KR100839667B1 - 핸들러의 테스트 트레이 - Google Patents

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KR100839667B1
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범희락
박성문
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미래산업 주식회사
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Abstract

본 발명은 핸들러의 테스트 트레이를 개시한다. 본 발명에 따르면, 적어도 1열 다수 행으로 배열된 테스트 소켓들을 각각 포함하는 둘 이상의 테스트 영역들이 행 방향으로 상호 이격되도록 배치된 테스트 보드를 구비하는 핸들러에 있어서, 테스트 소켓들 사이의 피치와 동일한 피치로 전자부품 수납공간들이 각각 형성되며, 전자부품 수납공간들에 수납된 전자부품들과 테스트 소켓들과의 접속시 테스트 영역들에 각각 대응되도록 상호 근접된 상태로부터 이격 가능하게 된 트레이 플레이트들; 및 트레이 플레이트들이 상호 근접된 상태로부터 이격될 때 트레이 플레이트들 사이의 상대 이동을 안내하는 가이드 유닛;을 구비한다.

Description

핸들러의 테스트 트레이{Test tray of handler}
도 1은 테스트 보드의 테스트 소켓들이 배열된 일 예를 설명하기 위한 도면.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 트레이가 적용되는 핸들러의 일 예를 개략적으로 도시한 구성도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 트레이에 대한 분해 사시도.
도 4 및 도 5는 도 3에 도시된 테스트 트레이의 작동 예를 설명하기 위한 도면.
도 6은 도 3에 있어서, 제1,2,3 트레이 플레이트의 변형 예를 도시한 사시도.
〈도면의 주요 부호에 대한 간단한 설명〉
1..테스트 보드 2..테스트 소켓
110..트레이 플레이트 120..가이드 유닛
121,122,123..가이드 A1,A2,A3..테스트 영역
S..전자부품 수납공간
본 발명은 전자부품을 테스트하기 위한 핸들러에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 전자부품들을 수납하여 각 공정으로 반송할 수 있게 하는 핸들러의 테스트 트레이에 관한 것이다.
일반적으로, 메모리나 비메모리 반도체 소자 등의 디바이스(device)와, 상기 디바이스들을 하나의 기판 상에 적절히 구성한 모듈을 포함하는 전자부품들은 생산 후 여러 가지 테스트를 거친 후에 출하된다. 이러한 테스트는 핸들러에 의하여 행해지고 있다.
핸들러는 테스트할 전자부품들을 픽커에 의해 로딩부로부터 교환부의 테스트 트레이로 수납하고, 교환부에서 전자부품들을 수납한 테스트 트레이를 테스트부로 급송하여 전자부품들을 테스트한다. 그리고, 핸들러는 테스트부를 거쳐 테스트 완료된 전자부품들을 수납한 테스트 트레이를 교환부로 환송한 후, 전자부품들을 테스트한 결과에 따라 그 등급에 맞게 분류하여 픽커에 의해 언로딩부로 반출한다.
이러한 핸들러에 있어서, 전자부품의 테스트를 위해 테스트부에는 1행 다수 열로 배열된 테스트 소켓들을 구비한 테스트 보드가 마련된다. 상기 테스트 보드에 테스트할 전자부품들을 수납한 테스트 트레이를 마주보게 배치한 후, 테스트 소켓들에 전자부품들을 각각 접속시킨 다음, 외부의 테스트 장비에 의해 테스트를 수행하게 된다. 이처럼 테스트 보드에는 테스트 소켓들이 구비되는데, 테스트 소켓들은 행간 피치 및 열간 피치가 각각 일정하게 배열되는 것이 일반적이다.
그러나, 최근에는 테스트 보드의 테스트 소켓들이 도 1에 도시된 바와 같이 배열된 예가 있다. 도 1에 도시된 테스트 보드(1)는, 행간 피치 및 열간 피치가 각각 일정하게 배열된 테스트 소켓들을 포함하는 통상적인 테스트 보드와 동일한 개수의 테스트 소켓(2)들을 구비하되, 테스트 소켓(2)들이 세 개의 테스트 영역들(A1)(A2)(A3)로 나뉘어 상호 이격되도록 배열된다.
즉, 세 개의 테스트 영역들(A1)(A2)(A3)은 행간 피치 및 열간 피치가 일정하게 적어도 1열 다수 행으로 배열된 테스트 소켓(2)들을 각각 포함하는 한편, 행 방향으로 상호 이격되어 배치된다. 이 경우에는, 테스트 소켓(2)들과 테스트할 전자부품들 사이를 접속시킬 수 있도록, 테스트 트레이에서 전자부품들을 각각 수납하는 전자부품 수납공간들이 테스트 소켓(2)들의 배열 패턴에 상응하여 변경되어야 한다.
그런데, 테스트 트레이의 전자부품 수납공간들이 일정한 피치로 배열된 통상적인 구성에서 전술한 바와 같이 변경되면, 교환부에서 테스트 트레이에 전자부품들이 수납되어 있는지 여부를 검출하는 검출 수단이 마련된 경우, 상기 수단을 교체해야하는 불편이 따른다. 이와 함께, 테스트 트레이의 전자부품 수납공간들에 전자부품들을 수납하거나 분리할 수 있게 교환부에 설치되는 착,탈 수단도 교체해야하는 불편이 따를 수 있다.
그리고, 전자부품 수납공간들이 영역별로 상호 이격된 것에 상응하여, 로딩부 및 언로딩부와 테스트 트레이 사이에서 전자부품들을 반송하는 픽커의 동작이 다르게 제어될 필요가 있으며, 반송하는데 많은 시간이 소요될 수 있다.
또한, 전자부품 수납공간들이 영역별로 상호 이격됨에 따라, 이격되지 않은 것에 비해 테스트 트레이의 행 방향 길이가 길어지므로, 테스트 트레이를 테스트부 로 급송하거나 테스트부로부터 반출할 때, 테스트 트레이가 원활하게 이동할 수 있도록 충분한 공간을 확보해야 하는 문제가 있을 수 있다.
본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위한 것으로, 테스트 보드에서 둘 이상의 테스트 영역들이 상호 이격되게 배치된 경우, 전자부품 수납공간들의 위치가 변동될 수 있도록 구성됨으로써, 전자부품들을 테스트할 때에는 전자부품 수납공간들이 테스트 영역들의 테스트 소켓들에 각각 대응될 수 있으며, 그 이외에는 전자부품 수납공간들 사이가 일정한 피치로 배열될 수 있는 핸들러의 테스트 트레이를 제공함에 그 목적이 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 핸들러의 테스트 트레이는, 적어도 1열 다수 행으로 배열된 테스트 소켓들을 각각 포함하는 둘 이상의 테스트 영역들이 행 방향으로 상호 이격되도록 배치된 테스트 보드를 구비하는 핸들러에 있어서, 상기 테스트 소켓들 사이의 피치와 동일한 피치로 전자부품 수납공간들이 각각 형성되며, 상기 전자부품 수납공간들에 수납된 전자부품들과 상기 테스트 소켓들과의 접속시 상기 테스트 영역들에 각각 대응되도록 상호 근접된 상태로부터 이격 가능하게 된 트레이 플레이트들; 및 상기 트레이 플레이트들이 상호 근접된 상태로부터 이격될 때 상기 트레이 플레이트들 사이의 상대 이동을 안내하는 가이드 유닛;을 구비한다.
이하 첨부된 도면을 참조하여, 바람직한 실시예에 따른 본 발명을 상세히 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 트레이가 적용되는 핸들러의 일 예를 개략적으로 도시한 구성도이다.
도 2에 도시된 핸들러는 메모리나 비메모리 반도체 소자 등의 전자부품을 테스트하는 것으로, 로딩부(10)를 구비한다.
로딩부(10)는 핸들러의 전방부에 배치되며, 여기에는 테스트할 전자부품들이 다수 개 수납되어 있는 고객 트레이들이 적재된다. 이러한 로딩부(10)의 일 측에는 언로딩부(20)가 배치된다. 언로딩부(20)에는 테스트 완료된 전자부품들이 테스트 결과에 따라 분류되어 고객 트레이들에 수납된다.
상기 로딩부(10) 및 언로딩부(20)의 후방, 즉 핸들러의 중앙부에는 교환부(30)가 배치될 수 있다. 상기 교환부(30)에는 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트 트레이(100)가 위치되며, 상기 교환부(30)에서는 테스트할 전자부품들을 로딩부(10)로부터 공급받아서 테스트 트레이(100)에 수납하는 작업과, 테스트 완료된 전자부품들을 테스트 트레이(100)로부터 분리하여 언로딩부(20)로 반출하는 작업이 이루어지게 된다.
상기 교환부(30)의 양측에는 작업 효율을 높이기 위해 전자부품들이 일시적으로 대기할 수 있는 로딩측 버퍼부(41)와 언로딩측 버퍼부(42)를 포함한 버퍼부(40)가 배치될 수 있다. 여기서, 버퍼부(40)는 후술할 제3,4 전자부품 픽커(53)(54)가 y축으로만 이동 가능하게 된 경우, 전,후진 가능하게 구성될 수 있 다. 이 경우, 교환부(30)도 테스트 트레이(100)를 y축 방향으로 전,후진시킬 수 있도록 구성될 수 있다.
상기 교환부(30)와 로딩부(10) 사이와, 교환부(30)와 언로딩부(20) 사이를 이동하면서, 테스트 트레이(100), 로딩부(10)의 고객 트레이, 및 언로딩부(20)의 고객 트레이 간에 전자부품을 수납하거나 분리할 수 있도록, 전자부품 픽커가 다수 마련된다. 전술한 바와 같이, 교환부(30)의 양측에 로딩측 버퍼부(41)와 언로딩측 버퍼부(42)가 마련된 경우, 전자부품 픽커는 제1 내지 제4 전자부품 픽커(51)(52)(53)(54)를 포함하여 구성될 수 있다.
제1 전자부품 픽커(51)는 로딩부(10)와 로딩측 버퍼부(41) 사이를 왕복하면서 전자부품을 픽업하여 이송하며, 제2 전자부품 픽커(52)는 언로딩부(20)와 언로딩측 버퍼부(42) 사이를 왕복하면서 전자부품을 픽업하여 이송한다. 여기서, 상기 제1,2 전자부품 픽커(51)(52)는 제1 x축 겐트리(61)와 y축 겐트리(63)에 의해 x축 및 y축 방향으로 각각 왕복 이동할 수 있다.
그리고, 제3 전자부품 픽커(53)는 로딩측 버퍼부(41)와 교환부(30) 사이를 왕복하면서 전자부품을 픽업하여 이송하며, 제4 전자부품 픽커(54)는 언로딩측 버퍼부(42)와 교환부(30) 사이를 왕복하면서 전자부품을 픽업하여 이송한다. 여기서, 상기 제3,4 전자부품 픽커(53)(54)는 버퍼부(40)와 테스트 트레이(100)가 y축 방향으로 왕복 가능하게 된 경우, 제2 x축 겐트리(62)에 의해 x축 방향으로만 각각 왕복 이동할 수 있다.
상기 교환부(30)의 후방에는 테스트부(70)가 마련된다. 테스트부(70)에서는 테스트할 전자부품들이 수납된 테스트 트레이(100)를 교환부(30)로부터 공급받아서 전자부품들을 테스트하는 작업이 이루어진다. 상기 테스트부(70)는 상온 상태에서의 일반적인 성능 테스트뿐만 아니라, 고온 및 저온의 극한 온도 조건에서도 전자부품들이 정상적인 기능을 수행할 수 있는가를 테스트할 수 있도록 구성될 수 있다. 이 경우, 테스트부(70)는 가열/냉각 챔버(71), 테스트 챔버(72), 및 제열/제냉 챔버(73)를 포함하여 구성된다.
가열/냉각 챔버(71)는 교환부(30)로부터 공급된 테스트 트레이(100)의 전자부품들에 고온 또는 저온의 온도 응력을 부여할 수 있게 한다. 테스트 챔버(72)는 가열/냉각 챔버(71)에 의해 온도 응력이 부여된 전자부품들을 외부의 테스트 장비(미도시)에 의해 테스트할 수 있게 한다. 제열/제냉 챔버(73)는 전술한 테스트 챔버(72)로부터 테스트 완료된 전자부품들에 온도 응력을 제거할 수 있게 한다.
상기 테스트 챔버(72)에는 외부의 테스트 장비와 전기적으로 연결되며 도 1에 도시된 예와 같은 다수의 테스트 소켓(2)들을 구비한 테스트 보드(1)가 배치된다. 상기 테스트 보드(1)는 테스트할 전자부품들을 수납한 테스트 트레이(100)와 마주보게 배치된 상태에서, 접속 유닛(75)에 의해 테스트 소켓(2)들과 전자부품들 사이가 각각 접속되면, 외부의 테스트 장비에 의해 전자부품의 테스트가 수행될 수 있게 한다.
도 1에 도시된 테스트 보드(1)는, 행간 피치 및 열간 피치가 각각 일정하게 배열된 테스트 소켓들을 포함하는 통상적인 테스트 보드와 동일한 개수의 테스트 소켓(2)들을 구비하되, 테스트 소켓(2)들이 세 개의 테스트 영역들(A1)(A2)(A3)로 나뉘어 상호 이격되도록 배열된다.
여기서, 세 개의 테스트 영역들(A1)(A2)(A3)은 행간 피치 및 열간 피치가 일정하게 적어도 1열 다수 행으로 배열된 테스트 소켓(2)들을 각각 포함하며, 상호 간에 소정 간격으로 이격되어 배치된다. 일 예로, 세 개의 테스트 영역들(A1)(A2)(A3) 중에서 중앙에 위치한 테스트 영역(A2)에는 테스트 소켓(2)들이 3열 다수 행으로 배열되며, 좌,우측에 위치한 테스트 영역들(A1)(A3)에는 테스트 소켓(2)들이 5열 다수 행으로 배열될 수 있다.
이러한 테스트 보드(1)에 상응하여, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 테스트 트레이(100)는 테스트부(70)에서 전자부품들을 테스트할 때, 즉 전자부품들을 테스트 소켓(2)들에 각각 접속시킬 때 전자부품 수납공간(S)들이 테스트 영역들(A1)(A2)(A3)의 테스트 소켓(2)들에 각각 나뉘어 대응될 수 있도록 구성된다. 아울러, 상기 테스트 트레이(100)는 전자부품들을 테스트하는 경우를 제외한 경우, 예컨대, 교환부(30)에서 전자부품들을 수납하거나 분리할 때나, 전자부품들을 수납한 상태로 이송할 때, 전자부품 수납공간(S)들 사이가 일정한 피치로 배열될 수 있도록 구성된다.
즉, 본 실시예에 따르면, 테스트 트레이(100)는 전자부품 수납공간(S)들의 위치가 변동될 수 있도록 구성되는 것이다. 예를 들면, 상기 테스트 트레이(100)는 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이 구성될 수 있다. 도 3 내지 도 5를 참조하면, 테스트 트레이(100)는 다수의 트레이 플레이트(110) 및 가이드 유닛(120)을 포함하여 구성된다.
트레이 플레이트(110)는 테스트 보드(1)에 세 개의 테스트 영역들(A1)(A2)(A3)이 마련된 경우, 이에 상응하여 세 개로 마련될 수 있다. 설명의 편의를 위해, A1, A2, A3로 나타낸 세 개의 테스트 영역들을 제1,2,3 테스트 영역으로 각각 지칭한다면, 상기 제1,2,3 테스트 영역(A1)(A2)(A3)에 상응하여 트레이 플레이트(110)는 제1,2,3 트레이 플레이트(111)(112)(113)로 구성될 수 있다.
여기서, 제1 트레이 플레이트(111)는 전자부품들이 수납되는 전자부품 수납공간(S)들을 갖는다. 상기 제1 트레이 플레이트(111)의 전자부품 수납공간(S)들에 수납된 전자부품들이 제1 테스트 영역(A1)의 테스트 소켓(2)들에 각각 접속될 수 있도록, 제1 트레이 플레이트(111)의 전자부품 수납공간(S)들은 제1 테스트 영역(A1)에 마련된 테스트 소켓(2)들의 개수와 동일한 개수로 마련되며, 행간 피치와 열간 피치가 제1 테스트 영역(A1)에 마련된 테스트 소켓(2)들의 행간 피치와 열간 피치와 동일하도록 배열된다.
이와 마찬가지로, 제2,3 트레이 플레이트(112)(113)의 전자부품 수납공간(S)들도 제2,3 테스트 영역(A2)(A3)에 각각 마련된 테스트 소켓(2)들의 개수와 동일한 개수로 마련되며, 행간 피치와 열간 피치가 제2,3 테스트 영역(A2)(A3)에 마련된 테스트 소켓(2)들의 행간 피치와 열간 피치와 동일하도록 각각 배열된다.
이러한 제1,2,3 트레이 플레이트(111)(112)(113)는 각각의 전자부품 수납공간(S)들에 수납된 전자부품들과 테스트 소켓(2)들과의 접속시 제1,2,3 테스트 영역(A1)(A2)(A3)에 각각 대응되도록, 도 4에 도시된 바와 같이 상호 근접된 상태로부터 가이드 유닛(120)에 의해 안내를 받아서 도 5에 도시된 바와 같이 상호 이격 가능하게 된다. 따라서, 제1,2,3 트레이 플레이트(111)(112)(113)의 전자부품 수납공간(S)들에 각각 수납된 전자부품들이 테스트 소켓(2)들에 각각 대응되어 접속될 수 있는 것이다.
여기서, 제1,2,3 트레이 플레이트(111)(112)(113)는 도 4에 도시된 바와 같이, 상호 접한 상태에서 전자부품 수납공간(S)들의 열간 피치가 모두 동일하도록 형성되는 것이 바람직하다. 즉, 제1,2 트레이 플레이트(111)(112)는 제1 트레이 플레이트(111)의 최 우측 열에 위치한 전자부품 수납공간(S)들과 제2 트레이 플레이트(112)의 최 좌측 열에 위치한 전자부품 수납공간(S)들 사이의 피치가 제1 트레이 플레이트(111)의 전자부품 수납공간(S)들의 열간 피치 및 제1 트레이 플레이트(111)의 전자부품 수납공간(S)들의 열간 피치와 동일하도록 형성되는 것이 바람직하다.
이와 마찬가지로, 제2,3 트레이 플레이트(112)(113)는 제2 트레이 플레이트(112)의 최 우측 열에 위치한 전자부품 수납공간(S)들과 제3 트레이 플레이트(113)의 최 좌측 열에 위치한 전자부품 수납공간(S)들 사이의 피치가 제2 트레이 플레이트(112)의 전자부품 수납공간(S)들의 열간 피치 및 제3 트레이 플레이트(113)의 전자부품 수납공간들(S)의 열간 피치와 동일하도록 형성되는 것이 바람직하다.
이처럼 제1,2,3 트레이 플레이트(111)(112)(113)가 상호 접한 상태에서 전자부품 수납공간(S)들의 행간 피치가 모두 동일할 뿐 아니라, 열간 피치도 모두 동일하게 되면, 본 발명에 따른 테스트 트레이(100)는 전자부품들을 테스트하는 경우를 제외한 경우, 일정한 행간 피치와 열간 피치로 전자부품 수납공간들이 배열되는 통상적인 테스트 트레이와 동일한 상태가 될 수 있는 것이다.
가이드 유닛(120)은 전술한 제1,2,3 트레이 플레이트(111)(112)(113)가 상호 근접된 상태로부터 이격되거나 상호 이격된 상태로부터 근접될 때 제1,2,3 트레이 플레이트(111)(112)(113) 사이의 상대 이동을 안내하는 역할을 한다. 일 예로, 가이드 유닛(120)은 다수의 가이드를 포함하여 구성될 수 있다. 여기서, 가이드는 제1,2,3 가이드(121)(122)(123)로 이루어지며, 제1,2,3 트레이 플레이트(111)(112)(113)에서 인접한 제1 트레이 플레이트(111)와 제2 트레이 플레이트(112) 사이와 제2 트레이 플레이트(112)와 제3 트레이 플레이트(113) 사이마다 적어도 하나씩 나뉘어 고정되며, 상호 간에 교차 가능하게 결합한다.
상기 제1 가이드(121)는 한 쌍으로 구비되어 제1 트레이 플레이트(111)의 상,하측 가장자리에 나뉘어 고정된다. 제2 가이드(122)는 두 쌍으로 구비되어 두 쌍 중에서 한 쌍은 제2 트레이 플레이트(112)의 좌측에서 상,하측 가장자리에 나뉘어 고정되며, 나머지 한 쌍은 제2 트레이 플레이트(112)의 우측에서 상,하측 가장자리에 나뉘어 고정된다. 제3 가이드(123)는 한 쌍으로 구비되어 제3 트레이 플레이트(113)의 상,하측 가장자리에 나뉘어 고정된다.
상기 제1 가이드(121)들은 제1 트레이 플레이트(111)가 제2 트레이 플레이트(112)에 대해 행 방향, 즉 좌우 방향으로 슬라이드 이동할 수 있도록, 제2 가이드(122)들 중 좌측에 위치한 것들과 각각 교차 가능하게 결합한다. 또한, 상기 제3 가이드(123)들은 제3 트레이 플레이트(113)가 제2 트레이 플레이트(112)에 대해 행 방향으로 슬라이드 이동할 수 있도록, 제2 가이드(122)들 중 우측에 위치한 것들과 각각 교차 가능하게 결합한다. 여기서, 제1,2,3 가이드(121)(122)(123)로는 상호 간에 원활하게 교차 이동할 수 있도록 크로스 롤러 가이드(cross roller guide)가 이용될 수 있다.
그리고, 상기 제1,2,3 가이드(121)(122)(123)는 도 5에 도시된 바와 같이, 제1 및 제3 트레이 플레이트(111)(113)가 제2 트레이 플레이트(112)로부터 충분히 이격될 수 있을 정도의 길이로 형성되되, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1,2,3 트레이 플레이트(111)(112)(113)가 상호 접한 상태에서 좌,우로 돌출하지 않을 정도로 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 제1,2,3 가이드(121)(122)(123)는 제1,2,3 트레이 플레이트(111)(112)(113)에 전면 또는 후면에 설치된 상태에서 제1,2,3 트레이 플레이트(111)(112)(113)의 전면 또는 후면으로부터 돌출하지 않는 것이 바람직하다. 이를 위해, 제1,2,3 트레이 플레이트(111)(112)(113)는 제1,2,3 가이드(121)(122)(123)가 설치되는 부위가 함몰 형성된 구조로 이루어질 수 있다. 한편, 제2 가이드(122)는 두 쌍으로 구비되어 있으나, 한 쌍으로 구비되어 제2 트레이 플레이트(112)의 상,하측에 나뉘어 배치되고 좌측에서 제1 가이드(121)와 우측에서 제3 가이드(123)와 교차 가능하게 결합하는 것도 가능하다.
상기 가이드 유닛(120)은 제1,2,3 트레이 플레이트(111)(112)(113)를 상호 접한 상태로 위치 고정하도록, 도시하고 있지는 않지만 위치 고정부를 더 구비하는 것이 바람직하다. 이는 테스트 트레이(100)를 테스트부(70)로 급송하거나 테스트 부(70)로부터 반출할 때, 제1,2,3 트레이 플레이트(111)(112)(113) 사이가 벌어지지 않도록 하기 위함이다.
이러한 위치 고정부는 제1,2,3 트레이 플레이트(111)(112)(113)가 상호 접한 상태에서, 제1 가이드(121)와 제2 가이드(122) 사이와, 제2 가이드(122)와 제3 가이드(123) 사이가 움직이지 않고 고정될 수 있도록, 제1 가이드(121)와 제2 가이드(122) 사이와, 제2 가이드(122)와 제2 가이드(123) 사이에 각각 마련될 수 있다. 여기서, 위치 고정부는 일 예로서, 돌기들과, 제1,2,3 트레이 플레이트(111)(112)(113)가 상호 접한 상태에서 상기 돌기들이 각각 안착되는 안착 홈들을 포함하는 구성으로 이루어질 수 있다.
한편, 제1,2,3 트레이 플레이트(111)(112)(113)는 둘 이상, 바람직하게는 도 6에 도시된 바와 같이, 전자부품 수납공간(S)들의 열들 사이를 경계로 하여 열 개수에 상응하는 개수로 각각 분할될 수 있다. 이는 테스트 보드(1)의 테스트 소켓(2)들이 다른 형태로 배열되는 경우, 이에 상응하여 제1,2,3 트레이 플레이트(111)(112)(113)의 형태가 용이하게 변형될 수 있도록 하기 위함이다.
예컨대, 제1 테스트 영역(A1)의 테스트 소켓(2)들이 4열 다수 행으로, 제2 테스트 영역(A2)의 테스트 소켓(2)들이 5열 다수 행으로, 제3 테스트 영역(A3)의 테스트 소켓(2)들이 4열 다수 행으로 각각 이루어진 경우를 설명하면 다음과 같다. 이 경우, 제1 트레이 플레이트(111)에서 전자부품 수납공간(S)들의 최 우측 열을 포함하는 부위가 제1 가이드(121)에 고정되지 않고 제2 가이드(122)에 고정되는 한편, 제3 트레이 플레이트(113)에서 전자부품 수납공간(S)들의 최 좌측 열을 포함하 는 부위가 제3 가이드(123)에 고정되지 않고 제2 가이드(122)에 고정됨으로써, 제1,2,3 테스트 영역(A1)(A2)(A3)의 바뀐 형태에 대응되게 제1,2,3 트레이 플레이트(111)(112)(113)의 형태가 변형될 수 있는 것이다.
상기와 같이 구성된 테스트 트레이(100)의 작용을 도 4 및 도 5를 참조하여 개략적으로 설명하면 다음과 같다.
먼저, 전자부품들을 테스트하는 경우를 제외한 경우, 예컨대 교환부(30)에서 전자부품들을 수납하거나 분리하는 경우나, 전자부품들을 수납한 상태로 이송하는 경우 등에 있어서, 테스트 트레이(100)는 도 4에 도시된 바와 같이 제1,2,3 트레이 플레이트(111)(112)(113)가 상호 접하도록 배치된다. 이에 따라, 테스트 트레이(100)에서 전자부품 수납공간(S)들은 행간 피치가 모두 동일하게 배열되는 한편, 열간 피치도 모두 동일하게 배열된다.
이처럼 본 발명에 따른 테스트 트레이(100)는, 일정한 행간 피치와 열간 피치로 전자부품 수납공간들이 배열되는 통상적인 테스트 트레이와 동일한 상태가 될 수 있으므로, 통상적인 테스트 트레이에 맞춰진 검출 수단 또는 착,탈 수단을 교체할 필요가 없게 된다. 나아가, 테스트 소켓들이 일정한 피치로 배열된 통상적인 테스트 보드가 핸들러에 다시 채용되더라도, 검출 수단 또는 착,탈 수단을 교체할 필요가 없게 된다. 상기 검출 수단은 교환부(30)에서 테스트 트레이(100)에 전자부품들이 수납되어 있는지 여부를 검출하기 위한 것이며, 착,탈 수단은 테스트 트레이(100)의 전자부품 수납공간(S)들에 전자부품들을 수납하거나 분리하기 위한 것이다.
또한, 로딩측 버퍼부(41) 및 언로딩측 버퍼부(42)와 테스트 트레이(100) 사이에서 전자부품들을 반송하는 제3,4 전자부품 픽커(53)(54)의 동작이 다르게 제어될 필요가 없으며, 반송하는데 소요되는 시간에서도 차이가 없게 된다. 나아가, 테스트 소켓들이 일정한 피치로 배열된 통상적인 테스트 보드가 핸들러에 다시 채용되더라도, 상기 제3,4 전자부품 픽커(53)(54)의 동작이 다르게 제어될 필요가 없게 된다.
게다가, 테스트 트레이(100)가 최대한 콤팩트한 상태로 이루어지게 되므로, 테스트 트레이(100)를 테스트부(70)로 급송하거나 테스트부(70)로부터 반출할 때, 테스트 트레이(100)의 원활한 이동을 위해 공간을 더 확보할 필요가 없게 되는 것이다.
전술한 바와 같이 테스트 트레이(100)는 제1,2,3 트레이 플레이트(111)(112)(113)가 상호 접하도록 배치된 상태에 있다가, 테스트부(70)로 이동하여 전자부품들을 테스트하고자 할 때에는, 도 5에 도시된 바와 같이, 제1,2,3 트레이 플레이트(111)(112)(113)가 제1,2,3 테스트 영역(A1)(A2)(A3)에 각각 대응되도록 상호 이격된 상태가 된다. 즉, 테스트 트레이(100)의 전자부품 수납공간(S)들이 테스트 보드(1)의 테스트 소켓(2)들의 배열 패턴과 동일한 패턴으로 변동됨으로써, 전자부품 수납공간(S)들에 수납된 전자부품들과 테스트 소켓(11)들 사이가 각각 대응되어 접속될 수 있는 것이다. 이렇게 전자부품들의 테스트가 완료된 후에는, 테스트 트레이(100)는 도 4에 도시된 바와 같이, 제1,2,3 트레이 플레이트(111)(112)(113)가 상호 접하도록 배치되어 테스트부(70)로부터 반출될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명에 따른 테스트 트레이는, 테스트 보드에서 둘 이상의 테스트 영역들이 상호 이격되게 배치되더라도, 전자부품들을 테스트할 때와 그 외의 상황에 맞게 전자부품 수납공간들의 위치가 변동될 수 있다.
따라서, 통상적인 테스트 트레이에 맞춰진 검출 수단 또는 착,탈 수단을 교체하지 않고도 그대로 이용할 수 있다. 또한, 테스트 트레이로 전자부품들을 반송하는 픽커의 동작을 다르게 제어할 필요가 없게 되며, 그에 따라 반송에 소요되는 시간에서도 별반 차이가 없을 수 있다.
게다가, 테스트 트레이가 최대한 콤팩트한 상태로 이루어지게 되므로, 테스트 트레이를 테스트부로 급송하거나 테스트부로부터 반출할 때, 테스트 트레이의 원활한 이동을 위해 공간을 더 확보할 필요가 없게 되는 효과가 있을 수 있다.
본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.

Claims (5)

  1. 적어도 1열 다수 행으로 배열된 테스트 소켓들을 각각 포함하는 둘 이상의 테스트 영역들이 행 방향으로 상호 이격되도록 배치된 테스트 보드를 구비하는 핸들러에 있어서,
    상기 테스트 소켓들 사이의 피치와 동일한 피치로 전자부품 수납공간들이 각각 형성되며, 상기 전자부품 수납공간들에 수납된 전자부품들과 상기 테스트 소켓들과의 접속시 상기 테스트 영역들에 각각 대응되도록 상호 근접된 상태로부터 이격 가능하게 된 트레이 플레이트들; 및
    상기 트레이 플레이트들이 상호 근접된 상태로부터 이격될 때 상기 트레이 플레이트들 사이의 상대 이동을 안내하는 가이드 유닛;
    을 구비하는 핸들러의 테스트 트레이.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 트레이 플레이트들은 상호 접한 상태에서 상기 전자부품 수납공간들의 열간 피치가 모두 동일하도록 형성된 것을 특징으로 하는 핸들러의 테스트 트레이.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 가이드 유닛은,
    상기 트레이 플레이트들에서 인접한 트레이 플레이트들 사이마다 적어도 하 나씩 나뉘어 고정되며, 상호 간에 교차 가능하게 결합하는 가이드들을 구비하는 것을 특징으로 하는 핸들러의 테스트 트레이.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 가이드 유닛은,
    상기 트레이 플레이트들을 상호 접한 상태로 위치 고정하도록 위치 고정부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 핸들러의 테스트 트레이.
  5. 제 3항에 있어서,
    상기 트레이 플레이트들은 상기 전자부품 수납공간들의 열들 사이를 경계로 하여 열 개수에 상응하는 개수로 각각 분할된 것을 특징으로 하는 핸들러의 테스트 트레이.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11354983A (ja) 1998-06-04 1999-12-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電子部品供給トレイの位置決め装置
KR20000073559A (ko) * 1999-05-12 2000-12-05 정문술 핸들러의 트레이 플레이트
KR20030000115A (ko) * 2001-06-22 2003-01-06 미래산업 주식회사 트레이 피더용 스택커
KR20050114457A (ko) * 2004-06-01 2005-12-06 미래산업 주식회사 반도체 소자 테스트 핸들러용 멀티스택커

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11354983A (ja) 1998-06-04 1999-12-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電子部品供給トレイの位置決め装置
KR20000073559A (ko) * 1999-05-12 2000-12-05 정문술 핸들러의 트레이 플레이트
KR20030000115A (ko) * 2001-06-22 2003-01-06 미래산업 주식회사 트레이 피더용 스택커
KR20050114457A (ko) * 2004-06-01 2005-12-06 미래산업 주식회사 반도체 소자 테스트 핸들러용 멀티스택커

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200451458Y1 (ko) 2007-09-17 2010-12-17 (주)테크윙 반도체소자 검사장비용 인터페이스보드

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