KR100844204B1 - 급전 커넥터 및 이 급전 커넥터를 구비하는 정전 척 장치 - Google Patents

Abstract

장시간 진공상태에서 장치를 동작시킬 경우에 진공상태를 안정적으로 유지시키고 대기와 진공 상태를 교대로 반복하여 작업할 때에는 공기의 출입을 막아 급전 커넥터와 장치 본체와의 접점부의 진공방전을 방지함과 동시에 균일한 품질을 얻을 수 있는 급전 커넥터 및 이 급전 커넥터를 구비하는 정전 커넥터 장치를 제공한다.

도선(31) 과 상기 도선(31)이 선단에서 연출되어 노출될 수 있도록 이것을 피복하는 피복 층(32)을 갖는 리드 선(30)이 연결되는 급전 커넥터(100)로서, 상기 리드 선(30)이 삽입되는 삽입 구멍(13)이 형성된 커넥터 본체(10)와 상기 커넥터 본체(10)에 부착되어 상기 도선(31)과 전기적으로 연결되는 급전 핀(20)을 구비하고 상기 피복층(32)의 단부 내지 이 단부로부터 연출된 도선(31)의 일 부분이 위치하는 장소에 수지(60)가 충전되는 수지 충전부(12)가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 급전 커넥터(100)이다.

급전 커넥터, 리드선, 급전 핀, 수지 충전부, 정전 커넥터 장치, 정전 척 장치

Description

급전 커넥터 및 이 급전 커넥터를 구비하는 정전 척 장치{FEEDING POWER CONNECTOR AND ELECTRO-STATIC CHUCK DEVICE}

도 1은 리드선이 연결된 본 발명의 급전 커넥터의 일 실시형태를 나타내는 측단면도이고, 또한 도 2의 A-A선에 의한 단면도이다.

도 2는 도 1의 급전 커넥터의 급전면측(給電面側)을 나타내는 평면도이다.

도 3은 칸막이 판의 일 실시형태를 나타내는 평면도이다.

도 4는 본 발명의 정전 척 장치 본체의 일 실시형태이다.

도 5는 본 발명의 급전 커넥터를 구비한 정전 척 장치의 일 실시형태를 나타내는 사시도 이다.

도 6은 종래의 급전 커넥터의 일 예를 나타내는 주요부 확대 단면도이다.

본 발명은 급전(給電) 커넥터 및 이 급전 커넥터를 구비하는 정전(靜電) 척 장치에 관한 것이다.

액정용 유리기판 등의 전자부품을 가공하는 작업에는 진공상태에서 수행되는 것들이 있다. 그 진공상태의 작업 시에는 예를 들어 진공 챔버 내에 전자부품 등을 이용한 장치를 설치하게 된다. 이러한 장치는 장치 본체와 해당 장치 본체에 전기를 공급하기 위한 급전 커넥터를 구비한다. 이 급전 커넥터에는 리드 선이 설치되고 있어 이 리드 선은 진공 챔버의 외부로 인출되어 전원에 연결된다.

상기 장치로서는 예를 들어 정전 척 장치, 증착 장치, 스팩터 장치, 중합 프로세스 장치, 드라이 에칭 장치, 화학 증착(CVD) 장치, 상면 개질(改質) 장치 등을 들 수 있다.

예를 들어 정전 척 장치는 기반(基盤) 및 그 위에 설치된 전극 시트를 가지는 장치 본체와 이 장치 본체의 전력 단자에 장착되어 지는 급전 커넥터를 구비한다.

작업시에는 외부의 직류 고압 전원으로부터 리드 선을 통하여 급전 커넥터로 전기를 공급하고 이 급전 커넥터를 통하여 전극 시트로 통전 한다. 이것에 의하여 상기 전극 시트의 상면에 정전기력(靜電氣力)이 생긴다. 그리고, 이 정전기력에 의하여 전극 시트 상면에 액정용 유리 기판 등이 흡착 고정되게 된다.

이러한 진공 상태에서 사용되는 정전 척 장치의 장치 본체에 장착되는 종래의 급전 커넥터로서는 도 6 에 도시된 것이 제안된다.

도 6의 급전 커넥터는 상방에 개구된 소구경의 핀 구멍(41) 및 핀 구멍(41)에 연통한 대구경의 급전 구멍(42)이 형성된 커넥터 본체(43)와 급전 구멍(42)의 개구부를 덮도록 급전 구멍(42) 내에 삽입된 컵(44)과 컵(44) 내에 배치된 급전 핀(45)과 일 단이 급전 핀(45)의 종단 부(46)에 연결되고 반면에 타 단이 컵(44)의 바닥 부에 접촉된 상태로 컵(44) 내에 배치되어 급전 핀(45)의 선단 부(47)가 커넥 터 본체(43) 상면의 핀 구멍(41)으로부터 돌출될 수 있도록 급전 핀(45)을 상방으로 밀어 올리는 용수철(48)을 구비하여 개략적으로 구성된 것이다.

또, 용수철(48)에는 외부의 직류 고압 전원으로부터 연장되어 컵(44)의 바닥 부의 구멍(49)을 통하여 컵(44) 내로 안내된 리드 선(24)이 납땜 등에 의하여 연결되고 컵(44) 및 리드 선(24)은 접착제(50)에 의하여 각각 커넥터 본체(43) 및 컵(44)에 고정되어 있다(특개 2003－197726호 공보 참조).

그러나, 특개 2003－197726호 공보에 기재된 급전 커넥터에는 리드 선(24)을 구성하는 내부의 도선과 이 도선을 피복하고 있는 수지 피복 층과의 사이에 미세한 틈새가 존재한다. 그렇기 때문에 장시간 진공상태에서 장치를 동작시킬 경우에 진공 상태를 안정적으로 유지할 수 없고 또, 대기와 진공 상태를 번갈아 반복하는 작업시에는 이 틈새로부터 공기가 투입되어 급전 커넥터와 장치 본체와의 접점부에서 진공방전이 일어난다는 문제점이 있다.

또, 특개 2003－197726호 공보에 기재된 급전 커넥터는 컵(44)이 접착제(50)에 의하여 커넥터 본체(43)에 고정되어 있기 때문에 예를 들면 정전 척 시트의 교환 등의 장치 본체에 대한 작업을 실시할 경우에 리드 선(24)이 움직여 커넥터 본체(43)로부터 접착제(50)가 벗겨지기 쉽다. 그리고, 상기 접착제(50)가 벗겨진 부분이 외부로부터 진입하는 공기의 통로가 되어 공기가 들어오기 쉽게 된다.

그리고 상기 컵(44)을 접착제(50)로 커넥터 본체(43)에 고정하는 작업은 수작업에 의하기 때문에 접착제(50)의 사용량이 일정치 않아 균일한 품질을 얻을 수 없는 등의 문제가 있다.

여기서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서 장시간 진공 상태에서 장치를 동작시킬 경우에 진공 상태를 안정적으로 유지시키고 대기와 진공 상태를 번갈아서 반복하는 작업을 할 경우에 공기의 진입을 막아 급전 커넥터와 장치 본체와의 접점부에서의 진공방전을 방지함과 동시에 균일한 품질을 얻도록 하는 급전 커넥터 및 이 급전 커넥터를 구비하는 정전 척 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명자는 상기 과제를 해결하고자 노력한 결과, 이하와 같이 본 발명의 급전 커넥터 및 이 급전 커넥터를 구비하는 정전 척 장치를 발명하기에 이르렀다.

본 발명의 제1의 양태는 도선 및 상기 도선이 선단 부에서 연출(延出)되어 노출되도록 이것을 피복 하는 피복 층을 구비한 리드 선을 연결하는 급전 커넥터로서, 상기 리드 선이 삽입하는 삽입 구멍이 형성된 커넥터 본체와 이 커넥터 본체에 장착되어 상기 도선과 전기적으로 접속되는 급전 핀을 구비하고, 상기 피복 층의 단부(端部) 내지 이 단부로 부터 연출된 도선의 일부가 위치하는 장소에 수지가 충전되는 수지 충전부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 급전 커넥터이다.

또, 본 발명에 있어서 상기 삽입 구멍 내에는 상기 리드 선에 가스켓이 설치되어 있는 것이 바람직하다.

또, 본 발명에 있어서 상기 삽입 구멍은 대구경부와 이보다 내측의 소구경 부로 형성되어 상기 가스켓이 대구경부의 내측 단부에 설치되어 있는 것이 바람직 하다.

또, 본 발명에 있어서 상기 급전 핀에는 급전 핀의 선단을 커넥터 본체로부터 돌출시키는 용수철 부재가 감겨 있는 것이 바람직하다.

본 발명의 제2의 양태는 상기 급전 커넥터를 구비하는 정전 척 장치이다.

본 발명에 의하면 장시간 진공상태에서 장치를 동작시킬 경우에 진공 상태를 안정적으로 유지시키고 대기와 진공 상태를 교대로 반복하는 작업을 할 경우에는 공기의 출입을 막아 급전 커넥터와 장치 본체와의 접점부에서의 진공방전을 방지함과 동시에 균일한 품질을 얻을 수 있는 급전 커넥터 및 이 급전 커넥터를 구비하는 정전 척 장치를 제공할 수 있다.

이하, 본 발명의 급전 커넥터 및 이 급전 커넥터를 구비하는 정전 척 장치의 매우 적합한 실시 예에 대하여 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 단, 본 발명은 이하의 각 실시 예로 한정되는 것이 아니고 이들 실시 예의 구성요소끼리를 적절하게 조합하는 것도 포함된다.

<급전 커넥터>

도 1은 리드 선이 연결된 본 발명의 급전 커넥터의 일 실시형태를 나타내는 측 단면도이다. 도 2는 도 1의 급전 커넥터의 급전면측을 나타내는 평면도이다. 그리고, 도 1은 도 2의 A－A선에 따르는 단면도이기도 하다.

도 1의 급전 커넥터(100)는 도선(31) 및 상기 도선(31)이 선단 부에서 연출되어 노출되도록 이것을 피복 하는 피복 층(32)을 구비한 리드 선(30)을 연결하는 급전 커넥터로서, 상기 리드 선(30)이 삽입되는 삽입 구멍(13)이 형성된 커넥터 본 체(10)와 이 커넥터 본체(10)에 장착되어 상기 도선(31)과 전기적으로 연결되는 급전 핀(20)으로 개략 구성되어 있다.

급전 커넥터(100)에 있어서 커넥터 본체(10)는 직방체 형상으로서 그 일면(10a; 급전면(給電面)을 나타낸다. 이하, 편의상 상면이라고도 한다. 상면에 대향하는 면을 하면(下面), 이들에 직교하는 면을 측면이라고 한다.)에 개구된 대략 직방체 형상의 오목부(9)를 가지고 있고 이 오목부(9)는 칸막이 판(14)에 의하여 급전 핀(20)을 수납할 수 있는 급전 핀 수납부(11)와 수지 충전부(12)로 나누어져 있다.

오목부(9)에 있어서 수지 충전부(12)에 대응하는 위치의 바닥면(9a)은 급전 핀 수납부(11)에 대응하는 위치의 바닥면(9b)보다 커넥터 본체(10)의 아래쪽 면(10c)측에 배치되어 있어 수지 충전부(12)의 깊이는 급전 핀 수납부(11)의 깊이보다 깊게 되어 있다. 또 칸막이 판(14)에는 도 3에 나타낸 것처럼 후술하는 도선(31)을 삽통하기 위한 U자 홈(14a)이 설치되어 있다. 단, 칸막이 판이 일체로 성형 된 커넥터 본체가 사용될 수도 있다.

그리고, 오목부(9)의 개구부에는 장방형 판 형상의 덮개(15)가 덮어져 있다.

또, 도 2에 나타낸 바와 같이, 커넥터 본체(10)의 상면(10a)에 있어서 덮개(15)의 주위에는 홈(16)이 형성되고 이 홈(16)에 O링(80)이 끼어져 있다.

그리고, 커넥터 본체(10)의 상면(10a)의 네 귀퉁이에는 각각 삽통 구멍(17)이 한 개씩 설치되어 있다. 급전 커넥터(100)를 급전 대상으로 하는 장치 본체에 장착할 때는 삽통 구멍(17)에 볼트 등이 채워진다. 그리고, 이 장착 부분은 상기 O 링(80)에 의하여 밀봉된다. 또한 O링은 급전 대상으로 하는 장치 본체 측에 설치하여도 좋다.

또, 급전 핀(20)은 급전 핀 수납부(11)에 수납되고 정전 척 장치 등의 급전 대상으로 하는 장치 본체의 전력 단자에 접속되는 것이다.

오목부(9)의 개구부 덮개(15)에는 급전 핀 수납부(11)에 위치하는 부분의 중심 부근에 구멍(15a)이 설치되어 있고 이 구멍(15a)으로부터 대략 원주 형상의 급전 핀(20)의 선단이 돌출된다. 또한 급전 핀(20)에는 그 선단 측에 링 형상의 플랜지(20a)가 설치되어 있고 이 플랜지(20a)는 덮개(15)의 안쪽으로 덮개(15)에 접촉하는 것처럼 배치되어 있다. 이것에 의하여 구멍(15a)으로부터 급전 핀(20)의 선단이 소정의 길이만큼 돌출하게 된다.

급전 핀 수납부(11) 내에 있어서 플랜지(20a)의 하부(급전 핀 수납부(11)의 바닥면(9b) 측)의 급전 핀(20)의 주위에는 용수철 부재(23)가 감겨 있다. 또, 급전 핀 수납부(11)의 바닥면(9b) 상에는 평판 모양의 금속판(25)이 배치되어 있고 급전 핀(20)의 타 단은 이 금속판(25)에 설치된 구멍(25a)에 삽입된 다음 이 급전 핀 수납부(11)의 바닥면(9b)에 설치된 급전 핀(20)의 외경에 대응되는 크기를 가진 오목부(11a)에 삽입되어 이 급전 핀(20)이 지지를 받게 된다. 또한 급전 핀(20)과 금속판(25)은 서로 접촉하고 있다.

그리고, 상기 급전 핀(20)은 용수철 부재(23)에 의하여 상면(10a; 급전면) 측에 밀어 올릴 수 있도록 부세 되어 급전 핀(20)의 선단이 항상 안정되게 커넥터 본체(10)로부터 돌출하도록 되어 있다.

또, 커넥터 본체(10)는 리드 선(30)을 삽입하기 위한 삽입 구멍(13)을 구비하고 있다.

상기 삽입 구멍(13)은 이 경우에 있어서는 원주 형상을 한다. 그리고, 상기 삽입 구멍(13)은 커넥터 본체(10)의 측면(10b; 삽입구)에 개구되어 있고 그 타 단은 수지 충전부(12)의 내벽(12a)에 개구되어 있다.

삽입 구멍(13)은 커넥터 본체(10)의 측면(10b; 삽입구) 측의 대구경 부(13a)와 이것보다 내측(수지 충전부(12) 측)의 소구경 부(13b)로 구성되어 있다.

또한 대구경 부(13a)와 소구경 부(13b)의 중심축은 일치한다. 또, 소구경 부(13b)의 내경은 리드 선(30)의 외경과 대략 동일하다.

한편, 삽입 구멍(13)에 삽입되는 리드 선(30)은 도선(31) 및 상기 도선(31)이 선단부로 부터 연출되어 노출될 수 있도록 이것을 피복 하는 피복 층(32)을 가진다.

그리고, 리드 선(30)은 대구경 부(13a)의 내경과 대략 동일한 지름을 가지며 구멍(18a)이 설치된 나사(18)와 플라스틱 등으로 되어 있는 링(35)과 고무 등의 탄성체로 되어 있는 가스켓(34)으로 차례로 끼워져 상기 나사(18)가 대구경 부(13a)의 내벽에 새겨진 나사산(13c)에 나합(螺合)하는 것으로서 커넥터 본체(10)와 일체화된다.

또한 삽입 구멍(13) 내에서 가스켓(34)은 상술한 바와 같이 상기 리드 선(30)에 관통하여 대구경부(13a)의 안쪽 단부에 설치된다. 이것에 의하여 리드 선(30)의 피복 층(32)의 주위가 밀봉됨과 동시에 대구경 부(13a)로부터 소구경 부(13b)로의 공기 진입 등의 공기 출입을 방지할 수 있어 한층 더 리드 선(30)을 고정할 수 있다.

가스켓(34)으로서는 O링 등이 바람직하게 사용된다.

또, 리드 선(30)의 피복 층(32)의 단부 내지 이 단부로부터 연출된 도선(31)의 일부분이 위치하는 장소에는 수지(60)가 충전된 수지 충전부(12)가 배치되어 있다. 그리고, 이 수지 충전부(12) 내에는 수지(60)가 충전되어 있다. 이것에 의하여 피복 층(32)의 단부와 이 단부로부터 연출된 도선(31)은 수지(60)에 의하여 전체가 피복된다.

그 결과로 피복 층(32)의 단부에 있어서, 도선(31)과 피복 층(32)과의 사이의 미세한 틈새가 수지(60)에 의하여 채워진다. 이것에 의하여 급전 커넥터(100)를 구비하는 장치를 진공 챔버 내에 배치하여 진공 동작을 수행할 경우에 상기 틈새로부터 공기가 진입하는 등의 공기의 출입이 방지되어 진공 상태를 안정적으로 유지할 수 있고 급전 커넥터(100)와 장치 본체와의 접점부에서의 진공방전을 방지할 수 있다.

또, 일정한 용적을 가지는 수지 충전부(12) 내에 수지(60)를 충전하기 때문에 수지(60)를 일정량, 안정적으로, 그리고 확실하게 충전할 수 있다. 이것에 의하여 수지(60)의 충전량이 불균일한 것을 억제할 수 있어 균일한 품질을 얻을 수 있다.

수지 충전부(12)는 칸막이 판(14)에 의하여 급전 핀 수납부(11)와 분리되어 있음과 동시에 수지 충전부(12)의 내벽(12a)에 의하여 삽입 구멍(13)과 분리되어 있어서 수지(60)를 안정적으로 충전할 수 있다. 그리고, 바닥면(9a), 칸막이 판(14), 내벽(12a)으로 둘러싸여 있어 수지(60)를 안정적으로 충전할 수 있다.

또, 수지 충전부(12)는 적어도 급전 핀 수납부(11)와 삽입 구멍(13)과의 사이에 형성되고 피복 층(32)의 단부 내지 이 단부로부터 연출된 도선(31)의 일부분을 수납하여 수지(60)를 충전할 수만 있다면 그 형상, 크기, 형태는 특별하게 한정되지 않는다.

또한 본 발명에서 「분리되어 있다」라는 것은 급전 핀 수납부(11)와 수지 충전부(12), 수지 충전부(12)와 삽입 구멍(13)의 사이가 서로 분리되어 있는 것을 말한다. 예를 들어, 덮개(15)가 덮여 있지 않고 상면(10a) 측이 열려 있어도 괜찮다. 단, 상기의 예의 경우, 수지 충전부(12)는 칸막이 판(14), 바닥면(9a) 및 수지 충전부(12)를 구성하는 내벽에 의하여 둘러싸여 있는 것이 수지(60)를 안정적으로 충전하기 위하여 바람직하다.

또, 수지(60)의 충전량은 수지 충전부(12)의 용적에 대해 2/3~3/4 정도의 양으로 하는 것이 바람직하다.

또, 리드 선(30)의 선단(30a)을 구성하는 도선(31)은 칸막이 판(14)의 U자 홈(14a)을 통하여 급전 핀 수납부(11)에 배치되어 있다.

그리고, 이 선단(30a)은 납땜(70)을 이용하여 금속판(25)에 연결되어 있다.금속판(25)은 급전 핀(20)과 접촉하고 있어 리드 선(30)으로부터 전기를 공급하면 선단(30a)을 구성하는 도선(31)으로부터 금속판(25)을 통하여 급전 핀(20)에 전기가 공급되고 그 선단으로부터 정전 척 등의 장치 본체에 설치된 전력 단자에 전기 가 공급된다.

또한 리드 선(30)은 급전 핀(20)과 전기적으로 연결되어 있으면 괜찮고 도선(31)이 직접 급전 핀(20)과 납땜(70) 등에 의하여 연결되어 있어도 괜찮다. 단, 상기의 예와 같이 금속판(25)을 이용하면 작업성이 향상되고 접속 부분의 기계적 강도도 향상시킬 수 있다.

상기의 예에서 커넥터 본체(10)의 크기는 약 25×50×18 mm 이다.

또, 급전 핀 수납부(11)의 크기는 약 9×13.66×9.2 mm 이고, 수지 충전부(12)의 크기는 약 9×3×11.2 mm 이다.

대구경부(13a)의 내경은 약 10 mm, 길이는 약 12 mm이다. 또, 소구경부(13b)의 내경은 약 5 mm, 길이는 약 2.43 mm이다.

오목부(11a)의 깊이는 약 5.5 mm, 지름이 약 2.3 mm 이다.

리드 선(30)의 외경은 약 5 mm, 도선(31)의 외경은 약 2.5 mm 이다. 또, 피복 층(32)의 단부로부터 연출된 도선(31)의 길이는 약 5 mm 이다.

급전 핀(20)의 크기는 지름이 약 2 mm, 길이가 약 15.5 mm 이다.

플랜지(20a)의 크기는 지름이 약 4 mm, 두께가 약 1 mm 이고 급전 핀(20)의 선단으로부터 약 2.5 mm 의 위치에 설치되어 있다.

커넥터 본체(10)의 재질은 특별하게 한정되지 않으나, 예를 들면, 플라스틱, 세라믹 등을 들 수 있다. 그 중에서도 급전 커넥터(100)가 경량화되고 정전 척 등의 장치 본체와의 탈착이 용이하다는 점 및 가공하기 쉽다는 점 등에서 플라스틱이 매우 적합하게 사용된다.

이러한 플라스틱으로는 폴리페닐렌 설파이드(PPS), 폴리에테르 에테르케톤(PEEK), 폴리아미드, 폴리에스텔, 폴리아세탈 수지, 불소계 수지, 아크릴계 수지, 폴리부틸렌 테레프탈레이트(PBT), 폴리 에테르 설폰 등을 들 수 있다. 그 중에서도 폴리에테르 에테르케톤(PEEK), 폴리아세탈 수지, 불소계 수지가 바람직하다.

덮개(15)의 재질로는 커넥터 본체(10)와 동일한 것을 사용할 수 있다.

급전 핀(20)의 재질로는 도전성 재료로 되어 있으면 좋고, 특별하게 한정하지 않으나, 예를 들면, 동, 구리합금, 철, 알루미늄, 스텐레스강, 은,금 등을 들 수 있다. 그 중에서도 구리합금이 바람직하고 놋쇠가 보다 바람직하다.

금속판(25)의 재질로는 급전 핀(20)과 동일한 것을 사용할 수 있다.

용수철(23)의 재질로는 금속제로서 또한 용수철 탄성을 가진 것이면 좋고 그 중에서도 스텐레스강철(SUS)이 바람직하게 사용된다.

가스켓(34)의 재질로는 예를 들면, 절연성 탄성체, 절연성 플라스틱, 세라믹스, 유리, 금속 산화물 등을 들 수 있다. 그 중에서도 탄성 변형에 의하여 리드 선(30)의 피복 층(32)의 주위 및 대구경 부(13a)의 내측 단부와의 밀봉성이 양호하기 때문에 절연성 탄성체가 바람직하고 그 중에서도 절연성 고무가 보다 바람직하다. 특히, 상기 절연성, 내열성이라는 관점에서 실리콘 고무가 바람직하다.

수지(60)로는 특별하게 한정하지 않으나, 예를 들면, 에폭시 수지, 페놀 수지, 부타디엔-아크릴로니트릴 공중합체, 올레핀계 공중합체, 폴리페닐 에테르 공중합체, 폴리에스텔 수지, 폴리이미드 수지, 폴리아미드 수지, 실리콘 수지 등을 들 수 있다. 그 중에서도 에폭시 수지가 바람직하다.

본 발명의 급전 커넥터(100)의 조립방법은 특별하게 한정하지 않으나, 예를 들면, 도 1의 리드 선(30)이 접속된 급전 커넥터(100)는 이하와 같이 조립할 수 있다.

우선, 리드 선(30)에 나사(18)와 링(35)과 가스켓(34)를 차례로 끼우고 상기 리드 선(30)을 커넥터 본체(10)의 측면(10b; 삽입구)으로부터 투입한다.

다음으로 리드 선(30)의 선단(30a)을 금속판(25)에 납땜(70)으로 연결시킨다.

그런 다음에 커넥터 본체(10)의 오목부(9)에 칸막이 판(14)을 설치하여 급전 핀 수납부(11)와 수지 충전부(12)를 형성하면서 상기 급전 핀 수납부(11)의 바닥면(9b)에 리드 선(30)의 선단(30a)이 납땜(70) 된 상기 금속판(25)을 배치한다. 이때, 리드 선(30)의 피복 층(32)의 단부 내지 이 단부로부터 연출된 도선(31)의 일부가 위치하도록 수지 충전부(12) 내에 배치한다.

그 후, 수지(60)을 수지 충전부(12)에 충전한다. 이것에 의하여 도선(31)과 피복 층(32)과의 사이의 틈새가 수지(60)에 의하여 채워진다.

그리고, 나사(18)을 나사 산(13c)에 나합하여 리드 선(30)을 커넥터 본체(10)와 일체화시킨다. 이것에 의하여 리드 선(30)이 고정된다.

다음으로, 급전 핀(20)에 용수철 부재(23)를 감고, 상기 급전 핀(20)의 플랜지(20a)가 설치된 선단과는 반대의 선단을 금속판(25)에 설치된 구멍(25a)에 삽입하고 그런 다음 급전 핀 수납부(11)의 바닥면(9b)에 설치된 오목부(11a)에 삽입하여 급전 핀(20)을 지지시킨다.

그리고, 덮개(15)를 급전 핀 수납부(11)에 수납된 급전 핀(20)의 플랜지(20a)가 설치되어 있는 측의 선단이 덮개(15)의 중심 부근에 있는 구멍(15a)을 통하여 커넥터 본체(10)로부터 돌출되도록 급전 핀 수납부(11)와 수지 충전부(12)의 개구 부분에 덮는다.

그 다음, 홈(16)에 O링(80)을 접착한다. 이상으로 리드 선(30)이 연결된 급전 커넥터(100)가 완성된다.

<정전 척 장치>

본 발명의 정전 척 장치는 본 발명의 급전 커넥터와 정전 척 장치 본체를 구비하는 것이다.

도 4에 정전 척 장치 본체의 일 실시 예를 나타낸다.

정전 척 장치 본체(200)로서는 예를 들어 상기 급전 커넥터(100)를 부착할 수 있는 것이라면 특별하게 한정되지 않는다.

도 4의 정전 척 장치 본체(200)는 기반(95)과 그 위에 설치된 전극 시트(90)을 구비한다.

전극시트(90)는 수지시트에 설치된 도전층을 구비하고 있다. 전극시트(90)에는 측 테두리부에 혀(舌) 형상의 급전부(91; 전력 단자)가 형성되어 있고 상기 급전부(91; 전력 단자)의 중앙 부근에는 도전층의 노출부(92)가 형성되어 있다. 또, 급전부(91; 전력 단자)의 둘레 부근에는 급전 커넥터(100)를 탈착 가능하게 부착용 볼트구멍(93)이 설치되어 있다.

본 발명의 정전 척 장치는 예를 들어 도 5에 나타나 있듯이 정전 척 장치 본 체(200)에 본 발명의 급전 커넥터(100)가 장착된 것이다. 또한 도 5의 급전 커넥터(100)에는 리드 선(30)이 연결되어 있다.

급전 커넥터(100)는 급전 커넥터(100)의 커넥터 본체(10)의 네 귀퉁이에 설치된 삽통 구멍(17)에 볼트를 끼우고 이 볼트를 정전 척 장치 본체(200)의 급전부(91; 전력 단자)에 설치한 볼트구멍(93)에 나합하는 것에 의하여 정전 척 장치 본체(200)에 장착된다.

이때, 급전 커넥터(100)의 급전면(미도시)으로부터 돌출되어 있는 급전 핀(미도시)의 선단과 정전 척 장치 본체(200)의 도전층의 노출부(92)가 접촉한다. 이것에 의하여 외부의 직류 고압 전원 등으로부터 리드 선(30)을 통하여 커넥터 본체(10)에 전기가 공급되고 상기 커넥터 본체(10)를 통하여 정전 척 장치 본체(200)에 건기를 공급할 수 있다.

본 발명에 의하면 장시간 진공 상태에서 장치를 동작시킬 경우에 진공 상태를 안정적으로 유지할 수 있고 대기와 진공 상태를 교대로 반복하는 작업시에는 공기의 출입을 막아 급전 커넥터(100)와 장치 본체(200)와의 접점부에서의 진공방전을 방지함과 동시에 균일한 품질을 얻을 수 있는 급전 커넥터(100) 및 이 급전 커넥터(100)를 구비하는 정전 척 장치를 제공할 수 있다.

또, 본 발명에 의하면 수지(60)를 충전할 때 일정한 용량을 가지는 수지 충전부(12)에 수지(60)를 충전하면 되기 때문에 수지(60)의 충전량이 불균일하게 되는 것을 억제할 수 있음과 동시에 작업 효율이 향상된다.

또, 본 발명의 급전 커넥터(100)를 구비하는 정전 척 장치는 급전 커넥 터(100)를 용이하게 탈착 가능하여 고장 시에는 급전 커넥터(100) 또는 정전 척 장치 본체(200)만을 교환할 수 있다.

또, 본 발명은 정전 척 장치에만 한정되지 않고 증착 장치, 스팩터 장치, 중합 프로세스 장치, 드라이 에칭 장치, 화학 증착(CVD) 장치, 상면 개질 장치 등의 진공 상태에서의 작업시에 이용되는 장치에도 사용할 수 있다.

본 발명에 의하면 장시간 진공 상태에서 장치를 동작시킬 경우에 진공 상태를 안정적으로 유지할 수 있고 대기와 진공 상태를 교대로 반복하는 작업에서 공기의 출입을 막아 급전 커넥터와 장치 본체와의 접점부에서의 진공방전을 방지함과 동시에 균일한 품질을 얻을 수 있는 급전 커넥터 및 해당급전 커넥터를 구비하는 정전 척 장치를 제공한다.

Claims (5)

1. 도선 및 상기 도선이 선단에서 연출되어 노출되도록 이것을 피복하는 피복 층을 갖는 리드선을 연결하는 급전 커넥터에 있어서,

   상기 리드선이 삽입되는 삽입 구멍이 형성된 커넥터 본체와, 이 커넥터 본체에 부착되어 상기 도선과 전기적으로 연결되는 급전 핀을 구비하고,

   상기 피복 층의 단부 내지 이 단부로 부터 연출된 도선의 일부가 위치하는 장소에 수지가 충전되는 수지 충전부를 형성하며, 상기 삽입 구멍 내의 상기 리드 선에 가스켓이 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 급전 커넥터.
2. 삭제
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 삽입 구멍은 대구경부와 이로부터 내측의 소구경부로 구성되고 상기 가스켓이 대구경부의 내측 단부에 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 급전 커넥터.
4. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,

   상기 급전 핀에는 급전 핀의 선단을 커넥터 본체로부터 돌출시키는 용수철 부재가 감겨 있는 것을 특징으로 하는 급전 커넥터.
5. 제 1 항 또는 제 3 항 중 어느 한 항의 급전 커넥터를 구비하는 것을 특징으로 하는 정전 척 장치.

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