로 리니어모터가 적용된 것을 예로 들었으나 이에 한정하는 것은 아니며, 구동모터에 의해 회전하는 볼스크류가 제2지지부(162)에 회전가능하게 설치되고, 상기 볼스크류상에서 볼스크류의 회전에 의해 축방향으로 이동하는 볼너트(162)가 상기 제1지지부(161)에 고정설치되는 것이나, 상기 제2지지부(162)에 설치되어 구동모터에 의해 회전하는 구동풀리와, 종동풀리에 감겨지는 벨트의 일단이 상기 제1지지부(161)에 고정되는 것 등, 제2지지부(162)로부터 제1지지부(161)를 수직방향으로 이동시키기 위하여 구동력을 제공하기 위한 다양한 방법들이 적용될 수도 있을 것이다.The driving part 164 provides a driving force to the first support part 161 provided to be movable in the vertical direction to the second support part 162 to move the first support part 161 in the vertical direction. Although the linear motor is applied to the driving unit 164 as an example, the present invention is not limited thereto. A ball screw that is rotated by the driving motor is rotatably installed on the second support unit 162, and the ball screw is rotated on the ball screw. The ball nut 162 moving in the axial direction is fixedly installed on the first support portion 161, or is installed on the second support portion 162 and wound around the drive pulley and the driven pulley rotated by the drive motor. Various methods may be applied to provide a driving force to move the first support 161 in the vertical direction from the second support 162, such as one end of the belt fixed to the first support 161. will be.

아울러, 상기 구동부(164)로는 제2지지부(162)측에 마이크로미터가 설치되어 장치의 운용자가 수동으로 마이크로미터를 조작하여 제2지지부(162)로부터 제1지지부(161)가 승강되도록 하는 구성으로도 이루어질 수 있을 것이다.In addition, the driver 164 is a micrometer is installed on the side of the second support 162, the operator of the device to operate the micrometer manually so that the first support 161 is lifted from the second support 162. It can also be done.

상기 두께감지 센서부(170)는 상기 클램핑유닛의 상류측에 설치되어 제1클램프(110)의 제1평면(113)들 사이로 유입되는 광학필름(1)의 두께를 측정하는 것으로서, 접촉식 또는 비접촉식 센서가 적용되며, 이러한 광학필름(1)의 두께를 측정하기 위한 접촉식 또는 비접촉식 센서는 당업자에게 이미 공지된 사항이므로 상세한 설명은 생략한다. The thickness sensor 170 is installed on the upstream side of the clamping unit to measure the thickness of the optical film 1 introduced between the first plane 113 of the first clamp 110, the contact type or Non-contact sensor is applied, the contact or non-contact sensor for measuring the thickness of the optical film 1 is already known to those skilled in the art, detailed description thereof will be omitted.

이하, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 광학필름 검사장치(100)의 작동원리에 대하여, 도 1 내지 도 6을 참조하면서 개략적으로 설명하기로 한다.Hereinafter, the operation principle of the optical film inspection apparatus 100 according to the present embodiment configured as described above will be described schematically with reference to FIGS. 1 to 6.

도 5, 6은 본 발명 광학 필름 검사장치의 간격조절유닛의 작용을 나타낸 단면도들이다.5 and 6 are cross-sectional views showing the operation of the gap adjusting unit of the optical film inspection device of the present invention.

광학필름(1)이 제1클램프(110) 및 제2클램프(120)에 의해 클램핑되는 작동원리에 대해서는 본원의 출원인이 2007년 10월 4일에 출원한 한국특허출원 제10-2007-99975호에 상세히 개시되어 있다. 상기 문헌의 개시는 본문 전체로서 본원에 참조문헌으로 포함된다. 따라서, 여기서는 간격조절유닛(160)의 작동원리에 대해서만 언급하기로 한다.Regarding the operation principle of the optical film 1 clamped by the first clamp 110 and the second clamp 120, Korean Patent Application No. 10-2007-99975 filed on October 4, 2007 by the applicant of the present application It is disclosed in detail. The disclosure of this document is incorporated herein by reference in its entirety. Therefore, only the operation principle of the gap adjusting unit 160 will be described herein.

상기 간격조절유닛(160)은 제1클램프(110)의 상부패드(111)와 하부패드(112)의 사이간격을 조절하여 광학 필름(1)이 상기 상부패드(111)와 하부패드(112)의 사이간격으로 원활하게 유입되게 함은 물론, 제1평면(113)들의 분사구(114)들이 광학필름(1)의 표면으로부터 일정한 간격을 유지하도록 함으로써 일정한 클램핑 압력이 유지되게 하는 것으로, 이러한 작용은 도 2에 도시된 바와 같이, 클램핑유닛의 상류측에 설치되어 클램핑유닛을 향해 공급되는 광학 필름(1)의 두께를 측정하는 두께감지 센서부(170)의 측정값에 따라 조절된다.The gap adjusting unit 160 adjusts the gap between the upper pad 111 and the lower pad 112 of the first clamp 110 so that the optical film 1 has the upper pad 111 and the lower pad 112. In addition to smoothly flowing into the interval between the, as well as the injection hole 114 of the first plane 113 to maintain a constant distance from the surface of the optical film 1 to maintain a constant clamping pressure, this action is As shown in Figure 2, it is adjusted in accordance with the measured value of the thickness sensor 170 is installed on the upstream side of the clamping unit to measure the thickness of the optical film (1) supplied toward the clamping unit.

또한, 상기 간격조절유닛(160)은 제1클램프(110) 및 제2클램프(120)의 양단에 설치되어 제1,제2클램프(110,120)의 상부패드(111,121)와 하부패드(112,122)간의 간격을 조절하는 것으로서, 상기의 제1,제2클램프(110,120)의 양단부에 각각 설치되는 간격조절유닛(160)은 모두 동일한 구성과 작용을 갖는 것이므로, 이하에서 는 제1클램프(110)의 일단에 설치된 간격조절유닛(160)의 작용을 예를 들어 설명한다.In addition, the gap adjusting unit 160 is installed at both ends of the first clamp 110 and the second clamp 120 between the upper pads 111 and 121 and the lower pads 112 and 122 of the first and second clamps 110 and 120. As adjusting the spacing, the spacing adjusting units 160 respectively installed at both ends of the first and second clamps 110 and 120 have the same configuration and function, so that one end of the first clamp 110 will be described below. An operation of the gap adjusting unit 160 installed in the example will be described.

우선 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 간격조절유닛(160)은 상부패드(111)의 측부에 고정된 제1지지부(161)와 하부패드(112)의 측부에 고정된 제2지지부(162)가 직선운동 가이드부(163)를 통해 조립되어 상기 제1지지부(161)가 제2지지부(162)로부터 수직방향으로 이동가능하게 되고, 상기 제2지지부(162)에 설치된 구동부(164)의 구동력이 제1지지부(161)에 전달되면서 제1지지부(161)가 제2지지부(162)로부터 승강하게 된다. First, as shown in FIG. 5, the gap adjusting unit 160 includes a first support part 161 fixed to the side of the upper pad 111 and a second support part 162 fixed to the side of the lower pad 112. Is assembled through the linear motion guide part 163 so that the first support part 161 is movable in the vertical direction from the second support part 162, and the driving force of the driving part 164 installed in the second support part 162 is provided. The first support 161 is lifted from the second support 162 while being transmitted to the first support 161.

상기한 바와 같이 광학필름(1)의 두께를 측정하는 두께감지 센서부(미도시)의 측정된 값에 따라 구동량이 결정되는 구동부(164)의 구동에 의해 하부패드(112)와 상부패드(111)간의 간격이 조절되는데, 도 5에서와 같이 설정된 상부패드(111)와 하부패드(112)의 간격보다 광학필름(1)의 두께가 얇은 경우에는 구동부(164)의 작용축이 수축되면서 상부패드(111)가 고정된 제1지지부(161)가 하강하게 되고, 도 6에서와 같이 광학필름(1)의 두께(D2)가 두꺼운 경우에는 구동부(164)의 작용축이 연신되면서 상부패드(111)가 고정된 제1지지부(161)가 상승하게 된다.As described above, the lower pad 112 and the upper pad 111 are driven by the driving unit 164 in which the driving amount is determined according to the measured value of the thickness sensor unit (not shown) for measuring the thickness of the optical film 1. ) Is adjusted, the thickness of the optical film 1 is thinner than the gap between the upper pad 111 and the lower pad 112 set as shown in FIG. When the first support part 161 on which the 111 is fixed is lowered and the thickness D2 of the optical film 1 is thick as shown in FIG. 6, the upper shaft 111 is extended while the working shaft of the driving unit 164 is extended. ) Is fixed to the first support portion 161 is raised.

즉, 상기와 같이 클램핑유닛을 향해 제공되는 광학필름(1)의 두께에 따라 간격조절유닛(160)을 통해 상부패드(111)와 하부패드(112)의 간격을 조절함으로써 상부패드(111) 및 하부패드(112)에 형성된 제1평면(113)들의 분사구(114)가 광학필름(1)의 표면으로부터 소정간격(d1) 이격된 상태로 유지되게 하여 일정한 클램프 압력을 제공할 수 있게 된다. 따라서, 공급되는 광학필름(1)의 두께가 달라지는 경우에도 일정한 품질의 검사결과를 얻을 수 있게 되므로 제품의 신뢰도를 향상시키게 된다. That is, the upper pad 111 and the lower pad 112 by adjusting the distance between the upper pad 111 and the lower pad 112 through the gap adjusting unit 160 according to the thickness of the optical film 1 provided toward the clamping unit as described above. The injection holes 114 of the first planes 113 formed on the lower pad 112 are maintained at a predetermined distance d1 from the surface of the optical film 1 to provide a constant clamp pressure. Therefore, even when the thickness of the supplied optical film 1 is changed, it is possible to obtain a certain quality inspection results, thereby improving the reliability of the product.

만약 상술한 바와 같은 간격조절유닛(160)이 존재하지 않는다면, 광학필름(1)의 전면(全面)에 걸쳐 공기에 의해 가해지는 압력이 두께가 다른 광학필름(1)에 따라 일정하지 않은 문제점이 있다. 즉, 광학필름(1)의 두께에 따라 광학필름(1)의 표면과 분사구(114)와의 간격(d1)이 변경됨에 따라, 분사구(114)로부터 분사되는 공기에 의해 가해지는 압력이 변경되는데, 이는 광학필름(1)을 클램핑하는 압력을 변경시키게 된다.If the gap adjusting unit 160 as described above does not exist, the pressure applied by the air over the entire surface of the optical film 1 is not constant according to the optical film 1 having a different thickness. have. That is, as the distance d1 between the surface of the optical film 1 and the jet port 114 is changed according to the thickness of the optical film 1, the pressure applied by the air injected from the jet port 114 is changed. This will change the pressure for clamping the optical film 1.

광학필름(1)을 클램핑하는 압력이 변경되면, 두께가 다른 광학필름(1)을 제외한 나머지 조건들, 즉 장치의 하드웨어 및 광학필름(1)의 이미지를 획득하기 위한 매개변수 조건 등을 동일하게 하더라도, 광학필름(1)의 불량요소 이미지를 획득하는데 에러가 발생할 수 있다. When the pressure for clamping the optical film 1 is changed, the conditions other than the optical film 1 having different thicknesses, that is, the hardware conditions of the device and the parameter conditions for acquiring an image of the optical film 1 are the same. Even so, an error may occur in acquiring the defective element image of the optical film 1.

본 발명의 권리범위는 상술한 실시예 및 변형례에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.The scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments and modifications, but may be embodied in various forms of embodiments within the scope of the appended claims. Without departing from the gist of the invention claimed in the claims, it is intended that any person skilled in the art to which the present invention pertains falls within the scope of the claims described in the present invention to various extents which can be modified.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학필름 검사장치의 개략적인 정면도, 1 is a schematic front view of an optical film inspection apparatus according to an embodiment of the present invention,

도 2는 본 발명 광학 필름 검사장치의 간격조절유닛을 나타낸 정면도,Figure 2 is a front view showing the gap adjusting unit of the optical film inspection device of the present invention,

도 3은 본 발명 광학 필름 검사장치의 간격조절유닛의 발췌사시도,3 is an exploded perspective view of the interval adjusting unit of the optical film inspection device of the present invention,

도 4는 본 발명 광학필름 검사장치의 간격조절유닛의 분해사시도,Figure 4 is an exploded perspective view of the gap adjusting unit of the optical film inspection device of the present invention,

도 5, 6은 본 발명 광학 필름 검사장치의 간격조절유닛의 작용을 나타낸 단면도들이다.5 and 6 are cross-sectional views showing the operation of the gap adjusting unit of the optical film inspection device of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

1 : 광학필름 100 : 광학필름 검사장치1: optical film 100: optical film inspection device

110 : 제1클램프 111, 121 : 상부 패드110: first clamp 111, 121: upper pad

112, 122 : 하부 패드 113 : 제1평면112, 122: lower pad 113: first plane

114, 124 : 분사구 120 : 제2클램프114, 124: injection hole 120: the second clamp

131 : 조명유닛 132 : 촬상유닛131: lighting unit 132: imaging unit

160 : 높이조절 유닛 161, 162 : 제1, 제2지지부160: height adjustment unit 161, 162: first and second support parts

163 : 직선운동 가이드부 164 : 구동부163: linear motion guide portion 164: driving portion

170 : 두께감지 센서부170: thickness detection sensor

Claims (5)

광학필름의 불량요소를 검출하기 위한 광학필름 검사장치에 있어서,In the optical film inspection apparatus for detecting defective elements of the optical film, 서로 마주보며 이격되게 형성된 한 쌍의 평면과, 상기 광학필름에 공기를 분사하기 위해 상기 평면들에 각각 형성된 복수의 분사구를 구비하며, 상기 광학필름을 평평하게 유지시키기 위하여 상기 평면들 사이로 유입된 광학필름에 공기를 분사하면서 그 광학필름을 클램핑하기 위한 클램핑유닛;A pair of planes facing each other and spaced apart from each other, and a plurality of injection holes respectively formed in the planes for injecting air into the optical film, and the optical fibers introduced between the planes to keep the optical film flat A clamping unit for clamping the optical film while injecting air into the film; 상기 클램핑유닛에 의해 클램핑된 광학필름의 불량요소를 촬상하기 위한 촬상유닛; 및An imaging unit for imaging a defective element of the optical film clamped by the clamping unit; And 상기 평면들 사이로 유입되는 광학필름의 두께에 따라 상기 평면들의 사이 간격을 가변시키는 간격조절유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 필름 검사장치.And an interval adjusting unit for varying an interval between the planes in accordance with a thickness of the optical film introduced between the planes. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 간격조절유닛은 상기 한쌍의 평면들 중 상부의 평면에 고정되는 제1지지부와, 상기 평면들 중 하부의 평면에 고정되는 제2지지부 및, 상기 제1지지부가 수직방향으로 승강하도록 구동력을 제공하는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 필름 검사장치.The gap adjusting unit may include a first support part fixed to an upper plane of the pair of planes, a second support part fixed to a lower plane of the planes, and a driving force to elevate the first support part in a vertical direction. Optical film inspection apparatus comprising a drive unit. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 간격조절유닛은 상기 한쌍의 평면들 중 상부의 평면에 고정되는 제1지지부와, 상기 평면들 중 하부의 평면에 고정되는 제2지지부 및, 상기 제1지지부를 수직방향으로 이동시키는 마이크로미터를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 필름 검사장치.The gap adjusting unit may include a first support part fixed to an upper plane of the pair of planes, a second support part fixed to a lower plane of the planes, and a micrometer for moving the first support part in a vertical direction. Optical film inspection apparatus comprising a. 제2항 또는 제3항에 있어서,The method according to claim 2 or 3, 상기 간격조절유닛은 상기 제2지지부에 설치되어 상기 제1지지부의 수직이동을 안내하는 직선운동 가이드부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 필름 검사장치.The gap adjusting unit is installed in the second support portion optical film inspection apparatus further comprises a linear motion guide portion for guiding the vertical movement of the first support portion. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 한 쌍의 평면으로 유입되는 광학필름의 두께를 측정하는 두께감지 센서부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 필름 검사장치.Optical film inspection device further comprises a thickness sensor for measuring the thickness of the optical film flowing into the pair of planes.
KR1020080012063A 2008-02-11 2008-02-11 Apparatus for inspecting optical film KR100896199B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080012063A KR100896199B1 (en) 2008-02-11 2008-02-11 Apparatus for inspecting optical film

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080012063A KR100896199B1 (en) 2008-02-11 2008-02-11 Apparatus for inspecting optical film

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100896199B1 true KR100896199B1 (en) 2009-05-12

Family

ID=40861748

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080012063A KR100896199B1 (en) 2008-02-11 2008-02-11 Apparatus for inspecting optical film

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100896199B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200010762A (en) 2018-07-23 2020-01-31 주식회사 신코 Optic Film Inspection Apparatus with Image Sensor

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20040082536A (en) * 2003-03-19 2004-09-30 김영일 Optical film inspection and packed equipment

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20040082536A (en) * 2003-03-19 2004-09-30 김영일 Optical film inspection and packed equipment

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200010762A (en) 2018-07-23 2020-01-31 주식회사 신코 Optic Film Inspection Apparatus with Image Sensor

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102023581B1 (en) Reel-to-Reel inspection apparatus and inspection method using the same
KR101118192B1 (en) Non-Lighting Inspection Apparatus
KR100804033B1 (en) Apparatus for inspecting optical film
KR20150001675A (en) Position detecting apparatus, substrate manufacturing apparatus, position detecting method, and manufacturing method of substrate
WO2018218791A1 (en) Visual inspection device for fingerprint module
KR101720009B1 (en) Apparatus for inspection of back-light unit
KR100896199B1 (en) Apparatus for inspecting optical film
KR101197709B1 (en) Apparatus for inspecting substrate
CN107202796B (en) Automatic PCB (printed circuit board) detecting machine
KR101111065B1 (en) Apparatus for inspecting substrate
KR101197707B1 (en) Apparatus for inspecting substrate
KR102033337B1 (en) Apparatus for inspecting substrate
KR100676071B1 (en) Automatic transport system of tray transport for backlight unit
CN211374551U (en) Substrate detection device
KR102242093B1 (en) An apparatus for inspecting metal mask
KR101197708B1 (en) Apparatus for inspecting substrate
KR102018955B1 (en) Hidden label inspection system
KR100912401B1 (en) Apparatus for inspecting optical film
KR102016479B1 (en) Printed circuit board test device
KR102661269B1 (en) fabric vision inspection apparatus
KR102147128B1 (en) Apparatus for inspecting substrate
KR100861942B1 (en) Apparatus for inspecting optical film
KR101186272B1 (en) Apparatus for inspecting substrate
KR102634944B1 (en) Apparatus and method for inspecting surface of substrate
KR102657517B1 (en) Apparatus and method for inspecting surface of substrate

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120601

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130404

Year of fee payment: 5

LAPS Lapse due to unpaid annual fee