JP2008064682A - 検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ノイズ光を確実に遮断して、測定精度の向上を図る。
【解決手段】検査対象板を背面から照らして検査を行う検査装置である。前記検査対象板をその周縁部で支持するパネル受け部と、当該パネル受け部に支持された前記検査対象板をその背面を照らすバックライトと、前記パネル受け部に支持された前記検査対象板の周縁部の前記バックライト側に位置して前記検査対象板の表示エリアの外側へ漏れる光を遮る遮光部材とを備えた。前記パネル受け部に支持された前記検査対象板と前記バックライトとの間に、前記バックライトからの光を拡散させる拡散板を備えた。前記遮光部材は前記拡散板の周縁部に一体的に取り付けた。
【選択図】図1
【解決手段】検査対象板を背面から照らして検査を行う検査装置である。前記検査対象板をその周縁部で支持するパネル受け部と、当該パネル受け部に支持された前記検査対象板をその背面を照らすバックライトと、前記パネル受け部に支持された前記検査対象板の周縁部の前記バックライト側に位置して前記検査対象板の表示エリアの外側へ漏れる光を遮る遮光部材とを備えた。前記パネル受け部に支持された前記検査対象板と前記バックライトとの間に、前記バックライトからの光を拡散させる拡散板を備えた。前記遮光部材は前記拡散板の周縁部に一体的に取り付けた。
【選択図】図1
Description
本発明は、液晶表示パネルのような検査対象板を背面から照らして検査を行う検査装置に関する。
液晶表示パネル等を検査する検査装置では、大きさが異なるパネルの検査をするときは、接触子ユニット及び検査ステージの両者の交換をしなければならず、その作業が煩雑であった。これを解消するために、特許文献1に記載の発明を提案されている。この特許文献1の発明では、ベースを可動式として、パネルの寸法の違いに応じて開口の大きさを調整すると共に接触子ユニットの位置を調整することで、接触子ユニットや検査ステージの交換をしないで対応できるようにした。
特開2006−119031号公報
ところで、前記従来の検査装置では、検査対象のパネルの寸法が大きくなると、光漏れの問題が生じてしまう。
特許文献1においては、拡散板を可動ベース側ではなく、固定ベース側に取り付けられているが、係る場合、拡散板で拡散された光が、検査パネルの周縁の端部にも達してしまい、この端部から漏れた光がノイズ光となってしまう。
また、拡散板が検査パネルの近傍に設置される場合もある。この例を図2及び図3に示す。
図中の1は可動ベースである。可動ベース1の内側にはパネル受け部2が設けられている。このパネル受け部2の上端部には、段差が設けられて、上段の上支持面3と、下段の下支持面4とが設けられている。上支持面3にはパネル5が載置されている。下支持面4には拡散板6が載置されている。
パネル5は、ガラス基板5Aと、このガラス基板5Aの全域を覆う表示部5Bと、この表示部5Bの外周縁に設けられた黒縁の帯域5Cと、この帯域5Cの外周に設けられた端子部5Dとから構成されている。
拡散板6は、その表面に微小な凹凸を多数設けて構成されている。拡散板6の背面側から入射した光は、表面の微小な凹凸で散乱して拡散される。拡散された光の一部は、パネル5の端子部5Dにも入射するが、ここでは、矢印7の漏れ光のように、各電極の間から外部に漏れてしまう。
そして、この漏れ光は、検査においてノイズ光となり、検査精度を悪化させてしまう。
本発明は上述の課題を解決するためになされたもので、本発明の目的は、検査対象板の周縁部から漏れるノイズ光を確実に除去して検査精度を向上させることにある。
前記課題を解決するために本発明は、検査対象板を背面から照らして検査を行う検査装置であって、前記検査対象板をその周縁部で支持するパネル受け部と、当該パネル受け部に支持された前記検査対象板をその背面を照らすバックライトと、前記パネル受け部に支持された前記検査対象板の周縁部の前記バックライト側に位置して前記検査対象板の表示エリアの外側へ漏れる光を遮る遮光部材とを備えて構成した。
前記構成により、遮光部材が、前記検査対象板の周縁部の、表示エリアの外側へ漏れる光を遮って、前記検査対象板の周縁部から漏れるノイズ光を確実に除去する。これにより、ノイズ光が、検査対象板の表面を撮影するカメラや検査をする作業者側に漏れることがなくなる。
前記パネル受け部に支持された前記検査対象板と前記バックライトとの間には、前記バックライトからの光を拡散させる拡散板を備え、前記遮光部材が前記拡散板の周縁部に一体的に取り付けられることが望ましい。
前記構成により、前記拡散板を取り付けることで、前記遮光部材も同時に取り付けられる。
前記検査装置は、開口を備えて装置本体側に取り付けられる固定ベースと、当該固定ベース上に4つ組み合わせて矩形状にかつ前記検査対象板の寸法に合わせて移動可能に配置されてその内周側に前記パネル受け部を形成する可動ベースとを備えて構成されることが望ましい。
前記構成により、可動ベースを可動させて、前記検査対象板に合わせた寸法の前記パネル受け部を形成し、前記遮光部材で前記検査対象板の表示エリアの外側へ漏れる光を遮る。
前記遮光部材には、当該バックライトの光を吸収し、又は散乱させる表面処理を施すことが望ましい。
前記構成により、表面処理した遮光部材に漏れた光が当たると、当該光は、この遮光部材で吸収され、又は散乱されて、カメラ等へ到達することがなくなる。
前記遮光部材が、前記検査対象板の周縁部の、表示エリアの外側へ漏れる光を遮って、前記検査対象板の周縁部から漏れるノイズ光を確実に除去するため、ノイズ光が、検査対象板の表面を撮影するカメラ等に漏れることがなくなり、ノイズ光を確実に遮断して、測定精度の向上を図ることができる。
前記拡散板を取り付けることで、前記遮光部材も同時に取り付けられるため、遮光部材の装着が容易になる。
可動ベースを可動させて、前記検査対象板に合わせた寸法の前記パネル受け部を形成した上で、前記遮光部材で前記検査対象板の表示エリアの外側へ漏れる光を遮るため、寸法の異なる前記検査対象板に対しても、当該検査対象板の周縁部から漏れるノイズ光を確実に除去することができる。これにより、ノイズ光が、検査対象板の表面を撮影するカメラ等に漏れることがなくなり、測定精度の向上を図ることができる。
また、表面処理した遮光部材で光を吸収し、又は散乱させて、ノイズ光がカメラ等へ到達することがなくなるため、測定精度の向上を図ることができる。
以下、本発明の実施形態について説明する。本実施形態に検査装置は、バックライトの光が検査対象板の外側から漏れてノイズ光となるのを防止して測定精度を向上させるための装置である。検査対象板は、矩形の形状を有する板材である。その一例としてここでは、液晶パネルを例に説明する。
本発明は、液晶パネルを支持する検査ステージ等を備えた検査装置すべてに適用できる。検査ステージは、図5に示すように、X、Y及びZの三方向に変位させると共にZ方向に伸びるθ軸線の周りに回転させる機構を備えたステージ本体(図示せず)、このステージ本体に取り付けられるベース板11、このベース板11に支柱12を介して一定間隔を空けて支持されるパネル支持機構13、これらベース板11とパネル支持機構13との間に設けられて液晶パネル14(図7参照)を背面から照らすバックライト15等を備えて構成されている。また、バックライト15は、筐体16と、この筐体16内に平行に配設された複数本の蛍光管17とから構成され、後述する固定ベース20の開口28全体を照射する。
本発明の特徴は、このような検査装置において、前記検査ステージの上側に取り付けられるパネル支持機構13におけるバックライト15のノイズ光の問題を改良した点にある。このため、以下では、パネル支持機構13を中心に説明する。図1は本発明に係るパネル支持機構を示す正面断面図、図4は本発明に係るパネル支持機構を示す平面図、図5は図1のA−A線矢視断面図、図6は本発明に係るパネル支持機構を示す一部破断斜視図、図7は本発明に係るパネル支持機構の遮光部材を示す要部拡大断面図、図8は液晶パネルを示す平面図、図9は液晶パネルを示す側面図、図10は本発明に係る遮光部材が周縁部に一体的に取り付けられた拡散板を示す斜視図である。
パネル支持機構13は、液晶パネル14をその背面からバックライト15で照射しながらその液晶パネル14の電極と接触子(プローブ)とを互いに接触させるために、液晶パネル14を正確に位置決めして支持する機構である。パネル支持機構13は、図4〜6に示すように主に、ベース板11の支柱12に取り付けられる固定ベース20と、この固定ベース20上に4つ組み合わせて矩形状にかつ液晶パネル14の寸法に合わせて移動可能に配置された可動ベース21と、各可動ベース21のうち隣り合う2つに設けられ液晶パネル14の縁部に当接してこの液晶パネル14を位置決めするストッパピン22と、このストッパピン22に対向する位置に液晶パネル14を挟んで設けられストッパピン22と相まって液晶パネル14を挟み持つパネルクランプ23と、前記ストッパピン22及びパネルクランプ23をそれぞれ支持した状態で各可動ベース21に位置決めして取り付けられる位置決め機構24と、ノイズ光を遮る遮光カバー25と、液晶パネル14の周縁部から外側へ漏れる光を遮る遮光部材26とを備えて構成されている。
固定ベース20は全体を矩形状に形成されている。固定ベース20の中央には、バックライト15からの光を取り込む矩形の開口28が設けられている。この開口28は固定ベース20の厚さ方向に貫通して設けられ、検査可能な液晶パネル14のうち最大寸法の液晶パネル14が合わせた大きさに設定されている。
各可動ベース21はその全体形状を、長い板状に形成されている。可動ベース21の全長は、開口28の対応する縁部の長さ以上に設定されている。4つの可動ベース21が組み合わされて可変開口30が形成されている。即ち、1つの可動ベース21の長手方向の一端面が、相手側の可動ベース21の側面に当接することで、四角形の可変開口30を形成している。さらに、各可動ベース21は、その長手方向の一端面と、相手側の側面との間で、相手側の側面に沿ってスライド可能に支持されている。これにより、小さな液晶パネル14に対応した小さな可変開口30から、前記開口28とほぼ同じ大きな可変開口30まで、その大きさを任意に調整できるようになっている。
各可動ベース21には、図6に示すように、互いに組み合わされることによって、液晶パネル14を固定ベース20と平行に受けるパネル受け部32が形成されている。可動ベース21は、肉厚平板状に形成され、その平板の内側端に立て板状にパネル受け部32が形成されている。これにより、可動ベース21とパネル受け部32は、その断面形状がL字型に形成されている。4つの可動ベース21が互いに組み合わされることによって、4つのパネル受け部32が、液晶パネル14を支持する可変開口30を形成する。
各可動ベース21は、各結合装置34により固定ベース20に結合されている。結合装置34は、可動ベース21を、固定ベース20と平行の面内で二次元的に移動可能に支持している。
この結合装置34は、各可動ベース21の長手方向と直交する方向(第1の方向)に伸びるように固定ベース20の上面に取り付けられた第1のレール36と、この第1のレール36に移動可能に結合された第1のガイド37と、この第1のガイド37の上側に一体的に取り付けられた連結部材38と、可動ベース21の長手方向(第2の方向)に沿って可動ベース21の下面に一体的に取り付けられた第2のレール39と、この第2のレール39に移動可能に結合されると共に前記連結部材38に一体的に取り付けられた2つの第2のガイド40と、固定ベース20の上面に取り付けられた状態で前記連結部材38に連結されてこの連結部材38及びその上側の構造物を第1のレール36に沿って第1の方向に移動させる駆動部41とを備えて構成されている。
駆動部41は、第1のレール36に沿って回転可能に配設されたボールネジ43と、このボールネジ43を回転駆動する駆動モータ44と、ボールネジ43にねじ込まれた状態で連結部材38に固定されてボールネジ43の回転によって第1のレール36に沿って連結部材38を移動させるナット45とから構成されている。
さらに、可動ベース21の下側面には、前記第2のレール39と並行に第3のレール46が一体的に取り付けられている。この第3のレール46には第3のガイド47が移動可能に結合されている。そして、この第3のガイド47は、可動ベース21の一端部に一体的に取り付けられている。これにより、各可動ベース21は、その長手方向の一端面と、直交する相手側の可動ベース21の側面との間で、相手側の側面に沿って移動可能に支持されている。そして、4つの可動ベース21全てが、この構造で互いに結合されている。この結果、4つの可動ベース21で形成される可変開口30は、小さな液晶パネル14に対応した小さな可変開口30から、大きな液晶パネル14に対応した大きな可変開口30まで、その大きさを任意に調整できるようになっている。具体的には、4つの駆動部41を同時に作動させて、4つの可動ベース21を同時に移動させることで、可変開口30の大きさを任意に調整できるようになっている。
位置決め機構24は、図4及び図5に示すように、前記ストッパピン22及びパネルクランプ23をそれぞれ支持した状態で各可動ベース21に位置決めして取り付けるための機構である。ストッパピン22を支持する位置決め機構24も、パネルクランプ23を支持する位置決め機構24も同様の構成を有するため、ここでは、パネルクランプ23を支持する位置決め機構24を図4に基づいて説明する。
位置決め機構24は、基板51と、位置規制プレート52と、位置決めプレート53とから構成されている。
基板51は、前記パネルクランプ23を支持するための板材である。基板51は、四角形平板状に形成されている。パネルクランプ23は、基板51の一辺に沿って取り付けられている。基板51には、長穴55と、円穴56とが設けられている。
長穴55は、前記液晶パネル14の縁部に並行な方向に沿って長く形成されている。さらに長穴55は、液晶パネル14の縁部に並行な方向に沿って2つ並べて設けられている。各長穴55は、基板51を位置規制プレート52に固定するネジ57を通すための穴である。長穴55は、この長穴55に通されたネジ57が長穴55内で移動できることによって、後述する位置規制プレート52のネジ穴60にねじ込まれたネジ57に対して、基板51を前記液晶パネル14の縁部に並行な方向に多少移動できるようになっている。
円穴56は、基板51を位置決めプレート53に固定するネジ58を通して液晶パネル14の縁部に並行な方向の位置決めをするための穴である。円穴56は、ネジ58の大きさに合わせて形成され、ネジ58との間でがたつきがないように、その内径が設定されている。
位置規制プレート52は、前記液晶パネル14の縁部に当接するパネルクランプ23を支持した前記基板51を、前記液晶パネル14の縁部に並行な方向には移動可能にかつ前記縁部に直交する方向には設定位置で固定して支持するためのプレートである。位置規制プレート52は具体的には、細長い板材で構成され、可動ベース21のパネル受け部32に沿って固定されている。細長い板状の位置規制プレート52には、前記液晶パネル14の縁部に並行な方向に沿って、その全長に亘って一列にネジ穴60が多数設けられている。各ネジ穴60は、長穴55の長さとほぼ同じ間隔に設定されている。これにより、あるネジ穴60にネジ57がねじ込まれた状態で基板51が長穴55に沿って移動できる範囲と、隣のネジ穴60にネジ57がねじ込まれた状態で基板51が長穴55に沿って移動できる範囲とが互いに重なり合って、位置規制プレート52の全長の全ての位置で基板51を固定できるようになっている。
位置決めプレート53は、位置規制プレート52に並行に配設されて位置規制プレート52に支持された前記基板51を、前記液晶パネル14の縁部に並行な方向の位置決めをして支持するためのプレートである。位置決めプレート53は細長い板材で構成されている。位置決めプレート53には、基板51の円穴56に通されたネジ58がねじ込まれるネジ穴が、基板51の設置位置に合わせて1又は複数設けられる。ここでは、液晶パネル14の短辺側に合わせて1つのネジ穴が位置決めプレート53に設けられている。
位置決めプレート53の両端部には、嵌合部としてのピン穴63が設けられている。可動ベース21側には、ピン穴63に対応する位置に、2つの嵌合ピン64が設けられている。これらピン穴63及び嵌合ピン64は、位置決めプレート53のネジ穴が設置位置に整合するように、位置決めされている。これにより、基板51上のパネルクランプ23が正確な位置に位置決めされるようになっている。
位置決めプレート53としては、設定の異なる複数種類のプレートが用意される。具体的には、液晶パネル14の寸法により設定されたパネルクランプ23の設置数に応じた個数のネジ穴42が設けられた複数種類のプレートが用意される。これらの位置決めプレート53は、ピン穴63及び嵌合ピン64によって容易に入れ替えられる。位置決めプレート53の長さは、各可動ベース21に応じて異ならせてもよく、全て同じにしても良い。
なお、ストッパピン22を支持する位置決め機構24も前記同様に構成されている。
遮光カバー25は、固定ベース20の開口28よりも可動ベース21の可変開口30が小さくなったときこの可動ベース21の外周側(4つのパネル受け部32で形成される可変開口30の外周側)にできる隙間から漏れる前記バックライトの光を遮る部材、即ちノイズ光を遮る部材である。この遮光カバー25は、長方形の平板状部材で構成されている。遮光カバー25は、各可動ベース21のパネル受け部32と同じ長さで、かつ隙間の最大時と同じ又はそれより大きい幅に設定されている。遮光カバー25は、各可動ベース21のうちパネル受け部32と反対側に、カバー取付け部材62を介して、外周側へ延出させて取り付けられている。
遮光カバー25のバックライト15側面には、バックライト15の光を吸収し、又は散乱させる表面処理が施されている。この表面処理としては、具体的には、遮光カバー25のバックライト15側面を黒く塗ったり、ビロードを貼ったり、すりガラスのように表面に細かい凹凸を設けたりする。これにより、ノイズ光を吸収したり、散乱させたりして、画像撮影用のカメラにノイズ光が入射しないようにしている。
遮光部材26は、後述する液晶パネル14の表示部14B(表示エリア)の外側へ漏れる光を遮る部材である。遮光部材26は、パネル受け部32に支持された液晶パネル14の周縁部のバックライト15側に位置して設けられている。具体的には、後述する拡散板27が、前記液晶パネル14の周縁部のバックライト15側に位置して設けられている。そして、遮光部材26はこの拡散板27の周縁部に一体的に取り付けられている。
液晶パネル14は、図8及び図9に示すように、ガラス基板14Aと、このガラス基板14Aの全域を覆う表示部14Bと、この表示部14Bの外周縁に設けられた黒縁の帯域14Cと、この帯域14Cの外周のうち隣り合う2つの辺に設けられた端子部14Dとから構成されている。
前記拡散板27は、従来技術と同じように、その表面に微小な凹凸を多数設けて構成されている。拡散板27の背面側から入射した光は、表面の微小な凹凸で散乱して拡散される。拡散された光の一部は、液晶パネル14の帯域14Cの外周や端子部14Dにも入射しようとするが、これらの光は遮光部材26で遮断される。
この遮光部材26は、図1,7,10に示すように、前記液晶パネル14の周縁の帯域14Cと端子部14Dを覆うように、四角環状に形成されている。さらに、帯域14Cが同じ幅で液晶パネル14の全周に亘って設けられているのに対して、端子部14Dは隣り合う2つの辺にしか設けられていないため、遮光部材26は、端子部14Dがある辺(図10中のA1)で厚く、端子部14Dがない辺(図10中のA2)で薄く形成されている。これにより、遮光部材26は、帯域14Cと端子部14Dとを全て覆い、表示部14Bのみに光が当たるようになっている。
パネル受け部32の上端部には、図1及び図7に示すように、段差が設けられて、上段の上支持面32Aと、下段の下支持面32Bとが設けられている。上支持面32Aには液晶パネル14が載置される。下支持面32Bには拡散板27が載置される。そして、下支持面32Bに拡散板27が載置されることで、拡散板27に一体的に取り付けられた遮光部材26が液晶パネル14の帯域14Cと端子部14Dを覆って、表示部14Bのみを拡散板27(バックライト15)側へ開放するようになっている。
前記遮光部材26には、バックライト15の光を吸収し、又は散乱させる表面処理が施されている。この表面処理としては、具体的には、遮光部材26の表面を黒く塗ったり、ビロードを貼ったり、すりガラスのように表面に細かい凹凸を設けたりする。これにより、光を吸収したり、散乱させたりして、光が端子部14D等から外部に漏れないようにしている。
以上のように構成されたパネル支持機構13では、次のように作用する。なお、検査装置全体の作用は、従来の検査装置と同様であるため、ここではパネル支持機構13の作用を中心に説明する。
まず、液晶パネル14の寸法に合わせてパネル支持機構13の可動ベース21を調整する。具体的には、駆動部41の駆動モータ44でボールネジ43を回転させて、ナット45を移動させる。ナット45の移動は、第1のレール36および第1のガイド37により規制される。第1のガイド37、第2のレール39および第2のガイド40は連結部材38で固定され、ナット45と一体となって移動する。第2のレール39と第3のレール46は可動ベース21に固定されている。
これにより、連結部材38に固定された第2のガイド40が第2のレール39を介して可動ベース21を移動させる。また、この可動ベース21と直交する可動ベース21の第3のガイド47は、第3のレール46に嵌合しており、直交する可動ベース21はナット45の移動に従って移動する。一方、直交する可動ベース21は、ナット45の移動方向に直交する方向へは自由に移動しうる。
この動作が、4つの駆動部41で同時に起きて、各可動ベース21が、互いに接する一方の可動ベース21との関係で駆動側となり、他方の可動ベース21との関係で従動側となって、4つの可動ベース21を互いにずらす。これにより、図4のように、各可動ベース21のパネル受け部32の上支持面32Aで液晶パネル14をその下側から支持し、ストッパピン22とパネルクランプ23とで液晶パネル14を位置決めして支持する。
このとき、パネル受け部32の下支持面32Bには、拡散板27の端部の遮光部材26が嵌合して支持されている。
寸法の異なる液晶パネル14の場合は、可動ベース21をずらして調整し直す。この場合は、駆動部41の駆動モータ44でボールネジ43を回転させて、ナット45、連結部材38、第2のガイド40、第2のレール39を介して可動ベース21を移動させる。この動作が、4つの駆動部41で同時に起きて、4つの可動ベース21を互いにずらし、例えば図4のように、小さな寸法の液晶パネル14に合わせる。
これと同時に、拡散板27も小さな寸法のものに変更して取り付ける。
このとき、ストッパピン22とパネルクランプ23とは、液晶パネル14に合わなくなるため、位置決め機構24で調整し直す。この場合は、まず、ネジ57とネジ58とを弛めて、基板51を外す。次いで、位置決めプレート53を液晶パネル14に対応したものに入れ替える。
次いで、ネジ57を長穴55に通して位置規制プレート52のネジ穴60にねじ込んで、基板51の大まかな位置決めをする。次いで、基板51を長穴55の範囲でずらして、円穴56とネジ穴42とを整合させて、ネジ58を円穴56に通し、ネジ穴42にねじ込む。次いで、ネジ57とネジ58を締めつけて、基板51を固定する。
この動作を、ストッパピン22とパネルクランプ23の全てに対して行い、ストッパピン22とパネルクランプ23を液晶パネル14に対して最適な位置に合わせる。
一方、可動ベース21を小さい寸法の液晶パネル14に合わせて移動させて可変開口30を小さくすると、この可動ベース21の外周側と固定ベース20の開口との間に隙間61(図7参照)ができるが、この隙間61は前記遮光カバー25で覆われる。これにより、この隙間61から前記バックライト15の光が漏れるのを防止する。
この状態で検査が行われるが、このとき、バックライト15の光は、拡散板27で拡散されて液晶パネル14の表示部14Bの全域に均等に照射される。
一方の液晶パネル14の端部では、遮光部材26によって光が吸収又は反射されて、液晶パネル14の帯域14C及び端子部14Dへ侵入するのを防止する。
以上のように、遮光部材26が、液晶パネル14の周縁部の、表示エリア(表示部14B)の外側(帯域14C及び端子部14D)へ漏れる光を遮って、液晶パネル14の周縁部から漏れるノイズ光を確実に除去するため、ノイズ光が、液晶パネル14の表面を撮影するカメラ等に漏れることがなくなり、ノイズ光を確実に遮断して、測定精度の向上を図ることができる。
前記拡散板27を取り付けることで、遮光部材26も同時に取り付けられるため、遮光部材26の装着が容易になる。特に、寸法の異なる液晶パネル14に対応して検査装置を設定しなおす場合、その液晶パネル14に対応した拡散板27を装着するだけで、遮光部材26も同時に装着されるため、遮光部材26の装着が容易になる。
可動ベース21を可動させて、液晶パネル14に合わせた寸法のパネル受け部32を形成した上で、遮光部材26で液晶パネル14の表示部14Bの外側へ漏れる光を遮るため、寸法の異なる液晶パネル14に対しても、この液晶パネル14の周縁部から漏れるノイズ光を確実に除去することができる。これにより、ノイズ光が、液晶パネル14の表面を撮影するカメラ等に漏れることがなくなり、測定精度の向上を図ることができる。
また、表面処理した遮光部材26で光を吸収し、又は散乱させて、ノイズ光がカメラ等へ到達することがなくなるため、測定精度の向上を図ることができる。
可動ベース21の外周側と固定ベース20の開口28との間にできる隙間は、前記遮光カバー25で覆われて、この隙間から前記バックライト15の光が漏れるのを防止することができるため、ノイズ光を確実に遮断して、測定精度の向上を図ることができる。
位置決め機構24を、ストッパピン22又はパネルクランプ23を支持する基板51と、前記液晶パネル14の縁部に当接するストッパピン22又はパネルクランプ23を支持した前記基板51を、前記液晶パネル14の縁部に並行な方向には移動可能にかつ前記縁部に直交する方向には設定位置で固定して支持する位置規制プレート52と、この位置規制プレート52に並行に配設されて位置規制プレート52に支持された前記基板51を、前記液晶パネル14の縁部に並行な方向の位置決めをして支持する位置決めプレート53とを備えて構成し、位置規制プレート52で、前記ストッパピン22又はパネルクランプ23を支持した前記基板51を、液晶パネル14の縁部に並行な方向には移動可能にかつ前記縁部に直交する方向には設定位置で固定して支持し、位置決めプレート53で、前記基板51を、前記液晶パネル14の縁部に並行な方向の位置決めをして支持するため、パネル支持機構13上の液晶パネル14を正確に支持できるようになる。そして、液晶パネル14が正確に支持されて、ノイズ光を確実に遮断するため、測定精度の向上を図ることができる。
また、前記基板51が、前記液晶パネル14の縁部に並行な方向に長く形成された、当該基板51を前記位置規制プレート52に固定するネジを通す長穴55と、前記基板51を前記位置決めプレート53に固定するネジを通して前記液晶パネル14の縁部に並行な方向の位置決めをする円穴56とを備え、前記位置規制プレート52が、前記基板51の長穴55に通されたネジ57がねじ込まれるネジ穴60を、前記液晶パネル14の縁部に並行な方向に複数備え、前記位置決めプレート53が、前記基板51の円穴56に通されたネジ58がねじ込まれるネジ穴42を、前記基板51の設置位置に合わせて1又は複数備え、前記位置規制プレート52のネジ穴60にネジ57をねじ込み、前記位置決めプレート53のネジ穴42にネジ58をねじ込むだけで、パネル支持機構13上の液晶パネル14を正確にかつ容易に支持できるようになる。そして、液晶パネル14が正確に支持されて、ノイズ光を確実に遮断するため、測定精度の向上を図ることができる。
また、寸法の違い液晶パネル14に対しては、位置決めプレート53を交換するだけで、ストッパピン22とパネルクランプ23とを、正確にかつ容易に位置決めすることができるようになる。そして、正確にかつ容易に位置決めされたストッパピン22とパネルクランプ23とで、液晶パネル14が正確に支持され、ノイズ光を確実に遮断するため、測定精度の向上を図ることができる。
前記位置決めプレート53にピン穴63が設けられると共に、前記可動ベース21に前記ピン穴63が嵌合する嵌合ピン64が設けられ、前記ネジ穴42の配設位置を変えた複数の位置決めプレート53を、液晶パネル14の寸法に応じて適宜付け替えるようにしたので、パネル支持機構13上の液晶パネル14を、その寸法が変わっても正確にかつ容易に支持できるようになる。そして、液晶パネル14が正確に支持され、ノイズ光を確実に遮断するため、測定精度の向上を図ることができる。
[変形例]
前記実施形態では、可動ベース21で開口の大きさを変えて寸法の違う液晶パネル14に対応する構造の検査装置を例に説明したが、開口の大きさが変わらない検査装置でも、本発明を提供することができる。この場合も前記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
前記実施形態では、可動ベース21で開口の大きさを変えて寸法の違う液晶パネル14に対応する構造の検査装置を例に説明したが、開口の大きさが変わらない検査装置でも、本発明を提供することができる。この場合も前記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
また、遮光部材26の拡散板27への取り付け構造としては、図11のように、遮光部材26の下部と、拡散板27の端部に、それぞれ嵌合段部26A,27Aを設けて互いに嵌合固定するようにしてもよい。遮光部材26と拡散板27の結合手段は特に問わない。
本発明は、上記実施形態に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
11:ベース板、12:支柱、13:パネル支持機構、14液晶パネル、14A:ガラス基板、14B:表示部、14C:帯域、14D:端子部、15:バックライト、16:筐体、17:蛍光管、20:固定ベース、21:可動ベース、22:ストッパピン、23:パネルクランプ、24:位置決め機構、25:遮光カバー、26:遮光部材、27:拡散板、28:開口、30:可変開口、32:パネル受け部、34:結合装置、36:第1のレール、37:第1のガイド、38:連結部材、39:第2のレール、40:第2のガイド、41:駆動部、43:ボールネジ、44:駆動モータ、45:ナット、46:第3のレール、47:第3のガイド、51:基板、52:位置規制プレート、53:位置決めプレート、55:長穴、56:円穴、57:ネジ、58:ネジ、60:ネジ穴、62:カバー取付け部材、63:ピン穴、64:嵌合ピン。
Claims (4)
- 検査対象板を背面から照らして検査を行う検査装置であって、
前記検査対象板をその周縁部で支持するパネル受け部と、
当該パネル受け部に支持された前記検査対象板をその背面を照らすバックライトと、
前記パネル受け部に支持された前記検査対象板の周縁部の前記バックライト側に位置して前記検査対象板の表示エリアの外側へ漏れる光を遮る遮光部材と
を備えて構成されたことを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、
前記パネル受け部に支持された前記検査対象板と前記バックライトとの間に、前記バックライトからの光を拡散させる拡散板を備え、
前記遮光部材が前記拡散板の周縁部に一体的に取り付けられたことを特徴とする検査装置。 - 請求項1又は2に記載の検査装置において、
開口を備えて装置本体側に取り付けられる固定ベースと、
当該固定ベース上に4つ組み合わせて矩形状にかつ前記検査対象板の寸法に合わせて移動可能に配置されてその内周側に前記パネル受け部を形成する可動ベースと
を備えて構成されたことを特徴とする検査装置。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の検査装置において、
前記遮光部材に、当該バックライトの光を吸収し、又は散乱させる表面処理を施したことを特徴とする検査装置。
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JP2005249423A (ja) * | 2004-03-01 | 2005-09-15 | Tokyo Cathode Laboratory Co Ltd | フラット表示パネルの目視検査装置 |
JP2006119031A (ja) * | 2004-10-22 | 2006-05-11 | Micronics Japan Co Ltd | パネルの検査装置に用いられる電気的接続装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008064563A (ja) * | 2006-09-06 | 2008-03-21 | Micronics Japan Co Ltd | 検査装置 |
CN105093579A (zh) * | 2015-07-29 | 2015-11-25 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 液晶面板检测辅助装置 |
CN110736606A (zh) * | 2018-07-20 | 2020-01-31 | 黄山市展硕半导体科技有限公司 | 背光源检测工装及其自动调整方法 |
CN109342459A (zh) * | 2018-11-14 | 2019-02-15 | 大连崇达电路有限公司 | 高精密印制线路板外观质量检测装置用承载单元 |
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