KR101118192B1 - Non-Lighting Inspection Apparatus - Google Patents

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KR101118192B1
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쿠니히로 미즈노
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가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
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Abstract

본 발명의 목적은, 스미어(smear)나 블루밍(blooming) 등을 억제하여 적절한 검사를 하고, 백라이트광의 범위를 조절하여 오판정을 억제하는 데 있다. 본 발명은, 피검사패널의 비점등 검사를 하는 비점등 검사장치이다. 반송(搬送)장치에 대향시켜 설치되고, 그 반송장치에 의해 반송되는 상기 피검사패널의 화상을 수신하는 라인 카메라와, 상기 라인 카메라에 대향시켜 배치되고 상기 피검사패널에 빛을 조사하는 백라이트와, 상기 반송장치에 의해 반송되어 오는 상기 피검사패널의 위치를, 상기 라인 카메라의 상류쪽에서 검지하는 패널 센서와, 상기 백라이트로부터의 빛을 제어해 효율적으로 상기 라인 카메라에 입사시키는 광제어판과, 상기 피검사패널이 상기 라인 카메라의 시야에 들어올 때까지의 설정시간 후에 상기 백라이트를 점등시키는 제어부를 갖추었다. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to suppress smear, blooming, and the like, to perform appropriate inspection, and to control a range of backlight light to suppress false judgment. The present invention is a non-illumination inspection apparatus for performing a non-illumination inspection of an inspected panel. A line camera provided opposite to the conveying apparatus and receiving an image of the inspected panel conveyed by the conveying apparatus, a backlight disposed to face the line camera and irradiating light to the inspected panel; A panel sensor which detects the position of the inspected panel conveyed by the conveying apparatus on an upstream side of the line camera, an optical control panel for controlling the light from the backlight and efficiently entering the line camera; A control unit was provided to turn on the backlight after a set time until the panel under test entered the field of view of the line camera.

Description

비점등 검사장치{Non-Lighting Inspection Apparatus}Non-Lighting Inspection Apparatus}

본 발명은, 검사광을 피검사패널에 쬐어 먼지 등의 이물이나 기포 등의 결함의 유무를 검출하는 비점등 검사장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a non-illuminating inspection apparatus that detects the presence or absence of a defect such as foreign matter such as dust or bubbles by applying inspection light to an inspection panel.

비점등 검사는, 백라이트의 빛을 표시패널에 쬐어, 이물이나 결함의 유무를 검출하기 위한 검사이다. 이 같은 비점등 검사는 일반적으로 알려져 있다. 예를 들어 특허문헌 1에 나타낸 것 같은 예가 있다. 이 비점등 검사는, 액정을 봉입한 표시패널의 전극에 프로브를 접촉시켜 하는 점등검사보다 전에 행해진다. 비점등 검사장치는, 제조라인 등의 컨베이어 근방에 설치되어, 반송(搬送)되어 오는 표시패널을 수시 검사한다. 구체적으로는, 컨베이어로부터 표시패널을 기계 핸드로 흡착하고, 비점등 검사장치에 표시패널을 놓고, CCD카메라로 화상을 수신하고, 검사를 했었다. The non-illumination test is a test for detecting the presence of a foreign material or a defect by exposing the light of a backlight to a display panel. Such non-illumination tests are generally known. For example, there is an example as shown in Patent Document 1. This non-illumination inspection is performed before the lighting inspection in which the probe is brought into contact with the electrode of the display panel in which the liquid crystal is enclosed. A non-illumination inspection apparatus is installed in the vicinity of conveyors, such as a manufacturing line, and inspects the display panel conveyed at any time. Specifically, the display panel was sucked from the conveyor by a mechanical hand, the display panel was placed on a non-lighting inspection device, an image was received by a CCD camera, and the inspection was performed.

그러나, 이 경우, 검사에 시간이 걸려 버린다. 이 때문에 최근에는, 표시패널의 검사공정에서의 리드 타임의 단축을 도모하도록, 특허문헌 2처럼, 반송장치에 검사장치를 설치해, 비점등 검사와 반송을 동시에 할 수 있도록 부가가치를 높인 검사장치가 제안되고 있다. 이 검사장치는, 반송 이동하는 유리판에, 그 아래쪽에 설치한 광원에서 빛을 조사하고, 유리판 위쪽에 설치한 라인 카메라로 유리판의 반송방향과 직교하는 방향을 주사(走査) 촬상하고, 얻어진 명부(明部)와 암부(暗部)의 농담(濃淡)신호에 의해 유리판의 결함을 검출하는 장치이다. 이 검사장치에 의해, 유리판 중의 비차광성 결함을 빛나게 해 명부로 하고, 유리판 중의 차광성 이물에 차단되어 암부가 되도록 빛을 조사함으로써 차광성 이물 결함을 식별한다. In this case, however, the inspection takes time. For this reason, in recent years, in order to shorten the lead time in the inspection process of a display panel, like the patent document 2, the inspection apparatus which installed the inspection apparatus in the conveying apparatus and raised the added value so that a non-illumination inspection and conveyance can be proposed at the same time is proposed. It is becoming. The inspection apparatus irradiates light to a glass plate to be transported by a light source provided below the glass plate, and scans the direction orthogonal to the conveying direction of the glass plate with a line camera installed above the glass plate. It is an apparatus which detects the defect of a glass plate by the light and shade signal of a dark part and a dark part. By this inspection apparatus, non-shielding defects in the glass plate are made to shine, and light-shielding foreign matter defects are identified by irradiating light so as to be blocked by the light-shielding foreign substances in the glass plate and to be dark areas.

일본특허출원공개제2008-20588호공보Japanese Patent Application Publication No. 2008-20588 일본특허출원공개평11-337504호공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-337504

그러나, 반송장치의 윗면 쪽에 설치된 CCD카메라에, 반송장치의 밑면 쪽에 배치된 백라이트로부터 항상 빛이 조사되면, 스미어(smear)나 블루밍(blooming)이 발생하고, 결함의 유무를 판정할 수 없게 되어 버린다. However, if light is always irradiated to the CCD camera provided on the upper side of the conveying apparatus from the backlight disposed on the lower side of the conveying apparatus, smear or blooming occurs and it becomes impossible to determine the presence or absence of a defect. .

또한, 백라이트의 조사범위를 컨트롤할 수 없기 때문에, 표시패널의 사이즈를 변경하여, 작은 패널을 검사할 때 등에는 빛이 새어 버리고, 상기와 마찬가지로, 스미어나 블루밍이 발생해, 결함의 유무를 판정할 수 없게 되어 버린다. In addition, since the irradiation range of the backlight cannot be controlled, light is leaked when the size of the display panel is changed and a small panel is inspected, and smear or blooming occurs as described above, and the presence or absence of a defect is determined. I cannot do it.

본 발명은 이와 같은 문제점에 비추어 만들어진 것으로, 피검사패널 사이즈의 차이 등에 관계없이, 결함의 유무를 정확하게 판정할 수 있는 비점등 검사장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a non-lighting inspection apparatus capable of accurately determining the presence or absence of a defect, regardless of the difference in panel size to be inspected.

본 발명에 따른 비점등 검사장치는, 피검사패널의 비점등 검사를 하는 비점등 검사장치로서, 상기 피검사패널을 반송하는 반송장치에 대향시켜 설치되고, 그 반송장치에 의해 반송되는 상기 피검사패널의 화상을 수신하는 라인 카메라와, 상기 반송장치를 중간에 개재시킨 상태로 상기 라인 카메라에 대향시켜 배치되고 상기 피검사패널에 빛을 조사하는 백라이트와, 상기 반송장치에 의해 반송되어 오는 상기 피검사패널의 위치를, 상기 라인 카메라의 상류 쪽에서 검지하는 패널 센서와, 상기 백라이트로부터의 빛을 제어하여 효율적으로 상기 라인 카메라에 입사시키는 광제어판과, 상기 패널 센서로 상기 피검사패널의 위치를 검지하여 그 피검사패널이 상기 라인 카메라의 시야에 들어오기까지의 설정시간 후에 상기 백라이트를 점등시키는 제어부를 갖춘 것을 특징으로 한다.
The non-illumination inspection apparatus which concerns on this invention is a non-illumination inspection apparatus which performs the non-illumination inspection of a to-be-tested panel, Comprising: The said to-be-inspected conveyed by the conveying apparatus, installed opposite to the conveying apparatus which conveys the said to-be-tested panel. A line camera for receiving an image of the panel, a back panel arranged to face the line camera with the conveying device interposed therebetween, for irradiating light to the inspected panel, and the to-be-transported device A panel sensor for detecting the position of the inspection panel from an upstream side of the line camera, an optical control panel for controlling the light from the backlight and efficiently entering the line camera, and detecting the position of the inspection panel with the panel sensor. Control to turn on the backlight after a set time until the panel under test enters the field of view of the line camera. Characterized in that the feature.

스미어나 블루밍 등을 억제해 적절한 검사를 할 수 있다. 더욱이, 백라이트광의 범위를 조절해, 비점등 검사의 오판정을 억제할 수 있다.
Smear, blooming, etc. can be suppressed for proper inspection. Moreover, the range of backlight light can be adjusted and the misjudgment of a non-lighting test can be suppressed.

도1은, 피검사패널을 반송(搬送)하는 반송장치를 나타낸 평면도이다.
도2는, 본 발명의 제1 실시형태에 따른 비점등 검사장치를 나타낸 개략 측면도이다.
도3은, 본 발명의 제1 실시형태에 따른 비점등 검사장치를 나타낸 개략 정면도이다.
도4는, 본 발명의 제1 실시형태에 따른 비점등 검사장치의 차광판을 나타낸 평면도이다.
도5는, 본 발명의 제2 실시형태에 따른 비점등 검사장치를 나타낸 개략 정면도이다.
도6은, 본 발명의 제1 실시형태에 따른 비점등 검사장치의 광제어판을 나타낸 평면도이다.
도7은, 본 발명의 제3 실시형태에 따른 비점등 검사장치를 나타낸 개략 측면도이다.
도8은, 본 발명의 변형예를 나타낸 평면도이다.1 is a plan view showing a conveying apparatus for conveying a panel under test.
Fig. 2 is a schematic side view showing a non-lighting inspection device according to the first embodiment of the present invention.
3 is a schematic front view showing a non-lighting inspection device according to the first embodiment of the present invention.
Fig. 4 is a plan view showing a light shielding plate of the non-lighting inspection device according to the first embodiment of the present invention.
5 is a schematic front view showing a non-lighting inspection device according to a second embodiment of the present invention.
Fig. 6 is a plan view showing the light control plate of the non-illumination inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention.
Fig. 7 is a schematic side view showing a non-illumination inspection device according to a third embodiment of the present invention.
8 is a plan view showing a modification of the present invention.

이하, 본 발명의 실시형태에 따른 비점등 검사장치에 관해, 첨부도면을 참조하면서 설명한다. 본 발명에 따른 비점등 검사장치는, 피검사패널이 개재하지 않을 때 검사 카메라에 백라이트광이 직접 입사해 피검사패널의 결함 판정을 할 수 없게 되는 것을 방지함과 동시에, 피검사패널의 사이즈가 바뀌었을 때 오판정을 억제할 수 있게 개량한 검사장치이다.
EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the non-lighting test | inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention is demonstrated, referring an accompanying drawing. The non-illuminating inspection apparatus according to the present invention prevents the backlight from being directly incident on the inspection camera when the inspection panel is not interposed so that the defect inspection of the inspection panel cannot be made, and the size of the inspection panel is It is an inspection device that is improved to suppress misjudgment when it is changed.

제1 실시형태First Embodiment

본 실시형태의 비점등 검사장치는, 피검사패널을 반송하는 반송장치에 수용되어 있다. 반송장치는, 피검사패널의 제조라인 등에 설치되어 있는 일반적인 장치이다. 이 반송장치의 일례를 도1에 나타낸다. 도1 중 반송장치(11)는, 구동축(12)에 지지된 컨베이어 롤러(13)에 의해 피검사패널(2)을 반송하는 장치이다. 반송장치(11)는, 피검사패널의 제조라인 등에 복수 설치되어 있는 처리장치를 각각 연결하도록 설치된다.The non-illumination inspection apparatus of this embodiment is accommodated in the conveyance apparatus which conveys a test | inspection panel. A conveying apparatus is a general apparatus provided in the manufacturing line of a test | inspection panel, etc. An example of this conveying apparatus is shown in FIG. 1, the conveying apparatus 11 is an apparatus which conveys the test | inspection panel 2 by the conveyor roller 13 supported by the drive shaft 12. As shown in FIG. The conveying apparatus 11 is provided so that the processing apparatuses which are provided in multiple numbers in the manufacturing line of a test | inspection panel, etc. may be respectively connected.

반송장치(11)는, 2장의 측벽부(14) 사이에, 일정한 간격을 두고 복수 배치된 구동축(12)이 각각 설치되어 있다. 각 구동축(12)에는 복수개의 컨베이어 롤러(13)가 설치되어 있다. 구동축(12)은, 도시되지 않은 벨트 등에 연결되어 동력이 공급되고, 컨베이어 롤러(13)를 회전시키게 되어 있다. 각 구동축(12)의 컨베이어 롤러(13)가 각각 회전 구동됨으로써, 피검사패널(2)을 일정한 속도로 반송하게 되어 있다. 또한, 피검사패널(2)은, 상층을 구성하는 액정부(3)와, 하층을 구성하는 밑면 편광판(4)으로 구성되어 있다. As for the conveying apparatus 11, the drive shaft 12 arrange | positioned in multiple numbers at regular intervals is provided between two side wall parts 14, respectively. Each drive shaft 12 is provided with a plurality of conveyor rollers 13. The drive shaft 12 is connected to a belt (not shown) or the like to supply power to rotate the conveyor roller 13. The conveyor rollers 13 of the respective drive shafts 12 are rotationally driven to convey the inspected panel 2 at a constant speed. In addition, the panel under test 2 is comprised by the liquid crystal part 3 which comprises an upper layer, and the bottom polarizing plate 4 which comprises a lower layer.

비점등 검사장치(21)는, 상기 반송장치(11)에 의해 반송되고 있는 피검사패널(2)을, 반송상태 그대로 멈추지 않고 검사하기 위한 장치이다. 비점등 검사장치(21)는, 도2, 3에 나타낸 바와 같이, 라인 카메라(22)와, 백라이트(31)와, 차광판(15)과, 패널 센서(24)와, 제어부(25)로 구성되어 있다. The non-illumination inspection apparatus 21 is an apparatus for inspecting the test | inspection panel 2 conveyed by the said conveying apparatus 11, without stopping as it is in a conveyance state. As shown in Figs. 2 and 3, the non-illumination inspection apparatus 21 includes a line camera 22, a backlight 31, a light shield plate 15, a panel sensor 24, and a controller 25. It is.

라인 카메라(22)는, 반송장치(11)에 의해 반송되는 피검사패널(2)의 화상을 수신하기 위한 장치이다. 라인 카메라(22)는, 1차원 카메라로 구성되고, 피검사패널(2)의 반송방향에 직교하는 방향(가로방향)으로 스캔하도록 구성되어 있다. 라인 카메라(22)는, 반송장치(11)에 의해 반송되는 피검사패널(2)의 한쪽(위쪽)에, 이 피검사패널(2)에 대향시킨 상태로 배설되고, 피검사패널(2)을 투과하는 빛을 촬영한다. 구체적으로는, 아치형으로 형성된 카메라 프레임(23)이 반송장치(11)의 2장의 측벽부(14)에 각각 설치되어, 반송장치(11) 위쪽에 걸쳐져 있다. 이에 의해, 카메라 프레임(23)은, 피검사패널(2)의 반송방향에 직행하는 가로방향으로 배설되어 있다. 그리고, 복수의 라인 카메라(22)가 카메라 프레임(23)에 나란히 설치되어 있다. 이에 의해 각 라인 카메라(22)는, 가로방향으로 나란히 놓여, 피검사패널(2)의 전체 폭을 커버할 수 있게 되어 있다.The line camera 22 is an apparatus for receiving the image of the inspected panel 2 conveyed by the conveying apparatus 11. The line camera 22 is comprised with the 1-dimensional camera, and is comprised so that it may scan in the direction (horizontal direction) orthogonal to the conveyance direction of the panel under test 2. The line camera 22 is disposed on one side (upper side) of the inspected panel 2 conveyed by the conveying apparatus 11 in a state facing the inspected panel 2 and the inspected panel 2. Shoot the light that passes through it. Specifically, the arcuate camera frame 23 is provided in each of the two side wall parts 14 of the conveying apparatus 11, and is spread over the conveying apparatus 11 upper part. Thereby, the camera frame 23 is arrange | positioned in the horizontal direction which goes straight to the conveyance direction of the to-be-inspected panel 2. A plurality of line cameras 22 are provided side by side in the camera frame 23. As a result, the line cameras 22 are arranged side by side in the lateral direction to cover the entire width of the inspected panel 2.

그리고, 피검사패널(2)이 반송장치(11)에 의해 각 라인 카메라(22)의 직하 위치로 반송됨으로써, 각 라인 카메라(22)가 피검사패널(2)의 전면(全面)을 스캔하게 되어 있다. Then, the inspected panel 2 is conveyed to the position under the line camera 22 by the conveying apparatus 11, so that each line camera 22 scans the entire surface of the inspected panel 2. It is.

백라이트(31)는, 피검사패널(2)에 그 아래쪽에서 빛을 조사하여, 피검사패널(2)의 결함이나 이물 등을 검출하기 위한 조사수단이다. 백라이트(31)는, 반송장치(11)를 중간에 개재시킨 상태로 라인 카메라(22)에 대향시켜 배치되어 있다. 즉, 백라이트(31)는, 반송장치(11)에 의해 반송되는 피검사패널(2)의 다른쪽(아래쪽)으로서, 상기 라인 카메라(22)에 대향하는 위치(라인 카메라(22)의 직하 위치)에 배치되어 있다. 이 백라이트(31)는, 피검사패널(2)의 반송방향에 직교하는 방향임과 동시에, 상기 각 라인 카메라(22)의 스캔 방향으로 정합하도록 배설되어 있다. 백라이트(31)는, 직선 형태의 발광체로 구성되어, 라인 카메라(22)의 스캔 영역만을 조사한다.The backlight 31 is irradiation means for irradiating light to the panel 2 under the light to detect defects, foreign matters and the like of the panel 2 to be inspected. The backlight 31 is disposed to face the line camera 22 with the transfer device 11 interposed therebetween. That is, the backlight 31 is the other side (bottom side) of the panel under test 2 conveyed by the conveying apparatus 11, and is the position which opposes the said line camera 22 (position directly under the line camera 22). ) This backlight 31 is arranged so as to be aligned in the scan direction of each of the line cameras 22 while being a direction orthogonal to the conveyance direction of the inspected panel 2. The backlight 31 is composed of a linear light emitter and irradiates only the scan area of the line camera 22.

차광판(15)은, 백라이트(31)로부터의 빛을 제어해 효율적으로 상기 라인 카메라(22)에 입사시키는 광제어판이다. 구체적으로, 차광판(15)은, 백라이트(31)로부터의 빛을, 상기 각 라인 카메라(22)의 시야(스캔 영역) 전체에 조사하고, 그 시야 이외를 조사하지 않게 되어 있다. 차광판(15)은, 각 라인 카메라(22)와 백라이트(31) 사이에 배치되어 있다. 구체적으로, 차광판(15)은, 각 라인 카메라(22)와 백라이트(31) 사이로서, 컨베이어 롤러(13)와 백라이트(31) 사이에 배치되어 있다. The light shielding plate 15 is a light control board that controls the light from the backlight 31 and enters the line camera 22 efficiently. Specifically, the light shielding plate 15 irradiates the entire field of view (scan area) of each of the line cameras 22 with the light from the backlight 31 and does not irradiate other than the field of view. The light shielding plate 15 is disposed between each line camera 22 and the backlight 31. Specifically, the light shielding plate 15 is disposed between the conveyor roller 13 and the backlight 31 between each line camera 22 and the backlight 31.

차광판(15)은, 도4에 나타낸 바와 같이, 빛을 통과시키지 않는 판재로 구성되며, 그 중앙부에 빛을 투과시키는 슬릿(16)이 설치되어 있다. 이 슬릿(16)은, 백라이트(31)로부터의 빛을, 피검사패널 아래쪽에서, 상기 각 라인 카메라(22)의 시야 전체에만 한정해 조사하게 되어 있다. 상기 슬릿(16)은, 백라이트(31)로부터의 빛을 피검사패널(2) 아래쪽에서 시야 전체에 조사시킬 수 있는 치수의 긴 홈 형태로 형성되어 있다. 슬릿(16)의 길이는, 피검사패널(2)의 폭과 거의 같은 폭으로 설정된다. 적어도 피검사패널(2)의 액정부(3)보다 넓은 폭으로 설정된다. 밑면 편광판(4)의 폭보다 좁아도 된다. 차광판(15)의 단부(端部)와 슬릿(16)의 단부 사이에 폭이 차광 폭이 된다. 또한, 슬릿(16)의 폭은, 각 라인 카메라(22)에 의한 스캔을 가능하게 하는 폭으로 설정되어 있다. 즉, 어느 정도의 폭으로 설정된다. As shown in FIG. 4, the light shielding plate 15 is comprised from the board | plate material which does not let light pass, and the slit 16 which transmits light is provided in the center part. This slit 16 irradiates the light from the backlight 31 only in the whole field of view of each said line camera 22 below the panel under test. The slit 16 is formed in the shape of an elongated groove having a size capable of irradiating light from the backlight 31 to the entire field of view under the inspected panel 2. The length of the slit 16 is set to substantially the same width as the width of the inspected panel 2. It is set to at least wider than the liquid crystal part 3 of the panel under test 2. It may be narrower than the width of the bottom polarizing plate 4. The width becomes the light shielding width between the end of the light shielding plate 15 and the end of the slit 16. In addition, the width of the slit 16 is set to the width which enables the scan by each line camera 22. That is, it is set to some extent.

차광판(15)은, 피검사패널(2)의 사이즈 등의 조건에 맞춘 차광판(15)으로 교체 가능한 구조로 되어 있다. 구체적으로는, 반송장치(11)의 측벽부(14)에 나사 등의 설치 쇠장식에 의해 자유자재로 탈착할 수 있게 설치되어 있다. 측벽부(14)에는, 차광판(15)의 교체가 가능한 개구(도시되지 않음)가 열려 있다. 피검사패널(2)의 패널 사이즈나, 피검사패널(2)에 조사하는 백라이트광의 폭 등의 조건에 맞도록, 슬릿(16)이 다른 차광판(15)을 교체함으로써, 백라이트광이 투과하는 범위를 바꾼다. 차광판(15)은, 상기 개구에 삽입되어 고정된다. 차광판(15)의 고정방법으로서는, 설치 쇠장식에 의해 차광판(15)을 견고히 고정하게 해도 되고, 마찰판 등에 의해 차광판(15)이 어긋나지 않게 지지하는 정도여도 된다. The light shielding plate 15 is a structure which can be replaced with the light shielding plate 15 which suited conditions, such as the size of the to-be-inspected panel 2, and the like. Specifically, the side wall portion 14 of the conveying apparatus 11 is provided so as to be freely detachable by mounting brackets such as screws. In the side wall portion 14, an opening (not shown) in which the light shielding plate 15 can be replaced is opened. The range through which the slit 16 replaces the other light shielding plates 15 so as to match the panel size of the panel to be inspected and the width of the backlight light to be irradiated to the panel 2 to be inspected. Change. The light shielding plate 15 is inserted into the opening and fixed. As a fixing method of the light shielding plate 15, you may fix the light shielding plate 15 firmly by mounting bracket, or the grade which supports the light shielding plate 15 so that it may not shift | deviate by a friction plate etc. may be sufficient.

패널 센서(24)는, 반송장치(11)에 의해 반송되어 오는 피검사패널(2)의 위치를, 라인 카메라(22)의 상류 쪽에서 검지하기 위한 센서이다. 패널 센서(24)는, 도2에 나타낸 바와 같이, 피검사패널(2)이 각 라인 카메라(22) 근방에 접근해 있는 것을 검지한다. 패널 센서(24)는, 백라이트(31) 및 차광판(15) 근방에 배치되어 있다. 패널 센서(24)로서는, 근접 센서와 같은 비접촉으로 피검사패널(2)의 존재를 검지할 수 있는 센서를 사용한다. 패널 센서(24)는, 피검사패널(2)의 반송방향의 상류 쪽 근방에 배설되고, 반송되어 온 피검사패널(2)이 직전위치까지 접근해 있는 것을 검지한다. 이 패널 센서(24)에서의 피검사패널(2)의 검지를 트리거(trigger)로서 백라이트(31)를 점등하게 되어 있다. 이는, 스미어나 블루밍 등의 문제를 해결하기 위한 것이다. 백라이트(31)로부터 직접 라인 카메라(22)에 입사하는 빛과, 피검사패널(2)의 검사 시에 입사하는 빛에서는, 그 휘도에 큰 차가 있기 때문에, 백라이트(31)를 상시 점등시켜 두면, 스미어나 블루밍을 발생시키는 경우가 있다. 이 때문에, 패널 센서(24)에 의해, 피검사패널(2)의 통과를 검지하고, 그 피검사패널(2)이 라인 카메라(22)의 직하를 통과할 때만 백라이트(31)를 점등시킨다. 즉, 백라이트(31)는 통상 소등해 두고, 피검사패널(2)이 라인 카메라(22)의 직하를 통과할 때만 백라이트(31)를 점등시키도록 제어한다. The panel sensor 24 is a sensor for detecting the position of the inspected panel 2 conveyed by the conveying apparatus 11 from an upstream side of the line camera 22. As shown in FIG. 2, the panel sensor 24 detects that the inspected panel 2 is near the line camera 22. The panel sensor 24 is disposed in the vicinity of the backlight 31 and the light shielding plate 15. As the panel sensor 24, a sensor capable of detecting the presence of the inspected panel 2 in a non-contact manner such as a proximity sensor is used. The panel sensor 24 is arranged in the vicinity of the upstream side of the conveyance direction of the inspected panel 2, and detects that the inspected panel 2 which has been conveyed approaches to the immediately preceding position. The backlight 31 is turned on as a trigger for detecting the inspected panel 2 by the panel sensor 24. This is to solve problems such as smear and blooming. The light incident directly on the line camera 22 from the backlight 31 and the light incident upon the inspection of the panel 2 to be inspected have a large difference in brightness, so that when the backlight 31 is always turned on, Smear or blooming may occur. For this reason, the panel sensor 24 detects the passage of the inspected panel 2, and turns on the backlight 31 only when the inspected panel 2 passes directly under the line camera 22. That is, the backlight 31 is usually turned off, and the backlight 31 is controlled to light only when the inspected panel 2 passes directly under the line camera 22.

패널 센서(24)의 설치위치는 정확히 특정한다. 이는, 피검사패널(2)을 패널 센서(24)로 검지한 후, 피검사패널(2)의 선단(先端)이 라인 카메라(22)의 직하의 시야에 들어오기까지의 시간을 정확히 특정함과 동시에, 피검사패널(2)의 후단(後端)이 라인 카메라(22)의 직하의 시야를 통과하기까지의 시간을 정확히 특정하기 위함이다. 즉, 피검사패널(2)이 라인 카메라(22)의 시야에 들어오기 직전에 백라이트(31)를 점등시키고, 시야를 통과한 직후에 백라이트(31)를 소등시키기 위함이다. 이 때, 백라이트(31)의 점등 응답시간도 고려해 설정한다. 이 때문에, 패널 센서(24)의 설치위치에서 라인 카메라(22)의 시야까지의 거리와, 피검사패널(2)의 반송속도로부터, 피검사패널(2)의 상기 시야로의 도달시간(라인 카메라(22)의 시야에 들어오기까지의 시간)을 알 수 있기 때문에, 피검사패널(2)의 선단의 도달시간의 경과 직전에 백라이트(31)를 점등시키고, 피검사패널(2)의 후단의 도달시간의 경과 직후에 백라이트(31)를 소등시키도록 제어한다. 이때, 피검사패널의 유무를 센서가 검지하고, 백라이트(31)가 점등 또는 소등하는 응답시간도 고려해 시간을 설정한다. 이들 제어는 제어부(25)에서 한다.The installation position of the panel sensor 24 is exactly specified. This accurately specifies the time until the front end of the inspected panel 2 enters the field of view immediately below the line camera 22 after the inspected panel 2 is detected by the panel sensor 24. At the same time, it is to accurately specify the time until the rear end of the inspected panel 2 passes through the field of view immediately below the line camera 22. In other words, the backlight 2 is turned on immediately before the inspected panel 2 enters the field of view of the line camera 22, and the backlight 31 is turned off immediately after passing through the field of view. At this time, the lighting response time of the backlight 31 is also set in consideration. For this reason, the arrival time (line) of the distance from the installation position of the panel sensor 24 to the field of view of the line camera 22 and the conveyance speed of the panel under inspection 2 to the field of view of the panel under inspection 2. Since the time required to enter the field of view of the camera 22) can be known, the backlight 31 is turned on immediately before the arrival time of the tip of the panel under test 2 elapses, and the rear end of the panel under test 2 is checked. The backlight 31 is turned off immediately after the arrival time of? At this time, the sensor detects the presence or absence of the inspected panel and sets the time in consideration of the response time when the backlight 31 is turned on or off. These controls are performed by the control unit 25.

또한, 패널 센서(24)는, 피검사패널(2)의 반송속도와 백라이트(31)의 응답시간을 고려한 거리 d(도2 참조)를 미리 산출해 특정한 설치위치에 설치하게 해도 된다. 또한, 피검사패널(2)의 사이즈에 따라 반송속도가 일정해지지 않는 경우가 있기 때문에, 패널 센서(24)의 위치를 조절할 수 있도록, 패널 센서(24)를 피검사패널(2)의 반송방향으로 이동시키는 이동기구를 설치해도 된다. 더욱이, 패널 센서(24)는, 가로방향으로 복수 설치하여, 피검사패널(2)을 여러 군데에서 검출하게 해도 된다.In addition, the panel sensor 24 may calculate the distance d (refer FIG. 2) in consideration of the conveyance speed of the panel under test 2 and the response time of the backlight 31, and install it in a specific installation position. In addition, since the conveyance speed may not be constant depending on the size of the inspected panel 2, the panel sensor 24 is moved in the conveyance direction of the inspected panel 2 so that the position of the panel sensor 24 can be adjusted. You may install the moving mechanism which moves to the surface. Furthermore, the panel sensor 24 may be provided in plural in the lateral direction, and the panel to be inspected 2 may be detected at various places.

제어부(25)는, 화상처리와 점등제어를 하기 위한 장치이다. 구체적으로, 제어부(25)는, 패널 센서(24)에 의해 피검사패널(2)의 위치를 검지하여 상기 설정시간 후에 백라이트(31)를 점등 및 소등시킨다. 제어부(25)는, 패널 센서(24)와, 백라이트(31)와, 라인 카메라(22)에 각각 접속되어(도2, 3에서는 편의적으로 라인 카메라(22)에만 접속해 있지만, 모두에 접속된다.), 이들을 제어한다. 구체적으로, 제어부(25)는, 패널 센서(24)로부터의 검출신호에 근거해 백라이트(31)의 ON, OFF를 제어함과 동시에, 라인 카메라(22)로부터의 화상정보를 수신해 화상처리를 하는 장치이다. 이 제어부(25)에는, 모니터(26)가 접속되어 있다. 모니터(26)는, 라인 카메라(22)의 화상을 전사(轉寫)하여, 작업자가 확인 등을 한다. The control unit 25 is an apparatus for performing image processing and lighting control. Specifically, the control unit 25 detects the position of the inspected panel 2 by the panel sensor 24, and turns on and off the backlight 31 after the set time. The control unit 25 is connected to the panel sensor 24, the backlight 31, and the line camera 22, respectively (in FIGS. 2 and 3, only the line camera 22 is conveniently connected, but is connected to all of them). .), To control them. Specifically, the control unit 25 controls the ON and OFF of the backlight 31 based on the detection signal from the panel sensor 24, and receives image information from the line camera 22 to perform image processing. Device. The monitor 26 is connected to this control part 25. The monitor 26 transfers the image of the line camera 22, and a worker confirms it.

이상과 같이 구성된 비점등 검사장치(21)는 다음과 같이 작용한다. Non-illumination inspection apparatus 21 configured as described above acts as follows.

비점등 검사의 개시와 함께 라인 카메라(22)를 ON으로 하여, 패널 센서(24)를 작동시킨다. 그리고, 반송장치(11)에 의해 반송되어 오는 피검사패널(2)의 선단을 패널 센서(24)가 검지하면, 그 검지신호를 제어부(25)로 송신한다. The panel sensor 24 is operated by turning on the line camera 22 with the start of the non-lighting inspection. And when the panel sensor 24 detects the front-end | tip of the to-be-inspected panel 2 conveyed by the conveying apparatus 11, the detection signal is transmitted to the control part 25. FIG.

제어부(25)는, 패널 센서(24)의 검지신호의 수신 시로부터 설정시간 후에 백라이트(31)를 ON으로 하여, 피검사패널(2)의 선단이 라인 카메라(22)의 시야에 들어오기 직전 또는 피검사패널(2)의 밑면 편광판(4)이 시야에 들어오고 액정부(3)가 시야에 들어오기 직전에, 시야 전체를 조사한다. 즉, 차광판(15)의 슬릿(16)에 의해 라인 카메라(22)의 시야 영역에만 조사된다. The control unit 25 turns on the backlight 31 after a set time from the reception of the detection signal of the panel sensor 24, and immediately before the front end of the panel 2 under test enters the field of view of the line camera 22. Or just before the bottom polarizing plate 4 of the to-be-inspected panel 2 enters a visual field, and the liquid crystal part 3 enters a visual field, the whole visual field is irradiated. In other words, only the field of view of the line camera 22 is irradiated by the slit 16 of the light shielding plate 15.

이어서, 제어부(25)는, 패널 센서(24)가 피검사패널(2)이 통과하였음을 의미하는 피검사패널(2)로부터의 신호를 수신하지 못한 때로부터 설정시간 후에 백라이트(31)를 OFF로 한다. 즉, 피검사패널(2)의 후단이 라인 카메라(22)의 시야에서 벗어난 직후 또는 피검사패널(2)의 액정부(3)가 시야에서 벗어나 밑면 편광판(4)이 시야에 남아 있는 시점에서, 백라이트(31)를 OFF로 하여, 백라이트(31)의 빛이 라인 카메라(22)에 직접 입사하지 않게 한다. Subsequently, the controller 25 turns off the backlight 31 after a set time from when the panel sensor 24 does not receive a signal from the panel 2 under test, which means that the panel under test 2 has passed. Shall be. That is, immediately after the rear end of the panel under test 2 is out of view of the line camera 22 or when the liquid crystal part 3 of the panel under test 2 is out of view and the bottom polarizing plate 4 remains in the field of view. The backlight 31 is turned off so that light of the backlight 31 does not directly enter the line camera 22.

이어서, 제어부(25)는, 라인 카메라(22)로부터 수신한 화상을 처리해, 다른 부분과 휘도가 다른 점이나 선 등을 검색한다. 예를 들어, 노멀리 화이트(Normally White)의 경우는 검은 그림자가 되는 점이나 선 등, 노멀리 블랙의 경우는, 빛난 점이나 선 등을 검색한다. 이들 점이나 선 등이 없으면 양호, 있으면 불량으로 판단하고, 불량인 피검사패널(2)을 제거하는 등의 처리를 한다.Next, the control part 25 processes the image received from the line camera 22, and searches for the point, the line, etc. which differ in brightness from another part. For example, in the case of normally white, a point or a line which becomes a black shadow, etc. is searched for a shining point, a line, etc. in a case of normally black. If these points, lines, etc. are not present, it judges that it is good or bad, and the process of removing the to-be-tested panel 2 which is bad is performed.

이상과 같이, 백라이트(31)의 ON/OFF제어를 최적의 시간에 함으로써, 스미어나 블루밍 문제를 억제해, 검사 정밀도를 향상시킬 수 있다.As described above, by performing ON / OFF control of the backlight 31 at an optimum time, smear and blooming problems can be suppressed and inspection accuracy can be improved.

더욱이, 차광판(15)으로 백라이트광의 범위를 조절하여, 백라이트광이 직접 라인 카메라(22)에 입사하지 않게 했기 때문에, 비점등 검사의 오판정을 억제할 수 있다.Furthermore, since the range of the backlight light is adjusted by the light shielding plate 15 so that the backlight light does not directly enter the line camera 22, the misjudgment of non-lighting inspection can be suppressed.

또한, 라인 카메라(22)는 1차원 카메라로 구성되고, 백라이트(31)는 직선 형태의 발광체로 구성됐기 때문에, 종래의 2차원 카메라이며, 면 형태 발광체의 구성에 비해 대폭 비용을 저감할 수 있다.
In addition, since the line camera 22 is constituted by a one-dimensional camera and the backlight 31 is constituted by a linear light emitter, the line camera 22 is a conventional two-dimensional camera, and the cost can be greatly reduced as compared with the configuration of the planar light emitter. .

제2 실시형태2nd Embodiment

다음으로, 본 발명의 제2 실시형태에 관해 설명한다. 본 실시형태의 비점등 검사장치의 전체구성은, 위에서 설명한 제1 실시형태의 비점등 검사장치와 동일하기 때문에, 동일한 부재에는 동일한 부호를 달아 그 설명을 생략한다.Next, a second embodiment of the present invention will be described. Since the whole structure of the non-illumination test | inspection apparatus of this embodiment is the same as that of the non-illumination test | inspection apparatus of 1st Embodiment demonstrated above, the same code | symbol is attached | subjected to the same member, and the description is abbreviate | omitted.

본 실시형태는, 피검사패널(2)의 패널 사이즈가 변경된 경우에도 대응할 수 있도록 개량한 것이다. 백라이트(31)에 의한 빛의 조사범위가 일정한 경우, 피검사패널(2)의 패널 사이즈를 변경하면, 피검사패널(2)로부터 빛이 새어 나오거나, 피검사패널(2) 전체를 조사할 수 없거나 한다. 이를 해소하기 위해, 차광판(15′)을 사용한다. 이 차광판(15′)은, 상기 백라이트(31)로부터의 빛을 제어해 효율적으로 상기 라인 카메라(22)에 입사시키는 광제어판이다. This embodiment is improved so that even when the panel size of the inspected panel 2 is changed, it can respond. When the irradiation range of the light by the backlight 31 is constant, if the panel size of the panel under inspection 2 is changed, light may leak from the panel under inspection 2 or the entire panel 2 may be irradiated. Can or should not. In order to solve this problem, the light shielding plate 15 'is used. The light shielding plate 15 'is a light control plate that controls the light from the backlight 31 and enters the line camera 22 efficiently.

차광판(15′)은 2장의 차광판으로 구성된다. 즉, 차광판(15′)은, 도5, 6에 나타낸 바와 같이, 좌우로 분할된 2장의 차광판으로 구성됨과 동시에 각 차광판이 슬라이드 가능하게 지지되고, 각 차광판의 간격(슬릿)(16′)을 조정하여, 상기 백라이트(31)의 빛의 폭을 새로운 피검사패널의 사이즈에 맞춘다. The light shielding plate 15 'is composed of two light shielding plates. That is, as shown in Figs. 5 and 6, the light shielding plate 15 'is composed of two light shielding plates divided left and right, and the respective light shielding plates are slidably supported, and the intervals (slits) 16' of each light shielding plate are adjusted. By adjusting, the width of the light of the backlight 31 is adjusted to the size of the new inspected panel.

각 차광판(15′)에는, 긴 구멍(17)이 형성되어 있다. 측벽부(14)에 설치된 나사 등의 설치 지그(jig)(도시되지 않음)가 긴 구멍(17)에 관통해 설치되어, 이 설치 지그에 의해 차광판(15′)이 지지되어 있다. 차광판(15′)은, 긴 구멍(17)을 슬라이드시킴으로써, 차광 폭을 임의로 확축(擴縮)시키고, 패널 사이즈의 변경에 맞춰 조절이 가능해진다. 차광판(15′)의 슬라이드 기구는, 패널 사이즈로의 변경 시에 수동으로 차광 폭을 조절해도 되지만, 모터와 같은 구동장치를 설치해, 패널 사이즈의 변경 시에 데이터를 입력하고 차광 폭을 조절한다. Long holes 17 are formed in each light shielding plate 15 '. A mounting jig (not shown) such as a screw provided in the side wall portion 14 penetrates through the long hole 17, and the light shielding plate 15 ′ is supported by the mounting jig. By sliding the long hole 17, the light shielding plate 15 'arbitrarily expands the light shielding width, and can be adjusted to change the panel size. Although the slide mechanism of the light shielding plate 15 'may adjust the light shielding width manually at the time of changing to a panel size, it installs a drive device like a motor, inputs data and adjusts a light shielding width at the time of changing a panel size.

비점등 검사장치는, 피검사패널이 검사장치부(21)를 통과할 때, 라인 카메라(22)가 피검사패널의 화상을 차례로 수신하고, 그 화상 데이터를 바탕으로 제어부(25)에 의해 양호?불량의 판단이 이루어진다. 먼지나 기포가 혼입되어 있으면, 백라이트광이 난반사하여 편광판을 투과하기 때문에, 먼지나 기포를 판별할 수 있다. In the non-illuminating inspection apparatus, when the inspected panel passes through the inspecting unit 21, the line camera 22 sequentially receives the images of the inspected panel, and the control unit 25 satisfies the image data. A judgment of bad is made. If dust or bubbles are mixed, the backlight light is diffusely reflected and transmitted through the polarizing plate, so that dust or bubbles can be discriminated.

이에 의해, 상기 제1 실시형태와 마찬가지로 작용, 효과를 가져올 수 있다.
Thereby, an effect and an effect can be brought about similarly to the said 1st Embodiment.

제3 실시형태Third embodiment

다음으로, 본 발명의 제3 실시형태에 관해 설명한다. 본 실시형태의 비점등 검사장치의 전체구성은, 위에서 설명한 제1 실시형태의 비점등 검사장치와 동일하기 때문에, 동일한 부재에는 동일한 부호를 달아 그 설명을 생략한다. 본 실시형태의 비점등 검사장치는 편광판을 갖춘 것이다. Next, a third embodiment of the present invention will be described. Since the whole structure of the non-illumination test | inspection apparatus of this embodiment is the same as that of the non-illumination test | inspection apparatus of 1st Embodiment demonstrated above, the same code | symbol is attached | subjected to the same member, and the description is abbreviate | omitted. The non-illumination inspection apparatus of this embodiment is equipped with a polarizing plate.

도7은, 편광판(4)이 없는 피검사패널(2′)에 있어서의 비점등 검사의 실시예를 나타내고 있다. 편광판(4)이 없는 피검사패널(2′)은, 검사 시에 백라이트광을 모두 투과해 버리고, 고휘도의 빛이 라인 카메라(22)에 입사해 양호?불량의 판정을 할 수 없는 문제가 일어난다. 그러므로, 본 실시형태에서는, 광제어판(4′)을 설치했다. 이 광제어판(4′)은, 상기 백라이트(31)로부터의 빛을 제어해 효율적으로 상기 라인 카메라(22)에 입사시키는 판재이다. Fig. 7 shows an embodiment of the non-illumination inspection in the inspection panel 2 'without the polarizing plate 4. The inspected panel 2 'without the polarizing plate 4 transmits all the backlight light at the time of inspection, and high-brightness light enters the line camera 22, resulting in a problem in which good or bad judgment cannot be made. . Therefore, in this embodiment, the light control board 4 'was provided. This light control board 4 'is a board | plate material which controls the light from the said backlight 31, and makes it enter the said line camera 22 efficiently.

상기 광제어판(4′)은, 2장의 편광판으로 구성되어 있다. 이들 편광판은 1/4 파장판으로 구성되어 있다. 이 2장의 1/4 파장판의 편광 방향을 서로 90도 어긋나게 하여 배설되어 있다. 한쪽 1/4 파장판은 상기 라인 카메라(22)에 면하고, 다른쪽 1/4 파장판은 상기 백라이트(31)에 면해 각각 배치되어 있다. The light control plate 4 'is composed of two polarizing plates. These polarizing plates are comprised by a quarter wave plate. The polarization directions of the two quarter wave plates are shifted by 90 degrees to each other and are disposed. One quarter wave plate faces the line camera 22, and the other quarter wave plate faces the backlight 31, respectively.

이에 의해, 보통은, 한쪽 1/4 파장판과 다른쪽 1/4 파장판에 의해, 백라이트(31)로부터의 빛은 차단되어, 라인 카메라(22)의 화상은 검어진다. As a result, light from the backlight 31 is usually blocked by one quarter wave plate and the other quarter wave plate, and the image of the line camera 22 becomes black.

그리고, 피검사패널(2′)에 이물이 존재할 경우는, 백라이트(31) 쪽의 1/4 파장판에서 직선 편광된 빛이, 이물에 의해 난반사하여, 라인 카메라(22) 쪽의 1/4 파장판을 투과해 버린다. 이에 의해, 라인 카메라(22)는, 통상의 화상 중에, 점 또는 선의 빛을 검지한다. And when a foreign material exists in the to-be-inspected panel 2 ', the light linearly polarized by the 1/4 wave plate of the backlight 31 side is diffusely reflected by a foreign material, and the 1/4 of the line camera 22 side is carried out. It penetrates the wave plate. Thereby, the line camera 22 detects the light of a point or a line in a normal image.

이에 의해, 스미어나 블루밍 문제를 억제하여, 검사 정밀도를 향상시킬 수 있다. 더욱이, 백라이트광이 직접 라인 카메라(22)에 입사하지 않기 때문에, 비점등 검사의 오판정을 억제할 수 있다.
Thereby, smear and blooming problems can be suppressed and inspection precision can be improved. Furthermore, since backlight light does not directly enter the line camera 22, the misjudgment of non-lighting inspection can be suppressed.

변형예Variant

상기 각 실시형태에서는, 라인 카메라(22)를 2개 설치했으나, 피검사패널(2)에는 여러 사이즈가 있기 때문에, 피검사패널(2)의 사이즈에 맞춰 1개 또는 3개 이상의 라인 카메라(22)를 설치하게 해도 된다. 이 경우도, 상기 각 실시형태와 동일한 작용, 효과를 가져올 수 있다. In each of the above-described embodiments, two line cameras 22 are provided, but since the inspected panel 2 has various sizes, one or three or more line cameras 22 are adapted to the size of the inspected panel 2. ) May be installed. Also in this case, the same effects and effects as in the above embodiments can be brought about.

상기 각 실시형태에서는, 비점등 검사장치(21)를, 카메라 프레임(23) 등에 의해 반송장치(11)에 일체로 수용시켰으나, 다른 부재로 해서 적당히, 기존의 반송장치(11)에 수용시키게 해도 된다. 예를 들어, 카메라 프레임(23) 등의 설치 지그를, 반송장치(11)에 탈착 가능하게 구성하여, 기존의 반송장치(11)에 수용시킨다. 설치 지그를, 'コ'자 형태로 구성해, 반송장치(11)에 그 옆에서 삽입해 설치하게 해도 된다.In each of the above embodiments, the non-illumination inspection apparatus 21 is integrally accommodated in the conveying apparatus 11 by the camera frame 23 or the like, but the other conveying apparatus 11 may be accommodated in the existing conveying apparatus 11 as appropriate. do. For example, the installation jig | tool, such as the camera frame 23, is comprised so that attachment or detachment is possible to the conveying apparatus 11, and it is made to accommodate in the existing conveying apparatus 11. As shown in FIG. The mounting jig may be configured in a 'co' shape and inserted into the conveying apparatus 11 next to it.

상기 제1 실시형태에서는, 차광판(15)의 슬릿(16)은 일정한 길이로 설정했으나, 차광판(15)을 신축 가능한 구성으로 하여, 슬릿(16)의 길이를 조정할 수 있게 해도 된다. 구체적으로는 도8에 나타낸 바와 같이, 차광판(41)은, 슬라이드 판편(板片)(42)과, 슬라이드 지지편(支持片)(43)으로 구성되어 있다. 슬라이드 판편(42)은, 제1 실시형태의 차광판(15)을 그 중앙 부근에서 절단한 한쪽 편(片)으로 구성되어 있다. 슬라이드 지지편(43)은, 제1 실시형태의 차광판(15)을 그 중앙 부근에서 절단한 상태로, 그 양 단부에, 상기 슬라이드 판편(42)의 양 단부가 끼워 맞춰지는 지지통부(支持筒部)(44)를 갖추어 구성되어 있다. 이에 의해, 슬라이드 지지편(43)의 각 지지통부(44)에 슬라이드 판편(42)의 양 단부가 끼워 맞춰져 슬라이드하고, 슬릿(45)의 길이를 조정한다. 즉, 피검사패널(2)의 폭 사이즈에 맞춰 슬릿 길이의 조절을 가능하게 해, 상기 백라이트(31)의 빛을 상기 피검사패널(2)의 폭 사이즈에 맞추게 해도 된다. Although the slit 16 of the light shielding plate 15 was set to a fixed length in the said 1st Embodiment, you may make it possible to adjust the length of the slit 16 by making it the structure which can expand and contract. Specifically, as shown in FIG. 8, the light shielding plate 41 is composed of a slide plate piece 42 and a slide support piece 43. The slide plate piece 42 is comprised by the one piece which cut | disconnected the light shielding plate 15 of 1st Embodiment in the vicinity of the center. The slide support piece 43 cut | disconnects the light shielding plate 15 of 1st Embodiment near the center, and the support cylinder part which both ends of the said slide plate piece 42 are fitted in the both ends. A part 44 is provided and comprised. Thereby, the both ends of the slide plate piece 42 are fitted to each support cylinder part 44 of the slide support piece 43, and it slides, and the length of the slit 45 is adjusted. That is, the slit length may be adjusted in accordance with the width size of the inspected panel 2, and the light of the backlight 31 may be adjusted to the width size of the inspected panel 2.

이 경우도, 상기 각 실시형태와 동일한 작용, 효과를 가져올 수 있다. Also in this case, the same effects and effects as in the above embodiments can be brought about.

또한, 상기 각 실시형태에서는, 차광판(15)과 광제어판(4′)을 개별로 설치했지만, 이들을 겹쳐서 설치해도 된다. In addition, in each said embodiment, although the light shielding plate 15 and the light control board 4 'were provided separately, you may provide these in parallel.

또한, 상기 제2 실시형태의, 2장의 차광판을 지지하는 차광 폭 조절기구를 설치해도 된다. 이 차광 폭 조절기구를, 상기 각 차광판을 각각 지지해 이동시키는, 직동 모터 등으로 이루어진 직동기구에 의해 구성하여, 작업자가 모니터(26)를 보면서 차광판의 간격을 피검사패널(2)의 폭에 맞춰 정확히 조정하게 해도 된다. Moreover, you may provide the light shielding width | variety adjustment mechanism which supports two light shielding plates of the said 2nd Embodiment. The light-shielding width adjusting mechanism is constituted by a linear motion mechanism made of a linear motion motor which supports and moves each of the light-shielding plates, and the operator views the monitor 26 to adjust the distance between the light-shielding plates to the width of the inspected panel 2. It may be adjusted correctly.

상기 각 실시형태에서는, 상기 패널 센서(24)를, 카메라 프레임(23)에 고정했지만, 직동기구에 의해, 피검사패널(2)의 반송방향에 직교하는 방향으로 슬라이드 가능하게 설치해도 된다. 또한, 직동기구는, 자동이어도, 수동이어도 된다. In each said embodiment, although the said panel sensor 24 was fixed to the camera frame 23, you may install in a direction orthogonal to the conveyance direction of the to-be-inspected panel 2 by a linear motion mechanism. The linear motion mechanism may be automatic or manual.

본 발명은, 상기 각 실시형태에는 한정되지 않고, 그 취지를 벗어나지 않는 한, 각종 변경이 가능하다. 특히, 차광판의 형상이나 배치, 이동기구 등은 여러 가지 개량이 가능하다. This invention is not limited to each said embodiment, A various change is possible as long as the meaning is not deviated. In particular, the shape, arrangement, moving mechanism, etc. of the light shielding plate can be variously improved.

상기 제3 실시형태에서 검사하는 피검사패널(2′)은, 편광판(4)을 설치하기 전 단계의 패널을 대상으로 하고 있지만, 최종적인 패널로서는, 편광판(4)을 피검사패널(2′)의 아래쪽 면에만 설치한 것, 위쪽 면에만 설치한 것 또는 상하 양쪽 면에 설치한 것이 있다.
The inspected panel 2 'to be inspected in the third embodiment is intended for the panel before the polarizer 4 is provided, but as the final panel, the inspected panel 2' is used as the final panel. It can be installed only on the bottom side of the), only on the top side, or on both top and bottom sides.

본 발명의 비점등 검사장치는, 검사광을 투과하는 패널로서, 그 내부나 표면에, 먼지 등의 이물이나 기포 등의 결함이 있는지 없는지를 검출할 필요가 있는 모든 패널의 검사에 사용할 수 있다.
The non-illumination inspection apparatus of this invention is a panel which permeate | transmits a test | inspection light, and can be used for the inspection of all the panels which need to detect whether the inside or the surface has defects, such as a foreign material and a bubble, such as dust.

11: 반송(搬送)장치 12: 구동축
13: 컨베이어 롤러 14: 측벽부
15: 차광판 15′: 차광판
16: 슬릿 17: 긴 구멍
21: 비점등 검사장치 22: 라인 카메라
23: 카메라 프레임 24: 패널 센서
25: 제어부 26: 모니터
31: 백라이트 41: 차광판
42: 슬라이드 판편(板片) 43: 슬라이드 지지편(支持片)
45: 슬릿11: conveying apparatus 12: drive shaft
13: conveyor roller 14: side wall portion
15: shading plate 15 ': shading plate
16: slit 17: long hole
21: non-illumination inspection device 22: line camera
23: camera frame 24: panel sensor
25: control unit 26: monitor
31: backlight 41: shading plate
42: slide plate piece 43: slide support piece
45: slit

Claims (8)

피검사패널의 비점등 검사를 하는 비점등 검사장치로서,
상기 피검사패널을 반송(搬送)하는 반송장치에 대향시켜 설치되고, 그 반송장치에 의해 반송되는 상기 피검사패널의 화상을 수신하는 라인 카메라;
상기 반송장치를 중간에 개재시킨 상태로 상기 라인 카메라에 대향시켜 배치되고 상기 피검사패널에 빛을 조사하는 백라이트;
상기 반송장치에 의해 반송되어 오는 상기 피검사패널의 위치를, 상기 라인 카메라의 상류 쪽에서 검지하는 패널 센서;
상기 백라이트로부터의 빛을 제어해 효율적으로 상기 라인 카메라에 입사시키는 광제어판; 및
상기 패널 센서로 상기 피검사패널의 위치를 검지하여 그 피검사패널이 상기 라인 카메라의 시야에 들어올 때까지의 설정시간 후에 상기 백라이트를 점등시키는 제어부;
를 갖추고,
상기 광제어판이, 빛을 투과시키는 슬릿을 갖춘 차광판으로 구성되고,
그 차광판의 슬릿이, 상기 피검사패널의 폭 사이즈에 맞춰 슬릿 폭의 조절을 가능하게 하여, 상기 백라이트의 빛을 상기 피검사패널의 폭 사이즈에 맞추고,
상기 차광판을 신축 가능한 구성으로 하여, 상기 슬릿의 길이를 조정하는 것을 특징으로 하는 비점등 검사장치.
As a non-illuminating inspection device for performing non-illuminated inspection of the inspection panel,
A line camera provided opposite to a conveying apparatus for conveying the inspected panel and receiving an image of the inspected panel conveyed by the conveying apparatus;
A backlight disposed to face the line camera with the conveying apparatus interposed therebetween and irradiating light to the inspected panel;
A panel sensor that detects a position of the inspected panel conveyed by the conveying apparatus from an upstream side of the line camera;
An optical control panel that controls the light from the backlight to efficiently enter the line camera; And
A control unit which detects the position of the panel under test by the panel sensor and turns on the backlight after a predetermined time until the panel under test enters the field of view of the line camera;
Equipped with
The light control plate is composed of a light shielding plate having a slit for transmitting light,
The slit of the light shielding plate makes it possible to adjust the slit width in accordance with the width size of the inspected panel, to match the light of the backlight to the width size of the inspected panel,
A non-illuminating inspection apparatus, characterized in that the slit length is adjusted by making the light shielding plate stretchable.
제1항에 있어서, 상기 광제어판이, 좌우로 분할된 2장의 차광판으로 구성됨과 동시에 각 차광판이 슬라이드 가능하게 지지되고, 각 차광판의 간격을 조정해, 상기 백라이트의 빛의 폭을 상기 피검사패널의 사이즈에 맞추는 것을 특징으로 하는 비점등 검사장치.
The panel according to claim 1, wherein the light control panel is composed of two light shielding plates divided left and right, and each light shielding plate is slidably supported, and the intervals of the light blocking plates are adjusted to adjust the width of the light of the backlight. Non-illumination inspection apparatus, characterized in that according to the size of.
제2항에 있어서, 상기 2장의 차광판이, 차광 폭 조절기구에 지지되고,
그 차광 폭 조절기구가, 상기 각 차광판을 각각 지지하여 이동시키는 직동기구에 의해 구성된 것을 특징으로 하는 비점등 검사장치.
The said two light shielding plates are supported by the light shielding width | variety adjustment mechanism,
The light shielding width adjusting mechanism is constituted by a linear motion mechanism which supports and moves each of the light shielding plates, respectively.
제1항에 있어서, 상기 차광판이, 탈착 가능하게 설치되고, 상기 피검사패널의 사이즈 등의 조건에 맞춰 교체되는 것을 특징으로 하는 비점등 검사장치.
The non-illumination inspection apparatus according to claim 1, wherein the light shielding plate is detachably provided and replaced according to conditions such as the size of the inspected panel.
제1항에 있어서, 상기 패널 센서가, 피검사패널의 반송방향에 직교하는 방향으로 슬라이드 가능하게 설치된 것을 특징으로 하는 비점등 검사장치.
The non-illumination inspection apparatus according to claim 1, wherein the panel sensor is slidably installed in a direction orthogonal to the conveyance direction of the inspected panel.
제1항에 있어서, 상기 광제어판이, 편광 방향을 서로 어긋나게 한 2장의 편광판으로 구성되고, 한쪽 편광판이 상기 라인 카메라와 마주보고, 다른쪽 편광판이 상기 백라이트와 마주보도록 배치된 것을 특징으로 하는 비점등 검사장치.
2. The boiling point according to claim 1, wherein the light control plate is composed of two polarizing plates with different polarization directions, one polarizing plate facing the line camera and the other polarizing plate facing the backlight. Back inspection device.
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