KR100873743B1 - 검사 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명의 검사 장치는, 불필요한 노이즈 광을 확실하게 차단하여, 측정 정밀도를 향상시키기 위한 것이다. 본 발명은, 액정 패널을 배면에서 조명하여 검사하는 검사 장치로서, 개구를 구비하여 장치 본체 측에 장착되는 고정 베이스와, 상기 고정 베이스의 배면 측에 설치되어 상기 개구로부터 상기 액정 패널의 배면을 조명하는 백라이트와, 상기 고정 베이스 상에 4 개를 조합하여 직사각형 형상이면서 상기 액정 패널의 치수에 맞추어 이동 가능하도록 배치되고 그 내부둘레 측에 가변 개구를 형성하는 가동 베이스와, 상기 각각의 가동 베이스의 외부둘레 측에 설치되어, 상기 고정 베이스의 개구 보다 상기 가동 베이스의 가변 개구가 작아졌을 때 상기 가동 베이스의 외부둘레 측에 생기는 간극으로부터 누설되는 백라이트 광을 차단하는 차광 커버를 구비한다.

검사 장치, 노이즈 광, 백라이트, 액정 패널, 가동 베이스, 차광 커버, 가변 개구

Description

검사 장치{Inspection Apparatus}

본 발명은, 액정 표시 패널과 같은 검사 대상판을 배면(背面)에서 조명하여 검사하는 검사 장치에 관한 것이다.

액정 표시 패널 등을 검사하는 검사 장치에서, 크기가 다른 표시용 패널을 검사할 때에는, 접촉자 유닛 및 검사 스테이지를 모두 교체해야하며, 그 작업이 번잡했다. 이를 해소하기 위해, 특허문헌 1에 기재된 발명이 제안되었다. 상기 특허문헌 1의 발명에서는, 베이스를 가동식으로 하여, 패널 치수의 차이에 따라 개구의 크기를 조정함과 동시에 접촉자 유닛의 위치를 조정함으로써, 접촉자 유닛이나 검사 스테이지를 교체하지 않고 대응할 수 있도록 했다.

특허문헌 1: 일본공개특허 제2006-119031호 공보

그런데, 상기 종래의 검사 장치에서는, 검사 대상인 패널의 치수가 작아지면, 광(光) 누설 문제가 발생했다. 도 2 및 도 3에 기초하여, 상기 현상에 대해 설명한다.

도 2에 나타내는 바와 같이, 베이스 플레이트(base plate)(1) 상에, 베이스 개구부(2)를 둘러싸도록, 4 개의 가동 베이스(3)가 구비되고, 이들이 서로 결합하여 사각형의 패널받이(4)를 형성한다. 검사 대상인 패널은, 상기 패널받이(4) 상에 놓여진다.

패널이 작은 경우에는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 가동 베이스(3)를 서로 결합하면서 위치를 이동시켜서, 패널받이(4)를 작게 하여, 작은 치수의 패널에 대응시킨다.

그러나 이러한 경우에, 검사 대상인 패널의 치수가 지나치게 작으면, 도 3에 나타내는 바와 같이, 작은 치수의 패널받이(4)와 베이스 개구부(2) 사이에 간극이 발생하여, 백라이트 광이 외부로 누설되는 광 누설부(5)가 생기게 된다.

상기 광 누설부(5)로부터 누설된 광은 검사 시에 노이즈 광이 되어, 검사 정밀도를 악화시킨다.

본 발명은 상술한 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은, 작은 치수의 검사 대상판에 대하여 노이즈 광을 확실하게 제거함으로써 검사 정밀도를 향상시키는데 있다.

본 발명은, 상기 과제를 해결하기 위해, 검사 대상판을 배면에서 조명하여 검사하는 검사 장치로서, 개구를 구비하여 장치 본체 측에 장착되는 고정 베이스와, 상기 고정 베이스의 배면 측에 설치되어 상기 개구로부터 상기 검사 대상판의 배면을 조명하는 백라이트와, 상기 고정 베이스 상에 4 개를 조합하여 직사각형이면서 상기 검사 대상판의 치수에 맞추어 이동 가능하게 배치되고 그 내부둘레 측에 가변 개구를 형성하는 가동 베이스와, 상기 각각의 가동 베이스의 외부둘레 측에 형성되어, 상기 고정 베이스의 개구 보다 상기 가동 베이스의 가변 개구가 작아졌을 때 상기 가동 베이스의 외부둘레 측에 생기는 간극으로부터 누설되는 상기 백라이트 광을 차단하는 차광 부재를 구비하여 구성된 것을 특징으로 한다.

상기 구성에 따라, 상기 가동 베이스를 작은 치수의 검사 대상판에 맞추어 이동시켜서 상기 가변 개구를 작게 하면, 상기 가동 베이스의 외부둘레 측과 상기 고정 베이스의 개구 사이에 간극이 생기는데, 이 간극은 상기 차광 부재에 의해 가려지기 때문에, 상기 백라이트 광이 상기 간극으로부터, 검사 대상판의 표면을 촬영하는 카메라 및 검사하는 작업자 측으로 누설되지 않게 된다.

상기 차광 부재는, 상기 가동 베이스의 외부둘레 측의 간극을 가리는 판 부재 또는 필름으로 구성하는 것이 바람직하다.

상기 구성에 의해, 상기 가동 베이스를 작은 치수의 검사 대상판에 맞추어 이동시켜서 상기 가변 개구를 작게 하면, 상기 가동 베이스의 외부둘레 측과 상기 고정 베이스의 개구 사이에 간극이 생기는데, 상기 간극은 상기 차광 부재인 판 부재 또는 필름으로 가려지기 때문에, 상기 간극으로부터 상기 백라이트 광이 누설되 지 않게 된다.

상기 차광 부재를 구성하는 판 부재 또는 필름의 상기 백라이트측 면은, 상기 백라이트 광을 흡수하거나 산란시키도록 표면처리를 하는 것이 바람직하다.

상기 구성에 의해, 표면처리된 차광 부재에 누설된 광이 닿으면, 상기 차광 부재에서 상기 광이 흡수되거나 산란되어, 카메라 등으로 도달하지 않게 된다.

상기 가동 베이스를 작은 치수의 검사 대상판에 맞춘 경우에 생기는 간극은, 상기 차광 부재인 판 부재 또는 필름으로 가려지기 때문에, 상기 간극으로부터 상기 백라이트 광이 누설되지 않게 되며, 노이즈 광을 확실하게 차단할 수 있어, 측정 정밀도를 향상시킬 수 있다.

또한, 표면처리된 차광 부재로 광을 흡수하거나 산란시킴으로써, 노이즈 광이 카메라 등으로 도달하지 않게 되기 때문에, 측정 정밀도를 향상시킬 수 있다.

이하, 본 발명의 실시형태에 대해 설명한다. 본 실시형태에서 검사 장치는, 백라이트 광이 검사 대상판의 바깥쪽으로부터 누설되어 노이즈 광이 되는 것을 방지하여 측정 정밀도를 향상시키기 위한 장치이다. 검사 대상판은 직사각형 형상의 판 부재이다. 그 일례로서 여기서는, 액정 패널을 예로 들어 설명한다.

본 발명은, 액정 패널을 지지하는 검사 스테이지 등을 구비한 검사 장치 모 두에 적용할 수 있다. 검사 스테이지는, 도 4에 나타내는 바와 같이, X, Y 및 Z의 세 방향으로 변위시킴과 동시에 Z 방향으로 연장되는 θ 축선 주위로 회전시키는 기구를 구비한 스테이지 본체(도시 생략), 상기 스테이지 본체에 장착되는 베이스 판(11), 상기 베이스 판(11)에 지주(支柱)(12)를 통하여 일정 간격을 두고 지지되는 패널지지기구(13), 상기 베이스 판(11)과 패널지지기구(13) 사이에 설치되어 액정 패널(14)(도 7 참조)을 배면에서 조명하는 백라이트(15) 등을 구비하여 구성된다. 또한, 백라이트(15)는 하우징(16)과, 상기 하우징(16) 내에 평행하게 배치된 복수개의 형광관(17)으로 구성되며, 후술하는 고정 베이스(20)의 개구(28) 전체를 균등하게 조사(照射)한다.

본 발명의 특징은, 이러한 검사 장치에서, 상기 검사 스테이지의 상측에 장착되는 패널지지기구(13)에 있어서의 백라이트(15)의 노이즈 광의 문제를 개량한 점에 있다. 따라서, 이하에서는, 패널지지기구(13)를 중심으로 설명한다. 도 1은 본 발명에 따른 패널지지기구를 나타내는 평면도, 도 4는 도 1의 A-A선을 따른 단면도, 도 5는 본 발명에 따른 패널지지기구를 차광 커버를 제거한 상태에서 나타내는 부분 단면 사시도, 도 6은 본 발명에 따른 패널지지기구를 차광 커버를 제거한 상태에서 나타내는 부분 단면 평면도, 도 7은 본 발명에 따른 패널지지기구를 차광 커버를 제거한 상태에서 나타내는 평면도, 도 8은 본 발명에 따른 패널지지기구의 가동 베이스를 나타내는 정면도, 도 9는 본 발명에 따른 패널지지기구의 가동 베이스를 나타내는 평면도, 도 10은 도 9의 B-B선을 따른 단면도이다.

패널지지기구(13)는, 액정 패널(14)을 배면에서 백라이트(15)로 조사하면서, 액정 패널(14)의 전극과 접촉자(프로브)를 서로 접촉시키기 위해, 액정 패널(14)을 정확하게 위치결정하여 지지하는 기구이다. 패널지지기구(13)는, 도 4 ~ 도 6에 나타내는 바와 같이, 주로 베이스 판(11)의 지주(12)에 장착되는 고정 베이스(20)와, 상기 고정 베이스(20) 상에 4 개를 조합하여 직사각형이면서 액정 패널(14)의 치수에 맞추어 이동가능하게 배치된 가동 베이스(21)와, 각각의 가동 베이스(21) 중 인접하는 2 개에 설치되어 액정 패널(14)의 가장자리부에 접촉하여 상기 액정 패널(14)의 위치를 결정하는 스토퍼 핀(22)과, 상기 스토퍼 핀(22)과 마주보는 위치에 액정 패널(14)을 끼우도록 설치되어 스토퍼 핀(22)과 더불어 액정 패널(14)을 끼워 유지하는 패널 클램프(23)와, 상기 스토퍼 핀(22) 및 패널 클램프(23)를 각각 지지한 상태에서 각각의 가동 베이스(21)에 위치결정하여 장착되는 위치결정기구(24)와, 노이즈 광을 차단하는 차광 커버(25)를 구비하여 구성되어 있다.

고정 베이스(20)는 전체가 직사각형 형상으로 형성되어 있다. 고정 베이스(20)의 중앙에는, 백라이트로부터의 광을 수용하는 직사각형 개구(28)가 형성되어 있다. 이 개구(28)는 고정 베이스(20)의 두께방향으로 관통되어 형성되며, 검사 가능한 액정 패널(14) 중 최대 치수의 액정 패널(14)에 맞춘 크기로 설정되어 있다.

각각의 가동 베이스(21)의 전체 형상은 긴 판형으로 형성되어 있다. 가동 베이스(21)의 전체 길이는 개구(28)의 대응하는 가장자리부의 길이 이상으로 설정되어 있다. 4 개의 가동 베이스(21)가 조합되어 가변 개구(30)가 형성된다. 즉, 1 개의 가동 베이스(21)의 길이방향의 일단면(一端面)이 상대측 가동 베이스(21)의 측 면에 접촉함으로써, 사각형의 가변 개구(30)를 형성한다. 또한, 각각의 가동 베이스(21)는 길이방향의 일단면과 상대측 측면 사이에서, 상대측 측면을 따라 슬라이딩 가능하도록 지지되어 있다. 이에 따라, 도 7과 같은 소형 액정 패널(14)에 대응된 소형 가변 개구(30)에서, 상기 개구(28)와 거의 동일한 크기의 가변 개구(30)에 이르기까지, 그 크기를 임의로 조정할 수 있게 형성되어 있다.

각각의 가동 베이스(21)에는, 도 5 및 도 6에 나타내는 바와 같이, 서로 조합됨으로써, 액정 패널(14)을 고정 베이스(20)와 평행하게 지지하는 패널받이(32)가 형성되어 있다. 가동 베이스(21)는 두꺼운 평판 형상으로 형성되며, 그 평판의 안쪽 끝에는 세워진 판 형상의 패널받이(32)가 형성되어 있다. 이에 따라, 가동 베이스(21)와 패널받이(32)는, 단면 형상이 L 자형으로 형성된다. 4 개의 가동 베이스(21)가 서로 조합됨으로써, 4 개의 패널받이(32)가 액정 패널(14)을 지지하는 가변 개구(30)를 형성한다.

각각의 가동 베이스(21)는, 각각의 결합 장치(34)에 의해 고정 베이스(20)에 결합되어 있다. 결합 장치(34)는 가동 베이스(21)가 고정 베이스(20)와 평행한 면 내에서 이차원적으로 이동 가능하도록 지지하고 있다.

상기 결합 장치(34)는, 각각의 가동 베이스(21)의 길이방향과 직교하는 방향(제1 방향)으로 연장되도록 고정 베이스(20)의 상부면에 장착된 제1 레일(36)과, 상기 제1 레일(36)에 이동가능하게 결합된 제1 가이드(37)와, 상기 제1 가이드(37)의 상측에 일체로 장착된 연결 부재(38)와, 가동 베이스(21)의 길이방향(제2 방향)을 따라 가동 베이스(21)의 하부면에 일체로 장착된 제2 레일(39)과, 상기 제2 레 일(39)에 이동가능하게 결합됨과 동시에 상기 연결 부재(38)에 일체로 장착된 2 개의 제2 가이드(40)와, 고정 베이스(20)의 상부면에 장착된 상태로 상기 연결 부재(38)에 연결되어 상기 연결 부재(38) 및 그것의 상측 구조물을 제1 레일(36)을 따라 제1 방향으로 이동시키는 구동부(41)를 구비하여 구성되어 있다.

구동부(41)는, 제1 레일(36)을 따라 회전가능하게 배치된 볼나사(43)와, 상기 볼나사(43)를 회전 구동하는 구동 모터(44)와, 볼나사(43)에 결합된 상태로 연결 부재(38)에 고정되어 볼나사(43)의 회전에 의해 제1 레일(36)을 따라 연결 부재(38)를 이동시키는 너트(45)로 구성되어 있다.

또한, 가동 베이스(21)의 하부면에는, 제3 레일(46)이 상기 제2 레일(39)과 평행하게 일체로 장착되어 있다. 상기 제3 레일(46)에는 제3 가이드(47)가 이동가능하게 결합되어 있다. 그리고, 상기 제3 가이드(47)는, 가동 베이스(21)의 일단부에 일체로 장착되어 있다. 이에 따라, 각각의 가동 베이스(21)는 길이방향의 일단면과, 직교하는 상대측 가동 베이스(21)의 측면 사이에서, 상대측 측면을 따라 이동가능하게 지지되어 있다. 그리고, 4 개의 가동 베이스(21) 전부가 이러한 구조로 서로 결합되어 있다. 그 결과, 4 개의 가동 베이스(21)로 형성되는 가변 개구(30)는, 소형 액정 패널(14)에 대응된 소형 가변 개구(30)에서, 대형 액정 패널(14)에 대응된 대형 가변 개구(30)에 이르기까지, 그 크기를 임의로 조정할 수 있게 형성되어 있다. 구체적으로는, 4 개의 구동부(41)를 동시에 작동시켜서, 4 개의 가동 베이스(21)를 동시에 이동시킴으로써, 가변 개구(30)의 크기를 임의로 조정할 수 있게 형성되어 있다.

위치결정기구(24)는, 상기 스토퍼 핀(22) 및 패널 클램프(23)를 각각 지지한 상태에서 각각의 가동 베이스(21)에 위치결정하여 장착하기 위한 기구이다. 스토퍼 핀(22)을 지지하는 위치결정기구(24)나 패널 클램프(23)를 지지하는 위치결정기구(24)는 모두 동일한 구성을 가지기 때문에, 여기서는 패널 클램프(23)를 지지하는 위치결정기구(24)를 도 8 ~ 도 10에 기초하여 설명한다.

위치결정기구(24)는, 기판(51), 위치규제플레이트(52), 및 위치결정플레이트(53)로 구성된다.

기판(51)은, 상기 패널 클램프(23)를 지지하기 위한 판 부재이다. 기판(51)은 사각형 평판 형상으로 형성되어 있다. 패널 클램프(23)는 기판(51)의 한 변을 따라 장착되어 있다. 기판(51)에는 긴 구멍(55)과 원형 구멍(56)이 형성되어 있다.

긴 구멍(55)은, 상기 액정 패널(14)의 가장자리부에 평행한 방향을 따라 길게 형성되어 있다. 또한 긴 구멍(55)은 액정 패널(14)의 가장자리부에 평행한 방향을 따라 2 개가 나란히 형성되어 있다. 각각의 긴 구멍(55)은, 기판(51)을 위치규제플레이트(52)에 고정하는 나사(57)를 관통시키기 위한 구멍이다. 긴 구멍(55)은, 상기 긴 구멍(55)으로 관통된 나사(57)가 긴 구멍(55) 내에서 이동할 수 있게 함으로써, 후술하는 위치규제플레이트(52)의 나사 구멍(60)에 결합된 나사(57)가, 상기 기판(51)을 상기 액정 패널(14)의 가장자리부에 평행한 방향으로 다소 이동시킬 수 있게 형성되어 있다.

원형 구멍(56)은, 기판(51)을 위치결정플레이트(53)에 고정하는 나사(58)를 관통시켜 액정 패널(14)의 가장자리부에 평행한 방향의 위치를 결정하기 위한 구멍 이다. 원형 구멍(56)은 나사(58)의 크기에 맞춰 형성되며, 나사(58)가 흔들거리지 않도록, 그 내부 지름이 설정되어 있다.

위치규제플레이트(52)는, 상기 액정 패널(14)의 가장자리부에 접촉하는 패널 클램프(23)를 지지한 상기 기판(51)을, 상기 액정 패널(14)의 가장자리부에 평행한 방향으로는 이동가능하게 하고 상기 가장자리부에 직교하는 방향으로는 설정위치에 고정하여 지지하기 위한 플레이트이다. 위치규제플레이트(52)는 구체적으로는, 가늘고 긴 판 부재로 구성되며, 가동 베이스(21)의 패널받이(32)를 따라 고정되어 있다. 가늘고 긴 판 형상의 위치규제플레이트(52)에는, 나사 구멍(60)이, 상기 액정 패널(14)의 가장자리부와 평행한 방향을 따라, 그 전체길이에 걸쳐서 일렬로 다수 형성되어 있다. 각각의 나사 구멍(60)은 긴 구멍(55)의 길이와 거의 동일한 간격으로 설정되어 있다. 이에 따라, 어느 나사 구멍(60)에 나사(57)가 결합된 상태에서 기판(51)이 긴 구멍(55)을 따라 이동할 수 있는 범위와, 이웃하는 나사 구멍(60)에 나사(57)가 결합된 상태에서 기판(51)이 긴 구멍(55)을 따라 이동할 수 있는 범위가 서로 겹쳐져서, 위치규제플레이트(52)의 전체 길이의 모든 위치에서 기판(51)을 고정할 수 있게 되어 있다.

위치결정플레이트(53)는, 위치규제플레이트(52)와 평행하게 배치되어 위치규제플레이트(52)에 지지된 상기 기판(51)을 상기 액정 패널(14)의 가장자리부에 평행한 방향으로 위치결정하여 지지하기 위한 플레이트이다. 위치결정플레이트(53)는 가늘고 긴 판 부재로 구성되어 있다. 위치결정플레이트(53)에는, 기판(51)의 원형 구멍(56)으로 관통된 나사(58)가 결합되는 나사 구멍이, 기판(51)의 설치위치에 맞 추어 1 개 또는 복수개 형성된다. 여기서는, 액정 패널(14)의 짧은 변 측에 맞추어 1 개의 나사 구멍이 위치결정플레이트(53)에 형성되어 있다.

위치결정플레이트(53)의 양 끝에는, 끼워맞춤부로서의 핀 구멍(63)이 형성되어 있다. 가동 베이스(21) 측에는, 핀 구멍(63)에 대응하는 위치에 2 개의 끼움 핀(64)이 설치되어 있다. 이들 핀 구멍(63) 및 끼움 핀(64)은, 위치결정플레이트(53)의 나사 구멍이 설치위치에 정확히 맞도록 위치결정되어 있다. 이에 따라, 기판(51) 상의 패널 클램프(23)가 정확한 위치에 위치결정된다.

위치결정플레이트(53)로는, 설정이 서로 다른 여러 종류의 플레이트가 준비된다. 구체적으로는, 액정 패널(14)의 치수에 따라 설정된 패널 클램프(23)의 설치 수에 따른 개수의 나사 구멍(42)이 형성된 다수 종류의 플레이트가 준비된다. 이들 위치결정플레이트(53)는 핀 구멍(63) 및 끼움 핀(64)에 의해 쉽게 교체된다. 위치결정 플레이트(53)의 길이는, 각각의 가동 베이스(21)에 따라 다르게 해도 좋고, 전부 동일하게 해도 좋다.

아울러, 스토퍼 핀(22)을 지지하기 위한 위치결정기구(24)도 상기와 마찬가지로 구성되어 있다.

차광 커버(25)는, 고정 베이스(20)의 개구(28) 보다 가동 베이스(21)의 가변 개구(30)가 작아졌을 때, 상기 가동 베이스(21)의 외부둘레 측(4 개의 패널받이(32)로 형성되는 가변 개구(30)의 외부둘레 측)에 생기는 간극으로부터 누설되는 상기 백라이트 광을 차단하는 차광 부재, 즉 노이즈 광을 차단하는 차광 부재이다. 상기 차광 커버(25)는, 도 1, 도 4, 도 8 ~ 도 10에 나타내는 바와 같이, 직사각형 의 평판형 부재로 구성되어 있다. 차광 커버(25)는, 각각의 가동 베이스(21)의 패널받이(32)와 동일한 길이로 설정되며, 또한 간극(61)(도 7 참조)이 최대일 때와 같거나 그 보다 큰 폭으로 설정되어 있다. 차광 커버(25)는, 각각의 가동 베이스(21)에서 패널받이(32)의 반대측에, 커버 장착 부재(62)를 통하여, 외부둘레 측으로 연장되어 장착되어 있다.

차광 커버(25)의 백라이트(15)측 면에는, 백라이트(15) 광을 흡수하거나 산란시키는 표면처리가 가해져있다. 상기 표면처리로는, 구체적으로, 차광 커버(25)의 백라이트(15)측 면을 검게 칠하거나, 벨벳을 붙이거나, 간유리와 같이 표면에 미세하게 오돌토돌한 무늬를 형성하는 방법이 있다. 이에 따라, 노이즈 광을 흡수하거나 산란시켜서, 화상 촬영용 카메라에 노이즈 광이 입사(入射)하지 않도록 했다.

상술한 바와 같이 구성된 패널지지기구(13)는 다음과 같이 작용한다. 아울러, 검사 장치 전체의 작용은, 종래의 검사 장치와 동일하므로, 여기서는 패널지지기구(13)의 작용을 중심으로 설명한다.

우선, 액정 패널(14)의 치수에 맞추어 패널지지기구(13)의 가동 베이스(21)를 조정한다. 구체적으로는, 구동부(41)의 구동 모터(44)로 볼나사(43)를 회전시켜, 너트(45)를 이동시킨다. 너트(45)의 이동은 제1 레일(36) 및 제1 가이드(37)에 의해 규제된다. 제1 가이드(37), 제2 레일(39), 및 제2 가이드(40)는 연결 부재(38)로 고정되고, 너트(45)와 일체가 되어 이동한다. 제2 레일(39)과 제3 레일(46)은 가동 베이스(21)에 고정되어 있다.

이에 따라, 연결 부재(38)에 고정된 제2 가이드(40)가 제2 레일(39)을 통하여 가동 베이스(21)를 이동시킨다. 또한, 상기 가동 베이스(21)와 직교하는 가동 베이스(21)의 제3 가이드(47)는 제3 레일(46)에 끼워 맞추어져 있으며, 직교하는 가동 베이스(21)는 너트(45)의 이동에 따라 이동한다. 한편, 직교하는 가동 베이스(21)는, 너트(45)의 이동 방향에 직교하는 방향으로는 자유롭게 이동할 수 있다.

상기 동작이 4 개의 구동부(41)에서 동시에 발생하여, 가동 베이스(21)의 각각은 서로 접하는 한쪽 가동 베이스와의 관계에서 구동측이 되고, 다른쪽 가동 베이스(21)와의 관계에서 종동(從動)측이 되어, 4 개의 가동 베이스(21)를 서로 이동시킨다. 이에 따라, 도 7과 같이, 각 가동 베이스(21)의 패널받이(32)로 액정 패널(14)을 그 아래쪽에서 지지하고, 스토퍼 핀(22)과 패널 클램프(23)로 액정 패널(14)을 위치결정하여 지지한다.

치수가 서로 다른 액정 패널(14)의 경우에는, 가동 베이스(21)를 이동시켜 다시 조정한다. 이 경우에는, 구동부(41)의 구동 모터(44)로 볼나사(43)를 회전시켜서, 너트(45), 연결 부재(38), 제2 가이드(40), 제2 레일(39)을 통하여 가동 베이스(21)를 이동시킨다. 상기 동작이 4 개의 구동부(41)에서 동시에 발생하여, 4 개의 가동 베이스(21)를 서로 이동시켜서, 예를 들어 도 4에 나타낸 바와 같이, 작은 치수의 액정 패널(14)에 맞춘다.

이 때, 스토퍼 핀(22)과 패널 클램프(23)는, 액정 패널(14)에 맞지 않게 되므로, 위치결정기구(24)로 다시 조정한다. 이 경우는, 우선 나사(57)와 나사(58)를 풀어, 기판을 떼어 낸다. 이어서, 위치결정플레이트(53)를 액정 패널(14)에 대응된 것으로 교체한다.

다음으로, 나사(57)를 긴 구멍(55)으로 관통시켜 위치규제플레이트(52)의 나사 구멍(60)에 결합하고, 기판(51)의 대략적인 위치를 결정한다. 이어서, 기판(51)을 긴 구멍(55)의 범위 내에서 이동시켜, 원형 구멍(56)과 나사 구멍(42)을 정확히 맞추고, 나사(58)를 원형 구멍(56)으로 관통시켜, 나사 구멍(42)에 결합한다. 다음에, 나사(57)와 나사(58)를 조여서 기판(51)을 고정한다.

상기 동작을 스토퍼 핀(22)과 패널 클램프(23) 모두에 실시하고, 스토퍼 핀(22)과 패널 클램프(23)를 액정 패널(14)에 대하여 최적의 위치에 맞춘다.

한편, 가동 베이스(21)를 작은 치수의 액정 패널(14)에 맞추어 이동시켜서 가변 개구(30)를 작게 하면, 상기 가동 베이스(21)의 외부둘레 측과 고정 베이스(20)의 개구 사이에 간극(61)(도 7 참조)이 생기는데, 상기 간극(61)은 상기 차광 커버(25)로 가려진다. 이에 따라, 상기 간극(61)으로부터 상기 백라이트(15) 광이 누설되는 것을 방지한다.

상술한 바와 같이, 가동 베이스(21)의 외부둘레 측과 고정 베이스(20)의 개구(28) 사이에 생기는 간극(61)은, 상기 차광 커버(25)로 가려져서, 상기 간극(61)으로부터 상기 백라이트(15) 광이 누설되는 것을 방지할 수 있으므로, 노이즈 광을 확실하게 차단하여, 측정 정밀도를 향상시킬 수 있다.

위치결정기구(24)는, 스토퍼 핀(22) 또는 패널 클램프(23)를 지지하는 기판(51)과, 상기 액정 패널(14)의 가장자리부에 접촉하는 스토퍼 핀(22) 또는 패널 클램프(23)를 지지하는 상기 기판(51)을 상기 액정 패널(14)의 가장자리부에 평행 한 방향으로는 이동가능하게 하고 상기 가장자리부에 직교하는 방향으로는 설정위치에 고정하여 지지하는 위치규제플레이트(52)와, 상기 위치규제플레이트(52)에 평행하게 배치되어 위치규제플레이트(52)에 지지된 상기 기판(51)을 상기 액정 패널(14)의 가장자리부에 평행한 방향으로 위치결정하여 지지하는 위치결정플레이트(53)를 구비하여 구성된다. 위치규제플레이트(52)는, 상기 스토퍼 핀(22) 또는 패널 클램프(23)를 지지하는 상기 기판을, 액정 패널(14)의 가장자리부에 평행한 방향으로는 이동가능하게 하고 상기 가장자리부에 직교하는 방향으로는 설정위치에 고정하여 지지하며, 위치결정플레이트(53)는, 상기 기판(51)을, 상기 액정 패널(14)의 가장자리부에 평행한 방향으로 위치결정하여 지지하기 때문에, 패널지지기구(13) 상의 액정 패널(14)을 정확하게 지지할 수 있게 된다. 그리고, 액정 패널(14)이 정확하게 지지되어, 노이즈 광을 확실하게 차단하기 때문에, 측정 정밀도를 향상시킬 수 있다.

또한, 상기 기판(51)은, 상기 액정 패널(14)의 가장자리부에 평행한 방향으로 길게 형성되어, 상기 기판(51)을 상기 위치규제플레이트(52)에 고정하는 나사를 관통시키는 긴 구멍(55)과, 상기 기판(51)을 상기 위치결정플레이트(53)에 고정하는 나사를 관통시켜 상기 액정 패널(14)의 가장자리부에 평행한 방향으로 위치결정하는 원형 구멍(56)을 구비한다. 상기 위치규제플레이트(52)는, 상기 기판(51)의 긴 구멍(55)으로 관통된 나사(57)가 결합되는 나사 구멍(60)을, 상기 액정 패널(14)의 가장자리부에 평행한 방향으로 복수개 구비한다. 상기 위치결정플레이트(53)는, 상기 기판(51)의 원형 구멍(56)으로 관통된 나사(58)가 결합되는 나사 구멍(42)을, 상기 기판(51)의 설치위치에 맞추어 1 개 또는 복수개 구비한다. 상기 위치규제플레이트(52)의 나사 구멍(60)에 나사(57)를 결합하고, 상기 위치결정플레이트(53)의 나사 구멍(42)에 나사(58)를 결합하는 것만으로, 패널지지기구(13) 상의 액정 패널(14)을 정확하고 용이하게 지지할 수 있게 된다. 그리고, 액정 패널(14)이 정확하게 지지되어, 노이즈 광이 확실하게 차단되기 때문에, 측정 정밀도를 향상시킬 수 있다.

또한, 크기가 다른 액정 패널(14)에 대해서는, 위치결정플레이트(53)를 교체하는 것만으로, 스토퍼 핀(22)과 패널 클램프(23)를 정확하고 용이하게 위치결정할 수 있게 된다. 그리고, 정확하고 용이하게 위치결정된 스토퍼 핀(22)과 패널 클램프(23)에 의해, 액정 패널(14)이 정확하게 지지되고, 노이즈 광이 확실하게 차단되기 때문에, 측정 정밀도를 향상시킬 수 있다.

상기 위치결정플레이트(53)에 핀 구멍(63)이 형성됨과 동시에, 상기 가동 베이스(21)에 상기 핀 구멍(63)에 끼워 맞춰지는 끼움 핀(64)이 설치되고, 상기 나사 구멍(42)의 배치위치를 변경한 복수의 위치결정플레이트(53)를, 액정 패널(14)의 치수에 따라 적절히 교체하도록 했기 때문에, 패널지지기구(13) 상의 액정 패널(14)을, 그 치수가 변경되어도 정확하고 용이하게 지지할 수 있게 된다. 그리고, 액정 패널(14)이 정확하게 지지되어, 노이즈 광을 확실하게 차단하기 때문에, 측정 정밀도를 향상시킬 수 있다.

[변형 예]

상기 실시형태에서는, 차광 부재로서, 상기 가동 베이스(21)의 외부둘레 측의 간극(61)을 가리는 차광 커버(판 부재)(25)를 사용했으나, 판 부재에 한정되지 않고, 필름 등의 다른 부재를 사용해도 좋다. 또, 단단한 판 부재가 아니더라도, 간극(61)을 가려서 차광할 수 있는 부재라면 사용가능하며, 단단한 정도는 관계없다.

상기 실시형태에서는, 검사 대상판으로서 액정 패널(14)을 예로 들어 설명했으나, 다른 유리 기판, 유기 EL 등, 다른 표시용 패널도 물론 가능하다.

본 발명은 상기 실시 형태에 한정되지 않으며, 그 취지를 벗어나지 않는 한, 각종 변경이 가능하다.

도 1은 본 발명에 따른 패널지지기구를 나타내는 평면도이다.

도 2는 종래의 패널지지기구를 나타내는 개략 평면도이다.

도 3은 종래의 패널지지기구를 나타내는 개략 평면도이다.

도 4는 도 1의 A-A선에 따른 단면도이다.

도 5는 본 발명에 따른 패널지지기구를 차광 커버를 제거한 상태에서 나타내는 부분 단면 사시도이다.

도 6은 본 발명에 따른 패널지지기구를 차광 커버를 제거한 상태에서 나타내는 부분 단면 평면도이다.

도 7은 본 발명에 따른 패널지지기구를 차광 커버를 제거한 상태에서 나타내는 평면도이다.

도 8은 본 발명에 따른 패널지지기구의 가동 베이스를 나타내는 정면도이다.

도 9는 본 발명에 따른 패널지지기구의 가동 베이스를 나타내는 평면도이다.

도 10은 도 9의 B-B선에 따른 단면도이다.

* 도면의 주요 부호에 대한 설명 *

11: 베이스 판 12: 지주

13: 패널지지기구 14: 액정 패널

15: 백라이트 16: 하우징

17: 형광관 20: 고정 베이스

21: 가동 베이스 22: 스토퍼 핀

23: 패널 클램프 24: 위치결정기구

25: 차광 커버 28: 개구

30: 가변 개구 32: 패널받이

34: 결합 장치 36: 제1 레일

37: 제1 가이드 38: 연결 부재

39: 제2 레일 40: 제2 가이드

41: 구동부 43: 볼나사

44: 구동 모터 45: 너트

46: 제3 레일 47: 제3 가이드

51: 기판 52: 위치규제플레이트

53: 위치결정플레이트 55: 긴 구멍

56: 원형 구멍 57, 58: 나사

61: 간극

Claims (3)

1. 검사 대상판을 배면에서 조명하여 검사하는 검사 장치로서,

   개구를 구비하여 장치 본체 측에 장착되는 고정 베이스;

   상기 고정 베이스의 배면 측에 설치되어 상기 개구로부터 상기 검사 대상판의 배면을 조명하는 백라이트;

   상기 고정 베이스 상에 4 개를 조합하여 직사각형 형상이면서 상기 검사 대상판의 치수에 맞추어 이동가능하게 배치되고 그 내부둘레 측에 가변 개구를 형성하는 가동 베이스; 및

   상기 각각의 가동 베이스의 외부둘레 측에 설치되어, 상기 고정 베이스의 개구 보다 상기 가동 베이스의 가변 개구가 작아졌을 때 상기 가동 베이스의 외부둘레 측에 생기는 간극으로부터 누설되는 상기 백라이트 광을 차단하는 차광 부재;

   를 구비하여 구성된 것을 특징으로 하는 검사 장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 차광 부재가 상기 가동 베이스의 외부둘레 측의 상기 간극을 가리는 판 부재 또는 필름으로 구성된 것을 특징으로 하는 검사 장치.
3. 제2항에 있어서,

   상기 차광 부재를 구성하는 판 부재 또는 필름의 상기 백라이트측 면을, 상기 백라이트 광을 흡수하거나 산란시키도록 표면처리한 것을 특징으로 하는 검사 장치.

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