KR20060093287A - 홀더 장치 - Google Patents

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KR20060093287A
KR20060093287A KR1020060015601A KR20060015601A KR20060093287A KR 20060093287 A KR20060093287 A KR 20060093287A KR 1020060015601 A KR1020060015601 A KR 1020060015601A KR 20060015601 A KR20060015601 A KR 20060015601A KR 20060093287 A KR20060093287 A KR 20060093287A
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히로시 가토
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올림푸스 가부시키가이샤
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    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing

Abstract

본 발명의 홀더 장치에 있어서, 링 지지부재(5, 5)에 의해, 리프트 핀이 회전 이동되는 원호형의 안내용 개구부(8-1)에 대해서, 왕복 실린더(64) 등에 의해 전진 및 후퇴될 수 있는 록 부재(61)가 설치된다. 리프트 핀의 이동시 이외에는, 록 부재(61)가 전진되어 선단의 결합부(61a)가 대향 위치에 설치된 결합 블록(65)과 결합되어 록 상태로 되어, 홀더 본체의 강성을 향상시킨다. 리프트 핀의 이동시에는, 록 부재(61)가 후퇴되어 록 해제 상태로 되어, 리프트 핀의 이동이 가능하게 된다.
홀더 본체, 기판 탑재면, 리프트 핀, 리프트 회전 기구, 홀더 장치, 안내용 개구부, 록 부재, 록 부재 왕복 기구, 원호형 지지부재, 직선형 지지부재.

Description

홀더 장치{HOLDER APPARATUS}
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 홀더 장치의 개략적 구성을 설명하기 위한 정면도이다.
도 2는 동일하게 평면도이다.
도 3은 동일하게 측면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 홀더 장치의 홀더 본체의 상세 사항에 대해 설명하기 위한 평면도이다.
도 5의 (a)는 도 4의 부분 확대도이다.
도 5의 (b)는 도 4의 부분 확대도이다.
도 6의 (a)는 도 5의 (a)의 G-G 단면도이다.
도 6의 (b)는 도 5의 (a)의 H-H 단면도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 홀더 장치의 록 부재에 대하여 설명하기 위한 분해 사시도이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 홀더 장치의 리프트 회전 기구의 개략적 구성을 설명하기 위한 사시도이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 홀더 장치의 제1 변형예에 대하여 설명하기 위한 평면에서 볼 때의 부분 확대도이다.
도 10의 (a)는 본 발명의 실시예에 따른 홀더 장치의 제2 변형예에 대하여 설명하기 위한 평면에서 볼 때의 부분 확대도이다.
도 10의 (b)는 본 발명의 실시예에 따른 홀더 장치의 제3 변형예에 대하여 설명하기 위한 평면에서 볼 때의 부분 확대도이다.
도 10의 (c)는 도 10의 (a) 및 도 10의 (b)의 홀더 장치의 I-I 단면도이다.
도 10의 (d)는 도 10의 (b)의 홀더 장치의 J-J 단면도이다.
* 도면의 주요 부호에 대한 간단한 설명 *
1: 유리 기판 2: 검사 장치 본체
4: 홀더 본체 5: 링 지지부재(원호형 지지부재)
6: 직선형 지지부재
8-1, 8-2, 8-3, 8-4: 안내용 개구부
10: 승강·회전 기구(리프트 회전 기구)
13: 리프트 핀 기구
17, 18, 19, 20, 21: 리프트 핀
51: 주 제어부 60, 70, 80, 90: 록 기구
61, 71, 81, 91: 록 부재 63: 슬라이더(록 부재 왕복 기구)
64: 왕복 실린더(록 부재 왕복 기구)
65, 85: 결합 블록 66: 흡착부
67: 받침부 71c: 선형 기어부
72, 92: 피니언 기어(록 부재 왕복 기구)
82: 왕복 실린더(록 부재 왕복 기구)
93, 94: 슬라이드 안내(록 부재 왕복 기구)
100: 홀더 장치
일본국 특허출원 2005-043876호
국제 공개 공보 제WO03/040708호 명세서(도 1-도 4)
본 발명은 홀더 장치에 관한 것이다. 예를 들면, 액정 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이(FPD: Flat Panel Display)의 유리 기판 등의 피검체를 유지하는 홀더 장치에 관한 것이다.
본원은, 2005년 2월 21일에 출원된 일본국 특허출원 2005-043876호에 대해 우선권을 주장하며, 그 내용을 여기에 원용한다.
종래로부터, 예를 들면 액정 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이의 유리 기판 등의 피검체에 대해서, 매크로 조명광을 조사하여 유리 기판 표면의 손상, 흠결, 오염, 먼지의 부착 등의 결함 부분을 육안 검사하는 매크로 검사나, 결함 부분으로 현미경을 이동시켜 확대 화상에 의해 결함 부분을 검사하는 마이크로 검사를 행하는 결함 검사 시스템이 알려져 있다. 이러한 매크로 검사의 대상이 되는 유리 기판은, 예를 들면 선형 또는 직사각형 등의 가늘고 기다란 패턴, 또는TFT(Thin Film Transistor) 트랜지스터 등을 구성하는 리브 등이 규칙적 방향성을 가지고 배열되어 있기 때문에, 이들 패턴의 방향성에 대해 매크로 조명광의 입사 방향이 변하면, 회절광에 의해 결함 부분이 다르게 보인다. 따라서, 검사시에, 매크로 조명광의 입사 방향에 대하여 유리 기판을 유지하는 방향이 회전될 수 있게 한 홀더 장치를 구비한 매크로 결함 검사 시스템이 제안되어 있다.
예를 들면, 국제 공개 공보 제WO03/040708호 명세서(도 1-도 4)에는, 유리 기판을 탑재하는 홀더 본체를 관통하는 리프트 핀을 승강 기구에 의해 상승 및 하강시켜 유리 기판을 홀더 본체로부터 들어올리고, 그 상태에서 리프트 핀을 회전시킨 후 유리 기판을 하강시켜, 유리 기판의 유지 방향을 적절한 각도만큼 회전시킬 수 있도록 한 홀더 장치가 기재되어 있다. 이 홀더 본체에는, 유리 기판을 수평으로 지지하며, 투과 조명을 가능하게 하기 위해 동심원 형상으로 복수개의 링 지지부재와 이들을 연결하는 직선 지지부재가 망 모양으로 형성되어 있다. 또한 홀더 본체에 리프트 핀을 회전 이동시키기 위해, 90o 내지 120o의 각도 범위에서 원호형으로 연장되는 적어도 3개의 안내용 개구부가 외주 근방에 형성되어 있다.
국제 공개 공보 제WO03/040708호에 기재된 홀더 장치에는, 유리 기판을 90 내지 120의 범위에서 회전시키기 위해, 리프트 핀의 이동을 확실하게 하는 안내용 개구부를 설치할 필요가 있다. 이러한 안내용 개구부를 설치하면, 복수개의 링 지지부를 연결하고 있는 직선 지지부재가 중간에서 절단되기 때문에, 유리 기판을 수평으로 지지하는 링 지지부재의 강성이 저하되어 진동이 발생하기 쉽게 된다. 이 와 같이 홀더 본체의 강성이 저하하면, 매크로 검사시에 홀더 본체를 관찰자가 육안 관찰하기 쉬운 각도로 홀더 본체를 일으켜세워 정지시킬 때에, 그 홀더 본체의 정지에 의한 충격에 의해 링 지지부재가 진동하여, 진동이 수용될 때까지 검사될 수 없다는 문제가 생긴다. 또한, 홀더 본체의 강성이 저하되면, 매크로 검사시에 홀더 본체를 관찰하기 쉬운 각도로 일으켜세운 상태에서 몇 도의 범위에서 홀더 본체를 회전시켜 육안관찰할 때, 이 회전 조작에 의해 링 지지부재가 상하 방향으로 크게 진동하기 때문에 육안관찰이 어렵게 되는 문제가 생긴다. 또한, 매크로 검사가 종료되어 홀더 본체를 수평 위치로 복귀시킬 때에, 정지시의 충격에 의해 링 지지부에 진동이 생겨, 그 진동이 감쇄될 때까지, 마이크로 검사 및 반송 로봇에 의한 유리 기판의 반출이 행하여질 수 없다는 문제가 생긴다.
한편, FDP를 제조하는 기본 유리(mother glass) 기판은 대형화되는 경향이 있어, 최근에는 일변이 2500mm를 초과하는 유리 기판도 출현하고 있어, 이러한 대형 유기 기판을 유지하는 홀더 본체의 강성이 심각한 문제로 되어 있다. 따라서, 홀더 본체를 경량화하면서, 강성 저하를 억제하고, 검사 효율을 향상시킬 수 있는 홀더 장치가 절실하게 필요하다.
본 발명은, 상기 사항을 감안하여 이루어진 것으로서, 간편한 수단에 의해 홀더 본체의 강성 저하를 방지하고, 홀더 본체의 변형이나 진동을 억제하여, 피검체를 안정된 상태로 유지할 수 있는 홀더 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 제1 태양은, 기판이 탑재되는 홀더 본체, 및 상기 홀더 본체의 기판 탑재면으로부터 리프트 핀을 전진 및 후퇴시켜 상기 기판을 상기 기판 탑재면에 대해 승강시키며, 상기 기판을 상기 기판 탑재면으로부터 들어올린 상태에서, 상기 기판 탑재면에 대해 평행한 면 내에서 상기 기판을 회전 이동시키는 리프트 회전 기구를 구비하는 홀더 장치에 있어서, 상기 홀더 본체는, 상기 리프트 핀이 전진, 후퇴 및 회전 이동 가능한 안내용 개구부, 상기 안내용 개구부에 대해서 전진 및 후퇴 가능하게 설치되고, 전진시에 상기 안내용 개구부를 횡단하며 전진 쪽의 상기 안내용 개구부의 내부 에지 근방에서 결합 가능한 록 부재, 및 상기 록 부재를 전진 및 후퇴시키는 록 부재 왕복 기구를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제2 태양은, 상기 안내용 개구부가, 상기 리프트 회전 기구의 회전 중심축과 동축의 원호형으로 설치된 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제3 태양은, 상기 록 부재가, 상기 안내용 개구부의 길이 방향의 대략 중앙부에 설치된 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제4 태양은, 상기 록 부재가, 상기 안내용 개구부의 개구 단면의 길이 방향을 따라 복수개 설치된 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제5 태양은, 상기 홀더 본체의 상기 기판 탑재면이, 상기 안내용 개구부의 개구 방향으로부터 볼 때 복수개의 지지부재가 망 모양으로 배치된 프레임 구조를 가지고, 상기 안내용 개구부를 형성하는 지지부재에 교차하는 방향으로, 다른 지지 부재가 연결되며, 상기 록 부재가, 상기 안내용 개구부를 형성하는 상기 지지부재와 상기 다른 지지부재의 교차 위치 근방에 설치된 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제6 태양은, 상기 홀더 본체의 망 모양의 프레임 구조가, 상기 리프트 회전 기구의 회전 중심축에 대해서 동심원 모양으로 설치된 복수개의 원호형 지지부재, 및 직경 방향으로 연장되는 복수개의 직선형 지지부재를 포함하고, 상기 안내용 개구부를 형성하는 지지부재가, 상기 원호형 지지부재 중 하나를 포함하며, 상기 다른 지지부재가, 상기 직선형 지지부재 중 하나로 구성되고, 상기 직선형 지지부재 중 하나의 직선형 지지부재의 연장 방향으로, 상기 원호형 지지부재 중 다른 원호형 지지부재와 연결된 상기 직선형 지지부재 중 다른 직선형 지지부재가 연속하여 배치된 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제7 태양은, 상기 록 부재 왕복 기구가, 상기 록 부재를 회전 이동시킴으로써 상기 안내용 개구부로 전진시키는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제8 태양은, 상기 록 부재의 결합 방향이, 상기 기판 탑재면과 직교하는 방향인 것을 특징으로 한다.
(실시예)
이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명한다. 단, 본 발명은 이하의 각 실시예에 한정되지 않고, 예를 들면 이들 실시예의 구성 요소끼리 적절히 조합시켜도 된다.
이하에서, 본 발명의 실시예의 상세 사항에 대해 첨부 도면을 참조하여 설명한다. 모든 도면에 있어서, 실시예가 상이한 경우에도, 동일 또는 대응하는 부재에 동일한 부호를 부여하고, 공통되는 설명은 생략한다.
본 발명의 실시예에 따른 홀더 장치에 대하여 설명한다.
도 1, 도 2 및 도 3은, 각각 본 발명의 실시예에 따른 홀더 장치의 개략적 구성을 설명하기 위한 정면도, 평면도 및 측면도이다.
본 발명의 실시예에 따른 홀더 장치(100)는, 예를 들면 FPD의 일종인 액정 디스플레이의 유리 기판(1)에 대한 매크로 검사 및 마이크로 검사를 행하는 기판 검사 장치에 설치된다. 대형 유리 기판(1)으로서는, 일변이 20OOmm를 초과하는 기본 유리 기판이 있다.
검사 장치 본체(2) 내에 베이스(3)가 설치된다. 베이스(3) 상에 대형 유리 기판(1)을 유지하는 홀더 본체(4)가 설치된다. 홀더 본체(4)에, 복수개의 링 지지부재(5)(원호형 지지부재), 이들 링 지지부재(5)를 연결하는 복수개의 직선 지지부재(6)(직선형 지지부재) 및 보조 지지부재(6A)로 이루어지는 망 모양의 지지부재가 설치된다.
홀더 본체(4)를 상세히 설명한다.
도 4는, 본 발명의 실시예에 따른 홀더 장치의 홀더 본체의 상세 사항에 대해 설명하기 위한 평면도이다. 도 5의 (a) 및 도 5의 (b)는 도 4의 부분 확대도이다. 도 6의 (a) 및 도 6의 (b)는 도 5의 (a)의 G-G 단면도 및 H-H 단면도이다. 도 7은, 본 발명의 실시예에 따른 홀더 장치의 록 기구에 대하여 설명하기 위한 분해 사시도이다.
복수개의 링 지지부재(5)는, 도 4에 나타낸 바와 같이 평면에서 볼 때 각각 동심원 모양으로 형성된다. 복수개의 직선 지지부재(6)는, 각각 링 지지부재(5)의 동심원의 중심점으로부터 반경 방향으로 방사상으로 복수개(본 실시예에서는 8개) 설치되어, 각 링 지지부재(5)를 연결하여 보강하고 있다. 복수개의 보조 지지부재(6A)는, 링 지지부재(5)의 사이를 반경 방향과는 다른 방향으로 직선형으로 연결한다.
링 지지부재(5) 및 직선 지지부재(6)는, 도 6의 (a) 및 도 6의 (b)에 나타내듯이, 연직 방향 단면에서는, 연직 방향으로 연장되는 판 상에서, 예를 들면 폭 10mm 정도로 된다. 링 지지부재(5) 및 직선 지지부재(6)의 상단에 산 모양의 경사면(5a, 6a)이 형성되고, 흡착부(66)와 받침부(67)가 배치되는 상단에는, 산 모양의 정상부보다 낮은 평면부(5b, 6b)가 형성된다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 이들 링 지지부재(5), 홀더 본체(4), 직선 지지부재(6) 및 보조 지지부재(6A)에 의해 후술하는 리프트 핀(17 내지 20)이 90o 내지 120o의 범위, 본 실시예에서는 90o의 범위에서 이동 가능하도록, 원호형의 안내용 개구부(8-1 내지 8-4)가 형성된다. 링 지지부재(5), 직선 지지부재(6) 및 보조 지지부재(6A)를 망 모양의 구조로 함으로써 각 지지부재(5, 6) 사이에 개구부(9)가 형성된다. 이 개구부(9)는, 홀더 본체(4)의 경량화, 및 홀더 본체(4)에 탑재된 유리 기판(1)의 배면으로부터의 투과 조명을 위해 형성된다. 이중, 안내용 개구부(8-1, 8-2)는, 최외주 위치에 형성되고, 동심원의 중심점에 대해서 정면쪽(F)으로부터 보아 좌우 대칭으로 배치되며, 동심원의 중심점으로부터 볼 때 원주 방향으로 연장된 각도가 90O보다 약간 큰 각도(95O 내지 100O)로 형성된다.
안내용 개구부(8-3, 8-4)는, 안내용 개구부(8-1, 8-2)의 내주측에 형성되고, 동심원의 중심점에 대해 정면쪽(F)으로부터 보아 전후 대칭으로 배치되며, 동심원의 중심점으로부터 볼 때 원주 방향으로 연장된 각도가 90O보다 약간 큰 각도(95O 내지 100O)로 형성된다.
이와 같이 구성함으로써, 안내용 개구부를 후술하는 리프트 회전 기구의 회전 방향을 따라 설치할 수 있기 때문에, 안내용 개구부의 공간을 최소한으로 억제할 수 있다.
안내용 개구부(8-1, 8-2)의 대략 중앙의 외주측 홀더 본체(4)의 상면, 및 안내용 개구부(8-3, 8-4)의 대략 중앙의 외주측 홀더 본체(4)의 상면에 각각 록 기구(60)가 설치된다.
본 실시예에서는, 안내용 개구부(8-1 내지 8-4)의 내주측의 각 링 지지부재(5)는, 록 기구(60)와 대향되는 위치에서 직선 지지부재(6)와 연결된다.
록 기구(60)와 대향하는 위치에 배치된 4개의 직선 지지부재(6)의 각 중간에 다른 4개의 직선 지지부재(6)가 배치된다. 이들 8개의 직선 지지부재(6)에 의해 각 링 지지부재(5)가 연결된다.
이와 같은 구성에 의해, 동심원 모양의 복수개의 링 지지부재(5)는 직경 방향으로 직선 지지부재(6)에 의해 연결되어 강성을 높일 수 있다.
홀더 본체(4)를 안내용 개구부(8-1 내지 8-4)의 개구 방향으로부터 볼 때 망 모양의 구조로 함으로써, 홀더 본체(4)의 경량화를 도모하고, 유리 기판(1)의 배면쪽으로부터의 투과 조명을 가능하게 하고, 안내용 개구부(8-1 내지 8-4)를 형성하 는 최외주의 링 지지부재(5)와 교차하는 방향(반경 방향)에 직선 지지부재(6)를 연결함으로써, 직선 지지부재에 의해 링 지지부재(5)의 변형을 억제할 수 있다. 후술하는 바와 같이, 최외주의 링 지지부재(5)를 직선 지지부재(6)의 교차 위치에서 록 부재(61)로 연결시킴으로써, 홀더 본체(4)의 강성 및 내진동성을 향상시킬 수 있다.
록 기구(60)는, 도 5의 (a)에 나타낸 바와 같이, 록 부재(61), 회전 받침대(62), 결합블록(65), 슬라이더(63), 및 왕복 실린더(64)로 구성된다.
록 부재(61)는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 구멍(61b)을 중심으로 하여 회전 가능하며, 길이 방향의 한쪽 단부에, 중심축이 길이 방향을 따르는 직경(D)을 가지는 원통형의 결합부(61a)가 설치되고, 구멍(61b)을 협지하여 다른 쪽 단부에 연직 하방으로 연장되는 원기둥형의 걸림핀(61c)이 설치된다.
구멍(61b)의 중심으로부터 결합부(61a)의 선단까지의 거리는, 록 기구(60)이 배치되는 근방의 안내용 개구부(8-1 내지 8-4)의 직경 방향의 개구 폭보다 조금 크다.
록 부재(61)의 재질은, 예를 들면 연강, 스테인레스강 등 고강성의 재질로 구성된다.
회전 받침대(62)는, 록 부재(61)를 수평면 내에서 회전 가능하게 지지하기 위한 부재로서, 안내용 개구부(8-1 내지 8-4)의 외주측 홀더 본체(4)의 상면에 고정된다.
회전 받침대(62)의 상면에 연직 상방으로 연장되는 회전 지지점(62a)이 설치 되어, 록 부재(61)의 구멍(61b)에 회전 가능하게 삽입된다.
도 7은 개략도이기 때문에, 간략하게 나타나 있지만, 록 부재(61)는, 회전 받침대(62)에 대해서 회전 방향으로만 유연하게 움직일 수 있지만, 록 부재(61)와 회전 받침대(62) 사이에 회전면과 직교하는 방향으로는 충분한 강성을 얻을 수 있도록 한 적절한 베어링 구조가 형성된다.
결합 블록(65)은, 록 부재(61)의 결합부(61a)와 결합하기 위한 블록 부재로서, 안내용 개구부(8-1 내지 8-4)를 형성하는 링 지지부재(5) 위쪽의 평면부(5b) 상에, 회전 받침대(62)와 대향되는 위치에 배치된다.
결합 블록(65)은, 도 7에 나타낸 바와 같이, 수평 방향으로 개구를 가지며 높이 방향의 폭(d)을 가지는 삽입홈을 가진다. 폭(d)은, 결합부(61a)가 삽입되었을 때에 빠져나오지 않는 정도의 결합력이 발생하도록 결합부(61a)의 직경(D)보다 약간 작은 치수로 형성된다. 삽입홈의 입구 측에는, 결합부(61a)를 삽입홈(65a) 내로 안정적으로 끌어들이기 위한 테이퍼(65b)가 형성된다.
슬라이더(63)는, 걸림핀(61c)에 걸릴 수 있는 안내홈(63b)을 가지는 걸림핀 안내부(63a)를 선단에 가지고, 타단이 왕복 실린더(64)에 연결된다. 왕복 실린더(64)의 왕복 동작에 따라, 걸림핀(61c)이 걸림핀 안내부(63a)의 안내홈(63b) 내에서 슬라이드 이동함으로써, 록 부재(61)가 회전 지지점(62a)를 중심으로 하여 회전된다. 결합부(61a)는, 록 부재(61)의 회전에 의해 결합 블록(65)의 삽입홈(65a) 내에 삽입되어, 안내용 개구부(8-1 내지 8-4)를 형성하는 링 지지부재(5)와 홀더 본체(4)의 프레임 사이를 연결한다.
왕복 실린더(64)는, 슬라이더(63)를 왕복 이동시키기 위한 이동 기구로서, 예를 들면 에어 실린더 등이 이용될 수 있다. 솔레노이드 등의 전자적인 왕복 기구 또는 리니어 모터 등의 기구도 바람직하게 이용될 수 있다. 예를 들면, 에어 실린더를 이용하는 경우에, 후술하는 주 제어부(51)에 의해 도시하지 않은 전자 밸브가 제어됨으로써, 슬라이더(63)가 왕복 이동될 수 있다.
슬라이더(63)와 왕복 실린더(64)는, 회전 받침대(62)에 회전 지지된 록 부재(61)를 회전 이동시켜, 안내용 개구부(8-1 내지 8-4)를 횡단하도록 전진 및 후퇴시키는 록 부재 왕복 기구를 구성한다.
이와 같은 록 부재 왕복 기구에 의해, 록 부재(61)를 안내용 개구부(8-1)의 개구 내로 진입시켜, 결합 블록(65)과 결합부(61a)가 결합된 상태(이하, 록 상태라고 함. 도 5의 (a) 참조), 및 록 부재(61)를 안내용 개구부(8-1)의 개구로부터 후퇴시켜 안내용 개구부(8-1) 내에서 리프트 핀(17)이 이동 가능하게 되는 상태(이하, 록 해제 상태라고 함. 도 5의 (b) 참조)가 절환 가능하게 된다.
링 지지부재(5)와 직선 지지부재(6)의 평면부(5b, 6b) 상에는, 복수개의 흡착부(66)와 받침부(67)가 원주 방향 및 직경 방향으로 적절한 간격을 두고 배치된다.
흡착부(66)는 내부에, 상단부에 설치된 나타내지 않은 공기 흡인관이 설치되어, 각각의 흡착부(66) 상에 유리 기판(1)이 탑재된 때, 유리 기판(1)을 흡착 지지할 수 있도록 된다.
받침부(67)는, 유리 기판(1)을 흡착부(66)에 흡착하였을 때, 유리 기판(1)의 휨이 소정값 이하가 되도록 적절한 간격으로 유지하기 위해 설치된 봉형 부재이다.
그리고, 도 6의 (a) 및 도 6의 (b)에 나타낸 바와 같이, 흡착부(66)는, 유리 기판(1)을 흡착 유지하지 않을 때, 기준 위치가 되는 홀더 본체(4)의 상면보다 흡착 패드(66a)의 흡착면이 약간 높아지도록, 평면부(6b(5b))로부터 높이 h1에 설치된다. 또한, 도 6의 (b)에 나타내듯이, 받침부(67)는, 선단이 기준 위치와 같은 높이로 되도록 평면부(5b(6b))로부터 높이 h2에 설치된다. 여기에서, 높이 h1은, 흡착부(66)에 의해 유리 기판(1)이 흡착되어 흡착 패드(66a)가 본체부(66b)의 선단에 접촉하여 정지되었을 때, 평면부(6b(5b))로부터 기준 위치까지의 높이로부터 흡착 패드(66a)의 두께만큼 뺀 높이이다. 이 흡착부(66)에 의해 유리 기판(1)이 홀더 본체(4) 상에 흡착되면, 각 흡착부(66)와 각 받침부(67)에 의해 유리 기판(1)이 홀더 본체(4) 상에 수평으로 유지된다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 홀더 본체(4)의 하방에, 승강·회전 기구(10)(리프트 회전 기구)가 형성된다.
승강·회전 기구(10)는, 홀더 본체(4)에 형성된 안내용 개구부(8-1 내지 8-4)를 통해 유리 기판(1)을 홀더 본체(4)의 위쪽으로 들어올려 유리 기판(1)을, 예를 들면 대략 90도 회전시킨 후, 유리 기판(1)을 하강시켜 홀더 본체(4) 상에 탑재하기 위한 것이다. 승강·회전 기구(10)는, 리프트 핀 기구(13), 및 이 리프트 핀 기구(13)를 승강 회전시키는 액추에이터부(7)로 구성된다.
도 8은, 본 발명의 실시예에 따른 홀더 장치의 리프트 회전 기구를 개략적으로 설명하기 위한 사시 설명도이다.
리프트 핀 기구(13)는, 도 8에 나타낸 바와 같이, 서로 직교하는 2개의 리프트 핀 지지 막대(15, 16), 및 이들 리프트 핀 지지 막대(15, 16)의 선단부에서, 각각 안내용 개구부(8-1 내지 8-4)에 대응하는 위치에 수직으로 설치된 리프트핀(17 내지 20)을 구비한다.
리프트 핀(17 내지 20)은, 도 8에 나타낸 바와 같이, 유리 기판(1)의 사이즈에 따라 각 위치, 예를 들면 사이즈가 작은 유리 기판(1)에 대응하는 각 위치에 설치해도 된다. 리프트 핀(17 내지 20)은, 착탈 가능하게 하고, 유리 기판(1)의 사이즈에 따라 장착 위치를 바꾸어도 된다. 리프트 핀(17 내지 20)은, 모든 사이즈에 대비하여 미리 설치하여 두어도 된다. 또한, 리프트 핀(17 내지 20)의 선단에 유리 기판(1)을 흡착하는 흡착부를 설치해도 된다.
액추에이터부(7)가 승강 드라이버부(11)의 제어를 받아 로드(14)를 위쪽으로 이동시키면, 리프트 핀 기구(13)가 들어올려져 ,리프트 핀(17, 18, 19, 20)은 홀더 본체(4)의 표면 쪽으로 소정 높이 만큼 돌출된다.
또한, 액추에이터부(7)가 회전 드라이버부(12)의 제어를 받아 로드(14)를 90o 회전시키면, 리프트 핀(17, 18, 19, 20)은 안내용 개구부(8-1, 8-2, 8-3, 8-4) 내에서 원호형으로 이동한다.
베이스(3)의 하방에는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 홀더 본체(4)를 소정의 경사 각도로 일으키는 회전 기구(22)가 설치된다. 즉, 정면쪽 F로부터 보아 베이스(3)의 앞쪽의 양단부에 각 경첩(23)이 각 경첩 지지부재(24)에 대해서 회전 가능하 게 설치된다. 이들 경첩 지지부재(24)는 베이스(3)에 고정된다. 이들 경첩(23)의 회전축은, 홀더 본체(4)를 정면쪽 F로 향해 회전 가능하도록 정면쪽 F의 베이스 단부면의 앞면에 대해서 평행(X 방향)하게 설치된다. 이들 경첩(23)의 자유 단부에는, 홀더 본체(4)의 배면에 서로 평행하게 설치된 2개의 직선 안내부(25)에 삽입되어, 홀더 본체(4)를 전후방향으로 슬라이드 이동시키는 도브테일(dovetail) 홈의 안내 받침대가 설치된다.
이들 직선 안내부(25)는, 홀더 본체(4)가 일어나면, 경첩(23)의 안내 받침대 상에서 슬라이드 이동하고, 홀더 본체(4)를 정면쪽 F으로 앞으로 밀어낸다. 또한, 이 홀더 본체(4)를 화살표 방향으로 일어나게 하기 위해서, 지지부재(29)에 연결되는 링크(26, 30)의 링크 기구, 및 링크(30)의 가동부(33)를 Y 방향으로 설치된 직선 궤도(31)를 따라 왕복 이동시키는 구동부가 설치된다.
베이스(3) 상의 양단에, 도 2에 나타낸 바와 같이 Y 방향의 각 이동 기구(40, 41)가 홀더 본체(4)를 협지하여 서로 평행하게 형성된다. 이들 이동 기구(40, 41)의 사이에, 문 기둥 암(42)이 홀더 본체(4)의 윗쪽에 걸치도록 설치된다.
문 기둥 암(42)은, 각 이동 기구(40, 41) 상에 Y 방향으로 이동 가능하게 설치된다. 이 문 기둥 암(42)에, 현미경 수단(43)이 X 방향으로 이동 가능하게 설치된다.
홀더 본체(4)상에, 리프트 핀 기구(13)에 의해 유리 기판(1)이 90o 회전된 후에 유리 기판(1)의 기준 위치를 검출하는 3개의 위치 센서(47, 48, 49)가 설치된 다. 이들 위치 센서(47 내지 49)는, 각각 유리 기판(1)의 에지 위치를 검출하여, 그 에지 위치 신호를 주 제어부(51)로 출력한다. 주 제어부(51)는, 위치 센서(47 내지 49)로부터의 에지 위치 신호에 따라 회전 드라이버부(12)를 제어하여 액추에이터부(7)의 회전을 정지시키나, 유리 기판(1)의 회전 엇갈림을 보정한다.
검사 장치 본체(2)의 정면쪽 F에, 유리 기판(1)의 매크로 검사 및 마이크로 검사를 행하도록 각종 조작 지시 등을 하기 위한 조작부(50)가 설치된다.
도 1에 나타내는 주 제어부(51)는, 기판 검사 시스템 전체의 동작을 제어한다. 이 주 제어부(51)는, 승강 드라이버부(11), 회전 드라이버부(12) 및 회전 기구(22)에 대해서 각각 동작 제어 신호를 송출하고, 현미경 수단(43)에 대해서 이동 제어 신호를 송출한다. 또한, 록 기구(60)의 왕복 실린더(64)에 공기를 공급하기 위한 전자 밸브(나타내지 않음)에 제어 신호를 보내, 공기의 유통을 제어하고, 슬라이더(63)를 왕복 이동시키는 것이 가능하게 된다.
다음에, 상기와 같이 구성된 홀더 장치(100)의 동작에 대하여 설명한다.
수평 상태에 있는 홀더 본체(4) 상에는, 예를 들면 1250×1100mm의 대형 사이즈의 유리 기판(1)이 탑재되어, 정렬 기구에 의해 유리 기판(1)이 위치된 후에 흡착부(66)에 의해 흡착 유지된다. 이때, 도 5의 (a)에 나타내듯이, 록 기구(60)는 록 상태로 된다. 따라서, 안내용 개구부(8-1 내지 8-4)의 원주 방향의 대략 중앙부가 록 부재(61)에 의해 결합되어, 홀더 본체(4) 내의 링 지지부재(5)의 강성 및 내진동성이 높아진다.
이 상태에서, 회전 기구(22)를 구동하여 홀더 본체(4)를 관찰자가 육안 관찰 하기 쉬운 소정의 경사 각도로 회전시킨다.
이와 같이, 록 부재 왕복 기구(63, 64)에 의해, 록 부재(61)를 안내용 개구부에 대해 전진시킨 상태에서는, 록 부재(61)가 안내용 개구부(8-1 내지 8-4)를 횡단하여, 각각의 록 기구(60)와 대향하는 링 지지부재(5)에 고정된 결합 블록(65)에 결합되기 때문에, 안내용 개구부(8-1 내지 8-4)의 내부 에지 사이를 록 부재(61)로 연결하여, 홀더 본체의 강성 및 내진동성을 향상시킬 수 있다.
안내용 개구부(8-1 내지 8-4)를 구성하는 링 지지부재(5)의 진동 변위가 최대로 되기 쉬운 개구 단면의 길이 방향의 대략 중앙부에 록 부재를 설치하기 때문에, 록 부재의 전진시에, 효율적으로 강성 및 내진동성을 향상시킬 수 있다.
또한, 록 부재(61)가 안내용 개구부(8-1 내지 8-4)의 각각의 개구 길이 방향으로 복수의 위치에 설치되기 때문에, 록 부재(61)가 중앙부의 1개의 위치에 설치된 경우에 비해, 각 안내 개구부(8-1 내지 8-4)의 개구가 복수개의 위치에서 록 부재(61)에 의해 록킹되기 때문에, 홀더 본체의 강성 및 내진동성을 더욱 향상시킬 수 있다.
관찰자는, 검사 장치 본체(2)의 상방에 배치된 매크로 조명 장치의 매크로 조명광을 점등시킨 상태에서, 이와 같이 홀더 본체(4)가 육안 관찰하기에 적절한 상승 각도로 설정되거나, 또는 연속하여 회전하는 동안에 유리 기판(1)으로부터의 반사광의 변화를 관찰하여 매크로 검사한다. 이 관찰 결과로부터, 예를 들면 유리 기판(1)의 면 상의 손상, 흠결, 오염, 먼지의 부착 등의 결함 부분(이하, 이러한 것들을 단지 결함 부분이라고 칭한다)을 검출할 수 있다.
이때, 홀더 본체(4)의 기판 탑재면은 링 지지부재(5)와 직선 지지부재(6)에 의해 망 모양으로 구성되므로, 유리 기판(1)의 상면으로부터 입사하는 조명광이 각 지지부재(5, 6) 사이의 개구부(9), 안내용 개구부(8-1 내지 8-4) 등을 통해 배면 쪽으로 투과하여 돌아오지 않기 때문에, 배면 반사에 의한 미광(迷光) 등이 관찰을 방해하지 않는다.
또한, 이들 개구부 이외의 부분을 통과하는 조명광은, 링 지지부재(5)와 직선 지지부재(6)의 대부분의 상단이 산 모양으로 되어 있기 때문에, 개구부 이외의 부분을 통과하는 조명광의 대부분은, 경사면(5a, 6a)에 의해 측방으로 반사되어 관찰자 쪽으로 돌아와 미광으로 되는 일이 없다. 이와 같이, 매크로 조명 하에서 유리 기판(1)의 아래쪽에서 반사하는 미광을 작게 함으로써, 유리 기판(1)의 표면으로부터의 반사광만 관찰할 수 있게 되어, 관찰 정밀도를 향상시킬 수 있다. 매크로 검사시에 록 기구(60)에 의해 안내용 개구부(8-1 내지 8-4)의 대략 중앙부를 록킹함으로써, 안내용 개구부(8-1 내지 8-4)를 구성하는 링 지지부재(5)가 록 부재(61)에 의해 연결되어 보강된다.
다음에, 유리 기판(1)의 면 상의 결함 부분을 확실하게 검출하기 위해, 유리 기판(1)의 배치 방향을, 예를 들면 90o 회전시켜 매크로 검사한다. 이 경우에, 회전 기구(22)가 구동되어, 홀더 본체(4)를 원래의 수평 상태로 되돌린다.
홀더 본체(4)가 수평 상태로 되면, 도 5의 (b)에 나타낸 바와 같이, 주 제어부(51)의 제어 신호에 의해, 왕복 실린더(64)가 구동되어, 슬라이더(63)가 도면에 서 우측 방향으로 끌린다. 이에 연동하여, 걸림핀(61c)이, 걸림핀 안내부(63a)의 홈 내에서 슬라이드 이동된다. 따라서, 록 부재(61)가 회전 지지점(62a)을 중심으로 하여 반시계 방향으로 회전된다. 결합부(61a)가 결합 블록(65)과의 결합으로부터 해제되어 이탈되고, 록 부재(61)는 회전 받침대(62)가 고정되는 평면부(5b) 상으로 후퇴되어, 록 해제 상태로 된다. 따라서, 안내용 개구부(8-1)의 원주 방향으로 리프트 핀(17)이 이동 가능하게 된다. 마찬가지로 안내용 개구부(8-2 내지 8-4)에서도 록 해제 상태가 된다.
액추에이터부(7)가 승강 드라이버부(11)에 의해 제어되어 리프트 핀 기구(13)를 위쪽으로 들어올린다. 리프트 핀 기구(13)가 들어올려지면, 리프트 핀(17, 18, 19, 20)은, 홀더 본체(4)의 배면 쪽으로부터 각각 안내용 개구부(8-1 내지 8-4)로 들어가, 이들 안내용 개구부(8-1 내지 8-4)를 통해 홀더 본체(4)의 표면 쪽으로 돌출한다.
따라서, 리프트 핀(17 내지 20)은, 각각 홀더 본체(4) 상의 유리 기판(l)의 배면에 맞닿아 들어올림으로써, 유리 기판(1)을 홀더 본체(4)의 위쪽으로 소정 높이만큼 들어올린다.
다음에, 액추에이터부(7)는, 회전 드라이버부(12)에 의해 제어되어 리프트 핀 기구(13)를, 예를 들면 우회전 또는 좌회전에 의해 임의의 각도, 예를 들면 90O 회전시킨다. 따라서, 유리 기판(1)은, 홀더 본체(4)의 윗쪽에서 배치 방향이 예를 들면 90O 회전된다.
회전 이동이 종료되면, 각 록 기구(60)의 왕복 실린더(64)가 구동되고, 슬라이더(63)가 돌출되어, 도 5의 (a)의 좌측으로 이동된다. 슬라이더(63)의 이동에 연동하여, 걸림핀(61c)이 걸림핀 안내부(63a) 내에서 이동되고, 록 부재(61)가 회전되어, 결합부(61a)가 결합 블록(65)에 결합됨으로써, 록 상태로 된다.
이러한 록 상태에 의해, 안내용 개구부(8-1 내지 8-4)의 원주 방향의 대략 중앙부가 록 부재(61)에 의해 결합되어, 홀더 본체(4) 내의 링 지지부재(5)의 강성이 높아진다. 또한, 록 해제 상태에서, 홀더 본체(4)에 진동 등이 잔류하고 있는 경우에도, 록 부재(61)의 결합 과정에서, 현저한 진동 감쇠 효과를 얻을 수 있으므로, 진동이 억제 된다. 이와 같은 내진동성을 효율적으로 향상시킴에 있어, 안내용 개구부(8-1 내지 8-4)의 진동이 최대로 되기 쉬운 원주 방향의 대략 중앙에 록 기구(60)를 배치하는 것이 바람직하다. 또한, 강성을 더욱 높게 하고, 고차의 진동 모드를 효율적으로 감쇠시키기 위해서, 안내용 개구부(8-1 내지 8-4)의 원주 방향으로 적절한 간격으로 복수개의 록 기구(60)를 설치해도 된다.
이와 같이, 록 부재 왕복 기구(63, 64)가, 록 부재를 회전 이동시키도록 구성되기 때문에, 컴팩트 또한 간소한 구성으로 될 수 있다. 회전 이동의 방향은 적절히 선택될 수 있어, 예를 들면, 기판 배치면에 평행한 면 내의 회전이라도 되고, 기판 배치면에 직교하는 면 내의 회전이라도 된다.
록 부재가 기판 탑재면에 직교하는 방향으로 결합되기 때문에, 기판의 면 밖으로의 휨 방향의 강성이 강화되어, 안정된 기판 탑재면을 구성할 수 있다.
다음에, 액추에이터부(7)는, 승강 드라이버부(11)에 의해 제어되어 로드(14) 를 하강시켜, 리프트 핀(17 내지 20) 상에 유지되어 있는 유리 기판(1)을, 다시 홀더 본체(4) 상에 탑재시킨다. 액추에이터부(7)는, 로드(14)를 원래의 위치까지 하강시켜 정지시키고, 정렬 기구에 의해 유리 기판(1)을 위치시킨 후에 흡착부(66)에 의해 유리 기판(1)을 흡착한다. 이때, 록 기구(60)가 록 상태로 되면, 망 모양으로 구성된 링 지지부재(5)가 수평 상태로 유지되어, 흡착부(66)의 높이가 안정되기 때문에, 유리 기판(1)이 흡착부(66)에 의해 확실하게 흡착되고 수평으로 유지된다.
다음에, 상기와 같이, 홀더 본체(4)가 소정의 경사 각도로 일으킨 상태에서 90o 회전된 유리 기판(1)의 표면 상에 매크로 조명광을 조사한다. 관찰자는, 예를 들면, 유리 기판(1)으로부터 오는 반사광의 변화를 관찰하여, 예를 들면 유리 기판(1)의 면 상의 결함 부분을 매크로 검사한다.
이같이 하여, 유리 기판(1)을 90o도 회전시킴으로써, 어느 한 방향에서, 조명광과 유리 기판(1)의 패턴의 방향성의 관계 또는, 조명광과 흠결, 손상, 크랙 등의 선형 결함의 방향성과의 관계를 변경시켜 관찰할 수 있으므로, 관찰자가 확실하게 결함을 검출할 수 있다.
다음에, 홀더 본체(4)를 수평 위치로 되돌린 상태에서, 문 기둥 암(42)을 각 이동 기구(40, 41)에 의해 Y 방향으로 이동시키는 동시에, 현미경 수단(43)은 문 기둥 암(42)에 대해서 X 방향으로 이동시킴으로써, 현미경 수단(43)의 대물 렌즈의 광축을 매크로 검사에 의해 검출된 유리 기판(1) 상의 결함 부분의 위쪽으로 이동시킨다. 이때, 홀더 본체(4)의 아래에 설치된 투과 조명광원(44)이 대물 렌즈에 종동하여 이동된다. 현미경 수단(43)의 대물 렌즈에 개구부(9)를 통해 투과 조명하여, 결함 부분의 확대상을, 예를 들면 모니터 장치 등에 표시하여, 마이크로 검사를 행한다.
이때, 본 실시예에서는, 록 기구(60)가 록 상태로 됨으로써, 홀더 본체(4)의 망 모양의 지지부재의 강성이 높아져 수평도 또한 유지되기 때문에, 유지된 유리 기판(1)의 휨이나 진동이 억제된다. 그 결과, 진동 감쇠를 위한 대기 시간이 필요하지 않아, 신속히 마이크로 검사를 행할 수 있다. 마찬가지로, 홀더 본체(4)를 대략 수직으로 세운 상태에서 유리 기판(1)의 배면 쪽으로부터 백라이트 조명하는 경우에도, 록 기구를 록킹시킴으로써 홀더 본체(4)의 강성이 높아져, 진동이 억제된다.
다음에, 본 실시예의 변형예에 대하여 설명한다. 이들 변형예는, 모두 록 부재 및 록 부재 왕복 기구에 관한 변형예이기 때문에, 안내용 개구부(8-1 내지 8-4)의 어느 것에 대해서도 마찬가지로 적용할 수 있다. 단, 이하에서는 편의상, 안내용 개구부(8-1)의 근방에 배치된 경우를 예로서 설명한다.
먼저, 제1 변형예에 대하여 설명한다.
도 9는, 본 발명의 실시예에 따른 홀더 장치의 제1 변형예에 대하여 설명하기 위한 평면 부분 확대도이다. 단, 결합 블록(65)은 부분적으로 절단하여 나타내고 있다.
본 실시예의 제1 변형예의 록 기구(70)는, 록 부재(71)의 회전을 기어 구동 기구에 의해 행하는 예이다.
즉, 상기 실시예의 록 부재(61)에 대신하여 록 부재(71)를 이용하고, 록 부재 왕복 기구로서, 상기 실시예의 슬라이더(63)와 왕복 실린더(64)에 대신하여, 제1 변형예에서는 나타내지 않은 모터, 이 모터에 의해 회전 구동되는 피니언 기어(72), 및 결합부(61a)에 대하여 반대쪽의 록 부재(71)의 단부에 구멍(61b)을 중심으로 한 부채꼴 기어 부(71c)를 구비한다.
이와 같은 기어 구동 기구에 의하면, 피니언 기어(72)를 적절한 양만큼 회전시킴으로써, 구멍(61b)을 중심으로 하여 록 부재(71)를 회전시킬 수 있다. 그 결과, 록 부재(71)를 안내용 개구부(8-1)의 개구로 전진 및 후퇴시킬 수 있다.
또한, 이와 같은 기어 구동 기구에 의하면, 슬라이더(63) 등의 왕복 이동하는 부재를 이용하지 않고 록 부재(71)를 전진 및 후퇴시킬 수 있기 때문에, 비교적 좁은 공간에 설치할 수 있다는 이점이 있다.
다음에, 본 실시예의 제2 및 제3 변형예에 대하여 설명한다.
도 10의 (a)는, 본 발명의 실시예에 따른 홀더 장치의 제2 변형예에 대하여 설명하기 위한 평면 부분 확대도이다. 도 10의 (b)는, 동일하게 제3 변형예에 대하여 설명하기 위한 평면 부분 확대도이다. 도 10의 (c)는, 도 10의 (a) 및 도 10의 (b)의 I-I 단면도이다. 도 10의 (d)는, 도 10의 (b)의 J-J 단면도이다. 단, 도 10의 (a) 및 도 10의 (b)에 있어서, 결합 블록(85)은 부분적으로 절단하여 나타내고 있다.
본 실시예의 제2 변형예의 록 기구(80)는, 록 부재의 전진 및 후퇴를 왕복 직선 운동에 의해 행하는 예이다. 즉, 상기 실시예의 록 부재(61)에 대신하여 록 부재(81)를 이용하고, 결합 블록(65)에 대신하여 결합 블록(85)를 이용하며, 로크 부재 왕복 기구로서, 왕복 실린더(82)에 의해 직접 록 부재(81)를 전진 및 후퇴시키는 구성으로 하고 있다.
록 부재(81)는, 예를 들면 원기둥형 부재이며, 왕복 실린더(82)에 의해, 안내용 개구부(8-1)를 횡단하여 전진 및 후퇴되고, 전진시에 선단을 결합 블록(85)에 결합시킬 수 있다. 왕복 실린더(82)로서는, 예를 들면 공기 실린더, 솔레노이드 등의 기구를 이용할 수 있다. 또한, 직선형 모터 등을 이용할 수도 있다.
결합 블록(85)은, 록 부재(81)를 결합시키기 위해 링 지지부재(5)의 동심원의 직경 방향으로 관통하는 구멍부(85a)를 가진다. 또한, 록 부재(81)가 진입하는 쪽의 개구 단부에, 록 부재(81)의 진입을 안내하기 위한 테이퍼(85b)가 형성된다.
이 경우에, 구멍부(85a)와 록 부재(81)의 단면 형상을 일치시킴으로써, 수평 방향 및 상하 방향의 결합이 가능해진다. 따라서, 더욱 높은 강성을 가지는 구성으로 할 수 있다.
결합 방향이 상하 방향으로만 되어도 좋은 경우에는, 구멍부(85a)는, 예를 들면 수평 방향으로 연장되는 타원형 단면 등 록 부재(81)의 원형 단면과 다른 단면 형상을 가져도 된다.
본 실시예의 제3 변형예의 록 기구(90)는, 록 부재의 전진 및 후퇴를 왕복 직선 운동에 의해 행하는 다른 예이다. 즉, 도 10의 (b)에 나타낸 바와 같이, 상기 제2 변형예의 록 부재(81)에 대신하여, 록 부재(91)를 이용하고, 록 부재 왕복 기구로서, 왕복 실린더(82)에 대신하여, 슬라이드 안내부(93, 94) 및 피니온 기어 (92)를 가지는 나타내지 않은 모터 등으로 구성되는 기구를 설치한 구성으로 하고 있다.
록 부재(91)는, 전진 쪽이 예를 들면 원기둥 모양을 가지며, 반대쪽의 단부에, 전진 및 후퇴 방향을 따라 랙(91a) 및 안내 돌기(91b)가 형성된다. 안내 돌기(91b)는, 전진 및 후퇴 방향을 따라, 예를 들면 T자 모양의 단면으로 된다(도 10의 (d) 참조).
슬라이드 안내부(93, 94)는, 각각 안내 돌기(91b) 및 록 부재(91)의 원기둥 단면부와 슬라이드 이동 가능하게 삽입되는 슬라이드 이동 안내 부재이다.
피니언 기어(92)는, 랙(91a)과 결합되어 록 부재(91)를 전진 및 후퇴시키기 위한 구동 기어이다.
이와 같은 구성에 의해, 나타내지 않은 모터의 회전 운동을 직선 운동으로 변환함으로써 록 부재(91)를 왕복 직선 운동시킬 수 있다.
상기 설명에서는, 안내용 개구부(8-1 내지 8-4)는, 일례로서, 리프트 핀(17) 등이 90o 회전될 수 있는 원호 형상을 가지는 것으로서 설명하였으나, 리프트 핀(17) 등이 이동할 수 있으면 원호 형상에 한정되는 것은 아니다.
유리 기판(1)의 회전 각도는, 유리 기판(1)의 패턴이나 결함 부분의 검출 용이성 등의 필요에 따라 90o 이상 또는 90o 이하이더라도 된다. 예를 들면, 패턴이 직교하는 2축 방향의 방향성을 가지는 경우에, 어느 1축으로부터 45o 회전시켜 조명하여, 매크로 검사를 할 수 있다. 그러면, 2축 방향의 각각의 패턴에 대응하여 반 사광 또는 회절광이 관찰 되기 때문에, 한쪽의 패턴의 특징이 보이지 않는 일이 없기 때문에 매크로 검사를 1회로 완료할 수 있다.
또한, 예를 들면, 120o 회전 가능하도록 해도 된다. 이 경우에, 리프트 회전 기구의 핀 배치를 회전 원주 방향의 4개의 위치로 해도 되지만, 3개의 위치로 감소시켜 리프트 회전 기구를 간소화시키는 것도 가능해진다.
또한, 예를 들면, 180o 회전 가능하도록 해도 된다. 이 경우에, 180o 이하의 임의의 각도의 회전이 가능해져, 모든 패턴에 대응하여 적절한 각도로 기판을 회전시킬 수 있다는 이점이 있다. 이 경우에, 안내용 개구부를 동심원의 중심점에 대하여 360o의 동심원으로 형성하고, 이 안내용 개구부에 판정의 간격, 예를 들면 20o 또는 30o의 간격으로 록 기구를 배치하여, 각 리프트 핀의 통과시에 록을 해제하도록 할 수 있다.
본 발명에 의하면, 이와 같이 안내용 개구부의 개구 각도를 확대하는 경우에도, 록 부재 및 록 부재 왕복 기구를 원주 방향의 적절한 위치에 적절한 개수만큼 형성함으로써, 홀더 본체의 강성 및 내진동성을 양호하게 유지할 수 있다.
또한, 상기 설명에서는, 리프트 핀이 이동하는 안내용 개구부가, 홀더 본체의 외주측에 설치된 예를 설명하였지만, 이와 같은 안내용 개구부는, 홀더 본체의 중간부, 중심부 등 어디에도 설치될 수 있다.
또한, 상기 설명에서는, 안내용 개구부가 원호형 지지부재로 구성되고, 그것 들이 직경 방향으로 연장되는 직선형 지지부재와 연결되어 망 모양으로 구성된 예를 설명하였지만, 기판에 광이 투과하지 않는 경우나, 기판의 배면 쪽으로부터 투과 조명할 필요가 없는 경우에는, 홀더 본체를 한 장의 판으로 형성하여 리프트 핀(17 내지 20)이 통과하는 안내용 개구부를 설치해도 된다.
또한, 지지부재를 망 모양의 구조로 하는 경우에도, 복수개의 링 지지부재가 직경 방향으로 직선 지지부재로 연결된 망 모양의 구조에 한정되는 것이 아니고, 예를 들면 격자형, 거북이 모양 등, 상술한 모양과 상이한 망 모양의 구조도 바람직하게 이용할 수 있다.
본 발명의 홀더 장치에 의하면, 전진 및 후퇴 가능한 록 부재라는 간단한 수단에 의해 안내용 개구부를 횡단해 안내용 개구부 내부 에지끼리 결합시키기 때문에, 안내용 개구부에 의한 홀더 본체의 강성 저하를 방지하고, 홀더 본체의 변형이나 진동을 억제시킬 수 있으므로, 기판의 배치 각도를 변경시키는 경우에도, 신속히 안정된 기판 배치면에 기판을 배치할 수 있다는 효과를 얻을 수 있다.
본 발명의 기판의 리프트 회전 기구를 가지는 홀더 장치에 의하면, 간단한 수단에 의해 홀더 본체의 강성 저하를 방지하고, 홀더 본체의 변형이나 진동을 억제하여, 안정된 상태로 기판을 유지할 수 있다.

Claims (8)

  1. 기판이 탑재되는 홀더 본체, 및 상기 홀더 본체의 기판 탑재면으로부터 리프트 핀을 전진 및 후퇴시켜 상기 기판을 상기 기판 탑재면에 대해 승강시키며, 상기 기판을 상기 기판 탑재면으로부터 들어올린 상태에서, 상기 기판 탑재면에 대해 평행한 면 내에서 상기 기판을 회전 이동시키는 리프트 회전 기구를 구비하는 홀더 장치에 있어서,
    상기 홀더 본체는,
    상기 리프트 핀이 전진, 후퇴 및 회전 이동 가능한 안내용 개구부,
    상기 안내용 개구부에 대해서 전진 및 후퇴 가능하게 설치되고, 전진시에 상기 안내용 개구부를 횡단하며 전진 쪽의 상기 안내용 개구부 내부 에지 근방에서 결합 가능한 록 부재, 및
    상기 록 부재를 전진 및 후퇴시키는 록 부재 왕복 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 홀더 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 안내용 개구부가, 상기 리프트 회전 기구의 회전 중심축과 동축의 원호형으로 설치된 것을 특징으로 하는 홀더 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 록 부재가, 상기 안내용 개구부의 길이 방향의 대략 중앙부에 설치된 것을 특징으로 하는 홀더 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 록 부재가, 상기 안내용 개구부의 개구 단면의 길이 방향을 따라 복수개 설치된 것을 특징으로 하는 홀더 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 홀더 본체의 상기 기판 탑재면이, 상기 안내용 개구부의 개구 방향으로부터 볼 때 복수개의 지지부재가 망 모양으로 배치된 프레임 구조를 가지고,
    상기 안내용 개구부를 형성하는 지지부재에 교차하는 방향으로, 다른 지지 부재가 연결되며,
    상기 록 부재가, 상기 안내용 개구부를 형성하는 상기 지지부재와 상기 다른 지지부재의 교차 위치 근방에 설치된 것을 특징으로 하는 홀더 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 홀더 본체의 망 모양의 프레임 구조가, 상기 리프트 회전 기구의 회전 중심축에 대해서 동심원 모양으로 설치된 복수개의 원호형 지지부재, 및 직경 방향으로 연장되는 복수개의 직선형 지지부재를 포함하고,
    상기 안내용 개구부를 형성하는 지지부재가, 상기 원호형 지지부재 중 하나 를 포함하며,
    상기 다른 지지부재가, 상기 직선형 지지부재 중 하나로 구성되고,
    상기 직선형 지지부재 중 하나의 직선형 지지부재의 연장 방향으로, 상기 원호형 지지부재 중 다른 원호형 지지부재와 연결된 상기 직선형 지지부재 중 다른 직선형 지지부재가 연속하여 배치된 것을 특징으로 하는 홀더 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 록 부재 왕복 기구가, 상기 록 부재를 회전 이동시킴으로써 상기 안내용 개구부로 전진시키는 것을 특징으로 하는 홀더 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 록 부재의 결합 방향이, 상기 기판 탑재면과 직교하는 방향인 것을 특징으로 하는 홀더 장치.
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