KR102080043B1 - Optic Film Inspection Apparatus with Image Sensor - Google Patents
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Abstract
본 발명은 이미지 센서용 광학 필터로는 사용되는 IR cut off 필터, Blue 필터, IR pass 필터 , IR band pass 필터, 자외선 투과 필터 등의 검사장비에 관한 기술이다. 기존의 장비들은 검사대상인 필터을 고정하는 시료고정대의 크기 제한으로 필터의 여러 부분을 검사하는데 어려움이 있으며, 시료의 특정 부분을 반복하여 측정하고자 하는 경우 동일 위치에 시료 고정대를 위치하는데 어려움이 있어 측정에 어려움이 있어왔다. 본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위하여, 받침프레임(160); 및 상기 받침프레임의 전후로 구비되여 시료 XY 모션 스테이지(120)를 전후로 움직이는 시료 XY 모션 스테이지 이송 리니어모터(140); 및 상기 받침프레임의 중앙부에 구비되어 상기 시료의 마스킹 위치를 확인하여 상기 시료 XY 모션스테이지의 위치를 정렬하는 비젼카메라(400); 및 상기 비젼카메라의 바로 후방에 광학계회전프레임 및 상기 광학계회전프레임을 회전하는 광학계회전프레임 회전장치; 및 상기 광학계회전프레임의 상측 중심부에 구비되는 광원(200); 및 상기 광원의 반대쪽 상기 광학계회전프레임 하부 프레임 중간에 구비되는 광 검출기(300); 을 구비하는 것을 특징으로 하는 이미지센서를 구비한 광학필름 검사장치를 제공한다.
상기와 같은 구성에 의하여 광학필름의 마스킹 영역을 감지하여 필름을 검사할 수 있기 때문에 광학필름의 최종 검사장비로 사용가능하며, 광원의 조사각이 0도 에서부터 40도의 영역에 이르는 넓은 영역을 검사할 수 있기 때문에, 렌즈에 사용하는 필름 뿐만 아니라, 개인정보보호용 필름의 검사에 이르는 여러 용도의 광학필름 검사에 사용할 수 있는 장점이 있다.The present invention is a technology related to inspection equipment such as an IR cut off filter, a blue filter, an IR pass filter, an IR band pass filter, and an ultraviolet transmission filter used as an optical filter for an image sensor. Existing equipments have difficulty in inspecting various parts of the filter due to the size limitation of the sample holder that holds the filter to be inspected, and if it is desired to repeatedly measure a specific part of the sample, it is difficult to locate the sample holder in the same location. There have been difficulties. The present invention to solve the above problems, the support frame 160; And a sample XY motion stage transfer linear motor 140 provided before and after the support frame to move the sample XY motion stage 120 back and forth. And a vision camera 400 provided at the center of the support frame to check the masking position of the sample to align the position of the sample XY motion stage. And an optical system rotating frame rotating device for rotating the optical system rotating frame and the optical system rotating frame immediately behind the vision camera. And a light source 200 provided at an upper central portion of the optical system rotating frame. And an optical detector 300 provided in the middle of the lower frame of the optical rotation frame opposite the light source. It provides an optical film inspection apparatus having an image sensor characterized in that it comprises a.
Since the masking area of the optical film can be detected and inspected by the above-described configuration, it can be used as the final inspection equipment for the optical film. Since it can be used, there is an advantage that can be used for the inspection of optical films for various uses ranging from the film used for the lens to the inspection of the film for personal information protection.
Description
이미지 센서용 광학 필터로는 사용되는 IR cut off 필터, Blue 필터, IR pass 필터 , IR band pass 필터, 자외선 투과 필터 등의 검사장비에 관한 기술이다.As an optical filter for image sensors, it is a technology related to inspection equipment such as IR cut off filters, blue filters, IR pass filters, IR band pass filters, and UV transmission filters.
본 발명 이전의 선행기술로는 광학필름 결점 검사장비에 관한 기술이 개시되어 있다. 개시된 광학필름 결점 검사장비는 검사전의 광학필름이 감겨져 있는 광학필름 공급릴; 상기 광학필름 공급릴로부터 풀려져 나오는 광학필름을 수직상향으로 안내하는 제 1가이드 롤; 상기 제 1가이드 롤에 의해 안내되는 광학필름을 수평 상으로 안내하는 제 2가이드 롤; 상기 제 1가이드 롤과 제 2가이드 롤 사이에 위치하되, 광학필름의 안쪽에서 바깥쪽을 향해 빛을 투과시키는 제 1조명수단; 상기 제 2가이드 롤에 의해 안내되는 광학필름을 수직하향으로 안내하면서 광학필름을 롤타입으로 감아 회수하는 광학필름 회수릴; 상기 제 2가이드 롤과 광학필름 회수릴 사이에 위치하되, 광학필름의 안쪽에서 바깥쪽을 향해 빛을 투과시키는 제 2조명 수단으로 구성된 기술이 개시되어 있다.Prior art prior to the present invention discloses a technique for an optical film defect inspection equipment. The disclosed optical film defect inspection equipment includes an optical film supply reel in which an optical film before inspection is wound; A first guide roll guiding the optical film released from the optical film supply reel vertically upward; A second guide roll for guiding the optical film guided by the first guide roll horizontally; A first lighting means positioned between the first guide roll and the second guide roll, and transmitting light from inside to outside of the optical film; An optical film recovery reel for winding and recovering the optical film in a roll type while guiding the optical film guided by the second guide roll vertically downward; Disclosed is a technique consisting of a second lighting means that is positioned between the second guide roll and the optical film recovery reel and transmits light from inside to outside of the optical film.
또 다른 선행기술로는 광학필름 검사장치는 광학필름의 불량요소를 검출하기 위한 광학필름 검사장치에 있어서, 서로 마주보며 이격되게 형성된 한 쌍의 평면과, 상기 광학필름에 공기를 분사하기 위해 상기 평면들에 각각 형성된 복수의 분사구를 구비하며, 상기 광학필름을 평평하게 유지시키기 위하여 상기 평면들 사이로 유입된 광학필름에 공기를 분사하면서 그 광학필름을 클램핑하기 위한 클램핑유닛;과, 상기 클램핑유닛에 의해 클램핑된 광학필름의 불량요소를 촬상하기 위한 촬상유닛; 및 상기 평면들 사이로 유입되는 광학필름의 두께에 따라 상기 평면들의 사이 간격을 가변시키는 간격조절유닛을 포함하는 기술이 개시되어 있다.As another prior art, the optical film inspection apparatus is an optical film inspection apparatus for detecting a defective element of an optical film, a pair of planes formed to face each other and spaced apart from each other, and the plane for spraying air to the optical film Clamping unit for clamping the optical film having a plurality of injection holes formed in each of the fields, while spraying air to the optical film introduced between the planes to keep the optical film flat; And, by the clamping unit An imaging unit for imaging a defective element of the clamped optical film; And a gap adjusting unit that varies a gap between the planes according to the thickness of the optical film flowing between the planes.
기존의 장비들은 검사대상인 필터을 고정하는 시료고정대의 크기 제한으로 필터의 여러 부분을 검사하는데 어려움이 있으며, 시료의 특정 부분을 반복하여 측정하고자 하는 경우 동일 위치에 시료 고정대를 위치하는데 어려움이 있어 측정에 어려움이 있어왔다.Existing equipments have difficulty in inspecting various parts of the filter due to the size limitation of the sample holder that holds the filter to be inspected, and if it is desired to repeatedly measure a specific part of the sample, it is difficult to locate the sample holder in the same location. There have been difficulties.
또한, 도 1과 같이 하나의 시료에 실크스크린(마스킹)으로 여러 구획을 나눈 경우 항상 실크스크린의 중심부를 검사하여야 하는데, 기존의 방식은 일정 거리 간격으로 시료 고정대를 이동하게 설계되어 있어, 시료의 가장자리 정렬이 일정하시 않는 경우 위치 오차가 누적되는 문제가 있어왔다.In addition, as shown in FIG. 1, when several sections are divided by a silk screen (masking) on one sample, the center of the silk screen must be inspected at all times. The conventional method is designed to move the sample holder at regular intervals. If the edge alignment is not constant, there has been a problem that the position error is accumulated.
본 발명의 광학필름 검사장치는 상기와 같은 문제를 해결하기 위하여,The optical film inspection apparatus of the present invention to solve the above problems,
받침프레임(160); 및 상기 받침프레임의 전후로 구비되여 시료 XY 모션 스테이지(120)를 전후로 움직이는 시료 XY 모션 스테이지 이송 리니어모터(140); 및Support frame 160; And a sample XY motion stage transfer
상기 받침프레임의 중앙부에 구비되어 상기 시료의 마스킹 위치를 확인하여 상기 시료 XY 모션스테이지의 위치를 정렬하는 비젼카메라(400); 및A
상기 비젼카메라의 바로 후방에 광학계회전프레임 및 상기 광학계회전프레임을 회전하는 광학계회전프레임 회전장치; 및An optical system rotation frame rotating device for rotating the optical system rotation frame and the optical system rotation frame immediately behind the vision camera; And
상기 광학계회전프레임의 상측 중심부에 구비되는 광원(200); 및A
상기 광원의 반대쪽 상기 광학계회전프레임 하부 프레임 중간에 구비되는 광 검출기(300); 을 구비하는 것을 특징으로 하는 이미지센서를 구비한 광학필름 검사장치를 제공한다.An
또한, 본 발명은 상기 광학필름 검사장치를 이용한 광학필름 검사방법을 제공한다.In addition, the present invention provides an optical film inspection method using the optical film inspection device.
상기 시료 XY 모션 스테이지(120)에 검사될 광학필름을 위치시키는 시료준비단계(S1); 및A sample preparation step (S1) of positioning an optical film to be inspected on the sample
상기 시료 XY 모션 스테이지(120)를 비젼 카메라 아래 초기 위치에 이동하는 시료 XY 모션 스테이지(120) 위치초기화단계(S2); 및A sample
상기 비젼 카메라에서 상기 시료 XY 모션 스테이지에 준비된 시료의 이미지를 획득하는 시료이미지획득단계(S3); 및A sample image acquisition step (S3) of acquiring an image of a sample prepared on the sample XY motion stage in the vision camera; And
상기 획득된 시료이미지로부터 이미지처리 프로그램을 실행하여 마스킹된 위치를 찾아내고, 폐곡선 형태로 마스킹된 이미지로부터 측정해야할 마스킹 중심의 위치를 찾아 저장하는 측정위치 저장단계(S4); 및A measurement location storage step (S4) of executing an image processing program from the acquired sample image to find a masked location, and finding and storing a location of a masking center to be measured from the masked image in the form of a closed curve; And
상기 저장된 측정위치를 순서대로 이동하고, 마스킹 중심에 위치하면 상기 광원에서 광을 조사하고 상기 시료를 통과한 광을 상기 광 검출기에어 검출하여 시료의 특성을 저장하는 측정 및 저장단계(S5); 및A measurement and storage step (S5) of moving the stored measurement positions in sequence and irradiating light from the light source and detecting the light passing through the sample in the photo detector air when it is located at the center of the masking to store characteristics of the sample; And
상기 저장된 측정위치로의 이동은 상기 시료 XY 모션 스테이지 이송 리니어모터(140)와 상기 시료 XY 모션 스테이지(120)을 상기 제어장치부에서 제어함으로써 위치이동이 되는 것을 특징으로 하는 광학필름 검사장치를 이용한 광학필름 검사방법을 제공한다.The movement to the stored measurement position is performed by using the optical film inspection apparatus, characterized in that the sample XY motion stage transfer
또한, 상기 광학계회전프레임 회전장치를 회전하여 상기 시료의 0 도 에서부터 40 도 각도범위의 광학적 특성을 검사할 수 있는 것을 특징으로 하는 광학필름 검사장치를 이용한 광학필름 검사방법을 제공한다.In addition, an optical film inspection method using an optical film inspection apparatus is provided, which is capable of inspecting the optical properties of the angular range from 0 to 40 degrees of the sample by rotating the optical system rotating frame rotating device.
또한, 상기 광원에 구비된 광원 조리계를 조절하여 상기 광원의 상기 시료에 조사되는 크기를 조절함으로써 상기 마스킹 내부의 광학특성 검사 영역의 크기를 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 광학필름 검사장치를 이용한 광학필름 검사방법을 제공한다.In addition, by adjusting the light source cooking system provided in the light source to adjust the size irradiated to the sample of the light source, it is possible to adjust the size of the optical characteristic inspection area inside the masking, the optical film using an optical film inspection device characterized in that Provide inspection method.
본 발명은 상기와 같은 구성에 의하여 광학필름의 마스킹 영역을 감지하여 필름을 검사할 수 있기 때문에 광학필름의 최종 검사장비로 사용가능하며, 광원의 조사각이 0도 에서부터 40도의 영역에 이르는 넓은 영역을 검사할 수 있기 때문에,렌즈에 사용하는 필름 뿐만아니라, 개인정보보호용 필름의 검사에 이르는 여러 용도의 광학필름 검사에 사용할 수 있는 장점이 있다.The present invention can be used as the final inspection equipment of the optical film because it can inspect the film by detecting the masking area of the optical film by the above-described configuration, a wide area with an irradiation angle of the light source ranging from 0 to 40 degrees Since it can be inspected, there is an advantage that it can be used for optical film inspection for various purposes ranging from the film used for the lens to the inspection of the film for personal information protection.
도 1 본 발명의 이미지센서를 구비한 광학필름 검사장치로 검사하는 필름의 모습
도 2 본 발명의 이미지센서를 구비한 광학필름 검사장치
도 3 본 발명의 이미지센서를 구비한 광학필름 검사장치의 내부 구조
도 4 본 발명의 광학검사부 확대도1 is a state of the film inspected by the optical film inspection apparatus having the image sensor of the present invention
2 An optical film inspection apparatus provided with the image sensor of the present invention
Figure 3 The internal structure of the optical film inspection apparatus having the image sensor of the present invention
Figure 4 is an enlarged view of the optical inspection unit of the present invention
기존의 검사장비들은 검사대상인 광학필름 또는 광학필터를 고정하는 시료고정대의 크기 제한으로 필터의 여러 부분을 검사하는데 어려움이 있으며, 시료의 특정 부분을 반복하여 측정하고자 하는 경우 동일 위치에 시료 고정대를 위치하는데 어려움이 있어 측정에 어려움이 있어왔다.Existing inspection equipments have difficulty in inspecting various parts of the filter due to the size limitation of the sample holder that holds the optical film or optical filter, and if you want to measure a specific part of a sample repeatedly, place the sample holder at the same location. It was difficult to measure, so it has been difficult to measure.
또한, 도 1과 같이 하나의 시료에 실크스크린(마스킹)으로 여러 구획을 나뉜 경우 항상 실크스크린의 중심부를 검사하여야 하는데, 기존의 방식은 일정 거리 간격으로 시료 고정대를 이동하게 설계되어 있어, 시료의 가장자리 정렬이 일정하시 않는 경우 위치 오차가 누적되는 문제가 있어 왔다.In addition, as shown in FIG. 1, when several sections are divided by a silk screen (masking) on one sample, the center of the silk screen must be inspected at all times. The conventional method is designed to move the sample holder at regular intervals. When the edge alignment is not constant, there has been a problem that the position error is accumulated.
본 발명은 플렉시블한 시료를 시료위치 정밀도를 서브 um 단위로 조절할 수 있는 장치를 제공하고자 한다. 본 발명에서는 검사에 필요한 광학계를 수직으로 구성하여 시료를 수평으로 고정할 수 있는 방법을 제공하고 있다. 기존의 수평형 광학계를 사용하는 경우 시료를 수직으로 고정하여야 하므로 플렉시블한 시료를 측정할 수 없는 문제가 있다.The present invention is to provide a device that can adjust the sample position precision of the flexible sample in sub-um units. The present invention provides a method of vertically configuring the optical system necessary for inspection to fix the sample horizontally. In the case of using an existing horizontal optical system, since the sample must be fixed vertically, there is a problem that a flexible sample cannot be measured.
따라서, 본 발명은 수직형 광학계를 사용함으로써 시료를 평면의 거치대 위에 거치할 수 있도록 함으로써 블렉시블한 시료를 측정할 수 있도록 하였다. 이를 위하여 기본위치가 수직하게 설치되는 광학계회전프레임에 광원과 광 검출기를 마주보게 구비하고, 이를 광학계회전프레임 회전 장치를 회전시킬 수 있도록 구비함으로써 필름시료를 0도에서 뿐만 아니라 40도의 입사각에서 검사할 수 있는 수단을 제공하였다. 이러한 구성에 의하여 광차단 필터 뿐만 아니라, 개인정보 보호를 위한 필름 등의 시야각을 검사할 수 있는 수단을 제공함은 물론이다.Therefore, the present invention was made to measure a flexible sample by allowing the sample to be mounted on a flat cradle by using a vertical optical system. To this end, the optical sample is installed at an optical rotation frame where the basic position is vertically installed, facing the light source and the light detector, and provided to allow the optical rotation frame rotation device to rotate, thereby inspecting the film sample at an angle of incidence of 40 degrees as well as at 0 degrees. It provided a means to do so. Of course, not only the light blocking filter but also a means for inspecting a viewing angle of a film for protecting personal information is provided by such a configuration.
본 발명은 가시광선-근적외선 영역 (350nm~1700nm)이 측정 가능한 분광계을 개발하고, 측정에 사용되는 광선빔 spot 크기를 1 mm 이하로 개발하며, 검사하고자 하는 시료 필터상에 마스킹 또는 실크스크린으로 영역이 나뉘어진 소형 광학필터의 배열 확인과 측정을 위한 위치이동을 위한 비젼 시스템(이미지처리 시스템) 및 모션 스테이지를 개발하였다.The present invention develops a spectrometer capable of measuring the visible-near-infrared region (350nm ~ 1700nm), develops the size of the light beam spot used for the measurement to 1 mm or less, and masks or silkscreens the area on the sample filter to be inspected. We developed a vision system (image processing system) and motion stage for moving the position to check and measure the arrangement of the divided small optical filter.
상기 모션스테이지 이동은 무철심 코어형 리니어 모터를 사용하였다.For the motion stage movement, an ironless core type linear motor was used.
본 발명의 마스킹(실크스크린) 검출은 일반적인 이미지처리 시스템의 경계선 검출을 이용하여 폐곡선을 검출하고 검출된 폐곡선으로부터 무게중심 법 또는 거리측정법 등을 이용하여 검출된 폐곡선의 형상에 따라 폐곡선의 중심을 구한다.The masking (silk screen) detection of the present invention detects a closed curve using boundary detection of a general image processing system, and obtains the center of the closed curve according to the shape of the closed curve detected using the center of gravity method or distance measurement method from the detected closed curve. .
또한, 광선빔의 크기를 30mm에서 1mm 사이를 조절할 수 있는 광 조리계를 광원의 선단에 구비한다. 또한, 상기 이미지처리를 위한 비젼 카메라를 위한 광원을 별도로 구비할 수 있다.In addition, an optical cooking system capable of adjusting the size of the light beam between 30 mm and 1 mm is provided at the tip of the light source. In addition, a light source for a vision camera for image processing may be separately provided.
본 발명의 광학필름 검사장치는 상기와 같은 문제를 해결하기 위하여,The optical film inspection apparatus of the present invention to solve the above problems,
받침프레임(160); 및 상기 받침프레임의 전후로 구비되여 시료 XY 모션 스테이지(120)를 전후로 움직이는 시료 XY 모션 스테이지 이송 리니어모터(140); 및Support frame 160; And a sample XY motion stage transfer
상기 받침프레임의 중앙부에 구비되어 상기 시료의 마스킹 위치를 확인하여 상기 시료 XY 모션스테이지의 위치를 정렬하는 비젼카메라(400); 및A
상기 비젼카메라의 바로 후방에 광학계회전프레임 및 상기 광학계회전프레임을 회전하는 광학계회전프레임 회전장치; 및An optical system rotation frame rotating device for rotating the optical system rotation frame and the optical system rotation frame immediately behind the vision camera; And
상기 광학계회전프레임의 상측 중심부에 구비되는 광원(200); 및A
상기 광원의 반대쪽 상기 광학계회전프레임 하부 프레임 중간에 구비되는 광 검출기(300); 을 구비하는 것을 특징으로 하는 이미지센서를 구비한 광학필름 검사장치를 제공한다.An
또한, 본 발명은 상기 광학필름 검사장치를 이용한 광학필름 검사방법을 제공한다.In addition, the present invention provides an optical film inspection method using the optical film inspection device.
상기 시료 XY 모션 스테이지(120)에 검사될 광학필름을 위치시키는 시료준비단계(S1); 및A sample preparation step (S1) of positioning an optical film to be inspected on the sample
상기 시료 XY 모션 스테이지(120)를 비젼 카메라 아래 초기 위치에 이동하는 시료 XY 모션 스테이지(120) 위치초기화단계(S2); 및A sample
상기 비젼 카메라에서 상기 시료 XY 모션 스테이지에 준비된 시료의 이미지를 획득하는 시료이미지획득단계(S3); 및A sample image acquisition step (S3) of acquiring an image of a sample prepared on the sample XY motion stage in the vision camera; And
상기 획득된 시료이미지로부터 이미지처리 프로그램을 실행하여 마스킹된 위치를 찾아내고, 폐곡선 형태로 마스킹된 이미지로부터 측정해야할 마스킹 중심의 위치를 찾아 저장하는 측정위치 저장단계(S4); 및A measurement location storage step (S4) of executing an image processing program from the acquired sample image to find a masked location, and finding and storing a location of a masking center to be measured from the masked image in the form of a closed curve; And
상기 저장된 측정위치를 순서대로 이동하고, 마스킹 중심에 위치하면 상기 광원에서 광을 조사하고 상기 시료를 통과한 광을 상기 광 검출기에어 검출하여 시료의 특성을 저장하는 측정 및 저장단계(S5); 및A measurement and storage step (S5) of moving the stored measurement positions in sequence and irradiating light from the light source and detecting the light passing through the sample in the photo detector air when it is located at the center of the masking to store characteristics of the sample; And
상기 저장된 측정위치로의 이동은 상기 시료 XY 모션 스테이지 이송 리니어모터(140)와 상기 시료 XY 모션 스테이지(120)을 상기 제어장치부에서 제어함으로써 위치이동이 되는 것을 특징으로 하는 광학필름 검사장치를 이용한 광학필름 검사방법을 제공한다.The movement to the stored measurement position is performed by controlling the sample XY motion stage transfer
또한, 상기 광학계회전프레임 회전장치를 회전하여 상기 시료의 0 도 에서부터 40 도 각도범위의 광학적 특성을 검사할 수 있는 것을 특징으로 하는 광학필름 검사장치를 이용한 광학필름 검사방법을 제공한다.In addition, an optical film inspection method using an optical film inspection apparatus is provided, which is capable of inspecting the optical properties of the angular range from 0 to 40 degrees of the sample by rotating the optical system rotating frame rotating device.
또한, 상기 광원에 구비된 광원 조리계를 조절하여 상기 광원의 상기 시료에 조사되는 크기를 조절함으로써 상기 마스킹 내부의 광학특성 검사 영역의 크기를 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 광학필름 검사장치를 이용한 광학필름 검사방법을 제공한다. In addition, by adjusting the light source cooking system provided in the light source to adjust the size irradiated to the sample of the light source, it is possible to adjust the size of the optical characteristic inspection area inside the masking, the optical film using an optical film inspection device characterized in that Provide inspection method.
상기 광 검출기 측면에는 레이저마킹기(미도시)를 구비하여 상기 검사에 의하여 불량으로 판별된 영역에 불량을 표시하는 마킹을 할 수 있는 마킹장치를 더 구비하는 광학필름 검사장치를 이용한 광학필름 검사방법을 제공한다.An optical film inspection method using an optical film inspection device further comprising a marking device capable of marking a defect that is marked as defective by the inspection by providing a laser marking machine (not shown) on the side of the photo detector. to provide.
또한 상기 광 검출기(300)의 하우징을 스텝모터를 이용하여 장비정면을 기준으로 좌우방향으로 회전가능하게 구비함으로써 상기 광학필름의 측면으로의 투과도를 각도별로 측정하는 수단을 제공한다.In addition, the housing of the
100 : 이미지센서를 구비한 광학필름 검사장치
110 : 제어장치부
120 : 시료 XY 모션 스테이지
130 : 광학계회전프레임 회전장치
140 : 시료 XY 모션 스테이지 이송 리니어모터
150 : 광학계회전프레임
200 : 광원
210 : 광원 조리계
300 : 광 검출기
400 : 비젼 카메라
500 : 광락필름
510 : 마스킹(실크스크린)100: optical film inspection device equipped with an image sensor
110: control unit
120: Sample XY motion stage
130: optical system rotating frame rotating device
140: sample XY motion stage feed linear motor
150: optical system rotating frame
200: light source
210: light source cooking system
300: photodetector
400: vision camera
500: Gwangrak Film
510: masking (silk screen)
Claims (1)
상기 받침프레임의 전후로 구비되여 시료 XY 모션 스테이지(120)를 전후로 움직이는 시료 XY 모션 스테이지 이송 리니어모터(140); 및
상기 받침프레임의 중앙부에 구비되어 상기 시료의 마스킹 위치를 확인하여 상기 시료 XY 모션스테이지의 위치를 정렬하는 비젼카메라(400); 및
상기 비젼카메라의 바로 후방에 광학계회전프레임 및
상기 광학계회전프레임을 회전하는 광학계회전프레임 회전장치; 및
상기 광학계회전프레임의 상측 중심부에 구비되는 광원(200); 및
상기 광원의 반대쪽 상기 광학계회전프레임 하부 프레임 중간에 구비되는 광 검출기(300);로 구성된 광학필름 검사장치를 이용한 광학필름 검사방법에 있어서,
상기 시료 XY 모션 스테이지(120)에 검사될 광학필름을 위치시키는 시료준비단계(S1); 및
상기 시료 XY 모션 스테이지(120)를 비젼 카메라 아래 초기 위치에 이동하는 시료 XY 모션 스테이지(120) 위치초기화단계(S2); 및
상기 비젼 카메라에서 상기 시료 XY 모션 스테이지에 준비된 시료의 이미지를 획득하는 시료이미지획득단계(S3); 및
상기 획득된 시료이미지로부터 이미지처리 프로그램을 실행하여 마스킹된 위치를 찾아내고, 폐곡선 형태로 마스킹된 이미지로부터 측정해야할 마스킹 중심의 위치를 찾아 저장하는 측정위치 저장단계(S4); 및
상기 저장된 측정위치를 순서대로 이동하고, 마스킹 중심에 위치하면 상기 광원에서 광을 조사하고 상기 시료를 통과한 광을 상기 광 검출기에서 검출하여 시료의 특성을 저장하는 측정 및 저장단계(S5); 및
상기 저장된 측정위치로의 이동은 상기 시료 XY 모션 스테이지 이송 리니어모터(140)와 상기 시료 XY 모션 스테이지(120)을 제어장치부에서 제어함으로써 위치이동이 되며,
상기 광학계회전프레임 회전장치를 회전하여 상기 시료의 0 도 에서부터 40 도 각도범위의 광학적 특성을 검사할 수 있으며,
상기 광 검출기 측면에 레이저마킹기를 구비하여 상기 검사에 의하여 불량으로 판별된 영역에 불량을 표시하는 마킹을 할 수 있는 마킹장치를 더 구비하는 광학필름 검사장치를 이용한 광학필름 검사방법.Support frame 160; And
A sample XY motion stage transfer linear motor 140 provided before and after the support frame to move the sample XY motion stage 120 back and forth; And
A vision camera 400 provided at the center of the support frame to check the masking position of the sample to align the position of the sample XY motion stage; And
Optical system rotating frame just behind the vision camera and
An optical system rotating frame rotating device for rotating the optical system rotating frame; And
A light source 200 provided at an upper central portion of the optical system rotating frame; And
In the optical film inspection method using an optical film inspection device consisting of; a light detector 300 provided in the middle of the lower frame of the optical system rotating frame opposite to the light source,
A sample preparation step (S1) of positioning an optical film to be inspected on the sample XY motion stage 120; And
A sample XY motion stage 120 position initialization step (S2) of moving the sample XY motion stage 120 to an initial position under the vision camera; And
A sample image acquisition step (S3) of acquiring an image of a sample prepared on the sample XY motion stage in the vision camera; And
A measurement location storage step (S4) of executing an image processing program from the acquired sample image to find a masked location, and finding and storing a location of a masking center to be measured from the masked image in the form of a closed curve; And
A measurement and storage step (S5) of moving the stored measurement positions in order and irradiating light from the light source and detecting the light passing through the sample at the photodetector when the light source passes through the sample and storing the characteristics of the sample; And
The movement to the stored measurement position is moved by controlling the sample XY motion stage transfer linear motor 140 and the sample XY motion stage 120 by a control unit,
By rotating the optical system rotating frame rotating device, it is possible to inspect the optical characteristics of the angular range from 0 to 40 degrees of the sample,
An optical film inspection method using an optical film inspection device further comprising a marking device capable of marking a defect in a region determined as defective by the inspection by providing a laser marking machine on the side of the photo detector.
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