KR20200010762A - Optic Film Inspection Apparatus with Image Sensor - Google Patents

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KR20200010762A
KR20200010762A KR1020180085229A KR20180085229A KR20200010762A KR 20200010762 A KR20200010762 A KR 20200010762A KR 1020180085229 A KR1020180085229 A KR 1020180085229A KR 20180085229 A KR20180085229 A KR 20180085229A KR 20200010762 A KR20200010762 A KR 20200010762A
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Abstract

The present invention provides an optic film inspection apparatus with an image sensor capable of being used for inspecting various purposes of optical films. According to the present invention, the optic film inspection apparatus with an image sensor comprises: a support frame (160); a sample XY-motion stage transfer linear motor (140) moving a sample XY-motion stage (120) in a front/rear direction; a vision camera (400) checking a masking position of a sample to align the position of the sample XY-motion stage; an optical system rotating frame rotating device rotating an optical system rotating frame; a light source (200) disposed on the central part of the upper side of the optical system rotating frame; and an optical detector (300) disposed in a middle part of the lower part of the optical system rotating frame on an opposite side to the light source.

Description

이미지센서를 구비한 광학필름 검사장치{Optic Film Inspection Apparatus with Image Sensor}Optical Film Inspection Apparatus with Image Sensor

이미지 센서용 광학 필터로는 사용되는 IR cut off 필터, Blue 필터, IR pass 필터 , IR band pass 필터, 자외선 투과 필터 등의 검사장비에 관한 기술이다.As an optical filter for image sensor, it is a technology related to inspection equipment such as IR cut off filter, blue filter, IR pass filter, IR band pass filter, and UV transmission filter.

본 발명 이전의 선행기술로는 광학필름 결점 검사장비에 관한 기술이 개시되어 있다. 개시된 광학필름 결점 검사장비는 검사전의 광학필름이 감겨져 있는 광학필름 공급릴; 상기 광학필름 공급릴로부터 풀려져 나오는 광학필름을 수직상향으로 안내하는 제 1가이드 롤; 상기 제 1가이드 롤에 의해 안내되는 광학필름을 수평 상으로 안내하는 제 2가이드 롤; 상기 제 1가이드 롤과 제 2가이드 롤 사이에 위치하되, 광학필름의 안쪽에서 바깥쪽을 향해 빛을 투과시키는 제 1조명수단; 상기 제 2가이드 롤에 의해 안내되는 광학필름을 수직하향으로 안내하면서 광학필름을 롤타입으로 감아 회수하는 광학필름 회수릴; 상기 제 2가이드 롤과 광학필름 회수릴 사이에 위치하되, 광학필름의 안쪽에서 바깥쪽을 향해 빛을 투과시키는 제 2조명 수단으로 구성된 기술이 개시되어 있다. Prior art of the present invention discloses a technique related to the optical film defect inspection equipment. The disclosed optical film defect inspection equipment includes an optical film supply reel in which an optical film is wound before inspection; A first guide roll for guiding the optical film released from the optical film supply reel in a vertical upward direction; A second guide roll for guiding the optical film guided by the first guide roll horizontally; First lighting means positioned between the first guide roll and the second guide roll to transmit light from the inside to the outside of the optical film; An optical film recovery reel for winding the optical film in a roll type while guiding the optical film guided by the second guide roll in a vertical downward direction; A technology is disclosed, which is positioned between the second guide roll and the optical film recovery reel, wherein the second illumination means transmits light from the inside to the outside of the optical film.

또 다른 선행기술로는 광학필름 검사장치는 광학필름의 불량요소를 검출하기 위한 광학필름 검사장치에 있어서, 서로 마주보며 이격되게 형성된 한 쌍의 평면과, 상기 광학필름에 공기를 분사하기 위해 상기 평면들에 각각 형성된 복수의 분사구를 구비하며, 상기 광학필름을 평평하게 유지시키기 위하여 상기 평면들 사이로 유입된 광학필름에 공기를 분사하면서 그 광학필름을 클램핑하기 위한 클램핑유닛;과, 상기 클램핑유닛에 의해 클램핑된 광학필름의 불량요소를 촬상하기 위한 촬상유닛; 및 상기 평면들 사이로 유입되는 광학필름의 두께에 따라 상기 평면들의 사이 간격을 가변시키는 간격조절유닛을 포함하는 기술이 개시되어 있다.In still another prior art, an optical film inspection apparatus includes an optical film inspection apparatus for detecting a defective element of an optical film, the pair of planes facing each other and spaced apart from each other, and the plane for injecting air into the optical film. A clamping unit for clamping the optical film while injecting air into the optical film introduced between the planes in order to keep the optical film flat; An imaging unit for imaging a defective element of the clamped optical film; And a gap adjusting unit for varying a gap between the planes according to the thickness of the optical film introduced between the planes.

공개특허공보 10-2004-0095063Published Patent Publication 10-2004-0095063 등록특허공보 10-0896199Patent Registration Publication 10-0896199

기존의 장비들은 검사대상인 필터을 고정하는 시료고정대의 크기 제한으로 필터의 여러 부분을 검사하는데 어려움이 있으며, 시료의 특정 부분을 반복하여 측정하고자 하는 경우 동일 위치에 시료 고정대를 위치하는데 어려움이 있어 측정에 어려움이 있어왔다. Existing equipments have difficulty in inspecting various parts of the filter due to the size limitation of the sample holder that fixes the filter to be inspected, and it is difficult to place the sample holder in the same position when repeatedly measuring a specific part of the sample. There has been difficulty. 또한, 도 1과 같이 하나의 시료에 실크스크린(마스킹)으로 여러 구획을 나눈 경우 항상 실크스크린의 중심부를 검사하여야 하는데, 기존의 방식은 일정 거리 간격으로 시료 고정대를 이동하게 설계되어 있어, 시료의 가장자리 정렬이 일정하시 않는 경우 위치 오차가 누적되는 문제가 있어왔다.In addition, as shown in FIG. 1, when dividing several sections by a silk screen (masking) in one sample, the center of the silk screen should always be inspected. The conventional method is designed to move the sample holder at a predetermined distance interval, If the edge alignment is not constant, there has been a problem that the position error is accumulated.

기존의 장비들은 검사대상인 필터을 고정하는 시료고정대의 크기 제한으로 필터의 여러 부분을 검사하는데 어려움이 있으며, 시료의 특정 부분을 반복하여 측정하고자 하는 경우 동일 위치에 시료 고정대를 위치하는데 어려움이 있어 측정에 어려움이 있어왔다. Existing equipments have difficulty in inspecting various parts of the filter due to the size limitation of the sample holder that fixes the filter to be inspected, and it is difficult to place the sample holder in the same position in order to repeat a specific part of the sample. There has been difficulty.

또한, 도 1과 같이 하나의 시료에 실크스크린(마스킹)으로 여러 구획을 나눈 경우 항상 실크스크린의 중심부를 검사하여야 하는데, 기존의 방식은 일정 거리 간격으로 시료 고정대를 이동하게 설계되어 있어, 시료의 가장자리 정렬이 일정하시 않는 경우 위치 오차가 누적되는 문제가 있어왔다.In addition, as shown in FIG. 1, when dividing several sections by a silk screen (masking) in one sample, the center of the silk screen should always be inspected. The conventional method is designed to move the sample holder at a predetermined distance interval, If the edge alignment is not constant, there has been a problem that the position error is accumulated.

본 발명의 광학필름 검사장치는 상기와 같은 문제를 해결하기 위하여, The optical film inspection apparatus of the present invention to solve the above problems,

받침프레임(160); 및 상기 받침프레임의 전후로 구비되여 시료 XY 모션 스테이지(120)를 전후로 움직이는 시료 XY 모션 스테이지 이송 리니어모터(140); 및 Support frame 160; And a sample XY motion stage feed linear motor 140 provided before and after the support frame to move the sample XY motion stage 120 back and forth. And

상기 받침프레임의 중앙부에 구비되어 상기 시료의 마스킹 위치를 확인하여 상기 시료 XY 모션스테이지의 위치를 정렬하는 비젼카메라(400); 및A vision camera (400) provided at a central portion of the support frame to check a masking position of the specimen to align the position of the specimen XY motion stage; And

상기 비젼카메라의 바로 후방에 광학계회전프레임 및 상기 광학계회전프레임을 회전하는 광학계회전프레임 회전장치; 및An optical system rotating frame rotating device that rotates the optical system rotating frame and the optical system rotating frame immediately behind the vision camera; And

상기 광학계회전프레임의 상측 중심부에 구비되는 광원(200); 및A light source 200 provided at an upper center of the optical system rotating frame; And

상기 광원의 반대쪽 상기 광학계회전프레임 하부 프레임 중간에 구비되는 광 검출기(300); 을 구비하는 것을 특징으로 하는 이미지센서를 구비한 광학필름 검사장치를 제공한다.A photo detector provided in the middle of the lower frame of the optical frame rotating frame opposite to the light source; It provides an optical film inspection device having an image sensor characterized in that it comprises a.

또한, 본 발명은 상기 광학필름 검사장치를 이용한 광학필름 검사방법을 제공한다. In addition, the present invention provides an optical film inspection method using the optical film inspection apparatus.

상기 시료 XY 모션 스테이지(120)에 검사될 광학필름을 위치시키는 시료준비단계(S1); 및 Sample preparation step (S1) for positioning the optical film to be inspected on the sample XY motion stage 120; And

상기 시료 XY 모션 스테이지(120)를 비젼 카메라 아래 초기 위치에 이동하는 시료 XY 모션 스테이지(120) 위치초기화단계(S2); 및 Initializing the sample XY motion stage 120 position (S2) for moving the sample XY motion stage 120 to the initial position under the vision camera; And

상기 비젼 카메라에서 상기 시료 XY 모션 스테이지에 준비된 시료의 이미지를 획득하는 시료이미지획득단계(S3); 및 A sample image acquisition step (S3) of acquiring an image of a sample prepared in the sample XY motion stage by the vision camera; And

상기 획득된 시료이미지로부터 이미지처리 프로그램을 실행하여 마스킹된 위치를 찾아내고, 폐곡선 형태로 마스킹된 이미지로부터 측정해야할 마스킹 중심의 위치를 찾아 저장하는 측정위치 저장단계(S4); 및 A measurement position storing step (S4) of executing the image processing program from the obtained sample image to find a masked position, and finding and storing a position of a masking center to be measured from the masked image in a closed curve form (S4); And

상기 저장된 측정위치를 순서대로 이동하고, 마스킹 중심에 위치하면 상기 광원에서 광을 조사하고 상기 시료를 통과한 광을 상기 광 검출기에어 검출하여 시료의 특성을 저장하는 측정 및 저장단계(S5); 및 A measurement and storage step (S5) of moving the stored measurement positions in order, and storing the characteristics of the sample by irradiating light from the light source and detecting the light passing through the sample at the photo detector if the position is located at a masking center; And

상기 저장된 측정위치로의 이동은 상기 시료 XY 모션 스테이지 이송 리니어모터(140)와 상기 시료 XY 모션 스테이지(120)을 상기 제어장치부에서 제어함으로써 위치이동이 되는 것을 특징으로 하는 광학필름 검사장치를 이용한 광학필름 검사방법을 제공한다. The movement to the stored measuring position is moved by controlling the sample XY motion stage feed linear motor 140 and the sample XY motion stage 120 in the control unit using an optical film inspection device, characterized in that Provides an optical film inspection method.

또한, 상기 광학계회전프레임 회전장치를 회전하여 상기 시료의 0 도 에서부터 40 도 각도범위의 광학적 특성을 검사할 수 있는 것을 특징으로 하는 광학필름 검사장치를 이용한 광학필름 검사방법을 제공한다.In addition, it provides an optical film inspection method using an optical film inspection device, characterized in that by rotating the optical frame rotating device to inspect the optical characteristics of the angle range of 0 to 40 degrees of the sample.

또한, 상기 광원에 구비된 광원 조리계를 조절하여 상기 광원의 상기 시료에 조사되는 크기를 조절함으로써 상기 마스킹 내부의 광학특성 검사 영역의 크기를 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 광학필름 검사장치를 이용한 광학필름 검사방법을 제공한다.In addition, the optical film using the optical film inspection device, characterized in that by adjusting the light source cooking system provided in the light source to adjust the size irradiated to the sample of the light source, the size of the optical characteristic inspection area inside the masking. Provide inspection methods.

본 발명은 상기와 같은 구성에 의하여 광학필름의 마스킹 영역을 감지하여 필름을 검사할 수 있기 때문에 광학필름의 최종 검사장비로 사용가능하며, 광원의 조사각이 0도 에서부터 40도의 영역에 이르는 넓은 영역을 검사할 수 있기 때문에,렌즈에 사용하는 필름 뿐만아니라, 개인정보보호용 필름의 검사에 이르는 여러 용도의 광학필름 검사에 사용할 수 있는 장점이 있다.The present invention can be used as the final inspection equipment of the optical film because it can detect the masking area of the optical film by the configuration as described above, a wide area from 0 to 40 degrees of irradiation angle of the light source Since it can be inspected, there is an advantage that can be used not only for the film used for the lens, but also for the inspection of the optical film for various uses ranging from the inspection of the film for protecting personal information.

도 1 본 발명의 이미지센서를 구비한 광학필름 검사장치로 검사하는 필름의 모습
도 2 본 발명의 이미지센서를 구비한 광학필름 검사장치
도 3 본 발명의 이미지센서를 구비한 광학필름 검사장치의 내부 구조
도 4 본 발명의 광학검사부 확대도1 is a view of the film to be inspected by the optical film inspection device having an image sensor of the present invention
2 is an optical film inspection device having an image sensor of the present invention
3 is an internal structure of an optical film inspection device having an image sensor of the present invention
4 is an enlarged view of the optical inspection unit of the present invention

기존의 검사장비들은 검사대상인 광학필름 또는 광학필터를 고정하는 시료고정대의 크기 제한으로 필터의 여러 부분을 검사하는데 어려움이 있으며, 시료의 특정 부분을 반복하여 측정하고자 하는 경우 동일 위치에 시료 고정대를 위치하는데 어려움이 있어 측정에 어려움이 있어왔다. Existing inspection equipments have difficulty in inspecting various parts of the filter due to the size limitation of the sample holder for fixing the optical film or optical filter to be inspected. If you want to repeat a specific part of the sample, place the sample holder in the same position. It has been difficult to measure and has been difficult to measure.

또한, 도 1과 같이 하나의 시료에 실크스크린(마스킹)으로 여러 구획을 나뉜 경우 항상 실크스크린의 중심부를 검사하여야 하는데, 기존의 방식은 일정 거리 간격으로 시료 고정대를 이동하게 설계되어 있어, 시료의 가장자리 정렬이 일정하시 않는 경우 위치 오차가 누적되는 문제가 있어 왔다. In addition, as shown in FIG. 1, when several sections are divided into silk screens (maskings) in one sample, the center of the silk screens should always be inspected, but the conventional method is designed to move the sample holders at a predetermined distance interval. If the edge alignment is not constant, there has been a problem that the position error is accumulated.

본 발명은 플렉시블한 시료를 시료위치 정밀도를 서브 um 단위로 조절할 수 있는 장치를 제공하고자 한다. 본 발명에서는 검사에 필요한 광학계를 수직으로 구성하여 시료를 수평으로 고정할 수 있는 방법을 제공하고 있다. 기존의 수평형 광학계를 사용하는 경우 시료를 수직으로 고정하여야 하므로 플렉시블한 시료를 측정할 수 없는 문제가 있다. The present invention is to provide a device that can adjust the sample position accuracy in units of sub-um flexible sample. The present invention provides a method for vertically fixing a sample by configuring the optical system required for inspection vertically. In case of using the conventional horizontal optical system, the sample must be fixed vertically, so there is a problem in that the flexible sample cannot be measured.

따라서, 본 발명은 수직형 광학계를 사용함으로써 시료를 평면의 거치대 위에 거치할 수 있도록 함으로써 블렉시블한 시료를 측정할 수 있도록 하였다. 이를 위하여 기본위치가 수직하게 설치되는 광학계회전프레임에 광원과 광 검출기를 마주보게 구비하고, 이를 광학계회전프레임 회전 장치를 회전시킬 수 있도록 구비함으로써 필름시료를 0도에서 뿐만 아니라 40도의 입사각에서 검사할 수 있는 수단을 제공하였다. 이러한 구성에 의하여 광차단 필터 뿐만 아니라, 개인정보 보호를 위한 필름 등의 시야각을 검사할 수 있는 수단을 제공함은 물론이다. Therefore, the present invention allows the flexible sample to be measured by allowing the sample to be mounted on a flat holder by using a vertical optical system. To this end, a light source and a photo detector are provided opposite to the light source and the photo detector in an optical system rotating frame in which the basic position is installed vertically, so that the film sample can be inspected at an angle of incidence of 40 degrees as well as 0 degrees. It provided a means to. This configuration not only provides a light blocking filter, but also provides a means for inspecting a viewing angle of a film for protecting personal information.

본 발명은 가시광선-근적외선 영역 (350nm~1700nm)이 측정 가능한 분광계을 개발하고, 측정에 사용되는 광선빔 spot 크기를 1 mm 이하로 개발하며, 검사하고자 하는 시료 필터상에 마스킹 또는 실크스크린으로 영역이 나뉘어진 소형 광학필터의 배열 확인과 측정을 위한 위치이동을 위한 비젼 시스템(이미지처리 시스템) 및 모션 스테이지를 개발하였다. The present invention develops a spectrometer capable of measuring the visible-near-infrared region (350 nm to 1700 nm), develops a beam beam spot size used for the measurement of 1 mm or less, and uses a masking or silk screen on the sample filter to be inspected. We have developed a vision system (image processing system) and a motion stage for position shifting for the identification and measurement of divided small optical filters.

상기 모션스테이지 이동은 무철심 코어형 리니어 모터를 사용하였다. The motion stage movement used an ironless core type linear motor.

본 발명의 마스킹(실크스크린) 검출은 일반적인 이미지처리 시스템의 경계선 검출을 이용하여 폐곡선을 검출하고 검출된 폐곡선으로부터 무게중심 법 또는 거리측정법 등을 이용하여 검출된 폐곡선의 형상에 따라 폐곡선의 중심을 구한다. The masking (silk screen) detection of the present invention detects a closed curve using boundary detection of a general image processing system, and obtains the center of the closed curve according to the shape of the detected closed curve using a center of gravity method or a distance measurement method from the detected closed curve. .

또한, 광선빔의 크기를 30mm에서 1mm 사이를 조절할 수 있는 광 조리계를 광원의 선단에 구비한다. 또한, 상기 이미지처리를 위한 비젼 카메라를 위한 광원을 별도로 구비할 수 있다. In addition, a light cooking system capable of adjusting the size of the light beam between 30 mm and 1 mm is provided at the tip of the light source. In addition, a light source for the vision camera for the image processing may be provided separately.

본 발명의 광학필름 검사장치는 상기와 같은 문제를 해결하기 위하여, The optical film inspection apparatus of the present invention to solve the above problems,

받침프레임(160); 및 상기 받침프레임의 전후로 구비되여 시료 XY 모션 스테이지(120)를 전후로 움직이는 시료 XY 모션 스테이지 이송 리니어모터(140); 및 Support frame 160; And a sample XY motion stage feed linear motor 140 provided before and after the support frame to move the sample XY motion stage 120 back and forth. And

상기 받침프레임의 중앙부에 구비되어 상기 시료의 마스킹 위치를 확인하여 상기 시료 XY 모션스테이지의 위치를 정렬하는 비젼카메라(400); 및 A vision camera (400) provided at a central portion of the support frame to check a masking position of the specimen to align the position of the specimen XY motion stage; And

상기 비젼카메라의 바로 후방에 광학계회전프레임 및 상기 광학계회전프레임을 회전하는 광학계회전프레임 회전장치; 및 An optical system rotating frame rotating device that rotates the optical system rotating frame and the optical system rotating frame immediately behind the vision camera; And

상기 광학계회전프레임의 상측 중심부에 구비되는 광원(200); 및 A light source 200 provided at an upper center of the optical system rotating frame; And

상기 광원의 반대쪽 상기 광학계회전프레임 하부 프레임 중간에 구비되는 광 검출기(300); 을 구비하는 것을 특징으로 하는 이미지센서를 구비한 광학필름 검사장치를 제공한다. A photo detector provided in the middle of the lower frame of the optical frame rotating frame opposite to the light source; It provides an optical film inspection device having an image sensor characterized in that it comprises a.

또한, 본 발명은 상기 광학필름 검사장치를 이용한 광학필름 검사방법을 제공한다. In addition, the present invention provides an optical film inspection method using the optical film inspection apparatus.

상기 시료 XY 모션 스테이지(120)에 검사될 광학필름을 위치시키는 시료준비단계(S1); 및 Sample preparation step (S1) for positioning the optical film to be inspected on the sample XY motion stage 120; And

상기 시료 XY 모션 스테이지(120)를 비젼 카메라 아래 초기 위치에 이동하는 시료 XY 모션 스테이지(120) 위치초기화단계(S2); 및 Initializing the sample XY motion stage 120 position (S2) for moving the sample XY motion stage 120 to the initial position under the vision camera; And

상기 비젼 카메라에서 상기 시료 XY 모션 스테이지에 준비된 시료의 이미지를 획득하는 시료이미지획득단계(S3); 및 A sample image acquisition step (S3) of acquiring an image of a sample prepared in the sample XY motion stage by the vision camera; And

상기 획득된 시료이미지로부터 이미지처리 프로그램을 실행하여 마스킹된 위치를 찾아내고, 폐곡선 형태로 마스킹된 이미지로부터 측정해야할 마스킹 중심의 위치를 찾아 저장하는 측정위치 저장단계(S4); 및 A measurement position storing step (S4) of executing the image processing program from the obtained sample image to find a masked position, and finding and storing a position of a masking center to be measured from the masked image in a closed curve form (S4); And

상기 저장된 측정위치를 순서대로 이동하고, 마스킹 중심에 위치하면 상기 광원에서 광을 조사하고 상기 시료를 통과한 광을 상기 광 검출기에어 검출하여 시료의 특성을 저장하는 측정 및 저장단계(S5); 및 A measurement and storage step (S5) of moving the stored measurement positions in order, and storing the characteristics of the sample by irradiating light from the light source and detecting the light passing through the sample at the photo detector if the position is located at a masking center; And

상기 저장된 측정위치로의 이동은 상기 시료 XY 모션 스테이지 이송 리니어모터(140)와 상기 시료 XY 모션 스테이지(120)을 상기 제어장치부에서 제어함으로써 위치이동이 되는 것을 특징으로 하는 광학필름 검사장치를 이용한 광학필름 검사방법을 제공한다. The movement to the stored measuring position is moved by controlling the sample XY motion stage feed linear motor 140 and the sample XY motion stage 120 in the control unit using an optical film inspection device, characterized in that Provides an optical film inspection method.

또한, 상기 광학계회전프레임 회전장치를 회전하여 상기 시료의 0 도 에서부터 40 도 각도범위의 광학적 특성을 검사할 수 있는 것을 특징으로 하는 광학필름 검사장치를 이용한 광학필름 검사방법을 제공한다. In addition, it provides an optical film inspection method using an optical film inspection device, characterized in that by rotating the optical frame rotating device to inspect the optical characteristics of the angle range of 0 to 40 degrees of the sample.

또한, 상기 광원에 구비된 광원 조리계를 조절하여 상기 광원의 상기 시료에 조사되는 크기를 조절함으로써 상기 마스킹 내부의 광학특성 검사 영역의 크기를 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 광학필름 검사장치를 이용한 광학필름 검사방법을 제공한다. In addition, the optical film using the optical film inspection device, characterized in that by adjusting the light source cooking system provided in the light source to adjust the size irradiated to the sample of the light source, the size of the optical characteristic inspection area inside the masking. Provide inspection methods.

상기 광 검출기 측면에는 레이저마킹기(미도시)를 구비하여 상기 검사에 의하여 불량으로 판별된 영역에 불량을 표시하는 마킹을 할 수 있는 마킹장치를 더 구비하는 광학필름 검사장치를 이용한 광학필름 검사방법을 제공한다. An optical film inspection method using an optical film inspection apparatus further comprising a marking device for marking a defect in a region determined as defective by the inspection by having a laser marker (not shown) on the side of the optical detector. to provide.

또한 상기 광 검출기(300)의 하우징을 스텝모터를 이용하여 장비정면을 기준으로 좌우방향으로 회전가능하게 구비함으로써 상기 광학필름의 측면으로의 투과도를 각도별로 측정하는 수단을 제공한다.In addition, the housing of the photo detector 300 is provided by a step motor to be rotated in the horizontal direction relative to the front of the equipment by providing a means for measuring the transmittance to the side of the optical film for each angle.

100 : 이미지센서를 구비한 광학필름 검사장치
110 : 제어장치부
120 : 시료 XY 모션 스테이지
130 : 광학계회전프레임 회전장치
140 : 시료 XY 모션 스테이지 이송 리니어모터
150 : 광학계회전프레임
200 : 광원
210 : 광원 조리계
300 : 광 검출기
400 : 비젼 카메라
500 : 광락필름
510 : 마스킹(실크스크린)100: optical film inspection device equipped with an image sensor
110: control unit
120: sample XY motion stage
130: optical system rotating frame rotating device
140: sample XY motion stage feed linear motor
150: optical system rotating frame
200: light source
210: light source cooking system
300: light detector
400: vision camera
500: light film
510: masking (silk screen)

Claims (1)

받침프레임(160); 및
상기 받침프레임의 전후로 구비되여 시료 XY 모션 스테이지(120)를 전후로 움직이는 시료 XY 모션 스테이지 이송 리니어모터(140); 및
상기 받침프레임의 중앙부에 구비되어 상기 시료의 마스킹 위치를 확인하여 상기 시료 XY 모션스테이지의 위치를 정렬하는 비젼카메라(400); 및
상기 비젼카메라의 바로 후방에 광학계회전프레임 및 상기 광학계회전프레임을 회전하는 광학계회전프레임 회전장치; 및
상기 광학계회전프레임의 상측 중심부에 구비되는 광원(200); 및
상기 광원의 반대쪽 상기 광학계회전프레임 하부 프레임 중간에 구비되는 광 검출기(300); 을 구비하는 것을 특징으로 하는 이미지센서를 구비한 광학필름 검사장치.Support frame 160; And
A sample XY motion stage feed linear motor 140 provided before and after the support frame to move the sample XY motion stage 120 back and forth; And
A vision camera (400) provided at a central portion of the support frame to check a masking position of the specimen to align the position of the specimen XY motion stage; And
An optical system rotating frame rotating device for rotating the optical system rotating frame and the optical system rotating frame immediately behind the vision camera; And
A light source 200 provided at an upper center of the optical system rotating frame; And
A photo detector provided in the middle of the lower frame of the optical frame rotating frame opposite to the light source; Optical film inspection device having an image sensor characterized in that it comprises a.
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기존의 장비들은 검사대상인 필터을 고정하는 시료고정대의 크기 제한으로 필터의 여러 부분을 검사하는데 어려움이 있으며, 시료의 특정 부분을 반복하여 측정하고자 하는 경우 동일 위치에 시료 고정대를 위치하는데 어려움이 있어 측정에 어려움이 있어왔다.
또한, 도 1과 같이 하나의 시료에 실크스크린(마스킹)으로 여러 구획을 나눈 경우 항상 실크스크린의 중심부를 검사하여야 하는데, 기존의 방식은 일정 거리 간격으로 시료 고정대를 이동하게 설계되어 있어, 시료의 가장자리 정렬이 일정하시 않는 경우 위치 오차가 누적되는 문제가 있어왔다.

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